JPH1197486A - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 導電性ボールのピックアップミスを解消し、
確実に導電性ボールをワークの電極上に移載することが
できる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 ボール供給部１０内に貯溜された導電性
ボール７を、押し上げプレート１４により押し上げて、
吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａの配列に対応して形成さ
れたガイド孔１８ａを有するガイドプレート１８に対し
て下方から押しつける。ガイド孔１８ａ内に受け入れら
れた導電性ボール７を、ガイドプレート１８をに振動を
与えてガイドプレート１８の上面に導出する。この導電
性ボール７を吸着ヘッド３１に吸着させることにより、
各吸着孔３１ａに１個づつの導電性ボール７が正しく真
空吸着され、吸着孔３１ａ以外の位置に導電性ボール７
が余分に付着することがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。

【０００３】この方法は、容器などに貯留された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。

【０００５】例えば、吸着孔に導電性ボールが真空吸着
されるのに時間がかかり、吸着孔によっては導電性ボー
ルを真空吸着しないまま吸着ヘッドが上昇することがあ
る。またこれと反対に１つの吸着孔に複数の導電性ボー
ルが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多数個の導電性
ボールが連なって付着することもある。このように吸着
ヘッドを用いる方法では、ピックアップミスが発生しや
すく、ワークの電極上に導電性ボールが１個づつ正しく
移載されないことがあるという問題点があった。

【０００６】そこで本発明は、導電性ボールのピックア
ップミスを解消し、確実に導電性ボールをワークの電極
上に移載することができる導電性ボールの移載装置およ
び移載方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段とを備え、前記ボール供給部に、このボー
ル供給部の上部に設けられ前記吸着ヘッドの吸着孔が形
成された位置に対応して形成された複数の導電性ボール
のガイド孔を有するガイドプレートと、ボール供給部内
の導電性ボールを前記ガイド孔内に下方から送り込むボ
ール送り込み手段と、前記ガイドプレートを振動させる
振動手段とを設けた。

【０００８】請求項２記載の導電性ボールの移載方法
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、前
記ボール供給部内に貯溜された導電性ボールを、ボール
供給部の上部に設けられたガイドプレートに前記吸着ヘ
ッドの吸着孔が形成された位置に対応して形成されたガ
イド孔内に下方から送り込む工程と、前記ガイドプレー
トを振動手段によって振動させることにより前記ガイド
孔内に送り込まれた導電性ボールを前記ガイドプレート
の上面に導く工程と、前記ガイドプレートの上面の導電
性ボールを前記吸着ヘッドによって真空吸着してピック
アップする工程とを含む。

【０００９】上記構成の本発明によれば、ボール供給部
内に貯溜された導電性ボールを、ボール供給部の上部に
設けられたガイドプレートに吸着ヘッドの吸着孔が形成
された位置に対応して形成されたガイド孔に送り込み、
ガイドプレートを振動させることによってガイドプレー
トの上面に導かれた導電性ボールを吸着ヘッドに真空吸
着することにより、吸着孔以外の位置に導電性ボールが
余分に付着するピックアップミスを防止することができ
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】

（実施の形態１）図１は本発明の実施の形態１の導電性
ボールの移載装置の正面図、図２は同導電性ボールの移
載装置のボール供給部の断面図、図３は同導電性ボール
の移載装置のボール供給部の斜視図、図４、図５、図
６、図７は同導電性ボールの移載装置のボール供給部の
部分断面図、図８は同導電性ボールの移載装置の位置決
めテーブルの部分正面図である。

【００１１】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。

【００１２】また、基台１上で位置決めテーブル２の側
方には導電性ボール７のボール供給部１０が配設されて
いる。以下、図１および図２を参照してボール供給部１
０について説明する。図１において、ボックス１１上に
は、ボール受け部１２が載置されている。ボール受け部
１２には中央に開口１２ａが設けられており、開口１２
ａ内にはボールケース１３が上下動自在に嵌合してい
る。ボールケース１３は、箱型の容器であり、内部には
押し上げ板１４が上下動自在に嵌合している。押し上げ
板１４上には、多数の導電性ボール７が貯溜される。

