JPH116973A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
- Publication number
- JPH116973A JPH116973A JP9158629A JP15862997A JPH116973A JP H116973 A JPH116973 A JP H116973A JP 9158629 A JP9158629 A JP 9158629A JP 15862997 A JP15862997 A JP 15862997A JP H116973 A JPH116973 A JP H116973A
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- JP
- Japan
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- polygon mirror
- polygon
- laser beam
- mirrors
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポリゴンミラーの走査効率が高い光走査装置
を得る。 【構成】 複数枚のポリゴンミラーをその周囲の反射面
の位相を異ならせて複数枚重ねて回転駆動し、レーザ光
源からのレーザビームを光偏向器を用いてこの複数枚の
ポリゴンミラーに交互に（順次）与え、各ポリゴンミラ
ーからの反射ビームを、ビーム合成器を用いて再び単一
の主走査平面上に出射させるようにした光走査装置。一
枚のポリゴンミラーの反射面の周辺部で反射が生じる場
合（レーザビームが無駄になる場合）には、その無駄に
なるレーザビームを別のポリゴンミラーの反射面の中央
部に照射することにより、無駄をなくし、走査効率の向
上を図ったものである。
を得る。 【構成】 複数枚のポリゴンミラーをその周囲の反射面
の位相を異ならせて複数枚重ねて回転駆動し、レーザ光
源からのレーザビームを光偏向器を用いてこの複数枚の
ポリゴンミラーに交互に（順次）与え、各ポリゴンミラ
ーからの反射ビームを、ビーム合成器を用いて再び単一
の主走査平面上に出射させるようにした光走査装置。一
枚のポリゴンミラーの反射面の周辺部で反射が生じる場
合（レーザビームが無駄になる場合）には、その無駄に
なるレーザビームを別のポリゴンミラーの反射面の中央
部に照射することにより、無駄をなくし、走査効率の向
上を図ったものである。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、ポリゴンミラーを用いた光走査
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】ポリゴンミラーは、周知の
ように、その周囲に均等に分割された複数面（通常６面
または８面）の反射面を有する。このポリゴンミラーに
レーザビームを照射しながら回転駆動することにより、
レーザビームは主走査平面内で走査される。この光走査
装置は、例えばレーザビームを描画情報に応じてオンオ
フ変調するレーザビームプリンタに広く用いられている
が、レーザ光源から出射するレーザビームのうち、実際
に描画面（感光体ドラム）に達するレーザビームは、ポ
リゴンミラーの回転角度の４５％程度に過ぎない。つま
り、ポリゴンミラーが回転するとき、各反射面での反射
ビームは、その中央部分での反射ビームのみが描画面に
達し、周辺部での反射ビームは描画面に達しない無駄な
光となる。一方、印字スピード向上の要求は、留まると
ころがないため、ポリゴンミラーの回転数は増加し続け
ているが、この走査効率（有効に利用されるポリゴンミ
ラーの回転角度／３６０°）の悪さを改善できれば、よ
り一層の印字スピードの向上ができる。逆に、ポリゴン
ミラーの回転数が低くても、走査効率が高ければ、印字
スピードを向上させることができる。
ように、その周囲に均等に分割された複数面（通常６面
または８面）の反射面を有する。このポリゴンミラーに
レーザビームを照射しながら回転駆動することにより、
レーザビームは主走査平面内で走査される。この光走査
装置は、例えばレーザビームを描画情報に応じてオンオ
フ変調するレーザビームプリンタに広く用いられている
が、レーザ光源から出射するレーザビームのうち、実際
に描画面（感光体ドラム）に達するレーザビームは、ポ
リゴンミラーの回転角度の４５％程度に過ぎない。つま
り、ポリゴンミラーが回転するとき、各反射面での反射
ビームは、その中央部分での反射ビームのみが描画面に
達し、周辺部での反射ビームは描画面に達しない無駄な
光となる。一方、印字スピード向上の要求は、留まると
ころがないため、ポリゴンミラーの回転数は増加し続け
ているが、この走査効率（有効に利用されるポリゴンミ
ラーの回転角度／３６０°）の悪さを改善できれば、よ
り一層の印字スピードの向上ができる。逆に、ポリゴン
ミラーの回転数が低くても、走査効率が高ければ、印字
スピードを向上させることができる。
【０００３】
【発明の目的】本発明は、ポリゴンミラーを用いた光走
査装置であって、走査効率を飛躍的に向上させることが
できる光走査装置を得ることを目的とする。
査装置であって、走査効率を飛躍的に向上させることが
できる光走査装置を得ることを目的とする。
【０００４】
【発明の概要】本発明は、複数枚のポリゴンミラーをそ
の周囲の反射面の位相を異ならせて複数枚重ねて回転駆
動し、レーザ光源からのレーザビームを光偏向器を用い
てこの複数枚のポリゴンミラーに交互に（順次）与え、
各ポリゴンミラーからの反射ビームを、ビーム合成器を
用いて再び単一の主走査平面上に出射させれば、走査効
率を向上させることができるとの着想に基づいてなされ
たものである。つまり、一枚のポリゴンミラーの反射面
の周辺部で反射が生じる場合（レーザビームが無駄にな
る場合）には、その無駄になるレーザビームを別のポリ
ゴンミラーの反射面の中央部に照射することにより、無
駄をなくし、走査効率の向上を図ったものである。
の周囲の反射面の位相を異ならせて複数枚重ねて回転駆
動し、レーザ光源からのレーザビームを光偏向器を用い
てこの複数枚のポリゴンミラーに交互に（順次）与え、
各ポリゴンミラーからの反射ビームを、ビーム合成器を
用いて再び単一の主走査平面上に出射させれば、走査効
率を向上させることができるとの着想に基づいてなされ
たものである。つまり、一枚のポリゴンミラーの反射面
の周辺部で反射が生じる場合（レーザビームが無駄にな
る場合）には、その無駄になるレーザビームを別のポリ
ゴンミラーの反射面の中央部に照射することにより、無
駄をなくし、走査効率の向上を図ったものである。
【０００５】すなわち本発明の光走査装置は、軸方向位
置及び周囲の反射面の位相を異ならせて同軸の回転軸に
固定した複数枚のポリゴンミラーを有し、該回転軸を回
転駆動する複ポリゴンミラー装置；レーザ光源からのレ
ーザビームを、この複ポリゴンミラー装置の回転軸の回
転位相に応じ、複数枚のポリゴンミラーに順次偏向して
与える光偏向器；複ポリゴンミラー装置の複数枚のポリ
ゴンミラーからの反射レーザビームを単一の主走査平面
上に出射するビーム合成器；及びこのビーム合成器で合
成されたレーザビームを描画面に集光させるｆθレン
ズ；を備えたことを特徴としている。
置及び周囲の反射面の位相を異ならせて同軸の回転軸に
固定した複数枚のポリゴンミラーを有し、該回転軸を回
転駆動する複ポリゴンミラー装置；レーザ光源からのレ
ーザビームを、この複ポリゴンミラー装置の回転軸の回
転位相に応じ、複数枚のポリゴンミラーに順次偏向して
与える光偏向器；複ポリゴンミラー装置の複数枚のポリ
ゴンミラーからの反射レーザビームを単一の主走査平面
上に出射するビーム合成器；及びこのビーム合成器で合
成されたレーザビームを描画面に集光させるｆθレン
ズ；を備えたことを特徴としている。
【０００６】光偏向器は、具体的にはガルバノミラーか
ら構成することができ、ビーム合成器は、ビーム合成プ
リズムから構成することができる。複ポリゴンミラー装
置は、理論的には、ポリゴンミラーをａ枚とし、その反
射面数をｎとすると、ａ枚のポリゴンミラーの反射面間
の位相をそれぞれ、３６０°／ａ・ｎだけ異ならせると
よいが、枚数は、２ないし３枚とするのが実際的であ
る。
ら構成することができ、ビーム合成器は、ビーム合成プ
リズムから構成することができる。複ポリゴンミラー装
置は、理論的には、ポリゴンミラーをａ枚とし、その反
射面数をｎとすると、ａ枚のポリゴンミラーの反射面間
の位相をそれぞれ、３６０°／ａ・ｎだけ異ならせると
よいが、枚数は、２ないし３枚とするのが実際的であ
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明による光走査装置
の展開図である。レーザ光源１１からのレーザビーム
は、コリメータレンズ１２によって平行光束とされ、シ
リンドリカルレンズ１３、ガルバノミラー１４を介して
複ポリゴンミラー装置２０に入射する。シリンドリカル
レンズ１３は、コリメータレンズ１２から出た平行光束
を複ポリゴンミラー装置２０による主走査方向に長い線
像として、該複ポリゴンミラー装置２０の近傍に一旦結
像させる。
の展開図である。レーザ光源１１からのレーザビーム
は、コリメータレンズ１２によって平行光束とされ、シ
リンドリカルレンズ１３、ガルバノミラー１４を介して
複ポリゴンミラー装置２０に入射する。シリンドリカル
レンズ１３は、コリメータレンズ１２から出た平行光束
を複ポリゴンミラー装置２０による主走査方向に長い線
像として、該複ポリゴンミラー装置２０の近傍に一旦結
像させる。
【０００８】複ポリゴンミラー装置２０は、図２ないし
図５に示すように、同一形状の第１ポリゴンミラー２１
と第２ポリゴンミラー２２を軸方向位置及び位相を異な
らせて回転軸２３に固定したもので、回転軸２３はモー
タ２４によって回転駆動される。第１ポリゴンミラー２
１、第２ポリゴンミラー２２はそれぞれその周囲に、均
等な６面の反射面２１ａ、２２ａを有しており、両者の
位相は３０°異なっている。すなわち、ポリゴンミラー
の枚数ａ＝２、反射面数ｎ＝６であるから、第１のポリ
ゴンミラー２１の反射面２１ａと第２のポリゴンミラー
２２の反射面２２ａとの間の位相のずれは、３６０°／
ａ・ｎ＝３０°に設定されている。第１ポリゴンミラー
２１と第２ポリゴンミラー２２の接合面には、図５に示
すように、両者を位相設定後に接着するための接着剤溝
２５を形成することができる。
図５に示すように、同一形状の第１ポリゴンミラー２１
と第２ポリゴンミラー２２を軸方向位置及び位相を異な
らせて回転軸２３に固定したもので、回転軸２３はモー
タ２４によって回転駆動される。第１ポリゴンミラー２
１、第２ポリゴンミラー２２はそれぞれその周囲に、均
等な６面の反射面２１ａ、２２ａを有しており、両者の
位相は３０°異なっている。すなわち、ポリゴンミラー
の枚数ａ＝２、反射面数ｎ＝６であるから、第１のポリ
ゴンミラー２１の反射面２１ａと第２のポリゴンミラー
２２の反射面２２ａとの間の位相のずれは、３６０°／
ａ・ｎ＝３０°に設定されている。第１ポリゴンミラー
２１と第２ポリゴンミラー２２の接合面には、図５に示
すように、両者を位相設定後に接着するための接着剤溝
２５を形成することができる。
【０００９】ガルバノミラー１４は、シリンドリカルレ
ンズ１３から出たレーザビームを、第１、第２のポリゴ
ンミラー２１、２２の回転位相に応じて、第１または第
２のポリゴンミラー２１、２２に順次偏向して与えるも
のである。ガルバノミラー１４は、図２に示すように、
往復揺動軸１４ａに反射ミラー１４ｂを固定し、この往
復揺動軸１４ａ（反射ミラー１４ｂ）をアクチュエータ
１４ｃで往復駆動することにより、シリンドリカルレン
ズ１３から出たレーザビームを第１、第２のポリゴンミ
ラー２１、２２に交互に択一して与える。具体的には、
複ポリゴンミラー装置２０を平面的に見たとき、第１ポ
リゴンミラー２１の反射面２１ａの周辺部にレーザビー
ムが入射するときには、ガルバノミラー１４により第２
ポリゴンミラー２２の反射面２２ａの中心部にレーザビ
ームを入射させ、同様に、複ポリゴンミラー装置２０を
平面的に見て第２ポリゴンミラー２２の反射面２２ａの
周辺部にレーザビームが入射するときには、ガルバノミ
ラー１４により第１ポリゴンミラー２１の反射面２１ａ
の中心部にレーザビームを入射させる。反射面２１ａま
たは反射面２２ａの『周辺部』とは、該周辺部での反射
光が描画面に届かない位置であり、同『中心部』とは、
同中心部での反射光が描画面に届く位置である。
ンズ１３から出たレーザビームを、第１、第２のポリゴ
ンミラー２１、２２の回転位相に応じて、第１または第
２のポリゴンミラー２１、２２に順次偏向して与えるも
のである。ガルバノミラー１４は、図２に示すように、
往復揺動軸１４ａに反射ミラー１４ｂを固定し、この往
復揺動軸１４ａ（反射ミラー１４ｂ）をアクチュエータ
１４ｃで往復駆動することにより、シリンドリカルレン
ズ１３から出たレーザビームを第１、第２のポリゴンミ
ラー２１、２２に交互に択一して与える。具体的には、
複ポリゴンミラー装置２０を平面的に見たとき、第１ポ
リゴンミラー２１の反射面２１ａの周辺部にレーザビー
ムが入射するときには、ガルバノミラー１４により第２
ポリゴンミラー２２の反射面２２ａの中心部にレーザビ
ームを入射させ、同様に、複ポリゴンミラー装置２０を
平面的に見て第２ポリゴンミラー２２の反射面２２ａの
周辺部にレーザビームが入射するときには、ガルバノミ
ラー１４により第１ポリゴンミラー２１の反射面２１ａ
の中心部にレーザビームを入射させる。反射面２１ａま
たは反射面２２ａの『周辺部』とは、該周辺部での反射
光が描画面に届かない位置であり、同『中心部』とは、
同中心部での反射光が描画面に届く位置である。
【００１０】複ポリゴンミラー装置２０の後方には、ビ
ーム合成プリズム１５が位置している。このビーム合成
プリズム１５は、回転軸２３の回転によって、反射面２
１ａまたは反射面２２ａの上記『中心部』での反射光が
走査される範囲を少なくともカバーする、図１の紙面と
直交する方向に長い形状を有する。このビーム合成プリ
ズム１５は、第１のポリゴンミラー２１の反射面２１ａ
からの反射ビームを反射する第１、第２の反射面１５
ａ、１５ｂを有し、反射面１５ｂからの反射走査ビーム
は、主走査平面Ｙ（図１の紙面に垂直な平面）上に走査
される。また、ビーム合成プリズム１５は、第２のポリ
ゴンミラー２２の反射面２２ａからの反射ビームを反射
する第３の反射面１５ｃと半透過面１５ｄを有し、半透
過面１５ｄからの反射走査ビームは、同じ主走査平面Ｙ
上に走査される。半透過面１５ｄは、第１ポリゴンミラ
ー２１の反射面２１ａでの反射ビームは透過させ、第２
ポリゴンミラー２２の反射面２２ａでの反射ビームは反
射させる面である。このような半透過面は、例えば全誘
電体無偏光コーティングによって得られる。
ーム合成プリズム１５が位置している。このビーム合成
プリズム１５は、回転軸２３の回転によって、反射面２
１ａまたは反射面２２ａの上記『中心部』での反射光が
走査される範囲を少なくともカバーする、図１の紙面と
直交する方向に長い形状を有する。このビーム合成プリ
ズム１５は、第１のポリゴンミラー２１の反射面２１ａ
からの反射ビームを反射する第１、第２の反射面１５
ａ、１５ｂを有し、反射面１５ｂからの反射走査ビーム
は、主走査平面Ｙ（図１の紙面に垂直な平面）上に走査
される。また、ビーム合成プリズム１５は、第２のポリ
ゴンミラー２２の反射面２２ａからの反射ビームを反射
する第３の反射面１５ｃと半透過面１５ｄを有し、半透
過面１５ｄからの反射走査ビームは、同じ主走査平面Ｙ
上に走査される。半透過面１５ｄは、第１ポリゴンミラ
ー２１の反射面２１ａでの反射ビームは透過させ、第２
ポリゴンミラー２２の反射面２２ａでの反射ビームは反
射させる面である。このような半透過面は、例えば全誘
電体無偏光コーティングによって得られる。
【００１１】主走査平面Ｙ上には、周知のｆθレンズ１
６が位置し、このｆθレンズ１６の後方に感光体ドラム
（描画面）１７が位置している。
６が位置し、このｆθレンズ１６の後方に感光体ドラム
（描画面）１７が位置している。
【００１２】上記構成の本光走査装置は従って、レーザ
光源１１、ガルバノミラー１４、複ポリゴンミラー装置
２０及び感光体ドラム１７を駆動することにより、次の
ように、感光体ドラム１７上に描画情報を描くことがで
きる。すなわち、前述のように、ガルバノミラー１４
は、複ポリゴンミラー装置２０の第１、第２のポリゴン
ミラー２１、２２の回転位相に応じて駆動され、複ポリ
ゴンミラー装置２０を平面的に見たとき、第１ポリゴン
ミラー２１の反射面２１ａの周辺部にレーザビームが入
射するときには、第２ポリゴンミラー２２の反射面２２
ａの中心部にレーザビームを入射させ、複ポリゴンミラ
ー装置２０を平面的に見て第２ポリゴンミラー２２の反
射面２２ａの周辺部にレーザビームが入射するときに
は、第１ポリゴンミラー２１の反射面２１ａの中心部に
レーザビームを入射させるように、往復駆動される。そ
の結果、反射面２１ａ、２２ａにはそれぞれ、その中心
部にはレーザビームが入射するのに対し、周辺部には、
レーザビームが入射しない。そして、第１ポリゴンミラ
ー２１の反射面２１ａでの反射ビームは、ビーム合成プ
リズム１５の反射面１５ａ、１５ｂを介して主走査平面
Ｙ上に走査され、第２ポリゴンミラー２２の反射面２２
ａでの反射ビームは、ビーム合成プリズム１５の反射面
１５ｃ、１５ｄを介して同様に主走査平面Ｙ上に走査さ
れる。この反射面２１ａでの反射ビームと反射面２２ａ
での反射ビームとは、必ず時間的にずれて主走査平面Ｙ
上に走査され、ｆθレンズ１６を介して、感光体ドラム
１７上に走査される。
光源１１、ガルバノミラー１４、複ポリゴンミラー装置
２０及び感光体ドラム１７を駆動することにより、次の
ように、感光体ドラム１７上に描画情報を描くことがで
きる。すなわち、前述のように、ガルバノミラー１４
は、複ポリゴンミラー装置２０の第１、第２のポリゴン
ミラー２１、２２の回転位相に応じて駆動され、複ポリ
ゴンミラー装置２０を平面的に見たとき、第１ポリゴン
ミラー２１の反射面２１ａの周辺部にレーザビームが入
射するときには、第２ポリゴンミラー２２の反射面２２
ａの中心部にレーザビームを入射させ、複ポリゴンミラ
ー装置２０を平面的に見て第２ポリゴンミラー２２の反
射面２２ａの周辺部にレーザビームが入射するときに
は、第１ポリゴンミラー２１の反射面２１ａの中心部に
レーザビームを入射させるように、往復駆動される。そ
の結果、反射面２１ａ、２２ａにはそれぞれ、その中心
部にはレーザビームが入射するのに対し、周辺部には、
レーザビームが入射しない。そして、第１ポリゴンミラ
ー２１の反射面２１ａでの反射ビームは、ビーム合成プ
リズム１５の反射面１５ａ、１５ｂを介して主走査平面
Ｙ上に走査され、第２ポリゴンミラー２２の反射面２２
ａでの反射ビームは、ビーム合成プリズム１５の反射面
１５ｃ、１５ｄを介して同様に主走査平面Ｙ上に走査さ
れる。この反射面２１ａでの反射ビームと反射面２２ａ
での反射ビームとは、必ず時間的にずれて主走査平面Ｙ
上に走査され、ｆθレンズ１６を介して、感光体ドラム
１７上に走査される。
【００１３】描画情報に基づくレーザ光源１１のオンオ
フ変調は、従来装置と全く同様に、例えばｆθレンズ１
６の後方の感光体ドラム１７との非干渉位置に配置した
描画位置制御用のビームディテクタ（図示せず）が、反
射面２１ａからの反射ビーム、及び同反射面２２ａから
の反射ビームを検出するタイミングに合わせて、制御す
ることができる。
フ変調は、従来装置と全く同様に、例えばｆθレンズ１
６の後方の感光体ドラム１７との非干渉位置に配置した
描画位置制御用のビームディテクタ（図示せず）が、反
射面２１ａからの反射ビーム、及び同反射面２２ａから
の反射ビームを検出するタイミングに合わせて、制御す
ることができる。
【００１４】以上は、ポリゴンミラーが２枚、反射面数
が６面の場合に本発明を適用したものであるが、３枚以
上、異なる反射面数のポリゴンミラーの組み合わせにも
本発明は理論的に適用できる。
が６面の場合に本発明を適用したものであるが、３枚以
上、異なる反射面数のポリゴンミラーの組み合わせにも
本発明は理論的に適用できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、走査効率が高い光走査
装置を得ることができる。
装置を得ることができる。
【図１】本発明による光走査装置の一実施形態を示す光
路図である。
路図である。
【図２】図１の装置のガルバノミラーと二重複ポリゴン
ミラー装置部分の具体的構成例を示す斜視図である。
ミラー装置部分の具体的構成例を示す斜視図である。
【図３】図２の二重複ポリゴンミラー装置の正面図であ
る。
る。
【図４】同平面図である。
【図５】同二重ポリゴンミラーの拡大断面図である。
１１ レーザ光源 １２ コリメータレンズ １３ シリンドリカルレンズ １４ ガルバノミラー（光偏向器） １５ ビーム合成プリズム（ビーム合成器） １６ ｆθレンズ １７ 感光体ドラム（描画面） ２０ 複ポリゴンミラー装置 ２１ 第１ポリゴンミラー ２２ 第２ポリゴンミラー ２１ａ ２２ａ 反射面 ２３ 回転軸 ２４ モータ
Claims (4)
- 【請求項１】 軸方向位置及び周囲の反射面の位相を異
ならせて同軸の回転軸に固定した複数枚のポリゴンミラ
ーを有し、該回転軸を回転駆動する複ポリゴンミラー装
置；レーザ光源からのレーザビームを、この複ポリゴン
ミラー装置の回転軸の回転位相に応じ、上記複数枚のポ
リゴンミラーに順次偏向して与える光偏向器；上記複ポ
リゴンミラー装置の複数枚のポリゴンミラーからの反射
レーザビームを単一の主走査平面上に出射するビーム合
成器；及びこのビーム合成器で合成されたレーザビーム
を描画面に集光させるｆθレンズ；を備えたことを特徴
とする光走査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の光走査装置において、上
記光偏向器はガルバノミラーである光走査装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の光走査装置にお
いて、上記ビーム合成器はビーム合成プリズムである光
走査装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項記載の
光走査装置において、複ポリゴンミラー装置のポリゴン
ミラーは、ａ枚備えられ、その反射面数をｎとしたと
き、ａ枚のポリゴンミラーの反射面間の位相はそれぞ
れ、３６０°／ａ・ｎだけ異なっている光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9158629A JPH116973A (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9158629A JPH116973A (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH116973A true JPH116973A (ja) | 1999-01-12 |
Family
ID=15675895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9158629A Pending JPH116973A (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH116973A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007171503A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、及び光偏向器の製造方法 |
| CN100412608C (zh) * | 2004-10-15 | 2008-08-20 | 杨东佐 | 一种视频显示图像投影系统及其光工作方法 |
| KR101979374B1 (ko) * | 2018-05-14 | 2019-05-16 | 주식회사 에스오에스랩 | 라이다 장치 및 라이다 장치에 이용되는 회전 다면 미러 |
| WO2019135494A1 (ko) * | 2018-01-08 | 2019-07-11 | 주식회사 에스오에스랩 | 라이다 장치 |
| US10557924B1 (en) | 2018-05-14 | 2020-02-11 | SOS Lab co., Ltd | Lidar device |
| US10591598B2 (en) | 2018-01-08 | 2020-03-17 | SOS Lab co., Ltd | Lidar device |
| CN111417505A (zh) * | 2017-11-22 | 2020-07-14 | 应用材料公司 | 利用两件式多边形扫描仪的增材制造 |
| KR20210041093A (ko) * | 2018-10-02 | 2021-04-14 | 블랙모어 센서스 앤드 애널리틱스, 엘엘씨 | 코히런트 lidar의 스캐닝을 최적화하기 위한 방법 및 시스템 |
| CN113678048A (zh) * | 2019-02-07 | 2021-11-19 | 川崎重工业株式会社 | 多面镜、导光装置以及光扫描装置 |
-
1997
- 1997-06-16 JP JP9158629A patent/JPH116973A/ja active Pending
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100412608C (zh) * | 2004-10-15 | 2008-08-20 | 杨东佐 | 一种视频显示图像投影系统及其光工作方法 |
| JP2007171503A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、及び光偏向器の製造方法 |
| JP2021504565A (ja) * | 2017-11-22 | 2021-02-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 二部構成ポリゴンスキャナを用いた付加製造 |
| EP3713744A4 (en) * | 2017-11-22 | 2021-07-28 | Applied Materials, Inc. | GENERATIVE MANUFACTURING WITH A TWO-PIECE POLYGON SCANNER |
| CN111417505A (zh) * | 2017-11-22 | 2020-07-14 | 应用材料公司 | 利用两件式多边形扫描仪的增材制造 |
| US11953626B2 (en) | 2018-01-08 | 2024-04-09 | SOS Lab co., Ltd | LiDAR device |
| WO2019135494A1 (ko) * | 2018-01-08 | 2019-07-11 | 주식회사 에스오에스랩 | 라이다 장치 |
| US11953596B2 (en) | 2018-01-08 | 2024-04-09 | Sos Lab Co., Ltd. | LiDAR device |
| US11493630B2 (en) | 2018-01-08 | 2022-11-08 | SOS Lab co., Ltd | LiDAR device |
| US10591598B2 (en) | 2018-01-08 | 2020-03-17 | SOS Lab co., Ltd | Lidar device |
| US10613224B2 (en) | 2018-01-08 | 2020-04-07 | SOS Lab co., Ltd | LiDAR device |
| US10557924B1 (en) | 2018-05-14 | 2020-02-11 | SOS Lab co., Ltd | Lidar device |
| US10705190B2 (en) | 2018-05-14 | 2020-07-07 | SOS Lab co., Ltd | LiDAR device |
| US10578721B2 (en) | 2018-05-14 | 2020-03-03 | SOS Lab co., Ltd | LiDAR device |
| KR20190130495A (ko) * | 2018-05-14 | 2019-11-22 | 주식회사 에스오에스랩 | 라이다 장치 및 라이다 장치에 이용되는 회전 다면 미러 |
| KR101979374B1 (ko) * | 2018-05-14 | 2019-05-16 | 주식회사 에스오에스랩 | 라이다 장치 및 라이다 장치에 이용되는 회전 다면 미러 |
| KR20210041093A (ko) * | 2018-10-02 | 2021-04-14 | 블랙모어 센서스 앤드 애널리틱스, 엘엘씨 | 코히런트 lidar의 스캐닝을 최적화하기 위한 방법 및 시스템 |
| KR20220025162A (ko) * | 2018-10-02 | 2022-03-03 | 블랙모어 센서스 앤드 애널리틱스, 엘엘씨 | 코히런트 lidar의 스캐닝을 최적화하기 위한 방법 및 시스템 |
| US11953677B2 (en) | 2018-10-02 | 2024-04-09 | Aurora Operations Inc. | Method and system for optimizing scanning of coherent LIDAR |
| CN113678048A (zh) * | 2019-02-07 | 2021-11-19 | 川崎重工业株式会社 | 多面镜、导光装置以及光扫描装置 |
| CN113678048B (zh) * | 2019-02-07 | 2023-10-27 | 川崎重工业株式会社 | 多面镜、导光装置以及光扫描装置 |
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