JPH1195269A - レーザ光発生装置 - Google Patents
レーザ光発生装置Info
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- JPH1195269A JPH1195269A JP25087897A JP25087897A JPH1195269A JP H1195269 A JPH1195269 A JP H1195269A JP 25087897 A JP25087897 A JP 25087897A JP 25087897 A JP25087897 A JP 25087897A JP H1195269 A JPH1195269 A JP H1195269A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 設置面積を小さくすることができ、また、放
熱の効果を上げるようにすることが可能で、信頼性を向
上し得るレーザ光発生装置を提供する。 【解決手段】 基本波２を発生するレーザ光源１と、該
レーザ光源からの基本波を波長変換してレーザ光３を出
力する波長変換共振器４を備えるレーザ光発生装置にお
いて、波長変換共振器４の光路を含む平面が鉛直面（設
置する面と水平な面）に近い構成にする。
熱の効果を上げるようにすることが可能で、信頼性を向
上し得るレーザ光発生装置を提供する。 【解決手段】 基本波２を発生するレーザ光源１と、該
レーザ光源からの基本波を波長変換してレーザ光３を出
力する波長変換共振器４を備えるレーザ光発生装置にお
いて、波長変換共振器４の光路を含む平面が鉛直面（設
置する面と水平な面）に近い構成にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光発生装置
に関する。本発明は、各種用途に用いるためレーザ光源
として利用でき、たとえば、半導体検査装置等として使
用される紫外線共焦点顕微鏡に用いられる紫外線レーザ
光源として利用することができる。
に関する。本発明は、各種用途に用いるためレーザ光源
として利用でき、たとえば、半導体検査装置等として使
用される紫外線共焦点顕微鏡に用いられる紫外線レーザ
光源として利用することができる。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光発生装置は従来より、各種の用
途で利用されている。近年、半導体の検査装置として紫
外線共焦点顕微鏡の可能性が指摘され、このためもあっ
て、安価かつ安定で、また信頼性の高い紫外線レーザ光
源の開発が進められてきている。
途で利用されている。近年、半導体の検査装置として紫
外線共焦点顕微鏡の可能性が指摘され、このためもあっ
て、安価かつ安定で、また信頼性の高い紫外線レーザ光
源の開発が進められてきている。
【０００３】一般に、半導体レーザによって励起される
固体レーザは、高効率であり、また、安定で信頼性も高
く、安価に提供できることから、その非線形波長変換に
よる紫外線光源の実現が示されてきた。その実例は、た
とえば各種参考文献、たとえばＭ．Ｏｋａ，ｅｔ．ａ
ｌ．，“Ａｌｌ Ｓｏｌｉｄ−Ｓｔａｔｅ Ｃｏｎｔｉ
ｎｕｏｕｓ−Ｗａｖｅ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ−Ｑｕａｄ
ｒｕｐｌｅｄ Ｎｄ：ＹＡＧ Ｌａｓｅｒ，”ＩＥＥＥ
Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｓｒｅｃｔｅｄ Ｔｏｐｉｃ
ｓ ｉｎ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，
Ｖｏｌ．１，＃３，ｐｐ．８５９−８６６（１９９５）
等に見ることができる。
固体レーザは、高効率であり、また、安定で信頼性も高
く、安価に提供できることから、その非線形波長変換に
よる紫外線光源の実現が示されてきた。その実例は、た
とえば各種参考文献、たとえばＭ．Ｏｋａ，ｅｔ．ａ
ｌ．，“Ａｌｌ Ｓｏｌｉｄ−Ｓｔａｔｅ Ｃｏｎｔｉ
ｎｕｏｕｓ−Ｗａｖｅ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ−Ｑｕａｄ
ｒｕｐｌｅｄ Ｎｄ：ＹＡＧ Ｌａｓｅｒ，”ＩＥＥＥ
Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｓｒｅｃｔｅｄ Ｔｏｐｉｃ
ｓ ｉｎ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，
Ｖｏｌ．１，＃３，ｐｐ．８５９−８６６（１９９５）
等に見ることができる。
【０００４】このような技術を用いて実際に作成された
試作機があり、それは、概略を図３に示すような構造の