【００１３】また、押し上げ板１４の下面には垂直なロ
ッド１５が結合されており、ロッド１５はボールケース
１３の底面の開口を介して下方に延出している。ロッド
１５は、つば部１５ａを備えており、つば部１５ａとボ
ールケース１３の下面の間には圧縮ばね１６が装着され
ている。圧縮ばね１６は、ボールケース１３を上方に付
勢している。ロッド１５の下端部は、ボックス１１の底
面に設置されたシリンダ１７のロッド１７ａと結合され
ている。

【００１４】図３に示すように、ボールケース１３の上
方には、ガイドプレート１８がブラケット２７により固
着されて配設されている。ガイドプレート１８には、導
電性ボール７のガイド孔１８ａが、吸着ヘッド３１の吸
着孔３１ａが形成された位置に対応して形成されてい
る。また、ガイドプレート１８の側端面には、振動手段
としての振動子１９が結合されている。振動子１９を駆
動することにより、ガイドプレート１８が振動する。

【００１５】図２において、ボールケース１３の押し上
げ板１４上に導電性ボール７が貯溜された状態で、シリ
ンダ１７のロッド１７ａを突出させると、ロッド１５が
上方に押し上げられ、圧縮ばね１６を介してボールケー
ス１３をガイドプレート１８の下面に押し付ける。これ
と同時に、押し上げ板１４が押し上げられることによ
り、押し上げ板１４上の導電性ボール７をガイドプレー
ト１８の下面に押し付け、ガイド孔１８ａ内に送り込
む。したがって、シリンダ１７と押し上げ板１４は導電
性ボール７をガイド孔１８ａ内に送り込むボール送り込
み手段となっている。

【００１６】また、ボール受け部１２の上部には、エア
ノズル２６が水平方向に装着されている。エアノズル２
６はガイドプレート１８の上面に沿ってエアを吹き出
し、ガイドプレート１８の上面の導電性ボール７を吹き
飛ばして除去し、ボール受け部１２内に落下させる。

【００１７】次に、ボール供給部１０の制御系について
説明する。図２に示すように、方向切換弁４２はシリン
ダ１７の駆動エアの流れ方向を切換えてシリンダ１７の
上下動を切り換える。圧力調整弁は、エア源４６からシ
リンダ１７に送給されるエアの圧力を調整して、シリン
ダ１７の押し上げ力を調整する。流量調整弁４５はエア
源４６からエアノズル２６へ送給されるエアの流量を調
整する。開閉弁４４は、エアノズル２６から吹き出され
るエアの流路を開閉する。振動子駆動部４１は、振動子
１９を駆動する。制御部４０は、方向切換弁４２、開閉
弁４４および振動子駆動部４１を制御する。

【００１８】次に導電性ボール１を移載する吸着ヘッド
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。

【００１９】ブラケット２４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。

【００２０】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。まず図４におい
て、シリンダ１７のロッド１７ａ（図２）を突出させて
ロッド１５を押し上げると（矢印ａ参照）、ボールケー
ス１３は圧縮ばね１６を介して上方に持ち上げられてボ
ールケースの上端部がガイドプレート１８の下面に押し
当てられる。これとともに、押し上げ板１４上に貯溜さ
れた導電性ボール７はガイドプレート１８の下面に押し
当てられる。

【００２１】そしてガイド孔１８ａの直下に位置してい
る導電性ボール７は、下から押し上げられて１個だけガ
イド孔１８ａに下方から送り込まれる。このとき、振動
子１９を駆動してガイドプレート１８を振動させると、
ガイド孔１８ａ内に送り込まれた導電性ボール７は、下
に位置する導電性ボール７から伝達される押し上げ力
（押し上げ板１４が導電性ボール７全体を押し上げるこ
とによって生じる）と、ガイドプレート１８の振動によ
り、ガイドプレート１８の上面まで導出される。

