DE3706635A1 - Verfahren zur stabilisierung der frequenz einer laserdiode unabhaengig vom diodenstrom - Google Patents
Verfahren zur stabilisierung der frequenz einer laserdiode unabhaengig vom diodenstromInfo
- Publication number
- DE3706635A1 DE3706635A1 DE19873706635 DE3706635A DE3706635A1 DE 3706635 A1 DE3706635 A1 DE 3706635A1 DE 19873706635 DE19873706635 DE 19873706635 DE 3706635 A DE3706635 A DE 3706635A DE 3706635 A1 DE3706635 A1 DE 3706635A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- laser diode
- temperature
- current
- frequency
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/024—Arrangements for thermal management
- H01S5/02407—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
- H01S5/02415—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling by using a thermo-electric cooler [TEC], e.g. Peltier element
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/06825—Protecting the laser, e.g. during switch-on/off, detection of malfunctioning or degradation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/06804—Stabilisation of laser output parameters by monitoring an external parameter, e.g. temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/06837—Stabilising otherwise than by an applied electric field or current, e.g. by controlling the temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/0687—Stabilising the frequency of the laser
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Stabilisierung
der Frequenz einer Laserdiode, in dem die Temperatur des
Gehäuses der Laserdiode gemessen und durch Wärmezu- oder
-abfuhr konstant gehalten wird und anschließend der zum
Betreiben der Laserdiode erforderliche Strom eingeschaltet
wird. Laserdioden eignen sich insbesondere für Längenmessungen
mit hoher Genauigkeit. Die gesuchte Länge ergibt sich in
Abhängigkeit von Hell/Dunkelstreifen, die durch Interferenz des
Laserlichtes auftreten, und der Wellenlänge bzw. Frequenz der
Laserdiode. Die Frequenz der Laserdiode muß also zu jedem
Zeitpunkt der Messung bekannt sein. Eine permanente Messung der
Frequenz der Laserdiode würde einen großen apparativen Aufbau
erfordern und, hervorgerufen durch die Fehler bei der
Frequenzmessung, die Genauigkeit der Längenmessung verringern.
Es erweist sich daher als unumgänglich eine Laserdiode zu
verwenden, die Licht bekannter und konstanter Frequenz
ausstrahlt.
Bedingt durch den Aufbau der Laserdiode variiert deren Frequenz
bei Änderung der ihr zugeführten Stromstärke oder der
Temperatur der laseraktiven Zone. Die Änderung der Stromstärke
bewirkt hauptsächlich, infolge von Verlustwärme, eine
Temperaturänderung der laseraktiven Zone. Es erweist sich daher
als notwendig, die Temperatur der laseraktiven Zone, zumindest
während der Längenmessung, konstant zu halten.
Aus dem Artikel
"Emission Frequency Stability in Single-Mode-Fibre Optical
Feedback Controlled Semiconductor Lasers", Electronics Letters,
Vol. 19, No 17, August 1983, von F. Fouvre und D. Le Guen ist
ein Verfahren entsprechend dem Oberbegriff des Anspruchs 1
bekannt.
Bei diesen Verfahren wird das Gehäuse der Laserdiode auf
konstanter Temperatur gehalten und zwar unabhängig von der der
Laserdiode zugeführten Stromstärke. Nachteilig ist, daß beim
Einschalten des Stromes der Laserdiode infolge der dadurch
auftretenden Verlustwärme, wie bereits oben beschrieben, eine
Frequenzänderung des Lichts der Laserdiode auftritt und die
Frequenz des Lichts der Laserdiode solange variiert, bis die
Kühlung des Gehäuses der Laserdiode die durch den Strom
hervorgerufene Erwärmung der laseraktiven Zone kompensiert hat.
Die letztlich vorhandene Frequenz des Lichts der Laserdiode
ist bei diesem Verfahren nur in relativ großen Grenzen
vorhersagbar, da die Kurve der Frequenz der Laserdiode über der
Temperatur unstetig ist, in Form einer Treppenfunktion verläuft
und eine Hysterese besitzt. Damit sind der Genauigkeit der
Längenmessung enge Grenzen gesetzt. Der relative Fehler der
Frequenz beträgt:
Δν/ν = 10-3 mit ν [s-1] Frequenz des Lichts der Laserdiode.
Δν/ν = 10-3 mit ν [s-1] Frequenz des Lichts der Laserdiode.
Weiterhin ist es bekannt, für Längenmessungen Helium-Neon-Laser
einzusetzen. Dieser Laser bieten den Vorteil, daß sich die
Frequenz des Laserlichts über eine Naturkonstante ermitteln
läßt und konstant ist. Nachteilig jedoch ist, daß diese
Helium-Neon-Laser vergleichsweise groß sind und so für viele
Anwendungsgebiete, wo es auf kleine Bauweise ankommt,
beispielsweise bei dem Einbau in NC-gesteuerten Werkzeug und
Koordinatenme-maschinen nicht einsetzbar sind.
Weiterhin nachteilig sind die Helium-Neon-Laser im Vergleich zu
einer Laserdiode wesentlich teurer, wodurch ebenfalls der
Einsatz der Helium-Neon-Laser beschränkt wird.
Aus dem Aufsatz "Frequency Stabilisation of Semiconductor
Lasers for Heterodyne-Type Optical Communication Systems", von
T. Okoshi und K. Kikuchi, Electronics Letters, Vol. 16, No. 5,
February 1980, ist ein Verfahren bekannt, welches nach
Einregelung der Betriebsbedingungen der Laserdiode
Frequenzschwankungen, die durch Temperatur- oder
Spannungsschwankungen hervorgerufen werden, unterdrückt. Das
Licht der Laserdiode wird dafür in zwei Meßpfade aufgespalten.
Im ersten Meßpfad wird das Licht der Laserdiode direkt von
einer Photodiode aufgenommen, im zweiten Meßpfad wird das Licht
der Laserdiode über einen Fabry-Perot Interferometer einer
zweiten Photodiode zugeführt. Die Ausgänge beider Photodioden
sind mit einem Differentialverstärker verbunden, dessen Ausgang
wiederum zur Steuerung der Wärmezu- oder -abfuhr benutzt wird.
