JPH1171656A - 電磁シールド用網および電磁シールド用シート - Google Patents
電磁シールド用網および電磁シールド用シートInfo
- Publication number
- JPH1171656A JPH1171656A JP24993397A JP24993397A JPH1171656A JP H1171656 A JPH1171656 A JP H1171656A JP 24993397 A JP24993397 A JP 24993397A JP 24993397 A JP24993397 A JP 24993397A JP H1171656 A JPH1171656 A JP H1171656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atomic
- electromagnetic shielding
- δtx
- soft magnetic
- metallic glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価で取り扱いやすく長期安定性に優れた電
磁波のシールド材を提供する。 【解決手段】 本発明の電磁シールド用網および電磁シ
ールド用シートは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種また
は２種以上の元素を主成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上の元素とＢを含
み、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温
度、Ｔｇはガラス遷移温度を示す）の式で表される過冷
却液体領域の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上である軟磁性
金属ガラス合金からなる。
磁波のシールド材を提供する。 【解決手段】 本発明の電磁シールド用網および電磁シ
ールド用シートは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種また
は２種以上の元素を主成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上の元素とＢを含
み、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温
度、Ｔｇはガラス遷移温度を示す）の式で表される過冷
却液体領域の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上である軟磁性
金属ガラス合金からなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器から
の電磁波の漏洩放射を抑制するための電磁シールドに関
し、特に網状あるいはシート状に加工された電磁シール
ドに関する。
の電磁波の漏洩放射を抑制するための電磁シールドに関
し、特に網状あるいはシート状に加工された電磁シール
ドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体技術の著しい進歩に伴い、
電子機器のさらなる小型化、薄型化が進行することで、
電子部品間の距離は狭まり、筐体内に電子部品が一杯に
詰め込まれるようになってきている。このため、例えば
電子機器内のスイッチング素子などから発生する電磁波
が、他の素子を誤動作させる、あるいは筐体の外まで漏
洩し、人体に悪影響を与えるなどとして問題となってい
る。
電子機器のさらなる小型化、薄型化が進行することで、
電子部品間の距離は狭まり、筐体内に電子部品が一杯に
詰め込まれるようになってきている。このため、例えば
電子機器内のスイッチング素子などから発生する電磁波
が、他の素子を誤動作させる、あるいは筐体の外まで漏
洩し、人体に悪影響を与えるなどとして問題となってい
る。
【０００３】これまでに、電磁波吸収能力のある磁性金
属もしくはそれと同等の性能を有する磁性材料を利用し
て、以下のような試みが行われてきた。 これらの磁性材料を用いて電子機器筐体を構成する
ことにより、電子機器内から発生する電磁波の拡散を防
止する。 粉末形状あるいは短繊維形状をしたこれらの磁性材
料をプラスチックなどに分散させて電子機器筐体を構成
することにより、電子機器内から発生する電磁波の拡散
を防止する。 これらの磁性材料を細線状に加工した後、金網状に
織布してシールド網を作成し、電子機器筐体内壁面に配
置して電子機器内から発生する電磁波の拡散を防止す
る。
属もしくはそれと同等の性能を有する磁性材料を利用し
て、以下のような試みが行われてきた。 これらの磁性材料を用いて電子機器筐体を構成する
ことにより、電子機器内から発生する電磁波の拡散を防
止する。 粉末形状あるいは短繊維形状をしたこれらの磁性材
料をプラスチックなどに分散させて電子機器筐体を構成
することにより、電子機器内から発生する電磁波の拡散
を防止する。 これらの磁性材料を細線状に加工した後、金網状に
織布してシールド網を作成し、電子機器筐体内壁面に配
置して電子機器内から発生する電磁波の拡散を防止す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の対策は、電子機
器内から発生する電磁波の筐体外への拡散を防止すると
いう観点からのものであるので、筐体内に閉じこめられ
た電磁波が他の電子部品へ悪影響を及ぼすという恐れが
あった。これまで、電磁波のシールド材としてはパーマ
ロイという金属が多く使われてきた。パーマロイはニッ
ケルと鉄との合金で、透磁率が大きいという特徴を有し
ており、電磁波のシールド材として適しているが、高価
で取り扱いが難しく経年変化をおこしてしまうという問
題点があった。上記の点に鑑み、本発明は、安価で取り
扱いやすく長期安定性に優れた電磁波のシールド材を提
供することを目的とする。
器内から発生する電磁波の筐体外への拡散を防止すると
いう観点からのものであるので、筐体内に閉じこめられ
た電磁波が他の電子部品へ悪影響を及ぼすという恐れが
あった。これまで、電磁波のシールド材としてはパーマ
ロイという金属が多く使われてきた。パーマロイはニッ
ケルと鉄との合金で、透磁率が大きいという特徴を有し
ており、電磁波のシールド材として適しているが、高価
で取り扱いが難しく経年変化をおこしてしまうという問
題点があった。上記の点に鑑み、本発明は、安価で取り
扱いやすく長期安定性に優れた電磁波のシールド材を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電磁シール
ド用網は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種または２種以
上の元素を主成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏ
のうちの１種または２種以上の元素とＢを含み、ΔＴｘ
＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇはガ
ラス遷移温度を示す）の式で表される過冷却液体領域の
