JPH11500949A - 補正ユニットを有する画像センサマトリックスを含むｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 Ｘ線検査装置は、Ｘ線画像を撮像するため、即ち入射Ｘ線を電荷に変換するために画像センサマトリックスを使用する。Ｘ線検査装置は暗信号を形成するよう画像センサマトリックスを制御する制御回路を含む。Ｘ線検査装置はまた、１次画像及び暗信号から電子画像信号を得る補正ユニットからなる。電子画像信号はＸ線画像の中の画像情報を表わし、遅延された読み取られた電荷によって乱されていない。

Description

【発明の詳細な説明】 補正ユニットを有する画像センサマトリックスを含むＸ線検査装置 本発明は、Ｘ線画像を撮像する画像センサマトリックスと、１次画像信号中の 乱れを補正する補正ユニットとを含むＸ線検査装置に関する。 この種類のＸ線検査装置は、欧州特許出願第０ ６４２ ２６４号によって知 られている。 既知のＸ線検査装置は、遅延された電荷の読取りによって生ずる電子画像信号 中の乱れに対抗する補正ユニットを含む。入射Ｘ線は、特に光電子である電荷担 体を画像センサマトリックスの中に放出し、それによってＸ線画像が撮像される 。当該光電子の一部分はトラップ状態で遮断され、ある時間の間その中に保持さ れえ、後の段階において、例えば熱励起によって脱出でき、遅延されて読取られ た電荷として読取り回路に入る。画像情報を表示させるために乱れを伴う１次画 像信号が与えられれば、瞬時の画像の画像情報だけでなく、同時に先行して撮像 された画像の画像情報も再生される。結果として、観察者は瞬時の画像の上に重 ね合わされた残像に気づく。既知のＸ線検査装置の補正ユニットは、遅延された 形で読み取られた電荷による乱れを補正するよう、光電子の遮断及びそれに続く 脱出の物理モデルを使用する。既知のＸ線検査装置の欠点は、複数の先行して得 られた画像の画像情報を記憶する及び／又はそのようなＸ線画像が形成される異 なる状況の補正値と共にＸ線画像の長い連続の補正値を記憶するかなり大きな画 像メモリ容量を必要とすることである。既知のＸ線検査装置の補正ユニットが、 記憶された画像情報に基づいて所望の補正を実行する強力な算術ユニットを必要 とすることは、更なる欠点である。既知のＸ線検査装置の多数のデータに 対して精巧であり、複雑な操作が実行されるため、残像に関して１次画像信号を 補正するためには、かなり長い時間が必要とされる。長い処理時間は、Ｘ線画像 の撮像と、例えばモニタ上におけるＸ線画像の画像情報の再生との間の時間の経 過を延長させる。従って、既知のＸ線検査装置は、Ｘ線画像が撮像された直後の Ｘ線画像の画像情報の乱れのない再生には適していない。これは特に、先行して 撮像されたＸ線画像の画像情報の再生されるべき画像情報への重ね合わせによる 乱れに関し、当該の重ね合わされた情報は再生されるべき画像と共に残像として 再生されている。従って、既知のＸ線検査装置は、間断なく乱れのないＸ線画像 を再生するには特に適していない。 本発明は、１次画像信号の補正のために既知のＸ線検査装置と比較して短い時 間のみを必要とするＸ線検査装置を提供することを目的とする。 この目的は、暗信号を形成するよう画像センサマトリックスを制御する制御回 路を含み、補正ユニットは１次信号及び暗信号から電子画像信号を得るよう配置 されていることを特徴とする本発明によるＸ線装置によって達成される。 Ｘ線検査装置は、対象のＸ線画像を形成するためにＸ線ビームを放射するＸ線 源からなる。画像センサマトリックスは更にＸ線を電荷に変換する放射線感応素 子、及び電荷から１次画像信号を得る読取り回路を含む。放射線感応素子は、電 荷担体がＸ線の吸収によって放射されたα−Ｓｉ：Ｈでできた、特に電子−正孔 の対である例えば半導体素子であることが望ましい。セレン又は酸化鉛といった Ｘ線に感度のある光伝導材でできた、放射線感応素子もまた適当である。