Nachteilig ist, daß diese Frequenzstabilisierung erst nach
Einregelung des Betriebszustandes der Laserdiode, also nachdem
die Laserdiode bereits Licht bestimmter Frequenz emittiert, zur
Anwendung kommt. Beim Einschalten und Hochregeln des Stromes
der Laserdiode variiert bei diesem Verfahren die Frequenz des
Lichtes der Laserdiode, was die oben bereits beschriebenen
Nachteile mit sich bringt. Weiterhin erfordert dieses Verfahren
einen relativ großen apparativen Aufbau und ist dadurch bedingt
teuer und auf Anwendungsgebiete beschränkt, bei denen für den
Aufbau genügend Platz vorhanden ist.
Das Ausgangssignal des Differentialverstärkers kann anstatt zur
Regelung der Wärmezu- oder -abfuhr zur Regelung der der
Laserdioden zugeführten Stromstärke benutzt werden. Dies wird
in dem Artikel "High Frequency Stability of Laserdiode for
Heterodyne Communication Systems", F. Favre, D. Le Guen,
Electronic Letters, Vol. 16, No. 18, August 1980,
vorgeschlagen. Auch hier wird die Frequenz des Lichts der
Laserdiode erst dann stabilisiert, wenn die Laserdiode bereits
ihren Betriebszustand erreicht hat. Die oben bereits
geschilderten Nachteile gelten hier entsprechend.
Eine Vorrichtung zur Stabilisierung der Frequenz einer
Laserdiode entsprechend den Merkmalen des Oberbegriffs des
Anspruchs 5 ist aus dem Bericht der physikalisch-technischen
Bundesanstalt, "Temperaturstabilisierter, abstimmbarer und
modulierter Diodenlaser", von A. Abou-Zeid und G. Leppelt,
PTB-ME-67, April 1985, ISSN 0341-6720, bekannt. Es ist ein
Temperaturregler vorgesehen, der das Gehäuse der Laserdiode auf
konstante Temperatur hält. Die der Laserdiode zugeführte
Stromstärke wird von einem Anfangswert, nämlich Null, auf einem
Sollwert, die einem Sollwertgeber vorgegeben wurden, mittels
eines Stromreglers hochgeregelt. Dabei wird insbesondere die
Temperatur der laseraktiven Zone verändert, was eine Änderung
der Frequenz des Lichts der Laserdiode zur Folge hat. Nach
einer bestimmten Zeit macht sich die Temperaturänderung der
laseraktiven Zone als Temperaturänderung am Gehäuse der
Laserdiode bemerkbar, woraufhin der Temperaturregler eine
Wärmezu- oder -abfuhr an dem Gehäuse der Laserdiode bewirkt,
die sich wiederum nach einer gewissen Zeitspanne in der aktiven
Zone der Laserdiode bemerkbar macht. Die Frequenz des Lichts
der Laserdiode variiert dabei bei jeder Temperaturänderung der
laseraktiven Zone.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und
eine Vorrichtung zur Stabilisierung der Frequenz einer
Laserdiode der eingangsbeschriebenen Art so weiter zu bilden,
daß die Frequenzstabilisierung einer Laserdiode mit einer
Langzeitstabilität von Δν/ν 10-5 erfolgt, und bei
vorzugsweiser Benutzung in der Längenmeßtechnik die relative
Genauigkeit der gemessenen Länge Δs/s 10-6 beträgt, mit
s [m] Länge.
Erfindungsgemäß wird dies bei dem Verfahren der eingangs
genannten Art dadurch erreicht, daß die Stromstärke langsam von
einem Anfangswert - insbesondere Null - auf einen Sollwert
entsprechend der gewünschten Ausgangsleistung der Laserdiode
gesteigert wird und dabei, sowie ggf. bei weiteren
Veränderungen der Stromstärke, die Temperatur des Gehäuses der
Laserdiode so verändert wird, daß die Temperatur der
laseraktiven Zone der Laserdiode entsprechend einem
Stabilitätsfaktor
konstant gehalten wird. Bei
erfindungsgemäßer Anwendung des Verfahrens weist das Licht der
Laserdiode eine stets gleichbleibende Frequenz auf, unabhängig
der der Laserdiode zugeführten Stromstärke. Die Kompensation
der Temperaturänderungen der laseraktiven Zone, hervorgerufen
durch die Stromstärkeänderungen, erfolgt mittels Wärmezu- oder
-abfuhr an dem Gehäuse der Laserdiode kontinuierlich in
Abhängigkeit der der Laserdiode zugeführten Stromstärke. Die
Wärmezu- oder -abfuhr, bzw. die Regelung der Stromstärke,
erfolgt entsprechend einem Stabilitätsfaktor. Dieser
Stabilitätsfaktor berücksichtigt einerseits den Wärmeübergang
zwischen dem Gehäuse der Laserdiode und der laseraktiven Zone
der Laserdiode und andererseits die Änderung der Frequenz des
Lichtes der Laserdiode in Abhängigkeit von der Temperatur der
laseraktiven Zone der Laserdiode. Anschaulich läßt sich das
Verfahren mittels eines Diagrammes erklären, bei dem die der
Laserdiode zugeführte Stromstärke über der Temperatur des
Gehäuses der Laserdiode aufgetragen ist (Fig. 3). Für konstante
Frequenzen des Lichts der Laserdiode ergeben sich in diesem
Diagramm Graden mit negativen Steigungen. Wird nun die
Stromstärke verändert, sei es um die Laserdiode einzuschalten
oder durch Spannungsschwankungen im Netz, wird die Temperatur
der laseraktiven Zone durch Wärmezu- oder -abfuhr an dem
Gehäuse der Laserdiode entsprechend der Geraden in dem Diagramm
Stromstärke über Temperatur des Gehäuses der Laserdiode für
eine bestimmte Frequenz verschoben. Vorteilhaft wird damit
erreicht, daß die Frequenz des Lichtes der Laserdiode in jedem
Betriebszustand, also insbesondere auch bei den Messungen,
konstant gehalten wird.
