JPH1139865A - ワード線駆動回路 - Google Patents

ワード線駆動回路

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JPH1139865A
JPH1139865A JP9189688A JP18968897A JPH1139865A JP H1139865 A JPH1139865 A JP H1139865A JP 9189688 A JP9189688 A JP 9189688A JP 18968897 A JP18968897 A JP 18968897A JP H1139865 A JPH1139865 A JP H1139865A
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JP
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word line
transistor
gate
node
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JP9189688A
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Shuichi Saito
修一 斎藤
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電源電圧を低電圧化しながら選択されたワード
線に昇圧電圧を確実に供給し得るワード線駆動回路を提
供する。 【解決手段】ワード線駆動回路はプルアップトランジス
タ100、プルダウントランジスタ101、ゲートトラ
ンジスタ102及び制御回路103を備える。ゲートト
ランジスタ102は、ワード線選択信号S及びワード線
非選択信号を前記プルアップトランジスタ100のゲー
トに供給する。制御回路103は、ワード線選択信号S
がプルアップトランジスタ100のゲートに供給された
後に、ゲートトランジスタ102をオフさせる。ゲート
トランジスタ102は、プルアップトランジスタ100
に供給される昇圧電圧Vppに基づいて昇圧されるプルア
ップトランジスタ100のゲート電圧を確実に維持する
ブートストラップ動作を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体記憶
装置のワード線を駆動するワード線駆動回路に関するも
のである。
【0002】近年の半導体記憶装置では、低消費電力化
を図るために、電源電圧の低電圧化が進められ、これに
ともなって、セル情報の書き込み動作及び読み出し動作
を安定して行うために、ワード線駆動回路では選択され
たワード線に電源電圧を昇圧した昇圧電圧を印加する構
成が採用されている。そこで、電源電圧が低電圧化され
たワード線駆動回路において、選択されたワード線に確
実に昇圧電圧を印加することが必要となっている。
【0003】
【従来の技術】図9は、従来のワード線駆動回路の一例
を示す。入力端子であるノードN50は、NチャネルM
OS(以下、NMOSという)トランジスタTr50 を介
してNMOSトランジスタTr51 のゲート(ノードN5
1)に接続されている。
【0004】前記ノードN50は、インバータ50の入
力端子に接続され、そのインバータ50の出力端子(ノ
ードN52)はNMOSトランジスタTr52 のゲートに
接続されている。
【0005】前記トランジスタTr50 のゲートには、電
源Vccが供給されている。前記トランジスタTr51 のソ
ースは、前記トランジスタTr52 のドレインに接続さ
れ、同トランジスタTr52 のソースは電源Vssに接続さ
れる。前記トランジスタTr51,Tr52 の接続点、即ち
ノードN53からワード線にワード線駆動電圧Vwが出
力される。前記トランジスタTr51 のドレインには、ロ
ウアドレス信号の最下位ビットに基づくワード線選択信
号が入力され、前記ノードN53に接続されるワード線
の選択時に、前記電源Vccを昇圧して生成された昇圧電
圧Vppが供給され、同ワード線の非選択時には電源Vss
レベルが供給される。
【0006】前記ノードN50には、ワード線選択信号
