JP2006154237A - 顕微鏡 - Google Patents

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規夫 丸山
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大輔 横井
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Abstract

【課題】 他の観察機能の付加が簡単で、しかも小型化を可能にした顕微鏡を提供する。
【解決手段】 第1光源11から発生される可視光により照明ユニット4を介して試料3を照明するとともに、対物レンズ9を介して試料3の拡大光学像を形成させる顕微鏡本体1に対し、光ファイバー44を介して接続される第2光源30からの紫外光により試料3を照明するとともに、試料3の拡大光学像を透過するダイクロイックミラー14、ハーフミラー15および照明レンズ16を有する付加ユニット13を装着可能とするとともに、この付加ユニット13に試料3の拡大光学像をTVカメラ26の撮像面27に結像させる第2の結像光学系24を装着可能にする。
【選択図】 図1

Description

本発明は、異なる波長域の光を用いた試料観察を可能とした顕微鏡に関するものである。
最近、顕微鏡の観察用途は、ますます広がっており、通常の可視域の波長の光を用いた観察に留まらず、他の波長帯域の光、例えば紫外波長域の光を使用することにより高解像度を実現した観察も行われるようになっている。
このような顕微鏡として、例えば、特許文献1に開示されたものがある。つまり、特許文献1に開示される顕微鏡は、通常に使用される試料の可視光観察に加えて紫外域での観察を可能とした紫外線顕微鏡で、顕微鏡本体内に可視光源と紫外光源を併せ持ち、これら光源から結像光学系に至る光路を可視域から紫外域に亘る波長域の光を透過可能な光学材料で形成するようにしている。
図5は、文献1に開示される紫外線顕微鏡を説明するための図で、顕微鏡本体101には、ステージ102が設けられている。ステージ102は、試料103を保持した状態で光軸と直交する面内の移動により試料103の被観察箇所の位置出しを行ない、さらに光軸と平行に移動することによって試料103の焦点合わせを行なう。一方、顕微鏡本体101には、照明ユニット104が設けられている。照明ユニット104は、その内部に照明レンズ105、ハーフミラー106が設けられている。これら照明レンズ105とハーフミラー106は、照明光学系107を構成し、これらは、共に可視域から紫外域に亘る波長域の光を透過可能な光学材料で形成されている。
照明ユニット104には、レボルバ108が保持されている。このレボルバ108には、複数の対物レンズ109が装着されている。これら対物レンズ109は、可視光用対物レンズおよび紫外光用対物レンズなどを適宜組み合せてレボルバ108に装着され、レボルバ108の回転によって所望の対物レンズ109が光軸上に配置されるようになっている。
また、照明ユニット104には、光源取付け部110が設けられている。そして、この光源取付け部110を介して光源アダプター111が連結されている。
光源アダプター111には、光源取付け部113と光源取付け部115が設けられている。このうち光源取付け部113には、可視光用光源112が連結され、光源取付け部115には、紫外光用光源114が連結されている。この場合、可視光用光源112には、通常顕微鏡に適用されるハロゲンランプが用いられ、また紫外光用光源114には必要な紫外域の波長の光を発する水銀キセノンランプ等の放電ランプが用いられる。
光源アダプター111の内部には、紫外光観察に必要な波長域の光を反射し、不必要な光を透過する特性をもつダイクロイックミラー116及び117、紫外光観察に必要な波長の光のみを透過させるバンドパスフィルタ118、光源取付け部115付近に配置され、紫外光用光源114からの照明光を遮断するシャッター119およびシャッター119を駆動する駆動手段120が設けられている。
照明ユニット104には、開口部121が設けられ、この開口部121に結像レンズ系122が連結されている。結像レンズ系122は、可視域から紫外域に亘る波長域の光を透過可能な光学材料から形成される結像レンズ123を内蔵し、対物レンズ109と共に試料103の拡大光学像を結像させる像形成光学系124を構成している。
結像レンズ系122には、TVカメラ125が設けられている。TVカメラ125は、その撮像面126が像形成光学系124の結像面と同一面になるように配置されている。TVカメラ125には、カメラコントローラ127が接続されている。そして、撮像面126で受光されたTVカメラ125の出力信号は、カメラコントローラ127で必要な信号処理を施された後、TVモニタ128に観察画像として表示される。
なお、TVカメラ125は、可視域から紫外域の光を入力して画像信号を出力することが可能であり、カメラコントローラ127はTVカメラ125の出力信号をもとに試料103の拡大光学像を可視像または紫外像としてTVモニタ128に表示する。