Weiterhin vorteilhaft ist, daß die Frequenz des Lichtes der
Laserdiode von vorneherein sehr genau bekannt ist, da die
bekannten Sprung- und Hystereseeffekte der Laserdiode bei
diesem Verfahren nicht auftreten können. Dies ist damit zu
erklären, daß die laseraktive Zone der Laserdiode stets auf
konstante Temperatur gehalten wird.
Vorteilhaft wird mit diesem Verfahren zur Stabilisierung der
Frequenz einer Laserdiode eine Langzeitkonstanz der einmal
eingestellten Frequenz über mindestens mehrere Monate erreicht.
Es sind somit keine aufwändigen Nacheichungen und
Kontrollmaßnahmen erforderlich. Weiterhin kann vorteilhaft die
Eichung der Laserdiode, also die Ermittlung des
Stabilitätsfaktors, werksseitig vorgenommen und als
Gerätefaktor der Laserdiode angegeben werden.
Durch die zuverlässige Stabilisierung der Frequenz der
Laserdiode kann sie in vielen Anwendungsgebieten, die ihr
vorher verschlossen blieben, eingesetzt werden. Der Vorteil
solch einer Laserdiode, im Vergleich zu den sonst üblichen
Helium-Neon-Lasern, liegt sowohl in der kompakten Bauweise, als
auch im geringen Anschaffungspreis. Weiterhin arbeitet eine
Laserdiode hochspannungsfrei, hat eine hohe Ausgangsleistung
und nur geringe Wärmeverluste sowie eine hohe Lebensdauer.
Vorteilhaft kann bei Anwendung des oben beschriebenen
Verfahrens eine bestimmte, vorgewählte Frequenz des Lichtes der
Laserdiode eingestellt werden. Es können alle Frequenzen
gewählt werden, die zwischen den Frequenzsprüngen der Funktion
in dem Diagramm Frequenz des Lichtes der Laserdiode über der
Temperatur der laseraktiven Zone der Laserdiode liegen.
Die Intensität des Lichtes der Laserdiode kann vorteilhaft
durch Änderung der der Laserdiode zugeführten Stromstärke
variiert werden, ohne das sich eine Frequenzverschiebung des
Lichtes der Laserdiode ergibt. Verfahrensgemäß wird dann dabei
die Temperatur des Gehäuses der Laserdiode derart nachgeregelt,
daß die Temperatur der laseraktiven Zone der Laserdiode
wiederum konstant bleibt.
Vorteilhaft kann die Temperatur der laseraktiven Zone der
Laserdiode auch dann konstant gehalten werden, wenn die
Stromstärke auf einen Anfangswert - insbesondere Null -
erniedrigt wird. Das heißt also, daß die die Regelung der Wärmezu-
oder -abfuhr auch dann aktiv bleibt, wenn die Laserdiode selbst
nicht betrieben wird. Temperaturschwankungen an dem Gehäuse der
Laserdiode, hervorgerufen durch beispielsweise Änderung der
Umgebungstemperatur, werden ausgeglichen und die Temperatur der
laseraktiven Zone der Laserdiode bleibt konstant. Dadurch
entstehen bei Inbetriebnahme der Laserdiode praktisch keinerlei
Anlaufzeiten und die Laserdiode ist sofort betriebsbereit.
Vorteilhaft kann zum Zwecke der Kalibrierung die Abhängigkeit
der Wellenlänge von der Stromstärke einerseits und der
Temperatur andererseits gemessen, die Steigungen der Kurven der
Wellenlänge über der Stromstärke bei konstanter Temperatur und
der Wellenlänge über der Temperatur bei konstanter Stromstärke
aus diesen Messungen ermittelt und durch Quotientenbildung
dieser Steigungen der Stabilitätsfaktor α errechnet werden,
nach welchem die Temperatur der laseraktiven Zone der
Laserdiode konstant gehalten wird. Durch die Bildung eines
Stabilitätsfaktors kann für jede, sich individuell verhaltene
Laserdiode, mit nur einem Wert dem Anwender mitgeteilt werden,
wie er die verfahrensmäßig durchzuführende Regelung an die
individuelle Laserdiode anpassen muß. Die Ermittlung der
Steigungen der Kurven der Frequenz des Lichtes der Laserdiode
über der Stromstärke bei konstanter Temperatur der laseraktiven
Zone der Laserdiode und der Frequenz der Lichtes der Laserdiode
zu der Temperatur der laseraktiven Zone der Laserdiode bei
konstanter Stromstärke durch Messung hat sich als einfach und
sehr genau erwiesen. Der Wärmeübergang zwischen dem Gehäuse
der Laserdiode und der laseraktiven Zone der Laserdiode, der
mathematisch kaum oder nur mit erheblichem Aufwand berechenbar
ist, wird durch die Messung automatisch erfaßt.
Vorteilhaft kann als Temperatur des Gehäuses der Laserdiode zu
Beginn des Einschaltens des Stromes diejenige Temperatur
benutzt werden, bei der auch der Stabilitätsfaktor ermittelt
wurde. Damit wird mit sehr hoher Genauigkeit diejenige Frequenz
des Lichtes der Laserdiode erreicht, die vorher eingestellt
wurde. Bei Einsatz der Laserdiode in der Längenmeßtechnik kann
somit ein relativer Meßfehler erreicht werden, der kleiner als
10-6 m/m ist, oder mathematisch ausgedrückt: Δs/s 10-6.
