JPH11502609A - 可変数プロセスをモニタリングするための方法 - Google Patents

可変数プロセスをモニタリングするための方法

Info

Publication number
JPH11502609A
JPH11502609A JP7517664A JP51766495A JPH11502609A JP H11502609 A JPH11502609 A JP H11502609A JP 7517664 A JP7517664 A JP 7517664A JP 51766495 A JP51766495 A JP 51766495A JP H11502609 A JPH11502609 A JP H11502609A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
model
variables
point
screen
points
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7517664A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3429769B2 (ja
Inventor
ウオルド,スバンテ
サンディン,ラッセ
Original Assignee
テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン
ウオルド,スバンテ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン, ウオルド,スバンテ filed Critical テレフオンアクチーボラゲツト エル エム エリクソン
Publication of JPH11502609A publication Critical patent/JPH11502609A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3429769B2 publication Critical patent/JP3429769B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0218Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
    • G05B23/0224Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
    • G05B23/024Quantitative history assessment, e.g. mathematical relationships between available data; Functions therefor; Principal component analysis [PCA]; Partial least square [PLS]; Statistical classifiers, e.g. Bayesian networks, linear regression or correlation analysis; Neural networks
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0259Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
    • G05B23/0286Modifications to the monitored process, e.g. stopping operation or adapting control
    • G05B23/0289Reconfiguration to prevent failure, e.g. usually as a reaction to incipient failure detection

Abstract

(57)【要約】 プロセスに対応する多数の変数(x)に依存してプロセスが進行する、工業的または他の技術的プロセスのモニタおよび制御方法に関するものである。この方法では、各変数が空間内の独立成分を表示する多次元空間として対応する変数を記述し、所定時間における変数値の観測点が多次元空間内の点を示し、多数の時間からの観測点が空間内の点の群を形成し、点の群の少なくとも1つの第1のおよび第2の基本方向を計算し、これら第1(pa)および第2(pb)の基本方向に対する観測点の射影を決定し、点の群内の第1および第2基本方向(pa,pb)によって形成された平面内に観測点をグラフ表示し、更にプロセス進行中に基本方向を連続的に更新し、よってグラフィック情報をダイナミックとし、最後にプロセスのオペレータまたはモニタ要員が表示された情報に基づき、プロセスを最適な作動条件に制御するよう、プロセス内の可変量に影響する要素を適応させる。

Description

【発明の詳細な説明】 可変数プロセスをモニタリングするための方法 技術分野 本発明は、プロセスの変数と同じ数の次元を有する線形空間内で軸により、プ ロセスのうちの対応する変数を表示できるようにし、よってプロセスを平面また は三次元空間に射影し、オンラインでプロセスの計算モデルを得るようにするこ とにより、更に、プロセスのモデルとプロセスの基準モデルとを比較し、よって 基準モデルに対する距離を得て、あるパラメータのドリフトを観測する際に変化 する変数に作用することによりプロセスに対する少なくとも1つのノルムレンジ にプロセスを回復できるようにすることにより、測定されたデータにより利用可 能な多数のパラメータに依存する工業プロセスをモニタする方法に関する。 背景技術 例えば、製造プロセスにより最良の経済性で所望の質の製造製品を得るために は、または工業的プロセスまたは工業的応用をモニタするには、できるだけ効率 的かつ最適にプロセスを制御する必要がある。製造プロセスは多数の重要な変数 量(ここでは単に変数と称す)を含む。この変数量の値はプロセス中の他の変数 の変化によって影響を受ける。プロセスのモニタオペレータまたはプロセスモニ タ要員が、同じ操作でプロセスに影響する変数のすべてを取り扱い、制御できれ ば最適な結果が得られる。 プロセスを最適にする従来の方法として、一定の時間でのみ1つの変数を考慮 する、いわゆる一次元最適化方法がある。1つの変数を除き、他の変数のすべて を固定し、固定しない変数を最適結果に調節し、その後、自由変数を固定し、他 の変数のうちの1つを調節し、次々に同様な操作を行う。このように、プロセス 変数を1つずつ固定したとき、プロセスの最良作動点が得られたと考えられる。 しかしながら、実際はこれは完全に正しいとは言えない。この方法は、プロセス 変数の相互作用を考慮していないので、プロセスが最適作動点からずれてしまう 可能性がある。この方法の問題点は、かかる見解が必要とする多数の相互に依存 するプロセス変数に基づくプロセスの総合的な概観しか得られないことである。 プロセスのオペレータがプロセスの真の概観を得て理解するのは、これら変数の 間の関係を正しく解釈できたときだけに限られる。オペレータが単位時間当たり に限られた数の変数を理解し、制御できる能力は限られている。1つのプロセス モニタシステムでは、何百個までの変数を測定するが、そのうちの恐らく20前 後のパラメータが直接プロセスを制御している。かかるモニタシステムは変数の うちのいずれかが若干変化した場合に、これを連続的に記録するコンピュータを 必要とする。 プロセスモデルは実質的に2つの異なるタイプのモデル化技術、すなわち機械 論的モデルと経験的モデルによって、ほぼ実現されている。機械論的モデルは例 えば物理学で使用されている。データを使用して機械論的モデルが廃棄されたり 立証されている。良好な機械論的モデルは、確立された理論に基づくという利点 があり、通常、広範なレンジにわたってかなり信頼性がある。しかしながら、機 械論的モデルは限界があり、比較的小さい単純なシステムに対してしか適用でき ず、一方、複雑な工業的プロセスで公理を構築するには、使用できたとしても十 分でない。差分方程式に基づく機械論的モデルを助けにして、プロセスをモデル 化する試みが多くなされてきた。しかしながら、これらモデルの重要な欠点とし ては、これらモデルが所定のパラメータ間の依存性に大きく依存していることが 挙げられる。相互に大きく依存する、かかるパラメータは、モデルが機能できる ように決定しなければならない。多くのケースでは、これらモデルを信頼できる ように評価することは極めて困難である。この結果実際に働く機械論的モデルを 得ることは極めて困難である。 経験論的モデル化では、モデルは実際のデータに基づいており、これは当然な がら良好な質のデータを必要とする。プロセスデータは多数の異なる測定値から 成る。換言すれば、プロセスデータは多変数であり、この多変数はプロセスデー タをモデル化し、図解する多変数技術を予め仮定する。多変数モデル化には種々 の統計学的方法が存在している。伝統的な多変数モデル化技術、例えば線形回帰 (MLR)法は、データが独立し、誤りのないものと考えている。この理由から 、プロセスデータは相互に極めて依存しており、更にノイズによって影響を受け る ので、この技術はプロセスデータを処理できない。 上記課題に対する解決案はプロジェクト技術を使用することである。この技術 は、実際のデータの変化を選択し、いわゆる潜在的(下部の)変数でこの情報を 表現できる。この技術はABBレビュー4/93において、バート・スケイガー バーグおよびラッセ・サンディン両氏による論文に記載されている。このプロジ ェクト技術は複雑なプロセスの高速の概観を得る上で最も有利である。2つのプ ロジェクト技術、すなわちPCA(基本成分解析)法およびPLS(潜在的構想 に対するプロジェクト)法は、プロセス概観および異なるプロセス変数間の関係 の識別の問題を解決するよう、個別に変えることができる。 これら2つの方法で得られたモデルはプロセス情報システムで直接(オンライ ンで)実行でき、プロセスモニタリングのために使用できる。PLSは種々の品 質に関連した変数がプロセス内の後期で発生するので、測定することが通常困難 であるか、または定期的に測定することが不可能であることが多い種々の品質に 関連した変数を予想するのに極めて適している。 射影技術(PCA、PLS)によるモデル化は、点、線および平面の形態をし た簡単な形状を用いることにより最良に説明される。プロセスデータは通常、テ ーブルとしてリストされ、この表では行は一組の観測点、すなわち所定時間にお けるプロセス内の可変値の記録を示す。実際上の理由から、また、簡潔にするた め、以下3つの変数、すなわち3つの列を有するデータのテーブルに説明を限定 することにする。これら3つの列はプロセス内の変数が座標系内の軸によって表 示される三次元座標系(第1図)を用いて幾何学的に説明できる。しかしながら 、この方法は任意の数の変数K(ここでKは>3、例えばK=50またはK=4 97)に対して機能する。所定時間におけるプロセス内の対応する変数の観測点 は、すべての変数に共通な座標径内の点によって表示できる。このことは、各変 数の測定値がそれぞれの軸に対する座標に対応することを意味している。数学的 にはテーブル内の行は座標の数と無関係に1つの点に対応している。テーブル内 のn個の行のすべては一群の点(第2図)に対応する。1つのプロセスをK個の 対応する変数で記述するための数学的手法は、K個の座標を備えた多次元ルーム (room)内における1つの点で表示される、各時間における観測点により同 じように処理される。 射影方法は互いに近くにある2つの点はプロセス内でも密接に関連していると いう仮定で働く。 データの組は、次のような一連の簡単な幾何学的演算で潜在的変数へ射影でき る。 データの組の中間点を計算する。この計算された点をxと称する。この中間点 の座標は座標系内のすべての変数の平均値に対応する(第3図)。 中間点xからスタートして第1の直線p1を引く。この直線は個々の点に対す る直線までの距離ができるだけ短くなるように、データの組に適用される。この 直線はプロセス内の最大変化を示すデータの組内の方向、すなわちデータの組内 の優勢な方向に対応しており、第1基本方向と称される。この直線の方向の係数 は荷重ベクトルp1で組み合わされる。次に、データの組内の各点は、この直線 に直交射影される。直線に対するすべての点の射影座標は、新しいベクトルt1 を生じる(各点はベクトルt1の成分としての値(すなわちここではスコアと称 す)を与える)。 この新しいベクトル(t1)は通常、スコアベクトルと称され、第1の潜在的 変数を示す。この潜在的変数はデータの組の最も重要な方向を示し、3つのすべ ての変数(または多次元座標系では、関連するK個のすべての変数)の線形の組 み合わせである。各変数は荷重ベクトルp1の方向係数の大きさに比例する潜在 的変数に影響する。 上記により、荷重ベクトルp1によって示される直線、すなわち第1基本方向 P1データの組に最も近くに一致する方向であっても、直線からの偏差は比較的 大きいことが第4図から理解できよう。第2の直線p2はプロセスにおけるデー タを示す点の群に適用できる。この第2の直線p2は第1の直線p1に直交し、 点の群(第4図)における、次に重要な方向を示し、第2の基本方向と称す。ス コアベクトルt2および方向係数p2はt1およびp1と同じように解釈される 。 同様に、第3の射影直線は方向p3およびスコアベクトルt3で構成できる。 しかしながらこの三次元の例における第3基本成分を計算する値は限られている 。その理由は、この結果生じる3つの潜在的変数t1、t2およびt3は三次元 座 標系の回転された座標系を示すにすぎないからである。 上記の代わりに第1の2つの基本方向p1およびp2によって定められた射影 平面を見れば、この平面は二次元における点の群しか記述しないと判断できる。 この利点は、平面に射影された点が三次元における変数から生じた情報を再現す るということである。このことは、複雑なデータ構造を解析するのにPCA法を 使用する理由の1つとなっている。多数の変数から少数の基本的潜在的変数を得 ることができ、これら潜在的変数は現在のプロセスデータに関するシステマティ ックな情報の主要部分を記述している。経験から、2〜6個を越える潜在的変数 は不要であることが判っている。このことは、理論的にも証明できる。潜在的変 数はデータの組の概観を与え、異なるタイプの図またはグラフィック像として表 示できる。潜在的変数を抽出した後にもデータセットの変化分が残り、これを残 留値(偏差)と称す。これらはシステマティックな情報を含まないので不要分と みなすことができ、ノイズと称されることが多い。 