JPH1194676A - 筒内圧センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ガスケット一体型の筒内圧センサのシール性能
を高め、耐久劣化を少なくして、長期にわたり安定し精
度よく筒内圧を検出できるようにする。 【解決手段】ガスケット１はエンジンのシリンダヘッド
とシリンダブロックとの間に実装される。ガスケット１
中の筒内圧センサ５は、シリンダボア２の筒内圧を導入
して感応するダイアフラム１０と、このダイアフラム１
０の変位を圧力情報となる電気量或いは光量に変換して
ガスケット外部に出力する手段とを備える。ガスケット
１は上板８，中板７・１２，下板９の積層体である。中
板７はダイアフラム１０を有し、中板１２は凹部状の基
準圧室３１を有し、これらが接合される。接合ラインは
シリンダボアと基準圧室３１とを遮断し得るラインに沿
って設定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力検出装置に係
り、特に自動車エンジンのシリンダ内の圧力（筒内圧）
を検出する筒内圧センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】自動車エンジンにおいて環境保護のため
排ガス規制、燃費の向上が急務になっており、そのため
に、エンジンの筒内圧から燃焼圧力やノッキングを検出
して、エンジンの制御に反映させる技術が開発されてい
る。特にシリンダ内の圧力情報（失火検出、ノッキン
グ、ピーク燃焼圧等）を得ることにより、リーン限界の
燃料、最適点火時期を各気筒ごとに高精度制御すること
が可能となっている。

【０００３】シリンダ内の圧力を検出する装置して、エ
ンジンのシリンダヘッドとシリンダブロックとの間に実
装されるガスケットに、シリンダの筒内圧を導入して感
応するダイアフラムと、このダイアフラムの変位を圧力
情報となる電気量或いは光量に変換してガスケット外部
に出力する手段とを設けたものが既に提案されている
（例えば、実開平４−４５９４１号公報，特開平７−３
０６１０９号公報，特開平８−１２２１８８号公報）。

【０００４】図８はガスケット一体型の筒内圧センサの
従来例であり、同図の（ａ）にガスケットの平面図、
（ｂ）にそのＡ部を拡大した断面図、（ｃ）に上記Ａ部
の分解斜視図を示す。

【０００５】ガスケット１には、シリンダブロックのシ
リンダボア，オイル通孔，冷却水通孔に対応してシリン
ダボア開孔部２，オイル通孔３、冷却水通孔４が配設さ
れているほかに、各シリンダボアごとにセンサ部（筒内
圧センサ）５が配設されている。センサ部５は次のよう
に構成されている。

【０００６】図８（ｃ）に示すように、ガスケット１
は、ビード６の付いた上板８，下板９及びそれらの間に
介在する中板７から成る。これらの板材は例えば鋼板よ
りなる。ビード６は、上板８，中板７，下板９の積層体
（ガスケット）１をシリンダヘッドとシリンダブロック
との間に実装した時に、面圧を上げてそれに接触する部
材との間のシールを図る機能を有する。またミクロのシ
ールを行うため上板８と下板９の面には数ミクロンの樹
脂４０が塗布されている。

【０００７】中板７にはダイアフラム１０が設けてあ
り、図８（ｂ）に示すように、ダイアフラム１０の一面
側に筒内圧受圧スペース（筒内圧導入スペース）４３が
確保され、もう一面側に基準圧室（例えば大気圧スペー
ス）４４が確保されている。

【０００８】上板８，下板９の一方（ここでは上板８）
には、一端がシリンダボア開孔部２に臨む筒内圧導入部
４１が形成され、この導入部４１を介して受圧スペース
４３に筒内圧が導入される。図８（ｂ）に示すように、
下板９側には光ファイバ１１を支持すると同時にダイア
フラム１０を支持する環状スペーサ４２が設けられる。
この環状スペーサ４２は、例えば図８（ｃ）に示す下板
９の一点鎖線に示す位置にセットされる。基準圧は例え
ば大気圧である。

【０００９】さらに中板７には、光ファイバ１１を挿通
するためのファイバ配線溝４５が形成されている。光フ
ァイバ１１はダイアフラム１０の変位（筒内圧と基準圧
との差圧）に応じて屈曲し、シリンダの筒内圧を光ファ
イバの屈曲による通過光量の変化として検出するように
してある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記のような上板８，
下板９に挟まれた中板７は、シールされていると考える
が、シール樹脂等が耐久劣化した場合やエンジンの面粗
さが粗い場合シールが不完全になることがある。ガスケ
ットの仕様は、ある時間内である規定量内の空気量の洩
れは、問題がないことになっている。しかしセンサとし
ては、微少の洩れも影響するため完全なるシールが要求
される。特に基準圧室に筒内圧が侵入すると測定誤差が
生じる。