【００２２】なお、ガイド孔１８ａの直下に導電性ボー
ル７が位置していない場合でも、ガイドプレート１８を
振動させることにより、ガイドプレート１８の下面に接
触している導電性ボール７は振動により水平移動し、こ
れらのいずれかの導電性ボール７がガイド孔１８ａの直
下に位置するようになる。そしてある時間を経過した後
には、すべてのガイド孔１８ａに１個づつの導電性ボー
ル７が送り込まれる。すなわち、ガイド孔１８ａ内に導
電性ボール７送り込まれるタイミングは、そのときの導
電性ボール７の状態によって各ガイド孔１８ａごとに異
なり、あるガイド孔１８ａでは既にガイドプレート１８
上に導電性ボール７が複数導出され、またあるガイドプ
レート１８ａでは、未だ導電性ボール７がガイドプレー
ト１８上に導出されていないというばらつきが発生す
る。

【００２３】このばらつきによる影響を解消するため、
図５に示すように、ガイドプレート１８上の導電性ボー
ル７の除去が行われる。すなわち、振動子１９を所定時
間駆動した後に振動し１９の駆動を停止させる。これに
より、ガイド孔１８ａからの新たな導電性ボール７の導
出が停止する。次いでエアノズル２６よりエアを吹き出
させると（矢印ｂ参照）、先行してガイドプレート１８
の上面まで導出され、既にガイドプレート１８上にある
導電性ボール７は、エアによって吹き飛ばされてボール
受け部１２内に落下する。これにより、各ガイド孔１８
ａに導電性ボール７が送り込まれるタイミングが異なる
ことによる各ガイド孔１８ａごとの導電性ボール７の導
出状況のばらつきは解消され、各ガイド孔１８ａ内には
それぞれ１個づつの導電性ボール７が待機した状態とな
る。

【００２４】この状態で、Ｚ軸モータ２７を駆動して吸
着ヘッド３１を、図６に示すようにガイドプレート１８
上に下降させる（矢印ｃ参照）。このとき吸着ヘッド３
１の吸着孔３１ａの位置が、ガイドプレート１８のガイ
ド孔１８ａに一致するよう、吸着ヘッド３１を位置合わ
せする。そして吸着ヘッド３１の下面がガイドプレート
１８上面に対して所定の間隔Ｓの位置で停止したなら
ば、吸着孔３１ａから吸引を開始するとともに、振動子
１９を駆動する。

【００２５】すると、ガイド孔１８ａ内に待機状態にあ
った導電性ボール７は振動によりガイドプレート１８の
上面まで導出され、ガイド孔１８ａの直上にある吸着孔
３１ａの吸引力に捕捉されて真空吸着される。この後吸
着ヘッド３１は、下面の吸着孔３１ａにそれぞれ１個づ
つ導電性ボール７を正しく真空吸着してピックアップし
上昇する。このとき、ガイド孔１８ａ以外の位置には、
すなわち吸着孔３１ａの直下の位置以外には導電性ボー
ル７は存在しないので、吸着孔３１ａ以外の位置に余分
な導電性ボール７が付着するピックアップミスが発生す
ることがない。

【００２６】次に、図７に示すように、シリンダ１７の
ロッド１７ａを没入させてロッド１５を下降させる（矢
印ｄ参照）と、押し上げ板１４が下降するとともに、ボ
ールケース１３も下降してガイドプレート１８の下面か
ら離れる。これにより、ボール受け部１２内に貯められ
た導電性ボール７はボールケース１３内に落下して（矢
印ｅ参照）回収される。

【００２７】このように、全ての吸着孔３１ａに１個づ
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１はボール供給部１０から上昇し、次い
で位置決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着
ヘッド３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降
し、図８に示すように真空吸着を解除して電極６ａ上に
導電性ボール７を移載した後上昇し、導電性ボール７の
移載を完了する。