温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上である軟磁性金属ガラス合
金からなることを特徴とする。また、本発明に係る電磁
シールド用網は、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ
下記の組成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなる
ことを特徴とする。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-yＭxＢy 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％であ
り、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種ま
たは２種以上からなる元素である。
ド用網は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種または２種以
上の元素を主成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏ
のうちの１種または２種以上の元素とＢを含み、ΔＴｘ
＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇはガ
ラス遷移温度を示す）の式で表される過冷却液体領域の
温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上である軟磁性金属ガラス合
金からなることを特徴とする。また、本発明に係る電磁
シールド用網は、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ
下記の組成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなる
ことを特徴とする。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-yＭxＢy 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％であ
り、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種ま
たは２種以上からなる元素である。
【０００６】さらに、本発明に係る電磁シールド用網
は、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下記の組成式
で表される軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴と
する。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-y-zＭxＢyＴz 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％、０原
子％≦ｚ≦５原子％であり、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上からなる元素、Ｔ
はＣｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上か
らなる元素である。これらのような軟磁性金属ガラス合
金からなる電磁シールド用網は、充分な透磁率と高い飽
和磁束密度を有しており、電磁波吸収能力に優れてい
る。
は、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下記の組成式
で表される軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴と
する。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-y-zＭxＢyＴz 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％、０原
子％≦ｚ≦５原子％であり、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上からなる元素、Ｔ
はＣｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上か
らなる元素である。これらのような軟磁性金属ガラス合
金からなる電磁シールド用網は、充分な透磁率と高い飽
和磁束密度を有しており、電磁波吸収能力に優れてい
る。
【０００７】本発明に係る電磁シールド用シートは、Ｆ
ｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の元素を主
成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種
または２種以上の元素とＢを含み、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ
（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇはガラス遷移温度
を示す）の式で表される過冷却液体領域の温度間隔ΔＴ
ｘが２０Ｋ以上である軟磁性金属ガラス合金からなるこ
とを特徴とする。また、本発明に係る電磁シールド用シ
ートは、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下記の組
成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなることを特
徴とする。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-yＭxＢy 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％であ
り、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種ま
たは２種以上からなる元素である。
ｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の元素を主
成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種
または２種以上の元素とＢを含み、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ
（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇはガラス遷移温度
を示す）の式で表される過冷却液体領域の温度間隔ΔＴ
ｘが２０Ｋ以上である軟磁性金属ガラス合金からなるこ
とを特徴とする。また、本発明に係る電磁シールド用シ
ートは、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下記の組
成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなることを特