ものである。これは図３のごとく、基本波を発生するレ
ーザ光源１と、該レーザ光源１からの基本波２を波長変
換してレーザ光３（ここでは紫外線レーザ光であり、紫
外光が出力される）を出力する波長変換共振器４を備え
るレーザ光発生装置を、以下のような構造のベース５上
に構成したものである。すなわち、水平（設置面に平
行）に配置される平板状ベース板５の上に、水平面内に
光路を持つ波長変換共振器４と、基本波レーザ光源１を
配置し、水平面内の光路で基本波レーザ光源と波長変換
共振器を結合している。この構成は、主として、手作業
による作業のし易さから選ばれたものである。
試作機があり、それは、概略を図３に示すような構造の
ものである。これは図３のごとく、基本波を発生するレ
ーザ光源１と、該レーザ光源１からの基本波２を波長変
換してレーザ光３（ここでは紫外線レーザ光であり、紫
外光が出力される）を出力する波長変換共振器４を備え
るレーザ光発生装置を、以下のような構造のベース５上
に構成したものである。すなわち、水平（設置面に平
行）に配置される平板状ベース板５の上に、水平面内に
光路を持つ波長変換共振器４と、基本波レーザ光源１を
配置し、水平面内の光路で基本波レーザ光源と波長変換
共振器を結合している。この構成は、主として、手作業
による作業のし易さから選ばれたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の配置の場合、こ
のレーザ光発生装置を設置面に設置するための設置面積
としては、ベース板の面積がそのまま必要になる。この
ため、設置面積を小面積化するのに限界がある。また、
設置の仕方によっては、ベース板の放熱にも支障を来し
ている。平板状のベース板の片面全面が設置面に密着し
た形で設置される場合が多いからである。
のレーザ光発生装置を設置面に設置するための設置面積
としては、ベース板の面積がそのまま必要になる。この
ため、設置面積を小面積化するのに限界がある。また、
設置の仕方によっては、ベース板の放熱にも支障を来し
ている。平板状のベース板の片面全面が設置面に密着し
た形で設置される場合が多いからである。
【０００６】本発明は、上記従来技術の問題点を解決し
て、設置面積を小さくすることができ、また、放熱の効
果を上げるようにすることが可能で、信頼性を向上し得
るレーザ光発生装置を提供することを目的とする。
て、設置面積を小さくすることができ、また、放熱の効
果を上げるようにすることが可能で、信頼性を向上し得
るレーザ光発生装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のレーザ光発生装置は、基本波を発生するレ
ーザ光源と、該レーザ光源からの基本波を波長変換して
レーザ光を出力する波長変換共振器を備えるレーザ光発
生装置において、波長変換共振器の光路を含む平面が鉛
直面に近いことを特徴とする構成にする。
め、本発明のレーザ光発生装置は、基本波を発生するレ
ーザ光源と、該レーザ光源からの基本波を波長変換して
レーザ光を出力する波長変換共振器を備えるレーザ光発
生装置において、波長変換共振器の光路を含む平面が鉛
直面に近いことを特徴とする構成にする。
【０００８】本発明においては上記のように、波長変換
共振器の面、特に長手方向をなし、最も面積をとる面で
ある光路を含む面が鉛直面（設置面に垂直な面）に近い
配置構成をとるので、面積を要する共振器面を鉛直方向
にした構造となり、よって設置面積を小さくできる。
共振器の面、特に長手方向をなし、最も面積をとる面で
ある光路を含む面が鉛直面（設置面に垂直な面）に近い
配置構成をとるので、面積を要する共振器面を鉛直方向
にした構造となり、よって設置面積を小さくできる。
【０００９】かつ、この鉛直面からの冷却が、効率良く
達成される。たとえばこの構成では、ベース板の面を鉛
直面にして配置でき、そのベース板の面から、たとえば
自然空冷が、効率よく達成される。
達成される。たとえばこの構成では、ベース板の面を鉛
直面にして配置でき、そのベース板の面から、たとえば
自然空冷が、効率よく達成される。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例につ
いて説明し、さらに、具体的な好ましい実施の形態例
を、図面を参照して説明する。ただし当然のことである
が、本発明は以下述べる実施の形態例により限定を受け
るものではない。
いて説明し、さらに、具体的な好ましい実施の形態例
を、図面を参照して説明する。ただし当然のことである
が、本発明は以下述べる実施の形態例により限定を受け
るものではない。
【００１１】本発明に係るレーザ光発生装置は、基本波
を発生するレーザ光源と、該レーザ光源からの基本波を
波長変換してレーザ光を出力する波長変換共振器を備え
るレーザ光発生装置において、波長変換共振器の光路を
