JPH1152253A - 顕微鏡装置 - Google Patents
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- JPH1152253A JPH1152253A JP9224323A JP22432397A JPH1152253A JP H1152253 A JPH1152253 A JP H1152253A JP 9224323 A JP9224323 A JP 9224323A JP 22432397 A JP22432397 A JP 22432397A JP H1152253 A JPH1152253 A JP H1152253A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/16—Microscopes adapted for ultraviolet illumination ; Fluorescence microscopes
-
- G—PHYSICS
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- G02B21/00—Microscopes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 可視光観察と紫外光観察とを選択可能な顕微
鏡装置において、紫外光による可視光用の対物レンズへ
の照射を確実に防止することができる顕微鏡装置を提供
する。 【解決手段】 可視光で試料を照明する可視光照明系
と、紫外光で試料を照明する紫外光照明系と、試料に対
して可視光照明系と紫外光照明系とを切り換えるフィル
タブロック１０と、試料を観察するための観察系と、可
視光用対物レンズ２０Ａと紫外光用対物レンズ２０Ｅと
を保持し、各々の対物レンズを観察系光路に選択的に配
置する電動レボルバ２０と、電動レボルバ２０を駆動す
るレボルバ駆動モータ２２とを備える顕微鏡装置におい
て、紫外光照明系による照明であるか否かを検出するフ
ィルタセンサ１１と、フィルタセンサ１１によって紫外
光照明系を用いていることが検出されたとき、レボルバ
駆動モータ２２を駆動して光路に紫外光用対物レンズ２
０Ｅを挿入するＣＰＵ４０とを備える。
鏡装置において、紫外光による可視光用の対物レンズへ
の照射を確実に防止することができる顕微鏡装置を提供
する。 【解決手段】 可視光で試料を照明する可視光照明系
と、紫外光で試料を照明する紫外光照明系と、試料に対
して可視光照明系と紫外光照明系とを切り換えるフィル
タブロック１０と、試料を観察するための観察系と、可
視光用対物レンズ２０Ａと紫外光用対物レンズ２０Ｅと
を保持し、各々の対物レンズを観察系光路に選択的に配
置する電動レボルバ２０と、電動レボルバ２０を駆動す
るレボルバ駆動モータ２２とを備える顕微鏡装置におい
て、紫外光照明系による照明であるか否かを検出するフ
ィルタセンサ１１と、フィルタセンサ１１によって紫外
光照明系を用いていることが検出されたとき、レボルバ
駆動モータ２２を駆動して光路に紫外光用対物レンズ２
０Ｅを挿入するＣＰＵ４０とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は顕微鏡装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】試料の紫外光像と可視光像とを観察する
ことができる顕微鏡装置は、例えば特開平５−１２７０
９６号公報に開示されている。
ことができる顕微鏡装置は、例えば特開平５−１２７０
９６号公報に開示されている。
【０００３】この顕微鏡装置は、可視光で試料を照明す
る可視光照明系と、紫外光で前記試料を照明する紫外光
照明系と、前記試料に対して可視光照明系と紫外光照明
系とを切り換えるフィルタブロックと、前記試料を観察
するための観察系と、可視域から近紫外域（約３３０ｎ
ｍ）までの波長域で試料像の収差を補正可能な対物レン
ズを複数個保持し、各々の対物レンズを観察系光路に選
択的に配置する電動レボルバと、電動レボルバを駆動す
るレボルバ駆動手段とを備える。
る可視光照明系と、紫外光で前記試料を照明する紫外光
照明系と、前記試料に対して可視光照明系と紫外光照明
系とを切り換えるフィルタブロックと、前記試料を観察
するための観察系と、可視域から近紫外域（約３３０ｎ
ｍ）までの波長域で試料像の収差を補正可能な対物レン
ズを複数個保持し、各々の対物レンズを観察系光路に選
択的に配置する電動レボルバと、電動レボルバを駆動す
るレボルバ駆動手段とを備える。
【０００４】しかし、極紫外域（約３００ｎｍ以下）の
紫外光像を得ようとした場合、可視光から極紫外光まで
の範囲を１つの対物レンズだけで対応することが困難で
あるので、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズと
を使用する必要がある。
紫外光像を得ようとした場合、可視光から極紫外光まで
の範囲を１つの対物レンズだけで対応することが困難で
あるので、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズと
を使用する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記顕微鏡装置を用
い、電動レボルバに可視光用対物レンズと紫外光用対物
レンズとを取り付け、可視光像の観察と紫外光像の観察
とを行う場合、可視光観察から紫外光観察に切り換える
とき、対応する可視光用の通常の対物レンズを紫外光用
対物レンズに切り換える必要がある。
い、電動レボルバに可視光用対物レンズと紫外光用対物
レンズとを取り付け、可視光像の観察と紫外光像の観察
とを行う場合、可視光観察から紫外光観察に切り換える
とき、対応する可視光用の通常の対物レンズを紫外光用
対物レンズに切り換える必要がある。
【０００６】このとき、観察者は切り換えの間違いがな
いように電動レボルバを回転させる必要があり、誤って
紫外光使用時に可視光用対物レンズを用いていると、可
視光用対物レンズに使用されている接着剤が紫外光の照
射によって濁ってしまい可視光用の対物レンズが使用で
きなくなることがある。
いように電動レボルバを回転させる必要があり、誤って
紫外光使用時に可視光用対物レンズを用いていると、可
視光用対物レンズに使用されている接着剤が紫外光の照
射によって濁ってしまい可視光用の対物レンズが使用で
きなくなることがある。
【０００７】この問題は、紫外光を励起光として蛍光観
察する際に使用する紫外光用対物レンズ（紫外励起用蛍
光対物レンズ）と紫外光を透過しない可視光用対物レン
ズとを同じレボルバに装着し、１台の顕微鏡装置で蛍光
観察と可視光観察を行なうような場合も同様である。
察する際に使用する紫外光用対物レンズ（紫外励起用蛍
光対物レンズ）と紫外光を透過しない可視光用対物レン
ズとを同じレボルバに装着し、１台の顕微鏡装置で蛍光
観察と可視光観察を行なうような場合も同様である。
【０００８】ここで、本明細書において、「紫外光用対
物レンズ」とは、紫外線を照明光とした場合に使用する
対物レンズのことを意味し、紫外光像の観察時や紫外光
の照射によって生じる蛍光像の観察時に用いる対物レン
ズを総称する。また、「紫外光観察」とは、紫外光を試
料に照射することによって試料の像を観察することを意
味しており、紫外光の反射光を観察する場合と、紫外光
の照射によって生じる蛍光（可視域）像を観察する場合
との両方を含む。また、「紫外光」や「紫外線」とは、
極紫外域〜近紫外域の波長領域に含まれる光のことを意
味する。
物レンズ」とは、紫外線を照明光とした場合に使用する
対物レンズのことを意味し、紫外光像の観察時や紫外光
の照射によって生じる蛍光像の観察時に用いる対物レン
ズを総称する。また、「紫外光観察」とは、紫外光を試
料に照射することによって試料の像を観察することを意
味しており、紫外光の反射光を観察する場合と、紫外光
の照射によって生じる蛍光（可視域）像を観察する場合
との両方を含む。また、「紫外光」や「紫外線」とは、
極紫外域〜近紫外域の波長領域に含まれる光のことを意
味する。
【０００９】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は可視光観察と紫外光観察とを選択
可能な顕微鏡装置において、紫外光による可視光用の対
物レンズへの照射を確実に防止することができるととも
に操作性の良い顕微鏡装置を提供することである。
たもので、その課題は可視光観察と紫外光観察とを選択
可能な顕微鏡装置において、紫外光による可視光用の対
物レンズへの照射を確実に防止することができるととも
に操作性の良い顕微鏡装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明の顕微鏡装置は、可視光で試料を
照明する可視光照明系と、紫外光で前記試料を照明する
紫外光照明系と、前記試料に対して前記可視光照明系と
前記紫外光照明系とを切り換える切換手段と、前記試料
を観察するための観察系とを備える顕微鏡装置におい
て、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持
し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に
配置する電動レボルバと、前記電動レボルバを駆動する
レボルバ駆動手段と、前記紫外光照明系による照明であ
るか否かを検出する照明系検出手段と、前記照明系検出
手段によって前記紫外光照明系を用いていることが検出
されたとき、前記レボルバ駆動手段を駆動して光路に前
