JPH1191949A - ウエハ状の物品用のグリッパ - Google Patents
ウエハ状の物品用のグリッパInfo
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】公知のグリッパの構造を、個々のグリッパフッ
クが他方のグリッパフックと無関係に半径方向内側に動
くことがないように構成すること。 【解決手段】個々のグリッパフック（２）が他の各々の
グリッパフック（２）よりも更に半径方向内側に移動す
ることを防止する手段（２１）が前記グリッパフック
（２）に関連して設けられていること。
クが他方のグリッパフックと無関係に半径方向内側に動
くことがないように構成すること。 【解決手段】個々のグリッパフック（２）が他の各々の
グリッパフック（２）よりも更に半径方向内側に移動す
ることを防止する手段（２１）が前記グリッパフック
（２）に関連して設けられていること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくともほぼ円
形の外周面と、本体（１）と、この本体（１）に対し調
整可能な複数のグリッパフック（２）と、これらグリッ
パフック（２）に前記本体（１）方向への負荷を掛ける
弾性手段と、前記グリッパフック（２）を前記弾性手段
の作用に抗して外側へ移動可能にする拡張手段（２０）
と、を具備する、ウエハ状の物品用のグリッパに関す
る。
形の外周面と、本体（１）と、この本体（１）に対し調
整可能な複数のグリッパフック（２）と、これらグリッ
パフック（２）に前記本体（１）方向への負荷を掛ける
弾性手段と、前記グリッパフック（２）を前記弾性手段
の作用に抗して外側へ移動可能にする拡張手段（２０）
と、を具備する、ウエハ状の物品用のグリッパに関す
る。
【０００２】
【従来技術】このタイプのグリッパはWO 95/11518 から
公知である。公知のグリッパでは、グリッパフックはウ
エハ状の物品（ウエハ）を保持する位置においてばね力
によって保たれるので、グリッパに対するウエハ状の物
品（ウエハ）の位置は明確には定められない。何故なら
ば、グリッパによってウエハ状の物品が保持され、つま
りは、グリッパフックが物品の外縁に接触するや否や、
公知のグリッパでは、錐状の拡張本体が最早グリッパフ
ックに作用しないからである。特に、ウエハ状の物品
（ウエハ）の縁部に形成された平坦部（フラット）又は
切込み部（ノッチ）がグリッパフックのうちの１個の領
域に位置しているとき、ウエハ状の物品（ウエハ）はグ
リッパの軸線に同軸に保たれないことは度々あった。こ
のような場合には、このグリッパフックは半径方向内側
に作用する力をウエハ状の物品（ウエハ）に加えること
ができない。それ故に、このグリッパフックに対向して
いるグリッパフックは、これに荷重を掛けるばね力の作
用下で、ウエハ状の物品を中心位置から移動する。ウエ
ハ状の物品が公知のグリッパによって保たれるときは、
すべてのグリッパフックはウエハ状の物品の縁部に接触
している。このような場合にも種々の保持位置が生じ
る。何故ならば、グリッパフックに内側へ荷重を掛ける
個々のばねの有するばね定数が、正確に同一の大きさで
はないからである。
公知である。公知のグリッパでは、グリッパフックはウ
エハ状の物品（ウエハ）を保持する位置においてばね力
によって保たれるので、グリッパに対するウエハ状の物
品（ウエハ）の位置は明確には定められない。何故なら
ば、グリッパによってウエハ状の物品が保持され、つま
りは、グリッパフックが物品の外縁に接触するや否や、
公知のグリッパでは、錐状の拡張本体が最早グリッパフ
ックに作用しないからである。特に、ウエハ状の物品
（ウエハ）の縁部に形成された平坦部（フラット）又は
切込み部（ノッチ）がグリッパフックのうちの１個の領
域に位置しているとき、ウエハ状の物品（ウエハ）はグ
リッパの軸線に同軸に保たれないことは度々あった。こ
のような場合には、このグリッパフックは半径方向内側
に作用する力をウエハ状の物品（ウエハ）に加えること
ができない。それ故に、このグリッパフックに対向して
いるグリッパフックは、これに荷重を掛けるばね力の作
用下で、ウエハ状の物品を中心位置から移動する。ウエ
ハ状の物品が公知のグリッパによって保たれるときは、
すべてのグリッパフックはウエハ状の物品の縁部に接触
している。このような場合にも種々の保持位置が生じ