含む平面が鉛直面に近いようにしたものであり、たとえ
ば、共振器の面を鉛直方向にする。これにより、設置面
積を小さくする。また、鉛直面からの放熱（冷却）の効
率を大きくする。たとえば、鉛直面に配置されるベース
板の面からの自然空冷の効率の向上を実現する。
を発生するレーザ光源と、該レーザ光源からの基本波を
波長変換してレーザ光を出力する波長変換共振器を備え
るレーザ光発生装置において、波長変換共振器の光路を
含む平面が鉛直面に近いようにしたものであり、たとえ
ば、共振器の面を鉛直方向にする。これにより、設置面
積を小さくする。また、鉛直面からの放熱（冷却）の効
率を大きくする。たとえば、鉛直面に配置されるベース
板の面からの自然空冷の効率の向上を実現する。
【００１２】本発明は、従来技術において設置面積の縮
小に限界があったのは、その配置構造に起因すると言う
ことに着目して、なされたものである。すなわち、レー
ザ光発生装置の設置面積を規定するのは、波長変換共振
器が張る面積と、支持台をなすベースに対する基本波レ
ーザ光源の設置面積である。そこで、本発明は、この面
積を小さくすべく、波長変換共振器の面を鉛直面（設置
面に対して垂直）方向またはそれに近くすることで、ま
た、一般に出力光の方向が共振器の長手方向となること
から、この方向（光路を含む平面の方向）を上記方向に
なるように配置することで、レーザ光発生装置の装置ユ
ニット全体の設置面積を大幅に縮小できるようにしたも
のである。
小に限界があったのは、その配置構造に起因すると言う
ことに着目して、なされたものである。すなわち、レー
ザ光発生装置の設置面積を規定するのは、波長変換共振
器が張る面積と、支持台をなすベースに対する基本波レ
ーザ光源の設置面積である。そこで、本発明は、この面
積を小さくすべく、波長変換共振器の面を鉛直面（設置
面に対して垂直）方向またはそれに近くすることで、ま
た、一般に出力光の方向が共振器の長手方向となること
から、この方向（光路を含む平面の方向）を上記方向に
なるように配置することで、レーザ光発生装置の装置ユ
ニット全体の設置面積を大幅に縮小できるようにしたも
のである。
【００１３】また、本発明に係るレーザ光発生装置は、
波長変換共振器が、３枚以上の反射鏡からなる構成をと
ることができる。また、共振を保つための制御機構を備
える構成をとることができる。また、共振器内で、非線
形結晶が配置され、高調波が出射される光軸が鉛直方向
である構成をとることができる。
波長変換共振器が、３枚以上の反射鏡からなる構成をと
ることができる。また、共振を保つための制御機構を備
える構成をとることができる。また、共振器内で、非線
形結晶が配置され、高調波が出射される光軸が鉛直方向
である構成をとることができる。
【００１４】なお、レーザ光発生装置として、特開平５
−２４３６６１号公報、特開平６−１６４０４６号公
報、特開平６−５３５９３号公報、特開平７−１５４０
２１号公報、特開平４−２３９７８７号公報などに、非
線形結晶素子を用いたり、安定なあるいは効率的なレー
ザ光発生を達成せんとする技術が開示されているが、い
ずれも、本願発明の構成や作用を示すものではない。
−２４３６６１号公報、特開平６−１６４０４６号公
報、特開平６−５３５９３号公報、特開平７−１５４０
２１号公報、特開平４−２３９７８７号公報などに、非
線形結晶素子を用いたり、安定なあるいは効率的なレー
ザ光発生を達成せんとする技術が開示されているが、い
ずれも、本願発明の構成や作用を示すものではない。
【００１５】以下、具体的な実施の形態例を述べる。 実施の形態例１ この実施の形態例は、半導体検査装置として使用される
紫外線共焦点顕微鏡に用いられる紫外線レーザ光源とし
て利用することができるレーザ光発生装置に本発明を具
体化したものである。本例は特に、従来技術のベース板
に変更を加え、波長変換共振器等の要素を配置する面
（以下配置基準面と称する）を、その底面から、ベース
板の側面に変更する形で、本発明を適用したものであ
る。
紫外線共焦点顕微鏡に用いられる紫外線レーザ光源とし
て利用することができるレーザ光発生装置に本発明を具
体化したものである。本例は特に、従来技術のベース板
に変更を加え、波長変換共振器等の要素を配置する面
（以下配置基準面と称する）を、その底面から、ベース
板の側面に変更する形で、本発明を適用したものであ
る。
【００１６】本実施の形態例のレーザ光発生装置を、図
１に示す。図示のように、このレーザ光発生装置は、ベ
ース板５が、底面と側面からなる。底面が、設置平面に
このベース板５を設置する設置面５２をなす。この設置
面５２にほぼ垂直な側面が、波長変換共振器４、及び基
本波２を発生するレーザ光源１を必須とする要素を設置
する配置基準面５１となる。
