JP4242617B2 - 走査型レーザ顕微鏡システム - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、標本に対してレーザ光を走査しながら照射し、標本からの光を検出する走査型レーザ顕微鏡システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光などの点光源を対物レンズを介して標本に対しＸ、Ｙ軸方向に走査しながら照射し、標本からの蛍光または反射光の光を再び対物レンズ、光学系を介して光検出器で検出し、２次元の情報を得るとともに、その結果をＣＲＴなどのモニタ画面に表示することにより画像情報として観察できるようにしたものである。
【０００３】
このような走査型レーザ顕微鏡では、光走査ミラーを偏向することにより、標本上の光スポットをＸ、Ｙ軸方向に走査するようにしているが、この場合の走査光学系の最適な配置として、例えば、特許２９５９８３０号公報に開示されたものがある。
【０００４】
図８は、同公報に開示されたもので、光スポットを異なる方向に走査する２つの走査ミラー１０１、１０２、これらの走査ミラー１０１、１０２を光学的に共役にする瞳伝送光学系１０３、瞳投影レンズ１０４、結像レンズ１０５、対物レンズ１０６、標本１０７が示されている。
【０００５】
この場合、走査ミラー１０２の偏向角にかかわらず、図示破線で示す軸外の光線１０８が、常に対物レンズ１０６の瞳位置１０６ａの開口中心を通過するように、走査ミラー１０２と対物レンズの瞳位置１０６ａは、瞳投影レンズ１０４と結像レンズ１０５により光学的にほぼ共役な配置になっている。
【０００６】
この位置関係が少しでもずれると、軸外の光線１０８が対物レンズ１０６の瞳位置１０６ａの開口中心を通過しないことがあり、このため光量損失が生じ、取得画像の解像度の劣化を招くなどの問題を生じる。
【０００７】
このため、走査ミラー１０１、１０２と、瞳投影レンズ１０４、結像レンズ１０５は、光軸に直交する面内、光軸方向ともに光学的な共役関係を維持するために極めて精度の高い調整が要求される。
【０００８】
また、特許２９５９８３０号公報には、瞳伝送光学系１０３を省略して、２枚の走査ミラー１０１、１０２をできる限り近付けて配置し、その中間位置と対物レンズ１０６の瞳位置１０６ａを共役にする方法も開示されている。しかし、この場合も、上述したと同様に、走査ミラー１０１、１０２と、瞳投影レンズ１０４、結像レンズ１０５は、光軸に直交する面内、光軸方向ともに極めて精度の高い調整が要求される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、現在、一般的に用いられている走査型レーザ顕微鏡は、例えば、特開平１１−２３１２２２号公報に開示されるように、正立型顕微鏡と走査ユニットを組み合わせたものでは、走査ユニット側に光走査ミラーと瞳投影レンズが内蔵され、顕微鏡側に結像レンズ(第１鏡胴レンズと記載されている)が内蔵されている。また、特開平０６−１６７６５４号公報に開示されるように、倒立型顕微鏡と走査ユニットを組み合わせたものについても、走査ユニット側に光走査ミラーと瞳投影レンズが内蔵され、顕微鏡側の落射照明光路に結像レンズ(チューブレンズと記載されている)が内蔵されている。
【００１０】
これらの走査型レーザ顕微鏡についても、図８で述べたと同様に、走査ミラーと対物レンズの瞳位置が、瞳投影レンズと結像レンズにより光学的に共役な配置になるような走査光学系が要求されている。
【００１１】
しかし、これら走査型レーザ顕微鏡では、走査ユニット側に光走査ミラーと瞳投影レンズ、顕微鏡側に結像レンズがそれぞれ別々に設けられるため、これら走査ユニットと顕微鏡の間を連結して一体化すると、光学系の誤差と機械的な誤差が累積して大きな誤差となり、正確な走査光学系の調整までに多大な手間がかかるという問題を生じる。そこで、予め、組み合わせに用いる顕微鏡と走査ユニットを決めておき、これらを組み合わせた状態から光学調整を行なうことも考えられるが、これら顕微鏡と走査ユニットの組合せを管理するための工数が増大してしまい、現実的ではない。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、いかなる顕微鏡に組合わせても、顕微鏡側ユニットの誤差の影響を受けることがなく、しかも、走査光学系の光学調整を、容易かつ確実に実施できる走査型レーザ顕微鏡システムを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、標本を載置するステージ、前記標本からの光を集光して平行光にする対物レンズ、前記対物レンズからの平行光を集光する第１の結像レンズを少なくとも備える顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体に着脱可能に装着される走査ユニットと、を備える走査型レーザ顕微鏡システムであって、前記走査ユニットは、レーザ光源からのレーザ光を走査する光走査手段と、前記光走査手段と前記対物レンズの瞳位置とが光学的にほぼ共役になるように配置される瞳投影レンズおよび第２の結像レンズと、少なくとも前記光走査手段と前記瞳投影レンズと前記第２の結像レンズとを一体に支持する支持部材を備え、
前記走査ユニットは、前記対物レンズと前記第１の結像レンズとの間に配置された偏向部材により分岐された光路の光軸と前記第２の結像レンズの光路の光軸とが一致するように前記顕微鏡本体に対して取り付けられることを特徴としている。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記光走査手段、瞳投影レンズおよび前記第２の結像レンズは、前記偏向部材により分岐された光路に沿って一直線上に配置されていることを特徴としている。
【００１６】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、前記走査ユニットは、水銀灯照明ユニットが着脱可能に設けられ、該水銀灯照明ユニットより前記対物レンズを通して前記標本を照明する照明光路と前記レーザ光源のレーザ光の光路を選択的に切替える光路切替手段を有することを特徴としている。
