JPH11508823A - 流体容器内で基板を処理するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 少なくとも１つの流体流入開口と、流体容器の少なくとも１つの側壁（１）の上側領域に設けられた少なくとも１つの溢流開口（２）とを備えた、流体容器内で基板を処理するための装置では、流体循環量に対する最適な適合は、前記溢流開口（２）の面積が可変であることによって可能である。溢流開口（２）の面積は、スライダ（３）によって変えられる。

Description

【発明の詳細な説明】 流体容器内で基板を処理するための装置 本発明は、流体容器内で基板を処理するための装置であって、少なくとも１つ の流体流入開口と、流体容器の少なくとも１つの側壁の上側領域に設けられた少 なくとも１つの溢流開口とが設けられており、該溢流開口の面積が可変である形 式のものに関する。 このような形式の装置は、刊行物米国特許第５２７５１８４号明細書、米国特 許第５２８２９２３号明細書、特開平３−２３３９３０号明細書、米国特許第５ ３８１８０８号明細書、特開平５−９４９７８号明細書、特開平５−３６６６６ 号明細書、特開平６−５３２０５号明細書及び特開平３−２００３１号明細書、 、又は同一出願人によるドイツ連邦共和国特許第４４１３０７７号明細書に基づ き公知である。流体流入開口を介して導入された流体は、流体パンの少なくとも １つの側壁の上縁を介して溢流する。流体流出を既存の状況に応じて、又は例え ば液体又はガス等の使用される流体に応じて変化させることは、公知の装置では 不可能である。 米国特許第５０７１４８８号明細書に基づき、冒頭で述べた装置が公知である 。この公知の装置では、流体容器の側壁が溢流縁を有しており、この溢流縁に対 向してナイフエッジが配置されているので、溢流縁とナイフエッジとの間で毛管 作用がスリット内に生じる。この毛管作用により、流体が流体容器から吸い出さ れる。スリットの幅は、ピンの調節によって調整可能である。 本発明の課題は、冒頭で述べた形式の装置を改良して、乾燥過程の間、該乾燥 過程のために用意されたガスをできるだけ効率的に且つ節約して使用可能である ような、流体容器内で基板を処理するための装置を提供することである。 この課題を解決するために本発明では、乾燥過程の間は、流体容器を覆ってガ スを導入するためのフードが設けられており、前記溢流開口の面積が、ガスを導 入する間は先行洗浄過程の間の溢流開口面積よりも小さいようにした。 これに関連してガスとしてはガス混合物、蒸気及び蒸気混合物、例えばイソプ ロピルアルコール、窒素又はイソプロピルアルコール成分及び／又は窒素成分を 含有するガス混合物等も使用される。 本発明による装置は、付加的に導入されるガス、ガス混合物又は蒸気を使用す る際に特に有利である。これらのガス、ガス混合物又は蒸気は、乾燥過程のため に例えばマランゴニ原理に基づきフードを介して導入される。この過程に関する 反復を避けるためには、その内容が本願の主題となっている前掲のドイツ連邦共 和国特許第４４１３０７７号明細書、並びに１９９６年４月２２日付けで出願さ れた、同一出願人によるドイツ連邦共和国特許第１９５４６９９０号明細書、ド イツ連邦共和国特許第１９６１５１０８号明細書及びドイツ連邦共和国特許第１ ９６１５９６９号明細書を参照されたい。 乾燥過程に先立つ洗浄過程の間は、大量の洗浄流体量が移動されるので、洗浄 過程の間は大きな溢流開口面積が必要とされる。後続する乾燥過程の間は、洗浄 流体は流体容器に導入されないか、若しくはごく僅かな量しか導入されないので 、大きな溢流開口面積は必要とされない。マランゴニ原理に基づき乾燥過程のた めに必要とされ、フードを介して導入されるガス混合物又は蒸気混合物、例えば イソプロピルアルコール又はイソプロピルアルコールを含有する混合物は、溢流 開口を介して流出する。高価な若しくは多大な手間をかけなければ再調整され得 ないガス又は蒸気の損失をできるだけ少なくするためには、基板が洗浄流体から 持ち上げられる乾燥過程の間に、できるだけ小さな又は閉鎖された溢流開口面積 を有することが有利である。