【００２８】上記説明したように、吸着ヘッド３１の吸
着孔３１ａの配列に対応してガイド孔１８ａが形成され
たガイドプレート１８の下面に、押し上げ板１４上に貯
溜された導電性ボールを押し当てて導電性ボール７をガ
イド孔１８ａ内に送り込み、ガイドプレート１８を振動
させて、振動によって導電性ボール７をガイドプレート
１８上面に導出することにより、吸着ヘッド１３の吸着
孔１３ａに確実に導電性ボールを１個づつ真空吸着させ
ることができる。

【００２９】また、導電性ボール７をガイド孔１８ａを
通過させてガイドプレート１８上に導出する手段として
ガイドプレート１８を振動させる方法を採用することに
より、振動子１９の駆動をオンオフすることによって導
電性ボール７のガイドプレート１８上面への導出をコン
トロールすることができる。すなわち、押し上げ板１４
によってガイド孔１８ａ内に送り込まれた導電性ボール
７は、振動子１９が駆動してガイドプレート１８が振動
している間のみガイド孔１８ａ内を上方に案内されるこ
とになるので、適切なタイミングで振動子１９の駆動を
オンオフすることにより、ガイド孔１８ａ内に送り込ま
れた導電性ボール７を必要な間待機状態に置くことがで
きる。

【００３０】したがって、吸着ヘッド３１が導電性ボー
ル７のピックアップを終えて他の動作を行っている間に
各ガイド孔１８ａ内に導電性ボール７を送り込み、導電
性ボール７がガイドプレート１８上面に導出された状態
で待機させることができる。これにより、吸着ヘッド３
１がガイドプレート１８から導電性ボール７をピックア
ップする際には直ちに真空吸着動作を行うことができ、
したがって余分なロス時間の発生がなく、タクトタイム
を短縮することができる。

【００３１】（実施の形態２）図９は、本発明の実施の
形態２の導電性ボールの移載装置の正面図、図１０は同
導電性ボールの移載装置のボール供給部の断面図であ
る。本実施の形態２は、ボール供給部のボール槽に貯溜
される導電性ボール７の層にガスを吹き込んで流動化さ
せ、ボール槽の上部に設けられたガイドプレートのガイ
ド孔に導電性ボールを送り込むものである。なお、本実
施の形態２の導電性ボールの移載装置は、以下に説明す
るボール供給部以外は実施の形態１におけるものと同様
である。

【００３２】図９において、ボール供給部５０はボール
槽５１より成り、ボール槽５１の内部には複数層のメッ
シュプレート５２が水平に展張されている。メッシュプ
レート５２は導電性ボール７が通過できない大きさの開
孔を無数に設けたものである。最上層のメッシュプレー
ト５２上には導電性ボール７が貯溜される。ボール槽５
１の上部には、ボール槽５１の上端から間隔Ｄを保っ
て、ガイドプレート５８が配設されている。ガイドプレ
ート５８には、導電性ボール７のガイド孔５８ａが吸着
ヘッド３１の吸着孔３１ａが形成された位置に対応して
形成されている。また、ガイドプレート５８の側端面に
は振動手段としての振動子５９が装着されている。振動
子５９を駆動することにより、ガイドプレート５８は振
動する。

【００３３】また、ボール槽５１の底部には、ノズル５
４が配設されており、ノズル５４はガス供給源（図外）
に接続されている。ノズル５４にガスを供給することに
より、ノズル５４から上方に吹き出されたガスはメッシ
ュプレート５２の開口を通過して導電性ボール７の層に
吹き込まれ、導電性ボール７を撹拌させる。

【００３４】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
に構成され、次に動作を説明する。まず図１においてＸ
軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボール供給部
５０の上方へ移動させる。そこでＺ軸モータ２７を駆動
して吸着ヘッド３１を下降させ、図１０に示すように吸
着ヘッド３１の下面とガイドプレート５８の上面から所
定の間隔の位置まで下降させるとともに、吸着ヘッド３
１の吸着孔３１ａがガイドプレート５８のガイド孔５８
ａの位置に一致するように吸着ヘッド３１を位置合わせ
する。