【００１７】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明において、前記走査ユニットは、追加ユニットが着脱可能に設けられ、前記光路切替手段は、さらに前記追加ユニットに対する光路を含めて選択的に切替え可能にしたことを特徴としている。
【００１８】
請求項５記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記走査ユニットは、追加ユニットが着脱可能に設けられるとともに、該追加ユニットに対する光路を選択的に切替える光路切替手段を有することを特徴としている。
【００１９】
請求項６記載の発明は、請求項４または５に記載の発明において、前記追加ユニットは、標本からの光を前記光走査手段を経由せずに検出する外部検出器であることを特徴としている。
【００２０】
請求項７記載の発明は、請求項４または５に記載の発明において、前記追加ユニットは、エバネッセント照明装置であることを特徴としている。
【００２１】
請求項８記載の発明は、請求項４または５に記載の発明において、前記追加ユニットは、第２の走査手段であることを特徴としている。
【００２２】
請求項９記載の発明は、請求項１乃至８のいずれかに記載の発明において、前記偏向部材は、前記走査ユニット内に設けられることを特徴としている。
【００２３】
請求項１０記載の発明は、請求項９に記載の発明において、前記偏向部材は、前記走査ユニットの前記支持部材に回転切替可能に支持されていることを特徴としている。
【００２４】
請求項１１記載の発明は、請求項１乃至８のいずれかに記載の発明において、前記偏向部材は、前記顕微鏡本体内に設けられることを特徴としている。
【００２５】
請求項１２記載の発明は、請求項１乃至１１のいずれかに記載の発明において、前記顕微鏡本体は正立型であって、前記第１の結像レンズは接眼鏡筒に備えられており、前記走査ユニットは、前記顕微鏡本体と前記接眼鏡筒との間に取り付けられることを特徴としている。
請求項１３記載の発明は、請求項１乃至１１のいずれかに記載の発明において、前記顕微鏡本体は倒立型であって、前記走査ユニットは、前記顕微鏡本体に落射照明光を導入する落射投光管の代わりに前記顕微鏡本体に取り付けられることを特徴としている。
請求項１４記載の発明は、請求項１乃至１３のいずれかに記載の発明において、前記標本からの光を透過するピンホールと光検出器を備えた検出ユニットを、前記走査ユニットに対して着脱可能に備えていることを特徴としている。
【００２６】
この結果、本発明によれば、走査光学系を形成する光走査ミラー、瞳投影レンズ、結像レンズ１８が、すべて一つの走査ユニット内に配置されているので、組み立て段階で、これらの位置関係を正確に調整しておけば、使用される顕微鏡本体に含まれる結像レンズなどのユニットの組合せ誤差の影響を受けないようにできる。これにより、いかなる顕微鏡と組合せても、走査光学系の光学調整を、容易、かつ確実に行うことができる。
【００２７】
また、本発明によれば、水銀灯照明ユニットや追加ユニットを走査ユニット側に設けるようにしているので、顕微鏡側の各ユニットに悪影響を及ぼすことがなく、また、これらユニットの取付け、使用勝手に制限を与えるようなことも皆無にできる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００２９】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明が適用される正立型顕微鏡を組合せた走査型レーザ顕微鏡システムの概略構成を示している。図において、１は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１には、水平方向のベース部１ａと、このベース部１ａに対し直立して形成された胴部１ｂが設けられている。また、この胴部１ｂの先端部には、ベース部１ａに対し平行な対物アーム１ｃが設けられている。
【００３０】
顕微鏡本体１の胴部１ｂには、ステージ２が後述する対物レンズ５の光軸方向に移動可能に設けられている。このステージ２には、標本３が載置されている。
【００３１】
対物アーム１ｃには、レボルバ４が設けられている。このレボルバ４には、ステージ２上の標本３に対向して複数（図示例では、１個のみ示している。）の対物レンズ５が設けられ、レボルバ４の回転操作により、これら対物レンズ５を選択的に光路上に切換えるようにしている。なお、５ａは、対物レンズ５の瞳位置を示している。
【００３２】
対物アーム１ｃの上方には、走査ユニット全体のフレームである走査ブロック６が図示しないネジなどにより固定され、この走査ブロック６の上には、接眼鏡筒として鏡筒ユニット７が設けられている。走査ブロック６は、支持部材（フレームに当たるもので、図１のハッチング部分）を備えていて、この支持部材に後述する光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８などが固定される。
【００３３】
鏡筒ユニット７は、接眼観察光路７ａ上に、プリズム７ｂ、第１の結像レンズとして顕微鏡用結像レンズ７ｃが配置されている。
【００３４】
なお、この場合、対物レンズ５は、好ましくは無限遠補正対物レンズであり、対物レンズ５と顕微鏡用結像レンズ７ｃの間が平行光束になるようにしている。
【００３５】
走査ブロック６には、可視光レーザ導入孔６ａとＩＲパルスレーザ導入孔６ｂが設けられている。可視光レーザ導入孔６ａには、シングルモードファイバ９が挿通され、可視レーザユニット８からの可視光レーザが走査ブロック６内に導入されるようになっている。また、ＩＲパルスレーザ導入孔６ｂには、２光子励起のシステムに用いられるＩＲパルスレーザ１０が配置され、このＩＲパルスレーザ１０からのＩＲパルスレーザが走査ブロック６内に導入されるようになっている。
【００３６】
走査ブロック６内のＩＲパルスレーザの光路上には、ミラー１１が配置され、また、シングルモードファイバ９から導出される可視光レーザの光路上には、コリメートレンズ１２を介して合成ダイクロイックミラー１３が配置されている。
【００３７】
ミラー１１は、ＩＲパルスレーザを所定の方向に反射するものである。合成ダイクロイックミラー１３は、コリメートレンズ１２により所定の径の平行光に変換された可視光レーザとミラー１１で反射されたＩＲパルスレーザの光路を合成するものである。