Die Stabilisierung der Frequenz des Lichts der Laserdiode,
unabhängig von jeglichen Änderungen der der Laserdiode
zugeführten Stromstärke, wird bei der Vorrichtung
erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß ein Kopplungsglied
vorgesehen ist, daß dem Kopplungsglied die Ist-Größen des
Stromreglers und des Temperaturreglers zugeführt werden, daß
das Kopplungsglied entsprechend einem funktionalen Zusammenhang
zwischen Stromstärke und Temperatur für konstante Wellenlänge
der Laserdiode Führungsgrößen an den Stromregler und dem
Temperaturregler derart anlegt, daß die Frequenz der Laserdiode
konstant bleibt. Damit werden vorteilhaft die aus dem Stand der
Technik bekannten und oben beschriebenen Nachteile vermieden.
Diese und weitere Vorteile ergeben sich aus den Unteransprüchen
und dem Ausführungsbeispiel.
Die Erfindung wird anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele
weiter beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 ein Diagramm der Wellenlänge des Lichts der Laserdiode
über die Stromstärke;
Fig. 2 ein Diagramm der Wellenlänge des Lichts der Laserdiode
über der Temperatur des Gehäuses der Laserdiode;
Fig. 3 ein Diagramm der Stromstärke über die Temperatur des
Gehäuses der Laserdiode für verschiedene Frequenzen des
Lichts der Laserdiode;
Fig. 4 ein Diagramm der Stromstärke über der Zeit;
Fig. 5 ein Diagramm der Temperatur des Gehäuses der Laserdiode
über die Zeit;
Fig. 6 ein Diagramm der Temperatur der laseraktiven Zone und
der Frequenz der Wellenlänge des Lichts der Laserdiode
über die Zeit;
Fig. 7 ein Blockdiagramm einer ersten Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Fig. 8 ein Blockdiagramm einer zweiten Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Vorrichtung.
Fig. 1 zeigt die Wellenlänge des emittierten Lichtes der
Laserdiode über der der Laserdiode zugeführten Stromstärke bei
konstanter Temperatur der laseraktiven Zone. Es ergibt sich
eine Treppenfunktion. Bei einigen Werten der der Laserdiode
zugeführten Stromstärke ergeben sich Unstetigkeiten, zwischen
denen die Funktion einen linearen Verlauf mit positiven
Gradienten aufweist. Sowohl die Gradienten der geraden Stücke
der Treppenfunktion als auch die Lage der Unstetigkeitsstellen
sind für verschiedene Laserdioden unterschiedlich. Zur
Ermittlung des Stabilitätsfaktors wird für jede einzelne
Laserdiode individuell dieser funktionale Zusammenhang durch
Messung bestimmt. Es hat sich gezeigt, daß der individuelle
Verlauf der Frequenz des emittierten Lichts der Laserdiode über
der der Laserdiode zugeführten Stromstärke reproduzierbar ist,
so daß diese Messung, die einen bestimmten apparativen Aufbau
voraussetzt, werksseitig durchgeführt werden kann.
Fig. 2 zeigt die Wellenlänge des emittierten Lichts der
Laserdiode über der Temperatur des Gehäuses der Laserdiode bei
konstanter Stromstärke der Laserdiode. Der funktionale
Zusammenhang ergibt sich wiederum als eine Treppenfunktion. Die
Steigungen zwischen den Unstetigkeitsstellen sind positiv.
Dieser funktionale Zusammenhang ist ebenfalls für jede
Laserdiode individuell zu ermitteln, dann aber reproduzierbar.
Somit kann auch diese Messung werksseitig durchgeführt werden.
Mit Hilfe der beiden Steigungen dλ/di, dλ/dT
läßt sich der Stabilitätsfaktor α durch Quotientenbildung
errechnen. Für jeweils konstante Frequenzen des emittierten
Lichts der Laserdiode ergibt sich daraus die Abhängigkeit der
Temperatur des Gehäuses der Laserdiode von der der Laserdiode
zugeführten Stromstärke, (Fig. 3). Jeder funktionale
Zusammenhang stellt sich für konstante Frequenz des emittierten
Lichts der Laserdiode als Gerade mit negativen Gradienten dar.
Bei erfindungsgemäßer Anwendung des Verfahrens wird bei jeder
Änderung der Laserdiode zugeführten Stromstärke die Temperatur
des Gehäuses der Laserdiode derart nachgeregelt, daß der
Schnittpunkt zwischen der der Laserdiode zugeführten
Stromstärke und der Temperatur des Gehäuses der Laserdiode in
dem Diagramm stets auf ein und derselben Geraden liegt. Damit
ist gewährleistet, daß bei jeglichen Änderungen der der
Laserdiode zugeführten Stromstärke die Frequenz des emittierten
Lichtes der Laserdiode stets konstant ist. Ebenso können
natürlich auch Änderungen der Temperatur des Gehäuses der
Laserdiode durch entsprechende Änderungen der der Laserdiode
zugeführte Stromstärke kompensiert werden. Wichtig ist nur, daß
der Schnittpunkt beider Größen immer auf ein und derselben
Geraden für die gewünschte Frequenz des Lichtes der Laserdiode
liegen.
Fig. 4 zeigt die Zeitabhängigkeit der der Laserdiode
zugeführten Stromstärke. Bei aus dem Stand der Technik
bekannten Verfahren wird die Stromstärke, wie die gestrichelte
Line zeigt, relativ schnell von einem Anfangswert,
beispielsweise Null, auf einen Sollwert erhöht. Die
durchgezogene Linie zeigt die Erhöhung der der Laserdiode
zugeführten Stromstärke bei Anwendung des erfindungsgemäßen
Verfahrens. Die Stromstärke wird von einem Anfangswert
wesentlich langsamer auf einen Sollwert erhöht. Die Änderung
der Stromstärke erfolgt entsprechend dem vorher berechneten
Leistungsfaktor. Der hier dargestellte Kurvenverlauf ist
natürlich nur qualitativ zu verstehen, da die Änderung der
Stromstärke nach einem, für jede Laserdiode individuellen,
Stabilitätsfaktor bestimmt wird, und somit auch von der
individuellen Ausführung des Gehäuses der Laserdiode abhängig
ist.