徴とする。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-yＭxＢy 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％であ
り、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種ま
たは２種以上からなる元素である。
【０００８】さらに、本発明に係る電磁シールド用シー
トは、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下記の組成
式で表される軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴
とする。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-y-zＭxＢyＴz 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％、０原
子％≦ｚ≦５原子％であり、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上からなる元素、Ｔ
はＣｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上か
らなる元素である。これらのような軟磁性金属ガラス合
金からなる電磁シールド用シートは、充分な透磁率と高
い飽和磁束密度を有しており、電磁波吸収能力に優れて
いる。
トは、前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下記の組成
式で表される軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴
とする。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-y-zＭxＢyＴz 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％、０原
子％≦ｚ≦５原子％であり、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上からなる元素、Ｔ
はＣｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上か
らなる元素である。これらのような軟磁性金属ガラス合
金からなる電磁シールド用シートは、充分な透磁率と高
い飽和磁束密度を有しており、電磁波吸収能力に優れて
いる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面により本発明について
詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態例のみに
限定されるものではない。図１は、本発明の電磁シール
ド用網の実施形態例を示す平面図である。このような電
磁シールド用網を製造するには、まず前記組成範囲から
なる合金を用いて細線を作成し、次いでこの細線を網状
に織って織布１とすることが好ましい。ここで、細線を
形成するには、溶融金属をノズルから冷却流体中に噴射
して冷却固化する方法、液体冷却媒体を回転ドラムの中
に入れ、ドラムを回転させることでドラム内壁に液体層
を形成させ、ここに溶融金属を噴射して冷却固化する方
法などを例示することができる。これらの方法によれ
ば、円形の断面形状を有する細線が得られるが、本発明
においては細線の断面形状は円形でなくても差し支えな
い。得られた電磁シールド用網は、例えば電子機器の筐
体の内側全面に貼付する、あるいは積層状態に配置され
た基板と基板の間に配設するなどの態様で使用すること
ができる。
詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態例のみに
限定されるものではない。図１は、本発明の電磁シール
ド用網の実施形態例を示す平面図である。このような電
磁シールド用網を製造するには、まず前記組成範囲から
なる合金を用いて細線を作成し、次いでこの細線を網状
に織って織布１とすることが好ましい。ここで、細線を
形成するには、溶融金属をノズルから冷却流体中に噴射
して冷却固化する方法、液体冷却媒体を回転ドラムの中
に入れ、ドラムを回転させることでドラム内壁に液体層
を形成させ、ここに溶融金属を噴射して冷却固化する方
法などを例示することができる。これらの方法によれ
ば、円形の断面形状を有する細線が得られるが、本発明
においては細線の断面形状は円形でなくても差し支えな
い。得られた電磁シールド用網は、例えば電子機器の筐
体の内側全面に貼付する、あるいは積層状態に配置され
た基板と基板の間に配設するなどの態様で使用すること
ができる。
【００１０】図２は、本発明の電磁シールド用シートの
実施形態の一例を示す斜視図である。本実施形態におい
ては、前記電磁シールド用網の製造において得られた細
線２を可撓性フィルム３などに並設状態に固定すること
で、電磁シールド用シートを得ることができる。得られ
た電磁シールド用シートは、例えば電子機器の筐体の内
面に貼付する、あるいは積層状態などに配置された基板
と基板の間に配設するなどの態様で使用することができ
る。
実施形態の一例を示す斜視図である。本実施形態におい
ては、前記電磁シールド用網の製造において得られた細
線２を可撓性フィルム３などに並設状態に固定すること
で、電磁シールド用シートを得ることができる。得られ
た電磁シールド用シートは、例えば電子機器の筐体の内
面に貼付する、あるいは積層状態などに配置された基板
と基板の間に配設するなどの態様で使用することができ
る。
【００１１】図３は、本発明の電磁シールド用シートの
実施形態の他の例を示す斜視図である。このような電磁
シールド用シート４を製造するには、例えば前記組成範
囲からなる合金を粉末状とし、次いでこの合金粉末を樹
脂などに分散させ、これをシート状に加工してもよい
し、後述する放電プラズマ焼結法により合金粉末を成型
してもよい。この時、好適に使用される樹脂としては、
ＰＥＴ樹脂、ＡＢＳ樹脂、メタクリル樹脂などを例示す
ることができる。
実施形態の他の例を示す斜視図である。このような電磁
シールド用シート４を製造するには、例えば前記組成範
囲からなる合金を粉末状とし、次いでこの合金粉末を樹
脂などに分散させ、これをシート状に加工してもよい
し、後述する放電プラズマ焼結法により合金粉末を成型
してもよい。この時、好適に使用される樹脂としては、
ＰＥＴ樹脂、ＡＢＳ樹脂、メタクリル樹脂などを例示す
ることができる。
【００１２】本発明の電磁シールド用シートは、平面状
のまま使用することもできるし、箱型などの立体的な形
状に加工して使用することもできる。図４は、本発明の
電磁シールド用シートの実施形態の別の例を示す斜視図
である。これは、上記の電磁シールド用シートを箱型に
組み上げたものであり、この箱５を例えばＬＳＩなどの
電子部品を覆うようにかぶせることで、ＬＳＩから電磁
波が放出されてもこれをシールドすることができるとと
もに、他の電子部品から放出される電磁波からＬＳＩを
保護することもできる。このように個々の電子部品を覆