る。何故ならば、グリッパフックに内側へ荷重を掛ける
個々のばねの有するばね定数が、正確に同一の大きさで
はないからである。
【０００３】上記の問題性によって、ウエハ状の物品を
保持部上に載置する際に、例えば、更なる処理工程（腐
食、研磨等）の最中に物品を保つ支持体（チャック）上
にシリコンウエハを載置する際に、公知のグリッパがウ
エハ状の物品を例外的にむしろ偶然にしか支持体の回転
軸線に対して正確に同軸に取り外すことができない限
り、諸問題が生じる。正確に同軸に取り外しができない
ことがあっても、次の支持体の場合には、すなわち、ウ
エハ状の物品を心合わせするためには（US-A-5 513 66
8）、場合によっては半径方向内側に移動することがで
きる（調整可能な）ピンを、ウエハ状の物品に向いた面
上に備えている支持体の場合には、何等問題ではない。
何故ならば、ウエハ状の物品は結局は心合わせされたか
らである。ウエハ状の物品が単に又は特にベルヌーイの
原理（US-A-4 903 717）によって、又は低圧（WO 97/03
457 ）によって動かないように保たれてなる、上記ピン
を有しない、ウエハ状の物品用の支持体の場合には、非
同軸に外されるウエハ状の物品では、処理工程の実施中
にウエハ状の物品が支持体によって回転させられた後
に、不均衡の問題が生じる。
保持部上に載置する際に、例えば、更なる処理工程（腐
食、研磨等）の最中に物品を保つ支持体（チャック）上
にシリコンウエハを載置する際に、公知のグリッパがウ
エハ状の物品を例外的にむしろ偶然にしか支持体の回転
軸線に対して正確に同軸に取り外すことができない限
り、諸問題が生じる。正確に同軸に取り外しができない
ことがあっても、次の支持体の場合には、すなわち、ウ
エハ状の物品を心合わせするためには（US-A-5 513 66
8）、場合によっては半径方向内側に移動することがで
きる（調整可能な）ピンを、ウエハ状の物品に向いた面
上に備えている支持体の場合には、何等問題ではない。
何故ならば、ウエハ状の物品は結局は心合わせされたか
らである。ウエハ状の物品が単に又は特にベルヌーイの
原理（US-A-4 903 717）によって、又は低圧（WO 97/03
457 ）によって動かないように保たれてなる、上記ピン
を有しない、ウエハ状の物品用の支持体の場合には、非
同軸に外されるウエハ状の物品では、処理工程の実施中
にウエハ状の物品が支持体によって回転させられた後
に、不均衡の問題が生じる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、公知
のグリッパの構造を、個々のグリッパフックが他方のグ
リッパフックと関係なく半径方向内側に動くことがない
ように構成することである。
のグリッパの構造を、個々のグリッパフックが他方のグ
リッパフックと関係なく半径方向内側に動くことがない
ように構成することである。
【０００５】
【発明を解決するための手段】上記課題は、個々のグリ
ッパフックが他の各々のグリッパフックよりも更に半径
方向内側に移動することを防止する手段がグリッパフッ
クに関連して設けられていること、により解決される。
ッパフックが他の各々のグリッパフックよりも更に半径
方向内側に移動することを防止する手段がグリッパフッ
クに関連して設けられていること、により解決される。
【０００６】本発明のグリッパの好適かつ好都合な構成
は請求項２ないし１１の主題である。
は請求項２ないし１１の主題である。
【０００７】本発明のグリッパの場合には、グリッパフ
ックのいずれも（通常は例えば６個のグリッパフックが
設けられている）が他のグリッパフックよりも半径方向
に更に内側に移動することができないので、ウエハ状の
物品をグリッパの軸線に対し同軸にかつ再現可能な（限
定可能な）位置に常に保ち、グリッパによって、物品を
ウエハ状の物品用の支持体上へ、限定的に、例えば、支
持体の軸線に対し同軸に載置することができる。
ックのいずれも（通常は例えば６個のグリッパフックが
設けられている）が他のグリッパフックよりも半径方向
に更に内側に移動することができないので、ウエハ状の
物品をグリッパの軸線に対し同軸にかつ再現可能な（限
定可能な）位置に常に保ち、グリッパによって、物品を
ウエハ状の物品用の支持体上へ、限定的に、例えば、支
持体の軸線に対し同軸に載置することができる。