記紫外光用対物レンズを挿入する制御手段とを備えるこ
とを特徴とする。
請求項１に記載の発明の顕微鏡装置は、可視光で試料を
照明する可視光照明系と、紫外光で前記試料を照明する
紫外光照明系と、前記試料に対して前記可視光照明系と
前記紫外光照明系とを切り換える切換手段と、前記試料
を観察するための観察系とを備える顕微鏡装置におい
て、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持
し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に
配置する電動レボルバと、前記電動レボルバを駆動する
レボルバ駆動手段と、前記紫外光照明系による照明であ
るか否かを検出する照明系検出手段と、前記照明系検出
手段によって前記紫外光照明系を用いていることが検出
されたとき、前記レボルバ駆動手段を駆動して光路に前
記紫外光用対物レンズを挿入する制御手段とを備えるこ
とを特徴とする。
【００１１】紫外光照明系を用いているときには、レボ
ルバ駆動手段を駆動して光路に紫外光用対物レンズが挿
入されるので、可視光用対物レンズは光路外にあり、紫
外光によって照射されることがない。
ルバ駆動手段を駆動して光路に紫外光用対物レンズが挿
入されるので、可視光用対物レンズは光路外にあり、紫
外光によって照射されることがない。
【００１２】請求項２に記載の発明の顕微鏡装置は、可
視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試
料を照明する紫外光照明系と、前記試料に対して前記可
視光照明系と前記紫外光照明系とを切り換える切換手段
と、前記切換手段を駆動する切換駆動手段と、前記試料
を観察するための観察系とを備える顕微鏡装置におい
て、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持
し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に
配置するレボルバと、光路に前記可視光用対物レンズが
配置されていることを検出する対物レンズ検出手段と、
前記対物レンズ検出手段によって光路に前記可視光用対
物レンズが配置されていることが検出されたとき、前記
切換駆動手段を駆動して前記切換手段を前記可視光照明
系に切り換える制御手段とを備えることを特徴とする。
視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試
料を照明する紫外光照明系と、前記試料に対して前記可
視光照明系と前記紫外光照明系とを切り換える切換手段
と、前記切換手段を駆動する切換駆動手段と、前記試料
を観察するための観察系とを備える顕微鏡装置におい
て、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持
し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に
配置するレボルバと、光路に前記可視光用対物レンズが
配置されていることを検出する対物レンズ検出手段と、
前記対物レンズ検出手段によって光路に前記可視光用対
物レンズが配置されていることが検出されたとき、前記
切換駆動手段を駆動して前記切換手段を前記可視光照明
系に切り換える制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１３】光路に可視光用対物レンズが配置されてい
るときには、切換駆動手段を駆動して切換手段が可視光
照明系に切り換えるので、可視光用対物レンズが紫外光
によって照射されることがない。
るときには、切換駆動手段を駆動して切換手段が可視光
照明系に切り換えるので、可視光用対物レンズが紫外光
によって照射されることがない。
【００１４】請求項３に記載の発明の顕微鏡装置は、可
視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試
料を照明する紫外光照明系と、前記紫外光照明系中に配
置され、前記試料に対して前記紫外光が照射されるのを
阻止する遮光手段と、前記遮光手段を駆動する駆動手段
と、前記試料を観察するための観察系とを備える顕微鏡
装置において、可視光用対物レンズと紫外光用対物レン
ズとを保持し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路
に選択的に配置する電動レボルバと、前記電動レボルバ
を駆動するレボルバ駆動手段と、対物レンズの切換えを
指示する指示手段と、前記指示手段によって前記紫外光
用対物レンズから前記可視光用対物レンズへ切り替える
指示を受けたとき、前記遮光手段によって前記紫外光を
遮断した後、前記可視光用対物レンズへ切り換えるよう
に前記駆動手段と前記レボルバ駆動手段とを駆動する制
御手段を備えることを特徴とする。
視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試
料を照明する紫外光照明系と、前記紫外光照明系中に配
置され、前記試料に対して前記紫外光が照射されるのを
阻止する遮光手段と、前記遮光手段を駆動する駆動手段
と、前記試料を観察するための観察系とを備える顕微鏡
装置において、可視光用対物レンズと紫外光用対物レン
ズとを保持し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路
に選択的に配置する電動レボルバと、前記電動レボルバ
を駆動するレボルバ駆動手段と、対物レンズの切換えを
指示する指示手段と、前記指示手段によって前記紫外光
用対物レンズから前記可視光用対物レンズへ切り替える
指示を受けたとき、前記遮光手段によって前記紫外光を
遮断した後、前記可視光用対物レンズへ切り換えるよう
に前記駆動手段と前記レボルバ駆動手段とを駆動する制
御手段を備えることを特徴とする。
【００１５】指示手段によって紫外光用対物レンズから
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたときに
は、遮光手段によって紫外光が遮断された後、紫外光用
対物レンズから可視光用対物レンズへ切り換わるので、
可視光用対物レンズが紫外光によって照射されることが
ない。
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたときに
は、遮光手段によって紫外光が遮断された後、紫外光用
対物レンズから可視光用対物レンズへ切り換わるので、
可視光用対物レンズが紫外光によって照射されることが
ない。
【００１６】請求項４に記載の発明の顕微鏡装置は、請
求項３に記載の顕微鏡装置において、前記顕微鏡装置
は、前記レボルバに対する前記各々の対物レンズの取付
位置情報を記憶する記憶手段を更に有し、前記制御手段
は、前記指示手段からの指示及び前記記憶手段に記憶さ
れた情報とに基づいて、現在光路中に配置されている対
物レンズと次に光路中に配置される対物レンズとが、そ
れぞれ可視光用対物レンズであるか紫外光用対物レンズ
であるかを識別することを特徴とする。
求項３に記載の顕微鏡装置において、前記顕微鏡装置
は、前記レボルバに対する前記各々の対物レンズの取付
位置情報を記憶する記憶手段を更に有し、前記制御手段
は、前記指示手段からの指示及び前記記憶手段に記憶さ
れた情報とに基づいて、現在光路中に配置されている対
物レンズと次に光路中に配置される対物レンズとが、そ
れぞれ可視光用対物レンズであるか紫外光用対物レンズ
であるかを識別することを特徴とする。
【００１７】指示手段によって紫外光用対物レンズから
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、対
物レンズ検出手段によって現在光路中に配置されている
対物レンズが確認され、記憶手段によって次に光路中に
配置される対物レンズが確認される。
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、対
物レンズ検出手段によって現在光路中に配置されている
対物レンズが確認され、記憶手段によって次に光路中に
配置される対物レンズが確認される。
【００１８】請求項５に記載の発明の顕微鏡装置は、請
求項３又は４に記載の顕微鏡装置において、前記可視光
照明系と前記紫外光照明系とは、それぞれ独立した光源
と光路とを有し、前記遮光手段は、前記紫外光照明系の
光路中に配置されたシャッタであることを特徴とする。
求項３又は４に記載の顕微鏡装置において、前記可視光
照明系と前記紫外光照明系とは、それぞれ独立した光源
と光路とを有し、前記遮光手段は、前記紫外光照明系の
光路中に配置されたシャッタであることを特徴とする。
【００１９】指示手段によって紫外光用対物レンズから
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、紫
外光照明系の光路中に配置されたシャッタによって、紫
外光が遮断される。
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、紫
外光照明系の光路中に配置されたシャッタによって、紫
外光が遮断される。
【００２０】請求項６に記載の発明の顕微鏡装置は、請
求項３又は４に記載の顕微鏡装置において、前記可視光
照明系と前記紫外光照明系とは、それぞれ同一の光源と
光路とを有し、前記遮光手段は、前記光路中に配置さ
れ、前記光源から前記試料に照射される照明光を可視光
と紫外光とに切り換える切換手段を備えることを特徴と
する。
求項３又は４に記載の顕微鏡装置において、前記可視光