Sが入力される。前記ワード線選択信号Sは、最下位ビ
ットを除くロウアドレス信号に基づいて生成され、前記
ノードN53に接続されるワード線の選択時にHレベ
ル、即ち電源Vccレベルが入力され、ワード線の非選択
時にLレベル、即ち電源Vssレベルが入力される。そし
て、このようなワード線駆動回路が多数のワード線毎に
設けられている。
【0007】このように構成されたワード線駆動回路で
は、制御信号S、即ちノードN50が電圧Vccレベルと
なると、ノードN51は電源VccからトランジスタTr5
0 のしきい値分低い電位となり、ノードN52はLレベ
ルとなる。すると、トランジスタTr51 はオンされ、ト
ランジスタTr52 はオフされる。
【0008】この状態で、トランジスタTr51 に昇圧電
圧Vppが供給されると、トランジスタTr51 のドレイン
・ゲート間容量に基づくカップリング動作により、ノー
ドN51の電位はVpp分昇圧されて、昇圧電圧Vppより
トランジスタTr51 のしきい値分以上高いレベルとな
る。また、トランジスタTr50 のゲートとノードN50
間の電位差Vgsは0vであるため、トランジスタTr50
はオフ状態となり、ノードN51の電位は昇圧状態に維
持される。
【0009】従って、前記ノードN53に接続されたワ
ード線が選択されるとき、同ワード線にはワード線駆動
電圧Vwとして、昇圧電圧Vppが供給される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなワード線
駆動回路において、ワード線選択信号SがHレベルとな
った状態でトランジスタTr51 のドレインに昇圧電圧V
ppが供給されるとき、トランジスタTr50,Tr51 のしき
い値をVth1,Vth2 とすれば、理論的にはノードN51
はVcc−Vth1 +Vppとなり、ノードN53は、Vcc−
Vth1 +Vpp−Vth2 またはVppとなる。
【0011】また、消費電力の低減を図るために、電源
Vcc及び昇圧電圧Vppが低電圧化されているが、このし
きい値Vth1,Vth2 は電源Vccの低電圧化の割合ほど小
さくすることは困難である。
【0012】すると、電源Vccの低電圧化にともなっ
て、電源Vcc及び昇圧電圧Vppに対するしきい値Vth1,
Vth2 の割合が増大し、Vpp+Vth2 に対するノードN
51の昇圧レベルマージンが小さくなる。
【0013】また、トランジスタTr50 のしきい値Vth
1 を小さく設定すると、昇圧電圧Vppの供給に基づいて
ノードN51が昇圧されたとき、トランジスタTr50 の
ドレイン・ソース間に流れるサブスレショルドリーク電
流が増加して、昇圧されたノードN51の電位が急激に
低下してしまう。
【0014】すると、ワード線駆動電圧Vwが昇圧電圧
Vppレベル近傍まで引き上げられた後、当該ワード線が
選択状態に維持されるべき時に、トランジスタTr51 が
オフされて、ワード線がフローティング状態となり、ワ
ード線のノイズマージンの低下、あるいはワード線電位
の低下が生じ、セル情報の書き込み動作及び読み出し動
作が不安定となる。
【0015】この発明の目的は、電源電圧を昇圧した昇
圧電圧をワード線に供給する半導体記憶装置において、
電源電圧を低電圧化しながら選択されたワード線に昇圧
電圧を確実に供給し得るワード線駆動回路を提供するこ
とにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】図1は請求項1に記載し
た発明の原理説明図である。すなわち、ワード線駆動回
路はプルアップトランジスタ100、プルダウントラン
ジスタ101、ゲートトランジスタ102及び制御回路
103を備える。プルアップトランジスタ100はワー
ド線選択信号Sに基づいてオンされて、ワード線電位V
wをワード線選択レベルに引き上げる。プルダウントラ
ンジスタ101はワード線非選択信号に基づいてオンさ
れて、ワード線電位Vwをワード線非選択レベルに引き
下げる。ゲートトランジスタ102は、前記ワード線選
択信号S及びワード線非選択信号を前記プルアップトラ
ンジスタ100のゲートに供給する。そして、ゲートト
ランジスタ102は、前記プルアップトランジスタ10
0に供給される昇圧電圧Vppに基づいて該プルアップト
