JPS4895396A - - Google Patents
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- JPS4895396A JPS4895396A JP48023053A JP2305373A JPS4895396A JP S4895396 A JPS4895396 A JP S4895396A JP 48023053 A JP48023053 A JP 48023053A JP 2305373 A JP2305373 A JP 2305373A JP S4895396 A JPS4895396 A JP S4895396A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/04—Hydrides of silicon
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/08—Compounds containing halogen
- C01B33/107—Halogenated silanes
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Inorganic Chemistry (AREA)
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Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6081010A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-09 | Denki Kagaku Kogyo Kk | トリクロルシランの製造法 |
| WO2008146741A1 (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Mitsubishi Materials Corporation | トリクロロシランの製造方法と製造装置および多結晶シリコンの製造方法 |
| WO2010086996A1 (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシランの生産方法 |
| WO2010100750A1 (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-10 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン冷却塔およびそれを用いたトリクロロシラン製造方法 |
| WO2010103631A1 (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン製造装置 |
| WO2010103632A1 (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン製造装置 |
| JP2010235439A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-10-21 | Mitsubishi Materials Corp | トリクロロシランの製造装置および製造方法 |
| JP2013540689A (ja) * | 2010-10-27 | 2013-11-07 | ジーティーエイティー・コーポレーション | ハイドロクロリネーションのための加熱装置およびそれに関連する方法 |
| JP5618982B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2014-11-05 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン製造装置 |
| JP2014534155A (ja) * | 2011-10-20 | 2014-12-18 | アールイーシー シリコン インコーポレイテッド | ヒドロクロロシラン生産における汚損低減 |
| JP2022516245A (ja) * | 2018-12-19 | 2022-02-25 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト | クロロシランの製造方法 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1048355B (it) * | 1974-10-30 | 1980-11-20 | Engelhard Min & Chem | Procedimento termodinamico per generare prodotti di combustione di e levata energia termica e produrre da essi energia meccanica in una turbina a gas e relativo impianto a turbina |
| US4390510A (en) * | 1982-02-16 | 1983-06-28 | General Electric Company | Process for treating spent silicon-containing reaction masses to produce halosilanes |
| DE3809784C1 (US06826419-20041130-M00005.png) * | 1988-03-23 | 1989-07-13 | Huels Ag, 4370 Marl, De | |
| JPH08203341A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-09 | Acer Peripherals Inc | 信号伝送用のフラットケーブル |
| US20020008723A1 (en) | 1998-07-21 | 2002-01-24 | Xin Wen | Printer and method of compensating for malperforming and inoperative ink nozzles in a print head |
| US6047816A (en) * | 1998-09-08 | 2000-04-11 | Eastman Kodak Company | Printhead container and method |
| US6273542B1 (en) | 1998-12-22 | 2001-08-14 | Eastman Kodak Company | Method of compensating for malperforming nozzles in an inkjet printer |
| US6354689B1 (en) | 1998-12-22 | 2002-03-12 | Eastman Kodak Company | Method of compensating for malperforming nozzles in a multitone inkjet printer |
| DE102005005044A1 (de) * | 2005-02-03 | 2006-08-10 | Consortium für elektrochemische Industrie GmbH | Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan mittels thermischer Hydrierung von Siliciumtetrachlorid |
| JP5601438B2 (ja) * | 2006-11-07 | 2014-10-08 | 三菱マテリアル株式会社 | トリクロロシランの製造方法およびトリクロロシラン製造装置 |
| JP5488777B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2014-05-14 | 三菱マテリアル株式会社 | トリクロロシランの製造方法およびトリクロロシランの製造装置 |
| KR101573933B1 (ko) * | 2008-02-29 | 2015-12-02 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 트리클로로실란의 제조 방법 및 제조 장치 |
| TW201031591A (en) * | 2008-10-30 | 2010-09-01 | Mitsubishi Materials Corp | Process for production of trichlorosilane and method for use thereof |
| EP2394955B1 (en) * | 2009-02-04 | 2016-12-07 | Tokuyama Corporation | Process for producing polycrystalline silicon |
| WO2010116500A1 (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-14 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン冷却塔およびそれを用いたトリクロロシラン製造方法 |
| DE102010007916B4 (de) * | 2010-02-12 | 2013-11-28 | Centrotherm Sitec Gmbh | Verfahren zur Hydrierung von Chlorsilanen und Verwendung eines Konverters zur Durchführung des Verfahrens |
