JPH07231003A - ウエハシート引伸し装置 - Google Patents
ウエハシート引伸し装置Info
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- JPH07231003A JPH07231003A JP6043336A JP4333694A JPH07231003A JP H07231003 A JPH07231003 A JP H07231003A JP 6043336 A JP6043336 A JP 6043336A JP 4333694 A JP4333694 A JP 4333694A JP H07231003 A JPH07231003 A JP H07231003A
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- wafer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハシートを均一に引き伸ばして、ペレッ
ト間の隙間を最適に確保できるようにすること。 【構成】 ウエハ１１が貼着されたウエハシート１２を
エキスパンドリング１７の先端１７Ａに載置させ、ウエ
ハシートを保持したウエハリング１３をプレスリング１
９にて押し下げて、エキスパンドリングによりウエハシ
ートを引き伸ばすウエハシート引伸し装置１０におい
て、エキスパンドリングの先端に空気流出口２３が形成
されて、ウエハシートとエキスパンドリングの先端との
間に空気層２６を形成可能としたものである。
ト間の隙間を最適に確保できるようにすること。 【構成】 ウエハ１１が貼着されたウエハシート１２を
エキスパンドリング１７の先端１７Ａに載置させ、ウエ
ハシートを保持したウエハリング１３をプレスリング１
９にて押し下げて、エキスパンドリングによりウエハシ
ートを引き伸ばすウエハシート引伸し装置１０におい
て、エキスパンドリングの先端に空気流出口２３が形成
されて、ウエハシートとエキスパンドリングの先端との
間に空気層２６を形成可能としたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ウエハを貼着したウ
エハシートを引き伸ばすウエハシート引伸し装置に関す
る。
エハシートを引き伸ばすウエハシート引伸し装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程の１つにペレットボン
ディング工程がある。この工程では、ウエハから１つず
つペレットをピックアップし、その後直接、或いは必要
に応じて位置決めポジションを経由して、上記ペレット
をリードフレームへ移送し、このリードフレームの所定
位置にボンディングする作業が行なわれる。この作業に
用いられるペレットボンディング装置には、ウエハを貼
着したウエハシートを引き伸ばす、例えば特開平4-6855
3 号公報記載の発明のようなウエハシート引伸し装置が
装備されたものがある。
ディング工程がある。この工程では、ウエハから１つず
つペレットをピックアップし、その後直接、或いは必要
に応じて位置決めポジションを経由して、上記ペレット
をリードフレームへ移送し、このリードフレームの所定
位置にボンディングする作業が行なわれる。この作業に
用いられるペレットボンディング装置には、ウエハを貼
着したウエハシートを引き伸ばす、例えば特開平4-6855
3 号公報記載の発明のようなウエハシート引伸し装置が
装備されたものがある。
【０００３】
【０００４】このウエハシート引伸し装置１は、図４に
示すように、エキスパンドリング２の外周にプレスリン
グ３が、上記エキスパンドリング２の軸方向に移動可能
に配設され、ウエハ４が貼着されたウエハシート５を上
記エキスパンドリング２の先端に載置させ、このウエハ
シート５を固着保持したウエハリング６を上記プレスリ
ング３にて押し下げて、エキスパンドリング２によりウ
エハシート５を引き伸ばすものである。ウエハシート５
の引き伸ばしにより、ウエハ４がダイシングされて多数
形成されたペレット７間に隙間が形成され、ペレット７
のピックアップが容易化される。
示すように、エキスパンドリング２の外周にプレスリン
グ３が、上記エキスパンドリング２の軸方向に移動可能
に配設され、ウエハ４が貼着されたウエハシート５を上
記エキスパンドリング２の先端に載置させ、このウエハ
シート５を固着保持したウエハリング６を上記プレスリ
ング３にて押し下げて、エキスパンドリング２によりウ
エハシート５を引き伸ばすものである。ウエハシート５
の引き伸ばしにより、ウエハ４がダイシングされて多数
形成されたペレット７間に隙間が形成され、ペレット７
のピックアップが容易化される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
例では、プレスリング３の押し下げ時に、ウエハシート
５がエキスパンドリング２の先端に直接接触して引き延
されるため、これらのウエハシート５とエキスパンドリ
ング２の先端との間の摩擦抵抗が大きくなり、ウエハシ
ート５を均一に引き伸ばすことができない虞れがある。