う場合、本発明の電磁シールド用シートをそれぞれの電
子部品に適した形状に加工することで対応することがで
きる。
のまま使用することもできるし、箱型などの立体的な形
状に加工して使用することもできる。図４は、本発明の
電磁シールド用シートの実施形態の別の例を示す斜視図
である。これは、上記の電磁シールド用シートを箱型に
組み上げたものであり、この箱５を例えばＬＳＩなどの
電子部品を覆うようにかぶせることで、ＬＳＩから電磁
波が放出されてもこれをシールドすることができるとと
もに、他の電子部品から放出される電磁波からＬＳＩを
保護することもできる。このように個々の電子部品を覆
う場合、本発明の電磁シールド用シートをそれぞれの電
子部品に適した形状に加工することで対応することがで
きる。
【００１３】次に、本発明の電磁シールド用シートの、
放電プラズマ焼結法による成型について説明する。図５
は、放電プラズマ焼結装置の一例の要部を示すもので、
この例の放電プラズマ焼結装置は、筒型のダイ１１と、
このダイ１１の内部に挿入される上パンチ１２および下
パンチ１３と、下パンチ１３を支え、後述するパルス電
流を流す際の一方の電極ともなるパンチ電極１４と、上
パンチ１２を下側に押圧し、パルス電流を流す他方の電
極となるパンチ電極１５と、上下のパンチ１２、１３に
挟まれた粉末原料１６の温度を測定する熱電対１７を主
体として構成されている。
放電プラズマ焼結法による成型について説明する。図５
は、放電プラズマ焼結装置の一例の要部を示すもので、
この例の放電プラズマ焼結装置は、筒型のダイ１１と、
このダイ１１の内部に挿入される上パンチ１２および下
パンチ１３と、下パンチ１３を支え、後述するパルス電
流を流す際の一方の電極ともなるパンチ電極１４と、上
パンチ１２を下側に押圧し、パルス電流を流す他方の電
極となるパンチ電極１５と、上下のパンチ１２、１３に
挟まれた粉末原料１６の温度を測定する熱電対１７を主
体として構成されている。
【００１４】図７に、前記放電プラズマ焼結装置の全体
構造を示す。図７に示す放電プラズマ焼結装置２０は、
住友石炭工業株式会社製のモデルＳＰＳ−２０５０と称
される放電プラズマ焼結機の一種であり、図５に示す構
造を要部とするものである。図７に示す装置において
は、上部基盤２１と下部基盤２２を有し、上部基盤２１
に接してチャンバ２３が設けられ、このチャンバ２３の
内部に図６に示す構造の大部分が収納されて構成され、
このチャンバ２３は図示略の真空排気装置および雰囲気
ガスの供給装置に接続されていて、上下のパンチ１２、
１３の間に充填される原料粉末（粉粒体）１６を不活性
ガス雰囲気などの所望の雰囲気下に保持できるように構
成されている。なお、図５と図７では通電装置が省略さ
れているが、上下のパンチ１２、１３およびパンチ電極
１４、１５は別途設けた通電装置が接続されていて、こ
の通電装置から図６に示すようなパルス電流を上下のパ
ンチ１２、１３を介して通電できるように構成されてい
る。
構造を示す。図７に示す放電プラズマ焼結装置２０は、
住友石炭工業株式会社製のモデルＳＰＳ−２０５０と称
される放電プラズマ焼結機の一種であり、図５に示す構
造を要部とするものである。図７に示す装置において
は、上部基盤２１と下部基盤２２を有し、上部基盤２１
に接してチャンバ２３が設けられ、このチャンバ２３の
内部に図６に示す構造の大部分が収納されて構成され、
このチャンバ２３は図示略の真空排気装置および雰囲気
ガスの供給装置に接続されていて、上下のパンチ１２、
１３の間に充填される原料粉末（粉粒体）１６を不活性
ガス雰囲気などの所望の雰囲気下に保持できるように構
成されている。なお、図５と図７では通電装置が省略さ
れているが、上下のパンチ１２、１３およびパンチ電極
１４、１５は別途設けた通電装置が接続されていて、こ
の通電装置から図６に示すようなパルス電流を上下のパ
ンチ１２、１３を介して通電できるように構成されてい
る。
【００１５】前記記載の放電プラズマ焼結装置を用いて
電磁シールド用シートを製造するには、成型用の原料粉
末を用意する必要がある。この原料粉末は、所定の組成
の合金を、溶製してから鋳造法により、あるいは単ロー
ルもしくは双ロールによる急冷法によって、さらには液
中紡糸法や溶液抽出法によって、あるいは高圧ガス噴霧
法によって、バルク状、リボン状、線状体、粉末状など
の種々の形状として製造する工程と、粉末状以外のもの
は粉砕して粉末化する工程により得られる。
電磁シールド用シートを製造するには、成型用の原料粉
末を用意する必要がある。この原料粉末は、所定の組成
の合金を、溶製してから鋳造法により、あるいは単ロー
ルもしくは双ロールによる急冷法によって、さらには液
中紡糸法や溶液抽出法によって、あるいは高圧ガス噴霧
法によって、バルク状、リボン状、線状体、粉末状など
の種々の形状として製造する工程と、粉末状以外のもの
は粉砕して粉末化する工程により得られる。
【００１６】次に、前記組成の原料粉末１６を図５ある
いは図７に示す放電プラズマ焼結装置の上下のパンチ１
２、１３の間に投入し、チャンバ２３の内部を真空引き
するとともに、上下のパンチ１２、１３で上下から圧力
を加えて成型すると同時に、例えば図６に示すようなパ
ルス電流を原料粉末に印加して加熱し、成型する。この
放電プラズマ焼結処理においては、通電電流により原料
粉末を所定の速度で素早く昇温することができ、また、
通電電流の値に応じて原料粉末１６の温度を厳格に管理
できるので、ヒータによる加熱などよりも遥かに正確に
温度管理ができ、これによりあらかじめ設計した通りの
理想に近い条件で焼結ができる。
いは図７に示す放電プラズマ焼結装置の上下のパンチ１
２、１３の間に投入し、チャンバ２３の内部を真空引き
するとともに、上下のパンチ１２、１３で上下から圧力
を加えて成型すると同時に、例えば図６に示すようなパ
ルス電流を原料粉末に印加して加熱し、成型する。この
放電プラズマ焼結処理においては、通電電流により原料
粉末を所定の速度で素早く昇温することができ、また、
通電電流の値に応じて原料粉末１６の温度を厳格に管理
できるので、ヒータによる加熱などよりも遥かに正確に
温度管理ができ、これによりあらかじめ設計した通りの
理想に近い条件で焼結ができる。
【００１７】「組成限定理由」本発明に好適に用いられ
る軟磁性金属ガラス合金の組成系において、主成分であ
るＦｅとＣｏとＮｉは磁性を担う元素であり、高い飽和
磁束密度と優れた軟磁気特性を得るために重要である。
また、Ｆｅを多く含む成分系においてΔＴｘが大きくな
りやすく、Ｆｅを多く含む成分系においてＣｏ含有量と
Ｎｉ含有量を適正な値とすることで、ΔＴｘの値を６０
Ｋ以上にすることができる。具体的には、５０Ｋないし
６０ＫのΔＴｘを確実に得るためには、Ｃｏの組成比を
示すａの値を０≦ａ≦０．２９、Ｎｉの組成比を示すｂ
の値を０≦ｂ≦０．４３の範囲、６０Ｋ以上のΔＴｘを
確実に得るためには、Ｃｏの組成比を示すａの値を０．
０４２≦ａ≦０．２９、Ｎｉの組成比を示すｂの値を
０．０４２≦ｂ≦０．４３の範囲とすることが好まし
い。また、前記の範囲内において、良好な軟磁気特性を
得るためには、Ｃｏの組成比を示すａの値を０．０４２
≦ａ≦０．２５の範囲とすることが好ましく、高い飽和