照明系と前記紫外光照明系とは、それぞれ同一の光源と
光路とを有し、前記遮光手段は、前記光路中に配置さ
れ、前記光源から前記試料に照射される照明光を可視光
と紫外光とに切り換える切換手段を備えることを特徴と
する。
【００２１】指示手段によって紫外光用対物レンズから
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、切
換手段によって照明光が紫外光から可視光へ切り換わ
る。
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、切
換手段によって照明光が紫外光から可視光へ切り換わ
る。
【００２２】請求項７に記載の発明の顕微鏡装置は、可
視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試
料を照明する紫外光照明系と、前記試料に対して前記可
視光照明系と前記紫外光照明系とを切り換える切換手段
と、前記切換手段を駆動する切換駆動手段と、前記試料
を観察するための観察系とを備える顕微鏡装置におい
て、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持
し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に
配置する電動レボルバと、前記電動レボルバを駆動する
レボルバ駆動手段と、照明系の切換えを指示する指示手
段と、いずれの照明系が用いられているかを検出する照
明系検出手段と、前記照明系検出手段によって前記可視
光照明系を用いていることが検出され、かつ前記指示手
段によって前記紫外光照明系へ切り替える指示を受けた
とき、前記紫外光用対物レンズに切換えた後、前記紫外
光照明系に切り換えるように前記レボルバ駆動手段と切
換駆動手段とを駆動する制御手段とを備えることを特徴
とする。
視光で試料を照明する可視光照明系と、紫外光で前記試
料を照明する紫外光照明系と、前記試料に対して前記可
視光照明系と前記紫外光照明系とを切り換える切換手段
と、前記切換手段を駆動する切換駆動手段と、前記試料
を観察するための観察系とを備える顕微鏡装置におい
て、可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持
し、前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に
配置する電動レボルバと、前記電動レボルバを駆動する
レボルバ駆動手段と、照明系の切換えを指示する指示手
段と、いずれの照明系が用いられているかを検出する照
明系検出手段と、前記照明系検出手段によって前記可視
光照明系を用いていることが検出され、かつ前記指示手
段によって前記紫外光照明系へ切り替える指示を受けた
とき、前記紫外光用対物レンズに切換えた後、前記紫外
光照明系に切り換えるように前記レボルバ駆動手段と切
換駆動手段とを駆動する制御手段とを備えることを特徴
とする。
【００２３】可視光照明系を用いていることが検出さ
れ、かつ紫外光照明系へ切り替える指示を受けたとき、
紫外光用対物レンズに切換えた後、紫外光照明系に切り
換えるので、可視光用対物レンズが紫外光によって照射
されることがない。
れ、かつ紫外光照明系へ切り替える指示を受けたとき、
紫外光用対物レンズに切換えた後、紫外光照明系に切り
換えるので、可視光用対物レンズが紫外光によって照射
されることがない。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００２５】図１はこの発明に係る顕微鏡装置の制御系
を示すブロック構成図である。
を示すブロック構成図である。
【００２６】顕微鏡装置は、フィルタブロック（切換手
段）１０と、フィルタセンサ（照明系検出手段）１１
と、フィルタ駆動モータ（切換駆動手段）１２と、電動
レボルバ２０と、対物レンズセンサ（対物レンズ検出手
段）２１と、レボルバ駆動モータ（レボルバ駆動手段）
２２と、操作部（指示手段）３０と、ＣＰＵ（制御手
段）４０とを備える。ＣＰＵ４０は、対物レンズ検出手
段、照明系検出手段も兼ねている。
段）１０と、フィルタセンサ（照明系検出手段）１１
と、フィルタ駆動モータ（切換駆動手段）１２と、電動
レボルバ２０と、対物レンズセンサ（対物レンズ検出手
段）２１と、レボルバ駆動モータ（レボルバ駆動手段）
２２と、操作部（指示手段）３０と、ＣＰＵ（制御手
段）４０とを備える。ＣＰＵ４０は、対物レンズ検出手
段、照明系検出手段も兼ねている。
【００２７】フィルタブロック１０はフィルタセンサ１
１を介してＣＰＵ４０に接続されるとともに、レボルバ
駆動部１２を介してＣＰＵ４０に接続される。
１を介してＣＰＵ４０に接続されるとともに、レボルバ
駆動部１２を介してＣＰＵ４０に接続される。
【００２８】フィルタセンサ１１は、例えばフォトセン
サを用いてフィルタブロック１０の位置を検知すること
で現在使用されている照明系を検出する。
サを用いてフィルタブロック１０の位置を検知すること
で現在使用されている照明系を検出する。
【００２９】フィルタ駆動モータ１２はＣＰＵ４０の出
力に基づいてフィルタブロック１０を移動させ、試料５
２Ａ（図２参照）に対して可視光照明系と紫外光照明系
とを切り換える。
力に基づいてフィルタブロック１０を移動させ、試料５
２Ａ（図２参照）に対して可視光照明系と紫外光照明系
とを切り換える。
【００３０】電動レボルバ２０は対物レンズセンサ２１
を介してＣＰＵ４０に接続されるとともに、フィルタ駆
動モータ２２を介してＣＰＵ４０に接続されている。
を介してＣＰＵ４０に接続されるとともに、フィルタ駆
動モータ２２を介してＣＰＵ４０に接続されている。
【００３１】電動レボルバ２０は可視光用対物レンズ２
０Ａ〜２０Ｄ（２０Ｂ〜２０Ｄは図示せず）と紫外光用
対物レンズ２０Ｅとを備える。
０Ａ〜２０Ｄ（２０Ｂ〜２０Ｄは図示せず）と紫外光用
対物レンズ２０Ｅとを備える。
【００３２】対物レンズセンサ２１は光路に配置されて
いる対物レンズを検出する。具体的には、対物レンズを
保持する電動レボルバ２０の回転位置を検出し、対物レ
ンズが取り付けられる複数のマウント部に予め付けられ
た番地を検出するものである。この構成以外にも、対物
レンズ自体に付けられた信号、例えばバーコードを読み
取ったりして光路に配置されている対物レンズを検出す
るような構成のものであってもよい。
いる対物レンズを検出する。具体的には、対物レンズを
保持する電動レボルバ２０の回転位置を検出し、対物レ
ンズが取り付けられる複数のマウント部に予め付けられ
た番地を検出するものである。この構成以外にも、対物
レンズ自体に付けられた信号、例えばバーコードを読み
取ったりして光路に配置されている対物レンズを検出す
るような構成のものであってもよい。
【００３３】レボルバ駆動モータ２２はＣＰＵ４０の出
力に基づいて電動レボルバ２０を駆動し、対物レンズを
切り換える。
力に基づいて電動レボルバ２０を駆動し、対物レンズを
切り換える。
【００３４】ＣＰＵ４０には操作部３０が接続され、操
作部３０は照明系の切換えや対物レンズの切換え等を指
示するためのボタンを有する。ＣＰＵ４０はメモリ４１
に記憶された対物レンズの取付位置情報や照明系と対物
レンズとの適正な組合わせ等に基づいて、対物レンズと
照明系とを適正な状態に設定する。
作部３０は照明系の切換えや対物レンズの切換え等を指
示するためのボタンを有する。ＣＰＵ４０はメモリ４１
に記憶された対物レンズの取付位置情報や照明系と対物
レンズとの適正な組合わせ等に基づいて、対物レンズと
照明系とを適正な状態に設定する。
【００３５】図２はこの発明に係る顕微鏡装置を適用し
た顕微鏡の第１実施形態を示す断面図であり、図２
（ａ）は可視光照明系であるときを示し、図２（ｂ）は
紫外光照明系であるときを示し、図３はフィルタブロッ
クの斜視図、図４は電動レボルバの対物レンズの配置を
示す図である。
た顕微鏡の第１実施形態を示す断面図であり、図２
（ａ）は可視光照明系であるときを示し、図２（ｂ）は
紫外光照明系であるときを示し、図３はフィルタブロッ
クの斜視図、図４は電動レボルバの対物レンズの配置を
示す図である。
【００３６】顕微鏡は、顕微鏡本体５０と、鏡筒５１
と、電動レボルバ２０と、ステージ５２と、操作部３０
とを備える。
と、電動レボルバ２０と、ステージ５２と、操作部３０
とを備える。
【００３７】顕微鏡本体５０はベース５０Ａと、支柱５
０Ｂと、アーム５０Ｃとからなる。
０Ｂと、アーム５０Ｃとからなる。
【００３８】鏡筒５１はアーム５０Ｃの上部に取り付け
られ、接眼レンズ５１Ａを有する。
られ、接眼レンズ５１Ａを有する。
【００３９】電動レボルバ２０はアーム５０Ｃの下面に
取り付けられ、電動レボルバ２０に５本の対物レンズ２
０Ａ〜２０Ｅが保持されている。対物レンズ２０Ａ〜２
０Ｄは可視光用であり、対物レンズ２０Ｅは紫外光に対
応した蛍光用である。
取り付けられ、電動レボルバ２０に５本の対物レンズ２
０Ａ〜２０Ｅが保持されている。対物レンズ２０Ａ〜２
０Ｄは可視光用であり、対物レンズ２０Ｅは紫外光に対
応した蛍光用である。
【００４０】ステージ５２はベース５０Ａに設けられ、
対物レンズの光軸に沿って上下動する。
対物レンズの光軸に沿って上下動する。
【００４１】また、アーム５０Ｃにはフィルタブロック
１０と照明用の光源５５が設けられている。フィルタブ
ロック１０は光源５５の光路に対して直交する方向（紙
面を貫通する方向）へ移動でき、照明光路に紫外線カッ
トフィルタ１５及び励起フィルタ１６のいずれか一方を
配置する。この光源５５には水銀ランプが用いられ、こ