Fig. 5 zeigt den Verlauf der Temperatur des Gehäuses der
Laserdiode über der Zeit. Die gestrichelte Linie gibt die
Verhältnisse bei dem aus dem Stand der Technik bekannten
Verfahren wieder. Nach einer gewissen Ansprechzeit erhöht sich
die Temperatur des Gehäuses der Laserdiode. Dies wird
registriert und durch Wärmeabfuhr des Gehäuses der Laserdiode
über die Temperatur des Gehäuses der Laserdiode innerhalb
gewisser Grenzen konstant gehalten. Dadurch ergibt sich ein
Einschwingvorgang, wie er schematisch in Fig. 5 dargestellt
ist. Bei der erfindungsgemäßen Anwendung des Verfahrens dagegen
wird die Temperatur des Gehäuses der Laserdiode kontinuierlich,
in Abhängigkeit der Änderungen der der Laserdiode zugeführten
Stromstärke, erniedrigt.
Fig. 6 demonstriert deutlich die Vorteile des erfindungsgemäßen
Verfahrens. Dort sind die Temperaturen der laseraktiven Zone
der Laserdiode und die Wellenlänge des emittierten Lichtes der
Laserdiode über die Zeit aufgetragen. Bei dem erfindungsgemäßen
Verfahren sind sowohl die Temperatur der laseraktiven Zone als
auch die Wellenlänge des emittierten Lichtes der Laserdiode
konstant. Anders dagegen verhält es sich bei Verfahren aus dem
Stand der Technik, wie dies die gestrichelten Linien zeigen.
Die Temperatur der laseraktiven Zone steigt, bedingt durch die
Erhöhung der der Laserdiode zugeführten Stromstärke, an.
Aufgrund der Wärmeabfuhr des Gehäuses der Laserdiode wiederum ab bis
sie, nach einem Einschwingvorgang, einen konstanten Wert
erhält. Die Frequenz des emittierten Lichtes über der Zeit
weist einen unstetigen und ungeordneten Verlauf auf. Dieser
Kurvenverlauf ist nicht vorhersehbar und nicht reproduzierbar,
da er sich aus einer Überlagerung der Kurvenverläufe
entsprechend Fig. 1 und Fig. 2 zusammensetzt und weiterhin
starke Hystereseeffekte auftreten.
Fig. 7 zeigt eine erste Version der Vorrichtung zur
Stabilisierung der Frequenz einer Laserdiode. Eine
Spannungsquelle 1 ist mit einem Sollwertgeber 2 verbunden. Der
Ausgang des Sollwertgebers 2 liegt an einem Stromregler 3. Der
Stromregler 3 besitzt zwei Ausgänge 4 und 5 und zwei Eingänge 6
und 7. Am Ausgang 4 ist eine Laserdiode 8 angeschlossen, am
Ausgang 5 ein Kopplungsglied 9. Am Eingang 7 liegt der Ist-
Wert der Stromstärke an, am Eingang 6 eine Führungsgröße 10,
die vom Kopplungsglied 9 zur Verfügung gestellt wird. Weiterhin
ist ein Temperaturregler 11 vorgesehen, an dem die Ist-
Temperatur 12 des Gehäuses der Laserdiode 8 an einem Eingang 13
und eine Führungsgröße 14 des Kopplungsgliedes 9 an einem
Eingang 15 anliegt. Ein Eingang 16 dient zur Aufnahme einer
Soll-Temperatur 17. Weiterhin besitzt der Temperaturregler 11
zwei Ausgänge 18 und 19. Der Ausgang 18 ist mit dem
Kopplungsglied 9 verbunden, der Ausgang 19 mit einem
Peltierelement 20.
Die Ist-Temperatur 12 des Gehäuses der Laserdiode 8 wird
gemessen und dem Temperaturregler 11 zugeführt. Der
Temperaturregler 11 hält die Ist-Temperatur 12 des Gehäuses
der Laserdiode 8 konstant, solange keine Führungsgröße 14 am
Eingang 15 des Temperaturreglers 11 anliegt. Der Strom der
Laserdiode 8 wird durch den Stromregler 3 geregelt. Der Ist-
Wert des Stromes wird dem Stromregler 3 am Eingang 7 zugeführt.
Der Soll-Wert des Stromes wird mit dem Sollwertgeber 2
eingestellt. Die Führungsgrößen 10 und 14 werden von dem
Kopplungsglied 9 erzeugt. Beim Einschalten der Laserdiode 8
wird dem Sollwertgeber 2 der gewünschte Wert des Stromes
vorgegeben. Der Stromregler 3 erhöht die der Laserdiode 8
zugeführte Stromstärke und gibt ein entsprechendes Signal an
das Kopplungsglied 9. Das Kopplungsglied 9 legt Führungsgrößen
10 und 14 an den Stromregler 3 und dem Temperaturregler 11 an.
Diese Führungsgrößen 10 und 14 veranlassen den Stromregler 3
und den Temperaturregler 11 derart miteinander zu wirken, daß
die über die Ausgänge 4 und 19 mit der Laserdiode 8 verbundenen
Größen sich entsprechend dem Stabilitätsfaktor α verhalten.
Fig. 8 zeigt eine zweite Version der Vorrichtung zur
Stabilisierung der Frequenz einer Laserdiode. Die Laserdiode 8
ist mit einem Mikroprozessor 21 verbunden. Der Mikroprozessor
21 besitzt einen Eingang 22 und zwei Ausgänge 23 und 24. Am
Eingang 22 des Mikroprozessors 21 liegt die Ist-Temperatur 12
des Gehäuses der Laserdiode 8 an. Diese wird einem A/D-
Wandler 25 zugeführt. Ein D/A-Wandler 26 legt ein analoges
Signal an den Ausgang 23, der mit dem Peltierelement 20 der
Laserdiode 8 verbunden ist. Ein weiterer D/A-Wandler 27 ist
mit dem Ausgang 24, von dem aus die Speisung der Laserdiode 8
mit Strom erfolgt, und einem Eingang eines A/D-Wandlers 28
verbunden.
Die zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten
Ausführungsform dadurch, daß die Steuerung der Laserdiode im
Bezug auf Strom und Temperatur jetzt von einem Mikroprozessor
21 übernommen wird. Die Ist-Temperatur 12 der Laserdiode 8
wird dem A/D-Wandler 25 zugeführt. Die Digitalinformation der
Temperatur 12 wird sodann dem Mikroprozessor 21 zugänglich
gemacht. Der Sollwert des Stromes und der Stabilitätsfaktor
kann in den Mikroprozessor 21 fest einprogrammiert sein oder
über externe Tastenfelder 29 eingebbar sein. Der Mikroprozessor
21 übernimmt dann die Regelung der der Laserdiode 8 zugeführten
Stromstärke und Temperatur entsprechend dem Stabilitätsfaktor.
- Bezugszeichenliste
1 = Spannungsquelle
2 = Sollwertgeber
3 = Stromregler
4 = Ausgang
5 = Ausgang
6 = Eingang
7 = Eingang
8 = Laserdiode
9 = Kopplungsglied
10 = Führungsgröße
11 = Temperaturregler
12 = Ist-Temperatur
13 = Eingang
14 = Führungsgröße
15 = Eingang
16 = Eingang
17 = Solltemperatur
18 = Ausgang
19 = Ausgang
20 = Peltierelement
21 = Mikroprozessor
22 = Eingang
23 = Ausgang
24 = Ausgang
25 = A/D-Wandler
26 = D/A-Wandler
27 = D/A-Wandler
28 = A/D-Wandler
29 = Tastenfeld
Claims (9)
1. Verfahren zur Stabilisierung der Frequenz einer Laserdiode,
in dem die Temperatur des Gehäuses der Laserdiode gemessen und
durch Wärmezu- oder -abfuhr konstant gehalten wird und
anschließend der zum Betreiben der Laserdiode erforderliche
Strom eingeschaltet wird, dadurch gekennzeichnet, daß die
Stromstärke langsam von einem Anfangswert - insbesondere Null -
auf einen Sollwert entsprechend der gewünschten
Ausgangsleistung der Laserdiode (8) gesteigert wird und dabei,
sowie ggf. bei weiteren Veränderungen der Stromstärke, die
Temperatur des Gehäuses (12) der Laserdiode (8) so verändert
wird, daß die Temperatur der laseraktiven Zone der Laserdiode
(8) entsprechend einem Stabilitätsfaktor
gehalten wird, mitα [°K/A]Stabilitätsfaktor
λ [m]Wellenlänge des Lichts der
Laserdiode
i [A]Stromstärke
T [°K]Temperatur des Gehäuses der
Laserdiode
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Temperatur der laseraktiven Zone der Laserdiode auch dann
konstant gehalten wird, wenn die Stromstärke auf einen
Anfangswert - insbesondere Null - erniedrigt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum
Zwecke der Kalibrierung die Abhängigkeit der Wellenlänge von
der Stromstärke einerseits und der Temperatur andererseits
gemessen wird, die Steigungen der Kurven der Wellenlänge über
der Stromstärke bei konstanter Temperatur und der Wellenlänge
über der Temperatur bei konstanter Stromstärke aus diesen
Messungen ermittelt werden und durch Quotientenbildung dieser
Steigungen der Stabilitätsfaktor α errechnet wird, nach
welchem die Temperatur der laseraktiven Zone der Laserdiode (8)
konstant gehalten wird.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß als Temperatur des Gehäuses der Laserdiode
(8) zu Beginn des Einschaltens des Stromes diejenige Temperatur
benutzt wird, bei der auch der Stabilitätsfaktor ermittelt
wurde.
5. Vorrichtung zur Stabilisierung der Frequenz einer Laserdiode
nach dem Verfahren gemäß Anspruch 1, die eine Spannungsquelle
und einen Sollwertgeber aufweist, wobei der an dem
Sollwertgeber eingestellte Wert der Stromstärke einem
Stromregler zugeführt wird und der Stromregler einen Ist/Soll-
Vergleich der Stromstärke durchführt und bei Abweichungen den
Wert der Stromstärke korrigiert, der am Ausgang des
Stromreglers anliegende Wert der Stromstärke der Laserdiode
zugeführt wird und weiterhin ein Temperaturregler vorgesehen
ist, der einen Vergleich zwischen der Ist-Temperatur des
Gehäuses der Laserdiode und einer vorgegebenen Soll-Temperatur
durchführt und durch entsprechende Wärmezu- oder -abfuhr das
Gehäuse der Laserdiode auf konstante Temperatur hält, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Kopplungsglied (9) vorgesehen ist, daß
dem Kopplungsglied (9) die Ist-Größen des Stromreglers (3) und
des Temperaturreglers (11) zugeführt werden, daß das
Kopplungsglied (9) entsprechend dem Stabilitätsfaktor α
Führungsgrößen (10, 14) an den Stromregler (3) und dem
Temperaturregler (11) derart anlegt, daß die Frequenz des
Lichts der Laserdiode (8) konstant bleibt.
6. Vorrichtung zur Stabilisierung der Frequenz einer Laserdiode
nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Kopplungsglied
(9) Einrichtungen zur Veränderung des Stabilitätsfaktors
aufweist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet,
daß das Kopplungsglied (9) hauptsächlich aus sogenannten
analogen Elementen besteht.
8. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet,
daß als Kopplungsglied (9) ein Mikroprozessor (21) vorgesehen
ist.
9. Vorrichtung nach Ansprüchen 5 und 8, dadurch gekennzeichnet,
daß der Mikroprozessor (21) Einrichtungen zur Regelung der
Stromstärke und der Temperatur der Laserdiode (8) aufweist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873706635 DE3706635A1 (de) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | Verfahren zur stabilisierung der frequenz einer laserdiode unabhaengig vom diodenstrom |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873706635 DE3706635A1 (de) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | Verfahren zur stabilisierung der frequenz einer laserdiode unabhaengig vom diodenstrom |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3706635A1 true DE3706635A1 (de) | 1988-09-15 |
| DE3706635C2 DE3706635C2 (de) | 1989-02-09 |
Family
ID=6322081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19873706635 Granted DE3706635A1 (de) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | Verfahren zur stabilisierung der frequenz einer laserdiode unabhaengig vom diodenstrom |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3706635A1 (de) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3840255A1 (de) * | 1987-11-30 | 1989-06-08 | Su Kliment Ochridski | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen des einschaltmoments eines systems zur aktiven thermostabilisierung der resonatorlaenge von frequenzstabilisierten lasern |
| US5031184A (en) * | 1989-07-01 | 1991-07-09 | Carl-Zeiss-Stiftung | Cooling arrangement for a semiconductor pump source |
| AT393763B (de) * | 1989-03-21 | 1991-12-10 | Tabarelli Werner | Einrichtung zur konstanthaltung der luftwellenlaenge von laserlicht |
| EP0512541A2 (de) * | 1991-05-10 | 1992-11-11 | Fujitsu Limited | Regeleinrichtung für Halbleiterlaser zur Bestimmung der Lebensdauer der Halbleiterlaser durch Feststellung des im Halbleiterlaser, beginnend vom Anfangszustand, erfolgenden Stromanstiegs |
| WO1995018518A1 (en) * | 1993-12-28 | 1995-07-06 | Honeywell Inc. | Light source intensity control device |
| WO1995029521A1 (en) * | 1994-04-23 | 1995-11-02 | Renishaw Plc | Frequency stabilisation of a laser diode |
| US5553087A (en) * | 1993-04-24 | 1996-09-03 | Renishaw Plc | Frequency stabilized laser diode |
| WO1997001203A1 (en) * | 1995-06-23 | 1997-01-09 | Coherent, Inc. | Temperature correction circuit for wavelength stabilization in a laser diode |
| EP0920095A2 (de) * | 1997-11-27 | 1999-06-02 | Hitachi, Ltd. | Vorrichtung zur Stabilitätskontrolle der optischen Wellenlänge und optischer Sender |
| EP1255332A2 (de) * | 2001-04-16 | 2002-11-06 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Halbleiterlaservorrichtung und Treiberkontrollverfahren für eine Halbleiterlaservorrichtung |
| DE10244700A1 (de) * | 2002-09-24 | 2004-04-01 | Bktel Communications Gmbh | Arbeitspunktstabilisator einer Laser-Aussendeeinrichtung H01S3/13 |
| EP1076387A3 (de) * | 1999-08-13 | 2004-09-08 | Marconi UK Intellectual Property Ltd | Kontrollverfahren für einen Laser in Wellenlängenmultiplexbasierte Anwendungen |
| US20200295535A1 (en) * | 2017-12-15 | 2020-09-17 | Horiba, Ltd. | Semiconductor laser device, and method and program for driving the same |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4039371C2 (de) * | 1990-12-10 | 2000-05-31 | Zeiss Carl Fa | Einrichtung zur Stabilisierung der Wellenlänge einer Laserdiode |
| DE4122572A1 (de) * | 1991-07-08 | 1993-01-14 | Draegerwerk Ag | Verfahren zum betrieb einer laserdiode |
| DE102014006305B4 (de) * | 2014-04-30 | 2017-11-23 | Attocube Systems Ag | Optisches Längenmesssystem mit einem interferometrischen Wegsensor zur Integration in Werkzeugmaschinen und Halbleiter-Lithografiesystemen |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS611659A (ja) * | 1984-06-04 | 1986-01-07 | スミスクライン・ベツクマン・コーポレイシヨン | ４‐［２‐（ジアルキルアミノ）エチル］イサチン |
-
1987
- 1987-03-02 DE DE19873706635 patent/DE3706635A1/de active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS611659A (ja) * | 1984-06-04 | 1986-01-07 | スミスクライン・ベツクマン・コーポレイシヨン | ４‐［２‐（ジアルキルアミノ）エチル］イサチン |
Non-Patent Citations (5)
| Title |
|---|
| ABOU-ZEID, A., LEPPELT, G.: Temperatur- stabilisierter, abstimmbarer und modulierbarer Diodenlaser, In: PTB-Me-67, April 1985, ISSN 0341-6720 * |
| FAVRE, F., LE GUEN, D.: Emission Frequency Stability in: Single-Mode-Fibre Optical Feedback Controlled Semiconductor Lasers In: Electronics Letters, Vol. 19, No. 17, 1983, p. 663-665 * |
| FAVRE, F., LE GUEN, D.: High Frequency Stability of Laser Diode for Heterodyne Communication Systems. In: Electronics Letters, Vol. 16, No. 18, 1980, p. 709, 710 * |
| OKOSHI, T., KIKUCHI, K.: Frequency Stabilisation of Semiconductor Laser for Heterodyne-Type OpticalCommunication Systems. In: Electronics Letters, Vol. 16, No. 5, 1980, p. 179-181 * |
| SCHUMANN, F., TIEDGEN, K.-H.: Temperatur- stabilisierung von Laserdioden. In: Elektornik, Bd. 11, 1984, S. 59-62 * |
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3840255A1 (de) * | 1987-11-30 | 1989-06-08 | Su Kliment Ochridski | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen des einschaltmoments eines systems zur aktiven thermostabilisierung der resonatorlaenge von frequenzstabilisierten lasern |
| AT393763B (de) * | 1989-03-21 | 1991-12-10 | Tabarelli Werner | Einrichtung zur konstanthaltung der luftwellenlaenge von laserlicht |
| US5124994A (en) * | 1989-03-21 | 1992-06-23 | Werner Tabarelli | Light generating device |
| US5031184A (en) * | 1989-07-01 | 1991-07-09 | Carl-Zeiss-Stiftung | Cooling arrangement for a semiconductor pump source |
| EP0512541A2 (de) * | 1991-05-10 | 1992-11-11 | Fujitsu Limited | Regeleinrichtung für Halbleiterlaser zur Bestimmung der Lebensdauer der Halbleiterlaser durch Feststellung des im Halbleiterlaser, beginnend vom Anfangszustand, erfolgenden Stromanstiegs |
| EP0512541A3 (en) * | 1991-05-10 | 1993-11-18 | Fujitsu Ltd | Semiconductor laser control apparatus for confirming the service life of semiconductor laser by detecting current increase of the semiconductor laser from initial state thereof |
| US5334826A (en) * | 1991-05-10 | 1994-08-02 | Fujitsu Limited | Method and apparatus for extending and confirming the service life of semiconductor laser of bar code reader by detecting current increase corresponding to temperature of semiconductor laser |
| US5553087A (en) * | 1993-04-24 | 1996-09-03 | Renishaw Plc | Frequency stabilized laser diode |
| WO1995018518A1 (en) * | 1993-12-28 | 1995-07-06 | Honeywell Inc. | Light source intensity control device |
| WO1995029521A1 (en) * | 1994-04-23 | 1995-11-02 | Renishaw Plc | Frequency stabilisation of a laser diode |
| WO1997001203A1 (en) * | 1995-06-23 | 1997-01-09 | Coherent, Inc. | Temperature correction circuit for wavelength stabilization in a laser diode |
| US5754574A (en) * | 1995-06-23 | 1998-05-19 | Coherent, Inc. | Temperature correction circuit for wavelength stabilization in a laser diode |
| EP0920095A2 (de) * | 1997-11-27 | 1999-06-02 | Hitachi, Ltd. | Vorrichtung zur Stabilitätskontrolle der optischen Wellenlänge und optischer Sender |
| EP0920095A3 (de) * | 1997-11-27 | 2002-05-29 | OpNext Japan, Inc. | Vorrichtung zur Stabilitätskontrolle der optischen Wellenlänge und optischer Sender |
| EP1076387A3 (de) * | 1999-08-13 | 2004-09-08 | Marconi UK Intellectual Property Ltd | Kontrollverfahren für einen Laser in Wellenlängenmultiplexbasierte Anwendungen |
| EP1255332A2 (de) * | 2001-04-16 | 2002-11-06 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Halbleiterlaservorrichtung und Treiberkontrollverfahren für eine Halbleiterlaservorrichtung |
| EP1255332A3 (de) * | 2001-04-16 | 2003-12-03 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Halbleiterlaservorrichtung und Treiberkontrollverfahren für eine Halbleiterlaservorrichtung |
| US6807206B2 (en) | 2001-04-16 | 2004-10-19 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductor laser device and drive control method for a semiconductor laser device |
| DE10244700A1 (de) * | 2002-09-24 | 2004-04-01 | Bktel Communications Gmbh | Arbeitspunktstabilisator einer Laser-Aussendeeinrichtung H01S3/13 |
| US20200295535A1 (en) * | 2017-12-15 | 2020-09-17 | Horiba, Ltd. | Semiconductor laser device, and method and program for driving the same |
| US11764542B2 (en) * | 2017-12-15 | 2023-09-19 | Horiba, Ltd. | Semiconductor laser device, and method and program for driving the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3706635C2 (de) | 1989-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3706635C2 (de) | ||
| DE60217496T2 (de) | Steuersystem für einen abstimmbaren laser | |
| EP0281188B1 (de) | Regelung von Laserdioden | |
| DE69724521T2 (de) | Lichtquelle mit variabler Wellenlänge, optisches Kommunikationssystem unter Verwendung desselben, und Verfahren zur Regelung der Wellenlänge desselben | |
| DE3744323C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren der Frequenz eines Laserstrahles | |
| DE3935081A1 (de) | Lasergeraet und verfahren zur steuerung | |
| DE4039371A1 (de) | Einrichtung fuer den betrieb einer laserdiode | |
| DE60210998T2 (de) | Mehrsektionslaserdiode | |
| EP0050306A2 (de) | Faseroptische Messanordnung | |
| EP0173155B1 (de) | Stromversorgung für Strahlungsquellen von frequenz-analogen optischen Sensoren | |
| DE1797032B2 (de) | Farbtemperatur-messgeraet | |
| DE10042022A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Temperatur des laseraktiven Bereiches einer Halbleiterlaserdiode | |
| DE19620594A1 (de) | Resonator für elektromagnetische Wellen mit einer Stabilisierungseinrichtung und Verfahren zum Stabilisieren der Resonatorlänge | |
| WO2024061605A1 (de) | Laservorrichtung und verfahren | |
| DE3421851C2 (de) | Verfahren zur Wellenlängen- und Leistungsregelung der Ausgangsstrahlung einer Halbleiterstrahlungsquelle | |
| EP1393418B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur regelung der mittenwellenlänge eines lasers, insbesondere eines halbleiterlasers | |
| DE2606396B2 (de) | Vorrichtung zum Aufheizen und Einstellen einer vorgegebenen Behandlungstemperatur von Werkstücken mittels stromstarker Glimmentladung | |
| DE1950943A1 (de) | Intensitaetsstabilisierte Gaslaseranordnung | |
| DE10226666A1 (de) | Durchstimmbare Laserquelle | |
| DE10237695A1 (de) | Lasermodul für optische Übertragungssysteme und Verfahren zum Stabilisieren einer Ausgangswellenlänge eines Lasermoduls | |
| DE4323031C2 (de) | Halbleiterlaser-Treiberschaltung | |
| DE19633569A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Wellenlänge monochromatischer Lichtquellen | |
| DE60204795T2 (de) | Stabilitätsfaktoren für durchstimmbare halbleiterlaser mit mehreren sektionen | |
| DE4038857C2 (de) | ||
| DE10108436B4 (de) | Verfahren zur Stabilisierung der Ausgangsleistung eines Festkörperlasers und Festkörperlasersystem |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ABOU-ZEID, AHMED, DIPL.-PHYS. DR., 3155 EDEMISSEN, |
|
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |