JPH1184252A - 自動焦点顕微鏡 - Google Patents
自動焦点顕微鏡Info
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- JPH1184252A JPH1184252A JP23999297A JP23999297A JPH1184252A JP H1184252 A JPH1184252 A JP H1184252A JP 23999297 A JP23999297 A JP 23999297A JP 23999297 A JP23999297 A JP 23999297A JP H1184252 A JPH1184252 A JP H1184252A
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
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Abstract
け、自動的の焦点検出を行い、無駄な焦点検出を省く。 【解決手段】 複数の対物レンズを保持し、観察光路内
に挿入すべき対物レンズを切り換える対物レンズ切換え
機6構と、試料ステージ9又は対物レンズ切り換え機構
6の少なくとも一方を光軸方向へ移動させる焦準機11
と、合焦信号により焦点検出を行う自動焦点機構と、各
対物レンズの焦点検出のON/OFFデータを記憶する
対物レンズデータ記憶手段と、観察光路内に挿入される
対物レンズを指示する対物レンズ指示手段12と、観察
光路内に挿入される対物レンズのデータに基づき焦点検
出のON/OFFの作動を制御する制御手段を具備する
ことによって無駄な作動を防止する。
Description
えた自動焦点顕微鏡に関する。
究を初めとして工業分野の検査の広い範囲で使用されて
いる。これらの顕微鏡においては、通常、拡大倍率の異
なる複数の対物レンズを回転式のレボルバーに取り付け
ており、このレボルバーを電動で回転させて、任意の対
物レンズを指定し、自動合焦動作を行っている。
取り付けられた対物レンズの倍率の幅が広く、全ての対
物レンズの倍率に対応した自動合焦は難しく、自動合焦
できない倍率の対物レンズに切り換えた場合は、対物レ
ンズの切り換え後に自動合焦動作のスイッチ等を使って
OFFにするか、自動合焦動作を行い検出不能と判断し
てOFFにするによって自動合焦を停止する必要があ
る。
には、各対物レンズ毎の同焦データを記憶する記憶手段
と、切換え前後の二つの対物レンズの同焦データに基づ
いて結像状態を補正する補正手段を備えた顕微鏡が記載
されている。この顕微鏡によれば、レボルバーや対物レ
ンズの精度誤差により発生する対物レンズ切換え時のピ
ントボケをなくすことが可能となっている。
58−21709号公報には、可視外の光像位置に検出
器を設け、この検出器からの合焦信号により焦点検出を
行う自動焦点顕微鏡が記載されている。この顕微鏡で
は、観察用の可視光と検出用の可視外光との色収差の補
正用機構を具備していると共に、色収差の補正を対物レ
ンズ毎に行うための記憶手段と、対物レンズを指示する
指示手段と、この指示により補正を行う補正手段を有す
ることにより合焦を行っている。
では、対物レンズの各々のデータを記憶し、対物レンズ
切換え時に、このデータに基づいて処理を行うことはな
されている。しかしながら、実際の自動焦点顕微鏡で
は、高倍率の合焦を確保するため、試料の明るさを検出
する場合に、検出できる明るさを得る必要性があると共
に、焦点深度が非常に浅いため、より細かく高精度に準
焦送りを行う必要がある。また試料の明るさをレーザ光
で検出する場合、瞳径の小さい高倍率の対物レンズでは
レーザ光の透過効率が悪く、合焦に十分なS/N比を得
るのは難しい。
深いために、接眼部、写真撮影部では逆に深度が浅くな
り、写真撮影のピントに耐え得る合焦精度を確保するの
は難しい。以上のことから、低倍率から高倍率の全ての
対物レンズに対応した焦点検出を行うことが難しいとい
う問題を有している。
後、自動合焦できない場合は、スイッチ等で焦点検出を
OFFにするか、対物レンズ切り換え時にユーザ判断で
焦点検出をONにするか、全ての対物レンズに対しての
焦点検出は行うが、合焦検出できないと判断した場合
は、合焦動作を断念している。このため、ユーザがその
都度、合焦操作を行わなくてはならないばかりか、合焦
の際に操作ミスを起こし易いものとなっている。また従
来では、合焦できない対物レンズまでも合焦検出の対象
となっており、検出のための時間ロスが大きい問題を有
している。
してなされたものであり、対物レンズの切り換え時に合
焦が必要な対物レンズの合焦だけを行うことにより、無
駄な合焦作動をなくし、ロス時間をなくすことが可能な
自動焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
め、請求項1の発明は、複数の対物レンズを保持し、観
察光路内に挿入すべき対物レンズを切り換える対物レン
ズ切換え機構と、試料ステージ又は対物レンズ切り換え
機構の少なくとも一方を光軸方向へ移動させる焦準機
と、合焦信号により焦点検出を行う自動焦点機構とを具
備した自動焦点顕微鏡において、前記各対物レンズの焦
点検出のON/OFFデータを記憶する対物レンズデー
タ記憶手段と、前記観察光路内に挿入される対物レンズ
を指示する対物レンズ指示手段と、観察光路内に挿入さ
れる対物レンズのデータに基づき焦点検出のON/OF
Fの作動を制御する制御手段を具備していることを特徴
とする。
物レンズが指示されると対物レンズデータ記憶手段の記
憶データを参照して試料ステージまたは対物レンズ切換
え機構の移動と、自動焦点機構による焦点検出を行うか
否かが決定される。そして、記憶データによって焦点検
出がONとなったときは試料ステージまたは対物レンズ
切換え機構が移動して合焦が行われる。一方、記憶デー
タによって焦点検出がOFFとなったときは、対物レン
ズの切換え作動だけであり、焦点検出を行うことがな
い。このため、必要な対物レンズだけの合焦を行うこと
ができ、無駄な作動をなくすことができる。
て、前記各対物レンズ毎の焦点検出のON/OFFを、
高倍率の対物レンズの時がON、低倍率の対物レンズの
時がOFFに設定されていることを特徴とする。
した場合は、焦点検出を行うことなく対物レンズ切換え
作動だけとなり、高倍率の対物レンズを指示した場合
は、焦点検出を行う。このため、高倍率の対物レンズの
焦点を精度良く、迅速に検出することができる。
て、前記各対物レンズ毎の焦点検出のON/OFFを、
倍率5×以下の対物レンズの時にON、高倍率の対物レ
ンズの時にOFFに設定されていることを特徴とする。
したとき、焦点検出を行わないが、低倍率の対物レンズ
を指示したとき焦点検出を行う。この発明では、低倍率
で行う写真撮影のピント合わせを精度良く行うことがで
きる。
に係る自動焦点顕微鏡の全体構成を示し、図2はそのメ
インコントロール部11を示し、図3はその操作SW部
12を示している。
外部からのコントローラによって回転される電動レボル
バ6が、顕微鏡本体1に着脱自在に取り付けて、顕微鏡
本体1の観察光軸上に位置している。この電動レボルバ
6には、複数の対物レンズ7が取り付けられている。こ
れらの対物レンズ7との対向位置には、試料8を光軸方
向に保持すると共に、光軸と垂直方向に移動可能なステ
ージ9が配置されている。このステージ9は、Zドライ
ブモータ10の駆動により光軸方向に移動可能な準焦部
(図示せず)を備えている。
には、鏡筒2が取り付けられている。この鏡筒2によっ
て接眼レンズ3を通して眼4によって試料8の観察可能
な光路及び焦点検出等を行うことができる焦点検出機5
が取り付けられる光路に2分割されている。
Zドライブモータ部10は、これらをコントロールする
メインコントローラ部11と通信ケーブル13、15、
14を介して電気的に接続されている。又、メインコン
トローラ部11には、通信ケーブルを介して操作SW部
12に接続されている。
造を示す。メインコントロール部11は、自動焦点顕微
鏡全体の動作を管理するものであり、焦点検出機コント
ロール部24、電動レボルバコントロール部25、Zド
ライブモータコントロール部26が専用シリアルバス駆
動回路17に接続されている。
示す焦点検出機5内のピント検知用受光素子(図示省
略)から出力されたデータに基づいて所定の演算を行
い、その演算に応じてZモータドライブ10を駆動して
ステージ9を光軸方向に移動させて自動合焦点検知を行
う。電動レボルバーコントロール部25は、操作SW部
12上の対物レンズ変換ボタン27(図3参照)のいず
れかを押すことにより、その対物レンズが光軸に入るよ
うに駆動する。Zドライブモータ部コントロール部26
は上述した自動合焦点検知の際の指示により駆動を行
う。
1を接続されている。CPU21には、ROM18、R
AM19がCPUバス28を介して接続されている。R
OM18には制御を行うためのプログラムが記憶されて
おり、RAM19には制御演算用のデータが格納されて
いる。また、各種設定状態を記憶するための不揮発性メ
モリ20がCPU21に接続されている。
には、図3に示すように対物レンズの切り換えボタン2
7、対物倍率入力ボタン30、31、設定ボタン32及
び表示パネル29が設けられている。この操作SW部1
2内のSW入力部22、表示部23はCPU21に接続
されている。
て説明する。電動レボルバ6に取り付けられている複数
の対物レンズ7の取付穴位置と、操作SW部12上の対
物切り換えボタン27とが一致した点で、倍率入力ボタ
ン30、31により倍率を合わせ、この状態で設定ボタ
ン32を押すことにより、その情報がCPU21を介し
ROM18に記憶される。なお、ROM18には、対物
倍率による焦点検知のON/OFFデータが予め記憶さ
れている。
27のいずれかを押すことにより、その対物レンズに関
するデータがROM18より取り出される。そして、焦
点検知ONの場合は、CPU21により専用シリアルバ
ス駆動回路17を介し、焦点検出機コントロール部24
と電動レボルバコントロール部25とZドライブモータ
部コントロール部とにより、それぞれ焦点検出機5、電
動レボルバ6、Zドライブモータ部10を駆動し、合焦
を行う。また焦点検出OFFの場合は、CPU21によ
り専用シリアルバス回路17を介し電動レボルバ6のみ
が切り換えられる。このとき入力されたデータは不揮発
性メモリ20にも記憶される。
率をレボルバ穴位置に基づいて入力することにより、焦
点検出できる対物レンズとできない対物レンズの判断を
し、焦点検出動作のON/OFFを自動的に切り換える
ことができるため、操作性に優れる。又、OFF時に
は、その都度、焦点検出動作を行わないため、時間を短
縮することができる。
焦補正機能により復帰する機能を付加することによっ
て、特に低倍対物レンズから高倍対物レンズにランダム
に切り換えた場合、試料から対物レンズ先端までの距離
の違い(低倍率が長く、高倍率が短い)による試料との
干渉を防止できる。
形態における対物レンズの焦点検出のON/OFFデー
タを、図5はこのON/OFFデータが最も有効なレー
ザーを使用した自動焦点顕微鏡の光学原理図を示す。
に、対物レンズ33、瞳55、鏡筒レンズ34、1/4
波長板52、ダイクロイックミラー35、縮小レンズ3
6、赤外光スポット投射用レンズ37、ビームスプリッ
タ38、検出用レンズ39、PSD(受光素子)40、
プリズム41、微小レンズ42、43及びレーザダイオ
ード等の赤外光発光素子44、45によって焦点検出系
を構成している。
る赤外光は微小レンズ42、43を通りプリズム41で
反射され、ビームスプリッタ38を通り、投射レンズ3
7により像面A上に投射される。この赤外光は、更に縮
小レンズ36、ダイクロイックミラー35、鏡筒レンズ
34、対物レンズ33を通り試料B上に投射される。試
料Bで反射された赤外光は再び対物レンズ33、鏡筒レ
ンズ34、ダイクロイックミラー35、縮小レンズ3
6、投射レンズ37を通り、ビームスプリッタ38で反
射されて検出レンズ39によりPSD40上にスポット
を生じる。
光素子44及び45のスポット像はそれぞれ異なった位
置に形成され、発光素子44及び45の点滅によってス
ポット像が交互に移動する。これに対し、合焦時の場合
は発光素子44及び45のスポット像が両者とも同じ位
置に形成されるため、両者の点滅によってもスポット像
の移動が生じることがなく、その結果、スポット像の移
動が生じないように試料Bを移動することにより合焦操
作を行うことができる。又、合焦操作に伴うスポット像
の移動方向及び量から前ピン、後ピンの判定及びデフォ
ーカス量の測定が可能となる。
するプリズム53、赤外光カットフィルター56、接眼
レンズ46、フィルム面54が設けられ、これらが対物
レンズ33、鏡筒レンズ34と共に観察、撮影光学系を
構成している。又、ハーフミラー47、コンデンサーレ
ンズ48、照明光源49を有しており、これらが対物レ
ンズ33、鏡筒レンズ34と共に照明光学系を構成して
いる。
ン(図示省略)を介して光軸と垂直方向に移動可能とな
っていると共に、ピニオン(図示省略)を介して駆動モ
ータ51に連結されることによって光軸方向に電動で移
動可能となっている。縮小レンズ36は光軸方向に移動
制御されるものであり、この移動によって赤外光による
異なる対物レンズ毎の色収差補正を行うことができる。
倍率5×、10×の低倍率の対物レンズの時は焦点検出
をOFF、倍率20×〜250×の高倍率の対物レンズ
の時はONとなるようにメインコントロール部11(図
2参照)の回路に記憶されている。従って、倍率5×、
10×の対物レンズに切り換えた場合はROM18の記
憶からCPU21に指示されて対物レンズ切り換えのみ
の動作を行い、焦点検出動作は行わない。一方、倍率2
0×〜250×の対物レンズに切り換えた場合には、同
様ROM18の記憶よりCPU21に指示され、これに
より合焦操作と、試料Bを伴ったステージ50の移動に
より光軸方向に移動が合わせて行われる。このため、試
料Bに合焦され、上述した照明光学系及び観察光学系に
より観察が可能となる。
第1の実施の形態を具体化することにより、瞳の大きい
5×、10×では、レーザー光(発光素子)の出力がな
いため、対物レンズ先端から出射されるレーザー光の量
が少なくなり、人体に与える被爆量を現象させることが
でき、安全性に優れる。実際においては、倍率5×、1
0×を100%とした場合、倍率20×では瞳面積がこ
の約60%となり、対物レンズ先端からのレーザ光束の
減少(ケラレ)により減少する。また更に倍率50×で
は、瞳面積が5×、10×の約30%となり、対物レン
ズ先端からのレーザ光量も更に減少する。このため、よ
り高倍に設定することでレーザー光量が減少して安全性
がさらに増す。
合焦を行わないことにより、その分レーザーの出力を増
大することもでき、高倍である150×、250×での
光量が増し、より精度良く合焦できる。なお、実際に
は、低倍対物レンズの焦点深度が深く、特公平3−15
015公報のような対物レンズ毎の同焦補正を行うだけ
で深度内に入るため、焦点検出は不要となる。また電気
回路の観点からは、受光素子が受光する試料からのレー
ザー反射光量の幅が少なくなるため、負担が軽減され、
設計上も価格的にも有利となる。
の形態の焦点検出のON/OFFデータであり、倍率1
50×、250×の超高倍の対物レンズでは焦点検出動
作をOFFとし、倍率5×〜100×の対物レンズでは
焦点検出動作をONとしている。このテーブルはROM
18に書き込まれるものである。なお、倍率5×以下の
極低倍のみONにすることもできる。
レンズでは焦点検知を行わず、試料の微妙な段差部の観
察が行え、ラフに観察する低倍の対物レンズでは焦点検
知を行い、効率の良い焦点検知ができる。特に、倍率5
×以下の極低倍対物レンズに光学、EL設計を行うこと
で、像面側深度が浅く、フィルム面との同焦差をとる時
の目視誤差の影響が大きいため、肉眼でのピント合わせ
が難しいとされている倍率5×以下の写真撮影の精度を
確保することができる。
ータ記憶手段の記憶データを参照して試料ステージまた
は対物レンズ切換え機構の移動と、自動焦点機構による
焦点検出を行うか否かを決定し、記憶データによって焦
点検出がONとなったときは試料ステージまたは対物レ
ンズ切換え機構が移動して合焦を行い、記憶データによ
って焦点検出がOFFとなったときは、対物レンズの切
換え作動だけであり、焦点検出を行うことがない。この
ように対物レンズ交換する場合に、焦点検出のON/O
FFを自動的に行うため、検出できない対物レンズでの
煩わしい作業や、検出動作をしてからの判断が不要とな
るため、操作性に優れ、切り換えの高速化を図ることが
可能となる。
ンズを指示した場合は、焦点検出を行うことなく対物レ
ンズ切換え作動だけとなり、高倍率の対物レンズを指示
した場合は、焦点検出を行うため、高倍率の対物レンズ
の焦点を精度良く、迅速に検出することができる。
ンズを指示したとき、焦点検出を行わないが、低倍率の
対物レンズを指示したとき焦点検出を行うため、低倍率
で行う写真撮影のピント合わせを精度良く行うことがで
きる。
る。
Claims (3)
- 【請求項1】 複数の対物レンズを保持し、観察光路内
に挿入すべき対物レンズを切り換える対物レンズ切換え
機構と、試料ステージ又は対物レンズ切り換え機構の少
なくとも一方を光軸方向へ移動させる焦準機と、合焦信
号により焦点検出を行う自動焦点機構とを具備した自動
焦点顕微鏡において、 前記各対物レンズの焦点検出のON/OFFデータを記
憶する対物レンズデータ記憶手段と、前記観察光路内に
挿入される対物レンズを指示する対物レンズ指示手段
と、観察光路内に挿入される対物レンズのデータに基づ
き焦点検出のON/OFFの作動を制御する制御手段を
具備していることを特徴とする自動焦点顕微鏡。 - 【請求項2】 前記各対物レンズ毎の焦点検出のON/
OFFを、高倍率の対物レンズの時がON、低倍率の対
物レンズの時がOFFに設定されていることを特徴とす
る請求項1記載の自動焦点顕微鏡。 - 【請求項3】 前記各対物レンズ毎の焦点検出のON/
OFFを、倍率5×以下の対物レンズの時にON、高倍
率の対物レンズの時にOFFに設定されていることを特
徴とする請求項1記載の自動焦点顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23999297A JP3953591B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 自動焦点顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23999297A JP3953591B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 自動焦点顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1184252A true JPH1184252A (ja) | 1999-03-26 |
JP3953591B2 JP3953591B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=17052871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23999297A Expired - Fee Related JP3953591B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 自動焦点顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3953591B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0457423A2 (en) * | 1990-05-16 | 1991-11-21 | Toyo Seikan Kaisha Limited | Thickness-reduced draw-formed can |
JP2000266992A (ja) * | 1999-03-18 | 2000-09-29 | Olympus Optical Co Ltd | 自動合焦装置 |
JP2003057558A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2006154358A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Opto One Kk | オートフォーカス装置 |
JP2009282357A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Olympus Corp | 観察装置及び観察方法 |
-
1997
- 1997-09-04 JP JP23999297A patent/JP3953591B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0457423A2 (en) * | 1990-05-16 | 1991-11-21 | Toyo Seikan Kaisha Limited | Thickness-reduced draw-formed can |
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JP2003057558A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2006154358A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Opto One Kk | オートフォーカス装置 |
JP2009282357A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Olympus Corp | 観察装置及び観察方法 |
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