の水銀ランプは可視域から極紫外域までの波長域の光を
射出する。
１０と照明用の光源５５が設けられている。フィルタブ
ロック１０は光源５５の光路に対して直交する方向（紙
面を貫通する方向）へ移動でき、照明光路に紫外線カッ
トフィルタ１５及び励起フィルタ１６のいずれか一方を
配置する。この光源５５には水銀ランプが用いられ、こ
の水銀ランプは可視域から極紫外域までの波長域の光を
射出する。
【００４２】アーム５０Ｃ内には固定ガイド部５６、可
動ガイド部５７、フィルタ駆動モータ１２及びフィルタ
ブロック１０が収容される。
動ガイド部５７、フィルタ駆動モータ１２及びフィルタ
ブロック１０が収容される。
【００４３】可動ガイド部５７と固定ガイド部５６とは
複数のボール５９を転動可能に支持するボールレース機
構を介して接続され、可動ガイド部５７は固定ガイド部
５６に対して移動可能となっている。
複数のボール５９を転動可能に支持するボールレース機
構を介して接続され、可動ガイド部５７は固定ガイド部
５６に対して移動可能となっている。
【００４４】可動ガイド部５７の固定ガイド部５６と反
対側の側面にはあり溝５７Ａが形成され、フィルタブロ
ックの側面に形成されたあり１０Ａと係合している。
対側の側面にはあり溝５７Ａが形成され、フィルタブロ
ックの側面に形成されたあり１０Ａと係合している。
【００４５】可動ガイド部５７の上部にはラック５７Ｂ
が形成され、このラック５７Ｂはモータ１２の回転軸に
固着されたピニオン１２Ａと噛み合っている。モータ１
２は、例えばＤＣモータを用い、固定ガイド部５６に固
着される。
が形成され、このラック５７Ｂはモータ１２の回転軸に
固着されたピニオン１２Ａと噛み合っている。モータ１
２は、例えばＤＣモータを用い、固定ガイド部５６に固
着される。
【００４６】遮光手段（切換手段）としてのフィルタブ
ロック１０は明視野ブロック１０Ｂと蛍光ブロック１０
Ｃとを備える。明視野ブロック１０Ｂは紫外線カットフ
ィルタ１５とハーフミラー１７とを保持する。蛍光ブロ
ック１０Ｃは励起フィルタ１６とダイクロイックミラー
１８とバリアフィルタ１９とを保持する。
ロック１０は明視野ブロック１０Ｂと蛍光ブロック１０
Ｃとを備える。明視野ブロック１０Ｂは紫外線カットフ
ィルタ１５とハーフミラー１７とを保持する。蛍光ブロ
ック１０Ｃは励起フィルタ１６とダイクロイックミラー
１８とバリアフィルタ１９とを保持する。
【００４７】電動レボルバ２０を駆動するモータ２２
（図１参照）とモータ１２とはＣＰＵ４０に接続され、
通電を制御されている。
（図１参照）とモータ１２とはＣＰＵ４０に接続され、
通電を制御されている。
【００４８】上記顕微鏡によれば、対物レンズセンサ２
１からの検出信号によって明視野用の対物レンズ２０Ａ
が光路中に配置されているとＣＰＵ４０が判断した場合
には、ＣＰＵ４０は明視野ブロック１０Ｂを光路中に配
置する信号を出力し、モータ１２を駆動して光路中に明
視野ブロック１０Ｂを配置し（図２（ａ）参照）、紫外
光用の対物レンズ２０Ｅが光路中に配置されていると判
断した場合には、ＣＰＵ４０は紫外光ブロック１０Ｃを
光路中に配置する信号を出力し、モータ１２を駆動して
光路中に紫外光ブロック１０Ｃを配置する（図２（ｂ）
参照）。
１からの検出信号によって明視野用の対物レンズ２０Ａ
が光路中に配置されているとＣＰＵ４０が判断した場合
には、ＣＰＵ４０は明視野ブロック１０Ｂを光路中に配
置する信号を出力し、モータ１２を駆動して光路中に明
視野ブロック１０Ｂを配置し（図２（ａ）参照）、紫外
光用の対物レンズ２０Ｅが光路中に配置されていると判
断した場合には、ＣＰＵ４０は紫外光ブロック１０Ｃを
光路中に配置する信号を出力し、モータ１２を駆動して
光路中に紫外光ブロック１０Ｃを配置する（図２（ｂ）
参照）。
【００４９】また、フィルタセンサ１１からの検出信号
によって明視野ブロック１０Ｂが光路中に配置されてい
るとＣＰＵ４０が判断した場合には、ＣＰＵ４０は可視
光用の対物レンズ（例えば２０Ａ）を光路中に配置する
信号を出力し、モータ２２を駆動して光路中に対物レン
ズ２０Ａを配置し（図２（ａ）参照）、紫外光ブロック
１０Ｃが光路中に配置されていると判断した場合には、
ＣＰＵ４０は紫外光用の対物レンズ２０Ｅを光路中に配
置する信号を出力し、モータ２２を駆動して光路中に紫
外光用の対物レンズ２０Ｅを配置する（図２（ｂ）参
照）。
によって明視野ブロック１０Ｂが光路中に配置されてい
るとＣＰＵ４０が判断した場合には、ＣＰＵ４０は可視
光用の対物レンズ（例えば２０Ａ）を光路中に配置する
信号を出力し、モータ２２を駆動して光路中に対物レン
ズ２０Ａを配置し（図２（ａ）参照）、紫外光ブロック
１０Ｃが光路中に配置されていると判断した場合には、
ＣＰＵ４０は紫外光用の対物レンズ２０Ｅを光路中に配
置する信号を出力し、モータ２２を駆動して光路中に紫
外光用の対物レンズ２０Ｅを配置する（図２（ｂ）参
照）。
【００５０】このように、対物レンズと照明系との一方
が電動又は手動により切換えられたとき、他方を自動的
に切換え、常に可視光照明と可視光用対物レンズ、又は
紫外光照明と紫外光用対物レンズの組み合わせに設定さ
れる。
が電動又は手動により切換えられたとき、他方を自動的
に切換え、常に可視光照明と可視光用対物レンズ、又は
紫外光照明と紫外光用対物レンズの組み合わせに設定さ
れる。
【００５１】図２（ａ）の場合、光源５５から出射され
た照明光は図示しないコレクタレンズ等の照明光学系を
通り、明視野ブロック１０Ｂに入射する。
た照明光は図示しないコレクタレンズ等の照明光学系を
通り、明視野ブロック１０Ｂに入射する。
【００５２】照明光は紫外線カットフィルタ１５によっ
て紫外光を除いた可視光となり、ハーフミラー１７によ
って対物レンズ２０Ａに偏向され、対物レンズ２０Ａを
通してステージ５２上の試料５２Ａを照明する（可視光
照明系）。
て紫外光を除いた可視光となり、ハーフミラー１７によ
って対物レンズ２０Ａに偏向され、対物レンズ２０Ａを
通してステージ５２上の試料５２Ａを照明する（可視光
照明系）。
【００５３】可視光照明系の照明によって得られた像は
観察系を構成する対物レンズ２０Ａ、ハーフミラー１７
を通り、鏡筒５１を介して接眼レンズ５１Ａで明視野観
察される。
観察系を構成する対物レンズ２０Ａ、ハーフミラー１７
を通り、鏡筒５１を介して接眼レンズ５１Ａで明視野観
察される。
【００５４】図２（ｂ）の場合、照明光は励起フィルタ
１６によって紫外光だけの照明光となり、ダイクロイッ
クミラー１８によって対物レンズ２０Ｅに偏向され、対
物レンズ２０Ｅを通してステージ５２上の試料５２Ａを
照明する（紫外光照明系）。
１６によって紫外光だけの照明光となり、ダイクロイッ
クミラー１８によって対物レンズ２０Ｅに偏向され、対
物レンズ２０Ｅを通してステージ５２上の試料５２Ａを
照明する（紫外光照明系）。
【００５５】紫外光照明系の照明によって得られた蛍光
像は観察系を構成する対物レンズ２０Ｅ、ダイクロイッ
クミラー１８及びバリアフィルタ１９を通り、鏡筒５１
を介して接眼レンズ５１Ａで蛍光観察される。
像は観察系を構成する対物レンズ２０Ｅ、ダイクロイッ
クミラー１８及びバリアフィルタ１９を通り、鏡筒５１
を介して接眼レンズ５１Ａで蛍光観察される。
【００５６】この第１実施形態によれば、明視野観察と
紫外光を使用する蛍光観察とを選択可能な顕微鏡装置に
おいて、選択した対物レンズに対応したフィルタブロッ
ク１０を選択することができるとともに、選択したフィ
ルタブロック１０に対応した対物レンズを選択すること
ができるので、可視光用対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄに紫
外光を入射させて、接着剤を濁らせてしまい、対物レン
ズ２０〜２０Ｄを使用できなくしてしまう事故を防ぐこ
とができるとともに、誤った対物レンズの選択によって
対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄが自己蛍光してしまい見え難
くなることを防ぐことができる。
紫外光を使用する蛍光観察とを選択可能な顕微鏡装置に
おいて、選択した対物レンズに対応したフィルタブロッ
ク１０を選択することができるとともに、選択したフィ
ルタブロック１０に対応した対物レンズを選択すること
ができるので、可視光用対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄに紫
外光を入射させて、接着剤を濁らせてしまい、対物レン
ズ２０〜２０Ｄを使用できなくしてしまう事故を防ぐこ
とができるとともに、誤った対物レンズの選択によって
対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄが自己蛍光してしまい見え難
くなることを防ぐことができる。
【００５７】また、対物レンズ２０Ａ〜２０Ｅの切換と
照明系の切換とを一度の操作で行うことができるので、
慣れない観察者でも誤操作が少なくなり、操作性が向上
する。その結果、検査時間の短縮とともに正確な検査が
可能になる。
照明系の切換とを一度の操作で行うことができるので、
慣れない観察者でも誤操作が少なくなり、操作性が向上
する。その結果、検査時間の短縮とともに正確な検査が
可能になる。
【００５８】更に、紫外光観察をする場合でも、誤って
明視野用対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄを光路に入れること
がないので、同焦点がとれないため像が見えず、ピント
を合わせるためにステージ５２をＺ軸方向に動かして試
