JPH11511568A - 波長選択回折格子利用型光学カプラ - Google Patents

波長選択回折格子利用型光学カプラ

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JPH11511568A
JPH11511568A JP9510393A JP51039396A JPH11511568A JP H11511568 A JPH11511568 A JP H11511568A JP 9510393 A JP9510393 A JP 9510393A JP 51039396 A JP51039396 A JP 51039396A JP H11511568 A JPH11511568 A JP H11511568A
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ケウィッチ,アンソニー・エス
ラクルジック,ジョージ・エイ
ヤリフ,アモン
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アロヨ・オプティクス・インコーポレイテッド
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Abstract

(57)【要約】 光通信の分野で種々の用途を有する波長選択光ファイバーカプラを開示する。このカプラは、互いに密着した異質の光ガイド(12、22)からなる。光による、永久の屈折率回折格子(42)がカプラの腰部(52)に記録されている。回折格子は、特定の波長範囲内のエネルギーを第1光ガイド(12)から第2光ガイド(22)へと濾過すると共に伝送する。直交非対称回折格子で、効率的なエネルギー伝送手段を得ている。カプラは、僅かだけ異なった波長で作用する複数のレーザーを単一ファイバーに組み込む、又は、マルチプレックスする。分散補償器やゲイン平坦化フィルターなどのその他の実施の形態も開示している。

Description

【発明の詳細な説明】 波長選択回折格子利用型光学カプラ 技術分野 本発明は、光ファイバーを利用した信号通信に関し、特に光ファイバーのカプ ラとその製造方法に関する。詳述すれば、本発明は、波長選択回折格子利用型光 学カプラと、接続部分に屈折率回折格子(refractive index grating)を利用した その他の装置に関する。 背景技術の説明 低損失型波長選択式カプラは、波長分割多重方式(WDM)に基づいた光ファイ バ通信ネットワークでは重要な部品となっている。WDMでは、個々の光ファイ バーが、中心波長がそれぞれ異なる幾つかのチャンネルを同時に伝送できるよう になっている。目的は、簡単に製造でき、高効率性と低損失性とを有する精密な 波長選択型カプラを提供することにある。波長選択式素子を製造する一つの技術 として、光ファイバーのコアに屈折率回折格子を記録する方法がある。この点に ついては、ヒル等の米国特許第4,474,427号(1984年)やグレン等の米国特許第4 ,725,110号(1988年)を参照のこと。光ファイバーにインライン回折格子を記録 する現に好ましい方法では、感光性コアを、感光性クラッドを透過する化学作用 光線(一般にUV線)の間の干渉パターンに曝している。 光ファイバーの感光性を高め、10-2以上の屈折率変化をもたらすために、火 炎ブラッシング(flame brushing)法、水素封入法(hydrogen loading)の如くの種 々の技法が導入されている。この点については、1989年刊のApplied Physics Le tters、Vol.54の第1087頁、及び、1991年刊の同誌Vol.58の第1813頁におけ るクエレット等の論稿や、アトキンズ等の米国特許第5,287,427号(1993年)を 参照されたし。別に、J.-L.アーチャンボー等は1993年刊のElectronics Letters 、Vol.29の第453頁において、0.006程度の屈折率変動が、248nmにおいて 単一高エネルギー(40mJ)パルスを用いることで未処理光ファイバー(10モ ル %Geコア)で得られたと報告している。 位相マスクを介してUV露光することで単一モード光ファイバーにブラッグ回 折格子を記録する方法が、アンダーソン等の米国特許第5,327,515号(1994年) 、スニツァー等の米国特許第5,351,321号(1994年)、ヒル等の米国特許第5,367 ,588号などに開示されている。この位相マスクは、厚み又は屈折率が周期的に変 化している透明基板であって、光ビームに照射されると、当該マスクの裏側に所 望の周期性を有する空間変調した光パターンを生ずるようになっている。 従来より報告されている光ファイバーの回折格子は、殆どが反射モードで作用 するようになっている。単一モード光ファイバーの開口径が小さい(N.A.〜0.11 )ことから、光ファイバーの長手軸と直交する回折格子の成分が光を損失の大き いクラッドモードに結合してしまう。長手軸に対する回折フリンジの最大許容オ フセット角度は一般に1°よりも小さい。また、効率の良いパワーでこの反射モ ードにアクセスすることは、波長が同一ファイバーの中で後方へ反射されること から困難である。この反射光にアクセスする一つの方法は、回折格子の前に3dB カプラを挿入して、後方反射したアウト結合(outcoupled)の光に正味6dBの損失 を導入することである。もう一つの方法は、回折格子の前に光学循環器(optical circulator)を挿入して後方伝播モードを別のファイバーに再指向させることで ある。この循環器は1dBかその程度の挿入損失をもたらすことになり、また、複 雑で嵩の大きい光学部品を必要とする。ファイバーの回折格子のフィルター作用 をカプラのスプリット作用(splitting)と低損失にて、しかも、エレガントにパ ッケージ化できるように組み合わせる方法は、WDM通信ネットワークにとって は魅力的であるように思われる。 もう一つ従来より知られている方法に、一方の光ガイドから別の光ガイドへと 瞬間結合(evanescent coupling)によりエネルギーを伝送する指向性結合を用い たものがある(アカデミックプレス社より1991年刊のD.マーキューズ著「Theor y of Dielectric Waveguides(誘電体導光管の理論)」、及び、サンダーズカレッ ジパブリッシングより1991年刊のA.ヤリフ著「Optical Electronics(電子光学) 」)。この瞬間結合は、互いに緻密に隣接した光ガイドのモードの指数テール(e xp onential tail)のオーバーラップにより発生するもので、指向性カプラ援用型装 置には一般的な作用モードである。それに対して、二本の光ガイドが単一の光ガ イドへと合体(merge)する場合にみられるように全体の光学モードがほぼオーバ ーラップすると、非瞬間結合が起こる。非瞬間結合に対して瞬間結合に依存する 装置(例えば指向性カプラ)には、相互作用強度が弱い問題がある。 指向性カプラ援用型装置を実現する方法では、長手方向に沿って並置させた二 本の同一の磨き上げたファイバーからなるカプラに回折格子を利用している(J. -L.アーチャンボー等の1994年刊のOptics Letters、Vol.19の第180頁)。二 本の光ガイドは結合部位において同一であるから、両方の光ガイドは同一伝播定 数(propagation constant)を有しており、エネルギーが両者間に伝送される。こ れにより、光のパワーが一方のファイバーから他方のファイバーへ漏れることか ら、二本の光ガイドを伝播している光信号の分離がうまく行かない。瞬間結合に 基づく他の装置としては、E.スニツァーに付与された米国特許第5,459,801号( 1995年10月17日)に開示されているものがある。この装置は、溶着でそれぞ れのコアを密着させて引き延ばした二本の同一の単一モードファイバーからなる 。結合部位の長さは、出力光が二つの出力ポートの内の一つのポートで全て合体 できるために、モード相互作用長(mode interaction length)の偶数倍ないし奇 数倍と正確に等しくなっていなければならない。その後、正確に位置決めしたブ ラッグ回折格子を腰部(waist)のコアにUV線照射で記録する。 R.アルフェメス等により米国特許第4,737,007号において、また、M.S.ウォ ーレン等により1986年刊のElectronics Letters、Vol.22、第681頁において 報告されている別の回折格子援用型指向性カプラ装置では、局部的に異質の光フ ァイバーを利用している。それがために二本のファイバーは非対称になって、二 本の光ファイバー内での光信号の分離性を向上させている。しかし、この装置で は何れか一つの磨き上げたファイバー上の薄表面層に喰刻した反射回折格子を利 用しているので、回折格子の結合強度を驚異的に減少している。それも、瞬間結 合に基づいている。この装置の致命的な問題点は、光が隣接するファイバーに後 方結合するような波長が、光が元のファイバ内で後方反射されるような波長(約 1 nm)に非常に近接している点にある。このような状態にあっては、一つだけの波 長を追加もしくはドロップさせるように構成した追加/ドロップ装置には適して いない帯域特性が発生して望ましくない。Erドープ型ファイバー増幅器(EDF A)ゲインウィンドウ(1520〜1560nm)での光通信用途にとっては、この後方反 射がこのウィンドウ外の波長にて発生するようにして、望ましくないクロストー クを防ぐ必要がある。後方反射波長と後方結合波長との分離は、従来のオールフ ァイバー回折格子援用型指向性カプラを用いたものでは実用上小さい。 1995年刊のIEEE Photonics Technology Letters、Vol.7、第388頁に掲載 されているように、F.ビロージュー等は、波長選択カプラとして作用するマッ ハ-ツェンダー型干渉計を組み立てた。この装置は、二本の干渉計アームの間で の正確に制御した位相差に依存していて、環境変化と製造パラメータの変化に非 常に左右されやすい。また、入力信号の有意的な一部が後方反射される。従って 、この装置は遠隔通信用部品に要求されている信頼性の要件を満たせるかどうか 疑わしい。 従来の回折格子援用型指向性カプラには、結合強度が比較的低いこと、それに 、後方反射光と後方結合光とでの波長分離が小さいなどの問題点がある。これら の問題点は、二本の結合した光学光ガイドが物理的に別々になっていて、光が依 然と元のコアにおいて主として案内されるようになっていることから発生してい る。それぞれの結合した光ガイドを伝播する光は、光学モードの、瞬間結合に対 応する瞬間テール(evanescent tails)においてのみオーバーラップする。二本の 元の光ファイバーを融合して局部的に引き延ばすと、直径が非常に小さい一本の 合体した光ガイドのコアが形成される。それより得られる光学モード伝播特性は 、多モードのシリカコア又は空気クラッドのある光ガイドのそのものである。二 本の光ガイドは、別々の光ガイドの元の光学モードのエネルギーが合体部位でほ ぼ非瞬間に相互作用するように合体されている。光ガイドの屈折率のパターンの 変動量が長手方向に充分遅く変化するから、光ガイドの単一固有モードにおける 断熱テーパー部に入射する光が、断熱過渡部(adiabatic transition region)を 伝播するにともなって単一局部スーパーモードになってしまう。このスーパーモ ード については、サンダーズカレッジパブリッシングより1991年刊のA.ヤリフ著「O ptical Electronics(電子光学)」に詳しく記載されている。光ガイドを単一波長 伝播部域に合体させることにより、屈折率回折格子による結合がほぼ増大する。 また、従来の回折格子援用型指向性カプラには、空気クラッドのある光ガイドよ りはむしろガラスにみられる様相伝播定数の差が小さいなどの問題点もある。そ の結果、後方反射光と後方結合光との波長の分離が小さい。 超過損失(excess loss)が非常に小さい(<0.05dB)溶着テーパー型単一モ ードカプラ(fused tapered single mode coupler)は、遠隔通信用の標準的な光 ファイバーを利用して自動化溶着カプラ製造ステーションで組立生産されている 。しかし、例えばイ-テック社又はゴウルド社が生産している従来の溶着型ファ イバーカプラは光応答型ではない(not photosensitive)。従来の単一モード光フ ァイバにはクラッドがあって、このクラッドは見掛け上純粋のシリカから成り立 っているが、コアには、比較的低強度のUV線深層照射で光応答性をもたらすド ーパントであるGeがドープされている。従って、屈折率回折格子が、全ファイ バーのほんの1%以下の体積に過ぎない光ファイバーのコアにおいてのみ記録さ れている。そのようなファイバーの直径を、溶着型カプラでは普通になっている ように例えば10倍、ほぼテーパー上に減少させると、光エネルギーは元のコア 外へ広がってしまう。直径がほぼ減少されているファイバーに記録されている回 折格子の場合、コア回折格子の光学モードに対する相互作用は小さい。その結果 、漸次減少している直径を有する標準的な単一モード光ファイバーにファイバー 回折格子を記録すると、回折効率が著しく減少する。 用語集 ここでの「光ガイド」とは、光屈折率の透明材料製光案内部(コア)を有し、 それが低屈折率の材料(クラッド)により囲繞されており、両屈折率がそれ自身 の長手方向に光モードを伝送するように選ばれている長尺構造体を意味する。 ここでの「光ファイバー」とは、見掛け上の断面が円形で、光屈折率材製の「 コア」と、それを囲繞する低屈折率材製の「クラッド」とからなり、それ自身の 長手方向に光モードを伝送するようになっている長尺構造体を意味する。 「エアクラッド型」ファイバーとは、元のコアが非常に小さくて有効ではなく 、また、伝送が減少した元のクラッドと周囲環境(一般に空気)とにより限定さ れているファイバー。 ここでの「回折格子」とは、媒体における距離の関数として屈折率が変わる領 域を意味する。一般に、必ずしもそうではないが、屈折率の変化は、近接する屈 折率の最大値の間の距離が一定となるものである。 「アポディゼーション」した回折格子は、円滑で、幾らか矩形のインデックス 変調エンベロープを示す。 回折格子の「帯域幅」とは、回折格子の反射率が、当該回折格子の反射率のピ ーク値の50%となる二つの点間での波長の隔たりを意味する。 ここでの「カプラ」とは、それぞれのモードフィールドがある程度オーバーラ ップするように互いに密接して配置した二本かそれ以上のファイバーからなる光 ガイドを意味する。 ここでの「腰部」とは、長尺構造体の部分であって、外周が最小になっている 部分を意味する。 ここでの「非対称カプラ」とは、長手方向に沿う接続部近傍の部位において互 いに異質の二本かそれ以上の光ガイドからなる構造体を意味する。 「直交方向非対称」回折格子("transversely asymmetric”grating)とは、長 手軸と直交する方向に沿う光ガイドの中心軸からの距離の関数としての屈折率変 化が 長手方向と直交するが、それとは反対方向での屈折率変化とは同一とはな らない屈折率回折格子の(an index of refraction grating)を意味する。この直 交方向非対称回折格子は、光ガイドの長手軸又はモード伝播方向に対して非ゼロ 角度にて(nonzero angles)回折ベクトル成分を有している。 「スーパーモード」とは、完全な複合光ガイド構造体の光学固有モードを意味 する。 発明の摘要 特定の波長の光学エネルギーを一方の光ガイドから他方の光ガイドへと向き直 す狭帯域波長選択式光学カプラについて説明する。屈折率回折格子は、非対称カ プラの腰部に設けられていると共に、多波長入力における反射波長エネルギーに 対して、特定の光路に沿って選択された波長の向きを直すように配置されている 。従って、本発明は、特定の波長チャンネルでの特定の波長における光が他方の 光ガイドへと低損失でルーとされる狭い光学帯域幅フィルターを必要とする光通 信やセンサーシステムにあっては著しい利点をもたらすものである。 本発明は、屈折率回折格子を接続部に形成した非対称カプラを利用することに より、光学フィルター作用と分光作用(splitting)とをより信頼性よく、また、 効率的に達成できる。本発明では、異質の光ガイドを用いることにより、光ガイ ド間での光学エネルギーの漏れをなくしている。また、二本の光ガイドをカプラ の腰部で単一の光ガイドに合体ないし接合することにより回折格子結合強度(gra ting coupling strength)を増大させている。互いに近接する光ガイドを融合又 は合体することにより、後方反射と結合波長との間の分離を増大させて装置の帯 域特性を向上させている。 屈折率回折格子の重要な特徴は、直交ないし独立光学モード間で光エネルギー が伝送されるので、直交非対称性を有している点にある。即ち、屈折率回折格子 は、一方の光モードを効率的に直交光モードに結合させることのできるユニーク な空間分布を有している。 屈折率回折格子は、化学作用線照射法、化学的内拡散法(chemical indiffusio n)、化学的外拡散法(chemical outdiffusion)、化学エッチング法など、一つか 幾つかの方法によりカプラの腰部内に形成されている。この屈折率回折格子をフ ァイバーカプラに形成する好ましい一方法としては、カプラの腰部を光増感して 、適当なドーピングと水素処理することである。別の方法としては、平坦な基板 上にリソグラフィで形成する非対称カプラの製造にあっては、化学的方法が好ま しい。 本明細書で説明するカプラは、水素トーチで一本のファイバーの長さ約5mmの 中心領域を予めテーパーさせ、別の未テーパー処理のファイバーをテーパー処理 したファイバに隣接してその長手方向に沿わせることにより作製できる。これら の二本のファイバーを、長さ約5mmの前記中心領域で互いに融着して直径20μ mの融着腰部ができるように、火炎で加熱しながら引き延ばす。この中心領域で は、著しく小さくなって跡形のないコア(greatly diminished core)に代わって クラッドが基本的な波長伝播素子となり、波長フィールドがすぐ側の周囲環境に 広がる。 屈折率回折格子が個々のテーパー処理したファイバーの感光腰部に形成されて いるテーパー状ファイバー回折格子も開示している。 回折格子利用型モードカプラは、特定の波長の光を一方の光ガイドから他方の 光ガイドへと、全てがファイバー製にして低損失(理論的には0dB)、高波長選 択性にて指向(redirect)させるようになっている。これらのカプラは、ほんの数 例挙げれば、周波数選択型追加/ドロップフィルターや、WDMデマルチプレク サ/マルチプレクサ、レーザ周波数安定器、光ファイバーセンサー、分散補償器 (dispersion compensator)などに適している。本発明のその他の目的や利点など については、添付図面と詳細な説明から明らかになるであろう。 図面の簡単な説明 下記の図面を参照しながら本発明を詳述する。 図1は、回折格子利用型モードカプラの動作原理を示している。 図2は、感光性クラッド型光ファイバー(photosensitive cladding optical f iber)の横断面図。 図3は、回折格子利用型モードカプラの機能図。 図4は、融着したカプラの腰部の横断面図。 図5は、充分に漸次テーパーさせる断熱近似法(adiabatic approximation for sufficiently gradual taper)に基づく楕円形腰部を有する回折格子利用型モー ドカプラにおける光モードの展開を示しており、ここでの伝播定数βの変動は誇 張して示してある。 図6は、充分に漸次テーパーさせる断熱近似法に基づく円形腰部を有する回折 格子利用型モードカプラにおける光モードの展開を示して折り、ここでの伝播定 数βの変動は誇張して示してある。 図7は、回折格子利用型モードカプラのテーパー状腰部の最低次光学モードの 電界振幅を示す。 図8は、テーパー状腰部のほんの一部分だけが感光性で、屈折率回折格子が照 射により腰部のその部分に形成されている回折格子利用型モードカプラを示す。 図9は、腰部を光増感した回折格子利用型モードカプラの横断面図。 図10は、テーパー状にした腰部全体が光増感され、傾斜した屈折率回折格子 が照射により腰部に形成されている回折格子利用型モードカプラを示す。 図11は、三本以上の融合したファイバーを利用したもので、腰部に複数の屈 折率回折格子を有する回折格子利用型モードカプラを示す。 図12は、回折格子利用型モードカプラの腰部に回折格子を形成するために、 フォトレジストと化学内拡散法、外拡散法又はエッチングを用いて平坦基板にW DN8チャンネルデマルチプレクサを作製する方法を示す。 図13は、回折格子利用型モードカプラに基づくチャンネル追加/ドロップフ ィルターを概略的に示す。 図14は、回折格子利用型モードカプラにおけるチャープド(chirped)反射回 折格子を利用した高データレート光通信のための色分散補償器を概略的に示す。 図15は、四個の回折格子利用型モードカプラを直列接続して構築したWDM 用4チャンネルデマルチプレクサを示す。 図16は、七個の回折格子利用型モードカプラを階層ツリー形に接続して構築 したWDM用8チャンネルデマルチプレクサを示す。 図17は、平坦基板に形成した回折格子利用型モードカプラに基づくWDM用 8チャンネルデマルチプレクサを示す。 図18は、プロトタイプでのドロップポートにおける波長特性を示す。 図19は、高阻止回折格子利用型モードカプラを示す。 図20は、望ましくない反射を除去するために二番目の回折格子を刷り込んだ 回折格子利用型モードカプラを示す。 発明の詳細な説明 光ファイバーは、伝送器の如くのデータ源から受信器の如くのデータ受信手段 へと変調光波の形で信号を搬送する。光がこのファイバーに入射すると、光カプ ラがそのファイバーの長手方向に沿ってどこかに置かれているのでもなければ、 単離された状態で進行する。光カプラは、光信号が通常互いに独立したファイバ ー間で伝送されるようにしている。 異なった波長の複数の信号を同一ファイバーで伝送する場合、一方のファイバ ーから他方のファイバーへと所定組の波長だけの信号が伝送されるようにするの が望ましい。そのための装置が波長選択式光カプラと呼ばれている。そのような 波長選択式光カプラの望ましい属性としては、結合すべき波長以外の全ての波長 に対しては透明であることが挙げられる。この透明性は、挿入損失、クロストー ク、帯域幅などにより定量化できる。従来の波長選択式カプラは、多くの用途に あっては適切に透明になっていない。回折格子利用型モードカプラは、基本的に は透明な装置であって、一方のファイバーから他方のファイバーへと所定の波長 そのものだけの光信号を伝送するようになっている。 本発明は、回折格子利用型モードカプラを利用することで狭帯域光を二本かそ れ以上の光ファイバー間で結合する装置を提供するものである。本発明によれば 、二本かそれ以上の局部的に異質な光ガイドの間で光が、共有する結合部位に置 いて屈折率回折格子により結合されるようになっている。本発明は特定波長での 結合強度を最大化する方法をも説明している。 図1はこの装置の動作原理を示すものである。