JP2021504565A - 二部構成ポリゴンスキャナを用いた付加製造 - Google Patents

二部構成ポリゴンスキャナを用いた付加製造 Download PDF

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Abstract

付加製造装置が、プラットフォーム、プラットフォーム上に供給材料の複数の連続層を供給するための分注器、光線を生成するための光源、光線をプラットフォームに向けて反射するための第1のポリゴンミラースキャナ、及び光線をプラットフォーム向けて反射するための第2のポリゴンミラースキャナを含む。光線が、第2のポリゴンミラースキャナのデッドタイム中に第1のポリゴンミラースキャナに向けられ、第1のポリゴンミラースキャナのデッドタイム中に第2のポリゴンミラースキャナに向けられるように、第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナに対して交互に向けられる。【選択図】図2A

Description

本開示は、3D印刷としても知られる、付加製造向けのエネルギー供給システムに関する。
固体自由形状製造又は3D印刷としても知られる付加製造(AM)は、原材料(例:粉末、液体、懸濁液、又は融解固形物)を連続的に分注して二次元の層を形成することから3次元の物体を作り上げる、製造プロセスを意味する。対照的に、従来の機械加工技法には、(木材、プラスチック、複合材、又は金属の塊といった)在庫材料から物体が切り出されるサブトラクティブ処理が含まれる。
付加製造には、様々な積層プロセスを用いることができる。例えば、選択的レーザー溶融法(SLM)や直接金属レーザー焼結法(DMLS)、選択的レーザー焼結法(SLS)、又は熱溶融積層法(FDM)といった幾つかの方法では、層を作り出すために材料を融解又は軟化させる一方で、例えば光造形法(SLA)といった別の技法を用いて、液体材料を硬化させる技法もある。これらのプロセスは、完成物を作製するために層を形成する方法に関して種々であり、各プロセスで互換性をもって使用される材料に関して種々である。
付加製造の幾つかの形態では、粉末がプラットフォーム上に置かれ、レーザービームが粉末上にパターンをトレースして、粉末を融合させて形状を形成する。形状が形成されると、プラットフォームが下げられ、粉末の新しい層が追加される。このプロセスは、部品が完全に形成されるまで繰り返される。
本開示は、ポリゴンスキャナを用いた付加製造に関する技術を説明する。
一側面では、付加製造装置が、プラットフォーム、プラットフォーム上に供給材料の複数の連続層を供給するように構成された分注器、光線を生成するように構成された光源、光源から光線を受け取り、その光線をプラットフォームに向けて反射するように構成された第1のポリゴンミラースキャナ、及び、光源から光線を受け取り、その光線をプラットフォーム向けて反射するように構成された第2のポリゴンミラースキャナを含む。第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、共通の回転軸を共有する。
別の一側面では、付加製造装置が、プラットフォーム、プラットフォーム上に供給材料の複数の連続層を供給するように構成された分注器、光線を生成するように構成された光源、光源から光線を受け取り、その光線をプラットフォームに向けて反射するように構成された第1のポリゴンミラースキャナ、及び、光源から光線を受け取り、その光線をプラットフォーム向けて反射するように構成された第2のポリゴンミラースキャナを含む。第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、供給材料の最も外側の層の上の同じスキャン経路に向けて、光線を反射するように構成されている。光源は、第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナに対して、交互に光線を向けるように構成されている。
任意の側面の実施態様は、以下の特徴のうちの1以上を含む。
第1のポリゴンミラースキャナの回転軸は、第2のポリゴンミラースキャナの回転軸と平行であってよい。第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、共通の回転軸を有してよい。第2のポリゴンミラーは、第1のポリゴンミラーに隣接してよい。第2のポリゴンミラーは、第1のポリゴンミラーに当接してよい。第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、互いに調和して回転するように構成されてよい。第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、共通の軸と、軸を駆動するための共通のモータとを有してよい。
第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、等しい数の側部を有してよい。第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、第1のポリゴンミラースキャナの縁部が、第2のポリゴンミラースキャナの面の近似的に中央に配置されるように、互いから角度的にオフセットされてよい。
操縦ミラーが、第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナに対して、交互に光源からの光線を向けるように構成されてよい。
第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、同じスキャン経路に向けて光線を反射するように構成されてよい。スキャン経路は、第1のポリゴンミラースキャナの回転軸及び第2のポリゴンミラースキャナの回転軸と垂直であってよい。
第1のポリゴンミラースキャナは、共通の回転軸に対して第1の傾きを有する第1の複数のファセットを有してよく、第2のポリゴンミラースキャナは、共通の回転軸に対して異なる第2の傾きを有する第2の複数のファセットを有してよい。第1の傾きは、第2の傾きと等しい大きさで且つ反対の向きであってよい。
第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、互いに反対向きに回転するように構成されてよい。
コントローラは、供給材料の層にわたり連続線が生成される場合、光源に、第1のポリゴンミラースキャナの回転周期の50%を超える期間にわたり光線を生成することを実行させるように構成されてよい。コントローラは、第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナの間の移行中に、光線をオフにするように構成されてよい。
別の一側面では、付加製造法が、光源を用いて光線を生成すること、光線を第1のポリゴンミラースキャナに向けること、第1のポリゴンミラースキャナを用いてプラットフォーム上の供給材料の最上層にわたるスキャン経路にわたり光線をスキャンすること、光線を第2のポリゴンミラースキャナに向けること、及び第2のポリゴンミラースキャナを用いてプラットフォーム上の供給材料の最上層にわたるスキャン経路にわたり光線をスキャンすることを含む。
光線を第1のポリゴンミラースキャナに向けることは、単一軸のミラースキャナから光線を反射することを含んでよい。光線を第2のポリゴンミラースキャナに向けることは、単一軸のミラースキャナから光線を反射することを含んでよい。
第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、同じ軸の周りで、同じ速度で、同じ回転方向に回転してよい。第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナは、同じ軸の周りで、同じ速度で、反対の回転方向に回転してよい。
本開示で説明される主題の特定の実施態様は、以下の利点のうちの1以上を実現するように実施されてよい。所与の部品を製作するために、より低いエネルギーが消費される。部品は、より速く製作され得る。スキャンとスキャンの間のデッドタイムが大幅に削減又は排除されたため、以前のスキャンからの残留熱エネルギーが、保存され、レーザー速度を上げるために使用できる。これは、レーザーの使用効率を50%から100%の近くまで上げることとなる。部品製作時間は、50%も低減され得る。
1以上の実施態様の詳細が、添付図面及び以下の記述において説明される。主題の他の特徴、態様、及び利点が、本記述、図面、及び特許請求の範囲から明らかになろう。
図1Aと図1Bは、それぞれ、例示的な付加製造装置の側面図と上面図を含む概略図である。 図1Aと図1Bは、それぞれ、例示的な付加製造装置の側面図と上面図を含む概略図である。 例示的なミラースキャナシステムの概略的な側面図である。 図2Bと図2Cは、例示的なミラースキャナシステムの概略的な前面図である。 図2Bと図2Cは、例示的なミラースキャナシステムの概略的な前面図である。 本開示の側面で利用され得る例示的な方法のフローチャートである。
様々な図面における類似の参照番号及び記号表示は、類似の要素を示している。
多くの付加製造プロセスでは、付加製造装置によって分注された供給材料の層にエネルギーが選択的に供給されて、供給材料をパターンに融合し、それによって、物体の一部分を形成する。例えば、供給材料の層にわたる直線的な経路内に光線を駆動するために、光線(例えば、レーザービーム)が、回転しているポリゴンスキャナから反射され得る。光源と支持体又は副次的なミラーとの間の相対的な動きが使用されて、光線に層のラスタースキャンを実行させることができる。
更に、レーザービームが、予期せぬ又は望ましくない方向に反射することを避けるために、ポリゴン上のファセット間での移行に相当する期間中、例えば、光線の任意の部分がファセット間の縁部上に落ち得る期間中に、光線がオフにされてよい。結果として、ファセットの長さに沿った幾らかの中央部分に光線が衝突し得る間だけ、光がオンである。例えば、供給材料の層をスキャンし融合させるために、レーザー及びポリゴンミラーが使用されているときに、ポリゴンの回転のために必要とされる時間の幾らかのパーセンテージ(典型的には50%)が「デッドタイム」である。これは、ミラー化されたファセットの中央の50%だけが、金属粉末層上にレーザーを反射するために通常使用され、したがって、レーザーが各ファセットの50%に対してだけオンにされているからである。ポリゴンのこの固有の非効率は、ガルバノレーザーダイレクトスキャニング(galvo laser directed scanning)が、ポリゴン法よりも歴史的に好まれてきた理由の1つかもしれない。
本開示は、互いに隣り合って配置されるが、位相が二分の一ファセットだけシフトされた、それぞれが同じ数のファセットを有する2つのポリゴンを含む、改善されたポリゴンミラースキャナを説明する。他方がデッドタイムにある間に、一方のポリゴン上のファセットを使用して光線を向け、その逆との間で行ったり来たりするように、操縦ミラーが使用され得る。そのような設定は、光線(例えば、レーザー)が、期間の略100%まで維持されることを可能にする。
図1A及び図1Bを参照すると、付加製造装置100の一実施例が、プラットフォーム102、分注器104、エネルギー供給システム106、及びコントローラ108を含む。物体を形成するための動作中に、分注器104は、供給材料110の連続層を、プラットフォーム102の最上面112の上に分注する。エネルギー供給システム106は、供給材料110の層のうちの最上層116にエネルギーを供給するために光線114を放出し、それによって、物体を形成するために供給材料110を例えば所望のパターンに融合する。コントローラ108は、分注器104及びエネルギー供給システム106を動作させて、供給材料110の分注を制御し、供給材料110の層へのエネルギーの供給を制御する。供給材料の連続的な供給、及び連続的に供給された層のそれぞれ内の供給材料の融合は、物体の形成をもたらす。
分注器104が、支持体124、及び、他の構成要素、例えば支持体124上に取り付けられたエネルギー供給システム106と共に移動するように、分注器104は、支持体124上に取り付けられ得る。
分注器104は、プラットフォーム102にわたり供給材料容器から供給材料を押し出すための平坦なブレード又はパドルを含んでよい。そのような一実施態様では、供給材料容器が、ビルドプラットフォーム102に隣接して配置された供給プラットフォームも含んでよい。供給プラットフォームは、ビルドプラットフォーム102の高さより上に幾らかの供給材料を上げるように持ち上げられてよく、ブレードは、供給プラットフォームからビルドプラットフォーム102上に供給材料を押し出すことができる。
代替的に又は更に、分注器は、プラットフォーム102の上方に吊り下げられてよく、そこを通って粉末が流れるところの1以上の開孔又はノズルを有してよい。例えば、粉末は、重力下で流れることができ、又は例えば圧電アクチュエータによって押し出されてよい。個別の開孔又はノズルの分注を制御することが、ガス圧バルブ、微小電気機械システム(MEMS)バルブ、ソレノイドバルブ、及び/又は磁気バルブによって提供されてよい。粉末を分注するために使用され得る他のシステムは、開孔を有するローラー、及び1以上の開孔を有する管の内側のオーガー(augur)を含む。
図1Bで示されているように、分注器104は、例えばY軸に沿って延在し得る。それによって、供給材料が、支持体124の動きの方向と垂直な、例えばX軸と垂直な線に沿って、例えばY軸に沿って分注される。したがって、支持体124が前進する際に、供給材料は、プラットフォーム102全体にわたり供給され得る。
供給材料110は、金属粒子を含むことができる。金属粒子の例は、金属、合金、及び金属間合金を含む。金属粒子向けの材料の例は、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼、ニッケル、コバルト、クロム、バナジウム、及びこれらの金属の様々な合金又は金属間合金を含む。
供給材料110は、セラミック粒子を含むことができる。セラミック材料の例は、セリア、アルミナ、シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素などの金属酸化物、又はアルミニウム合金粉末などのこれらの材料の組み合わせを含む。
供給材料は、乾燥粉末、若しくは液体懸濁液中の粉末、又は材料のスラリ懸濁液であってよい。例えば、圧電プリントヘッドを用いる分注器の場合、典型的には供給材料は液体懸濁液中の粒子であり得る。例えば、分注器は、粉末を、例えば、イソプロピルアルコール(IPA)、エタノール、又はN‐メチル‐2‐ピロリドン(NMP)といった高蒸気圧キャリアなどのキャリア流体内で供給して、粉末材料の層を形成することができる。このキャリア流体は、層の焼結ステップに先立って蒸発し得る。代わりに、第1の粒子を分注するため、例えば超音波撹拌と加圧不活性ガスとによって補助されたノズルのアレイといった、乾式分注メカニズムを採用することもできる。
図1Aに戻って参照すると、エネルギー供給システム106は、光線114を放出するための光源120を含む。エネルギー供給システム106は、光線114を最上層116に向けて再方向付けする反射器アセンブリ118を更に含む。エネルギー供給システム106の例示的な実施態様は、本開示内で以降より詳細に説明される。反射器アセンブリ118は、最上層116の上の経路(例えば、直線的な経路)に沿って、光線114を掃引させることができる。直線的な経路は、例えばY軸に沿って分注器によって供給された供給材料の線と平行であってよい。エネルギー供給システム106及びプラットフォーム102の相対的な動き、又は別の反射器(例えば、ガルバノ駆動ミラー(galvo-driven mirror)若しくは別の方向付け機構)による光線114の変位と連動した、光線114による経路に沿った掃引のシーケンスは、最上層116にわたる光線114のラスタースキャンを生成することができる。
光線114が経路に沿って掃引される際に、光線114は、供給材料110の層の選択された領域にエネルギーを供給し、選択された領域内の材料を融合して、所望のパターンに従って物体を形成するために、例えば、光源120に光線114をオン・オフさせることによって変調され得る。
ある実施態様では、光源120が、光線114を反射器アセンブリ118に向けて放出するように構成されたレーザーを含む。反射器アセンブリ118は、反射器アセンブリ118の反射面が光線114を受け取るように、光源120によって放射される光線114の経路内に配置される。次いで、反射器アセンブリ118は、供給材料110の層のうちの最上層116にエネルギーを供給して、供給材料110を融合するために、プラットフォーム102の最上面に向けて光線114を再方向付けする。例えば、反射器アセンブリ118の反射面は、光線114をプラットフォーム102に向けて再方向付けするように、光線114を反射する。
ある実施態様では、エネルギー供給システム106が、エネルギー供給システム106をプラットフォーム102の上方で支持する支持体122に取り付けられる。ある場合では、支持体122(及び支持体122上に取り付けられたエネルギー供給システム106)が、プラットフォーム102に対して回転可能である。ある実施態様では、支持体122が、プラットフォーム102の上方に配置された別の支持体124に取り付けられる。支持体124は、(例えば、図1Bで示されているプラットフォーム102の両側上の)両端部上に支持された台、又は(例えば、プラットフォーム102の片側だけの上に支持された)カンチレバーアセンブリであってよい。支持体124は、付加製造装置100のエネルギー供給システム106及び分注システム104を、プラットフォーム102の上方で保持する。
ある場合では、支持体122が、支持体124上に回転可能に取り付けられている。反射器アセンブリ118は、例えば支持体122が支持体124に対して回転されるときに回転され、したがって、最上層116の上の光線114の経路を再方向付けする。例えば、エネルギー供給システム106は、プラットフォーム102から垂直に離れるように延在する軸、例えばZ軸と平行な軸の周りで、Z軸とX軸の間で、且つ/又はZ軸とY軸の間で回転可能であってよい。そのような回転は、X‐Y平面に沿って、すなわち、供給材料の最上層116にわたり、光線114の経路の方位角方向を変更することができる。
ある実施態様では、支持体124が、エネルギー供給システム106及び分注システム104とプラットフォーム102との間の距離を制御するために、例えばZ軸に沿って垂直に移動可能である。特に、各層の分注後に、支持体124が、層から層への連続的な高さを維持するように、堆積された層の厚さだけ垂直にインクリメントされてよい。装置100は、例えば、支持体124が取り付けられる水平な支持体レールを上げ下げすることによって、Z軸に沿って支持体124を駆動するように構成されたアクチュエータ130を更に含み得る。
様々な構成要素、例えば分注器104及びエネルギー供給システム106は、支持体124にユニットとして設置され得る又は支持体124からユニットして除去され得る、モジュール式ユニット(すなわち、プリントヘッド126)内に結合されてよい。更に、ある実施態様では、支持体124が、例えば、製作されるより大きな部品を受け入れるためにスキャン領域をモジュール式に増やすように、複数の同一なプリントヘッドを保持してよい。
各プリントヘッド126が、プラットフォーム102の上方に配置され、プラットフォーム102に対して1以上の水平な方向に沿って再配置可能である。プリントヘッド126に取り付けられた様々なシステムは、モジュール式のシステムである。プラットフォーム102の上方でのそれらの水平位置は、プラットフォーム102に対するプリントヘッド126の水平位置によって制御される。例えば、プリントヘッド126は、支持体124に取り付けられてよく、支持体124は、プリントヘッド126を再配置するように移動可能であってよい。
ある実施態様では、アクチュエータシステム128が、プリントヘッド126に取り付けられたシステムに係合した1以上のアクチュエータを含む。X軸に沿った移動について、ある場合では、アクチュエータ128が、X軸に沿ってプラットフォーム102に対して、プリントヘッド126及び支持体124をそれらの全体で駆動するように構成されている。例えば、アクチュエータは、水平な支持レール上のギア面と係合する、回転可能なギアを含んでよい。代替的に又は更に、装置100は、その上にプラットフォーム102が位置付けられるところのコンベヤを含む。コンベヤは、X軸に沿ってプリントヘッド126に対してプラットフォーム102を移動させるように駆動される。
アクチュエータ128及び/又はコンベヤは、プラットフォーム102と支持体124の間の相対的な動きをもたらす。それによって、支持体124は、プラットフォーム102に対して前方向133に進む。分注器104は、エネルギー供給システム106の前で支持体124に沿って配置されてよい。それによって、供給材料110は、先ず分注され、次いで支持体124がプラットフォーム102に対して前進した際に、エネルギー供給システム106によって供給されるエネルギーによって、直近で分注された供給材料が硬化されてよい。
ある実施態様では、(1以上の)プリントヘッド126及びその構成要素であるシステムが、プラットフォーム102の動作幅に及ばない。この場合、アクチュエータシステム128が、支持体124にわたりシステムを駆動するように作動され得る。それによって、プリントヘッド126及びプリントヘッド126に取り付けられたシステムのそれぞれが、Y軸に沿って移動可能である。(図1Bで示されている)ある実施態様では、(1以上の)プリントヘッド126及びその構成要素であるシステムが、プラットフォーム102の動作幅に及び、Y軸に沿った動きは必要でない。
ある場合では、プラットフォーム102が、複数のプラットフォーム102a、102b、及び102cのうちの1つである。支持体124とプラットフォーム102a‐102cとの相対的な動きは、プリントヘッド126のシステムが、プラットフォーム102a‐102cのうちの何れかの上方で再配置されることを可能にし、それによって、供給材料がプラットフォーム102a、102b、及び102cのそれぞれの上に分注され融合して、複数の物体を形成することを可能にする。プラットフォーム102a‐102bは、前方向133の向きに沿って配置されてよい。
ある実施態様では、付加製造装置100が、バルクエネルギー供給システム134を含む。例えば、供給材料の最上層116の上の経路に沿ったエネルギー供給システム106によるエネルギーの供給とは対照的に、バルクエネルギー供給システム134は、最上層116の予め規定されたエリアにエネルギーを供給する。バルクエネルギー供給システム134は、起動されたときに、供給材料110の最上層116内の予め規定されたエリアにエネルギーを供給する、1以上の加熱ランプ(例えば、加熱ランプのアレイ)を含んでよい。
バルクエネルギー供給システム134は、例えば前方向133に対して、エネルギー供給システム106の前又は後ろに配置される。バルクエネルギー供給システム134は、例えば、供給材料110が分注器104によって分注された直後にエネルギーを供給するために、エネルギー供給システム106の前に配置されてよい。バルクエネルギー供給システム134によるエネルギーのこの初期的な供給は、エネルギー供給システム106よるエネルギーの供給が供給材料110を融合して物体を形成する前に、供給材料110を安定化することができる。バルクエネルギー供給システムによって供給されるエネルギーは、分注されたときの初期温度を超えて供給材料の温度を、未だ供給材料が溶け又は融合する温度未満である高められた温度へ上げるのに十分であってよい。高められた温度は、粉末がねばねばする温度未満、粉末がねばねばする温度より上であってよいが、粉末が固まる温度未満、又は粉末が固まる温度より上であってよい。
代替的に、バルクエネルギー供給システム134は、例えば、エネルギー供給システム106が供給材料110にエネルギーを供給した直後にエネルギーを供給するために、エネルギー供給システム106の後ろに配置されてよい。このバルクエネルギー供給システム134によるエネルギーのこの引き続いた供給は、供給材料の冷却温度プロファイルを制御し、したがって、硬化の改善された均一性を提供することができる。ある場合では、バルクエネルギー供給システム134が、複数のバルクエネルギー供給システム134a、134bのうちの第1のものであり、バルクエネルギー供給システム134aは、エネルギー供給システム106の後ろに配置され、バルクエネルギー供給システム134bは、エネルギー供給システム106の前に配置されている。
任意選択的に、装置100は、分注器104によって分注された粉末のみならず、層116の特性、例えば、温度、密度、及び材料を検出するための第1の検知システム136a及び/又は第2の検知システム136bを含む。コントローラ108は、エネルギー供給システム106、分注器104、及びもし存在するならば装置100の任意の他のシステムの動作を連動させることができる。ある場合では、コントローラ108が、装置のユーザインタフェース上でユーザ入力信号を受け取り又は装置100の検知システム136a、136bから検知信号を受け取り、これらの信号に基づいてエネルギー供給システム106及び分注器104を制御することができる。
任意選択的に、装置100は、分注器104によって分注された供給材料110を圧縮し且つ/又は広げるために第1の分注器104と協働する、スプレッダー138(例えば、ローラーやブレード)も含み得る。スプレッダー138は、層に実質的に均一な厚さを与えることができる。ある場合では、スプレッダー138が、供給材料110を圧縮するために、供給材料110の層を押すことができる。スプレッダー138は、例えばプリントヘッド126上で支持体124によって支持されてよく、又はプリントヘッド126から分離して支持されてよい。
ある実施態様では、分注器104が、複数の分注器104a、104bを含み、供給材料110が、複数の種類の供給材料110a、110bを含む。第1の分注器104aは、第1の供給材料110aを分注し、一方で、第2の分注器104bは、第2の供給材料110bを分注する。もし存在するならば、第2の分注器104bは、第1の供給材料110aのものとは異なる特性を有する第2の供給材料110bの供給を可能にする。例えば、第1の供給材料110aと第2の供給材料110bは、材料組成又は平均粒径が異なり得る。
ある実施態様では、第1の供給材料110aの粒子が、第2の供給材料110bの粒子より(例えば2倍以上)大きい平均直径を有し得る。第2の供給材料110bが、第1の供給材料110aの層上に分注されたときに、第2の供給材料110bは、第1の供給材料110aの層に入り込み、第1の供給材料110aの粒子の間の隙間を満たす。第1の供給材料110aより小さい粒径を有する第2の供給材料110bは、より高い解像度を実現することができる。
ある場合では、スプレッダー138が、複数のスプレッダー138a、138bを含み、第1のスプレッダー138aは、第1の供給材料110aを広げ圧縮するために第1の分注器104aと共に動作可能であり、第2のスプレッダー138bは、第2の供給材料110bを広げ圧縮するために、第2の分注器104bと共に動作可能である。
図2Aは、反射器アセンブリ118として使用され得る、例示的なポリゴンスキャナアセンブリ200の側面図を示している。ポリゴンミラーサブアセンブリ204は、光源120から光線114を受け取り、光線をプラットフォーム102に向けて反射するように構成された、第1のポリゴンミラースキャナ204aを含む。ポリゴンミラーサブアセンブリ204は、第2のポリゴンミラースキャナ204bも含む。第2のポリゴンミラースキャナ204bも、光源120から光線114を受け取り、光線114をプラットフォーム102に向けて反射するように構成されている。
図示されている実施態様では、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bは、等しい数の側部を有している。特に、第1のポリゴンミラースキャナ204aは、縁部208aで接合された隣接するファセット206aを有する複数のファセット206aを有する。同様に、第2のポリゴンミラースキャナ204bは、縁部208bで接合された隣接するファセット206bを有する複数のファセット206bを有する。第1及び第2のポリゴンミラースキャナ204a、204bは、同じサイズであってよく、例えば、ファセット206a、206bは、同じ長さを有してよい。個別のファセット206a、206bは、平坦であってよいが、わずかに凸状又は凹状のファセットも可能である。
第1及び第2のポリゴンミラースキャナ204a、204bは、平行な軸の周りで回転してよい。特に、第1のポリゴンミラースキャナ204aは、第2のポリゴンミラースキャナ204bと同じ回転軸を共有してよい。この場合、第2のポリゴンミラースキャナ204bは、回転軸に沿ってのみ、第1のポリゴンミラースキャナ204aからオフセットされてよい。
第2のポリゴンミラースキャナ204bは、第1のポリゴンミラースキャナ204bに隣接して配置されてよい。例えば、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bの間の距離は、ファセットの長さ未満であってよい。ある実施態様では、第1のポリゴンミラースキャナ204aが、第2のポリゴンミラースキャナ204bと接触している。図2Bは、互いに当接した第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bを示しているが、ポリゴンミラーサブアセンブリ204は、ある事例では、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bの間に間隙を含んでよい。すなわち、第2のポリゴンミラースキャナ204bは、回転軸に沿って、第1のポリゴンミラースキャナ204aからオフセットされてよい。
図2Bで示されているように、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bは、第1のポリゴンミラースキャナ204aの縁部208aが、第2のポリゴンミラースキャナ204bのファセット206bの近似的に中央に配置されるように、互いからオフセットされてよい。逆に、第2のポリゴンミラースキャナ204bの縁部208bは、第1のポリゴンミラースキャナ204aのファセット206aの近似的に中央に配置されている。
ある実施態様では、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bが、同じスキャン経路206に向けて光線114を反射するように構成されている。すなわち、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bは、同じスキャン経路206に光線114を向けるように方向付けられた面を有する。これを実現するために、第1のポリゴンミラースキャナ204aは、ファセットの面が回転軸に沿って傾くように方向付けられたファセット206aの第1の組を有する。結果として、光線114を反射する第1のポリゴンミラースキャナ204aのファセットは、(図2Cの角度Aによって示されているように)プラットフォーム102に対して第1の傾きにある。同様に、第2のポリゴンミラースキャナ204bは、ファセットの面が回転軸に沿って傾くように方向付けられたファセット206bの第2の組を有する。結果として、光線114を反射する第2のポリゴンミラースキャナ204aのファセットは、プラットフォーム102に対して異なる第2の傾きにある。第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bが、光線114を同じスキャン経路206に向けて反射するように構成され、光線114が、ミラースキャナの回転軸に実質的に垂直な方向からファセット上に入射する事例では、第1の傾きが、第2の傾きに対して等しい大きさ及び反対の向きを有し得る。ある事例では、スキャン経路206が、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bの回転軸と垂直である。
ある実施態様では、第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナが、例えば、同じ方向及び回転速度で互いに調和して回転するように構成されている。そのような事例では、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bが、共通の軸と、軸を駆動するための共通のモータとを有してよい。
ある事例では、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bが、互いに反対向きに回転するように構成されている。そのような事例は、回転用の異なる軸を有する第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bを含み得る。ある事例では、異なるモータが使用されて、個別の軸のそれぞれを回転させることができる。ある事例では、単一のモータが、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bの両方向けの軸を駆動してよいが、ギヤボックスが、回転の異なる方向をもたらす。
図示されているように、操縦ミラー202が、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bに対して、交互に光源120からの光線114を導く又は「操縦する」ように構成されている。光源120(例えば、レーザー)は、光線114を操縦ミラー202上のポイント「A」に向ける。操縦ミラー202は、単一軸のミラースキャナであってよい。例えば、操縦ミラー202は、ガルバノミラースキャナ(galvo mirror scanner)又は別の種類のミラースキャナを含んでよい。操縦ミラー202は、操縦ミラー202の方向に応じて、ポイント「B」又はポイント「C」の何れかに光線114を向ける。
特に、操縦ミラー202は、他方のポリゴンが、光線が「デッドタイム」であり得るファセットの一部分に衝突し得る位置にある間に、一方のポリゴン上のファセットから光線が反射される状態と、その逆の状態とで、ポリゴンミラースキャナ204a、204bの間で行ったり来たりするように光線114を導くように使用され得る。したがって、操縦ミラー202は、光線114が、ファセット毎に一方のポリゴンミラースキャナから他方のポリゴンミラースキャナに切り替わるようにする。そのような設定は、光線(例えば、レーザー)が、期間の略100%まで維持されることを可能にする。
コントローラ108は、ファセットの中央の50%だけが使用されるように、操縦ミラー202を異なるポリゴンに切り替えさせることができる。例えば、コントローラ108は、操縦ミラー202に、ポリゴンがファセットによって定められた角度の約半分を通って回転したときに、光線114を異なるポリゴンに切り替えることを実行させることができる。例えば、2つの八角形ポリゴンに対して、操縦ミラー202は、ポリゴンによる回転の22.5度毎にポリゴンの間で光線を交互にすることができる。更に、コントローラ108は、操縦ミラー202に、ファセットによって定められた角度の約四分の三に等しい角度だけ、光線が縁部208に衝突し得るポイントを通過してポリゴンが回転したときに、光線を異なるポリゴンに切り替えることを実行させることができる。逆に、これは、ファセットによって定められた角度の約四分の一に等しい角度だけ、光線が縁部208に衝突し得るポイントを通過してポリゴンが回転したときに、略そのポイントにおいて光線を新しいファセットに衝突させ始めることをもたらす。例えば、2つの八角形ポリゴンに対して、操縦ミラー202は、光線114が縁部に衝突し得るポイントを通過してポリゴンが約37.75度のポイントまで回転したときに、光線を切り替えることを実行させることができる。結果として、各光線は、光線114が縁部に衝突し得るポイントを通過して、約11.25度のポイントから約37.75度のポイントの間でファセットが回転しているときに、そのファセットに衝突し得る。操縦ミラー202によって光線114の位置が変化するタイミングは、エンコーダからの位置データに基づいて、コントローラ108によって特定され得る。
光源120は、操縦ミラー202が、光線をBからCに向けるように又はCからBに向けるように変更するように位置をシフトする短い期間中に起動解除され得る。しかし、操縦ミラー202は速い、例えば圧電駆動ミラーなので、光源は、非常に短い期間だけ起動解除される必要がある。しかし、ある実施態様では、操縦ミラーが位置をシフトしている間に、光源がオンのままであってよい。
操縦ミラー202の速度が速いので、光源は、その時間の大部分においてアクティブであってよい。これは、レーザーの使用効率を50%から100%の近くまで上げることとなる。部品製作時間は、50%も低減され得る。スキャンとスキャンの間のデッドタイムが大幅に削減又は排除されたため、前のスキャンからの残留熱エネルギーが、保持され、レーザー速度を上げるために使用できる。
ある実施態様では、2つの分離した光源が、単一軸のミラースキャナ202の代わりに使用され得る。光源は、光線が、第1及び第2のポリゴンミラースキャナ204a、204bの2つに交互に向けられるように、交互に起動されてよい。
ある実施態様では、操縦ミラー202が使用されて、ファセットからファセット若しくはファセット内での何れか、又はそれらの両方で、ポリゴンミラースキャナ204a、204bのファセット206a、206bの角度方向におけるばらつきを補償することができる。
例えば、図2B及び図2Cを参照すると、角度Aは、例えば単に製造許容誤差により、ポリゴンミラースキャナ内のポリゴンのファセットからファセットへとばらつき得る。結果として、補償なしに、連続的なファセット206a、206bから生じる光線114の連続的な経路206は、経路206の方向に垂直な軸に沿って異なる位置へ変位し得る。しかし、操縦ミラー202の方向は、各ファセットが、光線114を同じ共通の直線的な経路に沿って投影するように、所与のポリゴンミラースキャナのそれぞれのファセット上の異なる位置の上に光線114を投影するために、ファセットからファセットへと調整され得る。特に、(図2Aの左向き若しくは右向き、又は図2Bのページの中へ若しくは外へ)光線114がファセットに衝突する位置を調整することによって、ファセットからの反射の角度は調整されてよく、したがって、供給材料上の光線114の位置を調整することができる。
例えば、較正手順中に、較正層ファセット上のスキャン経路206の位置は、各ファセットに対して測定されてよく、スキャニングミラー202は、各ファセットに対してデフォルト位置に設定されている。これらの測定値が使用されて、スキャン経路206のずれを補償するような操縦ミラー向けの補正された位置を示すデータを生成することができる。例えば、参照表が各ファセットに対するエントリを有してよく、各エントリは、デフォルト位置に対する操縦ミラー202向けのずれ角度βを示している。
動作では、コントローラが、ポリゴンミラーを駆動するエンコーダから信号を受信することができる。例えば、エンコーダは、一回転当たりN回のパルスを生成することができ、Nは、ファセットの数である。コントローラは、どのファセットが光線を反射しているかを特定するためにパルスを数えることができ、そのファセット向けの参照表からずれ角度が特定されてよく、操縦ミラーは、エントリによって示されているずれ角度に設定されてよい。
別の一実施例として、図2B及び図2Cを参照すると、例えば再び製造許容誤差により、角度Aがファセットの面にわたり変動するように、少なくとも1つのファセットが方向付けられてよい。結果として、補償なしに、ファセットによるスキャンから生じた光線114の経路206は、所望の経路に対して(ある角度で)傾いていてよく、又は非直線的であってよい。しかし、操縦ミラー202の方向は、所望の方向に沿った直線的な経路を生成するように、光線がファセットにわたりスキャンする際に調整され得る。上述されたように、(図2Aの左向き若しくは右向き、又は図2Bのページの中へ若しくは外へ)光線114がファセットに衝突する位置を調整することによって、ファセットからの反射の角度は調整されてよく、したがって、供給材料上の光線114の位置を調整することができる。
例えば、較正手順中に、各ファセットに対して、所望の経路からのスキャン経路206のずれは、経路に沿った複数の位置に対して測定されてよい(上述の手順に類似し、スキャニングミラー202は、各ファセットに対してデフォルト位置に設定され得る)。これらの測定値が使用されて、所望の経路からのスキャン経路206のばらつきを補償するための操縦ミラー向けの補正された位置を示すデータを生成することができる。例えば、参照表が各ファセットに対する複数のエントリを有してよく、各エントリは、デフォルト位置に対する操縦ミラー202向けのずれ角度βを示している。エントリは、そこでずれ角度が適用されるべきところのポリゴンミラーの回転方向を示すデータがタグ付けされてよい。
動作では、コントローラが、ポリゴンミラーを駆動するエンコーダから信号を受信することができる。コントローラは、エンコーダからの信号からポリゴンミラーの回転速度を特定することができる。回転速度と経過時間に基づいて、ドリフトに反作用するためにエンコーダからの周期信号を使用して、コントローラは、ポリゴンミラーの現在の回転方向を特定することができる。コントローラは、参照表からのどのエントリがその回転方向向けに使用されるべきかを特定することができ、操縦ミラーは、そのエントリによって示されているずれ角度に設定されてよい。これにより、光線が、ポリゴンスキャニングミラーの単一の面にわたりスキャンするときでさえも、操縦ミラーの位置を調整することができる。
図3は、本開示の側面で利用され得る例示的な方法300のフローチャートである。302では、光線が光源を用いて生成される。304では、光線が、(第2のポリゴンミラースキャナではなく)第1のポリゴンミラースキャナに向けられる。ある事例では、光線を第1のポリゴンミラースキャナに向けることが、操縦ミラーから光線を反射することを含む。306では、光線が、第1のポリゴンミラースキャナを用いて、プラットフォーム上の供給材料の最上層にわたるスキャン経路にわたりスキャンされる。308では、光線が、(第1のポリゴンミラースキャナではなく)第2のポリゴンミラースキャナに向けられる。ある事例では、光線を第2のポリゴンミラースキャナに向けることが、操縦ミラーから光線を反射すること、例えば操縦ミラーの方向を変更することを含む。310では、光線が、第2のポリゴンミラースキャナを用いて、プラットフォーム上の供給材料の最上層にわたるスキャン経路にわたりスキャンされる。ある事例では、第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナが、同じ軸に沿って、同じ速度で、同じ回転方向に回転してよい。ある事例では、第1のポリゴンミラースキャナと第2のポリゴンミラースキャナが、同じ軸に沿って、同じ速度で、反対の回転方向に回転してよい。
コントローラ及びコンピュータデバイスが、本明細書で説明されるこれらの動作並びに他のプロセス及び動作を実施し得る。上述されたように、コントローラ108は、装置100の様々な構成要素に接続された1以上の処理デバイスを含んでよい。コントローラ108は、動作を連係させて、装置100に上述した様々な機能動作又はステップのシーケンスを実行させることができる。
本明細書に記載のシステムのコントローラ108及び他のコンピュータ装置のパーツは、デジタル電子回路、若しくはコンピュータソフトウェア、ファームウェア、又はハードウェア内に実装されてよい。例えばコントローラは、例えば非一過性マシン可読記憶媒体といった、コンピュータプログラム製品内に記憶されたコンピュータプログラムを実行する、プロセッサを含み得る。こうしたコンピュータプログラム(プログラム、ソフトウェア、ソフトウェアアプリケーション又はコードとしても知られている)は、コンパイル又は翻訳された言語を含むプログラミング言語の任意の形で書くことができ、また独立型プログラムとして、又はモジュール、構成要素、サブルーチン、若しくは計算環境で使用するのに適している他のユニットとして配置することを含め、任意の形で配置することができる。
記載のシステムのコントローラ108及び他のコンピュータ装置のパーツは、各層に供給材料が堆積するためのパターンを指定する、例えばコンピュータ援用設計(CAD)互換性のファイルといったデータオブジェクトを保存するための非一過性コンピュータ可読媒体を含み得る。例えば、このデータオブジェクトは、STLフォーマットのファイル、3D製造フォーマット(3MF)のファイル、又は付加製造ファイルフォーマット(AMF)のファイルであってよい。更に、データオブジェクトは、複数のファイルや、tiff、jpeg、又はビットマップ形式の複数のレイヤーを持つファイルなどの、他の形式にすることができる。例えば、コントローラは、遠隔コンピュータからデータオブジェクトを受信することもある。コントローラ108のプロセッサは、例えば、ファームウェア又はソフトウェアによって制御されるため、コンピュータから受信したデータオブジェクトを解読し、各層を特定のパターンに融合する装置100の構成要素を制御するのに必要な一連の信号を生成し得る。
前述したように、付加製造システム100は、コントローラ108を含む。コントローラ108は、光源120に、供給材料110の層にわたり連続した線が生成される場合に、供給材料110の層にわたる光線の時間スキャニングの50%を超える光線を生成することを実行させるように構成されている。コントローラ108は、第1のポリゴンミラースキャナ204aと第2のポリゴンミラースキャナ204bの間の移行中に、光線114をオフにするように構成されている。コントローラ108は、コントローラ108内にマイクロプロセッサによって実行可能な指示命令を記憶したコンピュータ可読記憶媒体を含む。指示命令は、以下のものを含む。光線114は、光線を第1のポリゴンミラースキャナに向ける光源120を用いて生成され、光線114は、第1のポリゴンミラースキャナ204aを用いて、プラットフォーム102上の供給材料110の最上層にわたるスキャン経路206にわたりスキャンされる。光線114は、第2のポリゴンミラースキャナ204bに向けられ、光線114は、第2のポリゴンミラースキャナ204bを用いて、プラットフォーム102上の供給材料110の最上層にわたるスキャン経路206にわたりスキャンされる。
金属及びセラミックの付加製造の処理条件は、プラスチックの場合の処理条件とは大幅に異なる。例えば、金属とセラミックは概して、著しく高い処理温度を必要とする。プラスチック用の3D印刷の技法は、金属又はセラミックの処理には適用できない可能性があり、装置も均等ではない可能性がある。しかしながら、本明細書に記載の幾つかの技法は、ポリマー粉末、例えば、ナイロン、ABS、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)、及びポリスチレンなどに適用可能であろう。
本開示は、特定の実施態様の詳細を多数包含しているが、特許請求の範囲に対する限定として解釈されるべきでなく、むしろ特定の実施態様に特有の特徴の説明として解釈されるべきである。別々の実施態様に関連して本開示に記載された特定の特徴を、単一の実施態様において組み合わせて実施することも可能である。反対に、単一の実施態様に関連して記載される様々な特徴を、複数の実施態様に別々に、又は任意の適切な組み合わせの一部において実施することもできる。更に、特徴は特定の組み合わせにおいて作用するものとして上記され、またそのように特許請求さえされ得るが、ある場合には特許請求された組み合わせの中の1以上の特徴をその組み合わせから除外することもでき、特許請求された組み合わせが、組み合わせの一部または組み合わせの一部の変形を対象とする場合もある。
同様に、図面には操作が特定の順番で示されているが、所望の結果を得るために、上記操作を示された特定の順番に、もしくは起こる順番に実行する必要がある、または記載された操作をすべて実行する必要があると、理解されるべきではない。更に、上記の実施態様で様々なシステム構成要素が分離されていることで、全ての実施態様でこうした分離が必要であると理解されるべきではない。また、記載のプログラム構成要素及びシステムが、一般に単一のソフトウェア製品に統合でき、又は複数の製品にパッケージ化し得ることは、理解されるべきである。
本発明の特定の実施態様を説明してきた。他の実施態様が、下記の特許請求の範囲内にある。
任意選択的に、付加製造システム100の幾つかの部品、例えばビルドプラットフォーム102や供給材料供給システムは、ハウジングによって取り囲まれてよい。ハウジングは、例えば、約1Torr以下の圧力などにおいて、減圧環境がハウジング内のチャンバ内で維持できるようにすることができる。代替的には、チャンバの内部は、例えば、粒子を除去するためにフィルタリングされたガスなどの実質的に純粋なガスとすることができ、又はチャンバを大気に通気することができる。純粋なガスは、アルゴン、窒素、キセノン、及び混合された不活性ガスなどの、不活性ガスを構成することができる。
本開示の側面は、マーキング及び3Dスキャニングなどの他のポリゴンレーザー用途に適用可能である。
別の可能な構成では、単一方向パターンの代わりに往復スキャニングパターンを実現するために、第2のポリゴンが逆回転されてよい。
ある場合では、特許請求の範囲に列挙される作用を異なる順序で実行しても、所望の結果を未だ実現することができる。更に、添付の図面で示されているプロセスは、所望の結果を得るために、必ずしも、図示した特定の順序、又は連続した順序であることを必要としない。
光線を第1のポリゴンミラースキャナに向けることは、単一軸の操縦ミラーから光線を反射することを含んでよい。光線を第2のポリゴンミラースキャナに向けることは、単一軸の操縦ミラーから光線を反射することを含んでよい。
ある実施態様では、2つの分離した光源が、単一軸の操縦ミラー202の代わりに使用され得る。光源は、光線が、第1及び第2のポリゴンミラースキャナ204a、204bの2つに交互に向けられるように、交互に起動されてよい。
例えば、図2B及び図2Cを参照すると、角度Aは、例えば単に製造許容誤差により、ポリゴンミラースキャナ内のポリゴンのファセットからファセットへとばらつき得る。結果として、補償なしに、連続的なファセット206a、206bから生じる光線114の連続的な経路206は、経路206の方向に垂直な軸に沿って異なる位置へ変位し得る。しかし、操縦ミラー202の方向は、各ファセットが、光線114を同じ共通の直線的な経路に沿って投影するように、所与のポリゴンミラースキャナのそれぞれのファセット上の異なる位置の上に光線114を投影するために、ファセットからファセットへと調整され得る。特に、(図2の左向き若しくは右向き、又は図2のページの中へ若しくは外へ)光線114がファセットに衝突する位置を調整することによって、ファセットからの反射の角度は調整されてよく、したがって、供給材料上の光線114の位置を調整することができる。
例えば、較正手順中に、較正層ファセット上のスキャン経路206の位置は、各ファセットに対して測定されてよく、操縦ミラー202は、各ファセットに対してデフォルト位置に設定されている。これらの測定値が使用されて、スキャン経路206のずれを補償するような操縦ミラー向けの補正された位置を示すデータを生成することができる。例えば、参照表が各ファセットに対するエントリを有してよく、各エントリは、デフォルト位置に対する操縦ミラー202向けのずれ角度βを示している。
別の一実施例として、図2B及び図2Cを参照すると、例えば再び製造許容誤差により、角度Aがファセットの面にわたり変動するように、少なくとも1つのファセットが方向付けられてよい。結果として、補償なしに、ファセットによるスキャンから生じた光線114の経路206は、所望の経路に対して(ある角度で)傾いていてよく、又は非直線的であってよい。しかし、操縦ミラー202の方向は、所望の方向に沿った直線的な経路を生成するように、光線がファセットにわたりスキャンする際に調整され得る。上述されたように、(図2の左向き若しくは右向き、又は図2のページの中へ若しくは外へ)光線114がファセットに衝突する位置を調整することによって、ファセットからの反射の角度は調整されてよく、したがって、供給材料上の光線114の位置を調整することができる。
例えば、較正手順中に、各ファセットに対して、所望の経路からのスキャン経路206のずれは、経路に沿った複数の位置に対して測定されてよい(上述の手順に類似し、操縦ミラー202は、各ファセットに対してデフォルト位置に設定され得る)。これらの測定値が使用されて、所望の経路からのスキャン経路206のばらつきを補償するための操縦ミラー向けの補正された位置を示すデータを生成することができる。例えば、参照表が各ファセットに対する複数のエントリを有してよく、各エントリは、デフォルト位置に対する操縦ミラー202向けのずれ角度βを示している。エントリは、そこでずれ角度が適用されるべきところのポリゴンミラーの回転方向を示すデータがタグ付けされてよい。

Claims (15)

  1. 付加製造装置であって、
    プラットフォーム、
    前記プラットフォーム上に供給材料の複数の連続層を供給するように構成された分注器、
    光線を生成するように構成された光源、
    前記光源からの前記光線を受け取り、前記光線を前記プラットフォームに向けて反射するための第1のポリゴンミラースキャナ、及び
    前記光源からの前記光線を受け取り、前記光線を前記プラットフォームに向けて反射するための第2のポリゴンミラースキャナを備え、
    前記光線が、前記第2のポリゴンミラースキャナのデッドタイム中に前記第1のポリゴンミラースキャナに向けられ、前記第1のポリゴンミラースキャナのデッドタイム中に前記第2のポリゴンミラースキャナに向けられるように、前記光源が、前記第1のポリゴンミラースキャナと前記第2のポリゴンミラースキャナに対して、前記光線を交互に向けるように構成されている、装置。
  2. 前記第1のポリゴンミラースキャナの回転軸が、前記第2のポリゴンミラースキャナの回転軸と平行である、請求項1に記載の装置。
  3. 前記第1のポリゴンミラースキャナと前記第2のポリゴンミラースキャナが、共通の回転軸を共有する、請求項2に記載の装置。
  4. 前記第1のポリゴンミラースキャナと前記第2のポリゴンミラースキャナが、等しい数のファセットを有する、請求項3に記載の装置。
  5. 前記第1のポリゴンミラースキャナのファセットが、前記第2のポリゴンミラースキャナのファセットから角度的にオフセットされている、請求項4に記載の装置。
  6. 前記第1のポリゴンミラースキャナの縁部が、前記第2のポリゴンミラースキャナの面の近似的に中央に一致するように、前記第1のポリゴンミラースキャナと前記第2のポリゴンミラースキャナが、互いから角度的にオフセットされている、請求項5に記載の装置。
  7. 前記第1のポリゴンミラースキャナが、前記共通の回転軸に対して第1の傾きを有する第1の複数のファセットを有し、前記第2のポリゴンミラースキャナが、前記共通の回転軸に対して異なる第2の傾きを有する第2の複数のファセットを有する、請求項3に記載の装置。
  8. 前記第1の傾きが、前記第2の傾きと等しい大きさで且つ反対の向きである、請求項7に記載の装置。
  9. 前記第2のポリゴンミラースキャナが、前記第1のポリゴンミラースキャナに隣接している、請求項1に記載の装置。
  10. 前記第2のポリゴンミラースキャナが、前記第1のポリゴンミラースキャナに当接している、請求項9に記載の装置。
  11. 前記光源からの前記光線を、前記第1のポリゴンミラースキャナと前記第2のポリゴンミラースキャナに対して交互に向けるように構成された、操縦ミラーを更に備える、請求項1に記載の装置。
  12. 前記第1のポリゴンミラースキャナと前記第2のポリゴンミラースキャナが、供給材料の最も外側の層の上の同じスキャン経路に向けて、前記光線を反射するように構成されている、請求項1に記載の装置。
  13. 前記スキャン経路が、前記第1のポリゴンミラースキャナの回転軸及び前記第2のポリゴンミラースキャナの回転軸と垂直である、請求項12に記載の装置。
  14. 前記第1のポリゴンミラースキャナと前記第2のポリゴンミラースキャナが、互いに調和して回転するように構成されている、請求項1に記載の装置。
  15. 付加製造方法であって、
    光源を用いて光線を生成することと、
    前記光線を第1のポリゴンミラースキャナに向け、前記第1のポリゴンミラースキャナを用いて、前記光線をプラットフォーム上の供給材料の最上層にわたるスキャン経路にわたりスキャンすること、及び
    前記光線を第2のポリゴンミラースキャナに向け、前記第2のポリゴンミラースキャナを用いて、前記光線をプラットフォーム上の供給材料の最上層にわたる前記スキャン経路にわたりスキャンすること、
    を交互に行うこととを含み、
    前記光線が、前記第2のポリゴンミラースキャナのデッドタイム中に前記第1のポリゴンミラースキャナに向けられ、前記第1のポリゴンミラースキャナのデッドタイム中に前記第2のポリゴンミラースキャナに向けられる、方法。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019217690A1 (en) 2018-05-09 2019-11-14 Applied Materials, Inc. Additive manufacturing with a polygon scanner
JP7136601B2 (ja) * 2018-06-25 2022-09-13 川崎重工業株式会社 導光装置及びレーザ加工装置
DE102019004853A1 (de) * 2019-07-14 2021-01-28 Keming Du Anordnung von Multi-Polygonen zur effektiven Nutzung von Laserleistung
US11163154B2 (en) * 2019-11-04 2021-11-02 Intel Corporation Multi-polygon, vertically-separated laser scanning apparatus and methods
CN112643056B (zh) * 2020-12-18 2022-11-08 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于双脉冲光源照明的面扫描式激光增材制造装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4537465A (en) * 1981-11-12 1985-08-27 Lincoln Laser Company Apparatus with two input beams for generating optical scans
JPH0588099A (ja) * 1991-09-30 1993-04-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザビームの走査方法
JPH09216292A (ja) * 1996-02-14 1997-08-19 Rikagaku Kenkyusho リコートと同時に光走査する光固化造形装置
JPH116973A (ja) * 1997-06-16 1999-01-12 Asahi Optical Co Ltd 光走査装置
JP2000015705A (ja) * 1998-07-03 2000-01-18 Hitachi Koki Co Ltd 光造形装置
WO2016051163A1 (en) * 2014-10-01 2016-04-07 Renishaw Plc Additive manufacturing apparatus and method
KR20160109866A (ko) * 2015-03-13 2016-09-21 김일환 3d 프린팅 장치 및 방법

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2844648A (en) * 1954-04-23 1958-07-22 Fairchild Camera Instr Co Scanning mirror
US3293655A (en) * 1964-12-24 1966-12-20 Joseph T Mcnaney System for transferring data from a storage medium to a record medium
US6288817B2 (en) * 1998-01-21 2001-09-11 Avanex Corporation High duty cycle synchronized multi-line scanner
US7784933B2 (en) * 2006-06-29 2010-08-31 Lexmark International, Inc. Smart projector guides for handprinters
JP4723004B2 (ja) * 2009-01-20 2011-07-13 シャープ株式会社 光走査装置及びそれを備えた画像形成装置
US8408469B2 (en) * 2010-10-07 2013-04-02 Metrologic Instruments, Inc. Laser scanning assembly having an improved scan angle-multiplication factor
US9230325B2 (en) * 2011-08-19 2016-01-05 University Of Rochester Three-dimensional model acquisition using planar mirrors
GB2546016B (en) * 2014-06-20 2018-11-28 Velo3D Inc Apparatuses, systems and methods for three-dimensional printing
KR101590774B1 (ko) * 2014-10-16 2016-02-19 한국생산기술연구원 단방향으로 회전하는 폴리곤미러를 구비하는 입체조형장비의 헤드장치 및 이를 이용하는 조형평면의 스캐닝방법 및 이를 이용하는 입체조형장치.
KR101612254B1 (ko) * 2014-10-30 2016-04-15 한국생산기술연구원 단방향으로 회전하는 폴리곤미러를 구비하는 입체조형장비의 멀티채널헤드어셈블리 및 이를 이용하는 입체조형장비.
KR101714142B1 (ko) * 2015-03-04 2017-03-09 주식회사에이웍스 Pms 방식의 3d 프린터
CN107635749A (zh) * 2015-06-10 2018-01-26 Ipg光子公司 多光束增材制造
TWI674964B (zh) * 2015-10-22 2019-10-21 揚明光學股份有限公司 立體列印裝置及立體列印方法
TWI616314B (zh) * 2015-12-22 2018-03-01 財團法人工業技術研究院 立體物件的積層製造方法
SG11201807870QA (en) * 2016-03-30 2018-10-30 Applied Materials Inc Methods of additive manufacturing for ceramics using microwaves
US20170291372A1 (en) * 2016-04-09 2017-10-12 Velo3D, Inc. Generating three-dimensional objects by three-dimensional printing with rotation
CN106903873A (zh) * 2017-04-07 2017-06-30 南京先临三维科技有限公司 基于扫描扫描线倾角优化的3d打印填充路径生成方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4537465A (en) * 1981-11-12 1985-08-27 Lincoln Laser Company Apparatus with two input beams for generating optical scans
JPH0588099A (ja) * 1991-09-30 1993-04-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザビームの走査方法
JPH09216292A (ja) * 1996-02-14 1997-08-19 Rikagaku Kenkyusho リコートと同時に光走査する光固化造形装置
JPH116973A (ja) * 1997-06-16 1999-01-12 Asahi Optical Co Ltd 光走査装置
JP2000015705A (ja) * 1998-07-03 2000-01-18 Hitachi Koki Co Ltd 光造形装置
WO2016051163A1 (en) * 2014-10-01 2016-04-07 Renishaw Plc Additive manufacturing apparatus and method
KR20160109866A (ko) * 2015-03-13 2016-09-21 김일환 3d 프린팅 장치 및 방법

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