| CN101791487B (zh) * | 2010-03-30 | 2012-01-25 | 中国天辰工程有限公司 | 回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法 |
| MY163880A (en) * | 2010-09-27 | 2017-11-15 | Gtat Corp | Heater and related methods therefor |
| EP2723488A2 (en) | 2011-06-21 | 2014-04-30 | GTAT Corporation | Apparatus and methods for conversion of silicon tetrachloride to trichlorosilane |
| DE102012218941A1 (de) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Wacker Chemie Ag | Reaktor und Verfahren zur endothermen Gasphasenreaktion in einem Reaktor |
| EP2969948A1 (en) * | 2013-03-13 | 2016-01-20 | SiTec GmbH | Temperature management in chlorination processes and systems related thereto |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4840625A (US06826419-20041130-M00005.png) * | 1971-09-24 | 1973-06-14 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA463307A (en) * | 1950-02-21 | T. Hurd Dallas | Hydrogenation of halogenosilanes | |
| US3147071A (en) * | 1964-09-01 | Process of manufacturing dichloro- | ||
| US2458703A (en) * | 1947-06-11 | 1949-01-11 | Libbey Owens Ford Glass Co | Reduction of compounds of silicon and halogen |
| US2875028A (en) * | 1950-04-12 | 1959-02-24 | Thiokol Chemical Corp | Process and apparatus for the fixation of products of irreversible thermochemical reactions |
| US2768061A (en) * | 1953-02-26 | 1956-10-23 | Gen Electric | Hydrogen reduction method and apparatus |
| US2999733A (en) * | 1957-01-16 | 1961-09-12 | British Titan Products | Chlorination processes |
| DE1129937B (de) * | 1959-09-28 | 1962-05-24 | Siemens Ag | Verfahren und Anordnung zur Rueckgewinnung der unverbrauchten Ausgangsstoffe bei derHerstellung von Reinstsilicium mittels Reduktion von Silanen durch Wasserstoff |
-
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- BE BE795913D patent/BE795913A/xx not_active IP Right Cessation
-
1972
- 1972-12-06 IT IT70847/72A patent/IT975971B/it active
- 1972-12-15 FR FR7244898A patent/FR2172964B1/fr not_active Expired
-
1973
- 1973-01-31 US US05/328,362 patent/US4165363A/en not_active Expired - Lifetime
- 1973-02-26 JP JP2305373A patent/JPS5738524B2/ja not_active Expired
- 1973-02-26 GB GB929573A patent/GB1395863A/en not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4840625A (US06826419-20041130-M00005.png) * | 1971-09-24 | 1973-06-14 |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6081010A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-09 | Denki Kagaku Kogyo Kk | トリクロルシランの製造法 |
| WO2008146741A1 (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Mitsubishi Materials Corporation | トリクロロシランの製造方法と製造装置および多結晶シリコンの製造方法 |
| JP2009007240A (ja) * | 2007-05-25 | 2009-01-15 | Mitsubishi Materials Corp | トリクロロシランの製造方法と製造装置および多結晶シリコンの製造方法 |
| US9994455B2 (en) | 2007-05-25 | 2018-06-12 | Mitsubishi Materials Corporation | Apparatus and method for manufacturing trichlorosilane and method for manufacturing polycrystalline silicon |
| WO2010086996A1 (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシランの生産方法 |
| JP5580749B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2014-08-27 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシランの生産方法 |
| JP5374576B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2013-12-25 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン冷却塔およびそれを用いたトリクロロシラン製造方法 |
| WO2010100750A1 (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-10 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン冷却塔およびそれを用いたトリクロロシラン製造方法 |
| JP2010235439A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-10-21 | Mitsubishi Materials Corp | トリクロロシランの製造装置および製造方法 |
| WO2010103632A1 (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン製造装置 |
| WO2010103631A1 (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン製造装置 |
| JP5618982B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2014-11-05 | 電気化学工業株式会社 | トリクロロシラン製造装置 |
| JP2013540689A (ja) * | 2010-10-27 | 2013-11-07 | ジーティーエイティー・コーポレーション | ハイドロクロリネーションのための加熱装置およびそれに関連する方法 |
| JP2014534155A (ja) * | 2011-10-20 | 2014-12-18 | アールイーシー シリコン インコーポレイテッド | ヒドロクロロシラン生産における汚損低減 |
| JP2022516245A (ja) * | 2018-12-19 | 2022-02-25 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト | クロロシランの製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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