融着型カプラは第1ファイバー 12と第2ファイバー22とからなり、これらの結合部位32には屈折率回折格 子が刷り込まれていると共に、その近傍が異質になっている。図1における陰線 は、異質のドーピングプロファイルと二本のファイバーの屈折率を示している。 別の方法としては、二本のファイバーの内の一本を局部的に融着部位近傍におい て20%だけ予めテーパーさせることで、両ファイバーを異質としても良いが、 装置としての作用を基本的に変えないようにすることが重要である。伝播ベクト ルβ1の入力モード31と伝播ベクトルβ2の出力モード23とが、特定波長、即 ち、λiでの周期Λgを有する厚みのある屈折率回折格子からの反射についてのブ ラッグの法則、β1i)-β2i)=2π/Λg、を満たすのであれば、λiにお ける一方のファイバ12での光エネルギーが他方のファイバー22の後方伝播 モードに結合されることになる。この結合プロセスのスペクトル応答性と効率は 、結合強度及び回折格子と光モードとの相互作用長とにより説明できる。 図1において、入力モードの波長は、β1j)-β2j)≠2π/Λgとなるよ うに、例えばλjまで調節(detune)されており、また、一方のファイバーの入力 モード31がカプラ腰部を介して進み、やがて他方のファイバー22への漏れを 最小限にして前記一方のファイバー51の出力モードとして再びあらわれる。従 って、特定波長λiのみが、結合部位における格子周期性により定まって一方の ファイバー12外に結合されるのである。反射結合を50%だけ減少するのに要 する波長調節量は、回折格子の全幅半最大(full-width-half-maxima,(FWHM))帯 域Δλ、即ち、Δλ=(Λgλ0)/Leffにより与えられる。但し、Leffは光ビ ームと回折格子との間での有効相互作用長を表し、kが大きい場合では回折格子 の物理的長さLよりも小さいことがある。反射回折格子の帯域は、この場合での 格子周期性Λgが大変短いから、伝送回折格子のそれよりも一般に10〜50倍 だけ狭くなっている。密集したWDM用にあっては、反射モードでの狭帯域周波 数応答性が望ましい。一般に、望ましい帯域は1.55μmでは約0.5nmである 。これは、反射格子の長さが1mmでなければならないことを意味している。回折 格子の厚みLが1mmである場合に反射率が90%を越えるためには、kLとしては 2以上でなければならない。すると、kは20cm-1でなければならないことにな る。融着型カプラでこの結合強度を達成すすためには、回折格子の屈折率変調(g rating index modulation)は少なくとも10- 3でなければならない。このレベル の屈折率変調は、媒体の材料と寸法とを適切に調製することでシリカ製光ガイド と光ファイバーとにより達成できる。 隣接する光ガイドへの光の後方結合に加わって、回折格子は一般に、2β12 )=kgで表される異なった波長において元のファイバーへと一部の光を反射す る。このλ2が対象とする波長動作範囲外にあるようにするためには、β1とβ2 との差を充分大きくする。この差は、光ガイドのコアが互いに合体されるから、 光ガイドが一層強力に結合されるに伴って限度に達するまで増大する。また、こ の差は、β1とβ2とがエアクラッド型光ガイドのLP01とLP11モードに対応するカ プラ 腰部が小さい場合では最大値になる。また、直交非対称回折格子を適切にすれば 、後方反射の結合強度をほぼ減少できる。 この光ファイバーカプラを形成するに当たっては、第1光学モードの伝播ベク トルβ1と第2光学モードの伝播ベクトルβ2を有する局部的に異質のファイバー を、直径が一般的に1〜50μmの狭い腰部ができるように互いに融着させて、 融着部位に少なくとも二つの光モードに対応する光ガイドを形成する。この複合 光ガイド構造体が対応するスーパーモードの数は、その構造体の屈折率プロファ イル(index profile)と寸法によって定まる。この複合光ガイド構造体の直径を 有意的に減少させると、光ガイド特性は、ガラスコア/エアクラッド光ガイドの それに似てくる。すると、この単ステップ屈折率光ガイドのモード伝播挙動は、 V値で定まるパラメータにより特徴づけられ、かつ、光案内のコアの半径の減少 に伴って減少すると共に、モードの波長λとコアの屈折率ncoreとクラッドの屈 折率ncladに依存する。 N.A.は、光ガイドの開口径(numerical aperture)を表す。第1モードは、見掛け 上LP01であり、第2モードは見掛け上LP11である。これら二本の光ガイドは充分 異質であり、テーパーした移行部分が充分長いので、入力光モードは、結合部位 で断熱的にスパーモードに発展する。この結合部位を励起すると、光ガイドが二 本の元のファイバーに分かれるに伴って元の光モードへと断熱的に戻る。従って 、光エネルギーは入力から出力へと妨げられることなく通過する。ファイバーの 非対称性を(|β1|-|β2|)/(|β1|+|β2|)=0.005とし、テーパー角を0. 01ラジアンとすると、一方のファイバーから他方のファイバーへの光エネルギー の望ましくない漏れは1%以下となる。非対称性を達成するためには、屈折率プ ロファイルの異なった二本のファイバーを用いても良い(図1において陰線で示 したように)。別の方法としては、一対の同一ファイバーを、カプラが作製され るに先立って一方のファイバーの中心部域をエッチングするか、伸長させる(断 熱的に 予備デーパー処理を施す)ことにより互いに異質にしても良い。これらの二本の ファイバーを結合部位において合体ないし接合させて一つの光ガイドにすると共 に、両ファイバーがあたかも光学的に独立しているかのように挙動する。その後 、回折格子を結合部位に形成して、特定は長の光を一方のファイバーから他方の ファイバーへ指向させる。例えば、125μm径のファイバーを25%だけ予備テ ーパー処理し、その後、伸長させて別の125μm径のファイバーに融着させて、 約1cmの距離に亙る3.6μm径の1cm長腰部を形成する。このテーパー角は低 損失、断熱的テーパー状を形成するのに充分な角度である。UV照射による0.54 0μmの回折周期(UV impressed grating period of 0.540μm)の場合では、代表 装置のドロップチャンネルの波長は1550nm範囲内にある。 適当な出発材としての感光性クラッドのあるファイバーは、公知の作製法によ り標準的な単一モードファイバーの光ガイド特性(即ち、N.A.)を維持しつつ、 感光材で少なくとも部分的にクラッド部をドープすることにより製造できる。例 えば、チューブ内蒸着法を用いることで、壁厚の小さい純粋シリカ製チューブ( 内径20ミリ、外径22ミリ)内、又は、壁厚の大きい純粋シリカ製チューブ( 内径20ミリ、外径25ミリ)であって、プレフォーム圧潰(preform collapse) 後にエッチングないし研削することにより壁厚を減少させたチューブ内にGeド ープしたクラッド(約3〜10wt%)とそれよりもっとGeがドープされたコ ア(約6〜13wt%)をつくることができる。従来の光ファイバー製造法では 、外側の純粋シリカ製チューブは、コアを形成するGeドープしたシリカの薄層 が蒸着されるように、焼結、圧潰、線引き(drawing)の後に光ファイバークラッ ドのバルクで形成されている。しかし、相当の厚みの感光性クラッドを形成する には、コアの形成に先立って純粋シリカ製チューブの内側にGeドープしたシリ カの層を複数(>5)蒸着させて感光性クラッドを形成しているが、これはGe ドープしたシリカのチューブが容易に入手できないからである。その後、このプ リフォームの先駆物質を用いて、従来公知のファイバー製増俸法で当該プレフォ ームを圧漬、線引きすることにより感光性クラッドの光ファイバーを作製する。 別の方法としては、Geドープしたガラスのすすをシリカ製棒の外側に付着さ せる外側蒸着法を用いて感光性クラッドのファイバーを作製しても良い。すすを 撓結、凝集すると、シリカ製棒は開口し(Geドープした円筒形チューブを形成 する)、別のGeドープしたガラスを内壁に付着させて高屈折率のコアを形成す る。 比較的最近の製造方法では、斜すす付着法(angled soot deposition)を用いて コアを形成し、その後、初期直交すす付着法(initial perpendicular soot depo sition)を用いて焼結により団結する第1プレフォームを形成している。その後 、一つかそれ以上の付着/焼結シーケンスにおいて、所望の最終寸法が得られる まで大量のクラッド用すすを付着させる。この方法では、すすのコア/クラッド 付着方法を変えなくてもドーパントの量を制御することができる。 本発明で利用するこれらの付着方法の目的は、有意体積量のクラッド(図2) をドープすることである。ドーパント(例えば、Ge)200がより深くファイ バー210の半径方向に沿って浸透しているほど、融着、伸長操作後により感光 性の高いカプラの腰部が形成される。異なったドーパントの拡散プロファイルを 有する適当な感光性クラッドのあるファイバーの典型的な横断形状を図2に示す 。図2aに示した横断面図では、図2bに示した横断面図のものよりも感光性が 高いものである。 感光性結合部位での屈折率変調と、化学作用線に対するその感度とは、化学作 用線を照射するに先立って、酸素−水素火炎を用いてテーパー処理と融着処理を 行えば一層高まる。従来技術では、水素は、見掛け上8.5μm径のGeドープ した感光性シリカ製コアに拡散する前に先ず、125μm径の非感光性シリカ製 クラッドに浸透しなければならない。本発明の方法ではほぼそれとは異なってい る。先ず、ファイバーのクラッドが感光性を有しているファイバーを製造するこ とにより、水素分子及び/又はジュウテリウムをシリカに内拡散させるに必要な 圧力と温度と時間とを減少させており、これにより内拡散に対する大量の非感光 性バリアーをなくしている。それに、H2濃度がシリカ製光ガイドの中心で平衡 に達するまでに要する時間を、テーパー状腰部においてX倍だけ著しく減少させ ている。但し、Xは下式で表され、 waistは腰部の直径、dfiberはファイバーの元の直径をそれぞれ表す。従って 、テーパー状カプラ腰部を処理するに要する時間は、標準的な光ファイバーを処 理するに要する時間よりも10- 4倍小さい。ファイバーの融着、伸長に基づく本 発明の作製方法では、酸素-水素トーチを用いることで水素による光増感を自動 的の達成できる。 作用 回折格子利用型モードカプラ112は、ファイバーコネクタ114を介してカ プラ112に接続した光ファイバー108内を伝播する光源104からの光を指 向(redirect)させるものである。カプラに形成されている屈折率の周期(period) は、特定の波長帯域内にある光エネルギーのみを別の光ファイバーへと指向させ て、検出器110ではなくて検出器106へと進むように指向させるように選定 されている。その他の波長は全て、カプラから検出器110へと伝播するが、検 出器106へは伝播しない。この装置は、感光性クラッドのある光ファイバを長 手方向に沿ってテーパー処理すると共に、融着させるか、又は、平坦なドープさ れたシリカ製基板上に光ガイド構造体を形成することにより作製するのが最も好 ましい。 本発明の一実施例は、感光性ファイバーを融着伸長させることにより作製した 回折格子利用型モードカプラである。このカプラの腰部としては°のような横断 面形状を有していても良い。楕円形と円形の横断面が好ましい。この横断面の形 状は動作特性に影響がある。第一例では、カプラの腰部は図4に示したように楕 円形横断面を有している。図5は、この装置での光モードの展開を概略的に示し ている。この断熱近似法においては、回折格子のない場合での非対称カプラにお ける伝播定数の変動を、二つの直交伝播方向に対応する二つの実線曲線19、2 9で示してある。第1光ガイド81から第2光ガイド91へと光を結合するには 、 光モードの伝播定数を、これらの特定のLP01とLP11モードとの間の運動量のミス マッチに対応する回折運動量(grating momentum)kx gとky gだけ減少する回折格子 が必要である。回折運動量kgは下記式で定められる。 kg=2π/Λg 但し、Λgは回折周期を表す。回折周期は、結合すべきモードにより予め定まっ ている。伝播ベクトルβ1のモードから伝播ベクトルβ2のモードへとエネルギー を伝送するためには、好ましい回折周期は下記式で表される。 Λg=2π/(|β1|+|β2|) すると、回折周期は、ブラッグの法則によりクラッド内での記録ビームの半角度 θと波長λを選定することにより記録操作時に定まる。 Λg=λ/(2・sinθ) このエネルギーの伝送を達成する回折運動量には56と69で示した二組あって 、二つの殆ど退化したLP11モードのどれかが励起されるかによる。LP11モードは 光ガイドから逃げて超過損失をもたらすことになるので、回折格子は出力ファイ バーのクラッドモード67になってしまうLP11モード79に光を結合するもので あってはならない。 もう一つの例では、カプラは円形断面の腰部を有している。図6は、この円形 腰部を有する非対称カプラでの光モードの展開を概略的に示したものである。断 熱近似法では、回折格子がない場合での非対称カプラでの伝播定数の変動は、二 つの直交偏光方向に対応する上方の二つの実線曲線17、27で示してある。第 1光ガイド81から第2光ガイド91へと光を結合するためには、光モードの伝 播定数を、これらの特定のHE11とTE01モードとの間の運動量のミスマッチに対応 する回折運動量(grating momentum)kx gとky gだけ変化させる回折格子が必要であ る。入力側で二つの直交偏光モードを結合するには一組の回折運動量57が必要 である。好ましくは、光ガイドを捻るとHE0 21モード87に結合して、出力ファ イバーのクラッドモード67になって光ガイドから逃げてしまうことから、光は HEe 21モード77に結合しないのが望ましい。同様に、回折格子はHE0 2187又は TM0197モードに直接結合すべきではない。何故なら、これらのモードは出力フ ァ イバーのクラッドモード67になってしまって超過損失をもたらすことになるか らである。一般に、腰部の横断面形状はどのような形であってもよく、光モード もそれに応じて一層複雑になる。 図7は、図5に示した楕円形腰部89の最低次光モード34LP01と44LP11と を示している。これらの二つの光モード間の結合強度は、下式により二つの光学 電界振幅E1、E2のオーバーラップ積分(overlap integral)に関係している。 但し、Δ(n2)は、腰部が楕円形横断面を有するカプラの場合での、直交モードL P01とLP11に対応する最低次光フィールドE1、E2に対応するカプラ腰部での屈 折率回折格子を表している。xについて積分することは直交方向に対応する。k に対するこの特定の形のオーバーラップ積分はスラブ型光ガイドだけに厳密に当 てはまるものではあるが、この理論の基づく予測は、僅かの変形が必要であるが 、円筒形光ガイドにも当てはまる。kを算出すると、回折摂動(grating pertuba tion)Δ(n2)が、以後直交非対称と称するx方向において非対称でなければ、結 合度はゼロであると示すようになる。平坦な光ガイドではなくて、光ファイバー の場合では、xは、二本の元のファイバーコアを接合しているカプラ腰部におけ る方向である。従って、1cm-1のオーダーで有意のkを得るためには、直交非対 称回折格子が必要である。尚、回折格子についてのこの要件は、カプラそれ自体 が非対称でなければならない要件に対する追加要件である。 光モードE1とE2とは大凡、下式により高度に限られたレジーム(highly conf ined regime)において与えられる。 但し、2dは、腰部におけるモードの直交方向(transverse extent)を表す。特 に大きい結合強度をもたらす(n,z)の直交非対称形が二つある。一方の装置 では、光ガイドの0<x<dからの部分に回折格子が記録されているのみである 。 nI(x,z)=no+Δngsin[(2π/Λg)z]u(x)+Δnfu(x) 但し、noは、第1光ガイドのインデックスを、Δngは回折格子インデックス変 調を、Δnfは第1及び第2光ガイドのクラッドインデックスの差を、u(x) はxが負であればゼロ、正であれば単位と定められているヘヴィサイドのステッ プ関数をそれぞれ表す。これで、後方及び前方最低次モードを結合する従来の反 射回折格子の結合強度である最大期待値の0.42の結合強度が得られる。 本発明の他例においては、回折格子平面との直交方向を光ガイドの長手軸に対 して僅かだけ傾斜させると、インデックス格子の位相が、xが−dからdへと変 わるにつれでπだけ変わる。 nII(x,z)=no+Δngsin2π[(z/Λg)+(x/2d)] これにより、最大期待値の0.68と等しい結合強度が得られる。所要傾斜の一 例として、回折格子平面に対する法線方向を光ガイドの長手軸に対して tan-1( Λg/2d)だけ傾斜させても良い。中心波長が1.55μmで腰部の直径が5μm のカプラを作製するためには、この傾斜角は5.7°でなければならない。反射 回折格子の回折効率は漸近的に100%に近づいており、これは伝送格子の回折 効率が周期的に動揺しているのとは対比をなしている。従って、反射回折格子に 基づいた装置は、伝送格子に基づく装置に比べて格子減衰と相互作用長(interac tion length)の変化に対してよりしっかりと安定している。そのため、帯域特性 と向上させつつ、反射モード回折格子利用型モードカプラの製造上の許容度を大 きくすることができるのである。 実施例 1 一つの方法に従い、融着型カプラにおける屈折率回折格子を化学作用線の照射 で刷る(impress)。カプラ腰部の感光応答性(photosensitive response)は、二本 の局部的異質(組成及び/又は直径)の光ファイバーを融着させることで達成す る。図8において、一方の光ファイバーは、標準的な単一モード遠隔通信用光フ ァイバー(例えば、コーニング社のSMF28)の如くの非感光性クラッド82 を 有しており、また、他方の光ファイバーは感光性クラッド62を有している。カ プラ腰部は、元のコア92、72がモードを制限しなくなるほど直径の充分小さ なものでり、光ガイド特性は、テーパー処理したクラッドと、カプラ腰部を囲繞 する低屈折率の材料(一般に空気)とにより主として定まる。本発明のこの実施 例では、クラッドが少なくとも部分的に感光性を有する少なくとも一つのファイ バーセグメントが必要である。 図9は、図2に示した感光性ファイバーを用いた、横断面が楕円形状(特別な 場合では円形状)(図9a)又はダンベル形状(図9b)の融着型カプラにおけ る腰部を示している。陰線は感光度、より詳しくは、光ファイバーを構成するシ リカ宿主ガラス(silica host glass)におけるGe、Ge/B、Ce、又はPドーピング の度合いを表している。これらの四種のドーパントは、化学作用線の照射に対す るガラスの感光度を増感させるものとして知られており、当業者にはこれ以外に もそのようなものがあることは知られているところである。 回折格子援用型非対称カプラを形成するために屈折率回折格子を記録する方法 を図8に示す。コア92と非感光性クラッド82とからなる光ファイバー12を テーパー処理して、コア72と感光性クラッド62とからなる光ファイバー22 に融着させて結合部位32(図8a)を形成する。結合部位を化学作用照射光4 2(図8b)の干渉パターンに曝す。このように露出することで、カプラ腰部5 2に感光部に屈折率回折格子が永久に記録されることになる(図8c)。回折格 子は、光ファイバーの半分だけが感光性を有しているので、直交非対称性を呈し ている。従って、回折格子はカプラ腰部の半分、それも感光性のある半分に形成 されることになる。この直交非対称性は、結合強度の大きいものを作製する上で 重要な因子であることが判明した。 実施例 2 別の例でのカプラ構造体では、屈折率回折格子における直交非対称性は、図1 0に示すようにカプラ近傍において異質であり、クラッド88、62の両方とも 感光性を有する二本の光ファイバー18、22を融着することでもたせるように している。感光性を有するクラッドのある二本の光ファイバーを用いることで、 カプラ腰部38における回折効率が大きくなる。図10aにおける陰線は、感光 度、より詳しくはシリカ宿主におけるGe、Ge/B、Ce、又はPドーピングの度合 いを表している。カプラ腰部は、コア92、72がモードを制限しなくなるほど 直径の充分小さなものでり、光ガイド特性は、テーパー処理したクラッドと、カ プラ腰部38を囲繞する低屈折率の材料(一般に空気)とにより主として定まる 。カプラ腰部38を化学作用照射光70の干渉パターンに曝すが、その際、干渉 縞の平面に対する法線方向を、直交非対称性を導入する別の手段として光ガイド の長手軸に対して傾斜させる(図10b)。このように露出することで、カプラ 腰部52に感光部に屈折率回折格子が永久に記録されることになり、かくて回折 格子は僅かな傾斜角68を示している(図10c)。 図2に示した感光性クラッドのあるファイバーを用いて作製した融着型カプラ の腰部の横断面形状を図4に示す。融着の度合いによっては、腰部はダンベル形 状(図4b)になったり、楕円形状(図4A)になったりする。カプラ腰部にお いては、光モードは元のコア170外に広がり、腰部150全体が新たに効果的 なコアを構成する。Geドープしたクラッド160は、新たな光ガイド部150 の一部を占めているに過ぎない。従って、光ファイバーのクラッドのドープした 部分が元のファイバーからできるだけ外側に広がるのが望ましいのである。 実施例 3 また別の例では、図11に示すように三本以上の局部的異質のファイバーを互 いに融着させて結合部位を形成している。カプラ腰部11に化学作用照射光を利 用して複数の屈折率回折格子122を刷るために、カプラ内に回折格子が記録で きようにファイバー束118、120の内の少なくとも一本の光ファイバーのク ラッドが感光性を有している。好ましい実施の形態としては、ファイバー束11 8、129の内のできるだけ多くのファイバーが感光性クラッドを有するもので あるのが望ましい。 実施例 4 別の変形例では、図12に示すように、結合部位の屈折率変調を化学的内拡散 法、化学的外拡散法、又は、エッチング法により回折格子144を形成するパタ ーン付きフォトレジスト142を介して刷る。この例では、シリコン124上の シリカからなる平坦光ガイド回路に、8チャンネルWDMマルチプレクサ/デマ ルチプレクサ126用の回折格子のパターン化を示している。回折格子を刷るた めには、Ti又はGeをシリカに内拡散させる、又は、HF酸を用いてレジスト パターンに従ってシリカを喰刻する。このプロセスは、平坦基板にカプラを作製 するのに特に適しているものであり、幾つかの装置を同一基板上に集積すること ができる。平坦基板装置については、IEEEプレス社刊(1991)、レーザ及び電気光 学シリーズのLEOS論稿集におけるJ.T.ボイド編の「Integrated Optics - De vices and Application(集積光学 - 装置と用途)」において詳細に説明されて いる。一例としては、火炎加水分解付着法(flame hydrolysis deposition)を用 いてシリコンにシリカを付着させ、光ガイドを形成するのに反応性イオンエッチ ング法を用いる。尚、この装置はマルチプレクサとして、また、デマルチプレク サとして両方の作用をする。 実施例 5: 追加/ドロップフィルター 高効率で特定の波長の光チャンネルを選択的に追加もしくはドロップする、全 体がファイバー製で、挿入損失がゼロの装置は、WDMネットワークを構築する 一つの構成部品となる。回折格子利用型モードカプラに基づくこの装置の機能形 態を図13に示す。入力側光ファイバ15は、中心波長λjの異なったnチャン ネルの上方を搬送している。回折格子利用型カプラ45は、特定のチャンネルλi を第1出力側光ファイバー35へ指向させるが、残りの全てのチャンネルは前 述の結合部位を介して遮断されることもなく第2出力側光ファイバー25へと伝 播する。出力側ファイバー35を新たな入力側ファイバー55として利用するだ けで、この装置を追加フィルターとして動作させるようにすることができる。特 定のチャンネルλjは、他の波長λjを搬送するファイバーに追加される。追加フ ィルター65もしくはドロップフィルター35は、一つかそれ以上の予め定まっ た波長のみで動作する受動装置である。ドロップフィルター45は、結合部位に 所定の周期性を有する幾つかの回折格子を記録することにより複数のチャンネル を同時にドロップすることができるようになる。同様に、追加フィルター65も 、 結合部位に所定の周期性を有する幾つかの回折格子を記録することにより複数の チャンネルを同時に追加することができるようになる。 実施例 6: 分散補償器 本発明の光ファイバーネットワークのバルクからなる標準的な単一モードファ イバーは、密集したWDMの選択中心波長である1.55μmにおいて17ps(nm -km)-1の色分散を示す。1.55μm近傍の異なった波長の光は、グループ速度 分散のためにファイバー内を異なった速度で進行する。特に、変調光信号に関連 した高周波成分は、受信側でパルス拡大と低信号対ノイズ比をもたらす低周波数 よりも高速で進行する。 1995年刊のOptics Letters、Vol.20の第647頁によればS.チーボルト等は、 20GHzチャープ(chirp)の4.33cm回折格子は、2.5Gbits- 1での100キロ 長ファイバーの分散を補償するのに最適だと理論的に示している。チャープドフ ァイバー回折格子がもたらす分散補償作用によるビットエラーレートの減少は、 ほんの3.44dBのパワーゲインに対応し、それ故、挿入損失がこのパワーゲイ ンよりも小さいときのみに本当の性能の向上が期待できる。従来技術では、チャ ープドインライン反射回折格子では、ファイバーから後方伝播ビームを高度に引 き離し、かつ、低挿入損失で除去する必要がある。この装置が実用上の価値を有 するためには、分散補償器は非常に小さい損失を示すものでなければならないの は明らかである。これは、本明細書にて説明している回折格子利用型モードカプ ラの固有の利点である。 図14に回折格子利用型モードカプラに基づく分散補償器を示す。より高い周 波数成分は、1.55μmでの標準的な単一モードファイバーのより低い周波数 成分よりもより大きいグループ速度を示す。従って、低周波数成分よりも遅れて 光るパルスの高周波成分を反射するチャープド回折格子56は、与えられた長さ の標準的な光ファイバーの正方向分散を正確に補償する所定の負方向分散を示す ようになる。例えば、入力側ファイバー12に光りビームを入れると、情報エン ベロープからなる異なった一時的の周波数成分は、カプラ腰部内をほぼ異なった 距離だけ進行した後に反射され、その後、合流して出力側ファイバー22から出 射する。すると光ビームは、装置内で負方向色分散を効果的に起こすことになる 。分散補償器は、光ファイバーの長さ方向に沿うところであれば何処に配置して も良い。チャープド回折格子は、カプラの長手軸に沿って屈折率回折格子の周期 を変えることにより形成できる。別の方法としては、折り曲げ、光ガイドの寸法 をテーパーし、後方屈折率を偏らせ、そして/又は所望の波長応答性を出すよう にカプラ腰部を不均一に加熱することにより、カプラの長手軸に沿ってチャープ を均一周期性の回折格子に導入することができる。 実施例 7: 波長依存性損失の素子 波長依存性損失の素子は、WDMを用いた光ファイバーリンクでは必須である 。例えば、この装置は、1.55μm辺りのスペクトル範囲におけるErドープし たファイバー増幅器のゲインスペクトルを平坦化するのにできる。従来技術では 、この平坦化は、所望のは長依存性反射率を出すように予め決められている複数 の回折格子周期性を有するチャープド反射回折格子を導入することで達成してい る。ところがこの装置には、望ましくないパワーが、ファイバーの外に結合され るどころか、ファイバー内の後方伝播モードに結合してしまう欠点がある。本発 明の実施例1と2とによれば、回折格子利用型モードカプラは、望ましくない照 明を別のファイバーへと効果的に、また、信頼性よくダンプできるのは明らかで ある。この例においては、所定数の回折格子周期性を結合部位に刷ることで、ス ループットポート又はドロップポートの何れかにおいて所望の波長依存性損失を 発生させている。 実施例 8: WDMデマルチプレクサ/マルチプレクサ 同一光ガイドを進行している複数のの波長チャンネルをマルチプレックス又は デマルチプレックスする装置は、複数の回折格子利用型モードカプラを直列接続 することにより得られる。図15では、全体がファイバーからなる四つの追加/ ドロップフィルターを直列接続して得た5チャンネルWDMマルチプレクサ/デ マルチプレクサを示している。図16では、七つの追加/ドロップフィルターを 階層ツリー構造に接続して得た8チャンネルWDMデマルチプレクサを示してい る。階層ツリー構造であれば、Nをマルチプレックスすべき波長チャンネルの数 とすると、それぞれの波長チャンネルが通過する個々の追加/ドロップフィルタ ーの数をlog2Nまで最小限にすることができる。これにより、直列配置の場合で の全挿入損失がN-1と損失との積であるのに対して、デマルチプレクサの全挿 入損失を追加/ドロップの損失とlog2Nとの積まで最小限にすることができる。 一成分毎の典型的な挿入損失は0.2dBであり、従って、32チャンネルでマル チプレクサの場合での全損失は約1dBに等しいことになる。 また、平坦な光ガイド回路は、一ヶ所で大量のチャンネルをマルチプレックス し、小エリアでの大量のカプラを集積化するのに特に適している。図17は、そ れぞれが特定の波長をドロップする八つのドロップフィルターを用いて構築した 8チャンネルWDMデマルチプレクサ126を示している。これ以外の回折格子 利用型モードカプラ素子の構成例についても、当業者には容易に想到できること である。非対称カプラは、例えばシリコン上にシリカのある平坦な光ガイド回路 にリトグラフ法により形成することができる。回折格子は、化学作用線照射法、 化学内拡散法、化学外拡散法、エッチング法の何れかを用いて刷ることができる 。複数の波長チャンネル132を有する入力信号は入力側光ガイドを進行する。 特定波長の光は、回折格子128の周期性に応じて特定の異質光ガイド140へ と反射される。異質光ガイド140は、断熱的にテーパーされて出力側光ガイド セグメント134に展開(evolve)しており、この光ガイドセグメント134の伝 播定数は入力側光ガイド132のそれと同一である。でマルチプレックスすべき 波長以外の波長の光は、出力138を介して平坦光ガイド回路から出射する。 実施例 9: 追加/ドロップ作製法 #1 図2bに示した屈折率プロファイルを有し、クラッド200のドープした部分 が40μmの直径まで拡散し、コア180が8μmである一本の光ファイバを、 長さ約5ミリの部分での直径が125μmから95μmまで減少するように予め テーパー処理する。この予備テーパー処理は、当該光ファイバーの両端を引っ張 りながら、酸素-水素トーチで加熱することでそれを行う。その後、図2bに示 したのと同一屈折率プロファイルを有する未テーパー処理の別の光ファイバーを テーパー処理済みの光ファイバーの長手方向に沿ってその側に配置する。この状 態で二本の光ファイバーを融着させる一方、同一の酸素-水素トーチで加熱しな がら両端を引っ張って伸長させる。融着した腰部の直径が5μmになったところ で引っ張りを止める。その後にカプラ腰部を、248nmの照射ビームで1.06 μmの周期のシリカ位相マスクを照射することで醸し出されたUV干渉パターン に露出する。すると、周期が0.5μmの光学干渉パターンが得られる。照射光 の一パルス当たりのエネルギーは130mJであり、その期間は10ns、繰返し 率は20Hzである。回折格子は20秒間に亙って記録する。ファイバーの融着部 位に、機械的強度をもたせるためにシリカ製半チューブを接着する。ドロップフ ァイバーに結合した後方光の波長トレースは1520nm、反射率ピーク値の全幅 半最大値(full width half maximum of the reflectivity peak)は約1nmである 。後方反射波長と後方結合波長との隔たりは15nmである。 実施例 10: 追加/ドロップ作製法 #2 実施例9と同一の方法を利用して融着型カプラを作製するが、実施例9におけ るテーパー処理済みの光ファイバーを、名目上40%HF酸で、未テーパー処理 の光ファイバーと融着させ伸長する中心部分をエッチングすることにより処理し ている点以外は実施例9とは異なっている。エッチング処理は通常1分当たり3 μmの速度で、約10分間に亙って行う。 実施例 11: 高阻止型追加/ドロップフィルター 阻止度は追加/ドロップフィルターの性能パラメータであって、特定は長の光 エネルギーがどれほど完全にスループットポートから除去できたかを表すもので ある。特定出力ポートでの特定波長の高阻止とは、特定波長の光エネルギーがそ の出力ポートにほとんどないことを意味する。WDMシステムでは高阻止型追加 /ドロップフィルターが必要である。図19は、全てがファイバーからなる高阻 止型追加/ドロップフィルターを示している。周期がΛg1である第1回折格子3 20を実施例5におけるのと同様にしてカプラ腰部に記録することで特定波長を ドロップ出力ポート310へ後方結合させている。周期がΛg2の第2回折格子3 30は、スループットファイバー340において記録して、同一波長315を後 方反射させている。この第2回折格子はドロップ波長での残留信号を除去して、 第1回折格子320での反射によりダンプポート350へと指向させている。こ の方法でなら、-50dBより大きい阻止度を得ることができる。 実施例 12: 望ましくない後方反射の破壊干渉 実施例11におけるのと同様に、別の回折格子430をスループット光ファイ バー435に記録して、望ましくない後方反射の波長に等しい波長λ2445で 入力ポート410に入射する光を反射するようにする(図20)。この後方反射 信号445が、カプラ腰部に刷った回折格子420からの後方反射440と破壊 的に干渉するように当該後方反射信号445の光学位相を調節するには、二つの 回折格子間のスループット光ファイバーの部分425を、二つの後方反射波が破 壊的に干渉するまで光ファイバー内でのバックグランド屈折率を変えるべく均一 に露光する。このような方法は、望ましくない後方反射を50%より弱くなるよ うに除去する上で効果的である。それにより、対象スペクトル範囲でドロップポ ート400から出射する唯一のドロップチャンネル(波長λ1)の明晰な伝送ス ペクトル(入力410における光パワーで割った出力ポート435での光)が得 られる。 実施例 13: スペクトルクリーンアップフィルター EDFAのカスケード配列からなるWDM光ファイバーリンクでは、幾つかの 最初の増幅器からの自然発光ノイズが、後段の増幅器を介して通過するに伴って 大きくなり、やがてバックグランドノイズが望ましくないほど増大する。このバ ックグランドノイズは、増幅自然発光(amplified spontaneous emission)と呼ば れている。望ましい波長だけをドロップポートへ指向かせる一方、他の波長をス ループットポートへ指向かせるスペクトルクリーンアップフィルターは、このノ イズを減少させる手段である。本例においては、所定数の回折格子を結合部位に 刷って、所望のドロップチャンネル波長特性を醸し出している。8WDMチャン ネル用のスペクトルクリーンアップフィルターは、標準的な追加/ドロップフィ ルターで構成できるものの、所定周期性の8個の回折格子がカプラ腰部に刷り込 まれている。これらの回折格子は、同一又は別々の場所に記録しても良い。格子 周期と格子強度とは、所望の波長のみを所定のドロップ効率でドロップポートに 指向 かせるように選定する。この装置は、各波長チャンネルのドロップ効率をEDF Aゲインプロファイルの波長依存性を補償するように選定することにより、同時 にゲイン平坦化フィルターとして作用するようになる。 実施例 14: 双方向分光器 2チャンネルWDMを用いれば、ケーブルテレビとか電話とかの用途での双方 向通信が容易になる。例えば、順方向信号としてはλ1での変調光搬送波で、逆 方向信号としてはλ2での変調光搬送波であっても良い。順方向及び逆方向信号 を分割するには、λ1かλ2での追加/ドロップフィルターを用いる。分光器がλ1 をドロップするのであれば、順方向信号はドロップポートへ指向けられ、また 、逆方向信号は元のファイバーから変わらずに出射することになる。他方では、 分光器がλ2をドロップするのであれば、逆方向信号がドロップポートへ指向か れ、順方向信号は元のファイバーから変わらずに出射する。 実施例 15: テーパー処理したファイバーの回折格子フィルター 回折格子利用型モードカプラは、二本かそれ以上のファイバーを中心部におい て伸長させて融着することにより作製できるのではあるが、その代わりにそれぞ れのファイバーを伸長させることで重要な装置を作成することもできる。回折格 子利用型モードカプラは三ポート装置又はそれ以上のポートを有する装置ではあ るが、テーパー処理したファイバーを利用したこの回折格子は二ポート装置であ る。テーパー処理したフィ阿バーの腰部に形成されている如くのエアクラッド型 光ガイドに記録したブラッグ回折格子には、回折格子利用型モードカプラの光指 向け性(routing capability)が不必要な場合では、WDMインラインフィルター として魅力的な装置とならしめる性能上の利点が幾つかある。先ず第1に、酸素 -水素トーチで加熱しながらファイバーを伸長させることでファイバー腰部の感 光度を高めることができ、それによりより強い回折格子と低露出が得られる。第 2に、エアクラッド型ガラス製光ガイド構造体が大きな開口径ないし強い光閉込 め能を有するようになって、損失の大きいクラッドへと結合される光エネルギー の量を減少させることができると共に、回折格子による放射モードを減少させる こともできる。腰部における光ガイドの多モード特性が故に、異なった光モード 間で光を結合する回折格子が構築できるのである。 結論 本発明及びその実施の形態は、種々の利点を奏する波長選択式光カプラを提供 するものであることが明らかにしている。第1に、直交非対称屈折率回折格子が 刷り込まれている非対称結合部位での結合定数kは大きい。しかも、結合度は、 結合部位での光ガイドは単一光ガイドに合流しないことから、より小さいオーバ ーラップ積分を達成する回折格子利用型双方向カプラの瞬間的結合度よりももと より大きい。第2に、非常に小さい直径のカプラ腰部に引き延ばした融着型ファ イバーを用いることでこれらの装置を作製すれば、後方反射光と後方結合光との 波長の隔たりを最大化することができ、また、回折格子が直交非対称型であるが ために、後方反射の強度を最小限にすることができるのである。第3に、反射モ ードで作用させると、これらの装置は、時間の経過に伴って屈折率変調度の変化 の僅かな変化に対しても頑丈なものとすることができ、これは従来より用いられ ている伝送装置を越える利点である。第4に、全てがファイバーとガラスからな るものにあっては、耐環境性がよく、損失も小さい。D-コアファイバー製カプ ラの如くの従来例による装置では、例えばエポキシ樹脂を用いて結合部位を互い に貼り付ける必要があり、このエポキシ樹脂が環境の影響で劣化しやすい問題が ある。第5に、回折格子利用型カプラには、シリカを用いて全て作製しているか ら温度に対する安定性ももとより良いので、高波長安定性が備わっている。最後 に、腰部でカプラの直径を減少させていること、また、加熱するのに水素火炎を 用いていることから、水素のない拡散速度とその量とを驚くほど高めることがで き、そのために化学作用照射時でのカプラ腰部の感光性の向上と屈折率変化を容 易に達成できる。 本明細書にて開示した波長選択式光ファイバー装置は多方面で利用できる。一 例を挙げると、共通の伝送路を介しての通信において光信号を追加もしくはドロ ップするのにカプラを用いることができる。別の用途では、標準的な光ファイバ ーでの1.55μmにおける色分散を補償するのに利用することもできる。更に 、本装置を用いて、Erドープしたファイバー増幅器のゲインを平坦化するために 波 長依存性損失を導入することができる。また更に、複数のカプラを用いて、低損 失にて単一光ガイドに対して複数の波長チャンネルをマルチプレックスしたり、 或いは、デマルチプレックスすることができる。その上、スペクトルクリーンア ップフィルターとして利用することもできる。本発明を理解できる人であれば、 個々まで説明したものの変形例や改変などを容易に想到できるであろう。従って 、添付の請求の範囲に入るそれらの変形例や改変などは、本発明の一部であるも のと解すべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE, DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,IT,L U,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ,CF ,CG,CI,CM,GA,GN,ML,MR,NE, SN,TD,TG),AP(KE,LS,MW,SD,S Z,UG),UA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD ,RU,TJ,TM),AL,AM,AT,AU,AZ ,BB,BG,BR,BY,CA,CH,CN,CZ, DE,DK,EE,ES,FI,GB,GE,HU,I L,IS,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LK ,LR,LS,LT,LU,LV,MD,MG,MK, MN,MW,MX,NO,NZ,PL,PT,RO,R U,SD,SE,SG,SI,SK,TJ,TM,TR ,TT,UA,UG,UZ,VN (72)発明者 ラクルジック,ジョージ・エイ アメリカ合衆国90401カリフォルニア州 サンタ・モニカ、ナインティーンス・スト リート402番 (72)発明者 ヤリフ,アモン アメリカ合衆国91108カリフォルニア州 サン・マリノ、ホメット・ロード2257番

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.(a)第1光ファイバーと (b)コアと感光性クラッドとを有する第2光ファイバーと (c)前記第1及び第2光ファイバーとを、横断面積が減少された所定長さの 中心部までテーパー処理されており、前記両ファイバーは前記横断面積が減少さ れた所定長さに沿って長手方向に融着されて結合部位を形成しており、この結合 部位が、前記第1光ファイバーの前方伝播モードを前記第2光ファイバーの後方 伝播モードへと結合するように選ばれた周期性を有する屈折率回折格子を有して なる光ファイバカプラ。 2.請求項1によるものであって、前記回折格子が直交方向に非対称である光フ ァイバーカプラ。 3.請求項1によるものであって、前記第1及び第2光ファイバーが、横断面積 の減少した部分にはいると、横断面の寸法が互いに異なっていることよりなる光 ファイバーカプラ。 4.請求項1によるものであって、前記両光ファイバーの内の少なくとも一方の 光ファイバーが所定は長において単一モードであることよりなる光ファイバーカ プラ。 5.請求項1によるものであって、前記第1光ファイバーが、ゲルマニウム、ボ ロン、フッ素から選ばれたドーパントを少なくとも0.5モル%含むクラッドを 有してなる光ファイバーカプラ。 6.請求項1によるものであって、クラッドのドーピングが、クラッド全体に亙 って屈折率がほぼ均一となるように選ばれてなる光ファイバーカプラ。 7.請求項1によるものであって、前記両光ファイバーが中心部域へ向かって屈 折率が異なっていることよりなる光ファイバーカプラ。 8.(a)所定長さに亙って互いに融着されて結合部位を形成している第1及び第 2光ガイドと、 (b)前記第1光ガイドにおける第1波長での伝播モードを、前記第1波長の 前記第2光ガイドの伝播モードに結合するように選ばれた周期性を有する、前記 結合部位における屈折率回折格子とからなる光ガイドカプラ。 9.(a)コアと、 (b)化学作用照射光に<1kJ/cm2だけ露出すると、ドープされたクラッドに 屈折率変化>10-5inを刷り込むようなドーパントにより光増感処理された、前記 コアを同心的に囲繞するほぼドープされたクラッドとからなる光ファイバー。 10.請求項9によるものであって、前記ファイバーは所定波長においては単一 モードであり、前記光ファイバーのクラッドには、その一部位にゲルマニウムを 少なくとも0.5モル%含有してなる光ファイバー。 11.請求項9によるものであって、前記クラッド全体に亙って前記屈折率がほ ぼ均一か、同一となるように、前記クラッドのドーピングが選ばれてなる光ファ イバー。 12.請求項9によるものであって、前記ファイバーは、小さい腰部までテーパ ーされていて、その腰部に屈折率回折格子があることよりなる光ファイバー。 13.請求項9によるものであって、前記光ファイバーの前記クラッドが、ボロ ンとフッ素から選ばれた材料がその一部位に少なくとも0.5モル%含んでなる 光ファイバー。 14.請求項9によるものであって、前記光ファイバーの前記コアが、タンタル を少なくとも0.5モル%部分的に含有してなる光ファイバー。 15.(a)その長手方向における中心結合部位において一本の光ガイドに合体さ れている三本以上の光ガイドと、 (b)前記結合部位が一つかそれ以上の屈折率回折格子を有してなる光ガイ ドカプラ。 16.請求項15によるものであって、前記光ガイドは単一モード光ファイバー であって、再1及び第2光ガイドは結合部位にはいると横断面の寸法が互いに異 なっていることよりなる光ガイドカプラ。 17.請求項15によるものであって、前記第1及び第2光ガイドは前記結合部 位にはいると屈折率が互いに異なっており、また、前記屈折率回折格子が直交方 向に非対称であることよりなる光ガイドカプラ。 18.第2光ガイドから、複数の波長を伝送する第1光ガイドへと一つかそれ以 上の波長でのチャンネルを追加する装置であって、 前記両光ガイドに接続され、前記特定波長の追加されたチャンネルを前記第2 光ガイドから前記第1光ガイドへ指向けるように選ばれた周期性を有する、直交 方向に非対称な一つかそれ以上の屈折率回折格子を有する回折格子利用型モード カプラからなる装置。 19.第1光ガイドから第2光ガイドへと一つかそれ以上の特定波長でのチャン ネルをドロップする装置であって、 前記両光ガイドに接続され、前記特定波長のドロップされたチャンネルを前記 第1光ガイドから前記第2光ガイドへ指向けるように選ばれた周期性を有する、 直交方向に非対称な一つかそれ以上の屈折率回折格子を有する回折格子利用型モ ードカプラからなる装置。 20.選ばれた波長での光波エネルギーに所望の波長依存性損失を出すために所 定変調を有する一つかそれ以上の屈折率回折格子を有する回折格子利用型モード カプラからなる光波エネルギー用波長依存性損失素子。 21.それぞれが選ばれた波長の信号チャンネルを入力側光ガイドから出力側光 ガイドのどれか一つに指向するように選ばれた周期性を有する屈折率回折格子を 有する複数の回折格子利用型モードカプラからなる、複数の特定波長の前記信号 チャンネルを前記入力側光ガイドから前記出力側光ガイドのどれかにデマルチプ レックスする装置。 22.請求項21によるものであって、前記装置が平坦な光ガイド回路に形成さ れてなる装置。 23.請求項21によるものであって、前記装置が、直列接続された複数の融着 型ファイバー製回折格子利用型モードカプラを含んでなる装置。 24.請求項21によるものであって、前記装置が、入力側光ガイドが複数の出 力側光ガイドに分岐するように階層ツリー配列で接続された複数の融着型ファイ バー製回折格子利用型モードカプラを含んでなる装置。 25.請求項21によるものであって、前記入力側光ガイドはN数の出力側光ガ イドに分岐しており、それぞれの特定波長の光信号は、個々の回折格子利用型モ ードカプラの全数N−1のlog2Nだけ伝播することよりなる装置。 26.請求項21によるものであって、前記装置が、共通の結合部位を共有する 複数の融着型ファイバー製回折格子利用型モードカプラからなる装置。 27.特定波長のチャンネルを複数の入力側光ガイドの何れかから出力側光ガイ ドに指向するように選ばれた周期性を有する屈折率回折格子を有する複数の回折 格子利用型モードカプラからなる、複数の特定波長の前記信号チャンネルを前記 入力側光ガイドの何れかから前記出力側光ガイドにマルチプレックスする装置。 28.請求項27によるものであって、マルチプレクサが平坦光ガイド回路に形 成されてなる装置。 29.請求項27によるものであって、マルチプレクサが直列接続された複数の 融着型ファイバー製回折格子利用型モードカプラを含んでなる装置。 30.請求項27によるものであって、前記装置が、複数の入力側光ガイドが一 つの出力側光ガイドに収束するように階層ツリー配列で接続された複数の融着型 ファイバー製回折格子利用型モードカプラを含んでなる装置。 31.請求項30によるものであって、各特定波長の光信号が個々の回折格子利 用型モードカプラの全数N−1のlog2Nだけを介して伝播するように、N数の入 力側光ガイドが一つの出力側光ガイドの収束してなる装置。 32.請求項27によるものであって、前記装置が、共通の結合部位を共有する 複数の融着型ファイバー製回折格子利用型モードカプラからなる装置。 33.(a)第1及び第2光ガイドと、 (b)前記第1及び第2光ガイドがそれぞれの全長の一部において長手方向 に沿って合体して結合部位を形成していること、 (c)前記結合部位が、前記第1光ガイドの局部伝播ベクトルβ1の伝播モ ードE1を前記第2光ガイドの局部伝播ベクトルβ2の伝播モードE2に結合する ように選ばれた周期性を有する屈折率反射回折格子を有していること、 (d)前記回折格子の形n(x,z)が、各周波数ωの光波の場合での下式で表さ れる結合強度|k|が非ゼロとなるように選ばれていることよりなる光ガイドカ プラ。 34.請求項33によるものであって、前記結合強度|k|が1cm- 1よりも大き いものとする光ガイドカプラ。 35.請求項33によるものであって、前記第1及び第2光ガイドが、前記結合 部位近傍の部分において異質の屈折率プロファイルを有する単一モード光ファイ バーであることよりなる光ガイドカプラ。 36.請求項33によるものであって、前記第1及び第2光ガイドが、下式で表 されるほど充分異質であることよりなる光ガイドカプラ。 (|β1|−|β2|)/(|β1|+|β2|)>0.0001 37.請求項33によるものであって、前記屈折率回折格子が下式で表される形 をしてなる光ガイドカプラ; n1(x,z)=n0+Δngsin[(2π/Λg)z]u(x)+Δnfu(x) 但し、Δngは10- 5以上、u(x)はヘヴィサイドのステップ関数を表す。 38.請求項33によるものであって、前記屈折率回折格子が下記で表される形 をしてなる光ガイドカプラ; nII(x,z)=no+Δngsin2π[(z/Λg)+(x/2d)] 但し、Δngは10- 5以上。 39.請求項33によるものであって、前記屈折率回折格子の前記周期が下式で 表されてなる光ガイドカプラ; Λg=2π/(|β1|+|β2|) 但し、β1とβ2とは、結合すべき二つのモードの伝播ベクトルを表す。 40.請求項33によるものであって、前記光モードE1とE2とがLP01とLP11と であることよりなる光ガイドカプラ。 41.請求項33によるものであって、前記光モードE1とE2とがHE01とTE01と であることよりなる光ガイドカプラ。 42.(a)名目上等しいコア直径とクラッド直径とを有する第1及び第2光ファ イバーの第1部分と (b)第1及び第2光ファイバの直径が減少している近くの第2部分と (c)直径の減少した第1及び第1光ファイバーが長手方向に沿って合体し て、屈折率回折格子を有するカプラ腰部を形成している近くの第3部分と、 (d)第1及び第2光ファイバーの直径が増加している近くの第4部分と、 (e)第1及び第2光ファイバーが前記第1部分におけるコアとクラッドの 直径へ戻っている近くの第5部分と、 (g)前記第1から第5部分が直列接続されてなる光ファイバー伝播装置。 43.請求項42によるものであって、前記カプラ腰部が円形断面を有してなる 装置。 44.請求項42によるものであって、前記カプラ腰部が楕円断面を有してなる 装置。 45.請求項42によるものであって、前記カプラ腰部がダンベル形状横断面を 有してなる装置。 46.請求項42によるものであって、前記第1及び第2部分の間に、前記第1 ファイバーの直径が減少し、前記第2ファイバーの直径はほぼ一定のままとなっ ている部分を更に設けてなる装置。 47.請求項42によるものであって、前記第1及び第2光ファイバーが異なっ た屈折率を有してなる物品。 48.請求項42によるものであって、前記第1及び第2光ファイバーが単一モ ードであることよりなる物品。 49.請求項42によるものであって、前記第1及び第2ファイバーが同一コア とクラッド寸法を有してなる物品。 50.(a)異なった第1及び第2光ガイドを有する第1部分と、 (b)第1と接続され、第1及び第2光ガイドが長手方向に沿って合体して 屈折率回折格子を有する単一の光ガイドを形成している第2部分とからなる、異 なったビーム伝播特性を有する近接した長手方向の光ガイド部分を有する光ガイ ド伝播装置。 51.(a)約8〜9μm直径のコアと、 (b)前記コアと同心的でそれを囲繞する約125μmのクラッドと、 (c)ドープされたクラッドの材料の屈折率が化学作用照射線に<1kJcm-2露出 すると>10-5だけ変化するのに充分なドーピングを含むクラッド材とからなる 単一モード感光性クラッド光ファイバー 52.請求項51によるものであって、前記ドーパントがゲルマニウムであり、 前記クラッドが、それがほぼ感光性を呈するように分布したドーパントを有して なる光ファイバー。 53.請求項51によるものであって、フッ素などのその他のドーパントが添加 されていて、クラッド全体に亙って均一な屈折率が形成されてなる光ファイバー 。 54.光ガイドの光閉込め部位に直交非対称型屈折率回折格子を備えた光ガイド 装置であって、 前記回折格子が単一前方伝播光モードから特定波長の後方伝播直交光モードへ と光エネルギーをほぼ結合るするように構築されてなる光ガイド装置。 55.請求項54によるものであって、空間周期Λgでの前記介せすこう子の非 対称性が、光ガイドの長手軸に対してtan-1g/2d)と大凡等しい角度だけ回 折格子の平面に対して傾斜させた直交二等部分を有する回折格子を配置すること よりなる光ガイド装置。 56.コアと光エネルギーを閉じ込めるクラッドとを有する少なくとも二本の光 ガイドからなり、 該光ガイドが、直径の減少した光ガイドの部分が長手方向に沿って一つの 複合部分に合体している中間光交換部位を有しており、前記複合部分では元のク ラッド材内でほぼ伝播するようになっており、前記クラッド材には屈折率回折格 子が含まれてなる波長選択光エネルギー制御装置。 57.請求項56によるものであって、コアの屈折率がクラッドのそれよりも大 きく、また、前記交換部位においては前記コアは小さすぎて光波エネルギーのほ ぼ一部しか案内できなくなっていることよりなる装置。 58.前方伝播モードで複数波長に対応する光波交換部位であって、 寸法が減少されて、物理的に合体された一対の光ガイド用ファイバーからなり 、それぞれのファイバーがその直交寸法が減少されて光波が元のコアを構成して いる材料から逃げて、元のクラッドを構成する材料にほぼ伝播するようになって おり、前記物理的に合体した光ガイドが共通の光ガイド部を形成しており、 前記共通の光ガイド部が光増感処理されていると共に、選択された波長で光を 反射する周期性を有する屈折率回折格子を有してなる光波交換部位。 59.請求項58によるものであって、前記屈折率回折格子が、元のクラッドを 構成する材料に刷り込まれており、光波は伝播時に当該材料から広がり、しかも 回折格子が直交非対称であることよりなる物品。 60.光波伝播に用いる波長選択装置であって、 中心コアとクラッドとを有し、断面がほぼ減少した合体腰部において互い に合体していると共に、元は前記クラッドを構成していた材料に回折格子を備え 、テーパーされて合体部位を形成している一対の光ガイドからなる波長選択装置 。 61.複数の波長をサポートする少なくとも二本の光ガイドからなり、前方伝送 モードにおいて選択された波長を有する光波伝播を制御する波長選択装置であっ て、 二本の光ガイドを合体させ、光波エネルギーが合体部位から外方に延在す る二つの直交モードで伝播する合体部位と、 前方伝送モードと相互作用して選択された波長で光波を後方伝送モードに 仕向ける、合体部位における屈折率回折格子とからなる波長選択装置。 62.請求項61によるものであって、前記直交モードは前記合体部位において 物理的にほぼオーバーラップしており、光ガイドはその合体部位へと断熱的にテ ーパーしてなる物品。 63.元のコアと、このコアを中心とするクラッドとを有する光ガイドにおいて 前方伝播モードと後方伝播モードとで複数の波長をサポートする光波交換部位で あって、 直径の減少された腰部へと融着して引き延ばされ、元の単一モードコアの V値が減少直径の腰部近傍における2よりも大きい倍数だけ減少しており、而し て、前記減少直径の腰部に沿って伝播する光波が元のコアを構成している材料か ら逃げて、元のクラッドを構成している材料においてほぼ伝播する一対の光ファ イバー部分からなり、 減少直径の腰部が感光性を有し、選択した波長を反射する周期性の屈折率 回折格子が含まれてなる光波交換部位。 64.コア材と伝播している光エネルギーを閉じ込めるクラッド材とを有する少 なくとも二本の光ガイドと、 光ガイドと一体で、複合部に長手方向に沿って合体された減少直径の光ガ イド部で特徴づけられ、前記複合部では光波がほぼ非瞬間的にオーバーラップす るようになっており、前記複合部における減少直径のクラッド材には屈折率回折 格子が含まれてなる波長選択光エネルギー制御装置。 65.コア材と伝播している光エネルギーを閉じ込めるクラッド材とを有する少 なくとも二本の光ガイドと、 光波が、屈折率回折格子を含む、元はクラッドを構成していた材料であっ たものにおいてほぼ伝播するようになっている複合部に長手方向に沿って合体さ れた減少直径の光ガイド部により特徴づけられる中間光波交換部位とからなり、 前記光ガイドは、入力側光ガイドの光モードが複合部の単一直交スパーモ ードに断熱的に移行されるように合体されており、 前記光ガイドは、断熱的、かつ、一つづつ前記中間光波交換部位の異なった直 交スパーモードに移行する光モードをサポートしてなる波長選択光エネルギー制 御装置。 66.コアと伝播している光エネルギーを閉じ込めるクラッドとを有する少なく とも二本の光ガイドと、 光波が、屈折率回折格子を含む、元はクラッドを構成していた材料であっ たものにおいてほぼ伝播するようになっている複合部に長手方向に沿って合体さ れた減少直径の光ガイド部により特徴づけられる中間光波交換部位とからなり、 前記中間光波交換部位は、出力側光ガイドの異なった光モードに断熱的、 かつ、一つづつ移行する直交スパーモードをサポートしてなる波長選択光エネル ギー制御装置。 67.波長選択光カプラを作製する方法であって、 (a)離れた箇所で第1光ファイバーをクランプするステップと、 (b)光ファイバーを軟化させるに充分な温度までクランプ箇所の間において前 記第1光ファイバーを局部的に加熱しつつ、前記クランプ箇所を長手方向に離す ことで前記第1光ファイバーを調製するステップと、 (c)前記第1ファイバーの長手方向近傍の互いに離れた箇所で第2光ファイバ ーをクランプするステップと、 (d)前記第1及び第2光ファイバーを軟化点まで局部的に加熱しつつ、クラン プ箇所を長手方向に広げることで、前記箇所の間における中央部位においてクラ ンプした光ファイバーを融着すると共に、引き延ばすステップと、 (e)光ファイバーの少なくとも得られた融着部位の部分をUV照射に曝すこと で、回折格子を形成する光学パターンに屈折率を変化させるステップとからなる 作製方法。 68.請求項67による方法であって、予めテーパーした部位の直径が5%以上 だけ減少されるように前記第1ファイバーが予備テーパー処理されており、また 、前記解析格子パターンがアポダイズされた光学干渉パターンであることよりな る作製方法。 69.請求項67による方法であって、前記第1及び第2ファイバーを酸素-水 素火炎で加熱するステップを有してなる作製方法。 70.二本の光ファイバーで波長選択光カプラを作製する方法であって、 (a)互いに離れた箇所でファイバーを把持して、光ファイバーを軟化点まで局 部的に加熱しつつ当該箇所を長手方向に沿って広げることで、中心部において光 ファイバーを融着、引き延ばしするステップと、 (b)光ファイバーの少なくとも融着、引き延ばしした部分を照射光に露出して 屈折率を変えるステップとからなる作製方法。 71.請求項70による方法であって、前記光ファイバーの内の少なくとも一本 が感光性クラッドを有しており、また、照射光がUV光学干渉パターンである作 製方法。 72.波長選択光カプラの作製方法であって、 (a)第1光ファイバーの所定長さ部分を5%以上減少した直径まで部分的に喰 刻することで当該第1光ファイバーを予めテーパーさせるステップと、 (b)前記第1光ファイバーの近傍にその長手方向に沿って第2光ファイバーを 配置するステップと、 (c)両光ファイバーを軟化点まで加熱しつつ引き延ばすことでその中心部位を 融着して引き延ばすステップと、 (d)光ファイバーにおける少なくとも融着して引き延ばした部位に対応する部 分を照射光に露出して、屈折率を変えると共に、カプラ内に回折格子を形成する ステップとからなる作製方法。 73.光ファイバー内に屈折率回折格子を作製する方法であって、 (a)互いに離れた箇所において光ファイバーをクランプするステップと、 (b)2〜100倍程度直径が減少するまで光ファイバーを軟化点まで局部的に 加熱しつつ、当該光ファイバーを長手方向に引っ張ることで、互いに離れたか書 簡での中心部位において光ファイバーを引き延ばすステップと、 (c)前記中心部位の少なくとも一部分を光学干渉パターンの照射光に照らして 屈折率を変えるステップとからなる作製方法。 74.請求項73による方法であって、酸素-水素火炎で加熱することにより、 引き延ばした部位を光増感処理するステップを備えてなる作製方法。 75.第1反射回折格子とダンプポートとを有する追加/ドロップフィルターの スループットポートから出射する特定波長での光信号の光パワーを減少させる方 法であって、 (a)追加/ドロップフィルターのスループットポートの光ガイドにおける前記 特定波長のエネルギーの有意部分を結合部位に指向させるために追加/ドロップ フィルターの前記スループットポートの前記光ガイドに第2反射回折格子を記録 するステップと、 (b)指向されたエネルギーの相当の部分を前記追加/ドロップフィルターのダ ンプポートに仕向けるステップとからなる方法。 76.請求項75による方法であって、前記追加/ドロップフィルターが回折格 子利用型モードカプラである方法。 77.請求項75による方法であって、前記第2回折格子がファイバー内回折格 子である方法。 78.入力ポートを有する追加/ドロップフィルターにおける特定波長の入力ポ ートにおける光モードの望ましくない第1後方反射を結合部位の回折格子で除去 する方法であって、 (a)前記特定波長の前記光モードを反射して第2後方反射を生ずる追加・ドロ ップフィルターのスループットポートの光ガイドに第2反射回折格子を記録する ステップと、 (b)スループットポートの光ガイドを、結合部位における前記回折格子と前記 第2反射回折格子との間であって、それらを含む波長部分で化学作用照射線に露 出させることで、前記第2後方反射の光学位相遅延を調節するステップと、 (c)第2後方反射が前記入力ポートで前記第1後方反射と破壊的に干渉するに 充分な前記光学位相遅延が得られるまで前記化学作用照射を続行するステップと からなる方法。 79.光ファイバーの色分散を補償する方法であって、 (a)長手軸を有するカプラ腰部を形成するステップと、 (b)前記カプラ腰部の長手軸に沿って互いに隣接する屈折率最大値間の空間的 に変化する周期を屈折率回折格子に刷り込んで回折格子利用型モードカプラを形 成するステップと、 (c)前記回折格子利用型モードカプラを前記光ファイバーに沿った選択された ーに結合するステップとからなる方法。 80.融着型回折格子利用型モードカプラの性能を高める方法であって、カプラ を形成するステップと、<1kJ/cm2まで化学作用線に対する露出で結合部位内に 屈折率変化>10- 5を刷り込むレベルまでカプラの感光度を高めるステップと、 化学作用照射でカプラに回折格子を書き込むステップとからなる方法。 81.請求項80による方法であって、感光度を高めるステップがカプラを少な くとも部分的に水素火炎で溶融することよりなる方法。 82.請求項80による方法であって、感光度を高めるステップがカプラ腰部を 化学内拡散処理を施すことよりなる方法。 83.請求項82による方法であって、前記化学内拡散法がH2又はD2ガスを利 用してなる方法。 84.請求項80による方法であって、感光度を高めるステップが化学外拡散処 理を含んでなる方法。 85.回折格子利用型モードカプラの作製方法であって、カプラを形成するステ ップと、該カプラにフォトレジストを載置するステップと、該フォトレジストを パターン照射光に露出するステップと、フォトレジストを現像するステップと、 化学エッチング法で表面格子をカプラに刷り込むステップとからなる作製方法。 86.融着型回折格子利用型モードカプラの作製方法であって、その内の少なく とも二本は非感光性クラッドを有し、少なくとも一本は感光性クラッドを有する 複数のファイバーを長手方向に沿って合体することでカプラを形成するステップ と、<1kJ/cm2まで化学作用線に対する露出で結合部位の感光部内に屈折率変化 >10- 5を刷り込むレベルまでカプラの感光度を高めるステップと、化学作用照 射でカプラに回折格子を書き込むステップとからなる方法。 87.(a)感光性クラッドを有するファイバーを狭い腰部まで引き延ばすステッ プと、 (b)前記腰部を、H2とD2からなる群から選ばれる光増感用ガスに曝すス テップと、 (c)前記光増感用ガスが前記腰部における箇所で感光性クラッドに浸透す るに充分な時間に亙り、<1kJ/cm2の化学作用線に対する露出で、屈折率変化> 10- 5を刷り込むように前記曝露を維持するステップとからなるファイバーの光 増感方法。 88.請求項87による方法であって、前記化学作用照射により前記腰部に屈折 率回折格子を刷り込むステップを含んでなる光増感方法。 89.融着型ファイバーカプラを光増感させる方法であって、 (a)感光性クラッドを有するファイバーを少なくとも一本含む複数のファイバ ーを、狭いカプラ腰部まで引き延ばすステップと、 (b)前記カプラ腰部において感光性クラッドを元より構成している材料をH2 とD2とからなる群から選ばれる光増感ガスに曝すステップと、 (c)前記光増感用ガスが前記腰部における箇所で感光性クラッドに浸透するに 充分な時間に亙り、<1kJ/cm2の化学作用線に対する露出で腰部の感光性の部分 に屈折率変化>10- 5を刷り込むように前記曝露を維持するステップとからなる ファイバーの光増感方法。 90.チューブ内蒸着法により単一モード感光性クラッド光ファイバーを作製す る方法であって、回りを取り囲むシリカ製チューブの内壁に1mm以上のゲルマニ ウムをドープしたシリカを付着させて、クラッドの横断面積の少なくとも10% にゲルマニウムをドープしたシリカが含まれるようにするステップからなる方法 。 91.単一モード感光性クラッド光ファイバーの作製方法であって、シリカ製チ ューブの内壁に屈折率増大材料がドープされたシリカの層を付着させるステップ からなり、ドープされたシリカの厚みが取り囲むシリカ製チューブの壁厚よりも 大きくなってなる作製方法。 92.厚みが周期的に変化しているマスクを用いて融着したカプラ腰部に屈折率 回折格子を刷り込む方法であって、 (a)前記マスクを介して前記カプラ腰部にUV照射光を当てるステップと、 (b)前記カプラ腰部において屈折率が相当変化するまで、前記UV照射を続行 するステップとからなる方法。 93.請求項92による方法であって、回折格子を書き込むステップを備え、前 記屈折率回折格子が直交非対称であることよりなる方法。 94.請求項92による方法であって、前記マスクの周期が、カプラ腰部に刷り 込むべき回折格子の周期の二倍である方法。 95.請求項92による方法であって、前記UV照射の波長が248又は193 nmである方法。 96.融着したカプラ腰部に屈折率回折格子を刷り込む方法であって、 (a)厚みに周期変化を有するマスクを用意し、 (b)前記マスクと前記カプラ腰部との間に近接して所定厚みの透明スペーサー を設け、 (c)前記スペーサーを利用して前記マスクと前記カプラ腰部とを一定距離隔て た状態に維持し、 (d)前記マスクと前記スペーサーとを介して前記カプラ腰部にUV照射光を当 て、 (e)相当の屈折率変化が前記カプラ腰部において発生するまで前記UV照射を 続行することよりなる方法。 97.請求項96による方法であって、前記一定距離が1〜200ミクロンの範 囲内である方法。 98.請求項96による方法であって、前記スペーサーがシリカガラスからなる 方法。
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