本発明による装置は、基板処理中の対照的な要求に 対する溢流開口面積の最適な適合を可能にする。 本発明による構成によって、流れ状態、貫流率、流量、流体容器内の流れ方向 及び／又は流出する流体の流速をその時々の必要に応じて変え、特に、規定され た過程のために流体容器内で最適な流れ状態を調整するか又は十分にテストする ことも可能である。また、本発明による装置によって、流出量を流体の種類に関 連して種々様々に選択することも可能である。例えば、流体容器内を占める流体 が迅速に循環する際には大きな溢流開口面積が必要となるのに対して、比較的少 ない流量においては、より小さな溢流開口面積が一層有利である。 本発明によれば、溢流開口の面積を、面積の大きさに関してだけでなく、面積 の形状に関して変化させることも可能である。このようにして溢流縁又は溢流形 状は、その都度最適に調整されるので、各プロセス・ステップのために最適な流 れ状態が得られるようになる。本発明による装置によって、複数の溢流開口を使 用する際に、所望の個々の溢流開口又は流体パンの側壁に設けられた溢流開口を 完全に閉鎖するか、又は他の溢流開口に比べて多少閉鎖することが可能である。 本発明の有利な構成によれば、溢流開口の高さは可変である。このことは、有 利には少なくとも１つのスライダによって実現され、このスライダの、溢流開口 内での又は該溢流開口を覆う位置は可変である。従ってこのスライダの位置は、 溢流開口に関して上方、下方又は側方から変化させることが可能である。 本発明の別の有利な構成によれば、スライダは可動ウェブであり、このウェブ は、流体容器の溢流開口を 有する側壁の全幅にわたって延びている。この構成により、簡単な開閉機構が可 能となる。それというのも、溢流開口面積を変えるために、ウェブの位置だけを 変えればよいからである。この場合、ウェブは制御可能に溢流開口を完全に又は 部分的に覆う。 スライダは手動で、しかしまた例えばステップモータ等の駆動装置を用いて動 かすことができる。 本発明の更に別の有利な構成によれば、少なくとも２つの溢流開口が、少なく とも１つの側壁に互いに上下に、つまり異なる高さに配置されている。この場合 、流体処理量又は流体量に応じて流体容器は、僅かな流量の場合には下側の溢流 開口においてのみ溢流させるに過ぎず、多量の流量の場合には下側の溢流開口並 びに上側の溢流開口を通して溢流させる。付加的に設けられたスライダによって 、上側及び／又は下側の溢流開口を完全に又は部分的に閉鎖することが可能であ る。 互いに上下に配置された溢流開口を以て溢流させる際に均一な流れ特性を得る ために、互いに上下に配置された溢流開口が互いに側方にずらされていると有利 である。 以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。 第１図は、流体容器内で基板を処理するための従来の装置を、乾燥過程を改良 する流体を流入させるため の、流体容器を覆って設けられたフードと共に概略的に示した図であり； 第２図は、溢流開口が開放状態にあるか、若しくは該溢流開口が最大溢流開口 面積を有している、本発明の実施例の概略図であり； 第３図は、部分的に閉鎖された溢流開口を備えた、第１図に示した装置の概略 図であり； 第４図は、互いに上下に配置された溢流開口を備えた、本発明の別の実施例の 概略図である。 第１図には、流体容器５内で基板を処理するための従来の装置が、側壁１を上 から見た状態で概略的に示されている。この側壁１には、複数の溢流開口２が設 けられている。流体容器５を覆ってフード６が設けられており、このフード６は 、処理過程中及び特に乾燥過程中に、流体容器５を覆うように配置されている。 フード６の上側領域に設けられた複数の適当な流入開口７を介して流体が導入さ れ、この流体は、例えばマランゴニ原理との関連において、基板をより迅速且つ 良好に乾燥するために働く。このような形式の装置は、例えば前掲のドイツ連邦 共和国特許第４４１３０７７号明細書に基づき公知なので、これに関する反復を 避けるために、この刊行物を本願の内容とする。 第２図には流体容器５の側壁１が示されており、この流体容器５の上端部には 、溢流スリットの形状の複数の溢流開口２が設けられている。これらの溢流開口 ２の上位には、該溢流開口２を覆っていないスライダ又はウェブ３が位置してお り、このスライダ又はウェブ３は、側壁１の全幅にわたって延びている。第２図 に示されたスライダ３の位置では、溢流開口２は完全に開放されているので、例 えば流体容器内に位置するウェーハの洗浄過程中の多量の流体循環量において、 最大流量が流出可能である。 第３図に示した図面の第２図との相違点は、スライダ又はウェブ３が下側に向 かってややずらされているので、溢流開口２が部分的に覆われているという点に 過ぎない。このようにして溢流開口面積が縮小されて、比較的小さな循環容積に 適合される。つまり、溢流開口面積を、本発明による装置を用いて、時間単位当 りの各流量に適合させることができる。流体容器又は該流体容器を覆うフードに 、付加的に別の流体が導入されると、本発明による装置は特に有利に使用可能で ある。この流体は、ウェーハの迅速且つ良好な乾燥のために導入される、例えば ガスや蒸気、又はガス混合物や蒸気混合物であってよい。乾燥過程の間は僅かな 洗浄流体しか循環されないか、又は洗浄流体は全く循環されないので、溢流開口 面積は、多量の流体循環量を伴う先行洗浄過程に比べて小さくてよい。 乾燥過程中は、該乾燥過程のために導入された付加的な流体、特にガス又は蒸 気が、流体容器若しくは該流体容器を覆うフードから漏出しないか、又はごく僅 かしか漏出しないようにするために、小さな溢流開口面積が極めて有利である。 第４図に示した別の実施例では、流体容器の側壁１の上側領域に複数の溢流開 口４が、溢流スリットの形状で互いに上下に若しくは異なる高さに形成されてい る。この場合、流体容器内を占める流体は、移動すべき流体量に応じて、僅かな 流量の場合は最下位のスリットにおいてのみ溢流するに過ぎず、多量の流量の場 合は最下位及び最上位の両スリットにおいて溢流する。このことは第４図には図 示していないが、この実施例にもスライダ又はウェブが設けられていてよい。こ のスライダ又はウェブは、互いに上下に配置された溢流開口を完全に又は部分的 に閉鎖するので、これにより溢流面積が変化し、各状況に最適に適合するように なる。 本発明は、複数の有利な実施例に基づき説明された。しかし当業者には、本発 明の思想から逸脱することなく、別の有利な構成が可能である。例えば、流れ特 性及び溢流特性の最適化のために、下方又は上方から制御可能で溢流開口内を可 動な、溢流開口面積のみならず、溢流開口の形状をも変化させるスライダを設け ることが可能である。スライダ又はウェブをずらすためには、ステップモータ、 レバー等の適当な装置が使用可能である。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９８年１月２２日 【補正内容】 このような形式の装置は、例えば前掲のドイツ連邦共和国特許第４４１３０７ ７号明細書に基づき公知なので、反復を避けるために、これに関する記載は省略 する。 【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９８年６月１２日 【補正内容】 この課題を解決するために本発明では、乾燥過程中に流体容器を覆ってガスを 導入するためのフードと、少なくとも１つのスライダとが設けられており、該ス ライダの、溢流開口内での及び／又は該溢流開口を覆う位置が可変であるように し、前記溢流開口の面積が、ガスを導入する間は先行洗浄過程の間の溢流開口面 積よりも小さいようにした。 これに関連してガスとしてはガス混合物、蒸気及び蒸気混合物、例えばイソプ ロピルアルコール、窒素又はイソプロピルアルコール成分及び／又は窒素成分を 含有するガス混合物等も使用される。 本発明による装置は、付加的に導入されるガス、ガス混合物又は蒸気を使用す る際に特に有利である。これらのガス、ガス混合物又は蒸気は、乾燥過程のため に例えばマランゴニ原理に基づきフードを介して導入される。この過程に関する 反復を避けるためには、前掲のドイツ連邦共和国特許第４４１３０７７号明細書 、並びに１９９６年４月２２日付けで出願された、同一出願人によるドイツ連邦 共和国特許第１９５４６９９０号明細書、ドイツ連邦共和国特許第１９６１５１ ０８号明細書及びドイツ連邦共和国特許第１９６１５９６９号明細書を参照され たい。 乾燥過程に先立つ洗浄過程の間は、大量の洗浄流体量が移動されるので、洗浄 過程の間は大きな溢流開口面積が必要とされる。後続する乾燥過程の間は、洗浄 流体は流体容器に導入されないか、若しくはごく僅かな量しか導入されないので 、大きな溢流開口面積は必要とされない。マランゴニ原理に基づき乾燥過程のた めに必要とされ、フードを介して導入されるガス混合物又は蒸気混合物、例えば イソプロピルアルコール又はイソプロピルアルコールを含有する混合物は、溢流 開口を介して流出する。高価な若しくは多大な手間をかけなければ再調整され得 ないガス又は蒸気の損失をできるだけ少なくするためには、基板が洗浄流体から 持ち上げられる乾燥過程の間に、できるだけ小さな又は閉鎖された溢流開口面積 を有することが有利である。 請求の範囲 １．流体容器内で基板を処理するための装置であって、少なくとも１つの流体 流入開口と、流体容器の少なくとも１つの側壁（１）の上側領域に設けられた少 なくとも１つの溢流開口（２，４）とが設けられており、該溢流開口（２，４） の面積が可変である形式のものにおいて、 乾燥過程中にガスを導入するために流体容器を覆うフードと、少なくとも１つ のスライダとが設けられており、該スライダの、溢流開口内での及び／又は該溢 流開口を覆う位置が可変であり、前記溢流開口（２，４）の面積が、ガスを導入 する間は先行洗浄過程の間の溢流開口面積よりも小さいようになっている、流体 容器内で基板を処理するための装置。 ２．溢流開口（２，４）の高さ及び／又は幅が可変である、請求項１記載の装 置。 ３．スライダ（３）が、溢流開口（２）を有する側壁（１）の全幅にわたって 延びている可動ウェブである、請求項１又は２記載の装置。 ４．前記ウェブが、溢流開口（２）を制御可能に少なくとも部分的に覆ってい る、請求項３記載の装置。 ５．スライダ（３）が、駆動装置に接続されている、請求項１から４までのい ずれか１項記載の装置。 ６．少なくとも２つの溢流開口（４）が、流体容器 の少なくとも１つの側壁に互いに上下に配置されている、請求項１から５までの いずれか１項記載の装置。 ７．互いに上下に配置された溢流開口（４）が、互いに側方にずらされている 、請求項６記載の装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．流体容器内で基板を処理するための装置であって、少なくとも１つの流体 流入開口と、流体容器の少なくとも１つの側壁（１）の上側領域に設けられた少 なくとも１つの溢流開口（２，４）とが設けられており、該溢流開口（２，４） の面積が可変である形式のものにおいて、 乾燥過程中にガスを導入するために流体容器を覆うフードが設けられており、 前記溢流開口（２，４）の面積が、ガスを導入する間は先行洗浄過程の間の溢流 開口面積よりも小さいようになっている、流体容器内で基板を処理するための装 置。 ２．溢流開口（２，４）の高さ及び／又は幅が可変である、請求項１記載の装 置。 ３．少なくとも１つのスライダ（３）が設けられていて、該スライダの、溢流 開口（２，４）内での及び／又は溢流開口を覆う位置が可変である、請求項１又 は２記載の装置。 ４．スライダ（３）が、溢流開口（２）を有する側壁（１）の全幅にわたって 延びている可動ウェブである、請求項３記載の装置。 ５．前記ウェブが、溢流開口（２）を制御可能に少なくとも部分的に覆ってい る、請求項４記載の装置。 ６．スライダ（３）が、駆動装置に接続されている 、請求項３から５までのいずれか１項記載の装置。 ７．少なくとも２つの溢流開口（４）が、流体容器の少なくとも１つの側壁に 互いに上下に配置されている、請求項１から６までのいずれか１項記載の装置。 ８．互いに上下に配置された溢流開口（４）が、互いに側方にずらされている 、請求項７記載の装置。