【００３５】次いでボール槽５１内のノズル５４からガ
スを上方に吹き出させ（矢印ｆ参照）導電性ボール７を
撹拌させて上方に吹き上げ、ガイドプレート５８のガイ
ド孔５８ａに下方から送り込む（矢印ｇ参照）。すなわ
ちノズル５４は、導電性ボール７を上方に吹き上げてガ
イド孔５８ａ内に送り込むボール送り込み手段となって
いる。これと前後して吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａか
ら真空吸引を開始し、さらに振動子５９を駆動してガイ
ドプレート５８を振動させる。これにより、ガイド孔５
８ａ内に送り込まれた導電性ボール７には、吸着孔３１
の吸引力によってガイド孔５８ａ内で上昇する力が作用
するとともに、ガイドプレート５８の振動によって上方
に案内され、ガイドプレート５８の上面に導出される。

【００３６】このようにガイドプレート５８の上面に導
出された導電性ボール７は、既にガイドプレート５８上
に位置して真空吸引を開始している吸着ヘッド３１の吸
着孔３１ａの吸引力に直ちに捕捉されて真空吸着され
る。このとき、ガイド孔５８ａ以外の位置には導電性ボ
ール７は存在しないので、吸着孔３１ａ以外の位置に余
分な導電性ボール７が付着するピックアップミスが発生
することがない。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、ボール供給部内に貯溜
された導電性ボールを、ボール供給部の上部に設けられ
たガイドプレートに吸着ヘッドの吸着孔の配列に対応し
て形成されたガイド孔に下方から送り込み、ガイドプレ
ートを振動させてガイドプレートの上面に導出された導
電性ボールを吸着ヘッドに吸着させるようにしているの
で、吸着ヘッドには吸着孔以外の位置に余分な導電性ボ
ールが付着するピックアップミスが発生することがな
く、したがってワークの電極上に１個づつ確実に導電性
ボールを移載することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の正面図

【図２】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の断面図

【図３】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の斜視図

【図４】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図

【図５】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図

【図６】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図

【図７】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図

【図８】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図

【図９】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装
置の正面図

【図１０】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載
装置のボール供給部の断面図

【符号の説明】

１ 基台 ２ 位置決めテーブル ６ ワーク ７ 導電性ボール １０ ボール供給部 １３ ボールケース １４ 押し上げ板 １７ シリンダ １８、５８ ガイドプレート １８ａ、５８ａ ガイド孔 １９ 振動子 ２３ Ｘ軸モータ ２７ Ｚ軸モータ ３１ 吸着ヘッド ３１ａ 吸着孔 ５１ ボール槽 ５４ ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 23/12 Ｌ (72)発明者 西中 輝明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
   孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給する
   ボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、
   前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着
   ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移
   動手段とを備え、前記ボール供給部に、このボール供給
   部の上部に設けられ前記吸着ヘッドの吸着孔が形成され
   た位置に対応して形成された複数の導電性ボールのガイ
   ド孔を有するガイドプレートと、ボール供給部内の導電
   性ボールを前記ガイド孔内に下方から送り込むボール送
   り込み手段と、前記ガイドプレートを振動させる振動手
   段とを設けたことを特徴とする導電性ボールの移載装
   置。
2. 【請求項２】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
   孔が形成された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性
   ボールをワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
   って、前記ボール供給部内に貯溜された導電性ボール
   を、ボール供給部の上部に設けられたガイドプレートに
   前記吸着ヘッドの吸着孔が形成された位置に対応して形
   成されたガイド孔内に下方から送り込む工程と、前記ガ
   イドプレートを振動手段によって振動させることにより
   前記ガイド孔内に送り込まれた導電性ボールを前記ガイ
   ドプレートの上面に導く工程と、前記ガイドプレートの
   上面の導電性ボールを前記吸着ヘッドによって真空吸着
   してピックアップする工程とを含むことを特徴とする導
   電性ボールの移載方法。