ランジスタ100のゲート電圧が昇圧されたとき、該ゲ
ート電圧を維持するブートストラップ動作を行う。
【0017】制御回路103は、前記ワード線選択動作
時に、前記プルアップトランジスタ100のゲートにワ
ード線選択信号Sが供給された後に、前記ゲートトラン
ジスタ102をオフさせる。
【0018】請求項2では、前記ゲートトランジスタ及
び前記プルダウントランジスタのゲートは、同一信号で
前記制御回路により制御されることを要旨としている。
請求項3では、前記制御回路は、Lレベルの前記ワード
線非選択信号及びHレベルのワード線選択信号を反転さ
せるインバータと、前記インバータの出力信号の立ち下
がりのみを遅延させて前記ゲートトランジスタのゲート
に出力する遅延回路とから構成したことを要旨としてい
る。
【0019】請求項4では、前記遅延回路の出力信号
は、ゲートが電源に接続されたNMOSトランジスタを
介して前記ゲートトランジスタのゲートに入力すること
を要旨としている。
【0020】請求項5では、前記遅延回路から前記ゲー
トトランジスタのゲートに出力するHレベルの信号は、
前記昇圧電圧レベルの信号としたことを要旨としてい
る。 (作用)請求項1に記載の発明によれば、ワード線選択
信号Sがプルアップトランジスタ100のゲートに供給
された後に、前記ゲートトランジスタ102は制御回路
103によりオフされる。従って、その後プルアップト
ランジスタ100に昇圧電圧Vppが供給されたとき、前
記昇圧電圧Vppに基づいて昇圧される該プルアップトラ
ンジスタ100のゲート電圧は確実に維持される。その
結果、ワード線選択信号Sを低電圧化しても、ワード線
電位Vwを確実にワード線選択レベルに引き上げること
ができる。
【0021】請求項2に記載の発明によれば、前記制御
回路から出力される信号により、前記ゲートトランジス
タ及び前記プルダウントランジスタのゲートが制御され
る。従って、ゲートトランジスタ及びプルダウントラン
ジスタのゲートに信号を供給する手段がそれぞれに必要
なく、回路の構成を簡単にすることができる。
【0022】請求項3に記載の発明によれば、ワード線
非選択信号及びワード線選択信号はインバータにより反
転される。インバータの出力信号は遅延回路により立ち
下がりのみが遅延されて、前記ゲートトランジスタのゲ
ートに出力される。従って、ワード線選択信号がプルア
ップトランジスタのゲートに供給された後に、前記ゲー
トトランジスタを確実にオフすることができる。
【0023】請求項4に記載の発明によれば、遅延回路
の出力信号は、ゲートが電源に接続されたNMOSトラ
ンジスタを介して前記ゲートトランジスタのゲートに入
力される。ゲートトランジスタにワード線選択信号が供
給されると、該ゲートトランジスタのゲート電圧は昇圧
され、NMOSトランジスタにより行われるブートスト
ラップ動作により維持される。従って、ゲートトランジ
スタを介してプルアップトランジスタのゲートに供給さ
れるワード線選択信号Sの電位を低下させないようにす
ることができる。
【0024】請求項5に記載の発明によれば、前記遅延
回路から前記ゲートトランジスタのゲートに出力される
Hレベルの信号は、前記昇圧電圧レベルの信号となる。
従って、ゲートトランジスタを介してプルアップトラン
ジスタのゲートに供給されるワード線選択信号Sの電位
を低下させないようにすることができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)以下、本発明を具体化した第1の
実施の形態のワード線駆動回路を図2〜図5に従って説
明する。
【0026】図2に示すワード線駆動回路1は、入力端
子であるノードN1が、NMOSトランジスタで構成さ
れるゲートトランジスタTr1を介してNMOSトランジ
スタで構成されるプルアップトランジスタTr2のゲート
(ノードN2)に接続されている。
【0027】前記ノードN1はインバータ2の入力端子
に接続され、そのインバータ2の出力端子は遅延回路3
の入力端子に接続されている。前記遅延回路3の出力端
子であるノードN3は前記トランジスタTr1のゲート及
びNMOSトランジスタで構成されるプルダウントラン
ジスタTr3のゲートに接続されている。
【0028】前記トランジスタTr2のソースは、前記ト
ランジスタTr3のドレインに接続され、同トランジスタ
Tr3のソースは電源Vssに接続される。前記トランジス
タTr2,Tr3の接続点、即ちノードN5からワード線に
ワード線駆動電圧Vwが出力される。前記トランジスタ
Tr2のドレインには、ロウアドレス信号の最下位ビット
に基づくワード線選択信号が入力され、前記ノードN5
に接続されるワード線の選択時に、前記電源Vccを昇圧
して生成された昇圧電圧Vppが供給され、同ワード線の
非選択時には電源Vssレベルが供給される。
【0029】前記ノードN1 には、ワード線選択信号S
が入力される。前記ワード線選択信号Sは、最下位ビッ
トを除くロウアドレス信号に基づいて生成され、前記ノ
ードN5に接続されるワード線の選択時にHレベル、即
ち電源Vccレベルが入力され、ワード線の非選択時にL
レベル、即ち電源Vssレベルが入力される。そして、こ
のようなワード線駆動回路が多数のワード線毎に設けら
れている。
【0030】前記遅延回路3は、例えば図3に示すよう
に、直列に接続された2段のインバータ4,5で構成さ
れ、初段のインバータ4のPチャネルMOSトランジス
タの駆動能力がNチャネルMOSトランジスタの駆動能
力より小さくなるように設定され、次段のインバータ5
のNチャネルMOSトランジスタの駆動能力がPチャネ
ルMOSトランジスタの駆動能力より小さくなるように
設定される。尚、本実施の形態では、インバータ2及び
遅延回路3が制御回路を構成している。
【0031】このように構成されたワード線駆動回路1
では、前記制御信号S、即ちノードN1が前記電源Vss
レベルのとき、ノードN3はHレベルでトランジスタT
r1はオンされるとともに、トランジスタTr3がオンさ
れ、ノードN2はLレベルとなってトランジスタTr2が
オフされる。すると、ワード線駆動電圧Vwは電源Vss
レベルとなる。
【0032】ノードN1が前記電源Vccレベルとなる
と、図4に示すように、出力制御電圧としての前記ノー
ドN2の電位が電源VccからトランジスタTr1のしきい
値分低い値となるとともに、遅延回路3に入力される信
号がLレベルとなる。
【0033】ノードN2が電源VccよりトランジスタT
r1のしきい値分低下した電位となった後、遅延回路3の
動作によりノードN3はLレベルとなり、前記トランジ
スタTr1,Tr3はオフされる。
【0034】そして、ノードN4に昇圧電圧Vppが供給
されると、トランジスタTr2のドレイン(ソース)・ゲ
ート間容量のカップリング動作により、前記ノードN2
の電位は昇圧される。このとき、前記トランジスタTr1
のゲート・ソース間電圧Vgs、即ちノードN3,N1間
電圧は、−Vccであるため、トランジスタTr2は確実に
オフされ、ノードN2の昇圧電圧は確実に維持される。
【0035】従って、ノードN5から出力されるワード
線駆動電圧Vwは、昇圧電圧Vppまで確実に引き上げら
れる。また、ノードN5から出力されるワード線駆動電
圧Vwが所定時間昇圧電圧Vppレベルに維持された後、
ノードN4が電源Vssレベルに引き下げられ、次いでノ
ードN1が電源Vssレベルに引き下げられると、ノード
N3がHレベルとなる。
【0036】すると、トランジスタTr2はオフされると
ともに、トランジスタTr1,Tr3はオンされて、ノード
N2,N5は電源Vssレベルに引き下げられる。前記ワ
ード線駆動回路1は、例えば図5に示すようなDRAM
に用いられる。尚、このDRAMのセル選択回路では、
前記インバータ2及び遅延回路3に相当する動作は、ワ
ードデコーダ回路6内で行われる。
【0037】メモリセルアレイ7内には、多数のセルト
ランジスタTrsが設けられ、各セルトランジスタTrsの
ドレインはビット線BLに接続され、各ビット線BLは
センスアンプ部8に接続されている。各セルトランジス
タTrsのゲートはワード線WLに接続され、ワード線W
Lは前記ワード線駆動回路1のノードN5に接続されて
いる。隣り合うワード線駆動回路1のノードN4は、2
本のVpp供給線SLに交互に接続されている。
【0038】ワードデコーダ回路6は、複数のアドレス
線ALから入力されるロウアドレス信号に基づいて隣り
