JPH1144522A - 角度測定装置 - Google Patents

角度測定装置

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JPH1144522A
JPH1144522A JP21558097A JP21558097A JPH1144522A JP H1144522 A JPH1144522 A JP H1144522A JP 21558097 A JP21558097 A JP 21558097A JP 21558097 A JP21558097 A JP 21558097A JP H1144522 A JPH1144522 A JP H1144522A
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JP
Japan
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light
conic
conical
measured
angle
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Pending
Application number
JP21558097A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryoji Nogami
良治 野上
Tatsuo Matsushima
立夫 松島
Yasukazu Fujimoto
靖一 藤本
Tsutomu Tadane
勉 唯根
Hitoshi Morikawa
仁司 森川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koyo Seiko Co Ltd
JTEKT Machine Systems Corp
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
Koyo Machine Industries Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH1144522A publication Critical patent/JPH1144522A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、円盤状の拡散光によりテーパー角
を非接触で測定でき、高精度化、自動化、高速化を計る
ことを目的とする。 【解決手段】 円錐状内面を有する被測定物を載置し円
錐面の中心軸に沿って上下動する移動台と、その中心軸
上方に配置される投光用レーザー発射ヘッド、該ヘッド
からレーザービームを入射伝搬し一様な円錐型のビーム
を発生するガラスロッドレンズ、および該円錐型ビーム
を円盤型ビームに変換する円錐状ミラーからなる投光手
段と、該投光手段の中心軸上方に配置され被測定物の円
錐状内面に当たった投光手段からの円盤型ビームの反射
ビームを捉える撮像手段と、非測定物の上下移動量と円
盤型ビームの径の変化量とから、円錐面の中心軸に対す
る傾き角度を算出する画像処理手段と、を有する角度測
定装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、非接触で角度を測
定する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、円錐状内面を有する、例えば円錐
ころ軸受の軌道輪などの軌道テーパー角αを測定する場
合、図4に示す如く水平台11の上に該軌道輪10の外
周面を載置する。12は規定値の角度βをもったゲージ
でその軌道面13に触針ゲージ14を走らせ、水平面す
なわち軸受中心軸からのズレ角γを計測することにより
角度αを測定していた。γ=0ならば角度α=βである
ことが測定される。もしα≠βであればγ≠0となり触
針ゲージ14によりその差α−βがγとして測定され
る。これによりテーパー角αを測定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、触針
ゲージを用いているので測定の高精度化、高速化、自動
化が困難であるという問題点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決することを目的とし、円錐状内面を有する被測定物を
載置し円錐面の中心軸に沿って上下動する移動台と、そ
の中心軸上方に配置される投光用レーザー発射ヘッド、
該ヘッドからレーザービームを入射伝搬し一様な円錐型
のビームを発生するガラスロッドレンズ、および該円錐
型ビームを円盤型ビームに変換する円錐状ミラーからな
る投光手段と、該投光手段の中心軸上方に配置され被測
定物の円錐状内面に当たった投光手段からの円盤型ビー
ムの反射ビームを捉える撮像手段と、非測定物の上下移
動量と円盤型ビームの径の変化量とから、円錐面の中心
軸に対する傾き角度を算出する画像処理手段と、を有す
る角度測定装置により、その目的が達成される。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図1、図2
および図3に示した一実施例に基いて詳細に説明する。
4は円盤型光拡散を行う投光手段で、逆円錐状ミラー1
とその同軸下方に配設したガラスロッドレンズ2と半導
体レーザーなどの投光用レーザー発射ヘッド3から構成
されている。5は上下に摺動する基台で、その上にテー
パー角αを有する円錐ころ軸受の外輪7を載置し、その
中心軸に前記投光手段4を上下逆にして配置し、上方に
撮像手段としてのCCDカメラ8を設置してある。9は
画像処理装置であり、CCDカメラ8からの電気信号に
よる画像処理を行い、基台5の上下移動量と円盤型ビー
ムの外輪円錐面上での径Rの変化量とから円錐面の中心
軸に対する傾き角度を算出する。10はモニターであ
る。前記ガラスロッドレンズ2は、例えば光ファイバー
などからなり、ヘッド3からレーザービームを入射伝搬
し円錐型のビームを出射する。光ファイバーとしては、
特に、屈折率階段型の光ファイバーを用いる。図3に示
すように、切断角θfの光ファイバー端面にコリメート
された平行光Biを角度θで入射させると光ファイバー
の内部では、数1で表わされる角度θnを保ってビーム
が伝搬し、出射光Boは角度θoutを保って出射する。
【数1】 Nrはファイバコアの屈折率である。角度θoutは数2
のようになる。
【数2】 上記の記述は、子午面光線についてであるが、円形のフ
ァイバーの場合は子午面光線のほかにもらせん状光線が
励振されるので、出射光は円い円錐状の放射となる。次
に、出射光(円錐型ビーム)Boを円盤型ビームBdに
変換する際の出射光Boの角度θoutと円錐状ミラー1
の角度θpとの関係は、数3で表わされる。
【数3】 数2、数3から、
【数4】 となり、数4を満足する角度θf,θpを選ぶと、垂直
入射により水平ビームが自動的に得られる。
【0006】次に作用について説明する。まず、レーザ
ー発射ヘッド3から波長680nmの半導体レーザー光
が発射され、切断角θf=45度、屈折率Nr=1.4
57のガラスロッドレンズ(光ファイバー)2にコリメ
ートされた平行光Biが入射する。光ファイバー2内で
は角度θn=15.97度を保ってビームが伝搬し、角
度θout=23.63度の円錐型ビームBoが他端から出
射される。次いで、円錐型ビームBoは、角度θp=5
6.8度の円錐状ミラー1に照射されると円盤型ビーム
Bdに変換され、円錐ころ軸受の外輪7の円錐状軌道に
照射される。さらに、円盤型ビームBdはそこで反射さ
れ、CCDカメラ8に入射する。その際、円錐ころ軸受
外輪7の軌道面は一般に鏡面に近いが0.1〜1.0μm
程度の粗さをもった金属光沢面であり、例えば波長68
0nmの半導体レーザー光が照射された場合、反射光は
完全な幾何光学で定められた軌跡はとらず、ある反射パ
ターンをもった散乱光となる。これ等の散乱光でカメラ
レンズを通過したものはCCDカメラ8内で焦点を結び
結像される。円盤型ビームBdが外輪7の軌道に当るこ
とにより円状の光の帯を形成するが、それをCCDカメ
ラ8にて映し、メモリーに格納、画像処理装置9を用い
てその径(直径R)を算出する。基台5を微動により上
下方向に動かし、その移動量△Lと直径△Rの関係から
テーパー角αを算出する。即ち、数5で求められる。
【数5】
【0007】
【発明の効果】本発明の角度測定装置によると、円錐状
内面を有する被測定物を載置し円錐面の中心軸に沿って
上下動する移動台と、その中心軸上方に配置される投光
用レーザー発射ヘッド、該ヘッドからレーザービームを
入射伝搬し一様な円錐型のビームを発生するガラスロッ
ドレンズ、および該円錐型ビームを円盤型ビームに変換
する円錐状ミラーからなる投光手段と、該投光手段の中
心軸上方に配置され被測定物の円錐状内面に当たった投
光手段からの円盤型ビームの反射ビームを捉える撮像手
段と、非測定物の上下移動量と円盤型ビームの径の変化
量とから、円錐面の中心軸に対する傾き角度を算出する
画像処理手段と、を有しているので、テーパー角を非接
触で測定でき、高精度化、自動化、高速化が計れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例光学系の外観斜視図である。
【図2】本発明使用時の要部切断正面図である。
【図3】本発明の光学系内でのビームの進行状況を示す
模式図である。
【図4】従来装置の使用時要部切断正面図である。
【符号の説明】
1 逆円錐状ミラー 2 ガラスロッドレンズ 3 レーザー発射ヘッド 4 投光手段 5 基台 7 円錐ころ軸受の外輪 8 CCDカメラ 9 画像処理装置 10 モニター
フロントページの続き (72)発明者 藤本 靖一 大阪市中央区南船場三丁目5番8号 光洋 精工株式会社内 (72)発明者 唯根 勉 大阪市中央区南船場三丁目5番8号 光洋 精工株式会社内 (72)発明者 森川 仁司 大阪府八尾市南植松町2丁目34番地 光洋 機械工業株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円錐状内面を有する被測定物を載置し円
    錐面の中心軸に沿って上下動する移動台と、その中心軸
    上方に配置される投光用レーザー発射ヘッド、該ヘッド
    からレーザービームを入射伝搬し一様な円錐型のビーム
    を発生するガラスロッドレンズ、および該円錐型ビーム
    を円盤型ビームに変換する円錐状ミラーからなる投光手
    段と、 該投光手段の中心軸上方に配置され被測定物の円錐状内
    面に当たった投光手段からの円盤型ビームの反射ビーム
    を捉える撮像手段と、 非測定物の上下移動量と円盤型ビームの径の変化量とか
    ら、円錐面の中心軸に対する傾き角度を算出する画像処
    理手段と、を有する角度測定装置。
JP21558097A 1997-07-25 1997-07-25 角度測定装置 Pending JPH1144522A (ja)

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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002054914A (ja) * 2000-08-11 2002-02-20 Koyo Seiko Co Ltd ころ軸受のスキュー測定装置
CN102012219A (zh) * 2010-11-01 2011-04-13 哈尔滨工程大学 机载式全景旋翼共锥度测量装置
WO2014040472A1 (zh) * 2012-09-14 2014-03-20 爱佩仪光电技术(深圳)有限公司 一种快速及全面检测镜头致动器的装置、系统和方法
CN105526885A (zh) * 2015-12-03 2016-04-27 郑州轻工业学院 一种基于复合测头的锥孔锥角高精度检测方法
CN107044841A (zh) * 2017-04-26 2017-08-15 中原内配集团股份有限公司 气缸套内孔直径测量装置及气缸套内孔直径检测系统
CN110763163A (zh) * 2019-10-28 2020-02-07 中国科学院西安光学精密机械研究所 大尺寸工件垂直度检测的光电图像测量仪及测量方法
CN111397570A (zh) * 2020-05-22 2020-07-10 西安飞机工业(集团)有限责任公司 一种关节轴承倒角测量方法
WO2022007214A1 (zh) * 2020-07-06 2022-01-13 佛山市安齿生物科技有限公司 牙种植体联接锥度的检测方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002054914A (ja) * 2000-08-11 2002-02-20 Koyo Seiko Co Ltd ころ軸受のスキュー測定装置
CN102012219A (zh) * 2010-11-01 2011-04-13 哈尔滨工程大学 机载式全景旋翼共锥度测量装置
WO2014040472A1 (zh) * 2012-09-14 2014-03-20 爱佩仪光电技术(深圳)有限公司 一种快速及全面检测镜头致动器的装置、系统和方法
US9639925B2 (en) 2012-09-14 2017-05-02 Ap Photonics (Shen Zhen) Limited Device, system, and method for rapidly and comprehensively inspecting lens actuator
CN105526885A (zh) * 2015-12-03 2016-04-27 郑州轻工业学院 一种基于复合测头的锥孔锥角高精度检测方法
CN107044841A (zh) * 2017-04-26 2017-08-15 中原内配集团股份有限公司 气缸套内孔直径测量装置及气缸套内孔直径检测系统
CN110763163A (zh) * 2019-10-28 2020-02-07 中国科学院西安光学精密机械研究所 大尺寸工件垂直度检测的光电图像测量仪及测量方法
CN111397570A (zh) * 2020-05-22 2020-07-10 西安飞机工业(集团)有限责任公司 一种关节轴承倒角测量方法
CN111397570B (zh) * 2020-05-22 2021-07-16 西安飞机工业(集团)有限责任公司 一种关节轴承摆角测量方法
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