磁束密度を得るためには、Ｎｉの組成比を示すｂの値を
０．０４２≦ｂ≦０．１の範囲とすることがより好まし
い。
る軟磁性金属ガラス合金の組成系において、主成分であ
るＦｅとＣｏとＮｉは磁性を担う元素であり、高い飽和
磁束密度と優れた軟磁気特性を得るために重要である。
また、Ｆｅを多く含む成分系においてΔＴｘが大きくな
りやすく、Ｆｅを多く含む成分系においてＣｏ含有量と
Ｎｉ含有量を適正な値とすることで、ΔＴｘの値を６０
Ｋ以上にすることができる。具体的には、５０Ｋないし
６０ＫのΔＴｘを確実に得るためには、Ｃｏの組成比を
示すａの値を０≦ａ≦０．２９、Ｎｉの組成比を示すｂ
の値を０≦ｂ≦０．４３の範囲、６０Ｋ以上のΔＴｘを
確実に得るためには、Ｃｏの組成比を示すａの値を０．
０４２≦ａ≦０．２９、Ｎｉの組成比を示すｂの値を
０．０４２≦ｂ≦０．４３の範囲とすることが好まし
い。また、前記の範囲内において、良好な軟磁気特性を
得るためには、Ｃｏの組成比を示すａの値を０．０４２
≦ａ≦０．２５の範囲とすることが好ましく、高い飽和
磁束密度を得るためには、Ｎｉの組成比を示すｂの値を
０．０４２≦ｂ≦０．１の範囲とすることがより好まし
い。
【００１８】ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうち
の１種または２種以上からなる元素である。これらは非
晶質を生成させるために有効な元素であり、５原子％以
上２０原子％以下であると良い。さらに、高い磁気特性
を得るためには、より好ましくは５原子％以上１５原子
％以下にすると良い。これら元素Ｍのうち、特にＺｒが
有効である。Ｚｒは、その一部をＮｂなどの元素と置換
することができる。
の１種または２種以上からなる元素である。これらは非
晶質を生成させるために有効な元素であり、５原子％以
上２０原子％以下であると良い。さらに、高い磁気特性
を得るためには、より好ましくは５原子％以上１５原子
％以下にすると良い。これら元素Ｍのうち、特にＺｒが
有効である。Ｚｒは、その一部をＮｂなどの元素と置換
することができる。
【００１９】Ｂは、高い非晶質生成能があり、本発明で
は１０原子％以上２２原子％以下の範囲で添加すること
が好ましい。その理由は、Ｂが１０原子％未満である
と、ΔＴｘが消滅するために好ましくなく、２２原子％
よりも大きくなるとアモルファスが形成できなくなるた
めに好ましくないからである。より高い非晶質形成能と
良好な磁気特性を得るためには、Ｂを１６原子％以上２
０原子％以下の範囲で添加することがより好ましい。
は１０原子％以上２２原子％以下の範囲で添加すること
が好ましい。その理由は、Ｂが１０原子％未満である
と、ΔＴｘが消滅するために好ましくなく、２２原子％
よりも大きくなるとアモルファスが形成できなくなるた
めに好ましくないからである。より高い非晶質形成能と
良好な磁気特性を得るためには、Ｂを１６原子％以上２
０原子％以下の範囲で添加することがより好ましい。
【００２０】前記の組成系にさらに、Ｔで示される、Ｃ
ｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上の元素
を添加することもできる。本発明に好適に用いられる軟
磁性金属ガラス合金においては、これらの元素を０原子
％以上５原子％以下の範囲で添加することができる。こ
れらの元素は主に耐食性を向上させる目的で添加するも
ので、この範囲を外れると軟磁気特性が低下したりガラ
ス形成能が劣化したりするので好ましくない。
ｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上の元素
を添加することもできる。本発明に好適に用いられる軟
磁性金属ガラス合金においては、これらの元素を０原子
％以上５原子％以下の範囲で添加することができる。こ
れらの元素は主に耐食性を向上させる目的で添加するも
ので、この範囲を外れると軟磁気特性が低下したりガラ
ス形成能が劣化したりするので好ましくない。
【００２１】前記組成系の軟磁性金属ガラス合金材を製
造するには、例えば、各成分の元素単体粉末を用意し、
前記組成範囲になるようにこれらの元素単体粉末を混合
し、次いでこの混合粉末をＡｒガスなどの不活性ガス雰
囲気中において、るつぼなどの溶解装置で溶解して所定
組成の合金溶湯を得る。次にこの合金溶湯を単ロール法
を用いて急冷することで、軟磁性金属ガラス合金材を得
ることができる。単ロール法とは、回転している金属ロ
ールに溶湯を吹き付けて急冷し、溶湯を冷却した薄帯状
の金属ガラスを得る方法である。
造するには、例えば、各成分の元素単体粉末を用意し、
前記組成範囲になるようにこれらの元素単体粉末を混合
し、次いでこの混合粉末をＡｒガスなどの不活性ガス雰
囲気中において、るつぼなどの溶解装置で溶解して所定
組成の合金溶湯を得る。次にこの合金溶湯を単ロール法
を用いて急冷することで、軟磁性金属ガラス合金材を得
ることができる。単ロール法とは、回転している金属ロ
ールに溶湯を吹き付けて急冷し、溶湯を冷却した薄帯状
の金属ガラスを得る方法である。
【００２２】この方法を用いて、るつぼのノズル径を
０．４〜０．７ｍｍ、ノズル先端と金属ロール表面との
距離（ギャップ）を０．３〜０．４５ｍｍ、金属ロール
の周速を２．６〜４１．９ｍ／ｓ、射出圧力を０．３２
〜０．４２ｋｇｆ／ｃｍ2の間で適宜調整することによ
り、Ｆｅ56Ｃｏ7Ｎｉ7Ｚｒ4Ｎｂ6Ｂ20なる組成の厚さ２
０μｍ、４０μｍ、１００μｍ、１９５μｍの４種類の
軟磁性金属ガラス合金の試料を製造した。図８にこれら
の試料のＸ線回折パターンを示す。これらの試料はいず
れもハローなパターンとなっており、アモルファス単相
組織を有していることが示された。
０．４〜０．７ｍｍ、ノズル先端と金属ロール表面との
距離（ギャップ）を０．３〜０．４５ｍｍ、金属ロール
の周速を２．６〜４１．９ｍ／ｓ、射出圧力を０．３２
〜０．４２ｋｇｆ／ｃｍ2の間で適宜調整することによ
り、Ｆｅ56Ｃｏ7Ｎｉ7Ｚｒ4Ｎｂ6Ｂ20なる組成の厚さ２
０μｍ、４０μｍ、１００μｍ、１９５μｍの４種類の
軟磁性金属ガラス合金の試料を製造した。図８にこれら
の試料のＸ線回折パターンを示す。これらの試料はいず
れもハローなパターンとなっており、アモルファス単相
組織を有していることが示された。
【００２３】本発明に好適に用いられる軟磁性金属ガラ
ス合金は、アニールを施すことでその特性をさらに向上
させることができる。図９は、Ｆｅ56Ｃｏ7Ｎｉ7Ｚｒ
10-wＮｂwＢ20（ｗ＝０、２、４、６、８、１０原子
％）なる組成の、急冷後の試料および５２７℃（８００
Ｋ）の温度で５分間アニールした試料の飽和磁束密度
（Ｂｓ）、保磁力（Ｈｃ）、１ｋＨｚにおける透磁率
（μｅ）、磁歪（λｓ）のＮｂ含有量依存性を示すグラ
フである。飽和磁束密度（Ｂｓ）は、急冷状態およびア
ニール後の試料ともに、Ｎｂを添加するに従い低下し、
Ｎｂを含まない試料が０．９（Ｔ）以上、Ｎｂを２原子
％含む試料では約０．７５（Ｔ）であった。
ス合金は、アニールを施すことでその特性をさらに向上
させることができる。図９は、Ｆｅ56Ｃｏ7Ｎｉ7Ｚｒ
10-wＮｂwＢ20（ｗ＝０、２、４、６、８、１０原子
％）なる組成の、急冷後の試料および５２７℃（８００
Ｋ）の温度で５分間アニールした試料の飽和磁束密度
（Ｂｓ）、保磁力（Ｈｃ）、１ｋＨｚにおける透磁率
（μｅ）、磁歪（λｓ）のＮｂ含有量依存性を示すグラ
フである。飽和磁束密度（Ｂｓ）は、急冷状態およびア
ニール後の試料ともに、Ｎｂを添加するに従い低下し、
Ｎｂを含まない試料が０．９（Ｔ）以上、Ｎｂを２原子
％含む試料では約０．７５（Ｔ）であった。
【００２４】透磁率（μｅ）の値は、急冷状態の試料に
あっては、Ｎｂを含まない試料が５０３１、Ｎｂを２原
子％含む試料が２２２８であり、Ｎｂを１０原子％含む
試料においては９０６に低下した。しかし、アニールを
施すことにより透磁率（μｅ）は格段に向上し、特にＮ
ｂを２原子％含む試料においては、２５０００程度の透
磁率（μｅ）を得ることができる。保磁力（Ｈｃ）に関
し、急冷状態の試料にあっては、Ｎｂを含まない試料と
Ｎｂを２原子％含む試料はいずれも５Ａ／ｍ（＝０．６
２５（Ｏｅ））と良好な値を示しているが、Ｎｂを４原
子％以上含む試料はいずれも４０ないし４６Ａ／ｍ程度
の値であった。しかし、アニールを施すと、Ｎｂを４原
子％以上含む試料においても優れた保磁力（Ｈｃ）を得
ることが可能となる。磁歪（λｓ）は、Ｎｂの添加量お
よびアニールの有無にあまり影響を受けていないことが
わかる。
あっては、Ｎｂを含まない試料が５０３１、Ｎｂを２原
子％含む試料が２２２８であり、Ｎｂを１０原子％含む
試料においては９０６に低下した。しかし、アニールを
施すことにより透磁率（μｅ）は格段に向上し、特にＮ
ｂを２原子％含む試料においては、２５０００程度の透
磁率（μｅ）を得ることができる。保磁力（Ｈｃ）に関
し、急冷状態の試料にあっては、Ｎｂを含まない試料と
Ｎｂを２原子％含む試料はいずれも５Ａ／ｍ（＝０．６
２５（Ｏｅ））と良好な値を示しているが、Ｎｂを４原
子％以上含む試料はいずれも４０ないし４６Ａ／ｍ程度
の値であった。しかし、アニールを施すと、Ｎｂを４原
子％以上含む試料においても優れた保磁力（Ｈｃ）を得
ることが可能となる。磁歪（λｓ）は、Ｎｂの添加量お
よびアニールの有無にあまり影響を受けていないことが
わかる。
【００２５】以上のように、本発明の電磁シールド用網
および電磁シールド用シートは、充分な透磁率と高い飽
和磁束密度を有する軟磁性金属ガラス合金からなり、電
磁波吸収能力に優れている。本発明の電磁シールド用網
または電磁シールド用シートを、電子機器の筐体の内面
に貼付するなどの態様で使用することで、電子機器から
の電磁波の漏洩を効果的に防止することが可能となる。
また、上述のように本発明の電磁シールド用網もしくは
電磁シールド用シートに使用する軟磁性金属ガラス合金
は、１００μｍ以上と厚くても、あるいは径が太くて
も、単相のアモルファスを得ることができ、磁気特性に
も優れているため、より高い電磁シールド効果が期待で
きる。さらに、本発明の電磁シールド用シートは、前記
の効果に加えて、種々の電子部品に適した形状に加工す
ることで、個々の電子部品を覆うようにすることができ
る。個々の電子部品を覆うことで、電磁波の放出を防ぐ
ことができるとともに、他の電子部品の放出する電磁波
から個々の電子部品を保護することもできる。なお、本
発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものでは
なく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変
更を加えることが可能である。
および電磁シールド用シートは、充分な透磁率と高い飽
和磁束密度を有する軟磁性金属ガラス合金からなり、電
磁波吸収能力に優れている。本発明の電磁シールド用網
または電磁シールド用シートを、電子機器の筐体の内面
に貼付するなどの態様で使用することで、電子機器から
の電磁波の漏洩を効果的に防止することが可能となる。
また、上述のように本発明の電磁シールド用網もしくは
電磁シールド用シートに使用する軟磁性金属ガラス合金
は、１００μｍ以上と厚くても、あるいは径が太くて
も、単相のアモルファスを得ることができ、磁気特性に
も優れているため、より高い電磁シールド効果が期待で
きる。さらに、本発明の電磁シールド用シートは、前記
の効果に加えて、種々の電子部品に適した形状に加工す
ることで、個々の電子部品を覆うようにすることができ
る。個々の電子部品を覆うことで、電磁波の放出を防ぐ
ことができるとともに、他の電子部品の放出する電磁波
から個々の電子部品を保護することもできる。なお、本
発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものでは
なく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変
更を加えることが可能である。
【００２６】
【発明の効果】上述のごとく、本発明の電磁シールド用
網および電磁シールド用シートは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの
うちの１種または２種以上の元素を主成分とし、Ｚｒ、
Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上の
元素とＢを含み、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結
晶化開始温度、Ｔｇはガラス遷移温度を示す）の式で表
される過冷却液体領域の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上で
ある軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴とするも
のであって、充分な透磁率と高い飽和磁束密度を有し、
電磁波吸収能力に優れ、安価で取り扱いやすく長期安定
性に優れている。この電磁シールド用網または電磁シー
ルド用シートを、電子機器の筐体の内面に貼付するなど
の態様で使用することで、電子機器からの電磁波の漏洩
を効果的に防止することが可能となる。
網および電磁シールド用シートは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの
うちの１種または２種以上の元素を主成分とし、Ｚｒ、
Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上の
元素とＢを含み、ΔＴｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結
晶化開始温度、Ｔｇはガラス遷移温度を示す）の式で表
される過冷却液体領域の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上で
ある軟磁性金属ガラス合金からなることを特徴とするも
のであって、充分な透磁率と高い飽和磁束密度を有し、
電磁波吸収能力に優れ、安価で取り扱いやすく長期安定
性に優れている。この電磁シールド用網または電磁シー
ルド用シートを、電子機器の筐体の内面に貼付するなど
の態様で使用することで、電子機器からの電磁波の漏洩
を効果的に防止することが可能となる。
【００２７】また、本発明の電磁シールド用シートは、
種々の電子部品に適した形状に加工することで、個々の
電子部品を覆うようにすることができる。個々の電子部
品を覆うことで、電磁波の放出を防ぐことができるとと
もに、他の電子部品の放出する電磁波から個々の電子部
品を保護することもできる。
種々の電子部品に適した形状に加工することで、個々の
電子部品を覆うようにすることができる。個々の電子部
品を覆うことで、電磁波の放出を防ぐことができるとと
もに、他の電子部品の放出する電磁波から個々の電子部
品を保護することもできる。
【図１】 本発明の電磁シールド用網の実施形態例を示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】 本発明の電磁シールド用シートの実施形態の
一例を示す斜視図である。
一例を示す斜視図である。
【図３】 本発明の電磁シールド用シートの実施形態の
他の例を示す斜視図である。
他の例を示す斜視図である。
【図４】 本発明の電磁シールド用シートの実施形態の
別の例を示す斜視図である。
別の例を示す斜視図である。
【図５】 本発明の電磁シールド用シートの製造に用い
ることのできる放電プラズマ焼結装置の一例の要部構造
を示す断面図である。
ることのできる放電プラズマ焼結装置の一例の要部構造
を示す断面図である。
【図６】 図５に示す放電プラズマ焼結装置で原料粉末
に印加するパルス電流波形の一例を示す図である。
に印加するパルス電流波形の一例を示す図である。
【図７】 放電プラズマ焼結装置の一例の構成を示す正
面図である。
面図である。
【図８】 Ｆｅ56Ｃｏ7Ｎｉ7Ｚｒ4Ｎｂ6Ｂ20なる組成の
合金を用いて製造した４種類の厚さの試料のＸ線回折パ
ターンを示すグラフである。
合金を用いて製造した４種類の厚さの試料のＸ線回折パ
ターンを示すグラフである。
【図９】 Ｆｅ56Ｃｏ7Ｎｉ7Ｚｒ10-wＮｂwＢ20（ｗ＝
０、２、４、６、８、１０原子％）なる組成の試料の飽
和磁束密度（Ｂｓ）、保磁力（Ｈｃ）、１ｋＨｚにおけ
る透磁率（μｅ）、磁歪（λｓ）のＮｂ含有量依存性を
示すグラフである。
０、２、４、６、８、１０原子％）なる組成の試料の飽
和磁束密度（Ｂｓ）、保磁力（Ｈｃ）、１ｋＨｚにおけ
る透磁率（μｅ）、磁歪（λｓ）のＮｂ含有量依存性を
示すグラフである。
１ 織布 ２ 細線 ３ 可撓性フィルム ４ 電磁シールド用シート ５ 箱
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧野 彰宏 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 井上 明久 宮城県仙台市青葉区川内元支倉35番地 川 内住宅11−806
Claims (6)
- 【請求項１】 Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種または２
種以上の元素を主成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、
Ｍｏのうちの１種または２種以上の元素とＢを含み、Δ
Ｔｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇ
はガラス遷移温度を示す）の式で表される過冷却液体領
域の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上である軟磁性金属ガラ
ス合金からなることを特徴とする電磁シールド用網。 - 【請求項２】 前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下
記の組成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなるこ
とを特徴とする請求項１記載の電磁シールド用網。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-yＭxＢy 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％であ
り、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種ま
たは２種以上からなる元素である。 - 【請求項３】 前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下
記の組成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなるこ
とを特徴とする請求項１記載の電磁シールド用網。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-y-zＭxＢyＴz 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％、０原
子％≦ｚ≦５原子％であり、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上からなる元素、Ｔ
はＣｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上か
らなる元素である。 - 【請求項４】 Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうちの１種または２
種以上の元素を主成分とし、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、
Ｍｏのうちの１種または２種以上の元素とＢを含み、Δ
Ｔｘ＝Ｔｘ−Ｔｇ（ただしＴｘは結晶化開始温度、Ｔｇ
はガラス遷移温度を示す）の式で表される過冷却液体領
域の温度間隔ΔＴｘが２０Ｋ以上である軟磁性金属ガラ
ス合金からなることを特徴とする電磁シールド用シー
ト。 - 【請求項５】 前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下
記の組成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなるこ
とを特徴とする請求項４記載の電磁シールド用シート。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-yＭxＢy 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％であ
り、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｏのうちの１種ま
たは２種以上からなる元素である。 - 【請求項６】 前記ΔＴｘが６０Ｋ以上であり、かつ下
記の組成式で表される軟磁性金属ガラス合金からなるこ
とを特徴とする請求項４記載の電磁シールド用シート。 （Ｆｅ1-a-bＣｏaＮｉb）100-x-y-zＭxＢyＴz 但し、０≦ａ≦０．２９、０≦ｂ≦０．４３、５原子％
≦ｘ≦２０原子％、１０原子％≦ｙ≦２２原子％、０原
子％≦ｚ≦５原子％であり、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈ
ｆ、Ｍｏのうちの１種または２種以上からなる元素、Ｔ
はＣｒ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ｐのうちの１種または２種以上か
らなる元素である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24993397A JPH1171656A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 電磁シールド用網および電磁シールド用シート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24993397A JPH1171656A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 電磁シールド用網および電磁シールド用シート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1171656A true JPH1171656A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=17200341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24993397A Withdrawn JPH1171656A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 電磁シールド用網および電磁シールド用シート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1171656A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1553814A1 (en) * | 2004-01-08 | 2005-07-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Electromagnetic wave shield case and a method for manufacturing electromagnetic wave shield case |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP24993397A patent/JPH1171656A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1553814A1 (en) * | 2004-01-08 | 2005-07-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Electromagnetic wave shield case and a method for manufacturing electromagnetic wave shield case |
| US7626832B2 (en) | 2004-01-08 | 2009-12-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Electromagnetic wave shield case and a method for manufacturing electromagnetic wave shield case |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5445889B2 (ja) | 軟磁性合金、その製造方法、ならびに磁性部品 | |
| JP5455041B2 (ja) | 軟磁性薄帯、その製造方法、磁性部品、およびアモルファス薄帯 | |
| JP5182601B2 (ja) | 非晶質合金薄帯、ナノ結晶軟磁性合金ならびにナノ結晶軟磁性合金からなる磁心 | |
| EP1045402B1 (en) | Soft magnetic alloy strip, manufacturing method and use thereof | |
| EP0455113B1 (en) | Fe based soft magnetic alloy, magnetic material containing same, and magnetic apparatus using the magnetic materials | |
| US20090232693A1 (en) | Fe-based amorphous magnetic powder, magnetic powder core with excellent high frequency properties and method of making them | |
| EP3511957A2 (en) | Soft magnetic alloy and magnetic device | |
| US20100188186A1 (en) | Soft magnetic amorphous alloy | |
| US4264358A (en) | Semiconducting glasses with flux pinning inclusions | |
| JP2004204296A (ja) | 金属ガラスからなるバルク状のＦｅ基焼結合金軟磁性材料及びその製造方法 | |
| CN106319398A (zh) | 一种稀土掺杂的铁基非晶厚带及其制备方法 | |
| JP3719449B2 (ja) | ナノ結晶合金およびその製造方法ならびにそれを用いた磁心 | |
| EP0899753B1 (en) | Magnetic cores of bulky and laminated types | |
| JPH1171657A (ja) | 電磁シールド用網および電磁シールド用シート | |
| JPH1171656A (ja) | 電磁シールド用網および電磁シールド用シート | |
| JPS6431922A (en) | Manufacture of fe-base magnetic alloy | |
| KR101562830B1 (ko) | 철계 연자성 나노 결정질상을 포함하는 복합소재 및 이의 제조방법 | |
| JP2012021190A (ja) | 非晶質合金薄帯および非晶質合金薄帯を有する磁性部品 | |
| JP2625485B2 (ja) | 電磁シールド材料 | |
| EP0899754A1 (en) | Matgnetic core including Fe-based glassy alloy | |
| JP3532392B2 (ja) | バルク磁心 | |
| JP2003096529A (ja) | Ｎｉ−Ｃｏ−Ｇａ系またはＣｏ−Ｎｉ−Ｇａ系ホイスラー型磁性形状記憶合金およびその製造方法 | |
| JP2812573B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2925349B2 (ja) | Ｆｅ基軟磁性合金磁心 | |
| JP3595481B2 (ja) | 圧粉磁心及び圧粉磁心の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041102 |