JPH1151731A - 逆流防止機能付流量計測器および逆流防止機能付流量制御器 - Google Patents
逆流防止機能付流量計測器および逆流防止機能付流量制御器Info
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- JPH1151731A JPH1151731A JP9227353A JP22735397A JPH1151731A JP H1151731 A JPH1151731 A JP H1151731A JP 9227353 A JP9227353 A JP 9227353A JP 22735397 A JP22735397 A JP 22735397A JP H1151731 A JPH1151731 A JP H1151731A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガスユニットの省スペース化が図れる逆流防
止機能付流量計測器および逆流防止機能付流量制御器を
提供する。 【解決手段】 本体１ａ内にガス通路３を設け、このガ
ス通路３に層流バイパス部８と流量センサ部９を設け、
この流量センサ部９によりガス流量を検知するようにし
た流量計測器において、上記本体１ａ内にガスの逆流を
阻止する逆止弁１０を設けている。
止機能付流量計測器および逆流防止機能付流量制御器を
提供する。 【解決手段】 本体１ａ内にガス通路３を設け、このガ
ス通路３に層流バイパス部８と流量センサ部９を設け、
この流量センサ部９によりガス流量を検知するようにし
た流量計測器において、上記本体１ａ内にガスの逆流を
阻止する逆止弁１０を設けている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、逆流防止機能付流
量計測器および逆流防止機能付流量制御器に関する。
量計測器および逆流防止機能付流量制御器に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理体
である半導体ウエハに各種の処理を施す工程があり、こ
れらの工程を実行するために各種の処理装置が用いられ
ている。これらの処理装置においては、半導体ウエハを
収容して所定の処理を施すための処理炉を備えている。
この処理炉には、各種の処理ガスおよび不活性ガスを供
給する複数のガスラインを有し、ガスライン毎に流量を
制御する流量制御器を備えたガスユニット（処理ガス供
給装置）が接続されている。
である半導体ウエハに各種の処理を施す工程があり、こ
れらの工程を実行するために各種の処理装置が用いられ
ている。これらの処理装置においては、半導体ウエハを
収容して所定の処理を施すための処理炉を備えている。
この処理炉には、各種の処理ガスおよび不活性ガスを供
給する複数のガスラインを有し、ガスライン毎に流量を
制御する流量制御器を備えたガスユニット（処理ガス供
給装置）が接続されている。
【０００３】図３は、従来のガスユニットの一例を示し
ている。このガスユニット２２は、パージ用もしくはキ
ャリアガスとして、不活性ガス例えば窒素（Ｎ2）ガス
好ましくはピュアー窒素（Ｎ2）ガスを処理炉に供給す
るガスライン（以下、不活性ガスラインともいう。）２
３と、処理ガス例えばアンモニア（ＮＨ3）ガス、ジク
ロロシラン（ＳｉＨ2Ｃｌ2）ガス、亜酸化窒素（Ｎ
2Ｏ）ガス等を処理炉に供給する複数本例えば３本のガ
スライン（以下、処理ガスラインともいう。）２４，２
５，２６とを有している。
ている。このガスユニット２２は、パージ用もしくはキ
ャリアガスとして、不活性ガス例えば窒素（Ｎ2）ガス
好ましくはピュアー窒素（Ｎ2）ガスを処理炉に供給す
るガスライン（以下、不活性ガスラインともいう。）２
３と、処理ガス例えばアンモニア（ＮＨ3）ガス、ジク
ロロシラン（ＳｉＨ2Ｃｌ2）ガス、亜酸化窒素（Ｎ
2Ｏ）ガス等を処理炉に供給する複数本例えば３本のガ
スライン（以下、処理ガスラインともいう。）２４，２
５，２６とを有している。
【０００４】不活性ガスライン２３の下流側は、複数例
えば３つに分岐され、これら分岐ライン２３ａ，２３
ｂ，２３ｃには、分岐ライン毎に流量を所定値例えば毎
分２０リットル、毎分５リットル、毎分１リットルに制
御する流量制御器４１，４２，４３が設けられている。
また、処理ガスライン２４，２５，２６には、ガスライ
ン毎に流量を所定値例えば毎分５００ｃｃ、毎分２００
ｃｃ、毎分１リットルに制御する流量制御器４４，４
５，４６が設けられている。
えば３つに分岐され、これら分岐ライン２３ａ，２３
ｂ，２３ｃには、分岐ライン毎に流量を所定値例えば毎
分２０リットル、毎分５リットル、毎分１リットルに制
御する流量制御器４１，４２，４３が設けられている。
また、処理ガスライン２４，２５，２６には、ガスライ
ン毎に流量を所定値例えば毎分５００ｃｃ、毎分２００
ｃｃ、毎分１リットルに制御する流量制御器４４，４
５，４６が設けられている。
【０００５】処理ガスライン２４〜２６のうち、２つの
ガスライン２４，２５の下流側は、上記不活性ガスライ
ン２３における２つの分岐ライン２３ｃ，２３ｂの下流
側に接続されている。不活性ガスライン２３における１
つの分岐ライン２３ｃは、流量制御器４３よりも下流側
で分岐され、その分岐管２３ｄが他の１つの分岐ライン
２３ａに接続されている。処理ガスライン２４〜２６
は、流量制御器４４〜４６よりも下流側でそれぞれ分岐
され、これら分岐管２４ａ，２５ａ，２６ａが排気系に
接続されている。
ガスライン２４，２５の下流側は、上記不活性ガスライ
ン２３における２つの分岐ライン２３ｃ，２３ｂの下流
側に接続されている。不活性ガスライン２３における１
つの分岐ライン２３ｃは、流量制御器４３よりも下流側
で分岐され、その分岐管２３ｄが他の１つの分岐ライン
２３ａに接続されている。処理ガスライン２４〜２６
は、流量制御器４４〜４６よりも下流側でそれぞれ分岐
され、これら分岐管２４ａ，２５ａ，２６ａが排気系に
接続されている。
【０００６】上記ガスライン２３ａ〜２３ｃ，２４〜２
６の流量制御器４１〜４６よりも下流側および分岐管２
３ｄ，２４ａ，２５ａ，２６ａには、バルブＶ1〜Ｖ10
が設けられている。不活性ガスライン２３の流量制御器
４１〜４３よりも上流側で不活性ガスを各処理ガスライ
ン２４，２５，２６に導くための不活性ガス導管２７が
分岐され、この不活性ガス導管２７の下流側が更に処理
ガスライン２４，２５，２６の数だけ分岐され、これら
分岐管２７ａ，２７ｂ，２７ｃが各処理ガスライン２
４，２５，２６の流量制御器４４〜４６よりも上流側に
それぞれ接続されている。
６の流量制御器４１〜４６よりも下流側および分岐管２
３ｄ，２４ａ，２５ａ，２６ａには、バルブＶ1〜Ｖ10
が設けられている。不活性ガスライン２３の流量制御器
４１〜４３よりも上流側で不活性ガスを各処理ガスライ
ン２４，２５，２６に導くための不活性ガス導管２７が
分岐され、この不活性ガス導管２７の下流側が更に処理
ガスライン２４，２５，２６の数だけ分岐され、これら
分岐管２７ａ，２７ｂ，２７ｃが各処理ガスライン２
４，２５，２６の流量制御器４４〜４６よりも上流側に
それぞれ接続されている。
【０００７】そして、上記不活性ガス導管２７の分岐管
２７ａ，２７ｂ，２７ｃには、上記処理ガスライン２４
〜２６における各流量制御器４４，４５，４６と対応さ
せて流量計測器５１，５２，５３がそれぞれ設けられて
いる。また、処理ガスライン２４〜２６の流量制御器４
４〜４６よりも上流側および不活性ガス導管２７の各分
岐管２７ａ，２７ｂ，２７ｃには、バルブＶ11〜Ｖ16が
設けられている。
２７ａ，２７ｂ，２７ｃには、上記処理ガスライン２４
〜２６における各流量制御器４４，４５，４６と対応さ
せて流量計測器５１，５２，５３がそれぞれ設けられて
いる。また、処理ガスライン２４〜２６の流量制御器４
４〜４６よりも上流側および不活性ガス導管２７の各分
岐管２７ａ，２７ｂ，２７ｃには、バルブＶ11〜Ｖ16が
設けられている。
【０００８】なお、ＨＶ1〜ＨＶ4は各ガスライン２３，
２４，２５，２６のガス源側に設けられたハンドバル
ブ、Ｆ1〜Ｆ4はハンドバルブＨＶ1〜ＨＶ4の下流に設け
られたフィルタ、ＲＧ1〜ＲＧ3はレギュレータ、ＰＴ1
〜ＰＴ4は圧力計である。また、ＣＶ1〜ＣＶ6は処理ガ
スライン２４，２５，２６の分岐管２４ａ，２５ａ，２
６ａおよび不活性ガス導管２７の分岐管２７ａ，２７
ｂ，２７ｃに設けられた逆止弁である。
２４，２５，２６のガス源側に設けられたハンドバル
ブ、Ｆ1〜Ｆ4はハンドバルブＨＶ1〜ＨＶ4の下流に設け
られたフィルタ、ＲＧ1〜ＲＧ3はレギュレータ、ＰＴ1
〜ＰＴ4は圧力計である。また、ＣＶ1〜ＣＶ6は処理ガ
スライン２４，２５，２６の分岐管２４ａ，２５ａ，２
６ａおよび不活性ガス導管２７の分岐管２７ａ，２７
ｂ，２７ｃに設けられた逆止弁である。
【０００９】更に、２９は処理ガス成分が結露しないよ
うにガスライン２５および２３ｂを加熱する加熱手段で
ある。上記バルブＶ1〜Ｖ16のうち、Ｖ1，Ｖ3，Ｖ6，Ｖ
8，Ｖ10，Ｖ12，Ｖ14，Ｖ16は停電時に閉に、Ｖ2，Ｖ
4，Ｖ5，Ｖ7，Ｖ9，Ｖ11，Ｖ13，Ｖ15は開になるように
構成されており、安全性の向上が図られている。上記流
量制御器４１〜４６のうち、４１はノーマルクローズタ
イプ、４２〜４６はノーマルオープンタイプである。
うにガスライン２５および２３ｂを加熱する加熱手段で
ある。上記バルブＶ1〜Ｖ16のうち、Ｖ1，Ｖ3，Ｖ6，Ｖ
8，Ｖ10，Ｖ12，Ｖ14，Ｖ16は停電時に閉に、Ｖ2，Ｖ
4，Ｖ5，Ｖ7，Ｖ9，Ｖ11，Ｖ13，Ｖ15は開になるように
構成されており、安全性の向上が図られている。上記流
量制御器４１〜４６のうち、４１はノーマルクローズタ
イプ、４２〜４６はノーマルオープンタイプである。
【００１０】上述のように構成されたガスユニット２２
においては、バルブＶ1〜Ｖ16を適宜切換えることによ
り、所望のガスライン２３ａ〜２３ｃ，２４〜２６を介
して所望の処理ガスまたは不活性ガスを処理炉に供給す
ることができる。上記ガスユニットにおいては、ある程
度使用すると、処理ガスのガス成分が付着性を有する場
合、処理ガスライン２４〜２６における管内壁や流量制
御器４４〜４６等にガス成分が付着堆積し、流量制御の
精度が低下したり、所定の流量を供給できなくなったり
することがある。
においては、バルブＶ1〜Ｖ16を適宜切換えることによ
り、所望のガスライン２３ａ〜２３ｃ，２４〜２６を介
して所望の処理ガスまたは不活性ガスを処理炉に供給す
ることができる。上記ガスユニットにおいては、ある程
度使用すると、処理ガスのガス成分が付着性を有する場
合、処理ガスライン２４〜２６における管内壁や流量制
御器４４〜４６等にガス成分が付着堆積し、流量制御の
精度が低下したり、所定の流量を供給できなくなったり
することがある。
【００１１】このため、使用の初期と所定期間使用後
（例えばメンテナンスをかける時）に、不活性ガス導管
２７を介して処理ガスライン２４，２５，２６毎に不活
性ガスを流し、流量計測器５１，５２，５３により流量
を計測することにより、流量制御器４４，４５，４６を
含む処理ガスライン２４，２５，２６が正常であるかど
うかを検査している。
（例えばメンテナンスをかける時）に、不活性ガス導管
２７を介して処理ガスライン２４，２５，２６毎に不活
性ガスを流し、流量計測器５１，５２，５３により流量
を計測することにより、流量制御器４４，４５，４６を
含む処理ガスライン２４，２５，２６が正常であるかど
うかを検査している。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ガスユ
ニット２２においては、処理ガスがバルブトラブルによ
り逆流することを防ぐとともに流量計測器５１，５２，
５３の精度を確保するために、流量計測器５１，５２，
５３の下流側にガスの逆流を阻止する逆止弁ＣＶ4，Ｃ
Ｖ5，ＣＶ6がそれぞれ設けられている。このため、これ
らの設置スペースが多く必要となり、ガスユニット２２
の省スペース化を図る上で妨げとなっていた。なお、流
量制御器の下流側においても、同様の問題があった。
ニット２２においては、処理ガスがバルブトラブルによ
り逆流することを防ぐとともに流量計測器５１，５２，
５３の精度を確保するために、流量計測器５１，５２，
５３の下流側にガスの逆流を阻止する逆止弁ＣＶ4，Ｃ
Ｖ5，ＣＶ6がそれぞれ設けられている。このため、これ
らの設置スペースが多く必要となり、ガスユニット２２
の省スペース化を図る上で妨げとなっていた。なお、流
量制御器の下流側においても、同様の問題があった。
【００１３】そこで、本発明の目的は、ガスユニットの
省スペース化が図れる逆流防止機能付流量計測器および
逆流防止機能付流量制御器を提供することにある。
省スペース化が図れる逆流防止機能付流量計測器および
逆流防止機能付流量制御器を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のうち請求項１に係る発明は、本体内にガス通
路を設け、このガス通路に層流バイパス部と流量センサ
部を設け、この流量センサ部によりガス流量を検知する
ようにした流量計測器において、上記本体内にガスの逆
流を阻止する逆止弁を設けたことを特徴とする。
に本発明のうち請求項１に係る発明は、本体内にガス通
路を設け、このガス通路に層流バイパス部と流量センサ
部を設け、この流量センサ部によりガス流量を検知する
ようにした流量計測器において、上記本体内にガスの逆
流を阻止する逆止弁を設けたことを特徴とする。
【００１５】請求項２に係る発明は、本体内にガス通路
を設け、このガス通路に層流バイパス部と流量センサ部
および流量制御バルブを設け、流量センサ部からの流量
信号と外部からの設定信号に基いて駆動される流量制御
バルブによりガス流量を制御するようにした流量制御器
において、上記本体内にガスの逆流を阻止する逆止弁を
設けたことを特徴とする。
を設け、このガス通路に層流バイパス部と流量センサ部
および流量制御バルブを設け、流量センサ部からの流量
信号と外部からの設定信号に基いて駆動される流量制御
バルブによりガス流量を制御するようにした流量制御器
において、上記本体内にガスの逆流を阻止する逆止弁を
設けたことを特徴とする。
【００１６】請求項３に係る発明は、請求項２記載の逆
流防止機能付流量制御器において、上記流量センサ部お
よび流量制御バルブの電気回路を有する基板が上記本体
から切り離されて別置きにされていることを特徴とす
る。
流防止機能付流量制御器において、上記流量センサ部お
よび流量制御バルブの電気回路を有する基板が上記本体
から切り離されて別置きにされていることを特徴とす
る。
【００１７】
【実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添付図面
に基づいて詳述する。先ず、本発明の第１の実施の形態
である逆流防止機能付流量計測器について図１を参照し
て説明する。
に基づいて詳述する。先ず、本発明の第１の実施の形態
である逆流防止機能付流量計測器について図１を参照し
て説明する。
【００１８】図１において、１は逆流防止機能付流量計
測器であり、この逆流防止機能付流量計測器１の本体１
ａの内部には、これを長手方向に貫通するようにガス通
路３が設けられている。上記本体１ａの一端と他端に
は、上記ガス通路３の入口４と出口５が設けられている
とともに、配管を接続するための接続部として雄ねじ部
６，７が形成されている。
測器であり、この逆流防止機能付流量計測器１の本体１
ａの内部には、これを長手方向に貫通するようにガス通
路３が設けられている。上記本体１ａの一端と他端に
は、上記ガス通路３の入口４と出口５が設けられている
とともに、配管を接続するための接続部として雄ねじ部
６，７が形成されている。
【００１９】上記本体１ａ内におけるガス通路３には、
層流バイパス部８と流量センサ部９が設けられており、
入口４から流入したガスは先ず層流バイパス部８と流量
センサ部９に分流され、この流量センサ部９によりガス
流量を検知するように構成されている。流量センサ部９
には、毛細管が使用されており、ほとんどのガスは層流
バイパス部８に流れる。その分流比を温度や圧力などの
外的要因に関係なく常に一定にするために、層流バイパ
ス８には、流量センサ部９と同等の毛細管が使用されて
いる。流量センサ部９は、質量流量に比例した温度変化
をとらえて図示しないブリッジ回路で電気信号に変換
し、流量信号として増幅回路等を介して出力するように
構成されている。
層流バイパス部８と流量センサ部９が設けられており、
入口４から流入したガスは先ず層流バイパス部８と流量
センサ部９に分流され、この流量センサ部９によりガス
流量を検知するように構成されている。流量センサ部９
には、毛細管が使用されており、ほとんどのガスは層流
バイパス部８に流れる。その分流比を温度や圧力などの
外的要因に関係なく常に一定にするために、層流バイパ
ス８には、流量センサ部９と同等の毛細管が使用されて
いる。流量センサ部９は、質量流量に比例した温度変化
をとらえて図示しないブリッジ回路で電気信号に変換
し、流量信号として増幅回路等を介して出力するように
構成されている。
【００２０】そして、上記本体１ａ内には、ガスの逆流
を阻止する逆止弁１０が設けられている。この逆止弁１
０は、出口５側からのガスの逆流を阻止するために、本
体１ａの出口５側に設けられている。本体１ａの出口５
側には、逆止弁１０を組込むための円筒状の弁室１１が
形成されている。この弁室１１は、層流バイパス部８の
下流側にガス通路３と同心状で且つこれよりも大きい内
径で形成されていることが好ましい。
を阻止する逆止弁１０が設けられている。この逆止弁１
０は、出口５側からのガスの逆流を阻止するために、本
体１ａの出口５側に設けられている。本体１ａの出口５
側には、逆止弁１０を組込むための円筒状の弁室１１が
形成されている。この弁室１１は、層流バイパス部８の
下流側にガス通路３と同心状で且つこれよりも大きい内
径で形成されていることが好ましい。
【００２１】上記弁室１１内に弁座であるシートパッキ
ン１２と円筒状のグランド１３が嵌挿されている。上記
グランド１３内には、周囲から内部にガスを通過させる
ガス通過孔１４を有し、このガス通過孔１４を介してガ
スを出口５側へ流す弁体１５が摺動可能に嵌挿されてい
る。また、上記本体１５には、上記出口５を形成した出
口形成体１６が上記弁室１１の開口端を覆うごとく螺合
により着脱可能に取付けられている。出口形成体１６の
基端部１６ａは、上記弁室１１の一部を形成すべく円筒
状に形成されている。本体１ａの弁室１１の開口端側に
は、これよりも大きい内径の凹部１７が形成されてお
り、この凹部１７に上記出口形成体１６の基端部１６ａ
が螺合されている。すなわち、凹部１７の内周と出口形
成体１６の基端部１６ａの外周には、互に螺合する雌ね
じ部と雄ねじ部が形成されている（図示省略）。
ン１２と円筒状のグランド１３が嵌挿されている。上記
グランド１３内には、周囲から内部にガスを通過させる
ガス通過孔１４を有し、このガス通過孔１４を介してガ
スを出口５側へ流す弁体１５が摺動可能に嵌挿されてい
る。また、上記本体１５には、上記出口５を形成した出
口形成体１６が上記弁室１１の開口端を覆うごとく螺合
により着脱可能に取付けられている。出口形成体１６の
基端部１６ａは、上記弁室１１の一部を形成すべく円筒
状に形成されている。本体１ａの弁室１１の開口端側に
は、これよりも大きい内径の凹部１７が形成されてお
り、この凹部１７に上記出口形成体１６の基端部１６ａ
が螺合されている。すなわち、凹部１７の内周と出口形
成体１６の基端部１６ａの外周には、互に螺合する雌ね
じ部と雄ねじ部が形成されている（図示省略）。
【００２２】そして、上記弁室１１における弁体１５と
出口形成体１６との間には、ガスの流れ方向に対向して
弁体１５をシートパッキン１２に着座させる方向（閉弁
方向）に付勢する付勢手段であるコイルバネ１８が介設
されている。したがって、上記逆止弁１０は、ガスの圧
力によって弁体１５がコイルバネ１８のバネ力に抗して
シートパッキン１２より離間する方向（開弁方向）に押
込まれることにより、ガスがガス通過孔１４を介して出
口５側へ流れるが、出口側からガスが逆流しようとする
と、弁体１５がシートパッキン１２に着座して逆流を阻
止するように構成されている。上記流量センサ部９のブ
リッジ回路や増幅回路等の電気回路を有する基板１９
は、本体１ａには直接設けられておらず、本体１ａから
切り離されて別置きにされていることが好ましい。この
場合、基板１９と流量センサ部９とが電線（ケーブル）
２０で接続されている。
出口形成体１６との間には、ガスの流れ方向に対向して
弁体１５をシートパッキン１２に着座させる方向（閉弁
方向）に付勢する付勢手段であるコイルバネ１８が介設
されている。したがって、上記逆止弁１０は、ガスの圧
力によって弁体１５がコイルバネ１８のバネ力に抗して
シートパッキン１２より離間する方向（開弁方向）に押
込まれることにより、ガスがガス通過孔１４を介して出
口５側へ流れるが、出口側からガスが逆流しようとする
と、弁体１５がシートパッキン１２に着座して逆流を阻
止するように構成されている。上記流量センサ部９のブ
リッジ回路や増幅回路等の電気回路を有する基板１９
は、本体１ａには直接設けられておらず、本体１ａから
切り離されて別置きにされていることが好ましい。この
場合、基板１９と流量センサ部９とが電線（ケーブル）
２０で接続されている。
【００２３】以上の構成からなる逆流防止機能付流量計
測器１は、例えば図３に示したガスユニット２２におい
て対になった流量計測器５１〜５３と逆止弁ＣＶ4〜Ｃ
Ｖ6に換えて設けられる。この逆流防止機能付流量計測
器１によれば、上記本体１ａ内にガスの逆流を阻止する
逆止弁１０を設けて構成されているため、逆止弁ＣＶ4
〜ＣＶ6の設置スペースを不要にでき、ガスユニット２
２の省スペース化が図れる。また、上記本体１ａから流
量センサ部９の電気回路を有する基板２１が切り離され
て別置きにされているため、ガスユニットの更なる省ス
ペース化が図れる。また、本体１ａの出口５側に弁室１
１を形成し、この弁室１１内に逆止弁１０を組込み、弁
室１１の開口端に出口形成体１６を着脱可能に設けてい
るため、出口形成体１６を本体１ａから取外すことによ
り、逆止弁１０の交換等のメンテナンスを容易に行うこ
とができる。
測器１は、例えば図３に示したガスユニット２２におい
て対になった流量計測器５１〜５３と逆止弁ＣＶ4〜Ｃ
Ｖ6に換えて設けられる。この逆流防止機能付流量計測
器１によれば、上記本体１ａ内にガスの逆流を阻止する
逆止弁１０を設けて構成されているため、逆止弁ＣＶ4
〜ＣＶ6の設置スペースを不要にでき、ガスユニット２
２の省スペース化が図れる。また、上記本体１ａから流
量センサ部９の電気回路を有する基板２１が切り離され
て別置きにされているため、ガスユニットの更なる省ス
ペース化が図れる。また、本体１ａの出口５側に弁室１
１を形成し、この弁室１１内に逆止弁１０を組込み、弁
室１１の開口端に出口形成体１６を着脱可能に設けてい
るため、出口形成体１６を本体１ａから取外すことによ
り、逆止弁１０の交換等のメンテナンスを容易に行うこ
とができる。
【００２４】図２は、本発明の第２の実施の形態である
逆流防止機能付流量制御器２を示している。本実施の形
態において、上記第１の実施の形態と同一部分には同一
参照符合を付して説明する。図２において、２は逆流防
止機能付流量制御器であり、この逆流防止機能付流量制
御器２の本体２ａの内部には、これを長手方向に貫通す
るようにガス通路３が設けられている。上記本体２ａの
一端と他端には、上記ガス通路３の入口４と出口５が設
けられているとともに、配管を接続するための接続部と
して雄ねじ部６，７が形成されている。
逆流防止機能付流量制御器２を示している。本実施の形
態において、上記第１の実施の形態と同一部分には同一
参照符合を付して説明する。図２において、２は逆流防
止機能付流量制御器であり、この逆流防止機能付流量制
御器２の本体２ａの内部には、これを長手方向に貫通す
るようにガス通路３が設けられている。上記本体２ａの
一端と他端には、上記ガス通路３の入口４と出口５が設
けられているとともに、配管を接続するための接続部と
して雄ねじ部６，７が形成されている。
【００２５】上記本体２ａ内におけるガス通路３には、
層流バイパス部８と流量センサ部９が設けられており、
入口４から流入したガスは先ず層流バイパス部８と流量
センサ部９に分流され、この流量センサ部９によりガス
流量を検知するように構成されている。流量センサ部９
には、毛細管が使用されており、ほとんどのガスは層流
バイパス部８に流れる。その分流比を温度や圧力などの
外的要因に関係なく常に一定にするために、層流バイパ
ス８には、流量センサ部９と同等の毛細管が使用されて
いる。流量センサ部９は、質量流量に比例した温度変化
をとらえて図示しないブリッジ回路で電気信号に変換
し、流量信号として増幅回路等を介して出力するように
構成されている。
層流バイパス部８と流量センサ部９が設けられており、
入口４から流入したガスは先ず層流バイパス部８と流量
センサ部９に分流され、この流量センサ部９によりガス
流量を検知するように構成されている。流量センサ部９
には、毛細管が使用されており、ほとんどのガスは層流
バイパス部８に流れる。その分流比を温度や圧力などの
外的要因に関係なく常に一定にするために、層流バイパ
ス８には、流量センサ部９と同等の毛細管が使用されて
いる。流量センサ部９は、質量流量に比例した温度変化
をとらえて図示しないブリッジ回路で電気信号に変換
し、流量信号として増幅回路等を介して出力するように
構成されている。
【００２６】また、本体２ａ内におけるガス通路３の流
量センサ部９よりも下流側には、流量制御バルブ２１が
設けられている。この流量制御バルブ２１は、外部から
の設定信号と流量センサ部９からの流量信号が図示しな
い比較制御回路で差信号としてバルブ駆動回路に送ら
れ、このバルブ駆動回路により上記差信号がゼロになる
方向に駆動され、ガス流量を常に設定された流量に制御
するように構成されている。流量制御バルブ２１として
は、ピエゾバルブ、サーマルバルブ、電磁バルブの３方
式があり、例えばピエゾバルブが用いられている。
量センサ部９よりも下流側には、流量制御バルブ２１が
設けられている。この流量制御バルブ２１は、外部から
の設定信号と流量センサ部９からの流量信号が図示しな
い比較制御回路で差信号としてバルブ駆動回路に送ら
れ、このバルブ駆動回路により上記差信号がゼロになる
方向に駆動され、ガス流量を常に設定された流量に制御
するように構成されている。流量制御バルブ２１として
は、ピエゾバルブ、サーマルバルブ、電磁バルブの３方
式があり、例えばピエゾバルブが用いられている。
【００２７】そして、上記本体２ａ内には、ガスの逆流
を阻止する逆止弁１０が設けられている。この逆止弁１
０は、出口５側からのガスの逆流を阻止するために、本
体２ａの出口側に設けられている。本体２ａの出口５側
には、逆止弁１０を組込むための円筒状の弁室１１が形
成されている。この弁室１１は、流量制御バルブ２１の
下流側にガス通路３と同心状で且つこれよりも大きい内
径で形成されていることが好ましい。
を阻止する逆止弁１０が設けられている。この逆止弁１
０は、出口５側からのガスの逆流を阻止するために、本
体２ａの出口側に設けられている。本体２ａの出口５側
には、逆止弁１０を組込むための円筒状の弁室１１が形
成されている。この弁室１１は、流量制御バルブ２１の
下流側にガス通路３と同心状で且つこれよりも大きい内
径で形成されていることが好ましい。
【００２８】上記弁室１１内に弁座であるシートパッキ
ン１２と円筒状のグランド１３が嵌挿されている。上記
グランド１３内には、周囲から内部にガスを通過させる
ガス通過孔１４を有し、このガス通過孔１４を介してガ
スを出口５側へ流す弁体１５が摺動可能に嵌挿されてい
る。また、上記本体２ａには、上記出口５を形成した出
口形成体１６が上記弁室１１の開口端を覆うごとく螺合
により着脱可能に取付けられている。出口形成体１６の
基端部１６ａは、上記弁室１１の一部を形成すべく円筒
状に形成されている。本体１ａの弁室１１の開口端側に
は、これよりも大きい内径の凹部１７が形成されてお
り、この凹部１７に上記出口形成体１６の基端部１６ａ
が螺合されている。すなわち、凹部１７の内周と出口形
成体１６の基端部１６ａの外周には、互に螺合する雌ね
じ部と雄ねじ部が形成されている（図示省略）。
ン１２と円筒状のグランド１３が嵌挿されている。上記
グランド１３内には、周囲から内部にガスを通過させる
ガス通過孔１４を有し、このガス通過孔１４を介してガ
スを出口５側へ流す弁体１５が摺動可能に嵌挿されてい
る。また、上記本体２ａには、上記出口５を形成した出
口形成体１６が上記弁室１１の開口端を覆うごとく螺合
により着脱可能に取付けられている。出口形成体１６の
基端部１６ａは、上記弁室１１の一部を形成すべく円筒
状に形成されている。本体１ａの弁室１１の開口端側に
は、これよりも大きい内径の凹部１７が形成されてお
り、この凹部１７に上記出口形成体１６の基端部１６ａ
が螺合されている。すなわち、凹部１７の内周と出口形
成体１６の基端部１６ａの外周には、互に螺合する雌ね
じ部と雄ねじ部が形成されている（図示省略）。
【００２９】そして、上記弁室１１における弁体１５と
出口形成体１６との間には、ガスの流れ方向に対向して
弁体１５をシートパッキン１２に着座させる方向（閉弁
方向）に付勢する付勢手段であるコイルバネ１８が介設
されている。したがって、上記逆止弁１０は、ガスの圧
力によって弁体１５がコイルバネ１８のバネ力に抗して
シートパッキン１２から離間する方向（開弁方向）に押
込まれることにより、ガスがガス通過孔１４を介して出
口５側へ流れるが、出口側からガスが逆流しようとする
と、弁体１５がシートパッキン１２に着座して逆流を阻
止するように構成されている。
出口形成体１６との間には、ガスの流れ方向に対向して
弁体１５をシートパッキン１２に着座させる方向（閉弁
方向）に付勢する付勢手段であるコイルバネ１８が介設
されている。したがって、上記逆止弁１０は、ガスの圧
力によって弁体１５がコイルバネ１８のバネ力に抗して
シートパッキン１２から離間する方向（開弁方向）に押
込まれることにより、ガスがガス通過孔１４を介して出
口５側へ流れるが、出口側からガスが逆流しようとする
と、弁体１５がシートパッキン１２に着座して逆流を阻
止するように構成されている。
【００３０】上記流量センサ部９のブリッジ回路や増幅
回路等および上記流量制御バルブ２１の比較制御回路や
バルブ駆動回路等の電気回路を有する基板１９は、本体
２ａには直接設けられておらず、本体２ａから切り離さ
れて別置きにされていることが好ましい。この場合、基
板１９と流量センサ部９および流量制御バルブ２１とが
電線（ケーブル）２０で接続される。
回路等および上記流量制御バルブ２１の比較制御回路や
バルブ駆動回路等の電気回路を有する基板１９は、本体
２ａには直接設けられておらず、本体２ａから切り離さ
れて別置きにされていることが好ましい。この場合、基
板１９と流量センサ部９および流量制御バルブ２１とが
電線（ケーブル）２０で接続される。
【００３１】以上の構成からなる逆流防止機能付流量制
御器２は、ガスユニットにおいて対に設けられた流量制
御器と逆止弁に換えて設けられる。この逆流防止機能付
流量制御器２によれば、その本体２ａ内にガスの逆流を
阻止する逆止弁１０を設けて構成されているため、逆止
弁の設置スペースを不要にでき、ガスユニットの省スペ
ース化が図れる。また、上記本体２ａから流量センサ部
９および流量制御バルブ２１の電気回路を有する基板１
９が切り離されて別置きにされているため、ガスユニッ
トの更なる省スペース化が図れる。また、本体２ａの出
口５側に弁室１１を形成し、この弁室１１内に逆止弁１
０を組込み、弁室１１の開口端に出口形成体１６を着脱
可能に設けているため、出口形成体１６を本体２ａから
取外すことにより、逆止弁１０の交換等のメンテナンス
を容易に行うことができる。
御器２は、ガスユニットにおいて対に設けられた流量制
御器と逆止弁に換えて設けられる。この逆流防止機能付
流量制御器２によれば、その本体２ａ内にガスの逆流を
阻止する逆止弁１０を設けて構成されているため、逆止
弁の設置スペースを不要にでき、ガスユニットの省スペ
ース化が図れる。また、上記本体２ａから流量センサ部
９および流量制御バルブ２１の電気回路を有する基板１
９が切り離されて別置きにされているため、ガスユニッ
トの更なる省スペース化が図れる。また、本体２ａの出
口５側に弁室１１を形成し、この弁室１１内に逆止弁１
０を組込み、弁室１１の開口端に出口形成体１６を着脱
可能に設けているため、出口形成体１６を本体２ａから
取外すことにより、逆止弁１０の交換等のメンテナンス
を容易に行うことができる。
【００３２】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。
【００３３】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な効果を奏することができる。
な効果を奏することができる。
【００３４】（１）請求項１に係る発明によれば、本体
内にガス通路を設け、このガス通路に層流バイパス部と
流量センサ部を設け、この流量センサ部によりガス流量
を検知するようにした流量計測器において、上記本体内
にガスの逆流を阻止する逆止弁を設けているため、逆止
弁の設置スペースを不要にでき、ガスユニットの省スペ
ース化が図れる。
内にガス通路を設け、このガス通路に層流バイパス部と
流量センサ部を設け、この流量センサ部によりガス流量
を検知するようにした流量計測器において、上記本体内
にガスの逆流を阻止する逆止弁を設けているため、逆止
弁の設置スペースを不要にでき、ガスユニットの省スペ
ース化が図れる。
【００３５】（２）請求項２に係る発明によれば、本体
内にガス通路を設け、このガス通路に層流バイパス部と
流量センサ部および流量制御バルブを設け、流量センサ
部からの流量信号と外部からの設定信号に基いて駆動さ
れる流量制御バルブによりガス流量を制御するようにし
た流量制御器において、上記本体内にガスの逆流を阻止
する逆止弁を設けているため、逆止弁の設置スペースを
不要にでき、ガスユニットの省スペース化が図れる。
内にガス通路を設け、このガス通路に層流バイパス部と
流量センサ部および流量制御バルブを設け、流量センサ
部からの流量信号と外部からの設定信号に基いて駆動さ
れる流量制御バルブによりガス流量を制御するようにし
た流量制御器において、上記本体内にガスの逆流を阻止
する逆止弁を設けているため、逆止弁の設置スペースを
不要にでき、ガスユニットの省スペース化が図れる。
【００３６】（３）請求項３に係る発明によれば、請求
項２記載の逆流防止機能付流量制御器において、上記流
量センサ部および流量制御バルブの電気回路を有する基
板が上記本体から切り離されて別置きにされているた
め、ガスユニットの更なる省スペース化が図れる。
項２記載の逆流防止機能付流量制御器において、上記流
量センサ部および流量制御バルブの電気回路を有する基
板が上記本体から切り離されて別置きにされているた
め、ガスユニットの更なる省スペース化が図れる。
【図１】本発明の第１の実施の形態である逆流防止機能
付流量計測器を示す断面図である。
付流量計測器を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態である逆流防止機能
付流量制御器を示す断面図である。
付流量制御器を示す断面図である。
【図３】従来のガスユニットの一例を示す構成図であ
る。
る。
１ 逆流防止機能付流量計測器 １ａ 本体 ２ 逆流防止機能付流量制御器 ２ａ 本体 ３ ガス通路 ８ 層流バイパス部 ９ 流量センサ部 １０ 逆止弁 １９ 基板 ２１ 流量制御バルブ
Claims (3)
- 【請求項１】 本体内にガス通路を設け、このガス通路
に層流バイパス部と流量センサ部を設け、この流量セン
サ部によりガス流量を検知するようにした流量計測器に
おいて、上記本体内にガスの逆流を阻止する逆止弁を設
けたことを特徴とする逆流防止機能付流量計測器。 - 【請求項２】 本体内にガス通路を設け、このガス通路
に層流バイパス部と流量センサ部および流量制御バルブ
を設け、流量センサ部からの流量信号と外部からの設定
信号に基いて駆動される流量制御バルブによりガス流量
を制御するようにした流量制御器において、上記本体内
にガスの逆流を阻止する逆止弁を設けたことを特徴とす
る逆流防止機能付流量制御器。 - 【請求項３】 上記流量センサ部および流量制御バルブ
の電気回路を有する基板が上記本体から切り離されて別
置きにされていることを特徴とする請求項２記載の逆流
防止機能付流量制御器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9227353A JPH1151731A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 逆流防止機能付流量計測器および逆流防止機能付流量制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9227353A JPH1151731A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 逆流防止機能付流量計測器および逆流防止機能付流量制御器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151731A true JPH1151731A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16859477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9227353A Pending JPH1151731A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 逆流防止機能付流量計測器および逆流防止機能付流量制御器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1151731A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013115208A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-10 | Tokyo Electron Ltd | 気化原料供給装置、これを備える基板処理装置、及び気化原料供給方法 |
-
1997
- 1997-08-08 JP JP9227353A patent/JPH1151731A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013115208A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-10 | Tokyo Electron Ltd | 気化原料供給装置、これを備える基板処理装置、及び気化原料供給方法 |
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