【００３８】
合成ダイクロイックミラー１３の合成光路上には、励起ダイクロイックミラー用ターレット１４が配置されている。この励起ダイクロイックミラー用ターレット１４は、励起光を反射し蛍光を透過するような複数（図示例では２個）の励起ダイクロイックミラー１４ａ、１４ｂを有するもので、これら励起ダイクロイックミラー１４ａ、１４ｂを図示しないモータにより選択的に合成ダイクロイックミラー１３の合成光路上に切換えるようにしている。図示例では、励起ダイクロイックミラー１４ａが光路上に位置されている状態を示している。
【００３９】
励起ダイクロイックミラー１４ａの反射光路上には、光走査手段としての光走査ミラー１５が配置されている。この場合、光走査ミラー１５の詳細は省略しているが、紙面に垂直方向に光を偏向するミラーと、図の上下方向に光を偏向するミラーの２つを有している。これら２つのミラーは、偏向時に衝突しない範囲で近接して配置されており、これらのミラーを偏向することにより、Ｘ、Ｙ方向の光の走査が得られるようになっている。
【００４０】
光走査ミラー１５の光走査光路上には、瞳投影レンズ１６、光路切替手段としての光路切替部１７、第２の結像レンズとして結像レンズ１８および偏向手段としてのキューブターレット１９が一直線上に配置されている。キューブターレット１９は、光折り曲げミラー２０ａを備えたミラーユニット２０と、励起フィルタ２１ａ、ダイクロイックミラー２１ｂ、吸収フィルタ２１ｃを有する蛍光キューブユニット２１を備えたものである。また、キューブターレット１９は、図示しないモータにより回転駆動され、走査型レーザ顕微鏡による観察時には、ミラーユニット２０が対物レンズ５の光軸上に配置され、水銀灯による落射照明を用いた接眼観察時には、蛍光キューブユニット２１が対物レンズ５の光軸上に配置されるようになっている。図示例では、ミラーユニット２０が対物レンズ５の光軸上に配置されている。
【００４１】
一方、走査ブロック６には、検出ユニットとしての検出ブロック２２が着脱可能に設けられている。この場合、検出ブロック２２の開口部２２ａを、走査ブロック６側の開口部６ｃと一致させた状態で、図示しない複数のネジにより両者は一体に固定されている。
【００４２】
検出ブロック２２内には、走査ブロック６側の開口部６ｃより開口部２２ａを介して導入される励起ダイクロイックミラー１４ａの透過光路上に反射ミラー２３が配置されている。また、反射ミラー２３の反射光路上には、波長領域毎に光路を分離する分光ダイクロイックミラー２４、反射ミラー２５が配置され、これら分光ダイクロイックミラー２４と反射ミラー２５のそれぞれの反射光路には、共焦点レンズ２６ａ、２６ｂ、共焦点ピンホール２７ａ、２７ｂおよび励起レーザ波長を遮断して取り込む蛍光範囲を規制するバリアフィルタ２８ａ、２８ｂを介して光検出器２９ａ、２９ｂが配置されている。
【００４３】
図２は、走査ブロック６の光路切替部１７を上方から見た図である。
【００４４】
この場合、光路切替部１７は、空穴１７ａ、ミラー１７ｂ、ダイクロイックミラー１７ｃを有するもので、図示しない電動光路切替機構により、空穴１７ａ、ミラー１７ｂ、ダイクロイックミラー１７ｃのいずれかを選択的に光路上に配置できるようになっている。
【００４５】
図示例では、可視レーザユニット８を用いた共焦点観察の場合で、光路切替部１７の空穴１７ａが光路上に配置されている。また、この場合は、キューブターレット１９のミラーユニット２０が対物レンズ５の光軸上に配置され、可視レーザユニット８からの可視光レーザ（励起光）を用いて、標本３からの蛍光が検出ブロック２２内の共焦点ピンホール２７ａ、２７ｂを介して光検出器２９ａ、２９ｂで検出される。
【００４６】
走査ブロック６の一方側面には、追加ポートとして開口部６ｄが形成され、この開口部６ｄを介して水銀灯照明ユニット３０がネジ３０ｃにより着脱可能に設けられている。水銀灯照明ユニット３０は、水銀灯３０ａ、レンズ３０ｂを有するもので、上述した鏡筒ユニット７の接眼観察光路７ａを介して目視観察を行なう際の落射照明光源として用いられる。
【００４７】
このような水銀灯照明ユニット３０を用いた目視観察では、光路切替部１７によりミラー１７ｂが光路上に配置される。また、キューブターレット１９の蛍光キューブユニット２１が対物レンズ５の光軸上に配置される。そして、水銀灯照明ユニット３０の水銀灯３０ａから照明光が発せられると、ミラー１７ｂで反射され、励起フィルタ２１ａにより所望の波長成分の励起光が取り出され、ダイクロイックミラー２１ｂで対物レンズ５側に反射されて、標本３の全体を照明する。また、標本３からの蛍光は、ダイクロイックミラー２１ｂを透過し、吸収フィルタ２１ｃで、観察する蛍光波長領域が取出され、顕微鏡用結像レンズ７ｃ、プリズム７ｂを介して接眼観察光路７ａにより目視観察される。
【００４８】
一方、走査ブロック６の他方側面には、他の追加ポートとして開口部６ｅが形成され、この開口部６ｅを介して追加ユニットとしての外部検出器ユニット３１がネジ３１ｄにより着脱可能に設けられている。外部検出器ユニット３１は、光検出器３１ａ、ＩＲカットフィルタ３１ｂ、レンズ３１ｃを有するもので、例えば、特開２０００−３３００２９号公報に記載されているように２光子励起現象により発生した蛍光を光走査ミラー１５、共焦点ピンホール２７ａ、２７ｂに戻さずに検出する際に用いられる。ここで、ＩＲカットフィルタ３１ｂは、標本３に照射するＩＲパルスレーザ１０から発振する近赤外の波長を遮断し、標本３から発生する蛍光の波長を透過させる特性を有するものである。
【００４９】
このようなＩＲパルスレーザ１０により引き起こされる２光子励起現象で発生する蛍光の検出を行う時は、光路切替部１７によりダイクロイックミラー１７ｃが光路上に配置される。また、キューブターレット１９のミラーユニット２０が対物レンズ５の光軸上に配置される。ここで、ダイクロイックミラー１７ｃは、２光子励起現象を起こすＩＲパルスレーザ１０から発振する近赤外の波長（例えば８００ｎｍ）を標本３へ照射するために透過し、標本３から発する２光子励起による蛍光波長を外部検出器ユニット３１側に反射するような特性を有している。そして、ＩＲパルスレーザ１０よりＩＲパルスレーザが発せられると、光路切替部１７のダイクロイックミラー１７ｃを透過し、ミラーユニット２０で対物レンズ５側に反射されて、標本３を照明する。また、標本３から発する２光子励起による蛍光は、ダイクロイックミラー１７ｃで外部検出器ユニット３１側に反射され、レンズ３１ｃ、ＩＲカットフィルタ３１ｂを介して光検出器３１ａで検出される。
【００５０】
次に、このように構成された実施の形態の動作を説明する。
【００５１】
まず、可視レーザユニット８を用いた共焦点観察について説明する。
【００５２】
この場合、光路切替部１７の空穴１７ａが光路上に配置される。また、キューブターレット１９のミラーユニット２０が対物レンズ５の光軸上に配置される。
【００５３】
この状態で、可視レーザユニット８から可視光レーザ(ここでは、アルゴンレーザで波長４８８nmとする)が発せられると、励起光としてシングルモードファイバ９を透過し、走査ブロック６の可視光レーザ導入孔６ａに導かれる。
【００５４】
そして、シングルモードファイバ９の先端に配置されたコリメートレンズ１２により所定の径の平行光に変換され、さらに、合成ダイクロイックミラー１３を透過し、励起ダイクロイックミラー用ターレット１４の励起ダイクロイックミラー１４ａで下方に反射される。ここで、励起ダイクロイックミラー１４ａは、レーザ波長の４８８ｎｍを反射し、この４８８ｎｍの励起光を標本３に照射することにより発する蛍光波長（５００〜６００ｎｍ）を透過するような特性を有している。
【００５５】
励起ダイクロイックミラー１４ａを反射した励起光は、光走査ミラー１５により、図の上下方向と、紙面に直交する方向に偏向される。そして、瞳投影レンズ１６、光路切替部１７の空穴１７ａ、結像レンズ１８を透過し、ミラーユニット２０のミラー２０ａで下方に反射される。そして、対物レンズ５により標本３上に光スポットを結ぶ。
【００５６】
標本３から発した蛍光(５００〜６００nm)は、上述した励起光の光路を逆方向に進み、ミラー２０ａ、結像レンズ１８、空穴１７ａ、瞳投影レンズ１６、光走査ミラー１５を介して励起ダイクロイックミラー１４ａに到達する。
【００５７】
そして、励起ダイクロイックミラー１４ａを透過し、走査ブロック６の開口部６ｃおよび検出ブロック２２の開口部２２ａを介して検出ブロック２２内部に達し、反射ミラー２３で反射される。
【００５８】
その後、分光ダイクロイックミラー２４により所定の波長領域に分けられ、一方の蛍光は、共焦点レンズ２６ａ、共焦点ピンホール２７ａ、バリアフィルタ２８ａを透過して、光検出器２９ａで検出され、他方の蛍光は、反射ミラー２５で反射され、共焦点レンズ２６ｂ、共焦点ピンホール２７ｂ、バリアフィルタ２８ｂを透過して光検出器２９ｂで検出される。
【００５９】
なお、分光ダイクロイックミラー２４は、５５０ｎｍ以下の波長は反射し、５７０ｎｍ以上の波長は透過する特性を有するものとし、光検出器２９ａで、５５０ｎｍ以下の波長の蛍光が検出され、光検出器２９ｂで、５６０ｎｍ以上の蛍光が検出される。
【００６０】
ところで、光走査ミラー１５は、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８により、途中、ミラー２０ａを介して対物レンズ５の瞳位置５ａに正確に投影されるように、つまり、光走査ミラー１５と対物レンズ５の瞳位置５ａが光学的に共役な配置になるように瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８の位置関係(光軸方向と光軸に直交する面内)を調整、位置決めする必要がある。
【００６１】
ところが、これら光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８は、すべて走査ブロック６内に配置されている。従って、走査ブロック６の組み立て時のユニット段階で、これらの位置関係を正確に調整しておけば、使用される顕微鏡側ユニットに含まれる結像レンズによる組合せ誤差の影響を回避することが可能となり、容易にシステムをユーザ先で組上げることができる。
【００６２】
また、これら光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８の光路は、ミラー等の折り返しがなく、一直線上に配置されているので、位置関係の調整時の誤差をさらに小さくすることが可能となる。
【００６３】
さらに、対物レンズ５側へ光路を折り返しするミラーユニット２０のミラー２０ａも、走査ブロック６内に配置されているので、ミラー２０ａでの角度誤差も、走査光学系を含めて組み立て時のユニット段階で調整することができる。
【００６４】
次に、ＩＲパルスレーザ１０により引き起こされる２光子励起現象で発生する蛍光を外部検出器ユニット３１で検出する時の動作について説明する。
【００６５】
この場合、光路切替部１７のダイクロイックミラー１７ｃが光路上に配置される。また、キューブターレット１９のミラーユニット２０が対物レンズ５の光軸上に配置される。
【００６６】
この状態で、ＩＲパルスレーザ１０からＩＲパルスレーザ(ここでは、波長８００nmとする)が発せられると、励起光として走査ブロック６のＩＲパルスレーザ導入孔６ｂに導かれる。
【００６７】
そして、ミラー１１により上方に反射され、合成ダイクロイックミラー１３を反射して、励起ダイクロイックミラー用ターレット１４の励起ダイクロイックミラー１４ｂで下方に反射される。ここで、励起ダイクロイックミラー１４ｂは、レーザ波長の８００ｎｍを反射し、この８００ｎｍの励起光を標本３に照射することにより発する２光子励起現象による蛍光波長領域を透過するような特性を有している。
【００６８】
励起ダイクロイックミラー１４ｂを反射した励起光は、光走査ミラー１５により、紙面の上下方向と、紙面に直交する方向に偏向される。そして、瞳投影レンズ１６、ダイクロイックミラー１７ｃ、結像レンズ１８を透過し、ミラーユニット２０のミラー２０ａで下方に反射される。そして、対物レンズ５により標本３上に光スポットを結ぶ。
【００６９】
標本３から２光子励起現象により発生した蛍光は、上述した励起光の光路を逆方向に進み、ミラーユニット２０、結像レンズ１８を透過する。そして、ダイクロイックミラー１７ｃで、図２の下方、つまり、外部検出器ユニット３１側へ反射され、レンズ３１ｃ、ＩＲカットフィルタ３１ｂを透過し、光検出器３１ａで検出される。
【００７０】
この場合、レンズ３１ｃは、光走査ミラー１５による励起光の偏向角が傾いたとき、つまり標本３上の視野の端の方を偏向（走査）したときも、ダイクロイックミラー１７ｃから反射される蛍光が光検出器３１ａの中心に入るようにするものである。図３は、この状態の詳細を説明するためのもので、図中実線ａが、標本３上の視野の中心を偏向（走査）している時の光線図、図中点線ｂが標本３上の視野の端を偏向（走査）している時の光線図を示している。この場合、レンズ３１ｃと結像レンズ１８により、光検出器３１ａと対物レンズ５の瞳位置５ａが光学的に共役関係になるようにして、光走査ミラー１５が視野の端を偏向(走査)していても、光検出器３１ａの位置では必ず、蛍光が中心にくるようになっている。
【００７１】
このようにすると、２光子励起観察用の外部検出器ユニット３１は、走査ブロック６の内部で光路切替部１７により分離され、走査ユニット全体のフレームである走査ブロック６に取付けられるようになっているので、顕微鏡側のユニットに影響を与えたり、使い勝手に悪影響を与えることがなく、反対に、外部検出器ユニット３１自身が顕微鏡側のユニットの影響を受けることもない。
【００７２】
また、ＩＲパルスレーザ１０を使用する２光子励起のシステムは、レーザ自身が数干万円と高価であり、使用されるケースも少ないが、このようなシステムを装着する外部検出器ユニット３１への光路切替機構は、通常の共焦点走査型レーザ顕微鏡のほとんどで使用される水銀灯照明ユニット３０への光路切替機構と共用されており、外部検出器ユニット３１の有無にかかわらず光路切替機構の駆動系を共通にできる。特に、光路切替機構を電動式にした場合は、電気制御系も含めて共通化できる。また、外部検出器ユニット３１追加を後日行なうような場合も、最初から、光路切替部の駆動機構、電気制御系は、走査ブロック６側に搭載されており、その部分に変更を加える必要がないなどの利点がある。
【００７３】
従って、このようにすれば、走査光学系を形成する光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８は、すべて走査ブロック６内に配置されているので、組み立て段階で、これらの位置関係を正確に調整しておけば、使用される顕微鏡本体１に含まれる結像レンズ７ｃによる組合せ誤差の影響を受けないようにでき、これにより、いかなる顕微鏡と組合せても、走査光学系の光学調整を、容易、かつ確実に行うことができる。また、水銀灯照明ユニット３０、外部検出器ユニット３１などを走査ブロック６側に取付けているので、顕微鏡本体１側の各ユニットに悪影響を及ぼすことがなく、また、これらユニットの取付け、使用勝手に制限を与えるようなことも皆無にできる。
【００７４】
また、上述した第１の実施の形態によれば、以下の効果も期待できる。
【００７５】
走査光学系に用いられる結像レンズ１８を共焦点観察専用にできるので、鏡筒ユニット７の接眼観察時の視野数等の制限条件を考慮する必要がなくなり、走査光学系に最適な光学設計を容易に行うことができる。
【００７６】
対物レンズ５の倍率表示に合わせた焦点距離を結像レンズ１８に適応させる必要がなく、このため設計の自由度が上がり、装置全体の小型化も可能となる。この場合、瞳投影レンズ１６と結像レンズ１８の組合せにより倍率を合わせて設計すればよい。
【００７７】
無限遠光路に走査ユニットを取付けているので、２つのＴＶカメラが装着可能な鏡筒やチルティング鏡筒など、さまざまな標準鏡筒を制限を受けることなく使用することができる。
【００７８】
（変形例１）
上述した第１の実施の形態では、走査ブロック６と検出ブロック２２を別のフレームで分けて構成している。このように分けて構成することのメリットは、これら走査ブロック６と検出ブロック２２は、必要最小限の開口部６ｃ、２２ａのみで繋がっているので、光走査ミラー１５の偏向等により生じる迷光、散乱光が検出ブロック２２内の光検出器２９ａ、２９ｂに混入する可能性を低くできることである。蛍光は励起光の１/１０００以下の明るさのため、これら迷光や散乱光を拾うと検出画像のＳＮの劣化につながる。しかし、迷光や散乱光の影響が問題にならなければ、部品点数を減らし、無駄なネジ締結などの工数を減らすために、走査ブロック６と検出ブロック２２を一つのフレーム内に収め、全体で一つの走査ユニットとして構成してもよい。
【００７９】
(変形例２)
上述した第１の実施の形態では、走査ブロック６をユニット全体の一つのフレームとして光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８が含まれる構成を示しているが、フレームを別々に構成にしても良い。例えば、結像レンズ１８を旋盤加工などにより製作した第２のフレームの内部に収め、光走査ミラー１５と瞳投影レンズ１６と光路切替部１７を内蔵した第１のフレームと、ネジなどで固定し、この固定の際に光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８を調整、位置決めするようにしても、一つのフレームで製作した時と同様の効果が得られる。いずれにしても、光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８が単一の走査ユニットとして調整がされている状態が得られればよい。
【００８０】
(第２の実施の形態)
次に、第２の実施の形態を説明する。
【００８１】
図４は、本発明が適用される倒立顕微鏡を組合せた走査型レーザ顕微鏡システムの概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００８２】
図において、４０は倒立顕微鏡本体で、この倒立顕微鏡本体４０は、標本３を載置したステージ２の下方にレボルバ４が配置されている。このレボルバ４には、ステージ２上の標本３に対向して複数（図示例では、１個のみ示している。）の対物レンズ５が設けられている。また、走査ブロック６は、顕微鏡本体４０に落射照明光を導入する落射投光管の代わりに取り付けられるもので、走査ブロック６の光走査光路上には、キューブターレット１９が配置されている。このキューブターレット１９は、ミラー２０ａを備えたミラーユニット２０と、励起フィルタ２１ａ、ダイクロイックミラー２１ｂ、吸収フィルタ２１ｃを有する蛍光キューブユニット２１を備えたもので、水銀灯による落射照明を用いた接眼観察時には、蛍光キューブユニット２１が対物レンズ５の光軸上に配置され、落射照明光が、ダイクロイックミラー２１ｂで対物レンズ５側に反射されて、標本３に照射され、標本３からの蛍光がダイクロイックミラー２１ｂを透過し、吸収フィルタ２１ｃを介して観察する蛍光波長領域が取出され、結像レンズ４１ａ、反射ミラー４１ｂを介して接眼観察光路４１ｃにより目視観察されるようになっている。。
【００８３】
この場合、キューブターレット１９は、走査ブロック６に含まれておらず、結像レンズ１８までが、走査ブロック６に内蔵されている点で、第１の実施の形態と異なっている。
【００８４】
また、走査ブロック６には、フランジ部６ｆが設けられ、倒立顕微鏡本体４０側の取付面４０ａにネジ４２により固定されている。また、走査ブロック６と倒立顕微鏡本体４０との固定の際の位置決めは、倒立顕微鏡本体４０側に設けた孔部４０ｂへの走査ブロック６に設けられた突出部６ｇの嵌合により実現している。ここで、走査ブロック６内では、光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８の位置関係は、走査ブロック６のフランジ部６ｆの倒立顕微鏡本体４０側の取付面４０ａへの当て付け面と倒立顕微鏡本体４０側の孔部４０ｂへの走査ブロック６の突出部６ｇの嵌合径を基準として、ユニットレベルで正確に調整されている。
【００８５】
従って、このようにしても、倒立顕微鏡本体４０側に含まれている結像レンズ４１ａによる組合せ誤差の影響を受けないようにシステムを組上げることが可能となる。また、この場合も、光走査ミラー１５、瞳投影レンズ１６、結像レンズ１８の光路がミラー等の折り返しがなく、一直線上に配置されているので、調整時の誤差をさらに少なくすることが可能となる。
【００８６】
さらに、第１の実施の形態と同様、図示していない水銀灯照明ユニット、外部検出器ユニットを走査ブロック６に装着するようにすれば、顕微鏡本体１側の各ユニットに悪影響を及ぼすことがなく、また、これらユニットの取付け、使用勝手に制限を与えることも皆無にできる。
【００８７】
つまり、このようにした倒立顕微鏡を組み合わせたものにおいても、組合せる顕微鏡側ユニットの誤差の影響を受けないので、いかなる顕微鏡に組合せても、走査光学系の光学調整を、容易、かつ確実に実施できる、また、水銀灯照明ユニットや外部検出器ユニットを取付ける時に、顕微鏡側のユニットに悪影響を及ぼすことがないようにできる。
【００８８】
(第３の実施の形態)
次に、第３の実施の形態を説明する。
【００８９】
図５は、本発明が適用される走査型レーザ顕微鏡システムの要部の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００９０】
この場合、走査ブロック６の追加ポートである開口部６ｅに、外部検出器ユニット３１に代えて、他の追加ユニットとして励起光の全反射を利用した照明(エバネッセント照明)を行なう蛍光観察用のレーザ照明装置５０が着脱可能に設けられている。また、光路切替部１７は、ダイクロイックミラー１７ｃの位置に反射ミラー１７ｄが装着されている。
【００９１】
エバネッセント照明を用いた照明装置は、例えば、特開２００１−２７２６０６号公報に記載されている。図６は、エバネッセント照明の原理を説明するための図で、図示しないレーザ光源から導かれたレーザ光をファイバ５０１から出射し、レンズ５０２、レンズ５０３を介して対物レンズ５０４の瞳面内(後側焦点位置)の中心５０４ｂからずれた点５０４ａに集光させる。そして、この対物レンズ５０４を通過させることで平行光となった光線５０６を標本５０５の斜めから照射し、エバネッセント照明を得られるようにしている。この場合、ファイバ５０１の端面を対物レンズ５０４の光軸５０７に垂直な面内で移動させることで、通常のケーラー照明を得られるようにもしている。
【００９２】
図５に戻って、レーザ照明装置５０は、レーザ光源ユニット５１からシングルモードファイバ５２を介して励起レーザ光が導かれるレーザ導入ユニット５３を有している。レーザ導入ユニット５３は、走査ブロック６の開口部６ｅにネジ５３ａにより固定されている。また、レーザ導入ユニット５３内部には、上述したレンズ５０２に相当するレンズ５４が設けられている。
【００９３】
そして、シングルモードファイバ５２を介して励起レーザ光がレーザ導入ユニット５３に導入されると、レンズ５４を介して光路切替部１７の反射ミラー１７ｄで反射し、上述したレンズ５０３に相当する結像レンズ１８により、図１に示す対物レンズ５の瞳面内(後側焦点位置)で光軸中心からずれた位置(図６の点５０５ａに相当)に集光する。そして、対物レンズ５を透過したレーザ光は、平行光となって標本３を斜めから照射することにより、エバネッセント照明が得られるようになる。ここでも、図６と同様に、シングルモードファイバ５２の端面を光軸に垂直な面内で移動させることで、通常のケーラー照明への切替も可能である。
【００９４】
従って、このようにすれば、エバネッセント照明を行なうレーザ照明装置を走査コニット全体のフレームである走査ブロック６に取付けるようにしたので、レーザ照明装置５０を取付ける時に顕微鏡本体１側の各ユニットに悪影響を及ぼすことがなく、また、これらユニットの取付け、使用勝手に制限を与えることも皆無にできる。
【００９５】
（第４の実施の形態）
次に、第４の実施の形態を説明する。
【００９６】
図７は、本発明が適用される走査型レーザ顕微鏡システムの要部の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００９７】
この場合、走査ブロック６の追加ポートである開口部６ｅに、レーザ照明装置５０に代えて、他の追加ユニットとして第２の走査ユニット６０が着脱可能に設けられている。また、光路切替部１７は、反射ミラー１７ｄの位置に、画像取得用の光走査ミラー１５を含む第１の走査ユニットからの光路と第２の走査ユニット６０からの光路を合成するダイクロイックミラー１７ｅが装着されている。
【００９８】
第２の走査ユニット６０は、紙面に直交する方向と図の左右方向に光偏向する光走査ミラー６１が設けられている。この光走査ミラー６１は、走査ブロック６内に設けられる画像取得用の光走査ミラー１５での光走査と独立して標本３面上の光走査を行うためのものである。つまり、第２の走査ユニット６０にてＵＶ光を標本３の特定部位に照射することにより標本３内のケージド基に囲われた物質を解除(ケージド解除)しつつ、第１の走査ユニットで画像取得も行なうようにしている。
【００９９】
第２の走査ユニット６０には、レーザ導入部６０ａが設けられている。このレーザ導入部６０ａには、ケージド解除する紫外線３５１ｎｍを発振するＵＶレーザ６２がファイバ６３により導かれている。
【０１００】
第２の走査ユニット６０内部のＵＶレーザ６２の光路上には、音響光学素子６５、光走査ミラー６１、瞳投影レンズ６４が配置されている。この場合、音響光学素子６５は、ＵＶレーザ照射の有無の切換えを行なうものである。瞳投影レンズ６４は、走査ブロック６内の結像レンズ１８とともに、光走査ミラー６１の位置と対物レンズ５の瞳位置５ａが光学的に共役な関係になるようにするためのものである。
【０１０１】
これら光走査ミラー６１、光走査ミラー１５、音響光学素子６５は、図示しないコントローラにより制御され、光走査ミラー１５での走査に対するＵＶレーザ照射位置、照射タイミングなどの制御を行なっている。
【０１０２】
このような構成において、ＵＶレーザ６２から発振した３５１ｎｍのレーザ光は、光走査ミラー６１により偏向され、瞳投影レンズ６４を通り、光路切替部１７のダイクロイックミラー１７ｅに導入される。ここで、ダイクロイックミラー１７ｅは、３５１ｎｍの紫外線波長を反射し、光走査ミラー１５側からの可視光のレーザ波長および検出する可視の蛍光波長を透過する特性を有している。
【０１０３】
これにより、瞳投影レンズ６４を透過したレーザ光は、ダイクロイックミラー１７ｅで反射し、結像レンズ１８を通り、図１に示す対物レンズ５を通して標本３上の任意の位置に照射され、ケージド解除が行われる。これらの動作は、信画像取得を行なう光走査ミラー１５を含む第１の走査ユニットと独立に行うことが可能となっている。
【０１０４】
従って、このようにすれば、第２の走査ユニット６０を走査ブロック６に取付けるようにしたので、この第２の走査ユニット６０を取付ける時に顕微鏡本体１側の各ユニットに悪影響を及ぼすことがなく、また、これらユニットの取付け、使用勝手に制限を与えるようなことも皆無にできる。
【０１０５】
また、走査ブロック６内の結像レンズ１８を第２の走査ユニット６０でも共用しているので、その分構成を簡単にでき、価格的にも安価にできる。
【０１０６】
なお、第２の走査ユニット６０の利用方法としては、ケージド解除に限定されることはなく、例えば、第２の走査ユニット６０からのレーザ光により強い励起光を標本３上のある部位に照射し、蛍光槌色(フォトブリーチング)させながら、第１の走査ユニットで画像取得を行なったり、また、第２の走査ユニット６０側にも光検出器を取り付けて、２つの走査ユニットで、それそれ画像取得を行なうことも可能である。
【０１０７】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【０１０８】
上述した実施の形態での「着脱可能」とは、顕微鏡のユーザが自由に着脱できる作業レベルと、顕微鏡メーカが必要な調整を行いながら取付け、取り外しを行う作業レベルのどちらをも意味している。
【０１０９】
また、追加ユニットとしては、外部検出ユニット３１、レーザ照明装置５０、第２の走査ユニット６０を実施の形態では述べているが、これらとともに水銀灯照明ユニット３０も追加ユニットの一つとして考えることができる。そして、これら４種のユニットを光路切替部１７で分岐される光路に任意に組み合わせで接続することができる。例えば、図２の水銀灯照明ユニット３０の代わりにレーザ照明装置５０または第２の走査ユニット６０を接続してもよいし、光路切替部１７における光路分岐方向を図１における上方向にも分岐させて、外部検出器ユニット３１、レーザ照明装置５０、第２の走査ユニット６０の３つを接続してもよい。勿論、この３つのうちのどれか一つを水銀灯照明ユニット３０に代えてもよいし、光路切替部１７の光路分岐方向を図１の下方向にも可能なように顕微鏡本体１が構成されていれば、４つのユニット全てを接続することもできる。
【０１１０】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【０１１１】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、いかなる顕微鏡に組合せても、顕微鏡側ユニットの誤差の影響を受けることがなく、しかも、走査光学系の光学調整を、容易かつ確実に実施できる走査型レーザ顕微鏡システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の正立型顕微鏡を組合せた走査型レーザ顕微鏡システムの概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態の走査ブロックの光路切替部部分を上方から見た概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態の動作を説明するための図。
【図４】本発明の第２の実施の形態の倒立型顕微鏡を組合せた走査型レーザ顕微鏡システムの概略構成を示す図。
【図５】本発明の第３の実施の形態の走査型レーザ顕微鏡システムの要部の概略構成を示す図。
【図６】第３の実施の形態に用いられるエバネッセント照明を説明するための図。
【図７】本発明の第４の実施の形態の走査型レーザ顕微鏡システムの要部の概略構成を示す図。
【図８】従来の走査型レーザ顕微鏡の要部の概略構成を示す図。
【符号の説明】
１…顕微鏡本体
１ａ…ベース部
１ｂ…胴部
１ｃ…対物アーム
２…ステージ
３…標本
４…レボルバ
５…対物レンズ
５ａ…瞳位置
６…走査ブロック
６ａ…可視光レーザ導入孔
６ｂ…ＩＲパルスレーザ導入孔
６ｃ、６ｄ、６ｅ…開口部
６ｆ…フランジ部
６ｇ…突出部
７…鏡筒ユニット
７ａ…接眼観察光路
７ｂ…プリズム
７ｃ…顕微鏡用結像レンズ
８…可視レーザユニット
９…シングルモードファイバ
１０…ＩＲパルスレーザ
１１…ミラー
１２…コリメートレンズ
１３…合成ダイクロイックミラー
１４…励起ダイクロイックミラー用ターレット
１４ａ．１４ｂ…励起ダイクロイックミラー
１５…光走査ミラー
１６…瞳投影レンズ
１７…光路切替部
１７ａ…空穴
１７ｂ…ミラー
１７ｃ…ダイクロイックミラー
１７ｄ…反射ミラー
１７ｅ…ダイクロイックミラー
１８…結像レンズ
１９…キューブターレット
２０…ミラーユニット
２０ａ…ミラー
２１…蛍光キューブユニット
２１ａ…励起フィルタ
２１ｂ…ダイクロイックミラー
２１ｃ…吸収フィルタ
２２…検出ブロック
２２ａ…開口部
２３…反射ミラー
２４…分光ダイクロイックミラー
２５…反射ミラー
２６ａ．２６ｂ…共焦点レンズ
２７ａ．２７ｂ…共焦点ピンホール
２８ａ．２８ｂ…バリアフィルタ
２８ａ．２８ｂ…光検出器
２９ａ．２９ｂ…光検出器
３０…水銀灯照明ユニット
３０ｃ…ネジ
３０ａ…水銀灯
３０ｂ…レンズ
３１…外部検出器ユニット
３１ａ…光検出器
３１ｂ…ＩＲカットフィルタ
３１ｃ…レンズ
３１ｄ…ネジ
４０…倒立顕微鏡本体
４０ａ…取付面
４０ｂ…孔部
４１ａ…結像レンズ
４１ｂ…反射ミラー
４１ｃ…接眼観察光路
４２…ネジ
５０…レーザ照明装置
５０１…ファイバ
５０２、５０３…レンズ
５０４…対物レンズ
５０４…点
５０５…標本
５０６…光
５０７…光軸
５１…レーザ光源ユニット
５２…シングルモードファイバ
５３…レーザ導入ユニット
５３ａ…ネジ
５４…レンズ
６０…第２の走査ユニット
６０ａ…レーザ導入部
６１…光走査ミラー
６２…ＵＶレーザ
６３…ファイバ
６４…瞳投影レンズ
６５…音響光学素子

Claims (14)

1. 標本を載置するステージ、前記標本からの光を集光して平行光にする対物レンズ、前記対物レンズからの平行光を集光する第１の結像レンズを少なくとも備える顕微鏡本体と、
   前記顕微鏡本体に着脱可能に装着される走査ユニットと、
   を備える走査型レーザ顕微鏡システムであって、
   前記走査ユニットは、レーザ光源からのレーザ光を走査する光走査手段と、前記光走査手段と前記対物レンズの瞳位置とが光学的にほぼ共役になるように配置される瞳投影レンズおよび第２の結像レンズと、少なくとも前記光走査手段と前記瞳投影レンズと前記第２の結像レンズとを一体に支持する支持部材を備え、
   前記走査ユニットは、前記対物レンズと前記第１の結像レンズとの間に配置された偏向部材により分岐された光路の光軸と前記第２の結像レンズの光路の光軸とが一致するように前記顕微鏡本体に対して取り付けられることを特徴とする走査型レーザ顕微鏡システム。
2. 前記光走査手段、瞳投影レンズおよび前記第２の結像レンズは、前記偏向部材により分岐された光路に沿って一直線上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
3. 前記走査ユニットは、水銀灯照明ユニットが着脱可能に設けられ、該水銀灯照明ユニットより前記対物レンズを通して前記標本を照明する照明光路と前記レーザ光源のレーザ光の光路を選択的に切替える光路切替手段を有することを特徴とする請求項１または２に記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
4. 前記走査ユニットは、追加ユニットが着脱可能に設けられ、前記光路切替手段は、さらに前記追加ユニットに対する光路を含めて選択的に切替え可能にしたことを特徴とする請求項３記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
5. 前記走査ユニットは、追加ユニットが着脱可能に設けられるとともに、該追加ユニットに対する光路を選択的に切替える光路切替手段を有することを特徴とする請求項１に記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
6. 前記追加ユニットは、標本からの光を前記光走査手段を経由せずに検出する外部検出器であることを特徴とする請求項４または５に記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
7. 前記追加ユニットは、エバネッセント照明装置であることを特徴とする請求項４または５に記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
8. 前記追加ユニットは、第２の走査手段であることを特徴とする請求項４または５に記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
9. 前記偏向部材は、前記走査ユニット内に設けられることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
10. 前記偏向部材は、前記走査ユニットの前記支持部材に回転切替可能に支持されていることを特徴とする請求項９に記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
11. 前記偏向部材は、前記顕微鏡本体内に設けられることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
12. 前記顕微鏡本体は正立型であって、前記第１の結像レンズは接眼鏡筒に備えられており、前記走査ユニットは、前記顕微鏡本体と前記接眼鏡筒との間に取り付けられることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
13. 前記顕微鏡本体は倒立型であって、前記走査ユニットは、前記顕微鏡本体に落射照明光を導入する落射投光管の代わりに前記顕微鏡本体に取り付けられることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の走査型レーザ顕微鏡システム。
14. 前記標本からの光を透過するピンホールと光検出器を備えた検出ユニットを、前記走査ユニットに対して着脱可能に備えていることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載の走査型レーザ顕微鏡システム。

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