JPH1152029A - タイミング発生装置 - Google Patents

タイミング発生装置

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JPH1152029A
JPH1152029A JP9211835A JP21183597A JPH1152029A JP H1152029 A JPH1152029 A JP H1152029A JP 9211835 A JP9211835 A JP 9211835A JP 21183597 A JP21183597 A JP 21183597A JP H1152029 A JPH1152029 A JP H1152029A
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Japan
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pulse
phase
timing
generator
shift data
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JP9211835A
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Inventor
Minoru Kobayashi
稔 小林
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Advantest Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 遅延素子を用いることなく、所定時間ずつ遅
延した多相パルス列を発生させ、この多相パルス列の中
から所望のパルスを取出して所定のタイミングでパルス
を発生させるタイミング発生器を提供する。 【解決手段】 周期パルスと移相データが与えられ、周
期パルスが与えられる毎に移相データで与えられる時間
ずつ遅延されたパルス列を発生することができるパルス
発生器を多相パルスの相数分設け、この複数のパルス発
生器に入力する移相データに各相毎に設けた位相設定レ
ジスタに設定した移相データを加算し、この加算結果が
所定値に達する毎に各パルス発生器に入力する周期パル
スの位相を順次シフトさせ、各パルス発生器から所定の
時間ずつ遅延した多相パルスを発生させ、遅延素子を用
いることなく、多相パルスを発生させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は例えばIC試験装
置に用いられるタイミング発生器に関する。
【0002】
【従来の技術】図5にIC試験装置の特にメモリICを
試験する装置の概略の構成を示す。図中TESはIC試
験装置の全体を示す。IC試験装置TESは主制御器1
1と、パターン発生器12、タイミング発生器13、波
形フォーマッタ14、論理比較器15、ドライバ群1
6、アナログ比較器群17、不良解析メモリ18、論理
振幅基準電圧源19、比較基準電圧源20、ディバイス
電源21等により構成される。
【0003】主制御器11は一般にコンピュータシステ
ムによって構成され、利用者が作製した試験プログラム
に従って主にパターン発生器12とタイミング発生器1
3を制御し、パターン発生器12から試験パターンデー
タを発生させ、この試験パターンデータを波形フォーマ
ッタ14で実波形を持つ試験パターン信号に変換し、こ
の試験パターン信号を論理振幅基準電圧源19に設定さ
れた電圧値の振幅で電圧増幅されドライバ群16を通じ
て被試験IC22に印加し記憶させる。
【0004】被試験IC22から読み出した応答信号は
アナログ比較器群17で比較基準電圧源20の基準電圧
と比較し、所定の論理レベル(H論理の電圧、L論理の
電圧)を持っているか否かを判定し、所定の論理レベル
を持っていると判定した信号は論理比較器15でパター
ン発生器12から出力される期待値と比較し、期待値と
不一致が発生した場合は、その読み出したアドレスのメ
モリセルに不良があるものと判定し、不良発生毎に不良
解析メモリ18に不良アドレスを記憶し、試験終了時点
で例えば不良セルの救済が可能か否かを判定する。
【0005】ここで、タイミング発生器13は被試験I
C22に与える試験パターン信号の波形の立上りのタイ
ミング及び立下りのタイミングを規定するタイミング
と、論理比較器15で論理比較のタイミングを規定する
ストローブパルスのタイミング等を発生する。これらの
各タイミングは利用者が作製した試験プログラムに記載
され、利用者が意図したタイミングで被試験IC22を
動作させ、またその動作が正常か否かを試験できるよう
に構成されている。
【0006】このためタイミング発生器13は少しずつ
遅延量が異なる多相パルスを生成し、この多相パルスの
中から目的とするタイミングに最も近いパルスを選択し