【０００８】グリッパフック同士を共同でのみ半径方向
に移動することができるようにする手段は、任意に形成
されることができる。かくして、この手段はレバー装置
のようなグリッパフックの機械的係合手段であってよ
く、あるいは、本発明の枠内で好ましい如く、公知のグ
リッパ（WO 95/11518 ）には設けられている拡張手段で
あって、しかも、例えばかつ好ましくは、ガイドバー
の、又はグリッパフックのガイドボディの半径方向内側
の端部と協働する錐状の拡張本体である拡張手段であっ
て、ガイドバーの、又はグリッパフックのガイドボディ
の内端に常に接触するように形成されている拡張手段で
ある。このことは、最も簡単な例では、以下のことによ
って、すなわち、拡張手段を常にガイドバーに接触状態
にしておくか、又はグリッパフックのガイドボディに接
触状態にしておくか、あるいはグリッパフックに結合さ
れたローラに接触状態にしておくばねが、拡張手段に関
連して設けられていることによって、達成される。グリ
ッパが開く際に（半径方向）外側に移動するために用い
られる拡張手段は、かくして、グリッパフックの、（半
径方向）内側に位置する部分（ガイドバー、ガイドボデ
ィ、又はこのガイドボディに設けられたローラ）に接触
することによって、グリッパフック同士が互いに無関係
に移動することを防止する。グリッパフックは共同での
み半径方向に移動することができるのである。グリッパ
フックのうちの１個が、如何なる理由からであれ、他の
グリッパフックよりも大きな力で拡張本体に作用すると
きは、拡張本体は上方へ移動され、他のグリッパフック
は、ばね力がこれらのグリッパフックに作用するため
に、下方へ移動し、同様に、拡張本体に接触している。
従って、グリッパの、本発明に基づく構造の場合には、
個々のグリッパフックが他のグリッパフックと無関係に
半径方向内側に移動することはできない。
に移動することができるようにする手段は、任意に形成
されることができる。かくして、この手段はレバー装置
のようなグリッパフックの機械的係合手段であってよ
く、あるいは、本発明の枠内で好ましい如く、公知のグ
リッパ（WO 95/11518 ）には設けられている拡張手段で
あって、しかも、例えばかつ好ましくは、ガイドバー
の、又はグリッパフックのガイドボディの半径方向内側
の端部と協働する錐状の拡張本体である拡張手段であっ
て、ガイドバーの、又はグリッパフックのガイドボディ
の内端に常に接触するように形成されている拡張手段で
ある。このことは、最も簡単な例では、以下のことによ
って、すなわち、拡張手段を常にガイドバーに接触状態
にしておくか、又はグリッパフックのガイドボディに接
触状態にしておくか、あるいはグリッパフックに結合さ
れたローラに接触状態にしておくばねが、拡張手段に関
連して設けられていることによって、達成される。グリ
ッパが開く際に（半径方向）外側に移動するために用い
られる拡張手段は、かくして、グリッパフックの、（半
径方向）内側に位置する部分（ガイドバー、ガイドボデ
ィ、又はこのガイドボディに設けられたローラ）に接触
することによって、グリッパフック同士が互いに無関係
に移動することを防止する。グリッパフックは共同での
み半径方向に移動することができるのである。グリッパ
フックのうちの１個が、如何なる理由からであれ、他の
グリッパフックよりも大きな力で拡張本体に作用すると
きは、拡張本体は上方へ移動され、他のグリッパフック
は、ばね力がこれらのグリッパフックに作用するため
に、下方へ移動し、同様に、拡張本体に接触している。
従って、グリッパの、本発明に基づく構造の場合には、
個々のグリッパフックが他のグリッパフックと無関係に
半径方向内側に移動することはできない。
【０００９】本発明の他の詳細及び利点は、本発明の好
ましい実施の形態を添付した図面を参照にしつつ以下の
ように記述することから明らかである。
ましい実施の形態を添付した図面を参照にしつつ以下の
ように記述することから明らかである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳述する。本発明のグリッパは、図示した実
施の形態では円形の輪郭を有する本体１と、この本体１
に対し半径方向内側及び外側に可動である、図示した実
施の形態では６個のグリッパフックもしくは爪２とによ
り構成されている。