ある方法によれば、直線p1およびp2によって定められる射影平面は多次元 (本例では三次元)の世界に対する二次元ウィンドーとして見ることができる。 PCA法の背後にある基本アイデアは、見る者に多次元データの組の像を提供す る射影ウィンドーを構築することにある。従って、PCA法はデータの組の最良 の像を含む最良の可能なウィンドーを保証する。更に、このウィンドーをセーブ し、グラフィックとしてディスプレイできる。コンピュータスクリーン上に表示 された射影ウィンドーは、例えばオペレータに複雑なプロセスの概略を提供する 。 上記射影法は、基本的には基本的成分の解析の幾何学的な解釈であり、このよ うな幾何学的な解釈はプロセスデータの概略を得るのに極めて適当であることが 証明されている。通常、データの組内の基本情報を記述するのに、何百個の変数 のうちで約3つの基本的成分を計算すれば充分である。プロセスデータに適用さ れる代表的なPCA法はシステムが第1の強力な成分を容易に選択し、次に重要 な第2の成分を選択し、システマティックな情報をほとんど記述しない第3の成 分を選択する方法である。 このPCA法はプロセスデータのブロックの解析に使用するのに適す。PCA 法によって工業的プロセスで解答できる問題として次のものがある。 多量のデータの概略 格付け(例えばプロセスが正常に進行している場合、またはプロセスが偏っ た場合) リアルタイムのモニタリング(例えばプロセス状態をトラッキングし、でき るだけ早く初期の偏差を発見するためのモニタ) 他の重要な問題はプロセスデータXと、より深く品質に関連したデータYとの 関係を識別することである。このタイプの関係は伝統的なモデル化技法を使用す ることが可能な場合でも解析が困難である。異なるプロセス変数に関連する複雑 な相互作用および相関化パターンの背後に関係が隠されていることが多いからで ある。 潜在的構造に対する射影法、すなわちPLS法は、プロセスにおける複雑な関 係をモデル化する方法を提供する射影技法である。このPLSはデータの2つの ブロックXおよびYを射影として基本成分に分解する(第5図)。この2つのモ デル化されたブロックはPCA法による解決方法による解決法に類似するが、P LS法ではXとYの間の最良の可能な相関化を得るために、XとYを同時に説明 するのに射影を行っている点が異なる。従って、PLS法はYブロックを最良に 予想するモデルを得るように、Xブロックをモデル化するように働く。従ってP LSモデルは量に関連したパラメータを予想するのに極めて有効である。このモ デルを使用しない場合、量に関連したパラメータは測定するのに費用がかかり、 かつ困難である。恐らく1週間待って品質管理室からの臨界値が利用できるよう になる代わりに、1つのモデルでこの値を即座に予想できる。 第6図は、コンピュータスクリーンによるオンラインで工業的プロセスの研究 とモニタをどのように視覚化できるかの一例を示す。図の左半分はスコアプロッ ト、すなわちグラフの座標系における軸として2つの基本的方向paおよびpbと 共に再現された2つの潜在的変数taおよびtbからの測定されたデータの観測点 の表示を示す。図の左半分は静的像および移動自在な像の双方を示す。静的像は モデルを構築するのに使用される基準デー端の変化を示すポイントから成る。こ れら基準データを最良に使用すれば、像はプロセスのための良好な作動レンジの みならず、プロセスで回避すべきレンジも含む。この像は、オペレータがプロ セスを向けるべき条件および回避すべき条件に関する情報を含むマップと比較で きる。 測定されたプロセスデータのオンラインによる実行の結果、計算されたマーク が得られる。すなわち2つの選択された基本方向paおよびpbとしてスクリーン 上のグラフの座標を構成する平面により表示される平面内の新しい点として、新 しい時間に出された観測点を再現する。このことは、新しい各点をPLS法によ る潜在的変数への射影により、対応する測定データのすべてに関する情報を含む ことを意味している。次に、このプロセスにおける変化はVDUの左側半分にお ける直線としてスクリーン上にオンラインで再現できる。異なる時間における観 測点を接続する直線として移動自在な第1図を用いることにより、これら変化を 再現する。従って、これら直線はスクリーン上で這う「蛇」のように時間を経て 移動する。この這う蛇ラインにより得られる情報の重要性をオペレータが良好に 理解できるようにするため、この蛇ラインは頭部と尾に分割でき、これらは異な るカラーとシンボルで表示される。頭部は現在の観測データから成り、一方、尾 はこれまでの観測データから成る。警告が発せられた場合、すなわち曲線(蛇ラ イン)が禁止領域を検出すると、蛇ラインは色を、例えば赤に変えることができ る。移動自在な曲線はプロセスの多変数空間に対するスクリーン上のウィンドー を通してプロセスを見ることにより、プロセスのステータスを連続的にモニタす る上でオペレータの助けとなる。蛇ラインの頭部の位置を高品質の基準データが 得られたエリアと比較する。このプロセスのオペレータまたはモニタ要員はプロ セスをこのエリアに制御するようにしなければならない。 第6図の右半分はPLS法の助けによりスクリーンを介してオペレータに与え ることができる他の情報の一例が示されている。この右側の図は、荷重ベクトル 、荷重プロットの再現である。この像はスコアプロット、すなわち左半分の図に おける曲線がプロセス内の個々の変数によってどのように影響されるかを示すマ ップである。この左半分および右半分の図は、関連する情報を含む。このことは 、左半分の図の方向は右半分の図と直接対応することを意味している。オペレー タがプロセスを移動(蛇ラインとして)し、このプロセスに対する良好な作動状 態を得るのに、個々のプロセス変数を制御すべき場合、オペレータは右側の図か ら ガイダンスを受けることができる。 上記方法を使用することは多量のプロセス変数に依存するプロセスを簡単かつ 明瞭にモニタする上での強力な命令となることを意味している。上記方法による 工業的プロセスのモニタリングを有利に利用できる技術的分野の例として、パル プ、製紙、化学、食品、薬品、セメントおよび石油業界のみならず、発電、電力 および熱分配、および広範な他の用途が挙げられる。例えば、従来技術に従って 使用されるPCAおよびPLS法は、2つの基本的方向から構築され、観測点を 射影する射影平面が固定され、プロセス中に変化しないという弱点がある。この ことは、基本的方向paおよびpbの計算のベースを構成する、多次元空間におけ る点の群の変化を考慮しないことを意味している。変数値が変わり得るプロセス 中に新しい観測点シリーズを同時に常時加えている。このことは、空間内におけ る点の武運の形状が変化し、点の群の形状を表すようになっている計算された基 本的方向は、もう関心がないことを意味している。これは、上記のプロセス中に グラフィックに再現される情報によって表示されない。 発明の概略 本発明は、プロセスに対応する多数の変数に依存してプロセスが進行する、工 業的または他の技術的プロセスのモニタおよび制御方法に関するものである。こ の方法では、各変数が空間内の独立成分を表示する多次元空間として対応する変 数を記述し、所定時間における変数値の観測点が多次元空間内の点を示し、多数 の時間からの観測点が空間内の点の群を形成し、点の群の少なくとも1つの第1 のおよび第2の基本方向を計算し、これら第1および第2の基本方向に対する観 測点の射影を決定し、点の群内の第1および第2基本方向によって形成された平 面内に観測点をグラフ表示し、更にプロセス進行中に基本方向を連続的に更新し 、よってグラフィック情報をダイナミックとし、最後にプロセスのオペレータま たはモニタ要員が表示された情報に基づき、プロセスを最適な作動条件に制御す るよう、プロセス内の可変量に影響する要素を適応させる。 従来技術によれば、プロセスを記述する可変空間内に構成された平面に測定さ れたデータを射影することによって、プロセスの進行に関する情報を得ている。 本発明にかかわる新規な特徴として、PCAおよびPLS法により測定されたデ ータを射影する平面が新しいシリーズの測定されたプロセスデータの流れに従い 、プロセスを記述する多変数空間内で射影平面が回転できることが挙げられる。 これにより以前と同じようなプロセスの履歴ステージに関してでなく、現在のス テージに関するプロセスの一定のモニタリングが行われる。 プロセスの進行の表示は上記のようにスクリーン上で這う蛇状のラインとして 、または通常の履歴トレンド曲線としてオンラインまたはオフラインでこれまで 知られている技術により行うことができる。平面上で這う蛇状ラインを用いてプ ロセスを視覚化すると、このことは、本発明によれば、プロセスの蛇状ラインが 這う方向が、プロセスの異なる方向へスライドする変数の値が新しい形状を取る ために上記点の部分に影響するという点で、プロセスのモデルに大使変数の値が 一時的にどのように影響するかを考慮する際のプロセスの方向を示すことを意味 している。 プロセスのの進行をスクリーン上のグラフとして示す場合、プロセスを制御す る領域としてプロセスのための基準データもスクリーン上にプロットされる。更 に、プロセスがスクリーン上のグラフの移動方向によって表示される所定の方向 にスライドする際、プロセスに最も強力に影響するのはプロセス内のどの変数で あるかを表示するよう、スクリーン上にはプロセスに影響するパラメータもプロ ットされる。 プロセスがスクリーン上に禁止とマークされた領域内にグラフが移動すること によってスクリーン上に表示される禁止すなわち最適領域にプロセスが進む場合 、オペレータはスクリーン上にプロットされたノルムまたは基準領域へプロセス を回復させる要素により影響できるような、グラフで表示された変数に影響する プロセス内の少なくとも1つの要素にアクティブに影響することにより、認めら れた領域へプロセスを向けるように制御する。 必要であれば、プロセスを所定のフレーム内に維持するよう、プロセス内の変 数に影響する要素を制御する公知の電子デバイスにより、上記所望の領域にプロ セスを回復できる変数を検出することにより、公知の技術を用いてモニタを自動 化することも可能である。 本発明によれば、プロセスの新しい現在モデルをダイナミックに計算する。計 算されたモデルとプロセスに対して決定された基準モデルとを比較することによ り、基準モデルからのプロセスの距離のリアルタイムで計算された値を得る。こ の距離は、プロセスに対し固定された値を越えていれば、実際にアラームを始動 させるこのグラフがプロセスに対する禁止領域に進入すると、スクリーン上で蛇 のように這っているグラフとして表示されたプロセスの最も関心のある部分を、 例えば赤にカラー表示するようなこのアラームの変形例を設けることもできる。 警告をするような対応が必要な注意を呼ぶ他の装置を用いて、信号、光またはラ ンプで警告することも可能である。 本発明の他の変形例では可変空間における点の群のための第3の基本方向を計 算し、3つの基本方向により定められ、広がる三次元空間に観測点を射影し、プ ロセスの進行中に本発明にかかわる3つの基本方向を連続的に更新し、3つの方 向に広がる空間内の射影としてオンラインで観測点を表示する。これら観測点は 本例ではプロセスの現在の観測点を射影する空間内の座標の間で蛇のように這う グラフとして生じ得る。 上記方法を適用することにより、極めて複雑なプロセスを良好にモニタし、か つ制御するための極めて強力な手段がプロセスの自動化に与えられる。 図面の簡単な説明 第1図は、変数と同じ数の次元の座標系で、集めたデータをどのように表示す るかを示す。変数値と共にマトリックス内の行として表示されるプロセスの観測 点は座標系内の1つの点を生じる 第2図は、点の一群を示し、点の各1つは座標系におけるプロセスの1つの観 測点を示す。 第3図は、点の群の基本的第1方向をどのように形成するかを示す。 第4図は、点の群の基本的第2方向をどのように形成するかを示す。 第5図は、プロセスの発生を即座に予想できるようにする2つのデータの組、 例えば測定されたプロセスデータと品質に関連したデータとの間の依存性をPL S法がどのようにモデル化し識別するかを示す。 第6図は、左側においてプロセスの経過に従う、いわゆる蛇ラインを助けにし て、現在プロセスの状態を示し、右の図は荷重プロットを示し、このプロットは 座標系に導入されたプロセス変数(TOT、FAR、PKR等)によりプロセス がどのように影響されるかを示す。 第7図は、本方法に従い長期メモリおよび短期メモリにおけるモニタプロセス の観測点の重みづけも示す。 第8図は、プロセスの平均値からの標準偏差に対する制限値として、制御制限 値を利用することを示し、この制限値はプロセスへの介入を正当にするためのモ ニタシステムで使用できる。 第9図は、ある状況下で本発明によりすべての観測点を射影する射影平面がど のように意図的でないモデルの回転を受け得るかを説明する。 第10図は、EWM−PCAアルゴリズムにおけるデータブロックおよび荷重 ブロックにおける指数関数的重みvを示す。 第11図は、多変数プロセスを表示するよう、外在的に得ることができるいわ ゆる距離対モデル曲線すなわちBCL(距離対種類)曲線を示す。このBCL曲 線は基準モデルの限度に対する距離を示す。BCL(Dmod)のレベルに応じ て多変数アラームが決められる。 第12図は、計算を実行し、プロセスのモデルのみならず基準モデルに対する 距離を得る計算ユニットにおける計算工程の略式フローチャートを示す。 好ましい実施例の説明 本発明によれば、PCAおよびPLSによるモデル化は指数関数的に重みづけ された観測点によるプロセスモデルのダイナミック更新により使用され、指数関 数的に重みづけされた移動平均(EWMAと略す)の多変数の発生法として述べ られる。 本発明によりプロセスの最適モニタリングをすることを可能にするEWMAを 利用し、ダイナミックモデルを実現するための基本的および決定アルゴリズムを 次のように示す。更に、これらモデルに基づく予想制御チャートについて示す。 標準的PCAおよびPLSモデルはプロセス時間の独立性を仮定する。すなわ ちプロセスメモリを使用しない。PCAおよびPLS法により射影された観測点 (スコア)はプロセスデータの良好な横断面を伴うので、メモリ効果をモデル化 する自然な方法はこれらスコアに簡単な時間シリーズのモデルを発生させること である。EWMAにより最も簡単なモデルのうちの1つを利用できるが、このモ デルはプロセスにおける現在ステートの良好な像と、プロセスにおける一工程前 の予想の双方を与える。このように、PCAおよびPLSからの多変数射影観測 点(スコア)に基づくEWMAモデルはプロセス用の多変数モデル基準の自然な 延長を構成する。 EWMAをEWM−PCAおよびEWM−PLSへの一般化は、2つの部分か ら成る。