【００１１】本発明の目的は、シール性能を高めしかも
耐久劣化を少なくして、長期にわたり安定し精度よく筒
内圧を検出することのできるこの種のガスケット一体型
の筒内圧センサを提供することにある。

【００１２】さらに、筒内圧センサのガスケットへの組
立の簡便化を図り生産性の向上を図ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の基本的な要旨
は、エンジンのシリンダヘッドとシリンダブロックとの
間に実装されるガスケットに、シリンダの筒内圧を導入
して感応するダイアフラムと、このダイアフラムの変位
を圧力情報となる電気量或いは光量に変換してガスケッ
ト外部に出力する手段とを備えた筒内圧センサにおい
て、前記ガスケットは上板と下板との間に中板を介在さ
せる複数板の積層体よりなり、前記中板は、ダイアフラ
ムを有する板材と凹部状の基準圧室を有する板材とを一
体的に接合して成り、且つこの接合はガスケットに形成
したシリンダボア対応の開孔部と前記基準圧室とを遮断
し得るラインに沿って設定されていることを特徴とす
る。

【００１４】上記構成によれば、ガスケットを構成する
積層体のうち上板（上層）と下板（下層）との間に介在
する中板（中層）は、元々は別成形されて少なくとも２
枚の板材（ダイアフラムを有する板材と基準圧室を有す
る板材）であるが、これらの板材同士（中板同士）が一
体的に接合されると、この板材同士の接合ラインによっ
てガスケットに形成したシリンダボア対応の開孔部と前
記基準圧室とが遮断され、また、中板の一方に設けた基
準圧室は凹部すなわち有底状の窪みであるため、その底
部によって中板・下板間の境界とも遮断され、且つ基準
圧室はもう一方のダイアフラムを有する中板により覆わ
れているため、中板間や上板・中板及び中板・下板間か
ら筒内圧（燃焼圧）が侵入するのを確実に防止する。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施例を図１〜図７及び
図９〜図１７により説明する。

【００１６】図１の（ａ）は本発明の一実施例に係る筒
内圧センサが適用されるガスケットの平面図、（ｂ）は
そのＡ部を拡大して示す分解斜視図、図２は上記のガス
ケットの上板（上層），下板（下層）間に介在させた中
板（中層）の構成要素（ダイアフラム付き板材７と基準
圧室付き板材１２）のダイアフラム１０及び基準圧室３
１付近を示す部分拡大斜視図、図３は図１（ａ）のＡ部
の拡大断面図である。なお、図５〜図７及び図１３にも
ガスケット部材の全体的な外観斜視図を示すが、これら
の外観については本来は図１（ａ）と同様の形状である
が、作図の便宜上、簡略的な長方形で表わしている。

【００１７】ガスケット１には、シリンダブロックのシ
リンダボア，オイル通孔，冷却水通孔に対応してシリン
ダボア開孔部２，オイル通孔３、冷却水通孔４が配設さ
れている。

【００１８】ガスケット１は、図１（ｂ）に示すよう
に、ビード６の付いた上板（上層）８，下板（下層）９
及びそれらの間に挾まれる中板（中層）７，１２の積層
体より成り、ビード６により接触する部材（図示されな
いシリンダヘッド，シリンダブロック及び上記の中板
７，１２）に対する面圧を上げシールをしている。また
ミクロのシールを行うため上板８と下板９には数ミクロ
ンの樹脂４０（図３参照）が塗布されている。

【００１９】図３に示すように中板を構成する板材７，
１２のうち、板材７にはダイアフラム１０及びファイバ
１１に初期曲げ（初期曲げの理由については後述する）
を与えるための突起１４が形成してあり、板材１２には
基準圧室となる円形の凹部（有底の窪み）３１及び光フ
ァイバ１１の配線溝１３が配設してある。

【００２０】本例では板材７は、バネ鋼を素材としダイ
アフラム１０と同一材料で、ダイアフラム１０の領域内
に突起１４を得るために、これらの要素７，１０，１４
を一体にプレス成形している。一方、板材１２は鋼板で
基準圧室３１及び配線溝３１を得るためにプレス成形さ
れている。上板８，下板９も鋼板，鉄板等の適宜材料よ
り成る。

【００２１】中板７，１２同士は元々別成形されたもの
であるが、ガスケットとしての組立前に予め溶接，塑性
加工，接着剤のいずれかにより接合されて一体構造とし
てあり、図３に示すようにダイアフラム１０の直下に基
準圧室３１が位置するように設定してある。ダイアフラ
ム１０の中央に位置する突起１４は基準圧室３１に向け
て突出している。

【００２２】一方、板材１２側に設けた光ファイバ配線
溝１３は、図５（ｂ）に示すように板材１２の上面に一
端から各基準圧室３１を通るようにしてシリンダボア開
孔部２の周辺に沿いながらＵターンするように設定して
あり、配線溝１３の一端が光ファイバ１１に光を出射す
る光出射側であり、もう一端が受光側となる。

【００２３】配線溝１３は図２に示すように基準圧室３
１の径と直交することで、光ファイバ１１を通した状態
では、光ファイバ１１が基準圧室３１を横切ることにな
る。ダイアフラム１０側に設けた突起１４は、上記の光
ファイバ１１とクロスする方向に光ファイバ１１の径よ
りも充分に大きな長さ（幅）を持って、光ファイバ１１
が位置ずれしてもそれを許容して光ファイバ１１と接触
し得るように設定してある。

【００２４】上記のように予めガスケット組立て前に接
合されて一体化した中板７，１２を上板８，下板９間に
介在させて上板８，中板７・１２，下板９を積層状態で
溶接，金属塑性加工，接着のいずれかを介して接合する
ことで、ガスケットが形成される。

【００２５】上板８には筒内圧導入部４１が設けてあ
り、エンジンの筒内圧がダイアフラム１０の一面にかか
り、ダイアフラム１０の他面に基準圧室３１の大気圧
（基準圧）がかかるようにしてある。

【００２６】このようにして、光ファイバ１１は、筒内
圧によるダイアフラム１０の変位を受けて屈曲するよう
配設され、この光ファイバ１１の屈曲により変化するフ
ァイバ通過光量から筒内圧を検出する。

【００２７】なお、光ファイバ１１は、図１６に示すよ
うにある曲げ半径にしないと光の減光特性がリニアにな
らないため、予めリニアな特性範囲で作動し得るように
突起１４を用いて初期曲げを与えてある。

【００２８】中板７と中板１２の接合は、シリンダボア
開孔部２と基準圧室３１（センサ部５）とを遮断し得る
ラインに設定してある。例えば、図６の符号２８は接合
の一例として溶接を用いた場合の溶接ラインを示すもの
で、中板７，１２同士の接合（溶接）ライン２８は、図
６及び図１（ｂ）に示すように基準圧室３１（センサ部
５）及びファイバ配線溝１３のラインに沿って設定さ
れ、また、基準圧室３１及びファイバ配線溝１３を挾む
態様の二条のラインで形成されている。

【００２９】２枚の中板７，１２同士を溶接や塑性加工
により接合する場合には、熱歪みや溶接により材料の一
部に盛り上がりが生じることもあるが、この場合には平
面研磨をすることにより平面度を増し、中板と上板，下
板間のシール性を向上させることができる。

【００３０】図１７に筒内圧（シリンダ内圧）を測定し
て、高度に制御されるエンジンに本発明に係るガスケッ
ト一体型の筒内圧センサを実装させた状態を示し、
（ａ）はエンジンの概略的な部分断面図、（ｂ）はその
Ｂ部拡大断面図である。

【００３１】図１７（ａ）において、２１は点火プラ
グ、２２ａは吸気バルブ，２２ｂは排気バルブ、２３は
筒内直接噴射方式のインジェクション、２４はシリンダ
ヘッド、２５はシリンダブロック、２６はピストンであ
る。シリンダヘッド２４・シリンダブロック２５間に上
記実施例で説明した筒内圧センサ５付きのガスケット１
が実装される。

【００３２】ガスケット１をシリンダヘッド２４・シリ
ンダブロック２５間に実装することで、筒内圧が圧力導
入部４１を介してダイアフラム１０に加わり、ダイアフ
ラム１０は筒内圧と基準圧の差圧に応じて変位し、この
変位を光ファイバ１１が受けてファイバ１１の通過光量
が変化し、この通過光量をガスケット外部の受光素子で
電気変換することで、筒内圧が検出される。

【００３３】このシステムについては、失火やノックを
検出することが出来る。このデータを点火時期、燃料の
噴射量にフィードバックすることにより排ガスを規制す
ることができるとともに燃費を向上できる。

【００３４】また、このシステムの特徴としては、シリ
ンダ内に直接燃料を噴射するダイレクトインジェクショ
ンとシリンダ内圧を測定するセンサを用いることによ
り、より高精度の制御が可能となる。

【００３５】本実施例による筒内圧センサによれば、中
板７，１２同士の接合ラインによってガスケットに形成
したシリンダボア対応の開孔部２と基準圧室３１とが遮
断され、また、基準圧室３１は中板１２に設けた凹部す
なわち有底状の窪みであるため、図３に示すようにその
底部３１ａによって中板１２・下板９間の境界とも遮断
され、且つ基準圧室３１はダイアフラム側の中板７によ
り覆われているため、中板７，１２間や上板８，中板７
間や中板１２・下板９間から筒内圧（燃焼圧）が侵入す
るのを確実に防止する。

【００３６】したがって、ダイアフラムの基準圧室側の
圧力をほぼ一定に保つことができ、しかも、この基準圧
室３１へのガス漏れ対策は二枚の中板７，１２を接合す
ることで対処できるので、簡単な構造で精度の良いガス
ケット一体型筒内圧センサを提供することができる。

【００３７】しかも、本実施例では、ファイバ配線溝１
３も接合ライン２８及び二枚の中板７，１２によってシ
リンダボア開孔部２と遮断できるので、光ファイバ１１
をオイル等の汚れや燃焼熱から保護し、さらに、外部か
らの配線溝１３に水分が侵入するのを防ぐことができる
ので、光ファイバ１１のセンサ精度の劣化防止及び耐久
性を向上させることができる。

【００３８】なお、２枚の中板７，１２には、耐久性を
高めるために、防錆材が塗布、めっき、コーティングさ
れることもあるが、この場合には接合（溶接等）により
防錆材が取れることも考えられるので、その場合には、
めっき、コーティング等を再び行えば良い。中板７，１
２の接合前には防錆処理されていないときは、中板２枚
の結合後、防錆処理を行えば、耐久性を高めることがで
きる。

【００３９】また、２枚の中板７，１２は熱膨張差が大
きすぎると熱衝撃により破損するおそれがあるので、好
ましくは、中板７，１２の材料として熱膨張差（線膨張
係数差）が１０~⁵以下のものを使用すれば、確実に中板
の破損を防ぐことができる。

【００４０】本実施例では、感圧素子として光ファイバ
１１を採用しているが、これに代えて圧力により抵抗値
が変化するピエゾ抵抗素子を用い、これを上記実施例同
様に基準圧室３１にダイアフラム１０の圧力変位を受け
るように配置し、また、配線溝１３にその電気配線を設
置して、上記のピエゾ抵抗値に関する電気信号を外部に
出力できるようにすることも可能である。

【００４１】ダイアフラム１０に設ける突起１４は、ダ
イアフラムと一体成形するほかに、これに代わり、図４
に示すようにダイアフラム１０と元々は別体の部材（例
えばピン）で製作して、これを溶接、エポキシ接着剤
（例えばポリイミド、フッソ系を含む）等でダイアフラ
ム１０に接着してもよく、このようにすれば、ダイアフ
ラムの寸法精度を吸収できる利点がある。

【００４２】図７は、中板７，１２の接合態様の別の例
を示すものであり、中板７及び１２の基本的構成は図１
〜図５に示したものと同一であり、異なる点は図７の符
号２９ａ，２９ｂ及び３０に示すように、オイル通孔
３，冷却水通孔４及びシリンダボア開孔部２の周囲を溶
接，塑性加工或いは接着剤を用いることで、中板７，１
２を接合したものであり、このような接合ラインを採用
すれば、シリンダボア開孔部２のほかにオイル通孔３及
び冷却水通孔４と基準圧室３１とを遮断し得る。ここで
は、接合部２９ａ，２９ｂ，３０は一例としてシーム溶
接を用いている。

【００４３】本例においても、ガスケットに形成したシ
リンダボア対応の開孔部２と基準圧室３１とを完全に遮
断することができ、基準圧室３１や配線溝１３への筒内
圧（燃焼ガス）が侵入するのを確実に防止し、しかも、
オイルやエンジン冷却水の侵入を防止して、センサの劣
化防止を図り、耐久性を向上させることができる。

【００４４】なお、上記したように中板７とダイアフラ
ム１０を同一材料で製作できる時は良いが、同一材料で
形成した場合にダイアフラムの熱膨張係数や成形性等で
問題が生じる場合には、図９に示すようにダイアフラム
１０を単品で製作し、これを図１０に示すように中板７
に接合（図１０の接合構造は符号１６の示す個所でレー
ザ、抵抗溶接等である）すれば、上記問題に対処するこ
とができる。図９，１０では、ダイアフラム１０の周縁
に鍔１０´を設け、この鍔１０´を中板７に設けたダイ
アフラムセット開孔７ａの周縁段差７ｂの嵌め込んで、
溶接１６を行っている。

【００４５】上記図１０に代わり、図１１に示すように
ダイアフラム１０の周縁に窪み１７ｂを形成し、ダイア
フラム１０を開孔７ａにセットした後、符号１７に示す
ように開孔７ａの周縁を符号１７に示すように局部的に
プレスして塑性流動を起こすことで（符号１７ａはプレ
ス跡を示す）、ダイアフラム１０周縁を緊締し且つ塑性
流動を窪み１７ｂに食い込ませることで、ダイアフラム
１０と中板７とを接合することも可能である。

【００４６】図１０及び図１１のダイアフラム１０は例
えば，ばね鋼であり、中板７は鋼板や鉄板である。図１
２に、図１０或いは図１１に示すダイアフラム付きの中
板７と基準圧室３１を有する中板１２を溶接１６´によ
り接合したときの部分断面図を示す。

【００４７】図１３に位置決め穴１９を設けた２枚の中
板７，１２を示す。この穴１９には、図１４に示すよう
にピン２０を通す方法と、図１５に示すように二枚の中
板のどちらか一方（ここでは中板１２）にプレスで突起
２０´を設け、この突起２０´を穴１９に通す方法があ
り、このような位置決め手段を設けることで、中板７，
１２を接合した場合い、ダイアフラム１０と感圧素子
（例えば光ファイバ１１）との位置関係を容易保つこと
ができる。

【００４８】

【発明の効果】本発明によれば、ガスケット一体型の筒
内圧センサにおいて、ガスケット中層を構成する２枚の
中板を接合する簡単な構成で、圧力センサの基準圧室の
シール性能を高めしかもセンサ部品の耐久劣化を少なく
して、長期にわたり安定し精度よく筒内圧を検出するこ
とのできる。さらに、予め中板同士が接合されて一体構
造となった中層に上層，下層のガスケット構成部材（上
板，下板）を挾んで接合するだけでガスケット一体型の
筒内圧センサを組立てることができるので、組立ての簡
便化を図り生産性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の一実施例に係る筒内圧センサ
が適用されるガスケットの平面図、（ｂ）はそのＡ部を
拡大して示す分解斜視図。

【図２】上記のガスケットの上板，下板間に介在させた
中板の構成要素（ダイアフラム付き板材７と基準圧室付
き板材１２）のダイアフラム１０及び基準圧室３１付近
を示す部分拡大斜視図。

【図３】図１（ａ）のＡ部の拡大断面図。

【図４】本発明の他の実施例における上記Ａ部拡大断面
に相当する図。

【図５】（ａ）は本発明に係る筒内圧センサが適用され
るガスケットの分解斜視図、（ｂ）はそのうちの中板
７，１２の分解斜視図。

【図６】上記中板７，１２の溶接による接合状態を示す
斜視図。

【図７】上記中板７，１２の溶接による他の例の接合状
態を示す斜視図。

【図８】（ａ）はガスケット一体型の筒内圧センサの従
来例を示す平面図、（ｂ）はそのＡ部拡大断面図、
（ｃ）はＡ部拡大分解斜視図。

【図９】中板７とダイアフラム１０を元々別体とした場
合のダイアフラムの単品を示す斜視図。

【図１０】図９のダイアフラムを中板に溶接で接合した
状態を示す部分断面図。

【図１１】図９のダイアフラムを中板に塑性加工で接合
した状態を示す部分断面図。

【図１２】図１０の中板７と中板１２を溶接した状態を
示す部分断面図。

【図１３】中板７，１２に位置決め穴１９を設けた説明
図。

【図１４】図１３の位置決め穴１９にピン２０を通した
状態を示す説明図。

【図１５】図１４に代わる中板７，１２の位置決め状態
を示す部分断面図。

【図１６】光ファイバの曲げ半径と通過光量の関係を示
す特性図。

【図１７】（ａ）はダイレクトインジェクションと本発
明に係る筒内圧センサを実装したエンジンの概略説明
図、（ｂ）はそのＢ部拡大断面図。

【符号の説明】

１…ガスケット、２…シリンダボア開孔部、３…オイル
通孔、４…冷却水通孔、５…センサ部、６…ビード、７
…中板（中層）、８…上板（上層）、９…下板（下
層）、１０…ダイアフラム、１１…光ファイバ、１２…
中板（中層）、１３…ファイバ配線溝、１４…突起、２
８…接合ライン、２９ａ，２９ｂ…シーム溶接（オイル
穴）、３０…シーム溶接、３１…基準圧室。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エンジンのシリンダヘッドとシリンダブ
   ロックとの間に実装されるガスケットに、シリンダの筒
   内圧を導入して感応するダイアフラムと、このダイアフ
   ラムの変位を圧力情報となる電気量或いは光量に変換し
   てガスケット外部に出力する手段とを備えた筒内圧セン
   サにおいて、 前記ガスケットは上板と下板との間に中板を介在させる
   複数板の積層体よりなり、前記中板は、ダイアフラムを
   有する板材と凹部状の基準圧室を有する板材とを一体的
   に接合して成り、且つこの接合はガスケットに形成した
   シリンダボア対応の開孔部と前記基準圧室とを遮断し得
   るラインに沿って設定されていることを特徴とする筒内
   圧センサ。
2. 【請求項２】 前記ダイアフラムの変位を光量に変換す
   る手段は、筒内圧によるダイアフラムの変位を受けて屈
   曲するよう配設された光ファイバであり、この光ファイ
   バの屈曲により変化するファイバ通過光量から筒内圧を
   検出し、 前記基準圧室を有する板材に前記光ファイバの配線溝が
   配設され、且つ前記中板を構成する板材同士の接合ライ
   ンは前記基準圧室及びファイバ配線溝のラインに沿って
   設定され、この接合ラインが溶接，塑性加工，接着剤の
   少なくとも一つにより形成されている請求項１記載の筒
   内圧センサ。
3. 【請求項３】 前記ダイアフラムの変位を電気量に変換
   する手段は、筒内圧によるダイアフラムの変位を受けて
   電気信号を出力する感圧素子であり、 前記基準圧室を有する板材に前記感圧素子及びその配線
   溝が配設され、且つ前記中板を構成する板材同士の接合
   ラインは前記基準圧室及び感圧素子の配線溝のラインに
   沿って設定され、この接合ラインが溶接，塑性加工，接
   着剤の少なくとも一つにより形成されている請求項１記
   載の筒内圧センサ。
4. 【請求項４】 前記中板を構成する板材同士の接合ライ
   ンは、これらの板材に形成したシリンダボア対応の開孔
   部，オイル通孔，冷却水通孔の周囲に設定され、この接
   合ラインが溶接，塑性加工，接着剤の少なくとも一つに
   より形成されている請求項１記載の筒内圧センサ。
5. 【請求項５】 前記ダイアフラムを有する板材と前記基
   準圧室を有する板材とが線膨張係数差が１０~⁵以下の材
   料を使用している請求項１ないし請求項４のいずれか１
   項記載の筒内圧センサ。
6. 【請求項６】 前記ダイアフラムを有する板材は、該ダ
   イアフラムと同一材料にすることで該ダイアフラムを一
   体にプレス成形している請求項１ないし請求項５のいず
   れか１項記載の筒内圧センサ。
7. 【請求項７】前記ダイアフラムを有する板材は、元々は
   該ダイアフラムと別体に成形されたもので、該ダイアフ
   ラムと溶接若しくは塑性加工で接合されて一体構造とし
   てある請求項１ないし請求項５のいずれか１項記載の筒
   内圧センサ。
8. 【請求項８】前記ダイアフラムを有する板材及び前記基
   準圧室を有する板材に酸化防止のためのメッキ或いはコ
   ーティング処理がなされている請求項１ないし請求項７
   のいずれか１項記載の筒内圧センサ。