１に示す。図示のように、このレーザ光発生装置は、ベ
ース板５が、底面と側面からなる。底面が、設置平面に
このベース板５を設置する設置面５２をなす。この設置
面５２にほぼ垂直な側面が、波長変換共振器４、及び基
本波２を発生するレーザ光源１を必須とする要素を設置
する配置基準面５１となる。
【００１７】上記のようなベース板５の配置基準面５１
（設置平面にほぼ垂直）に波長変換共振器４の長手方向
を設置するので、波長変換共振器４の光路を含む平面が
鉛直面に近い構造になる。
（設置平面にほぼ垂直）に波長変換共振器４の長手方向
を設置するので、波長変換共振器４の光路を含む平面が
鉛直面に近い構造になる。
【００１８】基本波２、及び変換された高調波である出
力レーザ光３（ここでは紫外線レーザ光）等による光路
は、鉛直面内に構成される。特に本例では、共振器４内
で、非線形結晶が配置され、波長変換された高調波（出
力レーザ光３である紫外線レーザ光）が出射される光軸
が鉛直方向である。
力レーザ光３（ここでは紫外線レーザ光）等による光路
は、鉛直面内に構成される。特に本例では、共振器４内
で、非線形結晶が配置され、波長変換された高調波（出
力レーザ光３である紫外線レーザ光）が出射される光軸
が鉛直方向である。
【００１９】また本例の装置においては、波長変換共振
器４は、３枚以上の反射鏡からなり、この光学系で、光
路が形成される。また本例の装置は、共振を保つための
制御機構を備えている。なお本例において、設置の機械
的安定性のために、設置面積（設置面５２の面積）をあ
る程度とることが望ましく、たとえば、設置面積（設置
面５２の面積）が、装置ユニットの上方投影面積より大
きくなるようにすることが望ましい。
器４は、３枚以上の反射鏡からなり、この光学系で、光
路が形成される。また本例の装置は、共振を保つための
制御機構を備えている。なお本例において、設置の機械
的安定性のために、設置面積（設置面５２の面積）をあ
る程度とることが望ましく、たとえば、設置面積（設置
面５２の面積）が、装置ユニットの上方投影面積より大
きくなるようにすることが望ましい。
【００２０】本例のこの構成によれば、設置面積の大幅
な減少が実現できる。また、ベース板５の垂直な部分で
ある配置基準面５１の、レーザ光源１及び波長変換共振
器４が取り付けられていない側の面は放熱の機能を果た
す。この場合に、その放熱効果を高めるための構造を付
加でき、たとえば、フィン状の放熱器（ヒートシンク）
を取り付けることもできる。
な減少が実現できる。また、ベース板５の垂直な部分で
ある配置基準面５１の、レーザ光源１及び波長変換共振
器４が取り付けられていない側の面は放熱の機能を果た
す。この場合に、その放熱効果を高めるための構造を付
加でき、たとえば、フィン状の放熱器（ヒートシンク）
を取り付けることもできる。
【００２１】実施の形態例２ この実施の形態例も、実施の形態例１と同様なレーザ光
発生装置に本発明を具体化したものであるが、本例は、
図２に示すように、ベース板５の設置面５２から立ち上
がる配置基準面５１の両側に、それぞれ、基本波レーザ
光源１、及び波長変換共振器４の各ユニットを取り付け
たものである。その他、実施の形態例１におけると対応
する構成部分については、同様な符号を付しておき、詳
細な説明は省略する。
発生装置に本発明を具体化したものであるが、本例は、
図２に示すように、ベース板５の設置面５２から立ち上
がる配置基準面５１の両側に、それぞれ、基本波レーザ
光源１、及び波長変換共振器４の各ユニットを取り付け
たものである。その他、実施の形態例１におけると対応
する構成部分については、同様な符号を付しておき、詳
細な説明は省略する。
【００２２】本例によれば、設置面積のさらなる低下が
図れ、装置のさらなる小型化を実現できる。
図れ、装置のさらなる小型化を実現できる。
【００２３】本例の構成にあっては、装置全体の側面積
程度の放熱器をたとえば基本波レーザ光源１ユニットの
側面に取り付け、放熱効果を高めるようにすることもで
きる。
程度の放熱器をたとえば基本波レーザ光源１ユニットの
側面に取り付け、放熱効果を高めるようにすることもで
きる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
設置面積を小さくすることができ、また、放熱の効果を
上げるようにすることが可能で、信頼性を向上し得るレ
ーザ光発生装置を提供することができる。
設置面積を小さくすることができ、また、放熱の効果を
上げるようにすることが可能で、信頼性を向上し得るレ
ーザ光発生装置を提供することができる。
【図１】 本発明の実施の形態例１に係るレーザ光発生
装置の構成を示す図である。
装置の構成を示す図である。
【図２】 本発明の実施の形態例２に係るレーザ光発生
装置の構成を示す図である。