料５２Ａや対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄを破損してしまう
という事故を防止できる。
明視野用対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄを光路に入れること
がないので、同焦点がとれないため像が見えず、ピント
を合わせるためにステージ５２をＺ軸方向に動かして試
料５２Ａや対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄを破損してしまう
という事故を防止できる。
【００５９】図５（ａ）はこの発明に係る顕微鏡装置を
適用した顕微鏡の第２実施形態を示す断面図、図５
（ｂ）は電動レボルバの対物レンズの配置を示す図であ
り、同一部分には同一符号を付してその説明を省略す
る。
適用した顕微鏡の第２実施形態を示す断面図、図５
（ｂ）は電動レボルバの対物レンズの配置を示す図であ
り、同一部分には同一符号を付してその説明を省略す
る。
【００６０】この第２実施形態は可視光による明視野観
察と３００ｎｍ以下の極紫外光（ＤＵＶ光）を使用する
紫外光像の観察を行うことができる顕微鏡を示してい
る。
察と３００ｎｍ以下の極紫外光（ＤＵＶ光）を使用する
紫外光像の観察を行うことができる顕微鏡を示してい
る。
【００６１】顕微鏡は顕微鏡本体１５０と、鏡筒５１
と、電動レボルバ２０と、ステージ５２と、紫外線用デ
ィテクタ５３と、操作部３０とを備える。
と、電動レボルバ２０と、ステージ５２と、紫外線用デ
ィテクタ５３と、操作部３０とを備える。
【００６２】顕微鏡本体１５０はベース１５０Ａと、支
柱１５０Ｂと、アーム１５０Ｃ，１５０Ｄとからなる。
柱１５０Ｂと、アーム１５０Ｃ，１５０Ｄとからなる。
【００６３】鏡筒５１はアーム１５０Ｃの上部に取り付
けられ、接眼レンズ５１Ａを有する。
けられ、接眼レンズ５１Ａを有する。
【００６４】電動レボルバ２０はアーム１５０Ｄの下面
に取り付けられ、５本の対物レンズ１２０Ａ〜１２０Ｅ
が保持されている。対物レンズ１２０Ａ〜１２０Ｄは明
視野用であり、対物レンズ１２０Ｅは紫外線用である。
に取り付けられ、５本の対物レンズ１２０Ａ〜１２０Ｅ
が保持されている。対物レンズ１２０Ａ〜１２０Ｄは明
視野用であり、対物レンズ１２０Ｅは紫外線用である。
【００６５】アーム１５０Ｃには水銀ランプ５５、ＵＶ
フィルタ１５１、シャッタ（遮光手段）１５２、ハーフ
ミラー１５３、ダイクロイックミラー１５４及びバリア
フィルタ１５５が配置され、アーム１５０Ｄにはハロゲ
ンランプ１５６、ハーフミラー１５７を保持するフィル
タブロック１１０が配置されている。シャッタ１５２は
ソレノイド１５２Ａによって駆動される。
フィルタ１５１、シャッタ（遮光手段）１５２、ハーフ
ミラー１５３、ダイクロイックミラー１５４及びバリア
フィルタ１５５が配置され、アーム１５０Ｄにはハロゲ
ンランプ１５６、ハーフミラー１５７を保持するフィル
タブロック１１０が配置されている。シャッタ１５２は
ソレノイド１５２Ａによって駆動される。
【００６６】アーム１５０Ｃの下面に形成されたありは
アーム１５０Ｄの上面に形成されたあり溝に係合してい
る。また、アーム１５０Ｃとアーム１５０Ｄとは開口Ｓ
を介して連通しており、この開口Ｓによってダイクロイ
ックミラー１５４とハーフミラー１５７との間の光路を
形成する。
アーム１５０Ｄの上面に形成されたあり溝に係合してい
る。また、アーム１５０Ｃとアーム１５０Ｄとは開口Ｓ
を介して連通しており、この開口Ｓによってダイクロイ
ックミラー１５４とハーフミラー１５７との間の光路を
形成する。
【００６７】電動レボルバ２０を駆動するモータ２２
（図１参照）、モータ１２、ソレノイド１５２Ａ及びハ
ロゲンランプ１５６はＣＰＵ４０に接続され、ＣＰＵ４
０によって通電が制御される。
（図１参照）、モータ１２、ソレノイド１５２Ａ及びハ
ロゲンランプ１５６はＣＰＵ４０に接続され、ＣＰＵ４
０によって通電が制御される。
【００６８】上記顕微鏡によれば、例えば明視野用の対
物レンズ１２０Ａが光路中に配置されるとＣＰＵ４０が
判断した場合には、ＣＰＵ４０はシャッタ１５２を閉じ
る信号を出力し、ソレノイド１５２Ａを駆動して紫外線
の光路を閉じるとともに、ハーフミラー１５７を光路中
に配置する信号を出力し、モータ１２を駆動して光路中
にハーフミラー１５７を配置する（図５参照）。
物レンズ１２０Ａが光路中に配置されるとＣＰＵ４０が
判断した場合には、ＣＰＵ４０はシャッタ１５２を閉じ
る信号を出力し、ソレノイド１５２Ａを駆動して紫外線
の光路を閉じるとともに、ハーフミラー１５７を光路中
に配置する信号を出力し、モータ１２を駆動して光路中
にハーフミラー１５７を配置する（図５参照）。
【００６９】紫外光用の対物レンズ１２０Ｅが光路中に
配置されると判断した場合には、ＣＰＵ４０はハーフミ
ラー１５７を光路から外す信号を出力し、モータ１２を
駆動して光路中からハーフミラー１５７を外すととも
に、シャッタ１５２を開く信号を出力し、ソレノイド１
５２Ａを駆動して紫外線の光路を開く。このとき、ハロ
ゲンランプ１５６への通電は止められ、ハロゲンランプ
１５６は消灯する。
配置されると判断した場合には、ＣＰＵ４０はハーフミ
ラー１５７を光路から外す信号を出力し、モータ１２を
駆動して光路中からハーフミラー１５７を外すととも
に、シャッタ１５２を開く信号を出力し、ソレノイド１
５２Ａを駆動して紫外線の光路を開く。このとき、ハロ
ゲンランプ１５６への通電は止められ、ハロゲンランプ
１５６は消灯する。
【００７０】図５の場合（明視野観察）、光源１５６か
ら出射された照明光は図示しないコレクタレンズ等の照
明光学系を通り、ハーフミラー１５７に入射する。
ら出射された照明光は図示しないコレクタレンズ等の照
明光学系を通り、ハーフミラー１５７に入射する。
【００７１】照明光はハーフミラー１５７によって対物
レンズ１２０Ａに偏向され、対物レンズ１２０Ａを通し
てステージ５２上の試料５２Ａを照明する（可視光照明
系）。
レンズ１２０Ａに偏向され、対物レンズ１２０Ａを通し
てステージ５２上の試料５２Ａを照明する（可視光照明
系）。
【００７２】可視光照明系の照明によって得られた像は
観察系を構成する対物レンズ１２０Ａ、ハーフミラー１
５７、ダイクロイックミラー１５４及びバリアフィルタ
１５５を通り、鏡筒５１を介して接眼レンズ５１Ａで明
視野観察される。
観察系を構成する対物レンズ１２０Ａ、ハーフミラー１
５７、ダイクロイックミラー１５４及びバリアフィルタ
１５５を通り、鏡筒５１を介して接眼レンズ５１Ａで明
視野観察される。
【００７３】一方、ＤＵＶ光による紫外線観察の場合、
照明光はＵＶフィルタ１５１によって紫外光だけの照明
光となり、ハーフミラー１５３を透過した後、ダイクロ
イックミラー１５４によって対物レンズ１２０Ｅ方向に
偏向され、対物レンズ１２０Ｅを通してステージ５２上
の試料５２Ａを照明する（紫外光照明系）。
照明光はＵＶフィルタ１５１によって紫外光だけの照明
光となり、ハーフミラー１５３を透過した後、ダイクロ
イックミラー１５４によって対物レンズ１２０Ｅ方向に
偏向され、対物レンズ１２０Ｅを通してステージ５２上
の試料５２Ａを照明する（紫外光照明系）。
【００７４】紫外光照明系の照明によって得られた紫外
光像は観察系を構成する対物レンズ１２０Ｅ、ダイクロ
イックミラー１５４でハーフミラー１５３方向へ偏向さ
れ、ハーフミラー１５３で紫外線用ディテクタ５３方向
へ偏向される。紫外線用ディテクタ５３は検出した紫外
光を電気信号に変換し、モニタ（図示せず）で画像化さ
れ、観察される。
光像は観察系を構成する対物レンズ１２０Ｅ、ダイクロ
イックミラー１５４でハーフミラー１５３方向へ偏向さ
れ、ハーフミラー１５３で紫外線用ディテクタ５３方向
へ偏向される。紫外線用ディテクタ５３は検出した紫外
光を電気信号に変換し、モニタ（図示せず）で画像化さ
れ、観察される。
【００７５】この第２実施形態によれば、第１実施形態
と同様の効果を発揮できる。
と同様の効果を発揮できる。
【００７６】図６はこの発明に係る顕微鏡装置の他の制
御方法を説明するフローチャートである。なお、Ｓ１〜
Ｓ１６はＣＰＵの行う各処理のステップを示す。
御方法を説明するフローチャートである。なお、Ｓ１〜
Ｓ１６はＣＰＵの行う各処理のステップを示す。
【００７７】ＣＰＵ４０は操作部３０から対物レンズを
切り換える指示が入力されたか否かを判断する（Ｓ
１）。
切り換える指示が入力されたか否かを判断する（Ｓ
１）。
【００７８】対物レンズを切り換える指示が入力された
ときには、対物レンズセンサ２１、操作部３０及びメモ
リ４１に記憶された情報に基づいて、現在光路中にある
対物レンズと切換後の（次に光路に挿入される）対物レ
ンズとをそれぞれ確認する（Ｓ２）。
ときには、対物レンズセンサ２１、操作部３０及びメモ
リ４１に記憶された情報に基づいて、現在光路中にある
対物レンズと切換後の（次に光路に挿入される）対物レ
ンズとをそれぞれ確認する（Ｓ２）。
【００７９】次に、指示が明視野（可視光）用の対物レ
ンズから紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズへの切換であ
るか否かを判断する（Ｓ３）。
ンズから紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズへの切換であ
るか否かを判断する（Ｓ３）。
【００８０】指示が明視野（可視光）用の対物レンズか
ら紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズへの切換であるとき
には、モータ２２を駆動して対物レンズを紫外光（ＵＶ
光）用の対物レンズに切り換える（Ｓ４）。
ら紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズへの切換であるとき
には、モータ２２を駆動して対物レンズを紫外光（ＵＶ
光）用の対物レンズに切り換える（Ｓ４）。
【００８１】次に、モータ１２を駆動してフィルタブロ
ック１０を紫外光照明系に切り換える（Ｓ５）。その後
Ｓ１に戻る。
ック１０を紫外光照明系に切り換える（Ｓ５）。その後
Ｓ１に戻る。
【００８２】Ｓ３で指示が明視野（可視光）用の対物レ
ンズから紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズへの切換でな
いときには、紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズから明視
野（可視光）用の対物レンズへの切換であるか否かを判
断する（Ｓ６）。
ンズから紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズへの切換でな
いときには、紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズから明視
野（可視光）用の対物レンズへの切換であるか否かを判
断する（Ｓ６）。
【００８３】紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズから明視
野（可視光）用の対物レンズへの切換であるときには、
モータ１２を駆動してフィルタブロック１０を可視光照
明系に切り換える（Ｓ７）。
野（可視光）用の対物レンズへの切換であるときには、
モータ１２を駆動してフィルタブロック１０を可視光照
明系に切り換える（Ｓ７）。
【００８４】次に、モータ１２を駆動して対物レンズを
明視野（可視光）用の対物レンズへ切り換える（Ｓ
８）。その後Ｓ１に戻る。Ｓ６で紫外光用対物レンズか
ら可視光用の対物レンズへの切換でないと判断すると、
操作部３０からの指示通り対物レンズを切換える（Ｓ１
７）。その後Ｓ１に戻る。
明視野（可視光）用の対物レンズへ切り換える（Ｓ
８）。その後Ｓ１に戻る。Ｓ６で紫外光用対物レンズか
ら可視光用の対物レンズへの切換でないと判断すると、
操作部３０からの指示通り対物レンズを切換える（Ｓ１
７）。その後Ｓ１に戻る。
【００８５】Ｓ１で対物レンズを切り換える指示でない
ときには、照明系（フィルタブロック）を切り換える指
示が入力されたか否かを判断する（Ｓ９）。指示がない
場合は再びＳ１に戻り、対物レンズ又は照明系の切換指
示があるまでＳ１，Ｓ９をくりかえす。
ときには、照明系（フィルタブロック）を切り換える指
示が入力されたか否かを判断する（Ｓ９）。指示がない
場合は再びＳ１に戻り、対物レンズ又は照明系の切換指
示があるまでＳ１，Ｓ９をくりかえす。
【００８６】照明系を切り換える指示が入力されたとき
には、現在の照明系と切換後の照明系とを確認する（Ｓ
１０）。
には、現在の照明系と切換後の照明系とを確認する（Ｓ
１０）。
【００８７】次に、指示が可視光照明系から紫外光照明
系への切換であるか否かを判断する（Ｓ１１）。
系への切換であるか否かを判断する（Ｓ１１）。
【００８８】指示が可視光照明系から紫外光照明系への
切換であるときには、モータ２２を駆動して光路に挿入
する対物レンズを紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズに切
り換える（Ｓ１２）。
切換であるときには、モータ２２を駆動して光路に挿入
する対物レンズを紫外光（ＵＶ光）用の対物レンズに切
り換える（Ｓ１２）。
【００８９】次に、モータ１２を駆動して照明系を紫外
光照明系に切り換える（Ｓ１３）。その後Ｓ１に戻る。
光照明系に切り換える（Ｓ１３）。その後Ｓ１に戻る。
【００９０】Ｓ１１で指示が可視光照明系から紫外光照
明系への切換でないときには、紫外光照明系から可視光
照明系への切換であるか否かを判断する（Ｓ１４）。
明系への切換でないときには、紫外光照明系から可視光
照明系への切換であるか否かを判断する（Ｓ１４）。
【００９１】紫外光照明系から可視光照明系への切換で
あるときには、モータ１２を駆動して照明系を可視光照
明系に切り換える（Ｓ１５）。
あるときには、モータ１２を駆動して照明系を可視光照
明系に切り換える（Ｓ１５）。
【００９２】次に、モータ２２を駆動して対物レンズを
明視野（可視光）用の対物レンズへ切り換える（Ｓ１
６）。その後Ｓ１に戻る。Ｓ１４で紫外光照明系から可
視光照明系への切換でないと判断すると、操作部３０か
らの指示通り照明系を切換える（Ｓ１８）。その後Ｓ１
に戻る。
明視野（可視光）用の対物レンズへ切り換える（Ｓ１
６）。その後Ｓ１に戻る。Ｓ１４で紫外光照明系から可
視光照明系への切換でないと判断すると、操作部３０か
らの指示通り照明系を切換える（Ｓ１８）。その後Ｓ１
に戻る。
【００９３】上記制御方法によれば、上記実施形態の制
御方法の場合と同様の効果を発揮できる。上記制御方法
によれば、可視光用対物レンズと紫外光照明系とが同時
に光路上に配置されることがないので、紫外光の可視光
用対物レンズへの入射を確実に防止できる。
御方法の場合と同様の効果を発揮できる。上記制御方法
によれば、可視光用対物レンズと紫外光照明系とが同時
に光路上に配置されることがないので、紫外光の可視光
用対物レンズへの入射を確実に防止できる。
【００９４】更に、紫外光用対物レンズ１２０Ｅを光路
に入れたままで明視野観察を行うことがないので、ピン
トを合わせるためにステージ５２をＺ軸方向に動かして
試料５２Ａや対物レンズ２０Ｅを破損してしまうという
事故を防止できる。
に入れたままで明視野観察を行うことがないので、ピン
トを合わせるためにステージ５２をＺ軸方向に動かして
試料５２Ａや対物レンズ２０Ｅを破損してしまうという
事故を防止できる。
【００９５】これは、紫外光像を観察するために収差補
正された対物レンズ１２０Ｅでは、可視光と紫外光の同
焦点が出ていないためである。
正された対物レンズ１２０Ｅでは、可視光と紫外光の同
焦点が出ていないためである。
【００９６】なお、操作部３０によって紫外光用対物レ
ンズ２０Ｅから可視光用対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄへ切
り替える指示を受けた場合で、フィルタセンサ１１によ
って紫外光照明系を用いていることが検出されたとき及
び操作部３０によって可視光照明系から紫外光照明系へ
切り替える指示を受けた場合で、対物レンズセンサ２１
によって光路に可視光用対物レンズ２０Ｅが配置されて
いることが検出されたときには、操作部３０による指示
を無効とし、ブザー（図示せず）によって警報音を発
し、観察者に注意を促すようにしてもよい。
ンズ２０Ｅから可視光用対物レンズ２０Ａ〜２０Ｄへ切
り替える指示を受けた場合で、フィルタセンサ１１によ
って紫外光照明系を用いていることが検出されたとき及
び操作部３０によって可視光照明系から紫外光照明系へ
切り替える指示を受けた場合で、対物レンズセンサ２１
によって光路に可視光用対物レンズ２０Ｅが配置されて
いることが検出されたときには、操作部３０による指示
を無効とし、ブザー（図示せず）によって警報音を発
し、観察者に注意を促すようにしてもよい。
【００９７】上記実施形態はフィルタブロック及び電動
レボルバをモータ駆動するようにしたが、一方を手動で
操作するようにしてもよい。
レボルバをモータ駆動するようにしたが、一方を手動で
操作するようにしてもよい。
【００９８】第２実施形態において、ダイクロイックミ
ラー１５４を光路に挿脱可能とする駆動部を設け、明視
野観察時にダイクロイックミラー１５４を光路から外す
ようにしてもよい。
ラー１５４を光路に挿脱可能とする駆動部を設け、明視
野観察時にダイクロイックミラー１５４を光路から外す
ようにしてもよい。
【００９９】また、ハロゲンランプ１５６は消灯するの
ではなく、光路にシャッタを配置して光路を遮断するよ
うにしてもよい。
ではなく、光路にシャッタを配置して光路を遮断するよ
うにしてもよい。
【０１００】更に、フィルタブロック１１０の切換はフ
ィルタブロック１１０の位置を検知することで行ってい
るが、シャッタ１５２の開閉に基づいて切り換えるよう
にしてもよい。また、紫外光の光源として水銀ランプの
かわりに紫外レーザを用いても良い。
ィルタブロック１１０の位置を検知することで行ってい
るが、シャッタ１５２の開閉に基づいて切り換えるよう
にしてもよい。また、紫外光の光源として水銀ランプの
かわりに紫外レーザを用いても良い。
【０１０１】
【発明の効果】以上に説明したように請求項１に記載の
発明の顕微鏡装置によれば、可視光用対物レンズに紫外
光が入射することを防止して、接着剤を濁らせてしま
い、対物レンズを使用できなくしてしまう事故を確実に
防ぐことができるとともに、誤った対物レンズの選択に
よって対物レンズが自己蛍光してしまい見えが悪くなる
ことを防ぐことができる。
発明の顕微鏡装置によれば、可視光用対物レンズに紫外
光が入射することを防止して、接着剤を濁らせてしま
い、対物レンズを使用できなくしてしまう事故を確実に
防ぐことができるとともに、誤った対物レンズの選択に
よって対物レンズが自己蛍光してしまい見えが悪くなる
ことを防ぐことができる。
【０１０２】また、紫外光観察をする場合でも、誤って
明視野用対物レンズを光路に入れることがないので、同
焦点がとれないため像が見えず、ピントを合わせるため
にステージをＺ軸方向に動かして試料や対物レンズを破
損してしまうという事故を防止できる。
明視野用対物レンズを光路に入れることがないので、同
焦点がとれないため像が見えず、ピントを合わせるため
にステージをＺ軸方向に動かして試料や対物レンズを破
損してしまうという事故を防止できる。
【０１０３】請求項２又は７に記載の発明の顕微鏡装置
によれば、紫外像を観察するための紫外線用対物レンズ
を光路に入れたままで明視野観察を行うことがないの
で、ピントを合わせるためにステージをＺ軸方向に動か
して試料や対物レンズを破損してしまうという事故を防
止できる。
によれば、紫外像を観察するための紫外線用対物レンズ
を光路に入れたままで明視野観察を行うことがないの
で、ピントを合わせるためにステージをＺ軸方向に動か
して試料や対物レンズを破損してしまうという事故を防
止できる。
【０１０４】請求項３、５、６又は７に記載の発明の顕
微鏡装置によれば、対物レンズの切換と照明系の切換と
を一度の操作で行うことができるので、慣れない観察者
でも誤操作が少なくなり、操作性が向上する。その結
果、検査時間の短縮とともに正確な検査が可能になる。
微鏡装置によれば、対物レンズの切換と照明系の切換と
を一度の操作で行うことができるので、慣れない観察者
でも誤操作が少なくなり、操作性が向上する。その結
果、検査時間の短縮とともに正確な検査が可能になる。
【図１】図１はこの発明に係る顕微鏡装置の制御系を示
すブロック構成図である。
すブロック構成図である。
【図２】図２はこの発明に係る顕微鏡装置を適用した顕
微鏡の第１実施形態を示す断面図であり、図２（ａ）は
可視光照明系であるときを示す図、図２（ｂ）は紫外光
照明系であるときを示す図である。
微鏡の第１実施形態を示す断面図であり、図２（ａ）は
可視光照明系であるときを示す図、図２（ｂ）は紫外光
照明系であるときを示す図である。
【図３】図３はフィルタブロックの斜視図である。
【図４】図４は電動レボルバの対物レンズの配置を示す
図である。
図である。
【図５】図５（ａ）はこの発明に係る顕微鏡装置を適用
した顕微鏡の第２実施形態を示す断面図、図５（ｂ）は
電動レボルバの対物レンズの配置を示す図である。
した顕微鏡の第２実施形態を示す断面図、図５（ｂ）は
電動レボルバの対物レンズの配置を示す図である。
【図６】図６はこの発明に係る顕微鏡装置の他の制御方
法を説明するフローチャートである。
法を説明するフローチャートである。
１０ フィルタブロック（切換手段） １１ フィルタセンサ（照明系検出手段） １２ フィルタ駆動モータ（切換駆動手段） ２０ 電動レボルバ ２０Ａ〜２０Ｄ 可視光用対物レンズ ２０Ｅ 紫外光用対物レンズ ２１ 対物レンズセンサ（対物レンズ検出手段） ２２ レボルバ駆動モータ（レボルバ駆動手段） ３０ 操作部（指示手段） ４０ ＣＰＵ（制御手段） ４１ メモリ（記憶手段） １５２ シャッタ
Claims (7)
- 【請求項１】 可視光で試料を照明する可視光照明系
と、紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、前記
試料に対して前記可視光照明系と前記紫外光照明系とを
切り換える切換手段と、前記試料を観察するための観察
系とを備える顕微鏡装置において、 可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、
前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に配置
する電動レボルバと、 前記電動レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、 前記紫外光照明系による照明であるか否かを検出する照
明系検出手段と、 前記照明系検出手段によって前記紫外光照明系を用いて
いることが検出されたとき、前記レボルバ駆動手段を駆
動して光路に前記紫外光用対物レンズを挿入する制御手
段とを備えることを特徴とする顕微鏡装置。 - 【請求項２】 可視光で試料を照明する可視光照明系
と、紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、前記
試料に対して前記可視光照明系と前記紫外光照明系とを
切り換える切換手段と、前記切換手段を駆動する切換駆
動手段と、前記試料を観察するための観察系とを備える
顕微鏡装置において、 可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、
前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に配置
するレボルバと、 光路に前記可視光用対物レンズが配置されていることを
検出する対物レンズ検出手段と、 前記対物レンズ検出手段によって光路に前記可視光用対
物レンズが配置されていることが検出されたとき、前記
切換駆動手段を駆動して前記切換手段を前記可視光照明
系に切り換える制御手段とを備えることを特徴とする顕
微鏡装置。 - 【請求項３】 可視光で試料を照明する可視光照明系
と、紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、前記
紫外光照明系中に配置され、前記試料に対して前記紫外
光が照射されるのを阻止する遮光手段と、前記遮光手段
を駆動する駆動手段と、前記試料を観察するための観察
系とを備える顕微鏡装置において、 可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、
前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に配置
する電動レボルバと、 前記電動レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、 対物レンズの切換えを指示する指示手段と、 前記指示手段によって前記紫外光用対物レンズから前記
可視光用対物レンズへ切り替える指示を受けたとき、前
記遮光手段によって前記紫外光を遮断した後、前記可視
光用対物レンズへ切り換えるように前記駆動手段と前記
レボルバ駆動手段とを駆動する制御手段を備えることを
特徴とする顕微鏡装置。 - 【請求項４】 前記顕微鏡装置は、前記レボルバに対す
る前記各々の対物レンズの取付位置情報を記憶する記憶
手段を更に有し、 前記制御手段は、前記指示手段からの指示及び前記記憶
手段に記憶された情報とに基づいて、現在光路中に配置
されている対物レンズと次に光路中に配置される対物レ
ンズとが、それぞれ可視光用対物レンズであるか紫外光
用対物レンズであるかを識別することを特徴とする請求
項３に記載の顕微鏡装置。 - 【請求項５】 前記可視光照明系と前記紫外光照明系と
は、それぞれ独立した光源と光路とを有し、前記遮光手
段は、前記紫外光照明系の光路中に配置されたシャッタ
であることを特徴とする請求項３又は４に記載の顕微鏡
装置。 - 【請求項６】 前記可視光照明系と前記紫外光照明系と
は、それぞれ同一の光源と光路とを有し、前記遮光手段
は、前記光路中に配置され、前記光源から前記試料に照
射される照明光を可視光と紫外光とに切り換える切換手
段を備えることを特徴とする請求項３又は４に記載の顕
微鏡装置。 - 【請求項７】 可視光で試料を照明する可視光照明系
と、紫外光で前記試料を照明する紫外光照明系と、前記
試料に対して前記可視光照明系と前記紫外光照明系とを
切り換える切換手段と、前記切換手段を駆動する切換駆
動手段と、前記試料を観察するための観察系とを備える
顕微鏡装置において、 可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを保持し、
前記各々の対物レンズを前記観察系光路に選択的に配置
する電動レボルバと、 前記電動レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、照明
系の切換えを指示する指示手段と、 いずれの照明系が用いられているかを検出する照明系検
出手段と、 前記照明系検出手段によって前記可視光照明系を用いて
いることが検出され、かつ前記指示手段によって前記紫
外光照明系へ切り替える指示を受けたとき、前記紫外光
用対物レンズに切換えた後、前記紫外光照明系に切り換
えるように前記レボルバ駆動手段と切換駆動手段とを駆
動する制御手段とを備えることを特徴とする顕微鏡装
置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22432397A JP3843548B2 (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | 顕微鏡装置 |
| DE69809504T DE69809504T2 (de) | 1997-08-06 | 1998-08-05 | Mikroskop mit Beleuchtungssystem für sichtbares und ultraviolettes Licht |
| US09/129,367 US6337767B1 (en) | 1997-08-06 | 1998-08-05 | Microscope with visible and ultraviolet light illumination systems |
| EP98114765A EP0896237B1 (en) | 1997-08-06 | 1998-08-05 | Microscope with visible and ultraviolet light illumination system |