このような構成において、可視光観察を行なうときは、レボルバ108の回転操作により可視光用の対物レンズ109を光軸上に配置する。この状態で、可視光用光源112からの光は、ダイクロイックミラー117を透過して照明光学系107に入射する。このとき紫外光用光源114からの光は、シャッター119が駆動手段120によって駆動されることによって光源アダプター111内部への入射を遮断されている。
照明光学系107に入射した可視照明光は、照明レンズ105を透過し、ハーフミラー106で反射して方向を変えられ、可視光用対物レンズ109を通過して試料103を照明する。
試料103からの反射光は、再び可視光用対物レンズ109を通ってハーフミラー106を透過した後、結像レンズ123によって試料103の拡大光学像としてTVカメラ125の撮像面126に結像される。撮像面126で受光されたTVカメラ125の出力信号は、カメラコントローラ127で必要な信号処理を施された後、TVモニタ128に可視光観察画像として表示される。
次に、紫外光観察を行なうときは、レボルバ108の回転操作により紫外光用の対物レンズ109が光軸上に配置する。また、駆動手段120によってシャッター119を開放し、紫外光用光源114からの光を光源アダプター111の内部に入射させる。このとき可視光用光源112への通電を止めて、可視光用光源112を消灯する。
光源アダプター111に入射した紫外光用光源114の光は、ダイクロイックミラー116により紫外光観察に必要な波長を含む波長域の光が反射し、その他の波長成分の光は透過する。ダイクロイックミラー116より反射した光は、バンドパスフィルタ118に入射し、紫外光観察に必要な波長のみが抽出される。また、バンドパスフィルタ118で抽出された光は、ダイクロイックミラー117で反射し、紫外照明光として照明光学系107に入射する。照明光学系107に入射した紫外照明光は、照明レンズ105を透過し、ハーフミラー106で反射して方向を変えられ、紫外光用対物レンズ109を通過して試料103を照明する。
試料103からの反射光は、再び紫外光用対物レンズ109を通ってハーフミラー106を透過した後、結像レンズ123によって試料103の拡大光学像としてTVカメラ125の撮像面126に結像される。撮像面126で受光されたTVカメラ125の出力信号は、カメラコントローラ127で必要な信号処理を施された後、TVモニタ128に紫外光観察画像として表示される。
このようにして従来の紫外線顕微鏡では、可視光用光源からの光と紫外光用光源からの光を入射して紫外光または可視光を選択的に出射する光源アダプターからの光を、可視域から紫外域に亘る波長域の光を透過可能な材料からなる照明光学系に入射し、可視用対物レンズ及び紫外光用対物レンズで構成される対物レンズ系を含むとともに、可視域から紫外域に亘る波長域の光を透過可能な光学材料で形成された結像光学系とで構成される像形成光学系によって試料の拡大光学像をTVカメラの撮像面に結像し、カメラコントローラによる信号処理を経てTVモニタに可視光観察画像または紫外光観察画像として表示するような構成としている。
特開2003−322801号公報
ところが、このような紫外線顕微鏡によると、照明光学系に可視波長域および紫外波長域の光を選択的に入射するようにしているため、照明光学系と結像光学系に用いられる光学部品の全てを可視域から紫外域にわたる波長域の光を透過可能な材料のもので構成しなければならない。このため、最初に可視光観察のみを行なう顕微鏡を購入してしまったユーザは、その後に、上述したような紫外観察まで可能にした紫外線顕微鏡を必要とする場合、別に紫外線顕微鏡のみを購入するか、既設のものに大掛かりな改造を施す必要が生じる。
また、上述の紫外線顕微鏡は、紫外線顕微鏡本体に対して、可視光用光源の他に、紫外光用光源が装着されるため、さらに装置が大型化し、特に、既設のものに紫外観察機能を付加しようとした場合、設置スペースが不足し、改造そのものが困難になるという問題があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、他の波長域による観察機能の付加が簡単で、しかも小型化を可能とした顕微鏡を提供することを目的とする。
請求項1記載の発明は、第1の波長帯域の光を発生する第1の光源と、該第1の光源からの光により試料を照明する照明光学系と、対物レンズを含み前記試料の拡大光学像を形成させる像形成光学系とを有する顕微鏡本体と、第2の波長帯域の光を発生する第2の光源と、前記顕微鏡本体に装着され、前記第2の光源からの光により前記試料を照明するとともに、前記像形成光学系からの拡大光学像を通過させる照明・観察光学系を有する付加ユニットと、前記付加ユニットに装着され、前記照明・観察光学系を通過する前記第2の波長帯域の光による拡大光学像を結像させる第2の波長帯域用結像光学系と、前記第2の光源からの光を前記付加ユニットの照明・観察光学系に導く光伝達手段と、を具備したことを特徴としている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記付加ユニットは、前記照明・観察光学系を通過する前記第1の波長帯域の光による拡大光学像を結像させる第1の波長帯域用結像光学系を有することを特徴としている。
請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記付加ユニットの前記照明・観察光学系は、前記像形成光学系からの拡大光学像を前記第1の波長帯域の光による光学像と、前記第2の波長帯域の光による光学像に分離する光分離手段を備えたことを特徴としている。
請求項4記載の発明は、請求項2記載の発明において、前記第1の波長帯域用結像光学系は、前記付加ユニット又は前記顕微鏡本体への着脱と交換が可能であることを特徴としている。
請求項5記載の発明は、請求項1又は2記載の発明において、前記第2の波長帯域用結像光学系は、前記付加ユニットへの着脱と交換が可能であることを特徴としている。
請求項6記載の発明は、請求項2記載の発明において、前記第1の波長帯域用結像光学系は、前記第1の波長帯域の光による拡大光学像を目視観察する接眼レンズを有し、前記第2の波長帯域用結像光学系は、前記第2の波長帯域の光による拡大光学像を撮像する撮像手段を有することを特徴としている。
請求項7記載の発明は、請求項2記載の発明において、前記第1の波長帯域用結像光学系は、前記第1の波長帯域の光による拡大光学像を撮像する撮像手段を有し、前記第2の波長帯域用結像光学系は、前記第2の波長帯域の光による拡大光学像を撮像する撮像手段を有することを特徴としている。
請求項8記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第2の光源は、前記第2の波長帯域の光を含む光を発する光源本体を有するランプハウスと、該ランプハウスの光源本体から発した光から第2の波長帯域の光を選別して前記光伝達手段に入射させる光源アダプターとを有することを特徴としている。
請求項9記載の発明は、請求項8記載の発明において、前記光源アダプターは、前記光源本体から発した光を第2の波長領域の光と、該第2の波長帯域以外の光とに分離する光分離手段と、該光分離手段で分離された前記第2の波長領域の光の光量を調整する調光手段と、前記光分離手段で分離された前記第2の波長帯域以外の光を用いて前記光源本体の光源像の位置を検出する検出手段とを有することを特徴としている。
請求項10記載の発明は、請求項9記載の発明において、前記調光手段は、前記第2の波長領域の光を遮断する機能を有することを特徴としている。
請求項11記載の発明は、請求項9記載の発明において、前記ランプハウスは、前記検出手段で検出される光源像の位置に応じて前記光源本体の位置調整を可能とする位置調整手段を有することを特徴としている。
請求項12記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記光伝達手段は、光ファイバーであることを特徴としている。
本発明によれば、例えば紫外光観察や赤外光観察などの他の観察機能の付加が簡単で、しかも小型化を可能とした顕微鏡を提供できる。
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成を示している。
図1において、1は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体1は、水平に配置されたベース1aが設けられ、このベース1aには、直立した胴部1bが設けられている。また、この直立した胴部1bには、図示しない焦準機構を介してステージ2が設けられている。
ステージ2は、試料3を載置するもので、後述する光軸aと直交する面内での移動により試料3の被観察箇所の位置出しを可能とし、さらに、直立した胴部1bに沿って、つまり、光軸aに沿って移動可能とすることで、試料3の焦点合わせができるようになっている。
顕微鏡本体1の胴部1b先端には、ベース1aと平行な方向に照明ユニット4が設けられている。照明ユニット4の内部には、照明レンズ5およびハーフミラー6が設けられている。これら照明レンズ5とハーフミラー6は、第1の波長帯域の光として可視光の照明光学系7を構成するもので、このうちの照明レンズ5は、可視光が透過可能な材料で形成され、また、ハーフミラー6は、可視光および第2の波長帯域の光として紫外光を透過可能な材料で形成されている。
なお、ハーフミラー6は、図示しない機構によって光路外に移動できるようにしてもよい。この場合は、可視光だけが透過可能な材料で形成したものを使用できる。
照明ユニット4の先端部下方には、ステージ2に対向させてレンズレボルバ8が設けられている。レンズレボルバ8には、複数の対物レンズ9が装着されている。この場合、レンズレボルバ8に装着される対物レンズ9は、可視光用対物レンズおよび紫外光用対物レンズがそれぞれ一本または複数組み合わされており、レンズレボルバ8の回転によって所望の対物レンズ9が光軸a上に配置されるようになっている。この場合、これら対物レンズ9は、不図示の光学部材とともに、試料3の拡大光学像を形成させる像形成光学系を構成している。
照明ユニット4の基端部には、光源取付け部10が設けられている。光源取付け部10には、第1の光源として第1光源11が連結されている。この第1光源11は、第1の波長帯域の光、ここでは可視光を発生するもので、通常の顕微鏡に適用されるハロゲンランプが用いられている。
照明ユニット4の先端部上方には、ユニット取付け部12が設けられている。このユニット取付け部12には、付加ユニット13が連結されている。この場合、付加ユニット13は、照明ユニット4と平行な方向に配置されている。
付加ユニット13の内部には、後述する第2光源30からの第2の波長帯域である紫外光により試料3を照明する照明光学系と、対物レンズ9を含む像形成光学系からの拡大光学像を透過する観察光学系とを兼ね備えた照明・観察光学系としてダイクロイックミラー14、ハーフミラー15および照明レンズ16が設けられている。ダイクロイックミラー14は、光分離手段をなすもので、第2の波長帯域の光、ここでは紫外光を反射し、可視光を透過させる特性を有している。また、ハーフミラー15および照明レンズ16は、紫外光を透過可能な材料で形成されている。
付加ユニット13の上方には、第1の結像ユニット取付け部18および第2の結像ユニット取付け部19が並べて設けられている。この場合、第1の結像ユニット取付け部18は、上述のハーフミラー6およびダイクロイックミラー14を透過される試料3からの戻り光の光路上に配置され、第2の結像ユニット取付け部19は、ハーフミラー6を透過し、ダイクロイックミラー14で反射し、さらにハーフミラー15で反射される試料3からの戻り光の光路上に配置されている。
第1の結像ユニット取付け部18には、第1の波長帯域用結像光学系として、第1の波長帯域である可視光用の第1の結像光学系20が着脱と交換が可能に装着されている。この第1の結像光学系20は、結像レンズ21を有する接眼鏡筒22と接眼レンズ23とで構成され、ダイクロイックミラー14を透過される試料3からの戻り光を結像レンズ21を介して接眼レンズ23により試料像として目視観察可能にしている。
また、第2の結像ユニット取付け部19には、第2の波長帯域用結像光学系として、第2の波長帯域である紫外光用の第2の結像光学系24が着脱と交換が可能に装着されている。この第2の結像光学系24には、結像レンズ25が設けられるとともに、撮像手段としてのTVカメラ26が設けられている。結像レンズ25は、紫外光を透過可能な材料で形成されたもので、その結像面をTVカメラ26の撮像面27と同一になるように配置され、上述のハーフミラー15で反射される試料3からの戻り光をTVカメラ26の撮像面27に結像するようにしている。TVカメラ26には、カメラコントローラ28が接続されている。カメラコントローラ28は、TVカメラ26からの出力信号を信号処理し、TVモニタ29に観察画像として表示させるようにしている。TVカメラ26は、紫外域の光を入力して画像信号を出力することが可能なタイプのものが用いられている。
なお、ここまでの説明で述べたユニット取付け部12、第1及び第2の結像ユニット取付け部18、19は、例えば、丸アリなどの連結手段からなるもので、それぞれ同一形状をなし、各ユニットの取付け互換性を備えている。
付加ユニット13の端部には、照明光入射部17が設けられている。この照明光入射部17には、次に述べる第2光源30からの光が入射される。
第2光源30は、第2の波長帯域の光、ここでは紫外光を発生するもので、顕微鏡本体1とは分離して配置されている。第2光源30は、ランプハウス31と光源アダプター32を一体的に組み合わせて構成されている。ランプハウス31は、光源本体として可視から紫外域の波長の光を発する水銀キセノンランプ等からなる放電ランプ31aが収容されている。この場合、放電ランプ31aは、ランプハウス31に設けられた図示しない位置調整機構により、放電ランプ31aから発せられる光の光路に垂直な面に沿ったXY方向と、光路に沿ったZ方向の位置調整を可能にしている。
ランプハウス31は、光源アダプター32に設けられた光源取付け部33に連結されている。光源アダプター32には、放電ランプ31aからの光の光路に光分離手段としてのダイクロイックミラー34が設けられている。このダイクロイックミラー34は、紫外光を反射し、可視光を透過させるような特性をもつものである。
なお、ここでは、光分離手段としてダイクロイックミラー34を用いているが、例えばダイクロイックミラー34の位置にハーフミラーを設け、このハーフミラーの反射光路上に紫外光を含む光を透過させる干渉フィルターを設けるような構成であってもよい。
ダイクロイックミラー34によって反射される光の光路上には、バンドパスフィルタ35、集光レンズ36および調光手段37が配置されている。バンドパスフィルタ35は、必要な波長域の光のみを透過させるものである。集光レンズ36は、バンドパスフィルタ35を透過した光を集光させるものである。調光手段37は、光の遮断および透過光量の可変機能を備えるものである。なお、これら集光レンズ36および調光手段37は、紫外域の光を透過可能な材料で形成されている。
調光手段37は、図2に示すように、円板状をした回転体37aの円周方向に沿って所定の間隔で透過光量の異なる複数の領域37b、37c、…をコーティング処理により形成している。この場合、これらコーティング処理した領域の一部に透過光量がゼロとなる領域(符号37dで示す)が含まれるようにし、この領域37dがシャッターの役割を担うようにしている。このようにした調光手段37は、駆動手段38により回転体37aが回転駆動され、所望の透過光量の領域37b、37c、…が光路上に位置するように制御される。
なお、調光手段37は、必ずしもコーティング処理を施したものに限定されず、例えば、円板状をした回転体の円周方向に任意の間隔で通過光量が変化するように密度または大きさを変えた多数の穴を形成するようにしたものでもよい。また、調光手段37は、図示例では、集光レンズ36の出射側光路に配置されているが、ダイクロイックミラー34と集光レンズ36との間の光路に配置するようにしてもよい。
光源アダプター32には、照明光出射部39が設けられている。この照明光出射部39は、集光レンズ36の集光位置に配置され、第2光源30の光を外部に出射する。
一方、ダイクロイックミラー34を透過する光の光路上には、集光レンズ40が配置されている。集光レンズ40の集光位置には、放電ランプ31aの光源像の位置を検出する検出手段としてターゲットスクリーン41が配置されている。このターゲットスクリーン41は、光源アダプター32に設けられた開口部42に保持されている。ターゲットスクリーン41は、半透明透光性の材料で形成されるとともに、表面に可視光により発光する蛍光塗料が塗布されている。
また、ターゲットスクリーン41の表面には、図3に示すような指標としての交点43aを有する十字クロス43が設けられている。この場合、十字クロス43が設けられるターゲットスクリーン41面は、上述した集光レンズ36による照明光出射部39上での集光位置と共役な関係となるように位置調整がなされている。
照明光出射部39には、光伝達手段としての十分な長さを有する光ファイバー44の入射端が装着されている。この光ファイバー44は、出射端を付加ユニット13の照明光入射部17に装着し、第2光源30からの第2の波長帯域の光である紫外光を顕微鏡本体1に導光するようにしている。
なお、ここでは、光伝達手段として光ファイバー44を用いているが、他の光学部材をもちいたものでもよい。
次に、このように構成した実施の形態の作用を説明する。
まず、第1の波長帯域の光である可視光により可視光観察を行う場合、レンズレボルバ8の回転操作により可視光用の対物レンズ9が光軸上に配置する。この状態で、第1光源11からの光は、光源取付け部10を通過し、照明ユニット4の照明光学系7に入射する。このとき、第2光源30からの光は、光源アダプター32に設けられた調光手段37により付加ユニット13内部への入射を遮断されている。
この場合、調光手段37は、駆動手段38により透過光量がゼロとなる領域37dを光路上に位置させることで、光の透過を遮断するようにしている。このようにするのは、紫外域用光源として用いられる水銀キセノンランプ等の放電ランプ31aは、その原理上、点灯状態が安定するまでに時間がかかるなどの問題があり、照明光切換えのたびに点灯と消灯を繰り返すよりもシャッター機能をもつ調光手段37によって付加ユニット13への入射を制限するほうが好都合だからである。
なお、レンズレボルバ8の回転操作と調光手段37の駆動は、それぞれ単独に行ってもよいが、例えば、レンズレボルバ8が電動式の場合は、レンズレボルバ8の電動操作に連動して不図示の制御手段により調光手段37の駆動手段38を制御するような構成としてもよい。
照明光学系7に入射した可視域の照明光は、照明レンズ5を透過し、ハーフミラー6で反射して方向を変えられ、可視光用対物レンズ9を透過して試料3を照明する。
試料3からの戻り光は、再び可視光用対物レンズ9を通ってハーフミラー6を透過した後、ユニット取付け部12を通過して付加ユニット13に入射し、さらに光分離手段であるダイクロイックミラー14を透過した後、第1の結像ユニット取付け部18を通過して第1の結像光学系20に入射する。第1の結像光学系20に入射した光は、第1の結像光学系20の結像レンズ21を透過して接眼レンズ23に入射し、目視観察可能に結像される。このようにして第1の波長帯域である可視光による試料3の目視観察が行われる。
次に、第2の波長帯域の光である紫外光により観察を行う場合、レンズレボルバ8の回転操作により紫外光用の対物レンズ9を光軸上に配置する。次に、駆動手段38によって調光手段37を駆動し、透過光量がゼロ以外の領域37b、37c、…を光路上に位置させる。
この状態で、第2光源30からの照明光が光ファイバー44を介して付加ユニット13の照明光入射部17に入射される。このとき第1光源11への通電を止めて、第1光源11を消灯する。
なお、レンズレボルバ8の回転操作と調光手段37の駆動と第1光源11の消灯操作は、それぞれ単独に行ってもよいが、例えば、レンズレボルバ8が電動式の場合は、レンズレボルバ8の電動操作に連動して不図示の制御手段により調光手段37の駆動手段38とともに、第1光源11の通電を制御するような構成としてもよい。
ここで、第2光源30は、ランプハウス31の放電ランプ31aから光が発せられると、この光は、光源取付け部33を介して光源アダプター32のダイクロイックミラー34に入射する。この場合の放電ランプ31aからの光は、可視から紫外域の波長を含むものである。ダイクロイックミラー34は、紫外光観察に必要な波長を含む波長域の光を反射し、その他の可視域を含む波長成分の光を透過する。
ダイクロイックミラー34で反射した紫外光観察に必要な波長を含む波長域の光は、バンドパスフィルタ35に入射し、さらに紫外光観察に必要な波長のみが抽出される。そして、集光レンズ36を透過して調光手段37に入射し、所望の光量に調光された後、照明光出射部39に集光される。
一方、ダイクロイックミラー34を透過した可視域を含む波長成分の光は、集光レンズ40を透過し、ターゲットスクリーン41に集光される。このターゲットスクリーン41に集光された光は、蛍光塗料の発光によりランプハウス31の放電ランプ31aの光源像として表示される。観察者は、光源アダプター32に対し図示A方向から、ターゲットスクリーン41上に表示された光源像を観察しながら、この光源像の最も明るく光る位置が十字クロス43の交点43aにくるように放電ランプ31aの位置を調整する。
この場合、ランプハウス31に設けられた図示しない位置調整機構により、放電ランプ31aを光路に垂直な面に沿ったXY方向に移動させて、光源像が十字クロス43の交点43aに配置されるように位置調整を行ない、さらに光路に沿ったZ方向に移動させて交点43a上の光源像が最もコントラストがよくなるように位置調整を行う。このようなターゲットスクリーン41の十字クロス43上での光源像の位置調整は、ターゲットスクリーン41が集光レンズ36の集光位置と共役な位置に配置されているので、ダイクロイックミラー34によって反射された紫外域の波長の光についても、集光レンズ36の集光位置に結像される光源像の位置調整が行われたことになる。これにより、集光レンズ36の集光位置に設けられた照明光出射部39に入射端が装着された光ファイバー44には、十分に位置調整された照明光が入射される。
光ファイバー44に入射された光は、出射端より付加ユニット13の照明光入射部17に入射する。照明光入射部17に入射した光は、照明レンズ16およびハーフミラー15を透過し、光分離手段であるダイクロイックミラー14で反射して方向を変えられ、照明ユニット4のユニット取付け部12を通過して紫外光用対物レンズ9に向かう。このとき、照明ユニット4に設けられたハーフミラー6は、可視域から紫外域にわたる波長の光を透過可能な材料で形成されているか、または図示しない機構によって光路外に移動することにより、照明光の通過を妨げることがない。こうして紫外光用対物レンズ9を通過した照明光は、試料3を照明する。
試料3からの戻り光は、再び紫外光用対物レンズ9を通ってハーフミラー6(光路外に移動されていることもある。)を透過した後、ユニット取付け部12を通過して付加ユニット13に入射する。そして、ダイクロイックミラー14で反射し、さらにハーフミラー15で反射した後、結像ユニット取付け部19を通過して第2の結像光学系24に入射する。第2の結像光学系24に入射した光は、結像レンズ25によってTVカメラ26の撮像面27に結像される。撮像面27で受光されたTVカメラ26の出力信号は、カメラコントローラ28で必要な信号処理を施された後、TVモニタ29に紫外光観察像として表示される。このようにして第2の波長帯域である紫外光による試料3の観察が行われる。
従って、このようにすれば、第1の波長帯域の光である可視光による試料の観察機能を備えた顕微鏡本体に対し、第2の波長帯域の光である紫外光による試料の観察機能を容易に付加することができる。つまり、図1に示す照明ユニット4のユニット取付け部12に連結される付加ユニット13を取り外し、ユニット取付け部12に直接第1の結像光学系20を装着した状態を想定すると、通常の可視光観察専用の顕微鏡構成を得られる。そして、このような構成の顕微鏡に対し、改めて、第2の波長帯域の光である紫外光による試料の観察機能を付加したいときには、ユニット取付け部12に付加ユニット13を連結し、この付加ユニット13の第1の結像ユニット取付け部18に第1の結像光学系20を連結するとともに、第2の結像ユニット取付け部19に第2の結像光学系24を連結し、さらに付加ユニット13の照明光入射部17に第2光源30に接続された光ファイバー44の出射端を接続し、第2光源30から第2の波長帯域である紫外光を光ファイバー44を介して付加ユニット13に導光することで、図1に示す構成が復元され、第2の波長帯域である紫外光による試料の観察機能を付加することができる。この場合、第1の結像ユニット取付け部18、第2の結像ユニット取付け部19および照明ユニット4のユニット取付け部12は、それぞれ同一形状をなし、各ユニットの取付け互換性を備えているので、付加ユニット13を始め、第1の結像光学系20、第2の結像光学系24の着脱操作を容易に行うことができ、他の観察機能の付加を簡単に行なうことができる。
また、第2の波長帯域である紫外光を発生する第2光源30を顕微鏡本体1から分離して配置し、これらの間を光ファイバー44で接続して、第2光源30からの照明光を付加ユニット13に入射させる構成としているため、顕微鏡本体1には、付加ユニット13、第1の結像光学系20および第2の結像光学系24のみ装着すればよく、顕微鏡本体1側に紫外光を発生する光源を装着する必要がないので、顕微鏡側をコンパクトで、小型にできる。これにより、紫外観察機能を付加したために、設置スペースが大きくなり過ぎ、改造そのものが困難になるという問題も解消できる。
さらに、第2光源30を構成する光源アダプター32には、放電ランプ31aから発せられる光より必要な波長の光を選択抽出する機能を始めとして、シャッター機能を備えた調光手段37、放電ランプ31aが最適位置に調整されているかどうかを確認するための機能などを設けているため、照明光出射部39に装着された光ファイバー44の入射端に最適な状態の照明光を入射させることができる。また、光源アダプター32における、このような機能により、付加ユニット13は、光ファイバー44を介して入射した光に対して、波長選択の機能を始め、位置調整、光量調整等が不要であり、必要最小限の部品で構成することができる。
さらに、光ファイバー44の長さの範囲内で第2光源30を任意の場所および姿勢での配置が可能になるため、装置全体のレイアウトの自由度を高めることができる。第2光源30は、顕微鏡本体1から分離して任意の箇所に配置できることから、ターゲットスクリーン41を用いた放電ランプ31aの位置調整の操作を行ない易い場所に配置することもでき、放電ランプ31aの位置調整のための作業性がさらに向上する。
さらに、付加ユニット13は、第1の波長帯域である可視光と第2の波長帯域である紫外光を分離する光分離手段としてのダイクロイックミラー14が設けられ、これら可視光と紫外光を異なる光路に分離できるので、付加ユニット13に対して可視光用の第1の結像光学系20と紫外光用の第2の結像光学系24を簡単に装着できる。また、第1の結像光学系20と第2の結像光学系24の付加ユニット13への装着を簡単にできるので、これら第1の結像光学系20と第2の結像光学系24に用いられる結像レンズなどの光学部材について、仕様の異なるものを自由に選択して使用することができる。
なお、上述した第1の実施の形態では、第2の結像光学系24は、第2の結像ユニット取付け部19で着脱可能であるため、異なる仕様のものに交換することが可能である。例えば、結像レンズ25に倍率の異なる結像レンズを内蔵した第2の結像光学系24を複数用意し、これらを適宜交換することによって、第2の波長帯域での観察機能を所望の仕様で構成することができる。また、第2の結像光学系24は、付加ユニット13に着脱可能としているが、付加ユニット13内に設けるような構成としてもよい。こうすれば、第2の結像光学系24が付加ユニット13に内蔵されることにより、装置の大型化防止に、さらなる効果を与えることができる。
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施の形態を説明する。
図4は、本発明の第2の実施の形態の概略構成を示すもので、図1と同一部分には、同符号を付している。
この場合、付加ユニット13に設けられる第1の結像ユニット取付け部18には、第1の結像光学系20に代えて、撮像ユニット45が連結されている。この撮像ユニット45は、結像レンズ46が設けられるとともに、撮像手段としてのTVカメラ47が設けられている。結像レンズ46は、通常の可視光を透過可能な材料で形成されたもので、その結像面をTVカメラ47の撮像面48と同一になるように配置され、上述のダイクロイックミラー14を透過される試料3からの戻り光をTVカメラ47の撮像面48に結像するようにしている。TVカメラ47には、カメラコントローラ49が接続されている。カメラコントローラ49は、TVカメラ47からの出力信号を信号処理し、TVモニタ50に観察画像として表示させるようにしている。この場合、TVカメラ47は、通常の可視光を入力して画像信号を出力することが可能なタイプのものが用いられている。
このような構成において、第1の波長帯域の光である可視光により可視光観察を行う場合、レンズレボルバ8の回転操作により可視光用の対物レンズ9が光軸上に配置する。この状態で、第1光源11からの光は、光源取付け部10を通過し、照明ユニット4の照明光学系7の照明レンズ5を透過し、ハーフミラー6で反射して方向を変えられ、可視光用対物レンズ9を透過して試料3を照明する。
試料3からの戻り光は、再び可視光用対物レンズ9を通ってハーフミラー6を透過した後、ユニット取付け部12を通過して付加ユニット13に入射し、さらにダイクロイックミラー14を透過した後、第1の結像ユニット取付け部18を通過して撮像ユニット45に入射する。撮像ユニット45に入射した光は、結像レンズ46によってTVカメラ47の撮像面48に結像される。撮像面48で受光されたTVカメラ47の出力信号は、カメラコントローラ49で必要な信号処理を施された後、TVモニタ50に可視光観察像として表示される。このようにして第1の波長帯域の可視光における試料3の観察が行われる。
なお、第2の波長帯域の紫外光による試料観察については、上述した第1の実施の形態と同様なので、ここでの説明は省略する。
従って、このようにすれば、試料像の観察手段として、紫外観察用の第2の結像光学系24の他に、可視光観察用の撮像ユニット45を装着し、この撮像ユニット45のTVカメラ47からの撮像画像をTVモニタ50に表示できるようにしているので、例えば顕微鏡と観察者の距離が離れていて、接眼レンズによる目視観察が困難なような場合でも、試料像を目視観察するのと同じに観察することができる。
なお、上述した第2の実施の形態では、紫外観察用のTVモニタ29と可視光観察用のTVモニタ50をそれぞれに独立して設けられているが、例えば、カメラコントローラ28、49からの出力信号を一つのTVモニタに入力し、それぞれの観察像を同一画面上に分割して表示したり、適宜切換えて表示するようにしてもよい。
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。例えば、上述では、第2の波長帯域の光として、紫外光について述べたが、第2の波長帯域の光は、赤外光であってもよい。
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
本発明の第1の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成を示す図。 第1の実施の形態に用いられる調光手段の概略構成を示す図。 第1の実施の形態に用いられるターゲットスクリーン上の十字クロスを示す図。 本発明の第2の実施の形態にかかる顕微鏡の概略構成を示す図。 従来の顕微鏡の一例の概略構成を示す図。
符号の説明
1…顕微鏡本体、1a…ベース、1b…胴部
2…ステージ、3…試料、4…照明ユニット
5…照明レンズ、6…ハーフミラー
7…照明光学系、8…レンズレボルバ
9…対物レンズ、10…光源取付け部
11…第1光源、12…ユニット取付け部
13…付加ユニット、14…ダイクロイックミラー
15…ハーフミラー、16…照明レンズ
17…照明光入射部、18…第1の結像ユニット取付け部
19…第2の結像ユニット取付け部、20…第1の結像光学系
21…結像レンズ、22…接眼鏡筒
23…接眼レンズ、24…第2の結像光学系
25…結像レンズ、26…TVカメラ
27…撮像面、28…カメラコントローラ
29…TVモニタ、30…第2光源
31…ランプハウス、31a…放電ランプ
32…光源アダプター、33…光源取付け部
34…ダイクロイックミラー、35…バンドパスフィルタ
36…集光レンズ、37…調光手段、37a…回転体
37b、37c、37d…領域、38…駆動手段
39…照明光出射部、40…集光レンズ
41…ターゲットスクリーン、42…開口部
43a…交点、43…十字クロス
44…光ファイバー、45…撮像ユニット
46…結像レンズ、47…TVカメラ、48…撮像面
49…カメラコントローラ、50…TVモニタ

Claims (12)

  1. 第1の波長帯域の光を発生する第1の光源と、該第1の光源からの光により試料を照明する照明光学系と、対物レンズを含み前記試料の拡大光学像を形成させる像形成光学系とを有する顕微鏡本体と、
    第2の波長帯域の光を発生する第2の光源と、
    前記顕微鏡本体に装着され、前記第2の光源からの光により前記試料を照明するとともに、前記像形成光学系からの拡大光学像を通過させる照明・観察光学系を有する付加ユニットと、
    前記付加ユニットに装着され、前記照明・観察光学系を通過する前記第2の波長帯域の光による拡大光学像を結像させる第2の波長帯域用結像光学系と、
    前記第2の光源からの光を前記付加ユニットの照明・観察光学系に導く光伝達手段と、
    を具備したことを特徴とする顕微鏡。
  2. 前記付加ユニットは、前記照明・観察光学系を通過する前記第1の波長帯域の光による拡大光学像を結像させる第1の波長帯域用結像光学系を有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡。
  3. 前記付加ユニットの前記照明・観察光学系は、前記像形成光学系からの拡大光学像を前記第1の波長帯域の光による光学像と、前記第2の波長帯域の光による光学像に分離する光分離手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡。
  4. 前記第1の波長帯域用結像光学系は、前記付加ユニット又は前記顕微鏡本体への着脱と交換が可能であることを特徴とする請求項2記載の顕微鏡。
  5. 前記第2の波長帯域用結像光学系は、前記付加ユニットへの着脱と交換が可能であることを特徴とする請求項1又は2記載の顕微鏡。
  6. 前記第1の波長帯域用結像光学系は、前記第1の波長帯域の光による拡大光学像を目視観察する接眼レンズを有し、前記第2の波長帯域用結像光学系は、前記第2の波長帯域の光による拡大光学像を撮像する撮像手段を有することを特徴とする請求項2記載の顕微鏡。
  7. 前記第1の波長帯域用結像光学系は、前記第1の波長帯域の光による拡大光学像を撮像する撮像手段を有し、前記第2の波長帯域用結像光学系は、前記第2の波長帯域の光による拡大光学像を撮像する撮像手段を有することを特徴とする請求項2記載の顕微鏡。
  8. 前記第2の光源は、前記第2の波長帯域の光を含む光を発する光源本体を有するランプハウスと、該ランプハウスの光源本体から発した光から第2の波長帯域の光を選別して前記光伝達手段に入射させる光源アダプターとを有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡。
  9. 前記光源アダプターは、前記光源本体から発した光を第2の波長領域の光と、該第2の波長帯域以外の光とに分離する光分離手段と、該光分離手段で分離された前記第2の波長領域の光の光量を調整する調光手段と、前記光分離手段で分離された前記第2の波長帯域以外の光を用いて前記光源本体の光源像の位置を検出する検出手段とを有することを特徴とする請求項8記載の顕微鏡。
  10. 前記調光手段は、前記第2の波長領域の光を遮断する機能を有することを特徴とする請求項9記載の顕微鏡。
  11. 前記ランプハウスは、前記検出手段で検出される光源像の位置に応じて前記光源本体の位置調整を可能とする位置調整手段を有することを特徴とする請求項9記載の顕微鏡。
  12. 前記光伝達手段は、光ファイバーであることを特徴とする請求項1記載の顕微鏡。
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