装置の構成を示す図である。
【図３】 従来技術に係るレーザ光発生装置の構成を示
す図である。
す図である。
１・・・基本波レーザ光源、２・・・基本波、３・・・
レーザ光出力（紫外光）、４・・・波長変換共振器、５
・・・ベース板、５１・・・ベース板の配置基準面、５
２・・・ベース板の設置基準面。
レーザ光出力（紫外光）、４・・・波長変換共振器、５
・・・ベース板、５１・・・ベース板の配置基準面、５
２・・・ベース板の設置基準面。
Claims (4)
- 【請求項１】 基本波を発生するレーザ光源と、 該レーザ光源からの基本波を波長変換してレーザ光を出
力する波長変換共振器を備えるレーザ光発生装置におい
て、 波長変換共振器の光路を含む平面が鉛直面に近いことを
特徴とするレーザ光発生装置。 - 【請求項２】 波長変換共振器が、３枚以上の反射鏡か
らなることを特徴とする請求項１に記載のレーザ光発生
装置。 - 【請求項３】 共振を保つための制御機構を備えること
を特徴とする請求項１に記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項４】 共振器内で、非線形結晶が配置され、波
長変換された高調波が出射される光軸が鉛直方向である
ことを特徴とするレーザ光発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25087897A JPH1195269A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | レーザ光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25087897A JPH1195269A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | レーザ光発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1195269A true JPH1195269A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17214366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25087897A Pending JPH1195269A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | レーザ光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1195269A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007049090A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Toshiba Corp | レーザ発生器の冷却構造 |
| JP2008244181A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Cyber Laser Kk | レーザ装置 |
| JP2008311654A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Trumpf Laser Marking Systems Ag | ガス冷式のレーザ装置 |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP25087897A patent/JPH1195269A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007049090A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Toshiba Corp | レーザ発生器の冷却構造 |
| JP4602193B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2010-12-22 | 株式会社東芝 | レーザ発生器の冷却構造 |
| JP2008244181A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Cyber Laser Kk | レーザ装置 |
| JP2008311654A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Trumpf Laser Marking Systems Ag | ガス冷式のレーザ装置 |
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