第1部分は制御チャートにおける個々の変数および予想値の代わりにス コアを使用することに関連している。第2部分は、プロセスにおけるドリフトを モデルが考慮できるようにするPCAおよびPLSモデルをダイナミックに更新 することである。 EWMA−PCA/PLSの明らかな応用分野としてプロセスモニタおよびプ ロセス制御がある。マルチ応答は今日のすべてのタイプの自動プロセス制御で共 通している。その理由は、多数のプロセスに影響する量を測定することは簡単か つ安価であること、および複雑な製品および制御は高品質の製品/制御を保証す るのにモニタし、かつ制御すべき基準に多数の要求を課すことの2点からである 。本明細書の開示において、EWMA−PCAを説明する一例として、我々は4 9の等間隔の期間にわたって製紙装置から17個の変数の収集測定データを備え た(49×17の)マトリックスを使用する。これら17個の変数には測定量か らの値、例えば紙パルプの重量、湿分含量、紙の破断応力、製紙装置の速度等が 含まれる。EWMAを利用する方法は、河川、湖、海洋等の汚染のような関心が 増している分野で全く異なって利用できる可能性もそれ自体有している。かかる 汚染をモニタする際、本発明に係わる方法がデータを示す明瞭かつ良好に仕組ま れた方法を提供する場合に複数の変数を測定する。例えば、ある業界から受け入 れエリアエリアへの物質/粒子が放出されている場合、かかるモニタは提示され た測定値をフィードバックでき、かつ排出物内の成分の変化を制御できる。 例えば、化学的/技術的分野では時間に対する変化以外のシーケンスを研究す ることが多い。天然のポリマー、例えばセルロース、DNAおよびタンパク質は 一組のモノマーのシーケンスから構成されており、結合場所等に関する情報を得 るのに局部的なモノマー状のEWMA−PCA特性を使用できる。かかる用途で は、モデルの中心からの双方の方向に指数関数的に増加する重みを拡張すること は当然なことである。 本発明に係わる方法を実行するための次のモデルの説明では、次の表に記載の 表示を使用する。 X プロセス変数(Yを予想するためのエントリー)を備えたマトリッ クス Y PLSにおける結果変数(応答、出力値、製品の性質)を備えたマ トリックス i、j 観測値のインデックス、すなわちXおよびYにおける行;(i、j =1、2、....、N) N 要素、観測点、サンプリングまたはプロセス時間の数;(Xおよび Yにおける行) k XおよびYにおける可変インデックス;(k=1、2、....、K) K XまたはYにおける変数の数;(XまたはYにおける列) * 古い値のメモリマトリックスを表示するのに使用 m 応答変数のインデックス;(m=1、2、....、M) M PLSのY変数の数;(PLSモデル内のYにおける列) vi 観測点iの重み a 成分インデックス;(a=1、2、....、A) A モデルにおける成分の数 W PLSの重みのマトリックス(次元K×A) wa 成分aのW、Xの重みの列 P 荷重マトリックス、次元(K×A) Q 荷重(またはPLS重み)のメモリマトリックス C PLSのY重みのマトリックス、次元(M×A) ca 成分aのC、Y重みの列 T Xのスコアマトリックス、次元(N×A) ta マトリックスTの列、成分aのスコア U uスコアのマトリックス、次元(N×A) ua マトリックスUの行、成分aの第2スコア Ea 成分aの後のXまたはY残留値、次元(N×K) Fa 成分aの後のPLSのY残留値、次元(N×M) EWMAは、2つの成分を有するモデルとして見なすことができる。第1成分 はモデル化変数yを形成し、時間上のその後の点でこの変数yを予想することに 関係し、第2成分はこのモデルに基づく制御チャートの構造に関係する。 EWMAの背後にある基本アイデアは初期の観測値よりも重く重みづけされた 最新の観測点により重みづけされた移動平均としてyをモデル化することにある 。指数関数的な重み、すなわち を現在の観測値(i=t)に先行するi′番目の観測値に対して使用する。第7 図参照。これにより式(2)および(3)に従い、時間t+1における予想値が 得られる。これら式は次のように時間tから時間t+1までのEWMAモデルを 回帰的に更新するのに使用できる。 残留値eiが一定の変化σ2を有すると仮定すれば、EWMAの変化は次のとお りとなる。 対応する標準偏差値(SD)を使用して、例えば3シグマ限界値として制御限 界値を発生できる。従って、介入を正当化するために所望の領域の両側でプロセ スが重要であるかどうかを表示するためのモニタ手段として、EWMAの図を使 用できる。第8図参照。 他方、このモデルは次の観測時間におけるyの予想値を我々に提供するので、 EWMAは予想値とスコア値との間の差を変えるためのベース、すなわち達成さ れるダイナミックプロセス制御としても使用できる。この目的のため、変更され たEWMAは次のようになることが推奨される。 プロセスの履歴からパラメータλ1からλ3までの値が推定される。 基本成分解析PCAは通常、センタリングされ、均一な列変化にスケーリング されたマトリックスからスタートする(N×K)のデータマトリックスYの解析 に基づく。PCAは(N×A)のスコアマトリックスTと(A×K)の荷重マト リックスP′のみならず(N×K)の残留マトリックスの積としてこの正規化さ れたマトリックスをモデル化する。積の項の数、すなわち成分AはPCモデルの ディメンジョンを定める。積の項の数AがX、NまたはKの次元以上であれば残 留値Eは0に等しい。重要な成分Aの数は複数の態様で推定できる。ここで、我 我はクロス有効化を支持する。 スコア(Tにおける列)は直交しており、種々の態様でデータの最良の概略を 与える。これにより、これらスコアを時間に従属したグラフにプロットした場合 、プロセスの良好な図が得られる。 基本成分taおよびpaの重みづけされていない計算をするための単一値(SV D)への分割は、すべての成分が望まれる場合(a=1、2、....、最小値(N 、K))、好ましい方法である。少数の第1基本成分しか重要でない場合、NI PALSの名称(例えば1966年ニューヨークのウィリー社の統計学の研究論 文である「繰り返し最小二乗法による非線形推定法」、H・ボルド著を参照)で 知られている方法を高速の方法として適用できる。この高速の理由は、上記第1 成分しか決定しないからである。部分回帰係数として荷重値(pak)をNIPA LS解釈することにより、下記に示すようにPCモデルの計算を簡単にできる。 paにおける要素は通常次の単位長さに対して正規化される。 残留値siの行iの標準偏差値(SD)はi′番目の観測ベクトルとPCAモ デルとの間の距離の測定値である。この理由から、この標準偏差値DModはモ デルに対する距離と称されることが多い。 本発明に従って利用される指数関数的に重みづけされた移動基本成分解析(E WMA)法を開発するには2つの工程が必要である。プロセスのための言辞のP CAモデルを仮定すれば、時間t+1内の次の点でプロセス値の更新と予想(予 測)を行う第1工程は複雑とならない。運転中のプロセス用のこのPCAモデル を更新する第2工程は複雑であることが判っている 予測部分はK個の多変数プロセス応答Y={y1,y2,…,ym,…yM}およ びこれらYデータから決定されたA成分を備えたPCAモデルにより達成される 。プロセス時間点はこれに関連するAスコア、すなわちtia(a=1、2、.... 、A)を有し、これらスコアはスコアマトリックスT内の行を形成する。 次に、データセット内の所定の自己回帰性自己相関化構造および安定な横断面 の相関化構造、従って安定なPCAモデルを仮定すると、スコアta内のEWM A値は多変数およびダイナミックプロセス制御のためのベースを我々に与える。 ここで、Y変数により間接的に観測され、スコアta(a=1、2、....、A )と決定されるAの独立した潜在的変数のみによってプロセスが駆動されると仮 定する。これにより制御チャートを作成するための2つの選択案が得られる。1 つ の制御チャートは成分が別個の物理的意味を有する場合に正当化される各PC成 分aに対して維持できる。もう1つの制御チャートは、標準偏差の残留値、すな わちDModテーブルから構成できる。第2の選択案は、重要なtおよびDMo dのすべてを1つのテーブルに組み合わせることによって得られる。しかしなが ら、これによって別個のモデル次元に関する情報が失われることとなる。 時間t+1における(A要素を備えた)スコアベクトルtに関する予想は、次 の式に従うように式(2)および(3)に類似する。 式(5)に類似するより複雑なフォームが明らかである。従って、これら予想 スコアは次の式に従い、M個の変数のベクトルyを予測する。 により決定されたσa 2を備えた式(4)により直接示される。マトリックスY 定できない。各ykの独立的規則性に関し、部分的最小二乗法の仮定を行えば、 予測されるベクトルykの許容可能な変化は次のとおりとなる。 本発明にかかわるモデルでは、更新されたダイナミックに指数関数な重みづけ されたPCAが更に必要となり、後に説明するようなモデル内における回転のリ スクを処理する方法のみならず、センタリングおよびスケーリングのより密な定 義が必要となる。これらの問題は位置度に1つ処理される。 重み付けされたPCAを達成するため、式(1)に従い、指数関数的に減少す る観測重みviを使用し、重みづけされた最小二乗法則および式(9)を用いて 次の式を直接得る。 従って、式(1)に従い、指数関数的に減少する重みviを使用することによ りEWM−PC荷重を計算する際に、わずかな変更だけでNIPALSアルゴリ ズムを直接利用できる。1つの固定されたYに対しては他方のNIPALS工程 は変わらないままである。しかしながら、重みづけされないスコアtaはもう直 多変数モデル化前にデータマトリックスが列平均値を減算することにより、通 常、データはセンタリングされる。1/Nに等しい各要素を有する、対応するス コアベクトルt0を備えた第1荷重ベクトルp0として平均ベクトルを解釈でき る。 現在の応用では、センタリングベクトルを決定するために進む自然な方法は2 つある。1つのケースでは、一定平均値ベクトルを使用し、長いプロセス履歴か ら決定する。第2のケースではEWMA−PCA重み(vi)で使用されている 値よりもより小さいλを有する各変数(yk)に対してEWMAを使用する。こ のEWMAkの推定値を安定化するため、(正規化された)未加工データの代わ りにPCモデルの残留値を使用することによりこれを計算する。従って、時間t におけるパラメータを用いることにより観測ベクトルyt+1をセンタリングし、 スケーリングする。次に(式(13)により)予想値を減算し、残留値et+1を 与える。この残留値は式(1)および(2)に従ってEWMAkを更新するのに 使用される。 センタリングの後にスケーラーの重みΦkによりセットされたデータの組内の 各列を乗算することによりデータをスケーリングする。変数スケーリング(自動 スケーリング)によりΦkは1/skとして計算される。ここで、skは列に対す る標準偏差値である。これにより再び2つの明らかな選択案が得られる。すなわ ち、長いプロセス履歴からskを計算するか、または重みづけされたローカルデ ータに基づくskを更新された計算値を使用するかのいずれかである。第2の選 択案は、以下述べる低速で更新されたスパニングデータベースに基づくものであ る。重要な変数は1〜3の間の値でΦkをその後乗算し、次に逆方向に乗算す ることによりスケーリングできる。それ以外のあまり重要でない変数は対応する 方法でスケールダウンできる。 モデル内で、第1および第2基本方向に射影される空間内の観測点の点の群が 多少円形に伝搬する場合、上記の回転の問題が生じ得る。かかる状況では、各双 方向に線形のモデル、すなわちPCAおよびPLSの双方は回転に関しては一部 定義されていない。図9を参照する。ダイナミックに更新されたモデルでは、こ れにより潜在的な不安定性が生じる。モデル内で新しいプロセス観測値を導入す ると、新しい観測点がモデル平面に極めて接近している場合でも直前のモデルの 回転が生じ得る。このことは、図示されたスコアプロット内のジャンプ点として 現れ、このジャンプ点はプロセス自体の変化として不正確に解釈される。このよ うな意図的でない回転を防止するため、補助的マトリックス、すなわちP−メモ リマトリックス(PLSにおけるW−メモリ)(ここではQと表示されている) に先のモデルからの荷重ベクトルをセーブする。その後、更新されたモデルを推 定する際に、1984年6月4日から8日のユメアにおけるマルダストシンポジ ウムからのレポートのマルダストニュース(S・ボルド外)において発表された 、マルチブロックPCA/PLSアルゴリズムに従って指数関数的に重みづけさ れたこのP−メモリマトリックスが含められる。このことは、Pメモリマトリッ クスのQに先の事象からの情報を記憶するPCモデルのベイシーン(bayesean) 推定法として証明できる。 メモリマトリックスを含めた結果、更新された荷重ベクトルpa(またはPL Sにおけるwa)は先の荷重ベクトルとあまり異ならないようにされる。調節可 能なパラメータαにより新しい値を古い値のバランスがチェックされる。この完 全なアルゴリズムを下記のように示す。 考慮する上での別の問題点は、不安定期間中にメモリを喪失する際に先の期間 に関する情報を各再帰的モデルの推定で失われる傾向があるということである。 これは、プロセスが充分長期に安定している場合、かなりの変動のないデータの みを保持し、先のデータが低く重みづけされ、この先のデータは指数関数的に減 少する重みで大きな影響を与えないという事実によるものである。 モデルが履歴内の重要な事象を更に振り返って思い出すようにするために、モ デルの決定にあたって第2の補助マトリックス、すなわち基準データマトリック スY*も使用する。このマトリックスは先の観測空間のすべてに広がり、新しい プロセス観測点が所定の固定された限界値を越えるスコア(ta)を常に越える 場合に更新されるプロセス内の観測値(点)を含む。これら限界値は履歴データ 、すなわち先に生じた限界値から得てもよいし、プロセスオペレータがプリセッ トしてもよい。これに類似することにより、荷重ベクトルに関するプロセスメモ リが不安定期間中に失われないように、荷重ベクトルQ*のための付加的基準マ トリックスが関連される。 P−メモリマトリックス(Q)におけるのと同じように、基準マトリックス( Y*およびQ*)における行は指数関数的に重みづけされるが、式(1)における 大きなλの代わりに小さい値のγを使用することによりゆっくりと減少される。 多くのプロセスはモデル化の作業の際に含めてはならないスパイク、すなわち 偏差値を発生する。これらスパイクを処理する最も簡単な方法は新しい観測点と 次の観測点の間のY空間における距離を計算することである。