JPH11505154A - 被検物の開放キャビティ中のターゲット面上にプローブを配置する方法、装置およびシステム - Google Patents
被検物の開放キャビティ中のターゲット面上にプローブを配置する方法、装置およびシステムInfo
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. 被検物中の開放キャビティ中のターゲット面上にプローブ(60)の末 端(63)を配置する方法において、被検物を特定位置に固定する段階と、ター ゲット面が本質的に光学器機(1)の光学軸線(1)上に配置されまた光学軸線 の縦方向におけるターゲット面の位置が特定されるように光学器機(1)を調節 する段階と、スタンドによって支持された配置手段(20)上にプローブを取付 ける段階と、前記光学軸線から一定距離に配置された枢着点回りに前記配置手段 (20)を枢転させて、プローブ末端(63)を本質的に光学軸線上において前 記開放キャビティの中に一定距離進入させる段階と、次に前記配置手段(20) を光学軸線に対して平行に移動させてプローブ末端(63)を前記光学器機によ って特定された前記ターゲット面位置に到達させる段階とを含む事を特徴とする 方法。 2. 前記配置手段(20)を枢転させながら枢転運動の面において配置手段 上のプローブを回転させる事を特徴とする請求項1に記載の方法。 3. 光学器機(1)が調節された後に被検物を与えられた位置から離脱させ る段階と、プローブ末端(63)が光学器機によって特定されるターゲット面位 置に移動させられた後に、配置手段(20)の位置を記録する段階と、プローブ 末端(63)が光学器機によって特定されるターゲット面の中にもはや配置され ないように配置手段(20)を移動させる段階と、再び被検物を与えられた位置 に固定する段階と、配置手段(20)を記録された位置に操作する事によってプ ローブ末端(63)を光学器機(1)によって特定されるターゲット面位置まで 移動させる段階とを含む事を特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の方 法。 4. 被検物を与えられた位置から移動させた後に光学軸線上に補助ターゲッ ト面(54)を配置する段階と、前記補助ターゲット面が光学器機(1)によっ て特定されたターゲット面位置に達するまでこの補助ターゲット面を移動させる 段階とを含む事を特徴とする請求項3に記載の方法。 5. 被検物が与えられた位置に固定される前に光学器機(1)の補助ターゲ ット面(54)が光学器機の光学軸線にそって縦方向に特定位置を占めるように 光学器機(1)を調節する段階と、配置手段(20)上にプローブを取付ける段 階と、プローブ末端(63)が補助ターゲット面(54)上に配置されるように 配置手段(20)を操作する段階と、配置手段(20)の位置を記録する段階と 、プローブ末端(63)がもはや補助ターゲット面上に配置されないように配置 手段(20)を移動させる段階と、補助ターゲット面を除去する段階とを含み、 この際に被検物が与えられた位置に固定された後の光学器機の調節は、ターゲッ ト面が光学器機に対してさきに補助ターゲット面によって占められていたのと同 一の位置に配置されるように実施され、また配置手段(20)の枢転運動と光学 軸線に対して平行な配置手段(20)の移動が配置手段の記録位置によって実施 される事を特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の方法。 6. 被検物の開放キャビティ中のターゲット面上にプローブ(60)の末端 (63)を配置する装置において、前記装置は、ターゲット面の位置を特定する ように成された光学器機(1)と共に使用され、前記装置はスタンドによって支 承されまた前記装置はその使用中に光学器機の光学軸線と本質的に一致する整列 軸線を有し、装置の並列軸線にそって平行な第1軸線にそって可動の第1配置手 段(16)と、前記第1配置手段(16)に対して連接されまたプローブ取付け 部材(23)を備えた第2配置手段(20)とを含み、前記第2配置手段(20 )は前記第1軸線に対して垂直な第2軸線回りに前記第1配置手段(16)に対 して枢転自在であって、前記取付け部材(23)が本質的に整列軸線上の位置ま でもたらされる事を特徴とする装置。 7. 前記第2配置手段(20、23)は第1軸線に対して垂直方向に可動で ある事を特徴とする請求項6に記載の装置。 8. 前記プローブ取付け部材(23)は前記第2配置手段上に回転自在に取 付けられている事を特徴とする請求項5、6または7のいずれかに記載の装置。 9. プローブ末端(63)が光学器機によって特定されたターゲット面位置 に配置された時の第1および第2配置手段の調節を記録する手段(18、19; 22、27、28)を備え、従ってプローブ末端がこれらの記録された調節によ ってターゲット面位置にもたらされる事を特徴とする請求項6乃至8のいずれか に記載の装置。 10. 第2配置手段上の取付け部材(23)の位置を記録する手段(27、 28)を備える事を特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載の装置。 11. 光学器機によって支承されている事を特徴とする請求項6乃至10の いずれかに記載の装置。 12. 被検物中の開放キャビティ内部のターゲット面上にプローブの末端を 配置するシステムにおいて、与えられた位置に被検物を固定するための装置(5 )と、ターゲット面の位置を確定するための光学器機(1)と、請求項6乃至1 0のいずれかに記載されまた前記光学器機の光学軸線と一致する整列軸線を有す るように前記光学器機に取付けられた装置とを含む事を特徴とするシステム。 13. 前記光学器機は顕微鏡(1a)を含み、前記顕微鏡は3直交方向に移 動自在にフレーム(1c)上に搭載され、ターゲット面が前記顕微鏡の正確な焦 点面に配置されるように顕微鏡を移動させる事によってターゲット面の位置が特 定される事を特徴とする請求項12に記載のシステム。 14. 固定装置(5)上に取付けられる補助ターゲット面(54)を備える 事を特徴とする請求項12または13のいずれかに記載のシステム。
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