JPH1171026A - 基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法 - Google Patents
基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法Info
- Publication number
- JPH1171026A JPH1171026A JP23406697A JP23406697A JPH1171026A JP H1171026 A JPH1171026 A JP H1171026A JP 23406697 A JP23406697 A JP 23406697A JP 23406697 A JP23406697 A JP 23406697A JP H1171026 A JPH1171026 A JP H1171026A
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- Japan
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- substrate
- carrier
- substrates
- supporting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 防塵カバー付き基板キャリアを採用した場合
の、基板処理装置の大型化・複雑化・スループット低下
を抑えること。 【解決手段】 基板キャリアは、キャリア本体１とこれ
を覆うカバー２からなり、キャリア本体１はエンドレス
型の可動ベルト１３とその全周に一定間隔で並設された
複数の基板支持部材１４とベルト走行手段からなる基板
支持昇降手段を二個有し、カバー２はその一側面に一個
又は二個の基板通過窓２１ａとこれを開閉する扉２２と
を具備する。このキャリア本体１の二個の基板支持昇降
手段１２の間に複数の基板Ｗを一定間隔で水平に支持す
る。可動ベルト１３を走行させて基板支持部材１４とそ
れが支持する基板Ｗを上昇又は下降させ、基板通過窓２
１ａを介して基板Ｗを水平方向に搬出又は搬入する。
の、基板処理装置の大型化・複雑化・スループット低下
を抑えること。 【解決手段】 基板キャリアは、キャリア本体１とこれ
を覆うカバー２からなり、キャリア本体１はエンドレス
型の可動ベルト１３とその全周に一定間隔で並設された
複数の基板支持部材１４とベルト走行手段からなる基板
支持昇降手段を二個有し、カバー２はその一側面に一個
又は二個の基板通過窓２１ａとこれを開閉する扉２２と
を具備する。このキャリア本体１の二個の基板支持昇降
手段１２の間に複数の基板Ｗを一定間隔で水平に支持す
る。可動ベルト１３を走行させて基板支持部材１４とそ
れが支持する基板Ｗを上昇又は下降させ、基板通過窓２
１ａを介して基板Ｗを水平方向に搬出又は搬入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板（半導体ウェ
ーハ等）を複数枚収納するとともに各種処理装置等との
基板枚葉受渡し等に使用する基板キャリア、及びその基
板キャリアを使用して基板を枚葉で受渡しする基板処理
装置と基板搬送方法に関する。
ーハ等）を複数枚収納するとともに各種処理装置等との
基板枚葉受渡し等に使用する基板キャリア、及びその基
板キャリアを使用して基板を枚葉で受渡しする基板処理
装置と基板搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板を枚葉で処理する装置における基板
受渡しには、通常、複数の基板を等間隔で水平に収納す
る基板キャリアが使用され、基板処理装置に搭載した基
板キャリア若しくは基板処理装置の基板搬送アームを昇
降させながら、基板搬送アームにより基板を一枚ずつ基
板キャリアから搬出、又は基板キャリアへ搬入する。
受渡しには、通常、複数の基板を等間隔で水平に収納す
る基板キャリアが使用され、基板処理装置に搭載した基
板キャリア若しくは基板処理装置の基板搬送アームを昇
降させながら、基板搬送アームにより基板を一枚ずつ基
板キャリアから搬出、又は基板キャリアへ搬入する。
【０００３】近年、半導体装置の製造等においては空気
清浄度に対する要求が厳しさを増しているが、それに伴
う空気清浄化コストの高騰を防ぐため、所望の超高清浄
度をクリーンルーム全体ではなく限られた空間だけに形
成することが多くなってきた。これに対応して、超高清
浄度化された環境で基板キャリアに基板を搬入した後、
その基板キャリアに‘ポッド’と呼ばれる防塵カバーを
被せて、清浄度の劣る環境へ基板キャリアを移動した際
の基板へのパーティクルの付着や汚染を防止する方式が
導入されつつある。このような方式は‘ミニエンバイロ
メント方式’と呼ばれている。
清浄度に対する要求が厳しさを増しているが、それに伴
う空気清浄化コストの高騰を防ぐため、所望の超高清浄
度をクリーンルーム全体ではなく限られた空間だけに形
成することが多くなってきた。これに対応して、超高清
浄度化された環境で基板キャリアに基板を搬入した後、
その基板キャリアに‘ポッド’と呼ばれる防塵カバーを
被せて、清浄度の劣る環境へ基板キャリアを移動した際
の基板へのパーティクルの付着や汚染を防止する方式が
導入されつつある。このような方式は‘ミニエンバイロ
メント方式’と呼ばれている。
【０００４】この方式を導入した場合、基板キャリアを
基板処理装置に搭載して基板の受渡しを行う際には、先
ず、ポッドを基板キャリアから取り外し（例えばポッド
を吊り上げる）、その後、基板処理装置が具備する昇降
機構により基板キャリアを昇降させるか、或いは基板処
理装置の基板搬送アームを昇降させながら、基板搬送ア
ームにより基板を一枚ずつ基板キャリアから搬出、又は
基板キャリアへ搬入し、搬出入完了後にポッドを基板キ
ャリアに再び装着していた。
基板処理装置に搭載して基板の受渡しを行う際には、先
ず、ポッドを基板キャリアから取り外し（例えばポッド
を吊り上げる）、その後、基板処理装置が具備する昇降
機構により基板キャリアを昇降させるか、或いは基板処
理装置の基板搬送アームを昇降させながら、基板搬送ア
ームにより基板を一枚ずつ基板キャリアから搬出、又は
基板キャリアへ搬入し、搬出入完了後にポッドを基板キ
ャリアに再び装着していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来技術では、ミニエンバイロメント方式を導入するこ
とに伴って、基板処理装置にポッド取り外し機構を付加
することで装置が大型化、複雑化するとともに、ポッド
着脱に要する時間等のために装置のスループットが低下
する、という問題があった。
従来技術では、ミニエンバイロメント方式を導入するこ
とに伴って、基板処理装置にポッド取り外し機構を付加
することで装置が大型化、複雑化するとともに、ポッド
着脱に要する時間等のために装置のスループットが低下
する、という問題があった。
【０００６】本発明は、このような問題を解決して、ミ
ニエンバイロメント方式の導入による基板処理装置の大
型化・複雑化・スループット低下を抑えることができる
基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法を提供す
ることを目的とする。
ニエンバイロメント方式の導入による基板処理装置の大
型化・複雑化・スループット低下を抑えることができる
基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明においては、複数の基板を一定間隔で水平に
支持して収納するキャリア本体と、該キャリア本体を覆
うカバーとを有し、該キャリア本体は、筐体と、該筐体
に装着され該筐体内で複数の基板を昇降可能に支持する
基板支持昇降手段とを有し、該カバーは、一側面に基板
通過窓と、該基板通過窓を開閉する扉とを具備する基板
キャリアとしている。
め、本発明においては、複数の基板を一定間隔で水平に
支持して収納するキャリア本体と、該キャリア本体を覆
うカバーとを有し、該キャリア本体は、筐体と、該筐体
に装着され該筐体内で複数の基板を昇降可能に支持する
基板支持昇降手段とを有し、該カバーは、一側面に基板
通過窓と、該基板通過窓を開閉する扉とを具備する基板
キャリアとしている。
【０００８】また、本発明においては、複数の基板を収
納した基板キャリアを搭載し、該基板キャリアから基板
を取り出して枚葉で処理する基板処理装置において、複
数の基板を昇降可能に支持する基板支持昇降手段を有す
るキャリア本体と一側面に基板通過窓を有するカバーと
からなる基板キャリアを搭載時に該基板キャリアに係合
して該基板支持昇降手段を駆動する駆動手段と、基板を
水平に搬送する搬送アームとを有し、該駆動手段が該基
板支持昇降手段を駆動することで該基板キャリア内で所
定の高さに上昇又は下降した基板を、該搬送アームが該
基板通過窓を介して順次枚葉で搬送する基板処理装置と
している。
納した基板キャリアを搭載し、該基板キャリアから基板
を取り出して枚葉で処理する基板処理装置において、複
数の基板を昇降可能に支持する基板支持昇降手段を有す
るキャリア本体と一側面に基板通過窓を有するカバーと
からなる基板キャリアを搭載時に該基板キャリアに係合
して該基板支持昇降手段を駆動する駆動手段と、基板を
水平に搬送する搬送アームとを有し、該駆動手段が該基
板支持昇降手段を駆動することで該基板キャリア内で所
定の高さに上昇又は下降した基板を、該搬送アームが該
基板通過窓を介して順次枚葉で搬送する基板処理装置と
している。
【０００９】また、本発明においては、基板を枚葉で処
理する基板処理装置と該基板処理装置に搭載した基板キ
ャリアとの間の基板搬送方法であって、複数の基板を昇
降可能に支持する基板支持昇降手段を有するキャリア本
体と、一側面に基板通過窓を有するカバーからなる基板
キャリアを使用し、該基板キャリアに収納された基板を
該基板キャリア内で上昇又は下降を繰り返しつつ、基板
を該基板通過窓を介して順次枚葉で水平方向に搬送する
基板搬送方法としている。
理する基板処理装置と該基板処理装置に搭載した基板キ
ャリアとの間の基板搬送方法であって、複数の基板を昇
降可能に支持する基板支持昇降手段を有するキャリア本
体と、一側面に基板通過窓を有するカバーからなる基板
キャリアを使用し、該基板キャリアに収納された基板を
該基板キャリア内で上昇又は下降を繰り返しつつ、基板
を該基板通過窓を介して順次枚葉で水平方向に搬送する
基板搬送方法としている。
【００１０】即ち、基板キャリアと基板処理装置との間
の基板の受渡しに際して、キャリア本体を覆うカバーを
着脱せず、且つ簡単な駆動源を用いて基板キャリア内で
基板を昇降するから、基板処理装置の大型化・複雑化・
スループット低下を抑えることができる。
の基板の受渡しに際して、キャリア本体を覆うカバーを
着脱せず、且つ簡単な駆動源を用いて基板キャリア内で
基板を昇降するから、基板処理装置の大型化・複雑化・
スループット低下を抑えることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の基板キャリアを、図１〜
４を参照しながら説明する。図１は本発明の基板キャリ
アを示す断面図、図２は図１におけるキャリア本体を示
す斜視図、図３は図２における基板支持昇降手段を示す
斜視図である。この基板キャリアはキャリア本体１と、
これに着脱自在に固定されるカバー（ポッド）２からな
る。
４を参照しながら説明する。図１は本発明の基板キャリ
アを示す断面図、図２は図１におけるキャリア本体を示
す斜視図、図３は図２における基板支持昇降手段を示す
斜視図である。この基板キャリアはキャリア本体１と、
これに着脱自在に固定されるカバー（ポッド）２からな
る。
【００１２】キャリア本体１は図２に示すように、筐体
１１と一対の基板支持昇降手段１２からなる。筐体１１
の前面は略全面にわたり開口しており、対向する両側面
にはそれぞれ基板支持昇降手段１２が縦に装着されて対
向している。
１１と一対の基板支持昇降手段１２からなる。筐体１１
の前面は略全面にわたり開口しており、対向する両側面
にはそれぞれ基板支持昇降手段１２が縦に装着されて対
向している。
【００１３】基板支持昇降手段１２は図３に示すよう
に、エンドレス型の可動ベルト１３、可動ベルト１３の
表面に全周にわたりその長手方向に等間隔で固着された
多数の基板支持部材１４、可動ベルト１３を循環走行さ
せるベルト走行手段１５、従動車１８等からなる。ベル
ト走行手段１５は、外部の（即ち基板処理装置側に設け
た）アクチュエータ（例えばモータ）の動力で回転する
回転伝達車１６及びこれと同軸のベルト駆動車１７から
なる。一対のベルト走行手段１５は互いに連動して逆方
向に回転するように構成されている。
に、エンドレス型の可動ベルト１３、可動ベルト１３の
表面に全周にわたりその長手方向に等間隔で固着された
多数の基板支持部材１４、可動ベルト１３を循環走行さ
せるベルト走行手段１５、従動車１８等からなる。ベル
ト走行手段１５は、外部の（即ち基板処理装置側に設け
た）アクチュエータ（例えばモータ）の動力で回転する
回転伝達車１６及びこれと同軸のベルト駆動車１７から
なる。一対のベルト走行手段１５は互いに連動して逆方
向に回転するように構成されている。
【００１４】複数の基板Ｗが、一対の基板支持昇降手段
１２の間の空間に、それぞれ二個の基板支持部材１４に
支持されて水平に且つ等間隔で収納される。即ち、一対
の基板支持昇降手段１２双方の基板支持部材１４が基板
Ｗをその周縁部で支持する。一対の基板支持昇降手段１
２双方の可動ベルト１３の対向面が同方向（上又は下）
に動くことで、収納された基板Ｗがキャリア本体１内で
上昇又は下降する。
１２の間の空間に、それぞれ二個の基板支持部材１４に
支持されて水平に且つ等間隔で収納される。即ち、一対
の基板支持昇降手段１２双方の基板支持部材１４が基板
Ｗをその周縁部で支持する。一対の基板支持昇降手段１
２双方の可動ベルト１３の対向面が同方向（上又は下）
に動くことで、収納された基板Ｗがキャリア本体１内で
上昇又は下降する。
【００１５】カバー２はカバー本体２１と、カバー本体
２１に設けられた基板通過窓２１ａを開閉自在に閉塞す
る扉２２からなる。基板通過窓２１ａはキャリア本体１
の基板Ｗ収納位置の最上段か最下段のいずれか一方、或
いは双方の側方に設けられている。基板通過窓２１ａが
一個の場合にはカバー２の開口面積が最小となり、基板
通過窓２１ａが上下二個の場合には基板処理装置の搬送
アームを二個必要とするが、基板Ｗの搬出と搬入を同時
に行うことができるメリットがある。扉２２は内開きで
も、外開きでもよい。尚、図示はないが、カバー２はカ
バー本体２１の上面に把手を有している。
２１に設けられた基板通過窓２１ａを開閉自在に閉塞す
る扉２２からなる。基板通過窓２１ａはキャリア本体１
の基板Ｗ収納位置の最上段か最下段のいずれか一方、或
いは双方の側方に設けられている。基板通過窓２１ａが
一個の場合にはカバー２の開口面積が最小となり、基板
通過窓２１ａが上下二個の場合には基板処理装置の搬送
アームを二個必要とするが、基板Ｗの搬出と搬入を同時
に行うことができるメリットがある。扉２２は内開きで
も、外開きでもよい。尚、図示はないが、カバー２はカ
バー本体２１の上面に把手を有している。
【００１６】図４はカバーの他の実施例を示している。
この例では、カバー本体２１にガス導入口２１ｂが設け
られている。このカバーを使用した基板キャリアでは、
ガス導入口２１ｂから少量の清浄な圧気を流入させて内
部を僅かに陽圧に保つことにより、清浄度の維持がより
確実となる。尚、この場合には、扉２２は内開きの方が
カバー本体２１への密着性がよくなる。
この例では、カバー本体２１にガス導入口２１ｂが設け
られている。このカバーを使用した基板キャリアでは、
ガス導入口２１ｂから少量の清浄な圧気を流入させて内
部を僅かに陽圧に保つことにより、清浄度の維持がより
確実となる。尚、この場合には、扉２２は内開きの方が
カバー本体２１への密着性がよくなる。
【００１７】次に、この基板キャリアを使用して基板を
枚葉で受渡しする基板処理装置と、この基板キャリアを
使用して基板を枚葉で受渡しする際の基板搬送方法を、
図５を参照しながら説明する。
枚葉で受渡しする基板処理装置と、この基板キャリアを
使用して基板を枚葉で受渡しする際の基板搬送方法を、
図５を参照しながら説明する。
【００１８】この基板処理装置には基板キャリア昇降機
構も搬送アーム昇降機構もなく、代わりにテーブル３１
上に搭載した基板キャリア３０の基板支持昇降手段１２
に回転を与える駆動手段３２を備えている。搬送アーム
３３は基板キャリア３０における前述の基板通過窓２１
ａの側方に位置し、その先端部は基板通過窓２１ａから
基板キャリア３０内に進入することができる。この搬送
アーム３３は基板キャリア３０の基板通過窓２１ａと同
数（即ち一個又は二個）設けられている。
構も搬送アーム昇降機構もなく、代わりにテーブル３１
上に搭載した基板キャリア３０の基板支持昇降手段１２
に回転を与える駆動手段３２を備えている。搬送アーム
３３は基板キャリア３０における前述の基板通過窓２１
ａの側方に位置し、その先端部は基板通過窓２１ａから
基板キャリア３０内に進入することができる。この搬送
アーム３３は基板キャリア３０の基板通過窓２１ａと同
数（即ち一個又は二個）設けられている。
【００１９】基板通過窓２１ａが上下二個ある場合、下
部の搬送アーム３３が下段の基板通過窓２１ａから基板
キャリア３０内に進入して最下段に収納されている基板
Ｗを取り出し、これを基板処理装置の処理室（図示は省
略）へ搬送する。この時、上部の搬送アーム３３は処理
を終えた基板Ｗを処理室から上段の基板通過窓２１ａを
介して基板キャリア３０の最上段に搬入する。その後、
駆動手段３２が作動して基板支持昇降手段１２が走行し
て収納されている総ての基板Ｗを一段分降下させる。す
ると下部の搬送アーム３３が最下段に移動した基板Ｗを
搬出し、上部の搬送アーム３３は処理を終えた基板Ｗを
最上段に搬入する。以下、これを繰り返す。
部の搬送アーム３３が下段の基板通過窓２１ａから基板
キャリア３０内に進入して最下段に収納されている基板
Ｗを取り出し、これを基板処理装置の処理室（図示は省
略）へ搬送する。この時、上部の搬送アーム３３は処理
を終えた基板Ｗを処理室から上段の基板通過窓２１ａを
介して基板キャリア３０の最上段に搬入する。その後、
駆動手段３２が作動して基板支持昇降手段１２が走行し
て収納されている総ての基板Ｗを一段分降下させる。す
ると下部の搬送アーム３３が最下段に移動した基板Ｗを
搬出し、上部の搬送アーム３３は処理を終えた基板Ｗを
最上段に搬入する。以下、これを繰り返す。
【００２０】搬送アーム３３が一個の場合には、基板Ｗ
の搬入と搬出のいずれか一方に使用する。この場合、基
板Ｗの搬入と搬出とで基板支持昇降手段１２の走行方向
を逆にする。
の搬入と搬出のいずれか一方に使用する。この場合、基
板Ｗの搬入と搬出とで基板支持昇降手段１２の走行方向
を逆にする。
【００２１】尚、搬送アーム３３が基板キャリア３０内
に進入する直前には基板通過窓２１ａを閉塞している扉
（図５では図示を省略）を開き、搬送アーム３３退出直
後にこれを閉じる。
に進入する直前には基板通過窓２１ａを閉塞している扉
（図５では図示を省略）を開き、搬送アーム３３退出直
後にこれを閉じる。
【００２２】本発明は以上の例に限定されることなく、
更に種々変形して実施することができる。例えば、キャ
リア本体において、基板支持昇降手段１２を筐体１１の
両側面の他に後面側にも設けた場合でも、本発明は有効
である。
更に種々変形して実施することができる。例えば、キャ
リア本体において、基板支持昇降手段１２を筐体１１の
両側面の他に後面側にも設けた場合でも、本発明は有効
である。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ミニエンバイロメント方式の導入による基板処理装置の
大型化・複雑化・スループット低下を抑えることが可能
な基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法を提供
することができる。
ミニエンバイロメント方式の導入による基板処理装置の
大型化・複雑化・スループット低下を抑えることが可能
な基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法を提供
することができる。
【図１】 本発明の基板キャリアを示す断面図である。
【図２】 図１におけるキャリア本体を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】 図２における基板支持昇降手段を示す斜視図
である。
である。
【図４】 図１におけるカバーの他の実施例を示す断面
図である。
図である。
【図５】 本発明の基板処理装置と基板搬送方法を示す
模式図である。
模式図である。
１ キャリア本体 ２ カバー １１ 筐体 １２ 基板支持昇降手段 １３ 可動ベルト １４ 基板支持部材 １５ ベルト走行手段 １６ 回転伝達車 １７ ベルト駆動車 １８ 従動車 ２１ カバー本体 ２１ａ 基板通過窓 ２１ｂ ガス導入口 ２２ 扉 ３０ 基板キャリア ３１ テーブル ３２ 駆動手段 ３３ 搬送アーム
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の基板を一定間隔で水平に支持して
収納するキャリア本体と、該キャリア本体を覆うカバー
とを有し、 該キャリア本体は、筐体と、該筐体に装着され該筐体内
で複数の基板を昇降可能に支持する基板支持昇降手段と
を有し、 該カバーは、一側面に基板通過窓と、該基板通過窓を開
閉する扉とを具備することを特徴とする基板キャリア。 - 【請求項２】 前記基板支持昇降手段は、エンドレス型
の可動ベルトと、該可動ベルトの外面に該可動ベルトの
長手方向に一定間隔で並設された複数の基板支持部材
と、該可動ベルトを長手方向に走行させるベルト走行手
段とを有し、 前記筐体に少なくとも２個の該基板支持手段が離隔して
対向するように装着されていることを特徴とする請求項
１記載の基板キャリア。 - 【請求項３】 前記基板通過窓は前記キャリア本体にお
ける基板収納位置の最上段又は最下段の少なくとも一方
の側方に設けられていることを特徴とする請求項１記載
の基板キャリア。 - 【請求項４】 前記カバーは、ガス導入口を具備してい
ることを特徴とする請求項１記載の基板キャリア。 - 【請求項５】 複数の基板を収納した基板キャリアを搭
載し、該基板キャリアから基板を取り出して枚葉で処理
する基板処理装置において、 複数の基板を昇降可能に支持する基板支持昇降手段を有
するキャリア本体と一側面に基板通過窓を有するカバー
とからなる基板キャリアを搭載時に該基板キャリアに係
合して該基板支持昇降手段を駆動する駆動手段と、基板
を水平に搬送する搬送アームとを有し、 該駆動手段が該基板支持昇降手段を駆動することで該基
板キャリア内で所定の高さに上昇又は下降した基板を、
該搬送アームが該基板通過窓を介して順次枚葉で搬送す
ることを特徴とする基板処理装置。 - 【請求項６】 基板を枚葉で処理する基板処理装置と該
基板処理装置に搭載した基板キャリアとの間の基板搬送
方法であって、 複数の基板を昇降可能に支持する基板支持昇降手段を有
するキャリア本体と、一側面に基板通過窓を有するカバ
ーからなる基板キャリアを使用し、 該基板キャリアに収納された基板を該基板キャリア内で
上昇又は下降を繰り返しつつ、基板を該基板通過窓を介
して順次枚葉で水平方向に搬送することを特徴とする基
板搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23406697A JPH1171026A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23406697A JPH1171026A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1171026A true JPH1171026A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=16965063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23406697A Withdrawn JPH1171026A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 基板キャリア、基板処理装置及び基板搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1171026A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101293506B1 (ko) * | 2011-08-24 | 2013-08-06 | 주식회사 포틱스 | 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP23406697A patent/JPH1171026A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101293506B1 (ko) * | 2011-08-24 | 2013-08-06 | 주식회사 포틱스 | 벨트 타입의 솔라 셀 웨이퍼 매거진 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041102 |