数個の連続するプ ロセスの観測点が一貫してずれたパターンを示さなければ、オペレータに対して るメッセージを出した後に、上記に従う基準データの値と比較されたノルム範囲 を越えるスコア(ta)を発生するような大きく異なる値を有する観測点を廃棄 する。 所定の組のパラメータ値λ1からλ3を備えた履歴データの組へ、本発明の方法 (EWM−PCAまたはPLS)を適応すると、各スコアtaに対する、または 各y変数に対する1工程前の予想値の予想エラーが与えられる。従って、実際の 値と予想値との間の差の二乗の合計は、クロス有効化を用いた場合と同じように 、モデルの予想能力の推定値となる。この合計値PRESSは認識された重要性 に従い重みづけされた各スコアy変数または双方からの成分を有する。λ1から λ3の値の最良の組み合わせを見つけるために、応答表面モデル化(RSM)法 が推奨される。この方法では、異なるパラメータを有する15個のモデルをパラ レルに評価する。これら15個のパラメータの組み合わせ(j=1、2、....、 15)は例えば0.15と0.45の周辺の低い値と高い値とを備えた中心複合 登録(CCI)設計に従って選択される。この次に拡張設計マトリックスX=λ に対するy=log(PRESSj)の回帰が続き、これによりPRESSの最 小値を与えるパラメータ値の予想される組み合わせが得られる。 本発明にかかわるプロセスモデルのステップごとの概観を次のように示す。 1.最も簡単なケースで式(5)または式(11、12)におけるパラメー タλ1からλ3を選択する。これは、より長いプロセスの履歴で最良の予想を与え る値の経験または予想に基づいて行われる。 2.当該時間の開始時にプロセスデータに従いスタートマトリックスYoを 選択する。PLSモデル化法を使用する場合、2つのスタートマトリックスXo およびYoが必要である。これから、データのセンタリングおよびスケーリング のために列の平均値および標準偏差値を計算する。 3.工程2に従い、正規化されたデータからプロセスの初期モデルを得るよ うに、重みづけされたPCA(またはPLS)を使用する。 4.各モデルの次元の最大スコア値および最小スコア値に対応するPCA内 のYoおよびPLS内のXoからのデータを含ませることにより、データのメモリ マトリックスを初期化する。 5.最初の第1行としてpa′またはwa′により各成分aごとに1つずつ、 荷重すなわち重みづけメモリマトリックスQa(PmemまたはWmem)を初期化す る。 6.工程5と同じQ*、長期に広がるPaまたはWaマトリックスを初期化す る。 7.スコアta,t+1の1工程前の予想値を作成し、ta,t+1およびP′(PC A)またはC′(PLS)から予想されるyの値を計算する。 8.観測された値yt+1(およびPLSに対するxt+1)をフェッチする。こ れら値がスパイクを含むかどうかを調査し、先の工程(時間=t)からの正規化 パラメータを使用することにより、これら値をセンタリングし、スケーリングし 、現在のスコアta,t+1および残りの残留値e=yt+1−ta,t+1t′を計算する 。 9.残留値eによりセンタリングパラメータを更新する。 10.収束のためのアルゴリズムを繰り返すことにより、EWM−PCまた はPLSモデルを更新する。 11.メモリマトリックスQa、(PLSのためのPmem,aまたはWmem,a) を更新し、正当化されればデータメモリマトリックスYおよびマトリックスP、 W、Q* aおよびメモリマトリックスY*も更新する。 EWM−PCA法とEWM−PLSとの差は次のように説明できる。すなわち PLSの状況ではプロセスデータは2つのブロック(またはそれ以上のブロック )に分割されていた。例えば入力データに関連するXと出力データに関連するY ブロックに、すなわち製品の性能と品質評価のブロックに分割されていた。プロ セス(X)と、その結果(Y)またはその双方をモニタし、予想したいことがあ る。モデルを更新するためのアルゴリズムはYブロックを含むことによって多少 複雑となっている。データメモリもYブロックを有することになる。Yの予想は 上記工程7に示されるように、予測されたXスコア(t)から直接行うことがで き、YデータもEWM−PCAにより同様に予想される。Yブロックを含ませた ことによりモデルは安定化され、Pに対する制約も少なくなっている。 本発明に係わるプロセスモデルの最大の利点の1つは、第1スコア(t1およ びt2)を互いに、または時間に対して別個にプロットするディスプレイを補助 にして、プロセスの進行にダイナミックに従うことが可能になることである。か かる表示によってプロセスをどのように開発するかの良好な像が得られる。モデ ルDModに対する距離、すなわちY残留値(PLSに対するX残留値)の標準 偏差は、別個の附勢として含まれてもよいし、上記距離に依存してカラーとして スコアの複製内に含まれてもよい。第11図を参照されたい。 モデルに従うプロセスモニタリングによるテストは、経験的に特に鉱物処理の 際に実行されており、これによりプロセスが正常な枠内にない場合、プロセスを モニタし、明瞭に示すことが可能となっていた。更に、要約すれば、EWM−P CAおよびEWM−PLSによる現在モデルにより、ダイナミックプロセスに関 する多変数ウィンドーが提供されたと述べることができる。このダイナミックプ ロセスでは、プロセスの開発の優勢な性質はスコアとプロセスデータ(新観測点 )がモデルからどれだけ遠くに離れているかの測定値として示される。スコア 内に自己相関的構造がある場合、プロセスの診断および制御のためにプロセスス コア(ta)とプロセス変数(yまたはx)の1工程前の予想値を使用できる。 次のようにプロセスをモデル化するためのアルゴリズムをステップバイステッ プで示す。 パラメータλ1乃至λ3の適当な値は、変数(xk、yk)に対するセンタリング およびスケーリング定数EWMAkとΦkの値として利用できると考えられる。 EWM−PCアルゴリズム 1.適当なパラメータ値(λj、γ)を選択する。 2.初期マトリックスYo、大きさNo×Kでスタートする。Y=Yoとセッ トする。メモリマトリックスY*およびQを空として初期化する。 3.パラメータλおよびγを有する式(1)に従って重みviおよびvi *を 計算する。Y:EWMAk−Σii *ik/Σii * より各変数(k)の重みづけされた平均値を計算する。 YおよびY*(ここでY*はセンタリングされていることに留意されたい)より 、スケーリング重み(Φk)を計算する。 これら定数はゼロ重みを備えたゼロとして残されている。重要な変数は上記スケ ーリング重みを、例えば0.3〜3の間の適当な調節値によって乗算することに より、スケールアップまたはスケールダウンすることができる。現在データおよ び基準データに対する相対的な効果を決定するパラメータβはプロセスの安定度 に応じて0.1〜0.9の間のある場所にあり得る。 4.センタリングパラメータEWMAkとスケーリングパラメータΦkにより 、Yをセンタリングし、スケーリングする。 EWM−PCアルゴリズムの中心部分を重みづけされたPCモデルの決定で開 始する。クロス有効化によって生じた追加工程は明瞭には示されていない。これ ら工程は実質的にデータの異なる部分を削除した下記のアルゴリズムを数回実行 し、その後モデルからこの削除したデータを予測することから実質的に成る。予 想エラー(PRESS)が最小のモデル次元Aを選択する。この場合、PRES Sが異なるモデル次元に対して同じであれば、小さいほうのAに対して優先権を 与える。 (i)次元インデックスaを一時セットする。 (ii)paおよびqa(荷重ベクトル)に対するベクトルから開始し、先の 時間点からのベクトルを使用する。最初の時間ではYoにおける最終行を使用し 、長さを1に正規化する。 (iii)スコアtiaを計算する。喪失したデータを補償するため、要素yi kが喪失している場合には0の、それ以外の場合には1に等しいダミー変数(dik )を使用する。 基準マトリックスY がある場合、上記式においてdikおよびyikの代わりに dikおよびyikを使用することによりこのマトリックスに対する対応するスコア t を計算する。 (iv)喪失データの補償のための同じdikを使用することにより荷重ベクト ルpkaを計算する。 aを長さ1に正規化する。pa=pa/‖pa‖ 基準マトリックスY*がある場合、上記式においてdik,yikおよびtiaの代 わりにdjk,yjk *およびtia *を使用することによりこのマトリックスに対する 対応するスコアpka *を計算する。 2つの計算されたpa値の重みづけされた組み合わせとしてpaを形成する 新しいpaを長さ1に正規化する。 (v)収束を示すには10-6よりも小さい値でなければならない。 の収束性をチェックする。収束性が存在する場合は工程(ix)へ進み、そうで ない場合は工程(vi)へ進む。 (vi)最初の時間で計算を行う場合、工程(iii)へリターンする。それ 以外の場合、工程(vii)へ進む。 (vii)荷重マトリックスPおよび基準マトリックスP*に対しそれぞれス コアuaおよびua *を計算する。 (viii)下記の式に従って2つの荷重マトリックスおよび基準マトリック スの荷重を計算する。 2つの計算されたqaの値の重みづけされた組み合わせとしてqaを形成する。 この新しいqaの値を長さ1に正規化する。このベクトルとpa(重み1−α) の重みづけされた組み合わせ(重みα)を使用し、工程(iii)へ戻る。 (ix)収束性が存在している場合、次の次元計算におけるデータを提供する ための残留値を形成することにしか使用されないこれら一時的荷重ベクトルから 2つのデータブロックのための最終taおよびta *を計算する。これはスコアの 直交性を保存するのに必要であり、通常のPLS回帰法における正規化工程w→ t→pに類似する。 その後、残留値Y−taa′およびY*−ta *a *′を形成する。モデル次元 (a=a+1)に1を加えこの次の次元のデータマトリックスとして残留値Yお よびY*を使用することにより次の次元に進む。 (x)モデルの次元数aがクロス有効化または経験に基づき決定されたモデル ないの重要な次元(変数)Aの所望の数に等しくなると、このアルゴリズムを終 了する。 代わりにEWM−PLSアルゴリズムを使用する場合、これらのアルゴリズム の間の違いは後者(PLS)がデータおよび基準データ用のそれぞれのXブロッ クおよびYブロックを含むことである。YをXで置換し、Y*をX*で置換し、P LSの重みを荷重し、上記アルゴリズムにおいてpにwを荷重することにより、 上記アルゴリズムにおける工程(iii)においてあるサブ工程を加える。スコ アtaおよびta *を計算した後、Yの重みcaおよびca *を計算するのにこれらス コアを使用し、次にこれら重いはuaの代わりにraと表示されているYスコアと なる。 (iiia)YおよびY*の重み ma *に対しても同様である。 (iiib)スコアtaおよびta * ja *に対しても同様である。 tおよびt*の代わりにこれらスコアrおよびrja *をそれぞれ使用して工程( iv)におけるPLSの重みを計算する。 最後に、収束の後に対応するcベクトルを乗算した対応するtベクトルを減算 することにより、各Yブロックの残留値(F3)を形成する。次にこれら残留値 は次の次元のYおよびY*として使用される。 上記アルゴリズムが収束した後、その結果得られたスコア(tおよびuの値の み)を基準データおよび荷重マトリックスのための対応するスコアの最大値およ び最小値と比較する。従って基準マトリックスが最初に空であれば各モデル次元 のための最大値tおよび最小値uに対応するデータベクトルを基準データマトリ ックスY*およびP*にそれぞれセーブする。限界部のスコアは後に比較するため にセーブする。次の更新時に同じ次元を有する先の最小スコアより低いスコア値 および先の最大スコア値より高いスコア値は、対応するデータベクトルを基準マ トリックスに含め、新しいスコア値をセーブすることを意味している。Y*の2 つの変数を表示できる。すなわち一方の変数はY*から古いデータを削除した場 合、およびY*の指数関数的な重みづけを行わない場合の変数であり、他方はY* のゆっくりと減少する指数関数的な重みづけを使用することにより、新しいデー タベクトルでY*を拡張した場合の推奨変数である。荷重用の荷重、すなわちP LS重みのための基準マトリックスに対しても同じ基準を使用する。 上記アルゴリズムは、本発明の説明で述べたように、いかに多変数プロセスを グラフ表示できるかの基礎となる。観測された技術に基づき、例えばここの変数 のドリフトによりプロセス内の変数が直接影響されるという事実によりプロセス を正規化された状態に回復できる。 本発明に係わるプロセスモニタは、物理的にはモニタされるプロセスないのそ れぞれの物理量のための測定装置により、公知の態様で対応する量の測定データ を測定することにより達成される。これら測定された値は、本発明に従い、プロ セスのモデルを発生するようにプログラムされたコンピュータへプロセスリンク を通して送られる。モデルはスクリーン上にグラフとして表示され、ここで本発 明によりプロセス全体は平面またはハイパー平面に射影され、射影はプロセスに 関するすべての対応する情報を含み、これによりオペレータはプロセスの視覚化 に従ってすべて表示された装置内の圧力または温度レベル、ロールの接触圧を調 節することにより、プロセスの物理量に介入することにより、事実に基づき正確 な処置をとることが可能となる。従来技術では、プロセスにおける多数の量の相 互の作用をリアルタイムで、かつオンラインで検討することが可能でなかったの で、このタイプの情報およびプロセスにおける物理的介入の可能性は従来技術で は存在していなかったものである。 本発明に係わるプロセスモデルを得るための異なる工程の計算は、第12図に 略図で示された計算ユニットで実現される。この第12図では、フローチャート により計算工程の明らかな概略が示されている。第12図における工程2では、 許容可能な制御期間外でta,i+1および/またはDModXが終了した場合、異 なる荷重プロットを使用して、どのプロセス変数(xk)がプロセスをその作動 可能なノルムレンジに残したかを識別し、よってプロセスないでドリフトを生じ させた変数を予想された値まで調節し、プロセスをできるかぎりノルムレンジ内 に回復させている。