施の形態を詳述する。本発明のグリッパは、図示した実
施の形態では円形の輪郭を有する本体１と、この本体１
に対し半径方向内側及び外側に可動である、図示した実
施の形態では６個のグリッパフックもしくは爪２とによ
り構成されている。
【００１１】この本体１は、実質的にシリンダ状の壁部
３と、カバー４と、ベースプレート５とにより構成され
ている。本体１のこうした構成要素は、ねじ６によって
互いに結合されている。ベースプレート５を壁部３と一
体的に形成することもできる。
３と、カバー４と、ベースプレート５とにより構成され
ている。本体１のこうした構成要素は、ねじ６によって
互いに結合されている。ベースプレート５を壁部３と一
体的に形成することもできる。
【００１２】本体１の壁部３にはガイドブシュ、もしく
はスリーブ７が挿入されており、グリッパフック２の、
半径方向に整列されたガイドバー８がガイドブシュ７内
で可動に案内される。ガイドバー８の外端には保持部９
が設けられており、これら保持部９には、突出するフラ
ンジ１１を有するピン１０が夫々設けられている。これ
らピン１０は、ウエハ状の物品を把持するために作動す
る、グリッパフック２の一部を構成している。前記壁部
３の外側にある、ガイドバー８の部分を、長手方向に可
動なベローズ（図示せず）によって覆うことができる。
はスリーブ７が挿入されており、グリッパフック２の、
半径方向に整列されたガイドバー８がガイドブシュ７内
で可動に案内される。ガイドバー８の外端には保持部９
が設けられており、これら保持部９には、突出するフラ
ンジ１１を有するピン１０が夫々設けられている。これ
らピン１０は、ウエハ状の物品を把持するために作動す
る、グリッパフック２の一部を構成している。前記壁部
３の外側にある、ガイドバー８の部分を、長手方向に可
動なベローズ（図示せず）によって覆うことができる。
【００１３】ピン１０は、フランジ１１の上方に、２つ
の錐面によって区画されたリングを有することができ
る。特に、WO 95/11518 の図３に示された実施の形態で
は、保持部９に形成された、これから記述される延長部
３０を省略することもできる。
の錐面によって区画されたリングを有することができ
る。特に、WO 95/11518 の図３に示された実施の形態で
は、保持部９に形成された、これから記述される延長部
３０を省略することもできる。
【００１４】ピン１０用の保持部９には、半径方向内側
に向いた舌状の延長部３０を備えることができる。こう
した延長部３０、より正確に言えば、延長部３０に取着
されたボタン状もしくはノブ状の支持部は、本体１のベ
ースプレート５が本体１の回転によって上向くときは、
ウエハ状の物品を載置する部分として用いられる。
に向いた舌状の延長部３０を備えることができる。こう
した延長部３０、より正確に言えば、延長部３０に取着
されたボタン状もしくはノブ状の支持部は、本体１のベ
ースプレート５が本体１の回転によって上向くときは、
ウエハ状の物品を載置する部分として用いられる。
【００１５】ガイドバー８の半径方向内端にはガイドボ
ディ１２が取着されており、こうしたガイドボディ１２
は案内溝１３内で半径方向に可動である。ガイドボディ
１２用の案内溝１３はほぼ半径方向に延びる各２つの壁
部１５及び１６によって形成されており、壁部１５及び
１６は本体１のベースプレート５において内側に張り出
すようにして形成されている。
ディ１２が取着されており、こうしたガイドボディ１２
は案内溝１３内で半径方向に可動である。ガイドボディ
１２用の案内溝１３はほぼ半径方向に延びる各２つの壁
部１５及び１６によって形成されており、壁部１５及び
１６は本体１のベースプレート５において内側に張り出
すようにして形成されている。
【００１６】グリッパフック２は、図示しないばね（例
えば、ガイドバー８に被せて設けられた圧縮ばね、環状
のコイルばね、又はガイドボディ１２の外面１７の周囲
に設けられた弾性的なベルト）によって、図１の左側に
示した準備位置へ押しやられる。グリッパフック２をこ
の準備位置から半径方向外側へ押し出すために、拡張手
段２０が設けられている。
えば、ガイドバー８に被せて設けられた圧縮ばね、環状
のコイルばね、又はガイドボディ１２の外面１７の周囲
に設けられた弾性的なベルト）によって、図１の左側に
示した準備位置へ押しやられる。グリッパフック２をこ
の準備位置から半径方向外側へ押し出すために、拡張手
