JPH11508408A

JPH11508408A - レーザーダイオードにおける波長安定化のための温度補正回路

Info

Publication number: JPH11508408A
Application number: JP9503931A
Authority: JP
Inventors: ロフトハウス−ゼイス、ジェイ・ティー; ジョンソン、ジョン・ケイ
Original assignee: コヒーレント・インク
Priority date: 1995-06-23
Filing date: 1996-06-19
Publication date: 1999-07-21
Also published as: EP0834206A1; WO1997001203A1; US5754574A

Abstract

(57)【要約】レーザーダイオード電流の関数としてレーザーダイオード温度を制御するレーザーダイオード制御回路系。レーザーダイオードの動作電流の調整に直接に起因するレーザーダイオードのスペクトル出力の変化は、ダイオード温度の対応する変化によって相殺される。ダイオード温度調節回路系は、ダイオード動作電流の監視により、ダイオード温度を自動的に変化させる。或いは、例えば外部キャビティ共振に整合する周波数を保持するために、ダイオードのスペクトル出力を意図的に偏移させるようにダイオード電流を調節する場合、ダイオード温度調節回路系は、ダイオード温度を自動的に変化させて、同方向における付加的なスペクトル偏移を誘発する。その結果、反対方向における電流調整（これはダイオードの動作電流の振幅の大きな逸脱を防ぐ）が誘発される。

Description

【発明の詳細な説明】レーザーダイオードにおける波長安定化のための温度補正回路発明の技術分野本発明はダイオードレーザーに関し、特に、レーザーダイオードの操作に使用されるダイオード電流制御回路およびダイオード温度制御回路に関する。発明の背景レーザーダイオードの光出力は、振幅と波長が可変である。ダイオードエネルギー出力の振幅は、レーザーダイオードの接合を流れる動作電流（駆動電流）の関数である。レーザーダイオードのスペクトル出力は、レーザーダイオードの接合部の温度と、レーザーダイオード駆動電流との関数である。従って、ダイオードの温度および／または駆動電流の変化は、レーザーダイオードのスペクトル出力を偏移させる。従来技術においては、特定の波長を得るためにレーザーダイオードの温度を調節することが公知である。一般にレーザーダイオードは、ダイオード温度を設定値に保つ温度調節回路により操作された熱電冷却器に取り付けられている。設定温度は、設定された動作駆動電流において、レーザーダイオードが、所望の振幅とスペクトル出力とを有するレーザービームを発振するように定められている。例えば、Spectra Diode Labs社製の４ワットのガリウム・アルミニウム砒素レーザーダイオードにおいては、ダイオード温度の１℃の変化により、約０．２７乃至０．３０nmのダイオード出力スペクトル偏移が生じる。レーザーダイオードが開発され始めた頃は、低パワーのレーザーダイオードのみが入手可能であった。低パワーレーザーダイオードにおける駆動電流変化により生じたスペクトル偏移は、レーザーダイオードの殆どの応用例では無視できるものである。低パワーレーザーダイオードは、数百ミリワットのレーザーパワーを発生するために、約３００mA乃至７００mAのダイナミックレンジで約５００mA 乃至７００mAの駆動電流を用いる。従って、数百ミリアンペアの駆動電流調整により生じたスペクトル出力の対応する偏移は、比較的に低い。更に、一般に低パワーレーザーダイオードは、その駆動電流の最大定格値またはその近傍で駆動されるので、操作中にその全ダイナミックレンジが利用されることはない。最近では高駆動電流で操作できる高パワーレーザーダイオードが開発されており、これは高駆動電流、例えば６Aで、約５ワットの出力パワーを発生するように操作できる。或る高パワーレーザーダイオードは、数アンペアのダイナミックレンジを有する。数アンペアの駆動電流の変化または調整により生じたスペクトル偏移は無視できないものであり、レーザーダイオードの高ダイナミックレンジの活用を必要とするものの、相当なスペクトル偏移には耐えられない応用例にとっては問題となる。例えば、上述のSpectra Diode Labs社製４ワットレーザーダイオードにおいては、３アンペアの駆動電流の変化が約２．６nmのダイオード出力スペクトル偏移を生じてしまう（ここではダイオード温度は一定と仮定する）。高パワーレーザーダイオードの従来の応用例の一つは、外部光キャビティ内の利得媒体をダイオード光出力で光励起（光ポンピング）するものである。ダイオードの温度は、そのスペクトル出力が利得媒体の吸収スペクトルと最適に一致するように設定される。しかしながら、ダイオード温度の変化を伴わずに駆動電流がその後に相当に変化するならば、レーザーダイオードスペクトル出力は、利得媒体の最適吸収スペクトルから偏移する。このスペクトル出力と最適吸収スペクトルとの不整合は、外部キャビティの効率低下を生じる。一定出力パワーの維持のために光調整ループが使用されているとすれば、外部キャビティの低下した効率からは暴走状態（制御不能状態）が生じてしまう。ダイオードまたは外部キャビティがその耐用寿命を越えるにつれて、特定の出力パワーを維持する光ループにより、駆動電流が増加する。駆動電流の増加はレーザーダイオードのスペクトル出力を偏移させるので、レーザーシステム出力パワーを維持するダイオードに流れる一層の駆動電流を必要とするレーザーシステムの効率が低下する。出力パワーの増大を意図した電流の連続的な増加は、ダイオードと利得媒体とのスペクトル不整合を更に増大させるので、結果的にレーザーシステムの耐用寿命が短くなる。暴走状態は、狭い吸収スペクトルを有する利得媒体に最も影響を及ぼす。更に、外部キャビティの出力パワーをサンプリングして、外部キャビティの一定出力パワーレベルを維持するように駆動電流を自動的に調整する光調整ループを用いるレーザーダイオードシステムには、このような暴走状態が自動的に起こり得る。ダイオードスペクトル出力と利得媒体の最適吸収スペクトルとの不整合による一層の複雑化は、レーザーダイオード出力が利得媒体へ深く透過することである。利得媒体の新たに励起された部分は、外部キャビティの二次モードを支援してしまうので、外部キャビティの効率が更に低下する。他の応用例においては、外部光キャビティを励起するために単周波数レーザーダイオードが用いられている。ここでダイオードスペクトル出力は外部キャビティの共振周波数に固定されている。この共振周波数のドリフトに応じて、駆動電流は、ダイオードのスペクトル出力を共振周波数のドリフトに追随して偏移させるように調整されている。しかしながら、単周波数レーザーダイオードの駆動電流の相当な逸脱は、ダイオードにモードホップ(mode hop)を誘発してしまう。従って外部キャビティの共振周波数が一方向に大きくドリフトすると、ダイオードはモードホップになり、ダイオードスペクトル出力を共振周波数に再固定するために必要な時間に亘って、システム出力パワーにおける一時的な損失が引き起こされる。ドリフト共振周波数の追随を維持しながら駆動電流を比較的に一定に保つ従来の方法は、外部キャビティ共振における大きなドリフトを排除するために、外部キャビティ光学要素の一つをＰＺＴ上に取り付けることである。ＰＺＴデバイスは、外部キャビティのキャビティ長を変化させて、共振周波数における大きな変化を防止する。これは操作中に要求される駆動電流の逸脱量を規制する。しかしながら、ＰＺＴ法は外部光学キャビティの複雑さとコストを増加してしまう。駆動電流の変化または調整に応じてレーザーダイオードのスペクトル偏移を自動的に低減する必要がある。外部キャビティ周波数に固定される単周波数レーザーダイオードの駆動電流における逸脱を低減する必要もある。発明の概要本発明は、駆動電流が調整された際にダイオード温度を自動的に変化させることにより、上述の問題を解決する。好適実施例は、レーザーダイオードと、このレーザーダイオードに出力レーザービームを発振させるように可変駆動電流を供給する電流駆動回路とを含む。レーザービームのスペクトル出力は、ダイオードの温度とダイオードヘ供給される駆動電流との関数である。電流センサは駆動電流の振幅を検出する。温度調節回路は、電流センサにより検出された駆動電流における振幅変化に依存して、ダイオードの温度を上下に調整する。この温度変化は、駆動電流の調整によるダイオード出力スペクトル偏移を相殺する。第二実施例においては、共振を有する外部キャビティが、ダイオードの出力レーザービームにより光励起されて、第二のレーザービームを発振する。共振センサは、ダイオードのスペクトル出力が、外部キャビティ共振のピークとの最適整合にどれくらい近似しているかを検出する。電流駆動回路は共振センサに応答して、ダイオードのスペクトル出力が外部キャビティ共振との最適整合へ偏移するように駆動電流を調節する。温度調節回路はダイオードの温度を調節し、駆動電流の調整によるスペクトル偏移と同一方向における出力レーザービームの付加的なスペクトル偏移を生じるようにダイオードの温度を変化させる。付加的なスペクトル偏移は、電流駆動回路が駆動電流を最適運転範囲内に復帰させることを可能とする。このような温度調節は、ダイオード出力を外部キャビティに一致させながら駆動電流の大きな逸脱を防止する。本発明の他の目的と特徴は、明細書、請求の範囲、および添付図面の参照によって明らかとなる。図面の簡単な説明図１は本発明のレーザーダイオードシステムの好適実施例の単純化された模式的ダイアグラムである。図２光調整回路と共に示す好適実施例の単純化された模式的ダイアグラムである。図３はダイオードレーザー出力ビームにより励起された外部キャビティと共に示す好適実施例の単純化された模式的ダイアグラムである。図４ａは本発明の第二実施例の単純化された模式的ダイアグラムである。図４ｂは図４ａに示す実施例の代替的な実施例の単純化された模式的ダイアグラムである。特定実施例の詳細な説明本発明は、レーザーダイオードを通過する駆動電流になされた調整に応答して、レーザーダイオードの温度を自動的に変化させる温度制御ループである。好適実施例の温度制御されたレーザーダイオードシステムが図１に示されている。電流駆動回路１０が駆動電流をレーザーダイオード１２へ供給し、出力レーザービーム１４を発振させる。電流駆動回路１０は内部予設定操作設定器(inter nal preset operating setting)および／またはユーザーインターフェース１１を有し、これは電流駆動回路１０によりレーザーダイオード１２へ供給される駆動電流を調節できる。レーザーダイオード１２は熱電冷却器(thermo-electric c ooler：TEC)１３へ取り付けられており、熱電冷却器１３からの温度フィードバックを利用する温度調節回路１６により操作されている。レーザーダイオード１２の初期温度は予め定められた設定点温度に調節されている。その設定点温度は、所望のスペクトル出力を発生するようにユーザー入力１７により決定されている。駆動電流を調節しながらダイオード１２の温度を一定に保持するならば、ダイオードのスペクトル出力は所望値から偏移する。駆動電流が調整された後に所望のスペクトル出力を維持するために、温度補正ループ１８がダイオードシステムヘ加えられている。温度補正ループ１８は、レーザーダイオード１２へ供給された駆動電流の振幅を検出する電流センサ２０と、この電流センサ２０に応答して温度調節回路１６へ温度補正信号を与える温度補正回路２２とを含む。温度調節回路１６は、温度補正回路２２からの信号に応答してダイオード１２の温度を設定点温度から変化させる。操作においては、設定点温度と初期駆動電流との値は、所望のパワーレベル及びスペクトル出力を有する出力レーザービーム１４を発振するように設定される。電流駆動回路１０が駆動電流を調節する際、例えば出力パワーを維持するために駆動電流を調節する際には、電流センサ２０が駆動電流調整を検出し、温度補正回路２２が、予め定められた補正項を用いて、温度調節回路１６にダイオード１２の温度を初期設定点温度から自動的に変化させる。温度変化は、駆動電流の調整により誘発されたスペクトル偏移を部分的にまたは完全に相殺する出力ビーム１４のスペクトル偏移を生じさせる。従って、ダイオードスペクトル出力が駆動電流の調整によって一方向へ偏移しているならば、ダイオード温度は、反対方向におけるスペクトル偏移を誘発するように自動的に変化する。温度補正回路２２により用いられた補正項は、所望のスペクトル出力と、駆動電流の初期設定と、駆動電流とダイオード温度との変化による特定のスペクトル偏移とに基づいて経験的且つ理論的に決定できる。現在の工業的な実施例では、 Spectra Diode Labs社製４ワットガリウム・アルミニウム砒素レーザーダイオードが使用されている。このダイオードは０乃至４ワットの出力ビームを供給するのに約２乃至６のダイナミックレンジを有する。上述したように、このダイオードのスペクトル出力の偏移は、１アンペアの駆動電流の変化または２．８６℃ の温度変化について約０.８６nmである。温度補正ループ１８による−２.８６℃ ／アンペアの温度変化は、駆動電流の調整により生じた出力ビーム１４のスペクトル偏移を殆ど完全に相殺する。この値はダイオードからダイオードへ変化する。従って最適な結果のためには、温度補正回路２２は、使用される特定のダイオード１２に固有の較正項で較正される。図２に示すように、光調整回路２４を好適実施例に加えることができる。光ピックオフ２６は光センサ２３へビーム１４の小部分を向ける。光調整回路２４は、センサ２３からの信号を用いて、出力ビーム１４の振幅に比例する信号を形成する。電流駆動回路１０は、光調整回路２４からの信号を用いて、一定振幅の出力ビーム１４を維持するように駆動電流を調節する。代替的に、光学センサ２３は、出力ビーム１４の振幅を示すダイオードからの光漏洩を検出するように、レーザーダイオードに取り付けることができる。図３に示すように、外部キャビティ３０を図２のダイオード形態へ加えることができる。外部キャビティ３０は利得媒体３２と反射光学要素３４とを含む。レーザーダイオード出力ビーム１４は利得媒体３２を励起してキャビテイ３０の内側にキャビティレーザービーム３６を発生させる。ビーム３６は反射光学要素３４の一つを励起させるか、或いは複レーザービームを発振するように非線形結晶３８を励起させるために用いられる。この形式の光キャビティは、米国特許第５,０５２,８１５号（１９９１年１０月発行）に詳細に説明されている。キャビティ出力の小部分は、光ピックオフ２６により光調整回路２４へ指向される。図３に示す形態においては、レーザーダイオード１２の設定点温度は、所定の駆動電流におけるレーザーダイオードスペクトル出力が利得媒体３２の最適吸収スペクトルと最適に一致するように設定されている。その駆動電流において、ダイオード出力ビーム１４は最適外部キャビティ効率のために利得媒体３２により適切に吸収される。光調整回路２４は駆動電流を調節して外部キャビティ３０からの一定振幅出力パワーを保持する。時間が経過すると、キャビティの出力は、ダイオード１２の劣化、或いは外部キャビティ３０の汚染または誤アライメントのために降下する。駆動電流が、損失出力パワーを保証するために設定パワーから離れて調整されていると、温度補正回路２２が駆動電流調整に応答してダイオード１２の温度を自動的に変更するので、駆動電流の調整により生じたスペクトル偏移が相殺される。従って、利得媒体３２の最適吸収スペクトルから逸脱するようなダイオードスペクトル出力の大きな偏移が生じないうちに、駆動電流を調節できるので、暴走状態を回避できる。温度補正ループ１８は、励起源としてレーザーダイオードを使用する他のシステムにも用いることができる。図４ａは、外部単周波数光キャビティ４２に光学的にエネルギーを与えるために、単周波数レーザーダイオード４０を使用するシステムを示す。外部光キャビティ４２は反射光学要素４４と非線形結晶を４８とを含む。外部キャビティは非線形結晶４８から倍周波数光を発振する。反射光学要素４４の一つは、倍周波数光を外部光キャビティ４２の外へ通過させ、反射光学要素４４の一つは、外部光キャビティ光パワーの小部分をＲＦセンサ５２へ通過させる。周波数変調回路（ＦＭ回路）５０は、ダイオードスペクトル出力をＦＭ（周波数変調）固定のPound-Drever法により外部キャビティ共振へ固定する。発振器５４は、加算回路５６を通じて固定周波数（例えば３００ＭＨｚ）における駆動電流の変調を誘発する。この変調は、ダイオード４０の出力ビームに高周波数側波帯および低周波数側波帯を生じさせる。この側波帯はキャビティ共振の線幅の外側にあるので、キャビティ４２の倍出力には結合していないが、ＲＦセンサ５２により検出されている。発振器からの信号は、ミキサー５８によりＲＦセンサからの信号に混合されてエラー信号を発生する。このエラー信号は電流駆動回路１０へ送られて、等振幅の側波帯を保持するように、即ちダイオードスペクトル出力をキャビティ共振のピークヘ固定するように駆動電流を調節する。操作の間、駆動電流は、ダイオード４０のスペクトル出力を変化させて外部キャビテイ共振に固定保持するように連続的に調整される。しかしながら、外部キャビティ４２のドリフトにより生じた駆動電流における大きな逸脱は、単周波数ダイオードをモードホップヘ誘導する。モードホップは、ダイオード４０を新たな外部キャビティ共振へ再固定するために必要な操作時間の損失のみならず、外部キャビテイ共振上の固定の減損、システム出力パワーの一時的な減損を結果としてもたらす。駆動電流における大きな逸脱を防ぐために、ひいてはダイオードのモードホップを防ぐために、ダイオード温度も駆動電流の変化に応答して連続的に調整される。温度補正回路２２は、検出された駆動電流調整に応答してダイオード温度の変化を誘発する。このような温度変化は、駆動電流調整により生じたスペクトル偏移と同方向におけるレーザーダイオードスペクトル偏移を生じさせる。従ってこの付加的なスペクトル偏移は、ＦＭ回路５０に初期駆動電流調整のように反対方向における駆動電流調整を誘発させ、外部キャビティ共振に固定保持させる。駆動電流は、外部キャビティ共振上の固定を保持するレーザーダイオードの出力における迅速なスペクトル偏移を誘発するように調整され、一方、ダイオード温度は、調節されて駆動電流の最適範囲への復帰を誘発する遅いスペクトル偏移を誘発する。その結果、レーザーダイオードをモードホップさせる原因となるような駆動電流の大きな逸脱が防止される。ダイオード４０の大きな温度変化もモードホップを誘発するが、温度に誘発されるモードホップは、駆動電流が外部キャビティ共振の固定保持に使用されている場合に比べて、そう頻繁に起きるものではない。図４ａに示した単周波数実施例に代る実施例においては、図４ｂに示すように、ミキサー５８からのエラー信号を温度補正回路２２へ直接に与えることができる。温度補正回路２２はエラー信号に直接に応答してレーザーダイオード４０の温度を変化させる。ユーザーインターフェース１１をダイオード電流の変化に用いないのであれば、この実施例における電流センサ２０は除去できる。本発明はＦＭ固定のPound-Drever法に限定されない。駆動電流を外部キャビティ共振に保持固定するように調整するために、キャビティ共振を検出する適切な手段を使用できる。例えば外部エタロンは、ダイオード４０と外部キャビティ４２との間のスペクトル不整合を検出するために使用できる。本発明は上記に説明され且つ添付図面に図示された実施例に限定されるものではなく、添付の請求の範囲内にある任意の且つ全ての変形例を包含することが明白である。例えば検出回路２０は電流駆動回路１０と一体的にできる。更に本発明の各々の回路または全ての回路は、集積回路で実現できる。また、外部キャビティは、反射光学要素、および／または利得媒体、および／または非線形結晶のみならず、ここには開示されていない他の要素を含むことができる。最後に、熱電クーラーは、ダイオードの温度を正確に調整できる回路またはデバイスに置き換え得る。

【手続補正書】【提出日】１９９７年１２月２５日【補正内容】請求の範囲１．レーザーダイオードシステムであり、レーザーダイオード（４０）と、出力レーザービーム（１４）を発振させるように可変駆動電流をダイオードへ供給する電流駆動手段（１０）であり、ここでレーザービームのスペクトル出力は、前記ダイオードの温度と前記ダイオードへ供給された駆動電流との関数である電流駆動手段（１０）と、前記電流駆動手段により前記ダイオードへ供給される駆動電流の振幅を調整する駆動電流調整手段（１０）と、駆動電流の振幅を検出する電流検出手段（２０）と、前記ダイオードの温度を可変に調整する温度調節手段（１６，２２）であり、この温度調整手段は前記電流検出手段に応答可能であり、駆動電流における調整は一つの方向にレーザービームのスペクトル出力を偏移させ、この温度調整手段は前記検出手段により検出された駆動電流の変化に応答して、前記電流検出手段により検出された駆動電流の変化に応答して、前記一つの方向と同方向へのレーザービームのスペクトル出力の偏移を誘発するように、レーザーダイオードの温度を変化させるように操作されて、駆動電流ドリフトを最小化する方式で、前記一つの方向に対して逆方向にレーザービームのスペクトル出力の偏移させるように再設定されるべき駆動電流を可能とする温度調節手段とを備えるレーザーダイオードシステム。２．前記温度調節手段が、前記電流検出手段により検出された駆動電流の増加に応答して前記ダイオードの温度を上昇させ、且つ前記電流検出手段により検出された駆動電流の減少に応答して前記ダイオードの温度を下降させる請求項１記載のレーザーダイオードシステム。３．前記ダイオードからの出力レーザービームにより光学的に励起されて第二のレーザービームを発振する共振を有する外部キャビティ（４２）と、ダイオードのスペクトル出力と外部キャビティ共振のピークとの差を検出する共振検出手段（５０，５２）であり、この共振検出手段に応答して、前記電流駆動手段が、前記外部キャビティ共振に最適に整合するようにダイオードのスペクトル出力を偏移させるために駆動電流を調節する共振検出手段とを更に備え、前記温度調節手段が、駆動電流の調整により生じたスペクトル偏移と同方向への出力レーザービームの付加的なスペクトル偏移を発生させるためにダイオードの温度を変化させるように前記電流駆動手段に応答する請求項２記載のレーザーダイオードシステム。４．前記ダイオードからの出力レーザービームにより光学的に励起されて第二のレーザービームを発振する共振を有する外部キャビティ（４２）と、ダイオードのスペクトル出力と外部キャビティ共振のピークとの差を検出する共振検出手段（５０，５２）であり、この共振検出手段に応答して、前記電流駆動手段が、前記外部キャビティ共振に光学的に整合するようにダイオードのスペクトル出力を偏移させるために駆動電流を調節する共振検出手段とを更に備え、前記温度調節手段が、駆動電流への調整により生じたスペクトル偏移と同方向への出力レーザービームの付加的なスペクトル偏移を発生させるためにダイオードの温度を変化させるように前記共振検出手段に応答する請求項２記載のレーザーダイオードシステム。５．前記レーザーダイオードが、単周波数レーザーダイオードである請求項３記載のレーザーダイオードシステム。６．前記レーザー共振検出手段が、出力レーザービームにおける側波帯を発生するように駆動電流を調節する手段（５４）と、側波帯を検出するための手段（５８）と、側波帯からエラー信号を生成するエラー信号生成手段（５８）であり、そのエラー信号に応答して前記電流駆動手段が、前記外部キャビティ共振との最適な整合を維持するようにダイオードのスペクトル出力を偏移させるために駆動電流を変化させるエラー信号生成手段とを含む請求項５記載のレーザーダイオードシステム。７．レーザーダイオードにおける駆動電流ドリフトを最小化する方法であり、ダイオード出力レーザービームを発振するようにレーザーダイオードを通じて電流を駆動する段階と、レーザーダイオードの温度を予め設定された設定点温度において初期調節する段階と、その後、駆動電流を調節し、この駆動電流調節が、一つの方向への出力ビームのスペクトル偏移を生じさせる調節段階と、前記駆動電流調節に応答して前記予め設定された設定点温度にない前記ダイオードの調節された温度を変化させる段階であり、ここで前記ダイオードの温度は、駆動電流の減少に応答して下降し、且つ駆動電流の増加に応答して上昇し、最終的な駆動電流ドリフトを最小化する方式で、前記一つの方向に対して逆方向にレーザービームのスペクトル出力を偏移させるように再設定されるベき駆動電流を可能とする段階とを含む方法。８．外部キャビティをキャビティ出力レーザービームを発振するようにダイオード出力ビームにより光学的に励起する段階を更に含み、ここで前記調節段階は前記キャビティの出力パラメータに応答して実行される請求項７記載の方法。９．前記出力パラメータが前記外部キャビティの共振周波数であり、前記調節段階において、駆動電流は、外部キャビティ共振に応答して、ダイオードのスペクトル出力を外部キャビティの共振周波数に固定するように調節される請求項８記載の方法。

Claims

【特許請求の範囲】１．レーザーダイオードシステムであり、レーザーダイオードと、出力レーザービームを発振させるように可変駆動電流を前記ダイオードヘ供給する電流駆動手段であり、ここでレーザービームのスペクトル出力は、前記ダイオードの温度と前記ダイオードヘ供給された駆動電流との関数である電流駆動手段と、前記電流駆動手段により前記ダイオードヘ供給された駆動電流の振幅を調整する駆動電流調整手段と、駆動電流の振幅を検出する電流検出手段と、前記ダイオードの温度を可変に調整し、前記電流検出手段に応答可能である温度調節手段とを備えるレーザーダイオードシステム。２．駆動電流における調整が、一つの方向にレーザービームのスペクトル出力を偏移させ、前記温度調節手段が、前記検出手段により検出された駆動電流の変化に応答して、前記一つの方向と反対方向にレーザービームのスペクトル出力の偏移を誘発するように、レーザーダイオードの温度を変化させる請求項１記載のレーザーダイオードシステム。３．前記温度調節手段が、前記電流検出手段により検出された駆動電流の減少に応答して前記ダイオードの温度を上昇させ、且つ前記電流検出手段により検出された駆動電流の増加に応答して前記ダイオードの温度を下降させる請求項１記載のレーザーダイオードシステム。４．前記駆動電流調整手段が、出力レーザービームの振幅を検出する光調整手段を含み、この光調整手段に応答して前記電流駆動手段が、実質的に一定な出力レーザービーム振幅を保持するように駆動電流を調節する請求項３記載のレーザーダイオードシステム。５．駆動電流調整手段が、ユーザーインターフェースを更に含む請求項４記載のレーザーダイオードシステム。６．第二のレーザービームを発振するように前記ダイオードの出力レーザービームにより光学的に励起される外部デバイスを更に備え、前記電流調整手段が、第二のレーザービームの振幅を検出する光調整手段を含み、この光調整手段に応答して前記電流駆動手段が、実質的に一定な第二のレーザービーム振幅を保持するために駆動電流を調節する請求項３記載のレーザーダイオードシステム。７．前記温度調節手段が、前記ダイオードの温度が予め定められた駆動電流についての予め定められた設定点温度に調節されるように前記温度調節手段を設定する設定点手段を更に含み、駆動電流が、予め定められた駆動電流から離れて調整された際に、前記温度調節手段が、前記ダイオードの温度を設定点温度から離して変化させ、予め定められた駆動電流にない駆動電流の調整により生じたスペクトル偏移を相殺させる請求項３記載のレーザーダイオードシステム。８．駆動電流の調整が、一方向にレーザービームのスペクトル出力を偏移させ、前記温度調節手段が、前記検出手段により検出された駆動電流の変化に応答して、前記レーザーダイオードの温度を変化させて、前記一方向と同一方向におけるレーザービームのスペクトル出力の偏移を誘発し、駆動電流は、前記一方向に対して反対方向にレーザービームのスペクトル出力を偏移させるように調整自在である請求項１記載のレーザーダイオードシステム。９．前記温度調節手段が、前記電流検出手段により検出された駆動電流の増大に応答して前記ダイオードの温度を上昇させ、且つ前記電流検出手段により検出された駆動電流の減少に応答して前記ダイオードの温度を下降させる請求項８記載のレーザーダイオードシステム。 10．前記ダイオードからの出力レーザービームにより光学的に励起されて第二のレーザービームを発振する共振を有する外部キャビティと、ダイオードのスペクトル出力と外部キャビティ共振のピークとの差を検出する共振検出手段であり、この共振検出手段に応答して、前記電流駆動手段が、前記外部キャビティ共振に最適に整合するようにダイオードのスペクトル出力を偏移させるために駆動電流を調節する共振検出手段とを更に備え、前記温度調節手段が、駆動電流への調整により生じたスペクトル偏移と同方向における出力レーザービームの付加的なスペクトル偏移を発生させるためにダイオードの温度を変化させるように前記電流駆動手段に応答する請求項９記載のレーザーダイオードシステム。 11．前記ダイオードからの出力レーザービームにより光学的に励起されて第二のレーザービームを発振する共振を有する外部キャビティと、ダイオードのスペクトル出力と外部キャビティ共振のピークとの差を検出する共振検出手段であり、この共振検出手段に応答して、前記電流駆動手段が、前記外部キャビティ共振に光学的に整合するようにダイオードのスペクトル出力を偏移させるために駆動電流を調節する共振検出手段とを更に備え、前記温度調節手段が、駆動電流への調整により生じたスペクトル偏移と同方向における出力レーザービームの付加的なスペクトル偏移を発生させるためにダイオードの温度を変化させるように前記共振検出手段に応答する請求項９記載のレーザーダイオードシステム。 12．前記レーザーダイオードが、単周波数レーザーダイオードである請求項１０記載のレーザーダイオードシステム。 13．前記レーザー共振検出手段が、出力レーザービームにおける側波帯を発生するように駆動電流を調節する手段と、側波帯を検出するための手段と、側波帯からエラー信号を生成するエラー信号生成手段であり、そのエラー信号に応答して前記電流駆動手段が、前記外部キャビティ共振との最適な整合を維持するようにダイオードのスペクトル出力を偏移させるために駆動電流を変化させるエラー信号生成手段とを含む請求項１２記載のレーザーダイオードシステム。 14．レーザーダイオードシステムであり、レーザーダイオードと、出力レーザービームを発振するように可変駆動電流をダイオードヘ供給する電流駆動手段であり、ここでレーザービームのスペクトル出力は、前記ダイオードの温度と、それを流れる駆動電流とにより決定される電流駆動手段と、前記電流駆動手段により前記ダイオードヘ供給される駆動電流の振幅を調整する駆動電流調整手段と、駆動電流の振幅を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段に応答して温度補正信号を発生する温度補正手段と、前記ダイオードの温度を可変に調節する温度調節手段であり、前記温度補正信号に応答する温度調節手段とを備えるレーザーダイオードシステム。 15．前記温度調節手段が、前記ダイオードの温度を調節する予め定められた設定点温度を入力する設定点手段であり、その設定点温度は予め定められた駆動電流に対応し、駆動電流の調整により生じたスペクトル偏移を相殺させるように駆動電流が予め定められた駆動電流から離れて調整された際に、前記温度調節手段が、前記ダイオードの温度を設定点温度から離して変化させる請求項１４記載のレーザーダイオードシステム。 16．前記温度補正手段が、補正項を組み込んだ電気的回路であり、その補正項は、駆動電流の変化により生じる前記ダイオードの出力ビームの全スペクトル偏移を最小化するように駆動電流に与えられた変化のために必要な温度変化と、それに対応するダイオード温度の変化とに対応する請求項１５記載のレーザーダイオードシステム。 17．駆動電流の調整の実行は、一方向にレーザービームのスペクトル出力を偏移させ、前記温度調節手段は、前記検出手段により検出された駆動電流の変化に応答してレーザーダイオードの温度を変化させて、前記一方向に対して反対方向にレーザービームのスペクトル出力の偏移を誘発する請求項１６記載のレーザーダイオードシステム。 18．前記温度調節手段が、前記電流検出手段により検出された駆動電流の減少に応答して前記ダイオードの温度を上昇させ、且つ前記電流検出手段により検出された駆動電流の増加に応答して前記ダイオードの温度を下降させる請求項１７記載のレーザーダイオードシステム。 19．前記駆動電流調整手段が、出力レーザービームの振幅を検出する光調整手段を含み、この光調整手段に応答して前記電流駆動手段が、実質的に一定な出力レーザービーム振幅を保持するように駆動電流を調節する請求項１８記載のレーザーダイオードシステム。 20．前記駆動電流調整手段が、ユーザーインターフェースを更に含む請求項１９記載のレーザーダイオードシステム。 21．第二のレーザービームを発振するように前記ダイオードの出力レーザービームにより光学的に励起される外部デバイスを更に備え、前記電流調整手段が、出力レーザービームの振幅を検出する光調整手段を含み、この光調整手段に応答して前記電流駆動手段が、実質的に一定な第二のレーザービーム振幅を保持するために駆動電流を調節する請求項１８記載のレーザーダイオードシステム。 22．レーザーダイオードのスペクトル出力の偏移を最小化する方法であって、ダイオード出力レーザービームを発振するようにレーザーダイオードを通じて電流を駆動する段階と、前記レーザーダイオードの温度を調節する段階と、駆動電流を調節する段階と、電流調整に応答して前記ダイオードの温度を変化させる段階とを含む方法。 23．前記温度を変化させる段階において、前記ダイオードの温度が、駆動電流の減少に応答して上昇させられ、且つ駆動電流の増加に応答して下降される請求項２２記載の方法。 24．ダイオード出力レーザービームに応答して駆動電流を調節して、その出力レーザービームの一定振幅を保持する段階を更に含む請求項２３記載の方法。 25．外部キャビティをダイオード出力レーザービームにより光学的に励起して、キャビティ出力レーザービームを発振する段階と、キャビティ出力レーザービームに応答して駆動電流を調節して、そのキャビティ出力レーザービームの一定振幅を保持する段階とを更に含む請求項２３記載の方法。 26．前記温度を変化させる段階において、前記ダイオードの温度が、駆動電流の減少に応答して下降させられ、且つ駆動電流の増加に応答して上昇させられる請求項２２記載の方法。 27．外部キャビティ共振に応答して駆動電流を調節して、前記ダイオードのスペクトル出力を外部キャビティの共振周波数へ固定する段階を更に含む請求項２６記載の方法。 28．レーザーダイオード制御回路であって、レーザーダイオードと、このダイオードを駆動するための電流を発生する駆動回路と、この駆動回路により発生した電流のレベルを測定すると共に、その電流レベルに応答して制御信号を発生する手段と、前記ダイオードを冷却するために前記ダイオードへ連結された冷却手段と、この冷却手段を制御する温度制御回路であり、駆動電流の変化に応答する前記ダイオードの温度を、前記制御信号に応答して変更して、前記ダイオードのスペクトル出力の変動を最小化させる温度制御回路とを備えるレーザーダイオード制御回路。 29．駆動電流の調整が、一方向にレーザービームのスペクトル出力を偏移させ、前記温度制御回路は、前記電流測定手段により測定された駆動電流の変化に応答してレーザーダイオードの温度を変化させて、前記一方向に対して反対方向にレーザービームのスペクトル出力の偏移を誘発する請求項２７記載のレーザーダイオードシステム。 30．前記温度制御回路が、前記電流測定手段により測定された駆動電流の減少に応答して前記ダイオードの温度を上昇させ、且つ前記電流測定手段により測定された駆動電流の増加に応答して前記ダイオードの温度を下降させる請求項２７記載のレーザーダイオードシステム。 31．ダイオードの振幅を測定する光調節手段を更に備え、この光調節手段に応答して前記電流駆動回路が、実質的に一定な出力レーザービーム振幅を保持するように駆動電流を調節する請求項２９記載のレーザーダイオードシステム。 32．ダイオード出力により光学的に励起されて外部デバイス光出力を発生する外部デバイスと、前記外部デバイス光出力の振幅を測定する光調節手段とを更に備え、その光調節手段に応答して前記電流駆動回路が、実質的に一定な外部デバイス光出力振幅を保持するように駆動電流を調節する請求項２９記載のレーザーダイオードシステム。 33．前記温度制御回路が、前記ダイオードの温度が予め定められた駆動電流についての予め定められた設定点温度に調節されるように前記温度制御回路を設定する設定点手段を更に含み、駆動電流が、予め定められた駆動電流から離れて調整された際に、前記温度制御回路が、前記ダイオードの温度を設定点温度から離して変化させ、予め定められた駆動電流にない駆動電流の調整により生じたスペクトル偏移を相殺させる請求項２９記載のレーザーダイオードシステム。