【手続補正書】特許法第184条の8 【提出日】1996年1月15日 【補正内容】 射影技術(PCA、PLS)によるモデル化は、点、線および平面の形態をし た簡単な形状を用いることにより最良に説明される。プロセスデータは通常、テ ーブルとしてリストされ、この表では行は一組の観測点、すなわち所定時間にお けるプロセス内の可変値の記録を示す。実際上の理由から、また、簡潔にするた め、以下3つの変数、すなわち3つの列を有するデータのテーブルに説明を限定 することにする。これら3つの列はプロセス内の変数が座標系内の軸によって表 示される三次元座標系(第1図)を用いて幾何学的に説明できる。しかしながら 、この方法は任意の数の変数K(ここでKは>3、例えばK=50またはK=4 97)に対して機能する。所定時間におけるプロセス内の対応する変数の観測点 は、すべての変数に共通な座標径内の点によって表示できる。このことは、各変 数の測定値がそれぞれの軸に対する座標に対応することを意味している。数学的 にはテーブル内の行は座標の数と無関係に1つの点に対応している。テーブル内 のn個の行のすべては一群の点(point cluster,swarm)( 第2図)に対応する。1つのプロセスをK個の対応する変数で記述するための数 学的手法は、K個の座標を備えた多次元空間(space)内における1つの点 で表示される、各時間における観測点により同じように処理される。 射影方法は互いに近くにある2つの点はプロセス内でも密接に関連していると いう仮定で働く。 データの組は、次のような一連の簡単な幾何学的演算で潜在的変数へ射影でき る。 データの組の中間点を計算する。この計算された点をxと称する。この中間点 の座標は座標系内のすべての変数の平均値に対応する(第3図)。 中間点xからスタートして第1の直線p1を引く。この直線は個々の点に対す る直線までの距離ができるだけ短くなるように、データの組に適用される。この 直線はプロセス内の最大変化を示すデータの組内の方向、すなわちデータの組内 の優勢な方向に対応しており、第1基本方向と称される。この直線の方向の係数 は荷重ベクトルp1で組み合わされる。次に、データの組内の各点は、この直線 に直交射影される。直線に対するすべての点の射影座標は、新しいベクトルt1 を生じる(各点はベクトルt1の成分としての値(すなわちここではスコアと称 す)を与える)。 【手続補正書】特許法第184条の8 【提出日】1996年2月21日 【補正内容】 1.所定の時間における観測点として変数の測定値を記録する工程と、 各変数が空間における一次元を表示する多次元空間として変数を記述する工程 と、 異なる時間において行われる一連の観測が空間内の点の群によって表示される ように各観測点を多次元空間における点として表示する工程と、 第1基本方向(pa)および第2の基本方向(pb)が含まれる空間における少 なくとも2つの基本方向を点の群に対して計算する工程と、 基本方向(pa、pb)上への観測点の射影を決定する工程と、 基本空間(pa、pb)によって広がった線形空間内の電子スクリーン上の点と して観測点の射影の点上に挿入する工程とを備えた、プロセスに対応する多数の 変数に進行が依存する工業的またはその他の技術的プロセスをモニタし、制御す る方法であって、 プロセスの進行中に空間内の点の群の基本方向(pa、pb)を更新し、これに よりプロセスをダイナミックにモニタできるようにし、 プロセスの良好な作動レンジを示すノルムレンジのみならず、プロセスに影響 する変数をスクリーンに表示し、 プロセスをノルムレンジに回復するようにプロセスオペレータまたはモニタ要 員によりプロセスのドリフトを表示するプロセスに影響する変数を調節すること を特徴とする、工業的または他の技術的プロセスをモニタし、制御する方法。 2.プロセスをスクリーン上の像としてオンラインにダイナミックに表示し、 第1基本方向(pa)および第2基本方向(pb)がスクリーンに示された平面を 定め、観測点の射影点をスクリーン上の点として示し、時間内のプロセスの連続 する観測点を表示するよう、1つの点から別の点へスクリーン上を這う蛇のよう にプロセスを視覚化することを特徴とする、請求項1記載の方法。 3.プロセスをスクリーン上の像としてオンラインにダイナミックに表示し、 第1基本方向、第2基本方向および第3基本方向(pa、pb)がスクリーンに示 された三次元空間を構成し、観測点の射影点をスクリーン上の点として示し、時 間内のプロセスの連続する観測点を表示するよう、1つの点から別の点へスクリ ーン上を這う蛇のようにプロセスを視覚化することを特徴とする、請求項1記 載の方法。 4.プロセスの最後に観測されたベクトル表示(xi、yi)と更新されたモデ ルに対するプロセスの距離すなわちDmodを示す量として使用されるプロセス のオンライン更新されたモデル(X、Y)との間の偏差値(si)(残留値)を 検出し、モデルに対する前記距離すなわちDmodに応じて色を変えるスクリー ン上の蛇状ラインにより、プロセスをオンラインでダイナミックに示すことを特 徴とする、請求項2または3記載の方法。 5.プロセスの進行を示す移動する蛇状ラインのすべてまたは一部をDmod の大きさに応じて種々の色で、すなわちモデルに対する距離はDmodの所定の ノルムレンジ外になった場合は、プロセスの視覚化された部分を所定の色で、更 にこの距離がプロセスのノルムレンジ内にある場合はプロセスの視覚化された部 分を他の色で着色することを特徴とする、請求項4記載の方法。 6.スクリーン状の蛇状ラインがあらかじめスクリーン上に定めたプロセスの ノルムレンジ外にあるレンジに進入すると蛇状ラインがアラームを開始すること を特徴とする、請求項2または3記載の方法。 7.現在関心のあるプロセスの一部を、より強く、すなわちより輝度が高くな るように表示された蛇状ラインとして表示することを特徴とする、請求項2また は3記載の方法。 8.所定の時間における観測点として変数の測定値を記録する工程と、 各変数が空間における一次元を表示する多次元空間として変数を記述する工程 と、 異なる時間において行われる一連の観測が空間内の点の群によって表示される ように各観測点を多次元空間における点として表示する工程と、 第1基本方向(pa)および第2の基本方向(pb)が含まれる空間内の少なく とも2つの基本方向を点の群に対して計算する工程と、 プロセスのモデルを得るように、基本方向(pa、pb)上への観測点の射影を 決定する工程とを備えた、プロセスに対応する多数の変数に進行が依存する工業 的またはその他の技術的プロセスをモニタし、制御する方法であって、 プロセスの計算モデルをリアルタイムでプロセスにダイナミックに適合させる よう、プロセスの進行中に空間内の点の群の基本方向(pa、pb)を更新する工 程と、 プロセスの最後に観測されたベクトル表示(xi、yi)と更新されたモデルに 対するプロセスの距離、すなわちDmodを示す量として使用されるプロセスの オンライン更新されたモデル(X、Y)との間の偏差値(si)(残留値)を計 算する工程と、 モデルに対するプロセスの距離が所定のアラーム限界値を越えた時にアラーム を開始する工程とを特徴とする、工業的またはその他の技術的プロセスをモニタ し、制御する方法。 9.モデルに対する前記距離(Dmod)が行われたプロセスの観測時間の関 数としてプロットされた図にオンラインでモデルに対するプロセスの距離(Dm od)が表示されることを特徴とする、請求項8記載の方法。 10.モデルに対するプロセスの距離(Dmod)がプロセスの基準モデルか らのそれぞれの観測点の偏差の偏差値から成ることを特徴とする、請求項8記載 の方法。 11.プロセス内の対応する変数がスクリーン上の像として、すなわちスコア 表示として示され、第1基本方向(pa)および第2基本方向(pb)がスクリー ン上に示された平面を定め、個々の変数の点がこの平面に射影され、この平面内 の点の群の中間点(x)がスクリーン上の点として表示されることを特徴とする 、請求項2記載の方法。 12.蛇状ラインのみならずスコアプロットとして表示されたプロセスが別個 または同じスクリーン像上の同じ第1基本方向(pa)および第2基本方向(pb )によって定められた同じプロット平面に基づき、同時に視覚化され、よってス クリーン上の蛇状ラインの移動を即座にプロセス駆動変数に関係付けることがで き、2つの像における点の群の中間点(x)からの方向が互いに対応しており、 よって点の群の中間点(x)から離間する蛇状ラインの移動方向がスコアプロッ トにおいて蛇状ラインの移動と同じ移動方向にある1つ以上の変数によるプロセ スに対する影響を示し、これによりプロセスオペレータまたはモニタ要員がどの 変数がプロセスにおけるドリフトを生じさせているかの情報を受け、よっ てオペレータまたはモニタ要員が外乱変数を容易に処理できることを特徴とする 、請求項11記載の方法。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.所定の時間における観測点として変数の測定値を記録する工程と、 各変数が空間における一次元を表示する多次元空間として変数を記述する工程 と、 異なる時間において行われる一連の観測が空間内の点の群によって表示される ように各観測点を多次元空間における点として表示する工程と、 点の群に対する空間内の少なくとも1つの第1基本方向(pa)および1つの 第2の基本方向(pb)を計算する工程と、 基本方向(pa、pb)上への観測点の射影を決定する工程と、 基本空間(pa、pb)によって広がった線形空間内の電子スクリーン上の点と して観測点の射影の点上に挿入する工程とを備えた、プロセスに対応する多数の 変数に進行が依存する工業的またはその他の技術的プロセスをモニタし、制御す る方法であって、 プロセスの進行中に空間内の点の群の基本方向(pa、pb)を更新し、これに よりプロセスをダイナミックにモニタできるようにし、 プロセスのノルムレンジのみならず、プロセスに影響する変数をスクリーンに 表示し、 プロセスをノルムレンジに回復するようにプロセスオペレータまたはモニタ要 員によりプロセスのドリフトを表示するプロセスに影響する変数を調節すること を特徴とする、工業的または他の技術的プロセスをモニタし制御する方法。 2.プロセスをスクリーン上の像としてオンラインにダイナミックに表示し、 第1基本方向(pa)および第2基本方向(pb)がスクリーンに示された平面を 定め、観測点の射影点をスクリーン上の点として示し、時間内のプロセスの連続 する観測点を表示するよう、1つの点から別の点へスクリーン上を這う蛇のよう にプロセスを視覚化することを特徴とする、請求項1記載の方法。 3.プロセスをスクリーン上の像としてオンラインにダイナミックに表示し、 第1基本方向、第2基本方向および第3基本方向(pa、pb)がスクリーンに示 された三次元空間を構成し、観測点の射影点をスクリーン上の点として示し、 時間内のプロセスの連続する観測点を表示するよう、1つの点から別の点へスク リーン上を這う蛇のようにプロセスを視覚化することを特徴とする、請求項1記 載の方法。 4.プロセスの計算されたモデルと基準モデルとの間の偏差(残留値)を1つ の量(Dmod)として決定し、モデルに対する距離(Dmod)に応じて色を 変える蛇状ラインによりモデルに対するプロセスの距離(Dmod)を表示する ことにより、プロセスをオンラインでダイナミックに示すことを特徴とする、請 求項2または3記載の方法。 5.プロセスの進行を示す移動する蛇状ラインのすべてまたは一部をDmod の大きさに応じて種々の色で、すなわちモデルに対する距離はDmodの所定の ノルムレンジ外になった場合は、プロセスの視覚化された部分を所定の色で、更 にこの距離がプロセスのノルムレンジ内にある場合はプロセスの視覚化された部 分を他の色で着色することを特徴とする、請求項4記載の方法。 6.スクリーン状の蛇状ラインがあらかじめスクリーン上に定めたプロセスの ノルムレンジ外にあるレンジに進入すると蛇状ラインがアラームを開始すること を特徴とする、請求項2または3記載の方法。 7.現在関心のあるプロセスの一部を、より強く、すなわちより輝度が高くな るように表示された蛇状ラインとして表示することを特徴とする、請求項2また は3記載の方法。 8.所定の時間における観測点として変数の測定値を記録する工程と、 各変数が空間における一次元を表示する多次元空間として変数を記述する工程 と、 異なる時間において行われる一連の観測が空間内の点の群によって表示される ように各観測点を多次元空間における点として表示する工程と、 点の群に対する空間内の少なくとも1つの第1基本方向(pa)および1つの 第2の基本方向(pb)を計算する工程と、 プロセスのモデルを得るように、基本方向(pa、pb)上への観測点の射影を 決定する工程と、 計算されたモデルとプロセスの基準モデルとの間の偏差値(Dmod)を計算 する工程とを備えた、プロセスに対応する多数の変数に進行が依存する工業的ま たはその他の技術的プロセスをモニタし、制御する方法であって、 プロセスの計算モデルをリアルタイムでプロセスにダイナミックに適合させる よう、プロセスの進行中に空間内の点の群の基本方向(pa、pb)を更新し、 モデルに対するプロセスの距離が所定のアラーム限界値を越えた時にアラーム を開始することを特徴とする、工業的またはその他の技術的プロセスをモニタし 、制御する方法。 9.モデルに対する前記距離(Dmod)が行われたプロセスの観測時間の関 数としてプロットされた図にオンラインでモデルに対するプロセスの距離(Dm od)が表示されることを特徴とする、請求項8記載の方法。 10.モデルに対するプロセスの距離(Dmod)がプロセスの基準モデルか らのそれぞれの観測点の偏差の偏差値から成ることを特徴とする、請求項8記載 の方法。 11.プロセス内の対応する変数がスクリーン上の像として、すなわちスコア 表示として示され、第1基本方向(pa)および第2基本方向(pb)がスクリー ン上に示された平面を定め、個々の変数の点がこの平面に射影され、この平面内 の点の群の中間点(x)がスクリーン上の点として表示されることを特徴とする 、請求項2記載の方法。 12.蛇状ラインのみならずスコアプロットとして表示されたプロセスが別個 または同じスクリーン像上の同じ第1基本方向(pa)および第2基本方向(pb )によって定められた同じプロット平面に基づき、同時に視覚化され、よってス クリーン上の蛇状ラインの移動を即座にプロセス駆動変数に関係付けることがで き、2つの像における点の群の中間点(x)からの方向が互いに対応しており、 よって点の群の中間点(x)から離間する蛇状ラインの移動方向がスコアプロッ トにおいて蛇状ラインの移動と同じ移動方向にある1つ以上の変数によるプロセ スに対する影響を示し、これによりプロセスオペレータまたはモニタ要員がどの 変数がプロセスにおけるドリフトを生じさせているかの情報を受け、よってオペ レータまたはモニタ要員が外乱変数を容易に処理できることを特徴とする、請求 項11記載の方法。
JP51766495A 1993-12-22 1994-12-15 可変数プロセスをモニタリングするための方法 Expired - Fee Related JP3429769B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9304246A SE9304246L (sv) 1993-12-22 1993-12-22 Förfarande vid övervakning av multivariata processer
SE930426-3 1993-12-22
PCT/SE1994/001208 WO1995018420A2 (en) 1993-12-22 1994-12-15 Method for monitoring multivariate processes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11502609A true JPH11502609A (ja) 1999-03-02
JP3429769B2 JP3429769B2 (ja) 2003-07-22

Family

ID=20392178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51766495A Expired - Fee Related JP3429769B2 (ja) 1993-12-22 1994-12-15 可変数プロセスをモニタリングするための方法

Country Status (10)

Country Link
US (1) US5949678A (ja)
EP (1) EP0775335B1 (ja)
JP (1) JP3429769B2 (ja)
AT (1) ATE169746T1 (ja)
CA (1) CA2179719A1 (ja)
DE (1) DE69412520T2 (ja)
FI (1) FI962560A (ja)
NO (1) NO311818B1 (ja)
SE (1) SE9304246L (ja)
WO (1) WO1995018420A2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002519763A (ja) * 1998-06-22 2002-07-02 ウメトリ アクティエボラグ 入力データの校正の方法と装置
JP2007505494A (ja) * 2003-09-12 2007-03-08 東京エレクトロン株式会社 適応性多変数分析を使用して処理装置を診断する方法および装置
JP2008506564A (ja) * 2004-07-19 2008-03-06 バクスター・インターナショナル・インコーポレイテッド パラメトリック射出成形のシステムおよび方法
JP2010218187A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Fuji Electric Holdings Co Ltd 製造条件調整装置
JP2020003871A (ja) * 2018-06-25 2020-01-09 東芝三菱電機産業システム株式会社 鉄鋼プラント用監視作業支援システム
WO2020059555A1 (ja) * 2018-09-20 2020-03-26 日本電信電話株式会社 学習装置、推定装置、学習方法、推定方法およびプログラム

Families Citing this family (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0843844B1 (de) * 1995-08-09 1999-04-07 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur analyse von prozessignalen einer technischen anlage, insbesondere einer kraftwerksanlage
US6108615A (en) * 1995-08-09 2000-08-22 Siemens Aktiengesellschaft Method for analyzing process signals of a technical plant, in particular a power plant
DE59603795D1 (de) * 1995-08-09 2000-01-05 Siemens Ag Analysesystem für eine technische anlage, insbesondere für eine kraftwerksanlage
US5761086A (en) * 1996-02-13 1998-06-02 Westinghouse Electric Corporation Apparatus and method for monitoring pressure-temperature margins
DE19615960A1 (de) * 1996-04-22 1997-10-23 Siemens Ag Verfahren und System zur Verarbeitung von Prozeßsignalen einer technischen Anlage
DE19627464A1 (de) * 1996-07-08 1998-01-15 Siemens Ag Prozeßautomatisierungssystem
DE19637651A1 (de) * 1996-09-16 1998-03-19 Abb Patent Gmbh Verfahren zur Prozeßvisualisierung
DE19649633A1 (de) * 1996-12-02 1998-06-04 Abb Patent Gmbh Verfahren zur Analyse und Darstellung von transienten Prozeßvorgängen
JP3277142B2 (ja) * 1997-06-18 2002-04-22 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション リグレッション・ツリー作成方法及び装置
DE19740565A1 (de) 1997-09-15 1999-03-18 Max Planck Gesellschaft Verfahren zur Erfassung zeitabhängiger Moden dynamischer Systeme
US6151532A (en) * 1998-03-03 2000-11-21 Lam Research Corporation Method and apparatus for predicting plasma-process surface profiles
DE19811895B4 (de) * 1998-03-18 2007-06-21 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Bestimmen verschiedenartiger Fehler eines digitalen Sendermodulators
US6216066B1 (en) * 1998-07-01 2001-04-10 General Electric Company System and method for generating alerts through multi-variate data assessment
US5960381A (en) * 1998-07-07 1999-09-28 Johnson Controls Technology Company Starfield display of control system diagnostic information
EP1021263B1 (en) * 1998-07-21 2004-11-03 Dofasco Inc. Multivariate statistical model-based system for monitoring the operation of a continuous caster and detecting the onset of impending breakouts
US6671661B1 (en) * 1999-05-19 2003-12-30 Microsoft Corporation Bayesian principal component analysis
US6560514B1 (en) * 1999-09-23 2003-05-06 Kic Thermal Profiling Method and apparatus for optimizing control of a part temperature in conveyorized thermal processor
DE1111550T1 (de) 1999-12-23 2002-04-18 Abb Ab Vaesteraas Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des Betriebszustandes einer einzelnen Maschine
US6950816B1 (en) * 2000-02-29 2005-09-27 Unisys Corporation Built in headroom for a preemptive multitasking operating system sizer
US6957172B2 (en) 2000-03-09 2005-10-18 Smartsignal Corporation Complex signal decomposition and modeling
US6865509B1 (en) * 2000-03-10 2005-03-08 Smiths Detection - Pasadena, Inc. System for providing control to an industrial process using one or more multidimensional variables
GB0007063D0 (en) * 2000-03-23 2000-05-10 Simsci Limited Mulitvariate statistical process monitors
EP1168131B1 (en) * 2000-06-30 2007-02-21 Siemens Corporate Research, Inc. Method and system for industrial operator guidance through prediction-based alarm recognition
US6636842B1 (en) * 2000-07-15 2003-10-21 Intevep, S.A. System and method for controlling an industrial process utilizing process trajectories
US20020019722A1 (en) * 2000-07-19 2002-02-14 Wim Hupkes On-line calibration process
US6895293B2 (en) 2000-09-14 2005-05-17 Applied Materials, Inc. Fault detection and virtual sensor methods for tool fault monitoring
WO2002035299A2 (en) * 2000-10-26 2002-05-02 Triant Technologies Inc. Method for estimating and reducing uncertainties in process measurements
US7092863B2 (en) * 2000-12-26 2006-08-15 Insyst Ltd. Model predictive control (MPC) system using DOE based model
US6675129B1 (en) 2000-12-28 2004-01-06 General Electric Company Internet based supplier process reliability system
US7233886B2 (en) * 2001-01-19 2007-06-19 Smartsignal Corporation Adaptive modeling of changed states in predictive condition monitoring
DE60203379T2 (de) * 2001-01-30 2006-01-26 Thomson Licensing S.A., Boulogne Signalverarbeitungstechnik zur geometrischen quellentrennung
US6785632B1 (en) 2001-04-12 2004-08-31 Seagate Removable Solutions Llc Real time statistical computation in embedded systems
GB0111215D0 (en) * 2001-05-08 2001-06-27 Curvaceous Software Ltd Multi-variable process
EP1262844A1 (en) * 2001-06-01 2002-12-04 Sony International (Europe) GmbH Method for controlling a man-machine-interface unit
US6564113B1 (en) * 2001-06-15 2003-05-13 Advanced Micro Devices, Inc. Lot start agent that calculates virtual WIP time in a multi-product and multi-bottleneck manufacturing environment
JP4584579B2 (ja) * 2001-08-24 2010-11-24 バイオ−ラッド ラボラトリーズ,インコーポレイティド バイオメトリック・クオリティ管理プロセス
US20050118812A1 (en) * 2001-12-31 2005-06-02 Tokyo Elecron Limited Method of detecting, identifying and correcting process performance
US7660705B1 (en) 2002-03-19 2010-02-09 Microsoft Corporation Bayesian approach for learning regression decision graph models and regression models for time series analysis
US7096074B2 (en) * 2002-05-30 2006-08-22 Insyst Ltd. Methods and apparatus for early fault detection and alert generation in a process
DE10228799A1 (de) * 2002-06-27 2004-01-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen eines ablaufenden Prozesses
JP2004047885A (ja) * 2002-07-15 2004-02-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体製造装置のモニタリングシステム及びモニタリング方法
US7043403B1 (en) * 2002-09-04 2006-05-09 Advanced Micro Devices, Inc. Fault detection and classification based on calculating distances between data points
DE10241746B8 (de) * 2002-09-10 2007-09-20 Haag, Günter, Prof.Dr. Verfahren zur zyklischen Qualitätsbewertung und Prozessüberwachung bei periodischen Produktionsprozessen
US6799143B1 (en) * 2002-12-10 2004-09-28 Abb Inc. Process and device for evaluating the performance of a process control system
CA2414167A1 (en) * 2002-12-12 2004-06-12 Dofasco Inc. Method and online system for monitoring continuous caster start-up operation and predicting start cast breakouts
US7185012B1 (en) * 2003-02-10 2007-02-27 At&T Corp. Method and apparatus for ranked join indices
US7580813B2 (en) * 2003-06-17 2009-08-25 Microsoft Corporation Systems and methods for new time series model probabilistic ARMA
US6993404B2 (en) * 2003-07-11 2006-01-31 Mks Instruments, Inc. Graphical user interface with process quality indicator
DE10355022B4 (de) * 2003-11-25 2016-10-06 Prof. Dr.Thomas Bartsch Verfahren zur Überwachung eines technischen Systems
US7451003B2 (en) * 2004-03-04 2008-11-11 Falconeer Technologies Llc Method and system of monitoring, sensor validation and predictive fault analysis
US7127358B2 (en) * 2004-03-30 2006-10-24 Tokyo Electron Limited Method and system for run-to-run control
US6885907B1 (en) * 2004-05-27 2005-04-26 Dofasco Inc. Real-time system and method of monitoring transient operations in continuous casting process for breakout prevention
DE102004028557A1 (de) * 2004-06-15 2006-02-16 Abb Patent Gmbh Verfahren und System zur Zustandsbewertung von wenigstens einem Achsgelenk
US20060074598A1 (en) * 2004-09-10 2006-04-06 Emigholz Kenneth F Application of abnormal event detection technology to hydrocracking units
US7349746B2 (en) * 2004-09-10 2008-03-25 Exxonmobil Research And Engineering Company System and method for abnormal event detection in the operation of continuous industrial processes
US7424395B2 (en) * 2004-09-10 2008-09-09 Exxonmobil Research And Engineering Company Application of abnormal event detection technology to olefins recovery trains
US7567887B2 (en) * 2004-09-10 2009-07-28 Exxonmobil Research And Engineering Company Application of abnormal event detection technology to fluidized catalytic cracking unit
TW200632719A (en) * 2004-09-17 2006-09-16 Mks Instr Inc Multivariate control of semiconductor processes
US7596475B2 (en) * 2004-12-06 2009-09-29 Microsoft Corporation Efficient gradient computation for conditional Gaussian graphical models
US7421380B2 (en) * 2004-12-14 2008-09-02 Microsoft Corporation Gradient learning for probabilistic ARMA time-series models
US7280941B2 (en) * 2004-12-29 2007-10-09 General Electric Company Method and apparatus for in-situ detection and isolation of aircraft engine faults
US20080021801A1 (en) * 2005-05-31 2008-01-24 Yuh-Shen Song Dynamic multidimensional risk-weighted suspicious activities detector
CN101238421A (zh) * 2005-07-07 2008-08-06 Mks仪器股份有限公司 用于监控工艺环境中的动态参数的自校正多变量分析
GB0515726D0 (en) * 2005-07-30 2005-09-07 Curvaceous Software Ltd Multi-variable operations
US20070088448A1 (en) * 2005-10-19 2007-04-19 Honeywell International Inc. Predictive correlation model system
US7617010B2 (en) 2005-12-28 2009-11-10 Microsoft Corporation Detecting instabilities in time series forecasting
US7761172B2 (en) * 2006-03-21 2010-07-20 Exxonmobil Research And Engineering Company Application of abnormal event detection (AED) technology to polymers
US7720641B2 (en) * 2006-04-21 2010-05-18 Exxonmobil Research And Engineering Company Application of abnormal event detection technology to delayed coking unit
FI121690B (fi) * 2006-06-01 2011-02-28 Metso Automation Oy Menetelmä ja järjestelmä paperin- tai sellunvalmistusprosessin suorituskyvyn tarkkailemiseksi
US8275577B2 (en) 2006-09-19 2012-09-25 Smartsignal Corporation Kernel-based method for detecting boiler tube leaks
US7580768B2 (en) * 2006-09-22 2009-08-25 Texas Instruments Deutschland Gmbh Method of adjusting process variables in a processing flow
WO2008042759A2 (en) * 2006-09-29 2008-04-10 Fisher-Rosemount Systems, Inc. On-line multivariate analysis in a distributed process control system
US8014880B2 (en) 2006-09-29 2011-09-06 Fisher-Rosemount Systems, Inc. On-line multivariate analysis in a distributed process control system
EP1914638A1 (en) * 2006-10-18 2008-04-23 Bp Oil International Limited Abnormal event detection using principal component analysis
US7606681B2 (en) * 2006-11-03 2009-10-20 Air Products And Chemicals, Inc. System and method for process monitoring
US8311774B2 (en) 2006-12-15 2012-11-13 Smartsignal Corporation Robust distance measures for on-line monitoring
WO2008137544A1 (en) 2007-05-02 2008-11-13 Mks Instruments, Inc. Automated model building and model updating
US7970482B2 (en) * 2007-08-09 2011-06-28 Honeywell International Inc. Method and system for process control
US8924877B2 (en) * 2007-10-29 2014-12-30 Honeywell International Inc. Apparatus and method for displaying changes in statistical parameters in a process control system
US8213706B2 (en) * 2008-04-22 2012-07-03 Honeywell International Inc. Method and system for real-time visual odometry
US8494798B2 (en) * 2008-09-02 2013-07-23 Mks Instruments, Inc. Automated model building and batch model building for a manufacturing process, process monitoring, and fault detection
US8090676B2 (en) * 2008-09-11 2012-01-03 Honeywell International Inc. Systems and methods for real time classification and performance monitoring of batch processes
US8706737B2 (en) * 2008-12-31 2014-04-22 At&T Intellectual Property I, L.P. Method and apparatus for processing of top-K queries from samples
US9069345B2 (en) * 2009-01-23 2015-06-30 Mks Instruments, Inc. Controlling a manufacturing process with a multivariate model
US8285414B2 (en) 2009-03-31 2012-10-09 International Business Machines Corporation Method and system for evaluating a machine tool operating characteristics
DE102009040386A1 (de) * 2009-09-07 2011-03-10 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Zustands- und Prozessüberwachung und Vorrichtung hierfür
US8862433B2 (en) 2010-05-18 2014-10-14 United Technologies Corporation Partitioning of turbomachine faults
US8408051B2 (en) 2010-09-01 2013-04-02 Frito-Lay North America, Inc. Method for decreasing variability in a moisture analyzer
US8855804B2 (en) 2010-11-16 2014-10-07 Mks Instruments, Inc. Controlling a discrete-type manufacturing process with a multivariate model
US8719196B2 (en) 2011-12-19 2014-05-06 Go Daddy Operating Company, LLC Methods for monitoring computer resources using a first and second matrix, and a feature relationship tree
US8600915B2 (en) 2011-12-19 2013-12-03 Go Daddy Operating Company, LLC Systems for monitoring computer resources
US9541471B2 (en) 2012-04-06 2017-01-10 Mks Instruments, Inc. Multivariate prediction of a batch manufacturing process
US9429939B2 (en) 2012-04-06 2016-08-30 Mks Instruments, Inc. Multivariate monitoring of a batch manufacturing process
EP2682168A1 (en) 2012-07-02 2014-01-08 Millipore Corporation Purification of biological molecules
CN103309347B (zh) * 2013-06-05 2015-11-18 浙江大学 一种基于稀疏表示的多工况过程监控方法
CN103336507B (zh) * 2013-06-24 2015-08-19 浙江大学 基于多模态协同时段自动划分的统计建模与在线监测方法
CN105159247B (zh) * 2015-08-05 2018-02-09 北京工业大学 基于信息传递的间歇过程实时采样点阶段归属判断方法
DE102019215016A1 (de) * 2018-12-28 2020-07-02 Robert Bosch Gmbh Messanordnung, Verfahren zum Einrichten einer Messanordnung und Verfahren zum Betreiben einer Messanordnung
GB201900746D0 (en) * 2019-01-18 2019-03-06 Cullum Stephen Process for evaluating software elements within software
DE112019007470B4 (de) 2019-07-25 2023-06-29 Mitsubishi Electric Corporation Vorrichtung zum überwachen eines zustands einer vorrichtung und verfahren zum überwachen eines zustands einer vorrichtung
CN117421701B (zh) * 2023-12-19 2024-03-08 中国电建集团华东勘测设计研究院有限公司 一种自升式平台桩腿三维空间姿态分布式监测方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4965742A (en) * 1987-09-30 1990-10-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process control system with on-line reconfigurable modules
US5249120A (en) * 1991-01-14 1993-09-28 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Automated manufacturing costing system and method
US5196997A (en) * 1991-01-22 1993-03-23 International Business Machines Corporation Method and apparatus for quality measure driven process control
US5402333A (en) * 1992-06-15 1995-03-28 E. I. Du Pont De Nemours & Co., Inc. System and method for improving model product property estimates
US5488561A (en) * 1992-08-19 1996-01-30 Continental Controls, Inc. Multivariable process control method and apparatus
GB2274376B (en) * 1992-12-09 1996-12-18 Honda Motor Co Ltd Method of and system for producing solid models
US5408405A (en) * 1993-09-20 1995-04-18 Texas Instruments Incorporated Multi-variable statistical process controller for discrete manufacturing
GB9326354D0 (en) * 1993-12-23 1994-02-23 British Aerospace Methods and apparatus for the testing,monitoring and improvement of manufacturing process effectiveness
US5457625A (en) * 1994-04-13 1995-10-10 The M. W. Kellogg Company Maximizing process production rates using permanent constraints
US5610843A (en) * 1995-03-01 1997-03-11 Sri International Methods and apparatuses for multi input/multi output control systems

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002519763A (ja) * 1998-06-22 2002-07-02 ウメトリ アクティエボラグ 入力データの校正の方法と装置
JP2007505494A (ja) * 2003-09-12 2007-03-08 東京エレクトロン株式会社 適応性多変数分析を使用して処理装置を診断する方法および装置
JP4699367B2 (ja) * 2003-09-12 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 適応性多変数分析を使用して処理装置を診断する方法および装置
JP2008506564A (ja) * 2004-07-19 2008-03-06 バクスター・インターナショナル・インコーポレイテッド パラメトリック射出成形のシステムおよび方法
JP2010218187A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Fuji Electric Holdings Co Ltd 製造条件調整装置
JP2020003871A (ja) * 2018-06-25 2020-01-09 東芝三菱電機産業システム株式会社 鉄鋼プラント用監視作業支援システム
WO2020059555A1 (ja) * 2018-09-20 2020-03-26 日本電信電話株式会社 学習装置、推定装置、学習方法、推定方法およびプログラム
JP2020046346A (ja) * 2018-09-20 2020-03-26 日本電信電話株式会社 学習装置、推定装置、学習方法、推定方法およびプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
SE9304246L (sv) 1995-06-23
EP0775335A2 (en) 1997-05-28
DE69412520D1 (de) 1998-09-17
FI962560A0 (fi) 1996-06-19
FI962560A (fi) 1996-08-21
CA2179719A1 (en) 1995-07-06
JP3429769B2 (ja) 2003-07-22
EP0775335B1 (en) 1998-08-12
SE9304246D0 (sv) 1993-12-22
WO1995018420A2 (en) 1995-07-06
NO962626D0 (no) 1996-06-20
ATE169746T1 (de) 1998-08-15
NO311818B1 (no) 2002-01-28
DE69412520T2 (de) 1999-02-04
US5949678A (en) 1999-09-07
WO1995018420A3 (en) 1995-07-27
NO962626L (no) 1996-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11502609A (ja) 可変数プロセスをモニタリングするための方法
CN108628281B (zh) 异常检测系统及异常检测方法
JP7162075B2 (ja) バッチプロセスのモデル化、監視及び制御におけるバッチデータの自動アライメントのためのコンピュータシステム、方法およびコンピュータプログラムプロダクト
Rännar et al. Adaptive batch monitoring using hierarchical PCA
CN103703425B (zh) 监控工业过程的方法
Miletic et al. An industrial perspective on implementing on-line applications of multivariate statistics
EP2791745B1 (en) A method of operating a process or machine
US20080183311A1 (en) Apparatus and method for automated closed-loop identification of an industrial process in a process control system
Piovoso et al. Monitoring process performance in real-time
JP2010506256A (ja) 多変量データの監視および解析のための単変量方法
US20210011466A1 (en) Real-Time Control Using Directed Predictive Simulation Within a Control System of a Process Plant
WO2008085705A1 (en) Method and system for modeling a process in a process plant
WO2020188696A1 (ja) 異常検知装置および異常検知方法
Lee et al. RTSPC: A software utility for real-time SPC and tool data analysis
JP6480625B1 (ja) 異常予兆診断システムのプリプロセッサ
JP2010049392A (ja) Pidコントローラのチューニング装置、pidコントローラのチューニング用プログラムおよびpidコントローラのチューニング方法
Petersen et al. A methodology for robust fault detection in dynamic systems
Gorinevsky et al. Performance-optimized applied identification of separable distributed-parameter processes
US20230152759A1 (en) Information processing apparatus, information processing method, and computer program product
JP2022145232A (ja) 情報処理装置、情報出力方法及び情報出力プログラム
Estrop et al. The use of computer simulation in implementing a manufacturing process quality modelling system
JP7392895B1 (ja) 運転支援装置、運転支援方法及びプログラム
Keyes et al. Control of paper basis weight by expert SQC/SPC algorithm using distributed controls
JP2023063162A (ja) 予測モデルの作成方法、操業プロセスの条件設定方法
Koistinen Big Data for predictive maintenance of industrial machinery

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees