JPH1165130A - パターン状硬化樹脂層の形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】湿式工程を伴うことなく、生産性が高く安価に
微細なパターンを形成することが可能なパターン状硬化
樹脂層の形成方法を提供する 【解決手段】パターン状硬化樹脂層の形成方法は、支持
体上に紫外線硬化性樹脂層を設けた紫外線硬化性貼着用
シートの該紫外線硬化性樹脂層に切り込みを入れる工
程、該紫外線硬化性シートを被貼着体に貼着する工程、
紫外線硬化性樹脂層に紫外線をパターン状に照射してパ
ターン状に硬化させる工程、該紫外線硬化性シートの支
持体を未露光の紫外線硬化性樹脂層と共に剥離して被貼
着体にパターン状硬化樹脂層を形成する工程からなる。
紫外線硬化性樹脂層２に切り込みを入れるためには、表
面に凸条を設けた基板３を樹脂組成物層面に押し当てれ
ばよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、露光部が硬化する
紫外線硬化性貼着用シートを用いて被貼着体上に微細な
パターン状硬化樹脂層を形成するパターン状硬化樹脂層
の形成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、微細なパターン形成法とし
て、フォトレジスト法が知られている。この方法は、金
属箔上にレジストを形成し、フォトマスクパターンを用
いて紫外線（ＵＶ）照射によりパターン露光した後、水
または弱アルカリ水溶液により現像して、エッチングに
よりパターンを形成する方法である。レジストは一般に
高分子からなり、紫外線照射部分が溶解するポジ型、逆
に不溶性になるネガ型があり、従来から種々の材料より
なるものが提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、フォトレジ
スト法は、湿式のエッチング工程が不可欠であり、湿式
を好まない製造物には不適当である。また、現像やエッ
チングをするための製造設備、現像する際に使用するア
ルカリ等の現像廃液の処理設備も必要となる。さらに、
湿式工程には洗浄、乾燥工程が伴うため、製造工程が複
雑になり製造コストが高いものとなるばかりでなく、生
産性の点でも問題がある。

【０００４】本発明は、湿式処理を必要とする従来のフ
ォトレジスト法における上記の問題を解決することを目
的としてなされたものである。すなわち、本発明は、湿
式工程を伴うことなく、生産性が高く安価に微細なパタ
ーンを形成することが可能なパターン状硬化樹脂層の形
成方法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のパターン状硬化
樹脂層の形成方法は、支持体上に紫外線硬化性樹脂層を
設けた紫外線硬化性貼着用シートの紫外線硬化性樹脂層
に切り込みを入れる工程、その紫外線硬化性シートを被
貼着体に貼着する工程、紫外線硬化性樹脂層に紫外線を
パターン状に照射してパターン状に硬化させる工程、上
記紫外線硬化性シートの支持体を未露光の紫外線硬化性
樹脂層と共に剥離して被貼着体にパターン状硬化樹脂層
を形成する工程からなることを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。図１〜図４は、本発明のパターン状
硬化樹脂層を形成する工程を説明するものである。ま
ず、第１の工程において、支持体１上に紫外線硬化性樹
脂層２を設けた紫外線硬化性貼着用シートの紫外線硬化
性樹脂層に切り込みを入れる。切り込みを入れるために
は、例えば、紫外線硬化性シートの該樹脂組成物層面２
に、表面に凸条を有する基板３を用いる方法が好ましく
使用される。凸条を有する基板は、材質として、ガラ
ス、金属、セラミックス、プラスチックス等を用い、そ
の表面にパターン状に凸条を設けたものを使用する。こ
の凸条を有する基板を紫外線硬化性樹脂層面に押し当て
ることにより、切り込みを入れることができる（図１お
よび図２）。また、打ち抜き刃等によるハーフカット
（支持体は切らずに紫外線硬化性該樹脂組成物層のみ）
で切り込みを入れることも可能である。なお、切り込み
の深さは、紫外線硬化性樹脂層の厚み全体でも、一部で
も構わないが、好ましくは紫外線硬化性樹脂層の厚みの
１／２以上ないし厚み全体の範囲である。

【０００７】第２の工程において、紫外線硬化性シート
を被貼着体に貼着する。貼着は、紫外線硬化性シートの
紫外線硬化性樹脂層が粘着性を発現する温度において行
われる。紫外線硬化性樹脂層が粘着性を発現する温度
は、本発明においては、室温〜１８０℃の範囲であるの
が好ましい。

【０００８】次いで第３の工程において、紫外線硬化性
樹脂層に紫外線をパターン状に照射してパターン状に硬
化させる（図３）。具体的には、前記被貼着体に貼着し
た紫外線硬化性シートの支持体面に、フォトマスク４を
そのパターンが切り込みに合うように重ねて露光する
（図４）。露光は、レーザーによるパターン露光または
パターン走査によって行うこともできる。この露光によ
り、露光部分が硬化して硬化樹脂がパターン状に形成さ
れる。

【０００９】最後に第４の工程において、上記紫外線硬
化性シートの支持体を未露光の紫外線硬化性樹脂層と共
に剥離して被貼着体にパターン状硬化樹脂層を形成す
る。この工程において、支持体を未露光の紫外線硬化性
樹脂層と共に剥離することにより、硬化部分と未硬化部
分とを分離し、硬化樹脂層を被貼着体に残留させてパタ
ーン状硬化樹脂層を形成させる。

【００１０】本発明において、パターン状硬化樹脂層を
形成する際に、使用することが可能なフォトマスクとし
ては、ガラス上にクロムまたはクロムと酸化クロム等の
薄膜を５０〜２５０ｎｍ厚さに設けた汎用フォトマスク
基板、ポリエーテルエーテルケトン等のエンジニアリン
グプラスチックスにパターン加工を施したマスク基板等
があげられる。

【００１１】本発明が適用する被貼着体は、パターン状
硬化樹脂層を形成しようとする温度において固体状であ
れば特に限定されることはない。好ましい被貼着体の例
としては、金属類、金属酸化類、ガラス等のセラミック
ス類、合成樹脂からなるフィルムその他の成形体等があ
げられる。

【００１２】次に、本発明において使用する紫外線硬化
性シートについて説明すると、紫外線硬化性シートは、
支持体上に紫外線硬化性樹脂層が設けられた層構成を有
するものであって、支持体としては、紫外線透過性を有
するものが好ましく、また、被貼着体へ貼着、紫外線照
射、硬化樹脂パターン形成後の引き剥がしの際に、断裂
しない引っ張り強度を有するものが好ましい。具体的に
は、セルロース系フィルム、ポリアクリル系フィルム、
ポリカーボネート系フィルム、ポリエステル系フィル
ム、ポリエーテル系フィルム、ポリ塩化ビニルフィル
ム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等
のフィルムがあげられ、使用する温度に合わせて適宜選
択して用いられる。これらの支持体は、その表面に離型
処理を施したものであってもよい。

【００１３】上記支持体上に設けられる紫外線硬化性樹
脂層は、ガラス転移温度が１５０℃以下であり、２０〜
１８０℃の範囲のいずれかの温度において粘接着性を発
現する紫外線硬化性樹脂組成物より形成されたものが好
ましい。具体的には、２０〜１８０℃の範囲のいずれか
の温度において粘接着性を発現するアクリレート系重合
体と、一分子中に２個以上のアクリロイル基を有する光
重合性モノマー、一分子中に２個以上のアクリロイル基
を有する光重合性オリゴマー、光重合性不飽和ポリエス
テルオリゴマーおよび一分子中に２個以上のエポキシ基
を有する光重合性オリゴマーから選択された１種または
それ以上の光硬化性化合物と、光反応開始剤とを主成分
として含むものがあげられる。

【００１４】２０℃〜１８０℃の範囲のいずれかの温度
において粘接着性を発現するアクリレート系重合体は、
モノマーとしてアクリレートまたはメタクリレートを用
いて得られる重合体および共重合体であって、モノマー
としては、具体的には、メチル（メタ）アクリレート、
エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）ア
クリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−
ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アク
リレート、ペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキ
シル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メ
タ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレー
ト、イソオクチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メ
タ）アクリレート等があげられる。それらは２種以上を
共重合させてもよい。

【００１５】また、上記のアクリレートモノマーは、カ
ルボキシル基、ヒドロキシル基、エポキシ基、メルカプ
ト基等の官能性基を有する他の官能性モノマーと共重合
させてもよい。共重合のために使用することができる官
能性モノマーとしては、（メタ）アクリル酸、マレイン
酸、イタコン酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有化
合物、アクリル酸−２−ヒドロキシエチルエステル、ア
クリル酸−２−ヒドロキシプロピルエステル、２−ヒド
ロキシビニルエーテル等のヒドロキシル基含有化合物、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、Ｎ−ター
シャリーブチルアミノエチルアクリレート等のアミノ基
含有化合物、グリシジルアクリレート、グリシジルメタ
クリレート等のエポキシ基含有化合物等があげられ、こ
れらは単独または２種類以上組み合わせて使用すること
ができる。これらのモノマーの共重合比は、上記（メ
タ）アクリレートに対して、３０重量％まで、好ましく
は２０重量％までの範囲が好ましい。これら官能性モノ
マーとの共重合させた場合、アクリレート系重合体は架
橋剤により硬化させることができる。

【００１６】光硬化性化合物としては、一分子中に２個
以上のアクリロイル基を有する光重合性モノマー、一分
子中に２個以上のアクリロイル基を有する光重合性オリ
ゴマー、光重合性不飽和ポリエステルオリゴマーおよび
一分子中に２個以上のエポキシ基を有する光重合性オリ
ゴマーから選択された１種またはそれ以上のものが使用
されるが、一分子中に２個以上のアクリロイル基を有す
る光重合性モノマーおよび光重合性オリゴマーとして
は、ジシクロペンテニルジアクリレート、ジシクロペン
テニルオキシエチルジアクリレート、１，３−ブタンジ
オールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオー
ルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
（メタ）アクリレト、トリプロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メ
タ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート等のモノマー、およびポリエステルアクリ
レート類、エポキシアクリレート類、ポリウレタンアク
リレート類、アルキッドアクリレート類、シリコーンア
クリレート類等のオリゴマーがあげられる。また、光重
合性不飽和ポリエステルオリゴマーとしては、マレイン
酸、フマル酸、イタコン酸等の不飽和ジカルボン酸とグ
リコール類からなるポリエステルオリゴマー、フマル酸
およびイソフタル酸とビスフェノールＡエチレンオキシ
ド付加物とのエステル等があげられる。さらに一分子中
に２個以上のエポキシ基を有する光重合性オリゴマーと
しては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ポリエチレ
ングリコールのビスグリシジルエーテル類等があげられ
る。

【００１７】上記光硬化性化合物は、単独または２種類
以上組み合わせて使用することができる。紫外線硬化性
樹脂層における光硬化性化合物の配合量は、アクリレー
ト系重合体１００重量部に対して５〜５０重量部の範囲
が好ましい。

【００１８】光重合開始剤としては、ジフェニルスルフ
ァイド、アントラセン、ベンゾフェノン、ジフェニルジ
スルファイド、ジアセチルヘキサクロルブタジエン、ベ
ンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソ
プロピルエーテル、ベンゾインｎ−ブチルエーテル、ベ
ンゾインフェニルエーテル、ベンジルジフェニルジスル
フィド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ア
ントラキノン、ナフトキノン、ｐ，ｐ′−ビス（ジメチ
ルアミノ）ベンゾフェノン、ピバロインエチルエーテ
ル、ベンゾイルパ−オキサイド、ベンジルケタール、
１，１−ジクロロアセトフェノン、２−クロロチオキサ
ントン、２−メチルチオキサントン、２，２−ジエトキ
シアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニル
アセトフェノン、２，２−ジクロロ−４−フェノキシア
セトフェノン、ミヒラーズケトン、ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン、フェニルグリオキシレート、α
−ヒドロキシイソブチルフェノン、ジベゾスパロン、１
−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２
−メチル−１−プロパノン、２−メチル−（４−メチル
チオフェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン、
ロイコクリスタルバイオレット、トリブロモフェニルス
ルホン、トリブロモメチルフェニルスルホン、ｐ−メト
キシフェノール、ビクトリアピュアブルー等があげら
れ、これらを適当に組み合わせて用いることができる。
中でも、ベンゾインエーテル系、ベンゾフェノン系、ア
セトフェノン系、チオキサントン系が好ましく使用され
る。これら光重合開始剤の紫外線硬化性樹脂層における
配合量は、アクリレート系重合体１００重量部に対して
０．１〜１０重量部、好ましくは０．１〜５重量部の範
囲に設定される。

【００１９】紫外線硬化性樹脂層には、必要に応じて架
橋剤を含有させることができる。使用できる架橋剤とし
ては、多官能イソシアネート系架橋剤であるトリレンジ
イソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアナート、ト
リメチロールプロパン変性トリレンジイソシアナート
等、多官能エポキシ架橋剤であるエチレングリコールジ
グリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジ
ルエーテル等、多官能アジリジン系架橋剤であるＮ，
Ｎ′−ヘキサメチレン−１，６−ビス（１−アジリジン
カルボキシアミド）、トリメチロールプロパン−トリ−
β−アジリジニルプロピオネート等、金属キレート系架
橋剤であるアルミニウムのアセチルアセトン錯体、過酸
化物であるベンゾイルパーオキサイド、メラミン系架橋
剤等があげられ、これらは単独または２種類以上組み合
わせて使用することができる。また、エポキシ樹脂の硬
化促進剤として、アミン類、イミダゾール類、カルボン
酸類、フェノール類等を含有させることもできる。

【００２０】また、樹脂組成物には、必要に応じて、可
撓性付与の目的で、フェノール樹脂、マレイミド、エポ
キシ樹脂等を、また靭性付与の目的で、アミノ基または
カルボキシル基等の反応性基末端ＮＢＲ等を添加するこ
ともできる。

【００２１】また、紫外線硬化性樹脂組成物には、必要
に応じて、可撓性付与、導電性付与、耐熱性付与、硬化
部分と未硬化部分の分離性改善等の目的で有機系および
無機系添加剤の微粒子を含有させることができる。

【００２２】有機系の添加剤としては、エポキシ樹脂、
フェノール樹脂、ＮＢＲ、不飽和ポリエステル樹脂、ウ
レタンゴム、ポリオレフィン樹脂、シリコーンゴム、乳
化重合により調製されたアクリル樹脂、ポリエーテルポ
リエステル等のブロックポリエステルエラストマー、ポ
リイミド樹脂等、及びこれら樹脂の微粒子表面に金属被
覆を施したもの等があげられる。また、無機系の添加剤
としては、金、白金、銀、銅、アルミニウム、鉄、ニッ
ケル、スズ、チタン、パラジウム、これらの合金等の金
属類、ソーダガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス等の
ガラス類、硫酸塩、塩化物、炭酸塩、硝酸塩等の無機塩
類、上記金属の酸化物、窒化物、硫化物、シリカ等の珪
素化合物等があげられる。導電性が要求される場合に
は、金属類および金属酸化物類等の導電性微粒子が好ま
しく使用される。耐熱性が要求される場合には酸化物、
窒化物等のセラミックス類が好ましく使用される。これ
らの添加剤は、平均粒径１００μｍ以下の微粒子である
ことが好ましい。

【００２３】紫外線硬化性樹脂層におけるこれらの添加
剤の微粒子は用途に応じて適量添加されるが、その添加
量は、紫外線硬化性樹脂層の構成成分全量の３０重量％
〜９５重量％の範囲が好ましい。さらに好ましい添加量
は５０重量％〜９５重量％の範囲である。添加量が３０
重量％未満の場合には、添加剤の添加効果が十分に発揮
されない。また、９５重量％より多い場合には、紫外線
硬化性が悪化したり、紫外線硬化性樹脂の粘接着性が悪
化する等の問題が生じる。

【００２４】紫外線硬化性樹脂層は、ガラス転移温度が
１５０℃以下であることが必要であり、好ましくは−８
０〜１５０℃の範囲である。ガラス転移温度が１５０℃
より高い場合には、被貼着体への粘接着性が劣ったり、
貼着時に高い温度を必要とし、その結果、光反応開始剤
が反応して紫外線照射時の反応性が悪くなるという問題
が生じる。したがって、ガラス転移温度は上記の範囲に
あることが必要である。

【００２５】また、紫外線硬化性樹脂層は、２０℃〜１
８０℃の範囲のいずれかの温度において粘接着性を発現
するのが好ましい。なお、「粘接着性」とは、固体状態
を保持したまま、被貼着体に接触させて押圧することに
より貼着可能な性質を意味する。したがって、例えば、
５０℃以上の温度において粘接着性を示す紫外線硬化性
樹脂層の場合は、５０℃以上の温度に加熱した状態で、
その樹脂層を他の被貼着体に圧着することが可能であ
る。

【００２６】紫外線硬化性樹脂層は、波長１０〜４５０
ｎｍの紫外線で硬化することが好ましく、さらに好まし
くは波長２００〜４５０ｎｍの紫外線照射によって硬化
するものである。

【００２７】紫外線硬化性樹脂層は、波長１０〜４５０
ｎｍの紫外線で硬化することが必要であり、好ましくは
波長２００〜４５０ｎｍの紫外線照射によって硬化する
ものであるが、未硬化状態では、そのヤング率が、（ガ
ラス転移温度＋３０℃）ないし１８０℃の範囲において
１０ＭＰａ以下であることが好ましい。その樹脂組成物
のヤング率が、１０ＭＰａよりも高くなると、硬化させ
た後の引き剥がし時に、硬化部分と未硬化部分との分離
性が悪くなるため好ましくない。

【００２８】また、紫外線硬化性樹脂層は、前記波長の
紫外線によって硬化した後のヤング率が、常温（２５
℃）で３０Ｍｐａ以上であることが好ましい。硬化した
樹脂層のヤング率が、３０Ｍｐａよりも低い場合には、
被貼着体との接着性が強くなり、硬化部分と未硬化部分
の分離性が悪くなるため好ましくない。

【００２９】なお、ヤング率の測定は、粘弾性測定機
（オリエンテック社製、機種名：バイブロンＤＤＶ−Ｉ
Ｉ−ＥＰ）を用い、測定条件として、１１０Ｈｚ、３℃
／ｍｉｎ昇温の下で行った。

【００３０】本発明に用いる紫外線硬化性貼着用シート
は、上記の紫外線硬化性樹脂組成物よりなる紫外線硬化
性樹脂層を支持体上に設けた層構成を有するものであっ
て、その製造方法としては、有機溶剤を用い、塗布液の
状態にした上記の紫外線硬化性樹脂組成物を支持体上に
塗布し、乾燥して有機溶剤を除去する方法、および、上
記の紫外線硬化性樹脂組成物のフィルムを支持体にラミ
ネートする方法等が採用できる。紫外線硬化性樹脂層の
膜厚は１〜３００μｍの範囲に設定するのが好ましく、
より好ましくは１０〜１００μｍの範囲に設定される。
このようにして得られた紫外線硬化性貼着用シートは、
必要に応じて紫外線硬化性樹脂層上に剥離フィルム等の
保護フィルムを積層してもよい。

【００３１】なお、紫外線硬化性貼着用シートを被貼着
体に貼り付けて紫外線を照射した場合、紫外線硬化性樹
脂層が粘接着力を発現する２０〜１８０℃の範囲のいず
れかの温度において、非露光部の樹脂組成物の支持体に
対する粘接着力をＡ、非露光部の樹脂組成物の被貼着体
に対する粘接着力をＢ、露光部の樹脂組成物（硬化物）
の支持体に対する粘接着力をＣ、露光部の樹脂組成物
（硬化物）の被貼着体に対する粘接着力をＤとしたと
き、粘接着力の関係がＡ＞Ｂ、Ｃ＜Ｄであることが好ま
しい。粘接着力の関係が、Ａ＜Ｂの場合には、紫外線硬
化性貼着用シートを引き剥す際に被貼着体からの剥離性
が悪く、Ｃ＞Ｄの場合には、紫外線硬化性貼着用シート
引き剥しの際に被貼着体から硬化物が剥がれるという問
題があるからである。

【００３２】

【実施例】以下に本発明を実施例で説明するが、本発明
はこれら実施例に限定されるものではない。

【００３３】（ポリイミド微粒子の合成例）撹拌機を備
えたフラスコに、４，４′−ジアミノ−３，３′，５，
５′−テトラエチルジフェニルメタン３１．０４ｇ（１
００ミリモル）と３，３′，４，４′−ジフェニルスル
ホンテトラカルボン酸二無水物８．９６ｇ（２５ミリモ
ル）とピロメリット酸無水物１６．３６ｇ（７５ミリモ
ル）およびＮ−メチル−２−ピロリドン３００ｍｌとを
氷温下に導入し、１時間撹拌を続けた。次いで、この溶
液を室温で２時間反応させポリアミド酸を合成した。得
られたポリアミド酸に５０ｍｌのトルエンと１．０ｇの
ｐ−トルエンスルホン酸を加え、１６０℃に加熱し、反
応の進行に伴ってトルエンと共沸してきた水分を分離し
ながら、３時間イミド化反応を行った。その後トルエン
を留去し、得られたポリイミドワニスをメタノール中に
注いで、得られた沈殿物を分離、粉砕、洗浄、乾燥させ
て、平均粒径２０μｍのポリイミド５０．０ｇ（収率９
５％）を得た。

【００３４】（紫外線硬化性樹脂組成物の作製例） 樹脂組成物１ 温度計、攪拌機、還流冷却管、窒素導入管を備えたフラ
スコ中に、２−エチルヘキシルアクリレート５０重量
部、メチルアクリレート４７重量部、アクリル酸３重量
部、過酸化ベンゾイル０．３重量部、酢酸エチル４０重
量部およびトルエン６０重量部を投入し、窒素導入管よ
り窒素を導入し、フラスコ内を窒素雰囲気とした後、６
５℃に加温して１０時間重合反応を行い、アクリレート
共重合体溶液を得た。この溶液に、アクリレート共重合
体１００重量部に対してトリメチロールプロパントリア
クリレート１５重量部およびベンゾフェノン０．４重量
部を加えてアクリルポリマー溶液を得た。この溶液の固
形分１００重量部に対してポリイソシアネート（日本ポ
リウレタン社製、商品名：コロネートＬ）１重量部およ
び平均粒径５μｍの銀粉（同和鉱業社製、商品名：ＦＡ
−２）４００重量部を添加し、撹拌して、紫外線硬化性
樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成物１）を得た。

【００３５】樹脂組成物２ 銀粉を、粒径１１μｍのニッケル粉（インコ・リミテッ
ド社製、商品名：ＨＣＡ−１）とした以外は、樹脂組成
物１の場合と同様にして紫外線硬化性樹脂組成物よりな
る塗工液（樹脂組成物２）を得た。 樹脂組成物３ 銀粉４００重量部を２００重量部に、さらに平均粒径１
１μｍのニッケル粉（インコ・リミテッド社製、商品
名：ＨＣＡ−１）６０重量部と上記合成例で得られた平
均粒径２０μｍのポリイミド微粒子を１００重量部添加
した以外は、樹脂組成物１の場合と同様にして紫外線硬
化性樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成物３）を得
た。

【００３６】樹脂組成物４ トリメチロールプロパントリアクリレート１５重量部の
代わりに、フェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：
ＣＫＭ１２８２）１０重量部、ビスフェノールＡ型エポ
キシ樹脂（油化シェルエポキシ社製、商品名：エピコー
ト８２８）５重量部、アミン末端ＮＢＲ（宇部興産社
製、商品名：ＨｙｃａｒＡＴＢＮ １３００×１６）５
重量部、イミダゾール（四国化成社製、商品名：２Ｅ４
ＭＺ）０．２重量部をメチルエチルケトン２０重量部に
溶解して使用した以外は，樹脂組成物１の場合と同様に
して紫外線硬化性樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成
物４）を得た。 樹脂組成物５ 銀粉４００重量部を３８０重量部にして、平均粒径１１
μｍのパラジウム粉末２０重量部と添加した以外は、樹
脂組成物１の場合と同様にして紫外線硬化性樹脂組成物
よりなる塗工液（樹脂組成物５）を得た。

【００３７】樹脂組成物６ 温度計、攪拌機、還流冷却管、窒素導入管を備えたフラ
スコ中に２−メチルヘキシルアクリレート５０重量部、
エチルアクリレート４７重量部、アクリル酸３重量部、
過酸化ベンゾイル０．３重量部、酢酸エチル４０重量部
およびトルエン６０重量部を投入し、窒素導入管より窒
素を導入しフラスコ内を窒素雰囲気とした後、６５℃に
加温して１０時間重合反応を行い、アクリレート共重合
体溶液を得た。この溶液に、アクリレート共重合体１０
０重量部に対してトリメチロールプロパントリアクリレ
ート１５重量部およびベンゾインイソプロピルエーテル
（和光純薬社製、商品名：ＰＳ−１０Ａ）０．４重量部
を加えてアクリルポリマー溶液を得た。この溶液の固形
分１００重量部に対してポリイソシアネート（日本ポリ
ウレタン社製、商品名：コロネートＬ）１重量部および
平均粒径５μｍの銀粉（同和鉱業社製、商品名：ＦＡ−
２）４００重量部を添加し、撹拌して紫外線硬化性樹脂
組成物よりなる塗工液（樹脂組成物６）を得た。

【００３８】樹脂組成物７ 銀粉４００重量部を２００重量部に、さらに平均粒径１
１μｍのニッケル粉（インコ・リミテッド社製、商品
名：ＨＣＡ−１）６０重量部と上記合成例で得られた平
均粒径２０μｍのポリイミド微粒子を１００重量部添加
した以外は、樹脂組成物６の場合と同様にして紫外線硬
化性樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成物７）を得
た。

【００３９】樹脂組成物８ 温度計、攪拌機、還流冷却管、窒素導入管を備えたフラ
スコ中に２−メチルヘキシルアクリレート５０重量部、
エチルメタアクリレート４７重量部、アクリル酸３重量
部、過酸化ベンゾイル０．３重量部、酢酸エチル４０重
量部およびトルエン６０重量部を投入し、窒素導入管よ
り窒素を導入しフラスコ内を窒素雰囲気とした後、６５
℃に加温して１０時間重合反応を行いアクリレート共重
合体溶液を得た。この溶液に、アクリレート共重合体１
００重量部に対してペンタエリスリトールテトラアクリ
レート１５重量部および２−クロロチオキサントン（新
日曹化工社製、商品名：ニッソキュアＣＴＸ）０．４重
量部を加えてアクリルポリマー溶液を得た。この溶液の
固形分１００重量部に対してポリイソシアネート（日本
ポリウレタン社製、商品名：コロネートＬ）１重量部お
よび平均粒径５μｍの銀粉（同和鉱業社製、商品名：Ｆ
Ａ−２）４００重量部を添加し、撹拌して紫外線硬化性
樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成物８）を得た。

【００４０】樹脂組成物９ 銀粉４００重量部を２００重量部に、さらに平均粒径１
１μｍのニッケル粉（インコ・リミテッド社製、商品
名：ＨＣＡ−１）６０重量部および上記合成例で得られ
た平均粒径２０μｍのポリイミド粉を１００重量部添加
した以外は、樹脂組成物８の場合と同様にして紫外線硬
化性樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成物９）を得
た。 樹脂組成物１０ トリメチロールプロパントリアクリレート１５重量部の
代わりにフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：Ｃ
ＫＭ１２８２）１０重量部、ビスフェノールＡ型エポキ
シ樹脂（油化シェルエポキシ社製、商品名：エピコート
８２８）５重量部、アミン末端ＮＢＲ（宇部興産社製、
商品名ＨｙｃａｒＡＴＢＮ １３００×１６）５重量
部、イミダゾール（四国化成社製、商品名：２Ｅ４Ｍ
Ｚ）０．２重量部をメチルエチルケトン２０重量部に溶
解して使用した以外は、樹脂組成物６の場合と同様にし
て紫外線硬化性樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成物
１０）を得た。

【００４１】樹脂組成物１１ 温度計、攪拌機、還流冷却管、窒素導入管を備えたフラ
スコ中にブチルアクリレート５５重量部、メチルメタア
クリレート１０重量部、グリシジルメタクリレート２０
重量部と２−ヒドロキシエチルアクリレート１５重量部
およびトルエン６０重量部を投入し、窒素導入管より窒
素を導入しフラスコ内を窒素雰囲気とした後、６５℃に
加温して１０時間重合反応を行いアクリレート共重合体
溶液を得た。この溶液に、アクリレート共重合体１００
重量部に対してウレタンアクリレート（東亞合成社製、
商品名：Ｍ−１２００）８０重量部およびヒドロキシシ
クロヘキシルフェニルケトン（チバガイギー社製、商品
名：イルガキュアー１８４）２．４重量部を加えてアク
リルポリマー溶液を得た。この溶液の固形分１００重量
部に対してポリイソシアネート（日本ポリウレタン社
製、商品名：コロネートＬ）１重量部および平均粒径５
μｍの銀粉（同和鉱業社製、商品名：ＦＡ−２）４００
重量部を添加し、撹拌して紫外線硬化性樹脂組成物より
なる塗工液（樹脂組成物１１）を得た。

【００４２】樹脂組成物１２ トリメチロールプロパントリアクリレート１５重量部の
代わりに、ポリエステルアクリレートオリゴマー（ＢＡ
ＳＦ社製、商品名：ラロマーＬＲ８８００）８重量部お
よびポリエステルオリゴマー（フマル酸／イソフタル酸
／ビスフェノールＡエチレンオキサイド付加物＝２５／
２５／５０）７重量部を使用した以外は、樹脂組成物６
の場合と同様にして紫外線硬化性樹脂組成物よりなる塗
工液（樹脂組成物１２）を得た。 樹脂組成物１３ トリメチロールプロパントリアクリレート１５重量部の
代わりに、エポキシアクリレートオリゴマー（ＢＡＳＦ
社製、商品名：ラロマーＬＲ８８１９）１０重量部およ
びビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェルエポキ
シ社製、商品名：エピコート８２８）５重量部を使用し
た以外は、樹脂組成物６の場合と同様にして紫外線硬化
性樹脂組成物よりなる塗工液（樹脂組成物１３）を得
た。

【００４３】（紫外線硬化性貼着用シートの作製例） 紫外線硬化性貼着用シート１ 紫外線透過性を有する厚さ２５μｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルム（以下、「ＰＥＴフィルム」とい
う。）に、樹脂組成物１を乾燥後の厚さが２５μｍにな
るように塗布し、乾燥した。該紫外線硬化性樹脂層上
に、厚さ３８μｍの剥離処理を施したＰＥＴフィルムを
圧着して紫外線硬化性貼着用シート１を得た。

【００４４】紫外線硬化性貼着用シート２ 樹脂組成物１と厚さ２５μｍのＰＥＴフィルムの代わり
に、樹脂組成物２と紫外線透過性を有する厚さ２５μｍ
のポリエチレンフィルムを使用した以外は、紫外線硬化
性貼着用シート１の場合と同様にして紫外線硬化性貼着
用シート２を得た。 紫外線硬化性貼着用シート３ 樹脂組成物１と厚さ２５μｍのＰＥＴフィルムの代わり
に、樹脂組成物３と紫外線透過性を有する厚さ２５μｍ
のポリプロピレンフィルムを使用した以外は、紫外線硬
化性貼着用シート１の場合と同様にして紫外線硬化性貼
着用シート３を得た。

【００４５】紫外線硬化性貼着用シート４〜１３ 樹脂組成物１の代わりに樹脂組成物４〜１３を用いた以
外は、紫外線硬化性貼着用シート１の場合と同様にして
紫外線硬化性貼着用シート４〜１３を得た。

【００４６】上記のようにして得られた紫外線硬化性貼
着用シート１〜１３における紫外線硬化性樹脂層のガラ
ス転移温度、粘接着性を発現する温度およびヤング率を
表１に示す。なお、未硬化状態のヤング率は、ガラス転
移温度より３０℃高い温度において測定した値である。

【００４７】

【表１】

【００４８】（パターン状紫外線硬化樹脂層の形成） 実施例１ 上記紫外線硬化性貼着用シート１における厚さ３８μｍ
の剥離処理を施したＰＥＴフィルムを剥がし、露光部の
線幅が１２０μｍとなる所定のパターン状に凸条が形成
されたガラス板を紫外線硬化性樹脂層面に押し当て、そ
の樹脂層全厚さに切り込みを入れた後、ガラス板を取り
外した。次いで、その紫外線硬化性樹脂層面を被貼着体
であるポリイミドフィルム（宇部興産社製：商品名：ユ
ーピレックス）に貼り合わせた後、紫外線硬化性貼着用
シートの支持体上にフォトマスクをセットし、紫外線露
光機（株式会社オーク製作所製、機種名：ＥＸＭ−１１
８９−Ａ００、光源５００ｗ水銀ショートアークラン
プ）により５００ｍＪ／ｃｍ² の紫外線（主波長３７０
ｎｍ）を照射して、パターン状に硬化樹脂層を形成し
た。その後、ポリイミドフィルムから上記シートの支持
体を未硬化の紫外線硬化性樹脂層と共に引き剥がし、ポ
リイミドフィルム表面に線幅１２０μｍのパターン状硬
化樹脂層を形成した。なお、紫外線硬化性貼着用シート
の貼り合わせと引き剥がしは、表２に示す温度で行っ
た。

【００４９】実施例２〜１３ 紫外線硬化性貼着用シート１の代わりに、上記の紫外線
硬化性貼着用シート２〜１３を用いた以外は、実施例１
と同様にしてポリイミドフィルム上にパターン状硬化樹
脂層を形成した。なお、紫外線硬化性貼着用シートの貼
り合わせと引き剥がしは、表２に示す温度で行った。

【００５０】実施例１４ 実施例１の凸条を有するガラス板で該紫外線硬化性樹脂
層全厚さの切り込みの代わりに、ＴＮカッターで線幅１
ｍｍの所定のパターン状に樹脂層厚さの２／３の切り込
みを入れた以外は、実施例１と同様にしてポリイミドフ
ィルム上にパターン状硬化樹脂層を形成した。なお、紫
外線硬化性貼着用シートの貼り合わせとび引き剥がし
は、表２に示す温度で行った。 実施例１５ 実施例１の被貼着体であるポリイミドの代わりに、表面
が平滑なガラス板を使用した以外は、実施例１と同様に
してガラス板上にパターン状硬化樹脂層を形成した。な
お、紫外線硬化性貼着用シートの貼り合わせと引き剥が
しは、表２に示す温度で行った。

【００５１】

【表２】 実施例１〜１５において、被貼着体上に形成されたパタ
ーンは、切り込みを入れた部分の所定の線幅に対応して
良好に形成されたものであった。

【００５２】

【発明の効果】上記の結果から明らかなように、本発明
のパターン状硬化性樹脂層の形成方法によれば、紫外線
照射後において、未硬化部分を容易に剥離することが可
能であるので、湿式工程を伴うことなく微細なパターン
を容易に形成することができる。したがって、本発明
は、例えば、プリント配線板等の作製に有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 凸条を有する基板を紫外線硬化性貼着用シー
トに押し当て、紫外線硬化性樹脂層に切り込みを入れて
いる模式的断面図である。

【図２】 紫外線硬化性貼着用シートの紫外線硬化性樹
脂層から凸条を有する基板を外した状態の模式的断面図
である。

【図３】 紫外線硬化性貼着用シートを被貼着体に粘着
し、フォトマスクを介して紫外線を照射している状態の
模式的断面図である。

【図４】 紫外線の照射後に、被貼着体から支持体を未
硬化樹脂層と共に引き剥がした状態の模式的断面図であ
る。

【符号の説明】

１…支持体、２…紫外線硬化性樹脂層、３…凸条を有す
る基板、４…フォトマスク、５…被貼着体、６…硬化樹
脂層。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｃ０９Ｊ 11/00 Ｃ０９Ｊ 11/00 167/07 167/07 Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０１ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０１ ５２４ ５２４ 7/027 ５０２ 7/027 ５０２ ５１２ ５１２ ５１５ ５１５ 7/031 7/031 // Ｃ０９Ｊ 7/02 Ｃ０９Ｊ 7/02 Ｂ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持体上に紫外線硬化性樹脂層を設けた
   紫外線硬化性貼着用シートの該紫外線硬化性樹脂層に切
   り込みを入れる工程、該紫外線硬化性シートを被貼着体
   に貼着する工程、紫外線硬化性樹脂層に紫外線をパター
   ン状に照射してパターン状に硬化させる工程、該紫外線
   硬化性シートの支持体を未露光の紫外線硬化性樹脂層と
   共に剥離して被貼着体にパターン状硬化樹脂層を形成す
   る工程からなることを特徴とするパターン状硬化樹脂層
   の形成方法。
2. 【請求項２】 前記紫外線硬化性樹脂層が、（ａ）２０
   〜１８０℃の範囲のいずれかの温度において粘接着性を
   発現するアクリレート系重合体と、（ｂ）一分子中に２
   個以上のアクリロイル基を有する光重合性モノマー、一
   分子中に２個以上のアクリロイル基を有する光重合性オ
   リゴマー、光重合性不飽和ポリエステルオリゴマーおよ
   び一分子中に２個以上のエポキシ基を有する光重合性オ
   リゴマーから選択された１種またはそれ以上の光硬化性
   化合物と、（ｃ）光反応開始剤とを主成分として含み、
   ガラス転移温度が１５０℃以下であり、２０〜１８０℃
   の範囲のいずれかの温度において粘接着性を発現する紫
   外線硬化性樹脂組成物よりなることを特徴とする請求項
   １に記載のパターン状硬化樹脂層の形成方法。
3. 【請求項３】 前記紫外線硬化性樹脂層が１００μｍ以
   下の微粒子を含有することを特徴とする請求項１に記載
   のパターン状硬化樹脂層の形成方法。
4. 【請求項４】 表面に凸条を有する基板を樹脂組成物層
   面に押し当てることにより紫外線硬化性樹脂層に切り込
   みを入れることを特徴とする請求項１に記載のパターン
   状硬化樹脂層の形成方法。