段２０が設けられている。
【００１７】グリッパフック２に半径方向内側に負荷を
掛ける前記ばね手段は、グリッパフックに半径方向内側
に負荷を掛けるように作動する空気ばねであってもよ
い。
掛ける前記ばね手段は、グリッパフックに半径方向内側
に負荷を掛けるように作動する空気ばねであってもよ
い。
【００１８】拡張手段２０は、図示した実施の形態で
は、錐状の外周面２２を有する拡張本体２１により構成
される。錐状の外周面２２は、ガイドボディ１２に回転
自在に取り付けられたローラ１８を介してガイドボディ
１２に作用し、かくして、ガイドバー８を介してグリッ
パフック２に作用する。拡張本体２１を作動させるため
に、本体１のカバー４の延長部には、拡張本体２１に結
合されているピストンロッド２５を有する流圧モータ２
４、好ましくは空気シリンダが収容されている。
は、錐状の外周面２２を有する拡張本体２１により構成
される。錐状の外周面２２は、ガイドボディ１２に回転
自在に取り付けられたローラ１８を介してガイドボディ
１２に作用し、かくして、ガイドバー８を介してグリッ
パフック２に作用する。拡張本体２１を作動させるため
に、本体１のカバー４の延長部には、拡張本体２１に結
合されているピストンロッド２５を有する流圧モータ２
４、好ましくは空気シリンダが収容されている。
【００１９】本発明のグリッパを用いて、或る面に載っ
ているウエハ状の物品、例えば、シリコンウエハをピッ
クアップしようとするとき、まず、空気シリンダ２４を
作動させて、拡張本体２１をベースプレート５の内側に
接触するまで下方へ移動させる（図１の右側）。このと
きには、グリッパフック２は半径方向最外の位置にあ
る。次にて、グリッパを、手動又は駆動用自動装置（ロ
ボット）によって、或る位置へ、つまり、ピン１０のグ
リッパフック２が、ピックアップされる物品の外周面の
脇にある位置へ、移動させる。移動が終わるや否や、拡
張本体２１を上方に移動させて、ピン１０をウエハ状の
物品の外周面に接触させる。
ているウエハ状の物品、例えば、シリコンウエハをピッ
クアップしようとするとき、まず、空気シリンダ２４を
作動させて、拡張本体２１をベースプレート５の内側に
接触するまで下方へ移動させる（図１の右側）。このと
きには、グリッパフック２は半径方向最外の位置にあ
る。次にて、グリッパを、手動又は駆動用自動装置（ロ
ボット）によって、或る位置へ、つまり、ピン１０のグ
リッパフック２が、ピックアップされる物品の外周面の
脇にある位置へ、移動させる。移動が終わるや否や、拡
張本体２１を上方に移動させて、ピン１０をウエハ状の
物品の外周面に接触させる。
【００２０】物品が支持部に平坦に載置されているとき
は、把持は確実になされる。何故ならば、フランジ１１
が、グリッパ用のピン１０の自由端において斜め上向き
の（錐面状の）上方の境界面１１´を有するからであ
る。ピン１０を内側へ移動しているとき、ウエハ状の物
品が持ち上げられる。何故ならば、この物品は、ピン１
０が物品の外周面に接触するまで、境界面１１´上でこ
れに沿って上方に摺動されるからである。
は、把持は確実になされる。何故ならば、フランジ１１
が、グリッパ用のピン１０の自由端において斜め上向き
の（錐面状の）上方の境界面１１´を有するからであ
る。ピン１０を内側へ移動しているとき、ウエハ状の物
品が持ち上げられる。何故ならば、この物品は、ピン１
０が物品の外周面に接触するまで、境界面１１´上でこ
れに沿って上方に摺動されるからである。
【００２１】ウエハ状の物品、ここではシリコンウエハ
が、正確に円形の物品でないときは、グリッパフック２
のうちの幾つかは物品の外周面に接触しない。
が、正確に円形の物品でないときは、グリッパフック２
のうちの幾つかは物品の外周面に接触しない。
【００２２】本発明のグリッパでは、拡張手段２０は、
どの実施の形態の場合にこの拡張手段が設けられている
かに関係なく、以下のように、すなわち、ウエハ状の物
品がピックアップされる前に、グリッパフック２を（半
径方向）外側に移動させるために用いられるのみなら
ず、WO 95/11518 から公知のグリッパの場合のように、
個々のグリッパフック２が、他のグリッパフック２より
も（半径方向）更に内側に移動するのを防止するために
も用いられるように、設計されている。
どの実施の形態の場合にこの拡張手段が設けられている
かに関係なく、以下のように、すなわち、ウエハ状の物
品がピックアップされる前に、グリッパフック２を（半
径方向）外側に移動させるために用いられるのみなら
ず、WO 95/11518 から公知のグリッパの場合のように、
個々のグリッパフック２が、他のグリッパフック２より
も（半径方向）更に内側に移動するのを防止するために
も用いられるように、設計されている。
【００２３】このことは、図示した実施の形態では、流
圧モータ２４のみならずばね２６も拡張手段２０の拡張
本体２１に関連して設けられていることによって達成さ
れる。ばね２６は、流圧モータ２４が無圧であっても、
拡張本体２１を引き続きグリッパフック２に接触状態に
しておく。この場合、拡張本体２１が、図示した実施の
形態の如くに、グリッパフック２のローラ１８に接触し
ていようと、ガイドバー８のガイドボディ１２に接触し
ていようと、ガイドバー８に接触していようと、グリッ
パフック２に結合した任意の他の構成部材に接触してい
ようと、そんなことは重要でない。
圧モータ２４のみならずばね２６も拡張手段２０の拡張
本体２１に関連して設けられていることによって達成さ
れる。ばね２６は、流圧モータ２４が無圧であっても、
拡張本体２１を引き続きグリッパフック２に接触状態に
しておく。この場合、拡張本体２１が、図示した実施の
形態の如くに、グリッパフック２のローラ１８に接触し
ていようと、ガイドバー８のガイドボディ１２に接触し
ていようと、ガイドバー８に接触していようと、グリッ
パフック２に結合した任意の他の構成部材に接触してい
ようと、そんなことは重要でない。
【００２４】拡張本体２１に負荷を掛けるばね２６は、
実施の形態に図示する如くに、圧縮ばねであってもよ
い。しかし乍ら、拡張本体２１を、グリッパフック２に
接触状態にしておくか、あるいはグリッパフック２に結
合された構成部材、例えばローラ１８に接触状態にして
おく他のばね、例えば、空気ばねを設けることもでき
る。拡張本体２１を作動させる流圧モータ２４、例えば
空気シリンダが、相応に僅かな圧力をこの圧媒モータに
加えることによって、空気ばねとして利用されてなる実
施の形態も考えられる。
実施の形態に図示する如くに、圧縮ばねであってもよ
い。しかし乍ら、拡張本体２１を、グリッパフック２に
接触状態にしておくか、あるいはグリッパフック２に結
合された構成部材、例えばローラ１８に接触状態にして
おく他のばね、例えば、空気ばねを設けることもでき
る。拡張本体２１を作動させる流圧モータ２４、例えば
空気シリンダが、相応に僅かな圧力をこの圧媒モータに
加えることによって、空気ばねとして利用されてなる実
施の形態も考えられる。
【００２５】以下のことは重要であって、拡張本体２１
をグリッパフック２に接触状態にしておくかあるいはグ
リッパフック２に結合された構成部材に接触状態にして
おくために拡張本体２１に作用するばね力は、然程大き
くはないが、グリッパフック２が、こうしたグリッパフ
ック２に関連して設けられかつグリッパフック２に半径
方向内側に負荷を掛けるばねの作用下で、最早内側へ移
動されないように（そうでなければ、グリッパによるウ
エハ状の物品の確実な把持が最早不可能だろうから）、
かように、拡張本体２１に関連して設けられたばね２６
によって、グリッパフック２に、力が掛けられる。
をグリッパフック２に接触状態にしておくかあるいはグ
リッパフック２に結合された構成部材に接触状態にして
おくために拡張本体２１に作用するばね力は、然程大き
くはないが、グリッパフック２が、こうしたグリッパフ
ック２に関連して設けられかつグリッパフック２に半径
方向内側に負荷を掛けるばねの作用下で、最早内側へ移
動されないように（そうでなければ、グリッパによるウ
エハ状の物品の確実な把持が最早不可能だろうから）、
かように、拡張本体２１に関連して設けられたばね２６
によって、グリッパフック２に、力が掛けられる。
【００２６】個々のグリッパフック２が他方のグリッパ
フック２よりも更に（半径方向）内側に移動することが
できないように、グリッパフック２が、図示した実施の
形態では、こうしたグリッパフック２に関連して設けら
れかつ錐状の拡張本体２１を有する拡張手段２０によっ
て、互いに結合されている。本発明ではグリッパをこの
ように形成することによって、ウエハ状の物品が正確な
円形と異なる輪郭を有する場合でも、ウエハ状の物品を
常にグリッパに対して限定可能で、再現可能な位置に、
特に、グリッパの軸線１４に対し同軸に保つことが保証
される。
フック２よりも更に（半径方向）内側に移動することが
できないように、グリッパフック２が、図示した実施の
形態では、こうしたグリッパフック２に関連して設けら
れかつ錐状の拡張本体２１を有する拡張手段２０によっ
て、互いに結合されている。本発明ではグリッパをこの
ように形成することによって、ウエハ状の物品が正確な
円形と異なる輪郭を有する場合でも、ウエハ状の物品を
常にグリッパに対して限定可能で、再現可能な位置に、
特に、グリッパの軸線１４に対し同軸に保つことが保証
される。
【００２７】要約すれば、本発明の好ましい実施の形態
を以下のように記述することができる。
を以下のように記述することができる。
【００２８】ウエハ状の物品（シリコンウエハ）用のグ
リッパは半径方向に調整可能な複数のグリッパフック２
を有する。物品を保持する際にグリッパフック２が物品
の外縁に接触しているように、ばねによってグリッパフ
ック２に負荷が掛けられている。
リッパは半径方向に調整可能な複数のグリッパフック２
を有する。物品を保持する際にグリッパフック２が物品
の外縁に接触しているように、ばねによってグリッパフ
ック２に負荷が掛けられている。
【００２９】グリッパフック２を外側へ移動させるため
に、拡張手段２０は錐状の拡張本体２１を有している。
更に、グリッパフック２は、互いに無関係に内側に動く
ことができないように、かつ、個々のグリッパフック２
が他のグリッパフック２よりも更に内側に移動すること
ができないことが保証されるように、互いに結合されて
いる。このことは、例えば、以下のことによって、すな
わち、拡張本体２１を、グリッパフック２に結合された
構成部材、例えば、ガイドボディ１２に設けられたロー
ラ１８に常に接触状態にしておくばね２６により錐状の
拡張本体２１に荷重が掛けられることによって、達成さ
れる。接触状態によって、個々のグリッパフック２が他
のグリッパフック２よりも更に半径方向内側に移動する
ことが確実に防止される。かくして、物品が、グリッパ
によって、グリッパに対して限定可能な位置に保持され
る。
に、拡張手段２０は錐状の拡張本体２１を有している。
更に、グリッパフック２は、互いに無関係に内側に動く
ことができないように、かつ、個々のグリッパフック２
が他のグリッパフック２よりも更に内側に移動すること
ができないことが保証されるように、互いに結合されて
いる。このことは、例えば、以下のことによって、すな
わち、拡張本体２１を、グリッパフック２に結合された
構成部材、例えば、ガイドボディ１２に設けられたロー
ラ１８に常に接触状態にしておくばね２６により錐状の
拡張本体２１に荷重が掛けられることによって、達成さ
れる。接触状態によって、個々のグリッパフック２が他
のグリッパフック２よりも更に半径方向内側に移動する
ことが確実に防止される。かくして、物品が、グリッパ
によって、グリッパに対して限定可能な位置に保持され
る。
【図１】図１はグリッパの軸方向断面図であり、図１の
左半分ではグリッパフックが半径方向内側に移動されて
いるのに対し、図１の右側に図示したグリッパフックは
拡張手段によって半径方向外側に移動されている。
左半分ではグリッパフックが半径方向内側に移動されて
いるのに対し、図１の右側に図示したグリッパフックは
拡張手段によって半径方向外側に移動されている。
【図２】図２はハウジングのカバーを取り外したときの
グリッパの平面図である。
グリッパの平面図である。
１ 本体 ２ グリッパフック ８ ガイドバー １２ ガイドボディ １８ ローラ ２０ 拡張手段 ２１ 拡張本体 ２４ 駆動シリンダ ２６ ばね。
Claims (11)
- 【請求項１】 少なくともほぼ円形の外周面と、本体
（１）と、この本体（１）に対し調整可能な複数のグリ
ッパフック（２）と、これらグリッパフック（２）に前
記本体（１）方向への負荷を掛ける弾性手段と、前記グ
リッパフック（２）を前記弾性手段の作用に抗して外側
へ移動可能にする拡張手段（２０）と、を具備する、半
導体ウエハもしくは他のウエハ状の物品用のグリッパに
おいて、 個々のグリッパフック（２）が他の各々のグリッパフッ
ク（２）よりも更に半径方向内側に移動することを防止
する手段（２１）が前記グリッパフック（２）に関連し
て設けられていること、を特徴とするグリッパ。 - 【請求項２】 前記手段はグリッパフック（２）が内側
に移動することを制限するストッパ（２１）であるこ
と、を特徴とする請求項１に記載のグリッパ。 - 【請求項３】 前記ストッパ（２１）は前記グリッパフ
ック（２）に結合された構成部材（８，１２，１８）に
接触状態におかれていること、を特徴とする請求項２に
記載のグリッパ。 - 【請求項４】 前記ストッパ（２１）は、ばね（２６）
によって、前記グリッパフック（２）に結合された構成
部材（８，１２，１８）に接触状態におかれているこ
と、を特徴とする請求項３に記載のグリッパ。 - 【請求項５】 前記ストッパは錐体（２１）であるこ
と、を特徴とする請求項２乃至４のいずれか１に記載の
グリッパ。 - 【請求項６】 前記錐体（２１）は、ばね（２６）によ
って、前記グリッパフック（２）のガイドバー（８）用
のガイドボディ（１２）に設けられた前記ローラ（１
８）に接触状態におかれていること、を特徴とする請求
項５に記載のグリッパ。 - 【請求項７】 前記ストッパは前記グリッパフック
（２）に関連して設けられた拡張手段（２０）の錐状の
拡張本体（２１）であること、を特徴とする請求項２乃
至６のいずれか１に記載のグリッパ。 - 【請求項８】 前記ばねは圧縮コイルばね（２６）であ
ること、を特徴とする請求項４乃至７のいずれか１に記
載のグリッパ。 - 【請求項９】 前記ばねは空気ばねであること、を特徴
とする請求項４乃至７のいずれか１に記載のグリッパ。 - 【請求項１０】 前記空気ばねは、前記拡張手段（２
０）の前記拡張本体（２１）用の駆動シリンダ（２４）
であること、を特徴とする請求項９に記載のグリッパ。 - 【請求項１１】 前記錐体（２１）に負荷を掛ける前記
ばね（２６）によって前記グリッパフック（２）に加え
られ、かつ前記グリッパフック（２）の移動方向に作用
する分力は、前記グリッパフック（２）に半径方向内側
に荷重を掛ける弾性手段によって前記グリッパフック
（２）に加えられる諸力よりも小さいこと、を特徴とす
る請求項５乃至１０のいずれか１に記載のグリッパ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT1061/97 | 1997-06-18 | ||
| AT0106197A AT405701B (de) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1191949A true JPH1191949A (ja) | 1999-04-06 |
| JP3645420B2 JP3645420B2 (ja) | 2005-05-11 |
Family
ID=3505747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16871298A Expired - Lifetime JP3645420B2 (ja) | 1997-06-18 | 1998-06-16 | ウエハ状の物品用のグリッパ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5931518A (ja) |
| EP (1) | EP0886304B1 (ja) |
| JP (1) | JP3645420B2 (ja) |
| KR (1) | KR100469815B1 (ja) |
| AT (1) | AT405701B (ja) |
| DE (1) | DE59802398D1 (ja) |
| TW (1) | TW383444B (ja) |
Cited By (1)
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| JP2008118019A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハ保持装置 |
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- 1998-06-08 US US09/093,187 patent/US5931518A/en not_active Expired - Lifetime
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