個々の 放射線感応素子はまた、シンチレータと共にフォトダイオード又はフォトトラン ジスタといった感光性の素子を含みうる。シンチレータは入射Ｘ線を、例えば赤 外線又は紫外線又は可視光線といった長波の放射線に変換する。シンチレータの 構成は、長波の 放射線に対する感光性素子の感度がかなり高く、望ましくはできる限る高いよう 選択されることが望ましい。感光性素子は、長波の放射線を電荷に変換する。幾 つかの感光性素子のグループに共通なシンチレータ層の形式のシンチレータも使 用されうる。Ｘ線画像を撮像するのに適した画像センサマトリックスの更なる詳 細は、欧州特許出願第０ ４４０ ２８２号、欧州特許出願第０ ４４０ ７２ ０号、及びフランス国特許出願第２ ５９２ ３４３号の中で開示されている。 暗信号は、入射Ｘ線が欠除しているときに画像センサマトリックスを読み取る ことによって形成される。暗信号の信号レベルは、例えば先行した露光の後に、 放射線感応素子の中に残留した電荷、又は熱励起によってその中に発生した電荷 を表わす。遅延されて読み取られた電荷によって生じた乱れに対する１次画像信 号の補正は、１次画像信号から暗信号を減算することによって比較的正確に実行 される。補正は暗信号及び１次画像信号から電子画像信号を得ることによって実 行され、この電子画像信号は、特に遅延されて読み取られた電荷による乱れであ る乱れを実質的に含まない。暗信号及び１次画像信号の形成の間の時間の経過が 短いほど、補正の正確さは高くなる。１次画像信号は、遅延された読み取られた 電荷に関してだけでなく、熱励起によって起こった暗電流に関しても補正される 。更に、１次画像信号はシンチレータによる長波の放射線の遅延された放出によ る摂動に関して補正される。補正は、比較的制限された数のデータに対して実行 される比較的簡単な計算のみを必要とするため、１次画像信号の補正を実行する ためには短い時間のみが必要とされる。更に、補正は、大きな記憶容量も複雑な 算術ユニットも必要としない。 本発明によるＸ線検査装置の望ましい実施例は、Ｘ線パルスよりも先に暗信号 を形成し、Ｘ線パルスが止んだ後に１次画像信号を形成するよう画像センサマト リックスを制御するために配置されてい ることを特徴とする。 Ｘ線パルスの開始の直前には画像センサマトリックスにはＸ線は入射されてお らず、それにより、暗信号が特に残留電荷を表わす信号レベルを有することが達 成される。そのような残留電荷は、例えば先行するＸ線パルスの間に形成されて いる。残留電荷は特に、そのような先行するＸ線パルスが、当該先行するＸ線パ ルスによって形成された先行するＸ線画像が画像センサマトリックスから読み取 られた後に、電荷が放射線感応素子の中に維持されるほど高い強度及び／又は高 いエネルギーを有するときに形成される。 本発明によるＸ線検査装置の更なる望ましい実施例は、制御回路が個々のＸ線 パルスよりも先に暗信号を別々に形成し、個々のＸ線パルスが止んだ後に個々の １次画像信号を形成するよう画像センサマトリックスを制御するために配置され ており、補正ユニットは、個々の１次画像信号及び１つ以上の暗信号から連続す る電子画像信号を得るよう配置されていることを特徴とする。この実施例は、一 連の電子画像信号が比較的高い画像レートで提供されることを達成する。この一 連の電子画像信号は一連のＸ線画像の画像情報を表わし、電子画像信号は、特に 遅延された形で読み取られた電荷に関して補正されている。このように、一連の Ｘ線画像の画像情報が乱れを起こす残像なしに再生されうることが達成される。 更に、そのような一連のＸ線画像は、実質的に乱れなしに、例えば３０／秒又は ６０／秒といった高い画像レートで適当に再生されうる。 本発明によるＸ線検査装置の更なる望ましい実施例は、補正ユニットが２つ以 上の暗信号を結合するよう配置されていることを特徴とする。 １次画像信号の更に正確な補正は、処理速度が明白に減衰する、又は記憶容量 の所望の量が明白に増加することなく個々の暗信号の結合によって達成される。 暗信号の結合は特に、１次画像信号を形成するよう、電荷の読取りより先の異な る瞬間に撮像された暗信号 の外挿を含む。一連のＸ線パルスが放射されると、暗信号は望ましくは当該Ｘ線 パルスの直前に撮像され、次に外挿は個々の暗信号の線形結合を実施する。移動 （即ちreinporal）平均といった適当な結合は、Ｘ線画像の撮像の後の画像セン サマトリックスの読取りの瞬間において遅延された読み取られた電荷に正確に対 応する補正信号の形成を可能にする。補正信号は雑音を減少させるよう空間的に 低域フィルタを通されてもよい。暗信号の結合によって獲得された補正信号は、 補正されるべき１次画像信号から減算され、それにより特に遅延されて読み取ら れた電荷による乱れである乱れを実質的に含まない。 本発明はまた、対象のＸ線画像を形成するためにＸ線ビームを放射するＸ線源 と、Ｘ線画像を撮像する画像センサマトリックスとを含み、その画像センサマト リックスは、Ｘ線を電荷に変換する放射線感応素子と、電荷から１次画像信号を 得る読取り回路とを含むＸ線検査装置に関する。本発明によるそのようなＸ線検 査装置の望ましい実施例は、読取り回路が、夫々放射線感応素子の第１のグルー プ及び第２のグループに結合された第１の読取り部及び第２の読取り部を含むこ とを特徴とする。 放射線感応素子の夫々のグループは、画像センサマトリックス全体よりも少な い数の放射線感応素子からなる。個々のグループは、少なくとも部分的に同時に 個々の読取り部によって読み取られる。結果として、全ての放射線感応素子から 電荷を読み取るのに必要とされる時間は、全ての放射線感応素子が単一の読取り 回路によって読み取られた場合よりも少ない。読取り時間の減少は、可能な限り 多くの放射線感応素子を同時に読み取ることによって達成される。例えば、２つ 、３つ、又はそれ以上のより多くの別々の読取り部が使用されると、読取り時間 は更に、単一の読取り回路が使用された場合に必要とされる読取り時間の約２分 の１、３分の１又はそれよりも小さい部分まで減少されうる。例えば約１／６０ 秒又は１／３ ０秒のより短い読取り時間の結果、１つの時間単位当たりにより多くの画像が撮 像されえ、それにより検査されるべき患者の中で小さな時間の尺度で発生する変 化が再生されうる。 更に、複数の別々の読取り部からなる読取り回路は、遅延された読み取られた 電荷の補正と共に有利に使用されうる。これは、特に１次画像信号の補正のため に要求される短い時間と共に高速の読取り速度は、Ｘ線パルスが、例えばＸ線パ ルスの間の約１／３０秒又は１／１５秒の間隔を有し間断なく互いに連続する場 合でも、暗信号が２つのＸ線パルスの間で撮像されることを可能にするからであ る。高速の読取り速度は、高い画像レートでの１つ以上の暗信号による連続する １次画像信号の補正を可能にする。これは、乱れなしに、間断なくＸ線画像の画 像情報を再生することを可能にし；特に残像は対抗され、高速の画像レートはそ れでもなお再生の間維持される。高速の読取り速度はまた、画像センサマトリッ クスが２つの連続するＸ線パルスの間に更に１回読み取られうるという利点を提 供する。画像センサマトリックスの中の残留電荷は、このように、次のＸ線画像 が撮像され、読み取られる前に減少されうる。１次画像信号を補正する操作は省 略されえ、それによりそのために時間が費やされない。 本発明はまた、対象の個々のＸ線画像を形成するよう異なる方向に別々のＸ線 ビームを放射する第１のＸ線源及び第２のＸ線源と、個々のＸ線画像を撮像する 第１の画像センサマトリックス及び第２の画像センサマトリックスとを含み、当 該第１の画像センサマトリックス及び第２の画像センサマトリックスは、Ｘ線を 電荷に変換する放射線感応素子を含み、電荷から１次画像信号を得る読取り回路 を含むＸ線検査システムに関する。 特に請求項１乃至６のうちいずれか１項記載の本発明によるＸ線検査システム は、対象のＸ線画像を形成するためにＸ線ビームを放射するＸ線源と、Ｘ線画像 を撮像する画像センサマトリックスとを 含み、当該画像センサマトリックスは、Ｘ線を電荷に変換する放射線感応素子と 、電荷から１次画像信号を得る読取り回路とを含むＸ線検査装置であって、 読取り回路は、夫々放射線感応素子の第１のグループ及び第２のグループに結 合された第１の読取り部及び第２の読取り部を含むことを特徴とする。本発明に よるそのようなＸ線検査装置の望ましい実施例は、暗信号を形成するよう１つ又 は両方の画像センサマトリックスを制御する制御回路と、画像センサマトリック スのうちの１つの１次画像信号及び暗信号から電子画像信号を得る補正ユニット とを含むことを特徴とする。 この種類のＸ線検査システムは、心血管診断の検査に特に適している。そのよ うな検査の間、検査されるべき患者の心臓の近くの領域は異なる投射から撮像さ れる。Ｘ線検査システムの操作の間、夫々のＸ線源及び夫々の画像センサマトリ ックスは互いに向き合うよう配置される。個々のＸ線画像は間断なく形成される ことが望ましい。夫々の画像センサマトリックスは夫々の投射に対応するＸ線画 像を撮像する。更に患者はＸ線ビームのうちの１つによる照射の間、放射線を散 乱させる。１つの方向における１つのＸ線源からの１つのＸ線ビームによる患者 の照射の間、患者は様々な方向に蛍光Ｘ線を放射する。蛍光Ｘ線及び散乱された Ｘ線の一部分は、他のＸ線源の反対側に配置された画像センサマトリックスによ って受け取られる。このようにして、個々の画像センサマトリックスの１次画像 信号の間にクロストークが発生する。暗信号は、放射線感応素子の中の蛍光Ｘ線 及び／又は散乱されたＸ線によって放出された電荷を表わす。この電荷は、全く 、又はほとんど画像情報を表わさない。補正ユニットは、蛍光Ｘ線及び／又は散 乱されたＸ線によって１次画像信号の中に起こった乱れを補正する。Ｘ線システ ムは、複数の読取り部を含む読取り回路を有する１つ以上の画像センサマトリッ クスを含むことが望ましい。これは、異なる投射方向に関連するＸ 線画像の画像情報を表わすよう、電子画像信号が高速の画像レートで形成される ことを可能にする。個々の画像センサマトリックスの間のクロストーク、及び遅 延されて読み取られた電荷による乱れは減少されるが、それでも再生の間の高速 の画像レートを維持することが可能である。 以下の利点は、請求項７の導入部で述べられている種類のＸ線検査装置におい て、請求項６の特徴部で開示されるような多数の読取り回路を有する画像センサ マトリックスが使用されるときに得られる。１つの画像センサマトリックスがＸ 線画像を撮像し、続いて読み取る間に、第２の画像センサマトリックスは散乱さ れた蛍光Ｘ線を受け取り、当該Ｘ線によって発生された電荷は少なくとも部分的 に読み取られる。続いて第２の画像センサマトリックスによってＸ線画像が撮像 されると、遅延された読み取られた電荷による乱れは、これらの電荷の実質的な 部分が、第２の画像センサマトリックスが画像を撮像し始めるまえに読み取られ ているため、実質的に減少されている。多数の読取り回路が共に画像センサマト リックスのためのそのような高速の読取り速度を達成するため、その間に蛍光及 び散乱されたＸ線による望ましくない電荷が画像センサマトリックスからまだ除 去されうると同時に、Ｘ線画像は高速の画像レートで撮像されうる。１次画像信 号は過度の量の乱れを含まないため、そのような実施例は１次画像信号を補正す る補正ユニットを必要としない。そのような除去は、例えば関連する電荷を地面 に消散させることによって達成されうる。 本発明の上記及び他の面は、以下に説明される実施例を参照して説明され、明 らかとなろう。 図中、 図１は、本発明が使用されるＸ線検査装置を系統的に示す図であり、 図２は、図１のＸ線検査装置の一部分を形成する画像センサマトリックスの系 統的な平面図を示す図であり、 図３は、本発明が使用されるＸ線検査システムを系統的に示す図である。 図１は、本発明が使用されるＸ線検査装置を系統的に示す。Ｘ線源１は、一連 のＸ線パルスによって、例えば検査されるべき患者である対象３を照射する。こ れらのＸ線パルスの夫々の間、対象はＸ線ビーム２によって短い間照射される。 対象の中におけるＸ線吸収の局部的な差異により、Ｘ線画像は、Ｘ線画像から電 子画像信号ＥＩＳを形成するＸ線検出器４上に形成される。電子画像信号ＥＩＳ は、Ｘ線画像の中の画像情報が再生されるモニタ３０に与えられる。電子画像信 号ＥＩＳはまた、更なる処理のために画像処理ユニット３１に与えられる。一連 の連続するＸ線パルスが放射されると、対応する一連のＸ線画像が形成され、そ の中に含まれる画像情報は、一連の画像としてモニタ上に再生される。 Ｘ線検出器４は、その中で入射Ｘ線が電荷を発生させる放射線感応素子を含む 画像センサマトリックスである。電荷は読取り回路６，７によって読み取られる 。本実施例の読取り回路は２つの別々の読取り部からなり、夫々の読取り部は放 射線感応素子の個々のグループに結合されている。個々の読取り部の夫々は、１ 次画像信号Ｐ₁，Ｐ₂を供給する。個々の１次画像信号Ｐ₁，Ｐ₂は放射線感応素子 の夫々のグループによって撮像されたＸ線画像の夫々の部分を表わす。制御ユニ ット９は読取り回路に結合されている。制御回路は、Ｘ線パルスが放射される前 に、読取り回路が画像センサマトリックスを読み取ることを確実にする。読み取 られた電荷は読取り回路６，７によって暗信号Ｄ₁，Ｄ₂に変換される。１次画像 信号Ｐ₁，Ｐ₂及び暗信号Ｄ₁，Ｄ₂は補正ユニット８に供給される。補正ユニット ８は、１次画像信号Ｐ₁から暗信号Ｄ₁を減算し、１次画像信号Ｐ₂から暗信号Ｄ₂ を減算する。このようにして獲得された差 異信号は、先行するＸ線パルスの後に、特に放射線感応素子である画像センサマ トリックスの中に残った電荷の遅延された読取りによる乱れを実質的に含まない 。Ｘ線画像の別々の部分に関する差異信号は、完全なＸ線画像の輝度の値を表わ す電子画像信号ＥＩＳを形成するよう、結合される。 制御回路９は、１つ以上の暗信号を発生するよう個々のＸ線パルスの前に読取 り回路が作動され、関連するＸ線パルスの後に、１つ以上の１次画像信号が発生 されることを確実にするため、Ｘ線源の高圧電源３２に結合される。補正ユニッ ト８は、１次画像信号及び暗信号の対応する信号レベルが互いに減算されること を確実にするためのメモリユニット又は遅延ユニットを含む。 図２は、図１のＸ線検査装置の一部分を形成する画像センサマトリックスの系 統的な平面図を示す図である。図面の簡単化のため、画像センサマトリックスは 、例として４ｘ４の放射線感応素子５を含むものとして示されている。実際は、 例えば１０００ｘ１０００のより大きな数の放射線感応素子が使用されえ、画像 センサマトリックスの表面積は例えば数百平方センチメートルに達する。画像セ ンサマトリックスの厚さはまた１センチメートル又は数センチメートル以上には 達しない。そのような画像センサマトリックスは１回の露光の間に高い空間解像 度で完全な胸部画像が撮像されることを可能にする。単一の放射線感応素子５の 断面は、典型的には２００μｍｘ２００μｍに達する。画像センサマトリックス は、放射線感応素子の２つのグループ１２，１３を含む。夫々のグループでは放 射線感応素子は、列ごとに夫々の読取り部６，７の読取りライン４０に結合され ている。放射線感応素子５は、行ごとにアドレスライン４１に結合されている。 個々の放射線感応素子は、望ましくは薄膜トランジスタであるスイッチング素子 ４３を通じて、夫々のアドレスライン及び読取りラインに結合される。各トラン ジスタは、ドレイン接触によって当該の読取りラインに結合され；ソース接触 によって当該の放射線感応素子に、ゲート接触によって当該のアドレスに結合さ れている。行レジスタ４２は、アドレスラインに対して、トランジスタ４３をタ ーンオンするよう当該の行のトランジスタ４３のゲート接触に供給されるアドレ ス信号を供給する。放射線感応素子の電荷は読取りラインを通じて、列ごと及び グループごとに設けられた積分増幅器４４に転移される。このように、画像セン サマトリックスの放射線感応素子の完全な行は、略同時に読み取られる。積分増 幅器４４は電荷から電圧を獲得し、その電圧は読取り部６及び７に供給される。 読取り部６及び７は共に読取り回路を構成する。読取り部６，７は例えばマルテ ィプレクサによって構成される。電荷は放射線感応素子の個々のグループから個 々の読取り部へ転移されるため、より多くの放射線感応素子が同時又は同じ列の 中で並行に読み取られえ、従って完全な画像センサマトリックスを読み取るため に必要とされる時間は減少される。より多くの読取り部が使用されるほど、より 多くの行が同時に読み取られうる。２つの読取り部が使用されているとき、１０ ００ｘ１０００のマトリックスは１／６０秒以内で読み取られうる。 図３は、本発明が使用されるＸ線検査システムを系統的に示す図である。ここ では、対象は、個々のＸ線源２０，２１によって異なる方向で放射される個々の Ｘ線ビーム又はＸ線パルス５０，５１によって照射される。結果として、検査さ れるべき患者の異なる方向からの投射に対応する別々のＸ線画像が形成される。 夫々のＸ線画像は個々の画像センサマトリックス２２，２３によって撮像される 。各画像センサマトリックスは、それ自体が図２を参照にして説明されるように ２つ以上の読取り部に細分化されうる読取り回路２４，２５を含む。制御回路２ ６は、暗信号Ｄ₁，Ｄ₂を撮像するよう、読取り回路２４，２５を制御する制御信 号Ｃ₁，Ｃ₂を供給する。望ましくは、暗信号Ｄ₁は、例えば画像センサマトリッ クス２３である１つの画像センサマトリックスから、Ｘ線源２１がＸ線パルス を放射する直前であり、他の画像センサマトリックス２２の反対側に配置された Ｘ線源２０によって放射されたＸ線パルスの集結の後に、撮像される。暗信号Ｄ₁ は、Ｘ線散乱による放射線の強度及び／又は止んだばかりのＸ線パルスによる 蛍光によって発生した電荷を表わす。Ｘ線源２１からのＸ線パルスの後、制御回 路は画像センサマトリックス２３が１次画像信号Ｐ₁を読み取ることを確実にす る。減算ユニット２７における１次画像信号Ｐ₁からの暗信号Ｄ₁の減算は、画像 センサマトリックス２３上のＸ線画像の中の輝度値を表わし、その中では、Ｘ線 源２０からのＸ線パルスに対してクロストークはほとんど生じない電子画像信号 ＥＩＳ_bを生じさせる。同様に、制御回路２６は、Ｘ線源２０からのＸ線パルス に対するクロストークについて、画像センサマトリックス２２からの１次画像信 号の補正のため、画像センサマトリックス２２からの暗信号Ｄ₂を読み取る。こ の補正は、信号Ｐ₂及びＤ₂を減算する減算ユニット２８によって実行される。本 実施例では、２つの減算ユニット２７，２８は補正ユニット８を構成する。実際 には、１次画像信号からの暗信号の減算は省かれうる。画像センサは、暗信号を 形成するためＸ線パルスの直前に読み出されることが望ましい。従って、遅延さ れた変化のほとんどは、暗信号の読取りの直後に形成された１次画像信号はほと んど全く乱れを含まないため、除去されうる。個々のＸ線画像の情報を表わす個 々の画像信号ＥＩＳ_a及びＥＩＳ_bは別々のモニタ５２，５３に供給される。これ らのモニタ上では、検査されるべき患者の異なる方向からの投射は、Ｘ線源がＸ 線パルスを放射する方向によって画成されるように表示される。制御回路２６は 、暗信号の読取りと、個々のＸ線源からのＸ線パルスを伴う１次画像信号との適 合な同期のために、個々のＸ線源２０，２１の高圧電源５４，５５に結合される 。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルイエンディク，ヨハネス アルベルト オランダ国，5656 アーアー アインドー フェン，プロフ・ホルストラーン ６番 (72)発明者 ストウテン，ヨハネス ヤコブス オランダ国，5656 アーアー アインドー フェン，プロフ・ホルストラーン ６番

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． Ｘ線画像から１次画像信号（Ｐ１，Ｐ２）を得る画像センサマトリックス （４）と、 １次信号中の乱れを補正する補正ユニット（８）とを含むＸ線検査装置であっ て、 補正ユニット（８）は、１次画像信号（Ｐ１，Ｐ２）及び暗信号（Ｄ１，Ｄ２ ）から補正された画像信号を得るよう配置されていることを特徴とするＸ線検査 装置。 ２． 画像センサマトリックスによって暗信号を形成する制御回路（９）を含む ことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。 ３． Ｘ線源（１）を含むＸ線検査装置であって、 制御回路（９）は、 Ｘ線源（１）によってＸ線パルスを放射し、 Ｘ線パルスよりも先に画像センサマトリックス（４）によって暗信号（Ｄ１， Ｄ２）を形成し、Ｘ線パルスの終了の後に１次画像信号（Ｐ１，Ｐ２）を形成す るよう配置されていることを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。 ４． Ｘ線源は一連のＸ線画像を形成するよう一連のＸ線パルスを放射するため に配置されているＸ線検査装置であって、 制御回路は、 個々のＸ線パルスよりも先に別々に暗信号を形成し、 個々のＸ線パルスが止んだ後に個々の１次画像信号を形成するよう画像セン サマトリックスを制御するために配置されており、 補正ユニットは、夫々の１次画像信号及び１つ以上の暗信号から連続する電子 画像信号を得るよう配置されていることを特徴とする 請求項２記載のＸ線検査装置。 ５． 補正ユニットは２つ以上の暗信号を結合するよう配置されていることを特 徴とする請求項３記載のＸ線検査装置。 ６． 対象のＸ線画像を形成するためにＸ線ビームを放射するＸ線源と、 Ｘ線画像を撮像する画像センサマトリックスとを含み、 該画像センサマトリックスは、 Ｘ線を電荷に変換する放射線感応素子と、 電荷から１次画像信号を得る読取り回路とを含むＸ線検査装置であって、 読取り回路は、夫々放射線感応素子の第１のグループ及び第２のグループに結 合された第１の読取り部及び第２の読取り部を含むことを特徴とする、特に請求 項１乃至６のうちいずれか１項記載の装置。 ７． 対象の個々のＸ線画像を形成するよう異なる方向に別々のＸ線ビームを放 射する第１のＸ線源及び第２のＸ線源と、 個々のＸ線画像を撮像する第１の画像センサマトリックス及び第２の画像セン サマトリックスとを含み、 該第１の画像センサマトリックス及び第２の画像センサマトリックスは、 Ｘ線を電荷に変換する放射線感応素子を含むＸ線検査システムであって、 暗信号を形成するよう１つ又は両方の画像センサマトリックスを制御する制御 回路を含むことを特徴とするＸ線検査システム。 ８． Ｘ線検査システムは画像センサマトリックスのうちの１つの １次画像信号及び暗信号から電子画像信号を得る補正ユニットを含むことを特徴 とする請求項７記載のＸ線検査システム。 ９． 少なくとも１つの読取り回路は、放射線感応素子の第１のグループ及び第 ２のグループに夫々結合された第１の読取り部及び第２の読取り部を含むことを 特徴とする請求項８記載のＸ線検査システム。 １０． Ｘ線源と、 Ｘ線画像から１次画像信号（Ｐ１，Ｐ２）を得る画像センサマトリックス（４ ）とを含むＸ線検査装置であって、 Ｘ線源（１）によってＸ線パルスを放射し、 Ｘ線パルスよりも先に画像センサマトリックス（４）によって暗信号（Ｄ１， Ｄ２）を形成し、Ｘ線パルスの終了の後に１次画像信号（Ｐ１，Ｐ２）を形成す るよう配置されている制御回路（９）を含むことを特徴とするＸ線検査装置。