例では、プレスリング３の押し下げ時に、ウエハシート
５がエキスパンドリング２の先端に直接接触して引き延
されるため、これらのウエハシート５とエキスパンドリ
ング２の先端との間の摩擦抵抗が大きくなり、ウエハシ
ート５を均一に引き伸ばすことができない虞れがある。
【０００６】この発明は、上述の事情を考慮してなされ
たものであり、ウエハシートを均一に引き伸ばして、ペ
レット間の隙間を最適に確保できるウエハシート引伸し
装置を提供することを目的とする。
たものであり、ウエハシートを均一に引き伸ばして、ペ
レット間の隙間を最適に確保できるウエハシート引伸し
装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、エキスパンド台にエキスパンドリングが形成され、
このエキスパンドリングの外周にプレスリングが、上記
エキスパンドリングの軸方向に相対移動可能に配設さ
れ、ウエハが貼着されたウエハシートを上記エキスパン
ドリングの先端に載置させ、上記プレスリングと上記エ
キスパンドリングの相対移動により上記ウエハシートを
引き伸ばすウエハシート引伸し装置において、上記エキ
スパンドリングの先端に流体流出部が形成されて、上記
ウエハシートと上記エキスパンドリングの先端との間に
流体層を形成可能としたものである。
は、エキスパンド台にエキスパンドリングが形成され、
このエキスパンドリングの外周にプレスリングが、上記
エキスパンドリングの軸方向に相対移動可能に配設さ
れ、ウエハが貼着されたウエハシートを上記エキスパン
ドリングの先端に載置させ、上記プレスリングと上記エ
キスパンドリングの相対移動により上記ウエハシートを
引き伸ばすウエハシート引伸し装置において、上記エキ
スパンドリングの先端に流体流出部が形成されて、上記
ウエハシートと上記エキスパンドリングの先端との間に
流体層を形成可能としたものである。
【０００８】
【作用】従って、この発明に係るウエハシート引伸し装
置によれば、エキスパンドリングの先端に流体を流出す
る流体流出部が形成されて、ウエハシートとエキスパン
ドリングの先端との間に流体層が形成可能とされたの
で、プレスリングとエキスパンドリングの相対移動によ
るウエハシートの引き伸ばしの際、ウエハシートとエキ
スパンドリングとの間の摩擦抵抗を上記流体層によって
極めて低減できる。この結果、ウエハシートを均一に引
き伸ばすことができ、ウエハのペレット間に最適な隙間
を確保することができる。
置によれば、エキスパンドリングの先端に流体を流出す
る流体流出部が形成されて、ウエハシートとエキスパン
ドリングの先端との間に流体層が形成可能とされたの
で、プレスリングとエキスパンドリングの相対移動によ
るウエハシートの引き伸ばしの際、ウエハシートとエキ
スパンドリングとの間の摩擦抵抗を上記流体層によって
極めて低減できる。この結果、ウエハシートを均一に引
き伸ばすことができ、ウエハのペレット間に最適な隙間
を確保することができる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、この発明に係るウエハシート引伸し装
置の一実施例を示す斜視図である。図２は、図１のウエ
ハシート引伸し装置の縦断面図である。図３は、図１の
エキスパンド台を示す平面図である。
明する。図１は、この発明に係るウエハシート引伸し装
置の一実施例を示す斜視図である。図２は、図１のウエ
ハシート引伸し装置の縦断面図である。図３は、図１の
エキスパンド台を示す平面図である。
【００１０】先ず、ウエハ１１は、図１及び図２に示す
ように、ウエハシート１２に貼着され、このウエハシー
ト１２がウエハリング１３にて固着保持される。ウエハ
１１は、ウエハシート引伸し装置１０に搬入される前段
階でダイシングされて、多数のペレット１４に分割され
ている。ウエハシート引伸し装置１０は、ウエハシート
１２を引き伸ばして、多数のペレット１４間に適切な隙
間１５を形成し、コレット１６等を用いて各ペレット１
４を取り出し易くするものである。
ように、ウエハシート１２に貼着され、このウエハシー
ト１２がウエハリング１３にて固着保持される。ウエハ
１１は、ウエハシート引伸し装置１０に搬入される前段
階でダイシングされて、多数のペレット１４に分割され
ている。ウエハシート引伸し装置１０は、ウエハシート
１２を引き伸ばして、多数のペレット１４間に適切な隙
間１５を形成し、コレット１６等を用いて各ペレット１
４を取り出し易くするものである。
【００１１】上記ウエハシート引伸し装置１０は、エキ
スパンドリング１７を備えたエキスパンド台１８、プレ
スリング１９、ストッパ爪２０及び空気供給系２１を有
して構成される。
スパンドリング１７を備えたエキスパンド台１８、プレ
スリング１９、ストッパ爪２０及び空気供給系２１を有
して構成される。
【００１２】エキスパンドリング１７は、エキスパンド
台１８の内周部分に円筒形状に立設して構成され、先端
１７Ａにてウエハシート１２を支持可能とする。また、
プレスリング１９はリング形状であり、エキスパンドリ
ング１７の外周に配置されて、エキスパンドリング１７
の軸方向に移動可能に配設される。このプレスリング１
９は、ウエハシート１２がエキスパンドリング１７の先
端にて支持されたとき、ウエハリング１３を押し下げ可
能とする。
台１８の内周部分に円筒形状に立設して構成され、先端
１７Ａにてウエハシート１２を支持可能とする。また、
プレスリング１９はリング形状であり、エキスパンドリ
ング１７の外周に配置されて、エキスパンドリング１７
の軸方向に移動可能に配設される。このプレスリング１
９は、ウエハシート１２がエキスパンドリング１７の先
端にて支持されたとき、ウエハリング１３を押し下げ可
能とする。
【００１３】ストッパ爪２０は、不図示のばねによって
支持される等により直立状にフローティング支持される
もので、エキスパンド台１８において、エキスパンドリ
ング１７の外周に適宜間隔で設置される。このストッパ
爪２０は、プレスリング１９の上面に当接して、引き伸
ばし状態にあるウエハシート１２（後述）からの反発力
によりプレスリング１９が浮き上がることを防止する。
また、エキスパンド台１８には、プレスリング１９がエ
キスパンドリング１７の外周に配置されたときの直下位
置に弾性支持体２２が埋設されて、プレスリング１９に
より押し下げられるウエハリング１３の位置決めがなさ
れる。
支持される等により直立状にフローティング支持される
もので、エキスパンド台１８において、エキスパンドリ
ング１７の外周に適宜間隔で設置される。このストッパ
爪２０は、プレスリング１９の上面に当接して、引き伸
ばし状態にあるウエハシート１２（後述）からの反発力
によりプレスリング１９が浮き上がることを防止する。
また、エキスパンド台１８には、プレスリング１９がエ
キスパンドリング１７の外周に配置されたときの直下位
置に弾性支持体２２が埋設されて、プレスリング１９に
より押し下げられるウエハリング１３の位置決めがなさ
れる。
【００１４】さて、エキスパンドリング１７の先端１７
Ａには、図２及び図３に示すように、流体供給部として
の空気流出口２３が多数穿設される。この空気流出口２
３は、エキスパンドリング１７の周方向全周に渡って形
成される。上記空気供給系２１は、これらの空気流出口
２３へ空気を供給するものであり、コンプレッサ２４及
び電磁弁２５を備えて構成される。電磁弁２５のＯＮ作
動により、コンプレッサ２４から空気流出口２３へ空気
が供給され、エキスパンドリング１７の先端１７Ａに支
持されたウエハシート１２とこの先端１７Ａとの間に、
流体層としての空気層２６が形成可能とされる。電磁弁
２５のＯＦＦ作動により、空気流出口２３への空気の供
給が遮断される。
Ａには、図２及び図３に示すように、流体供給部として
の空気流出口２３が多数穿設される。この空気流出口２
３は、エキスパンドリング１７の周方向全周に渡って形
成される。上記空気供給系２１は、これらの空気流出口
２３へ空気を供給するものであり、コンプレッサ２４及
び電磁弁２５を備えて構成される。電磁弁２５のＯＮ作
動により、コンプレッサ２４から空気流出口２３へ空気
が供給され、エキスパンドリング１７の先端１７Ａに支
持されたウエハシート１２とこの先端１７Ａとの間に、
流体層としての空気層２６が形成可能とされる。電磁弁
２５のＯＦＦ作動により、空気流出口２３への空気の供
給が遮断される。
【００１５】次に、作用・効果を説明する。先ず、ウエ
ハ１１を貼着したウエハシート１２を、ウエハシート引
伸し装置１０のエキスパンドリング１７における先端１
７Ａ上に載置させる。次に、ウエハシート１２を保持し
たウエハリング１３の上面にプレスリング１９を載置す
る。その後、電磁弁２５をＯＮ作動させて、エキスパン
ドリング１７の先端１７Ａとウエハシート１２との間に
空気層２６を形成する。
ハ１１を貼着したウエハシート１２を、ウエハシート引
伸し装置１０のエキスパンドリング１７における先端１
７Ａ上に載置させる。次に、ウエハシート１２を保持し
たウエハリング１３の上面にプレスリング１９を載置す
る。その後、電磁弁２５をＯＮ作動させて、エキスパン
ドリング１７の先端１７Ａとウエハシート１２との間に
空気層２６を形成する。
【００１６】この状態で、プレスリング１９に手動エキ
スパンド力を付与してこのプレスリング１９を押し下
げ、ウエハシート１２を引き延ばす。その後、プレスリ
ング１９をストッパ爪２０にて浮き上がりを防止させ、
ウエハシート１２を引き延ばし状態に維持する。上記電
磁弁２５のＯＮ作動は、プレスリング１９によるウエハ
シート１２の引き伸ばし開始時から引き伸ばし終了時ま
での間少なくとも実施される。
スパンド力を付与してこのプレスリング１９を押し下
げ、ウエハシート１２を引き延ばす。その後、プレスリ
ング１９をストッパ爪２０にて浮き上がりを防止させ、
ウエハシート１２を引き延ばし状態に維持する。上記電
磁弁２５のＯＮ作動は、プレスリング１９によるウエハ
シート１２の引き伸ばし開始時から引き伸ばし終了時ま
での間少なくとも実施される。
【００１７】上記実施例によれば、エキスパンドリング
１７の先端１７Ａに、空気を流出する空気流出口２３が
形成されて、ウエハシート１２とエキスパンドリング１
７の先端１７Ａとの間に空気層２６が形成可能とされた
ので、ウエハリング１３がプレスリング１９によって押
し下げられたとき、ウエハシート１２とエキスパンドリ
ング１７との間の摩擦抵抗を上記流体層２６によって極
めて低減できる。この結果、ウエハシート１２を均一に
引き伸ばすことができ、ウエハ１１のペレット１４間に
最適な隙間１５を確保することができる。
１７の先端１７Ａに、空気を流出する空気流出口２３が
形成されて、ウエハシート１２とエキスパンドリング１
７の先端１７Ａとの間に空気層２６が形成可能とされた
ので、ウエハリング１３がプレスリング１９によって押
し下げられたとき、ウエハシート１２とエキスパンドリ
ング１７との間の摩擦抵抗を上記流体層２６によって極
めて低減できる。この結果、ウエハシート１２を均一に
引き伸ばすことができ、ウエハ１１のペレット１４間に
最適な隙間１５を確保することができる。
【００１８】尚、上記実施例では、流体流出部が空気流
出口２３の場合を述べたが、エキスパンドリング１７の
周方向に延びる空気流出溝であっても良い。また流出す
る流体は、空気以外の不活性ガス等の気体であっても良
い。
出口２３の場合を述べたが、エキスパンドリング１７の
周方向に延びる空気流出溝であっても良い。また流出す
る流体は、空気以外の不活性ガス等の気体であっても良
い。
【００１９】また、ウエハシート１２の引き伸ばしに際
し、プレスリング１９を手動にてエキスバンドリング１
７の軸方向に移動させる場合を述べたが、プレスリング
１９をシリンダ等の駆動源により移動させるようにして
も良い。更に、プレスリング１９を移動させる代わり
に、エキスパンド台１８を移動させるようにしても良
い。
し、プレスリング１９を手動にてエキスバンドリング１
７の軸方向に移動させる場合を述べたが、プレスリング
１９をシリンダ等の駆動源により移動させるようにして
も良い。更に、プレスリング１９を移動させる代わり
に、エキスパンド台１８を移動させるようにしても良
い。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、この発明に係るウエハシ
ート引伸し装置によれば、ウエハシートを均一に引き伸
ばして、ペレット間の隙間を最適に確保できる。
ート引伸し装置によれば、ウエハシートを均一に引き伸
ばして、ペレット間の隙間を最適に確保できる。
【図１】図１は、この発明に係るウエハシート引伸し装
置の一実施例を示す斜視図である。
置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のウエハシート引伸し装置の縦断
面図である。
面図である。
【図３】図３は、図１のエキスパンド台を示す平面図で
ある。
ある。
【図４】図４は、従来のウエハシート引伸し装置を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
１０ ウエハシート引伸し装置 １１ ウエハ １２ ウエハシート １３ ウエハリング １４ ペレット １５ 隙間 １７ エキスパンドリング １８ エキスパンド台 １９ プレスリング ２１ 空気供給系 ２３ 空気流出口 ２６ 空気層
Claims (2)
- 【請求項１】 エキスパンド台にエキスパンドリングが
形成され、このエキスパンドリングの外周にプレスリン
グが、上記エキスパンドリングの軸方向に相対移動可能
に配設され、ウエハが貼着されたウエハシートを上記エ
キスパンドリングの先端に載置させ、上記プレスリング
と上記エキスパンドリングの相対移動により上記ウエハ
シートを引き伸ばすウエハシート引伸し装置において、
上記エキスパンドリングの先端に流体流出部が形成され
て、上記ウエハシートと上記エキスパンドリングの先端
との間に流体層を形成可能としたことを特徴とするウエ
ハシート引伸し装置。 - 【請求項２】 上記流体流出部は、エキスパンドリング
の先端に開設された空気流出口である請求項１に記載の
ウエハシート引伸し装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4333694A JP3248647B2 (ja) | 1994-02-18 | 1994-02-18 | ウエハシート引伸し装置 |
| KR1019940026743A KR0163366B1 (ko) | 1993-11-26 | 1994-10-19 | 펠레트 본딩장치 |
| US08/326,492 US5516026A (en) | 1993-11-26 | 1994-10-20 | Pellet bonding apparatus |
| TW083110288A TW253073B (ja) | 1993-11-26 | 1994-11-07 | |
| GB9423244A GB2284302B (en) | 1993-11-26 | 1994-11-17 | Pellet bonding apparatus |
| HK98104236A HK1005215A1 (en) | 1993-11-26 | 1998-05-15 | Pellet bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4333694A JP3248647B2 (ja) | 1994-02-18 | 1994-02-18 | ウエハシート引伸し装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07231003A true JPH07231003A (ja) | 1995-08-29 |
| JP3248647B2 JP3248647B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=12661002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4333694A Expired - Fee Related JP3248647B2 (ja) | 1993-11-26 | 1994-02-18 | ウエハシート引伸し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3248647B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010056207A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Canon Machinery Inc | エキスパンド装置 |
| US7887665B2 (en) | 2002-10-28 | 2011-02-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Expanding method and expanding device |
| US7886798B2 (en) | 2002-10-28 | 2011-02-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Expanding method and expanding device |
| JP2015067456A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 三星テクウィン株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｔｅｃｈｗｉｎ Ｃｏ．， Ｌｔｄ | 部品積載装置 |
| KR20170045704A (ko) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 한화테크윈 주식회사 | 부품 적재 장치 |
| JP2019179848A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | リンテック株式会社 | 離間装置および離間方法 |
-
1994
- 1994-02-18 JP JP4333694A patent/JP3248647B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7887665B2 (en) | 2002-10-28 | 2011-02-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Expanding method and expanding device |
| US7886798B2 (en) | 2002-10-28 | 2011-02-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Expanding method and expanding device |
| JP2010056207A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Canon Machinery Inc | エキスパンド装置 |
| JP2015067456A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 三星テクウィン株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｔｅｃｈｗｉｎ Ｃｏ．， Ｌｔｄ | 部品積載装置 |
| KR20170045704A (ko) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 한화테크윈 주식회사 | 부품 적재 장치 |
| JP2019179848A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | リンテック株式会社 | 離間装置および離間方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3248647B2 (ja) | 2002-01-21 |
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