て取り出すことにより、各種のタイミングパルスを得る
ようにしている。図6は従来のタイミング発生器13の
概略の構成を示す。タイミング発生器13は周期発生器
13Aと、パルス発生器13Bと、このパルス発生器1
3Bが出力する基準パルス列SUB00を遅延時間が異な
る複数の遅延素子DY2,DY4,DY6を通過させる
ことにより位相が少しずつずらされた図7Dに示す多相
パルス列SUB00,SUB02,SUB04,SUB06を発
生する。この多相パルス列SUB00〜SUB06はクロッ
ク発生器13Dに入力され、どの相の何番目のパルスを
取出すかを設定することにより、各周期T0 ,T1 ,T
2 ,T3 ,T0 …毎に任意のタイミングを持つタイミン
グクロックを発生させることができるように構成され
る。
【0007】周期発生器13Aは図7BとCに示す周期
パルスRATE0 と、可変移相データHDAT0 とを出
力し、これら周期パルスRATE0 と、可変移送データ
HDAT0 をパルス発生器13Bに与える。パルス発生
器13Bは図7Dに示す基準パルス列SUB00を出力す
る。この基準パルス列SUB00は可変移相データHDA
0 の値に従って周期パルスRATE0 の周期T0 ,T
1 ,T2 ,T3 ,T0…毎に位相がシフトされる。図7
の例では周期T0 のとき、可変移相データHDAT0
0ns、周期T1 のとき可変移相データHDAT0 は2
ns、周期T2のとき4ns、周期T3 のとき6nsが
与えられた場合を示す。尚、図7に示す例では周期パル
スRATE0 の周期T0 ,T1 ,T2 (この周期は試験
プログラムにより自由に設定される)を40ns、T3
を48nsとした場合を示す。
【0008】パルス発生器13Bは各周期T0 ,T1
2 ,T3 ,T0 …において、基準タイミングJ0 ,J
1 ,J2 ,J3 ,J0 …のそれぞれから、各周期毎に与
えられた可変移相データHDAT0 に従って遅延された
位相を持つ基準パルス列SUB00を発生する。ここで基
準タイミングJ0 ,J1 ,J2 ,J3 ,J0 …とは周期
パルスRATE0 がH論理にある状態で、基準クロック
REFCLKが立ち上がったタイミングを指す。
【0009】従って周期T0 ではパルス発生器13Bは
基準タイミングJ0 (遅延時間0ns)で1個目のパル
スが立上るパルス列SUB001 を発生し、周期T1 では
1個目のパルスの立上りが基準タイミングJ1 から2n
s遅延したパルス列SUB00 2 を発生し、周期T2 では
1個目のパルスの立ち上りが基準タイミングJ2 から4
ns遅延したパルス列SUB003 を発生し、周期T3
は基準タイミングJ3から1個目のパルスの立ち上りが
6ns遅延したパルス列SUB004 を発生する。これら
のパルス列SUB001 〜SUB004 を総称して基準パル
ス列SUB00と称することにする。尚、周期T3 ではパ
ルスSUB004 の終了が次の周期パルスRATE0 の立
上りのタイミングに掛るため、この周期T3 で周期パル
スRATE0 を基準クロックREFCLKの1周期分遅
延させている。
【0010】パルス発生器13Bから出力された基準パ
ルス列SUB00は多相パルス発生器13Cに入力され
る。多相パルス発生器13Cは基準パルス列SUB00
そのまま通過させて基準パルス列SUB00を発生させる
直通系路と、基準パルス列SUB00を2ns遅延させる
第1遅延素子DY2と、基準パルス列SUB00を4ns
遅延させる第2遅延素子DY4と、基準パルス列SUB
00を6ns遅延させる第3遅延素子DY6とを有し、こ
れらの直通系路と第1〜第3遅延素子DY2,DY4,
DY6によって4相の多相パルス列SUB00〜SUB06
を発生させている。図7Dにこの多相パルス列SUB00
〜SUB06の波形を示す。
【0011】多相パルス発生器13Cで発生させた多相
パルス列SUB00〜SUB06をクロック発生器13Dに
与え、各周期T0 〜T3 の毎に多相クロックSUB00
SUB06の中から任意のタイミングのパルスをゲートG
1 ,G2 ,G3 ,G4 によって選択して基準タイミング
0 ,J1 ,J2 ,J3 ,J0 ,J1 …から所望のタイ
ミング遅延させた位置でタイミングクロックP1
2 ,P3 …(図7E)を発生させ、このクロック
1 ,P2 ,P3 …を波形フォーマッタ14に供給する
構成としている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】従来のクロック発生器
13の中で特に多相パルス発生器13Cでは第1遅延素
子DY2、第2遅延素子DY4、第3遅延素子DY6は
半導体回路素子(アンドゲート、オアゲート等の回路素
子を遅延素子として用いる)或は同軸ケーブルを遅延素
子として用いて構成している。
【0013】このため遅延時間を正確に設定することが
むずかしいことと、タイミング発生器13は被試験IC
22の各端子毎に複数設けられるため、その数は数10
00に及ぶ数になる。この結果遅延素子DY2,DY
4,DY6の数も多数必要となり、製造上手間の掛る部
分になっている。また、半導体回路素子或は同軸ケーブ
ルを用いた遅延素子は温度変動によって遅延時間が変動
することと、同軸ケーブルを遅延素子として流用した場
合には遅延素子として用いた同軸ケーブルのインピーダ
ンス不整合により反射波が発生し、この反射によってパ
ルスの符号間干渉を発生させる欠点もある。この結果、
高速動作するIC試験装置では試験精度が悪くなり、試
験の信頼性が低下する欠点もある。
【0014】この発明の目的は半導体回路素子或は同軸
ケーブルのように温度変動に対して影響を受けることが
なく、然も各相の遅延時間を正確に設定することがで
き、従って製造が容易で然もタイミングクロックの設定
精度(時間の設定)を高精度に維持することができるタ
イミング発生器を提供しようとするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】この発明では周期パルス
と可変移相データとが与えられ、各周期毎に与えられた
可変移相データに従って基準タイミングから所定の時間
遅延した位相のパルス列を発生することができるパルス
発生器を多相パルスの相数分設けると共に、各パルス発
生器に各相に与えられる固定移相データに周期発生器か
ら与えられる可変移相データを加算する加算器と、この
加算器の加算値が基準クロックの1周期分を越える値に
達する毎に、周期パルスの位相を基準クロックの1周期
分遅延させる移相器とを設け、周期パルスの立上りのタ
イミング毎に基準タイミングから移相データで指定され
る時間遅延したタイミングでパルス列を発生させる。各
パルス発生器から出力されるパルス列は各相に与えた固
定移相データに従って順次位相がずらされており、多相
化されて出力される。
【0016】従って、この発明によれば基準パルス列を
多相化するために遅延素子を用いる構成を採らないから
製造が容易である。また、遅延の実行はロジック回路で
構成される移相器で実行されるため、温度変動の影響を
受けることがなく、ディジタル値に従って動作するた
め、正確に遅延時間が維持され高速動作するIC試験装
置でも精度よく試験を実行することができる利点が得ら
れる。
【0017】
【発明の実施の形態】図1にこの発明によるタイミング
発生器の一実施例を示す。図6と対応する部分には同一
符号を付して示す。この発明では多相パルスの相数に対
応する数のパルス発生器13B0 ,13B2 ,13
4 ,13B6 を設けると共に、各パルス発生器13B
0 ,13B2 ,13B4 ,13B6 の各前段側に周期パ
ルスRATE0 の位相を制御する位相制御回路23A,
23B,23C,23Dを設ける。この位相制御回路2
3A〜23Dはそれぞれ位相設定レジスタRGと、加算
器ADDと、移相器FSとによって構成される。
【0018】位相設定レジスタRGには各相に与える固
定移相データを設定する。つまり、発生させるべき移相
パルスSUB00〜SUB06の基準となる位相を持つ基準
パルス列SUB00を発生させるためのパルス発生器13
0 の前段に設けた位相制御回路23Aの位相設定レジ
スタRGには固定移相データとして0nsを設定し、位
相制御回路23Bの位相設定レジスタRGには固定移相
データとして2nsを設定し、位相制御回路23Cの位
相設定レジスタRGには固定移相データとして4nsを
設定し、位相制御回路23Dの位相設定レジスタRGに
は固定移相データとして6nsを設定する。
【0019】これら各位相設定レジスタRGに設定した
固定移相データはそれぞれ加算器ADDの各一方の入力
端子Bに与える。加算器ADDの各他方の入力端子Aに
は周期発生器13Aから出力される可変移相データHD
AT0 を入力し、この可変移相データHDAT0 に各相
の固定移相データを加算する。加算器ADDはこの例で
はその加算結果を出力する出力端子と、桁上げ信号を出
力する桁上げ信号出力端子CYとを有する。桁上げ信号
出力端子CYには加算値が8ns以上に達すると、H論
理の桁上げ信号を出力する。この桁上げ信号を移相器F
Sに与え、桁上げ信号が出力されている状態では周期パ
ルスRATE0を基準クロックREFCLKの1周期分
(周期パルスRETE0 のパルス幅分)位相を遅延させ
る動作を実行する。
【0020】このため、移相器FSは例えば図3に示す
ようにD型フリップフロップDFFと、このD型フリッ
プフロップDFFを通過した信号とD型フリップフロッ
プDFFを通過しない信号を選択して取り出すマルチプ
レクサMUXとによって構成することができる。マルチ
プレクサMUXの制御端子Sに桁上げ信号を入力する。
桁上げ信号がL論理の状態でマルチプレクサMUXは入
力端子Aを選択し、H論理の場合は入力端子Bを選択す
る。従って桁上げ信号がL論理の場合には移相器FSは
入力された周期パルスRATE0 をそのままの位相で通
過させる。これに対し、桁上げ信号がH論理に反転する
と、マルチプレクサMUXは入力端子Bを選択し、この
場合には移相器FSは周期パルスRATE0 に対しD型
フリップフロップ1段分の遅延時間を与えて出力する。
つまり、D型フリップフロップDFFの各クロック入力
端子CKには基準クロックREFCLKが与えられる。
D型フリップフロップDFFは周知のようにクロック入
力端子CKに与えられるパルスの立上りのタイミングで
データ入力端子Dに入力されている論理値を読み込み、
次のクロックの立上りで出力端子に読み込んだ論理値を
出力する。従って桁上げ信号が発生した場合は移相器F
Sは周期パルスRATE0 を図4Cに示すように基準ク
ロックREFCLKの1周期分Mだけ遅延させて出力す
る。
【0021】位相制御回路23Aの位相設定レジスタR
Gには固定移相データとして0nsを設定するから、加
算器ADDは周期発生器13Aから出力される移相デー
タHDAT0 (図2A)がそのまま加算結果として出力
され、基準パルス発生器13B0 に入力される。また、
位相制御器23Aの加算器ADDは桁上げ出力を発生す
ることはなく周期パルスRATEも周期発生器13Aが
出力する周期パルスRATE0 (図2A)のまま基準パ
ルス発生器13B0 に入力される。
【0022】この結果、基準パルス発生器13B0 は図
2Bに示すように移相データHDATが0nsの周期T
0 では基準タイミングJ0 に合致した位相のパルス列S
UB 001 を出力する。移相データHDATが2nsの周
期T1 では基準位相J1 から2ns遅延したパルス列S
UB002 を出力する。尚、図2に示す例では周期パルス
RATE0 の周期を基準クロックREFCLKの1周期
分18nsに設定した場合を示す。
【0023】可変移相データHDAT0 が4nsの周期
2 ではパルス発生器13B0 は基準タイミングJ2
ら4ns遅延したパルス列SUB003 を出力する。可変
移相データHDAT0 が6nsの周期T4 ではパルス発
生器13B0 は基準タイミングJ3 から6ns遅延した
パルス列SUB004 を出力する。尚、この可変移相デー
タHDAT0 が6nsの周期T3 では周期パルスRAT
0 が基準クロックREFCLKの1周期分遅延されて
いるが、この遅延は周期発生器13Aで既に与えられて
出力されている。また、可変位相データHDAT0 は次
の周期パルスRATEの立上りのタイミングまで時間を
遅延して6nsを保持する。
【0024】一方、位相制御回路23Bでは位相設定レ
ジスタRGに固定移相データとして2nsを設定する。
従って、加算器ADDはこの固定移相データとして2n
sに入力される可変移相データHDAT0 を加算し、そ
の加算値HDAT2 (図2C)を出力する。加算値HD
AT2 は周期T0 では2nsとなるから、この周期T 0
では基準パルス発生器13B1 は基準タイミングJ0
ら2ns遅延したパルス列SUB021 を発生する。移相
データHDAT0 が2nsの周期T1 では加算器ADD
の加算値HDAT2 は2+2=4nsとなるから、この
周期T1 ではパルス発生器13B1 は基準タイミングJ
1 から4ns遅延したパルス列SUB02 2 を出力する。
移相データHDAT0 が4nsの周期T2 では加算器A
DDの加算出力は2+4=6nsとなる。従って周期T
2 では基準タイミングJ2 から6ns遅延したパルス列
SUB023 がパルス発生器13B1 から出力される。
【0025】ここで周期T2 が終了すると移相データH
DAT0 は6nsに変化する。この結果、加算器ADD
は周期T3 の前半において加算値2+6=8nsを出力
し、桁上げ信号を出力する。従って移相器FSは周期パ
ルスRATE0 を基準クロックREFCLKの1周期分
(この例では8ns)遅延させてパルス発生器13B1
に入力する。図2Cに示すRATE2 はパルス発生器1
3B1 に入力される周期パルスを示す。
【0026】加算器ADDからパルス発生器13B1
入力される移相データHDAT2 が8nsである場合、
基準クロックREFCLKの1周期分遅延したと等価で
あるから、移相量としては0nsと等価になる。従って
次の周期パルスが与えられたタイミングでパルス発生器
13B1 は基準タイミングJ4 から0nsの遅延量を持
つパルス列SUB024 を出力する。次の周期では加算器
ADDからパルス発生器13B1 に供給される移相デー
タHDAT2 には2nsが加算され、パルス発生器13
1 は基準位相J0 から2ns遅延したパルス列SUB
025 を発生する。
【0027】以下同様にしてパルス発生器13B2 は図
2Fに示すようにパルス列SUB04 1 ,SUB042 ,S
UB043 ,SUB044 を発生し、パルス発生器13B4
は図2Hに示すパルス列SUB061 ,SUB062 ,SU
063 ,SUB064 を発生する。これら図2B,D,
F,Hに示した各パルス列は図7に示したSUB00,S
UB02,SUB04,SUB06に該当し、各相毎に固定移
相データの値0ns,2ns,4ns,6nsずつ遅延
した多相パルスを発生させることができる。
【0028】このようにして各パルス発生器13B0
13B6 から出力された多相パルス列SUB00〜SUB
06をクロック発生器13Dに供給し、クロック発生器1
3Dにおいて、どの周期の何番目のパルスを選択するか
によって任意のタイミングを持つタイミングクロックを
発生させることができる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、各パルス発生器13B0 〜13B6のそれぞれの前
段に位相制御器23A〜23Dを設け、この位相制御器
23A〜23Dにおいて、各相毎に設定した固定移相デ
ータと、周期発生器13Aから送られて来る可変移相デ
ータとを加算し、その加算値によりパルス発生器13B
0〜13B6 で発生させるパルス列の遅延量を決め、更
に加算値が基準クロックREFCLKの1周期を越える
値になると周期パルスRATE0 を基準クロックREF
CLKの1周期分遅延させてパルス発生器13B0 〜1
3B6 に供給する構成としたから、半導体回路素子又は
同軸ケーブルのような遅延素子を用いることなく、図7
で説明したと等価な多相パルスを得ることができる。
【0030】よってこの発明によれば温度変動があって
も、遅延時間が変動することはなく精度のよいタイミン
グ信号を発生させることができる。また、同軸ケーブル
を用いた場合のように、インピーダンス不整合による反
射が発生することもないから、パルスの符号間干渉を引
き起すこともない。よって高速動作するIC試験装置に
適用することにより、精度の高いタイミング発生を期待
でき試験結果の信頼性を向上できる実益が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を説明するためのブロック
図。
【図2】図1の動作を説明するためのタイミングチャー
ト。
【図3】図1に示した実施例に用いた移相器の一例を説
明するための接続図。
【図4】図3に示した移相器の動作を説明するための波
形図。
【図5】IC試験装置の概要を説明するためのブロック
図。
【図6】従来のタイミング発生器の構成を説明するため
のブロック図。
【図7】図6に示した従来のタイミング発生器の動作を
説明するためのタイミングチャート。
【符号の説明】
13 タイミング発生器 13A 周期発生器 13B,13B0 〜13B3 パルス発生器 23A〜23D 位相制御回路 13D クロック発生器 HDAT0 可変移相データ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定時間ずつ遅延した多相パルス列を発
    生させ、この多相パルス列の中から所望のパルスを取出
    して所望のタイミングでパルスを発生させるタイミング
    発生器において、 周期パルスと可変移相データが与えられ、周期パルスが
    与えられる毎に可変移相データで与えられる時間ずつ遅
    延されたパルス列を発生することができるパルス発生器
    を多相パルスの相数分設け、この複数のパルス発生器に
    入力する可変移相データに各相毎に設けた位相設定レジ
    スタに設定した固定移相データを加算し、この加算結果
    が所定値に達する毎に各パルス発生器に入力する周期パ
    ルスの位相を順次シフトさせ、この周期パルスの遅延に
    より各パルス発生器から所定の時間ずつ遅延した多相パ
    ルスを発生させ、この多相パルスの中から所望のパルス
    を選択して取出すことにより所望のタイミングでパルス
    を出力することを特徴とするタイミング発生器。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のタイミング発生器におい
    て、上記複数のパルス発生器の各前段に位相制御器を設
    け、この位相制御器を位相設定レジスタと、加算器及び
    移相器とによって構成し、位相設定レジスタに各相に与
    える遅延時間に相当する固定移相データを設定し、この
    固定移相データと周期発生器から与えられる可変移相デ
    ータとを加算し、その加算値が所定値に達する毎に移相
    器により周期パルスを遅相させパルス発生器から出力さ
    れるパルス列の位相を順次シフトさせる構成としたこと
    を特徴とするタイミング発生器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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