| US09/382,460 US6347009B1 (en) | 1997-08-06 | 1999-08-25 | Illuminating light selection device for a microscope |
| US09/794,059 US6320697B2 (en) | 1931-08-07 | 2001-02-28 | Illuminating light selection device for a microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22432397A JP3843548B2 (ja) | 1997-08-06 | 1997-08-06 | 顕微鏡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1152253A true JPH1152253A (ja) | 1999-02-26 |
| JP3843548B2 JP3843548B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=16811961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22432397A Expired - Lifetime JP3843548B2 (ja) | 1931-08-07 | 1997-08-06 | 顕微鏡装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6337767B1 (ja) |
| EP (1) | EP0896237B1 (ja) |
| JP (1) | JP3843548B2 (ja) |
| DE (1) | DE69809504T2 (ja) |
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| JP2001154104A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡装置 |
| JP2006154239A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
| JP2006154237A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
| JP2016095493A (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-26 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
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| US6567212B1 (en) * | 2000-08-16 | 2003-05-20 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Vibration damping device for microscopes and microscope with a vibration damping device |
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| DE10120424B4 (de) * | 2001-04-26 | 2004-08-05 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanmikroskop und Auskoppelelement |
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| US7023553B2 (en) | 2001-09-07 | 2006-04-04 | Wallac Oy | Intelligent instrumentation with changeable optical components |
| US6822741B2 (en) * | 2001-09-07 | 2004-11-23 | Wallac Oy | Optical instrument and process for measurement of samples |
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| DE10245170A1 (de) * | 2002-09-26 | 2004-04-01 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Vorrichtung und Verfahren um positionieren eines optischen Bauteils |
| US20070103892A1 (en) * | 2005-11-08 | 2007-05-10 | Cooper Brands, Inc. | Toolbox with lighted handle |
| US7502164B2 (en) * | 2006-08-14 | 2009-03-10 | Westover Scientific, Inc. | Solid state fluorescence light assembly and microscope |
| EP2093560A4 (en) * | 2006-12-13 | 2011-09-07 | Nikon Corp | FLUORESCENCE DETECTION DEVICE AND FLUORESCENCE OBSERVATION SYSTEM |
| DE102007027084B4 (de) * | 2007-06-12 | 2021-01-14 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop für die Beobachtung einer Probe im Hellfeld-Durchlicht- oder im Fluoreszenz-Auflicht-Kontrastverfahren |
| US20090236543A1 (en) * | 2008-03-19 | 2009-09-24 | Nikon Corporation | Fluorescence Detection Using Lyman-alpha Line Illumination |
| CN112839148B (zh) * | 2020-12-23 | 2023-03-14 | 北京市农林科学院智能装备技术研究中心 | 摄像头组件、电子设备及紫外辐射强度检测方法 |
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| US4656358A (en) | 1985-03-12 | 1987-04-07 | Optoscan Corporation | Laser-based wafer measuring system |
| DE3610692A1 (de) * | 1986-03-29 | 1987-10-01 | Leitz Ernst Gmbh | Modulare einrichtung |
| JP3324780B2 (ja) * | 1991-05-16 | 2002-09-17 | オリンパス光学工業株式会社 | 紫外線顕微鏡 |
| US5633752A (en) * | 1994-07-27 | 1997-05-27 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical switching apparatus for a reflected fluorescence microscope |
| JP3537205B2 (ja) * | 1995-02-02 | 2004-06-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
| JP3656918B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2005-06-08 | オリンパス株式会社 | 電動レボルバ制御装置 |
| US5717518A (en) * | 1996-07-22 | 1998-02-10 | Kla Instruments Corporation | Broad spectrum ultraviolet catadioptric imaging system |
-
1997
- 1997-08-06 JP JP22432397A patent/JP3843548B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-08-05 EP EP98114765A patent/EP0896237B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-05 US US09/129,367 patent/US6337767B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-05 DE DE69809504T patent/DE69809504T2/de not_active Expired - Lifetime
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