合う2つのワード線駆動回路1を選択し、そのノードN
1,N3を上記のように制御する。
【0039】そして、Vpp供給線SLのいずれか一方に
昇圧電圧Vppが供給されると、ノードN5の電位は、上
述したように昇圧電圧Vppまで確実に引き上げられて、
いずれか一本のワード線WLにワード線駆動電圧Vwが
出力される。
【0040】上記のように構成されたワード線駆動回路
1では、次に示す作用効果を得ることができる。 (1)本実施の形態では、カップリング動作によりノー
ドN2の電位が昇圧されたとき、トランジスタTr1のゲ
ート・ソース間電圧Vgsは−Vccとなる。従って、トラ
ンジスタTr1は確実にカットオフされてサブスレッショ
ルドリーク電流は無くなり、ノードN2を昇圧レベルに
確実に維持することができる。この結果、電源Vccを低
電圧化しながら、ワード線駆動電圧Vwを昇圧電圧Vpp
レベルまで確実に引き上げることができる。
【0041】(2)本実施の形態では、遅延回路3の動
作により、ワード線選択信号Sが電源Vccレベルとなっ
たとき、ノードN2の電位が確実に電源Vccよりトラン
ジスタTr1のしきい値分低下した電位となった後に、ト
ランジスタTr1をオフさせることができる。従って、ト
ランジスタTr1でのサブスレッショルドリーク電流の発
生を防止して、ノードN2を昇圧レベルに確実に維持す
ることができる。
【0042】(第2の実施の形態)以下、本発明を具体
化した第2の実施の形態のワード線駆動回路を図6,7
に従って説明する。図6に示すワード線駆動回路10
は、第1の実施の形態のワード線駆動回路1にNMOS
トランジスタTr10 を加えたものであり、第1の実施の
形態と同一構成部分については同一符号を付してその説
明を省略する。
【0043】前記トランジスタTr1のゲートは、前記ト
ランジスタTr10 を介して前記ノードN3に接続されて
いる。このトランジスタTr10 のゲートには、前記電源
Vccが供給されている。
【0044】このように構成されたワード線駆動回路1
0では、ノードN1が電源Vssレベルのとき、ノードN
3は電源Vccレベルで、トランジスタTr10 のソース、
即ちトランジスタTr1のゲート電圧であるノードN6の
電位は電源VccよりトランジスタTr10 のしきい値分低
下した値となっており、トランジスタTr1はオンされ
て、ノードN2は電源Vssレベルとなる。
【0045】ノードN1が電源Vccレベルとなると、ト
ランジスタTr1のドレイン・ゲート間容量のカップリン
グ動作により、ノードN6の電位は図7に示すように昇
圧される。このとき、トランジスタTr10 のゲートとノ
ードN3間の電位差は0vであるため、トランジスタT
r10 はオフ状態となり、ノードN6の電位は昇圧状態に
維持される。従って、ノードN2の電位は電源Vccレベ
ルまで引き上げられる。
【0046】ノードN2の電位が電源Vccレベルとなっ
た後、遅延回路3の動作によりノードN3はLレベルと
なり、トランジスタTr3はオフされるとともに、ノード
N6はLレベルとなり、トランジスタTr1はオフされ
る。
【0047】そして、ノードN4に昇圧電圧Vppが供給
されると、トランジスタTr2のドレイン・ゲート間容量
のカップリング動作により、ノードN2の電位は昇圧さ
れる。このとき、トランジスタTr1のゲート・ソース間
電圧Vgs、即ちノードN6,N1間電圧Vgsは、−Vcc
であるため、トランジスタTr2は確実にオフされて、ノ
ードN2の昇圧電圧は確実に維持される。
【0048】従って、ノードN5から出力されるワード
線駆動電圧Vwは、昇圧電圧Vppまで確実に引き上げら
れる。また、ワード線駆動電圧Vwが所定時間昇圧電圧
Vppレベルに維持された後、ノードN4が電源Vssレベ
ルに引き下げられ、次いでノードN1が電源Vssレベル
に引き下げられると、ノードN3がHレベルとなる。
【0049】すると、トランジスタTr2はオフされると
ともに、トランジスタTr1,Tr3はオンされて、ノード
N2,N5は電源Vssレベルに引き下げられる。上記の
ように構成されたワード線駆動回路10では、次に示す
作用効果を得ることができる。
【0050】(1)本実施の形態では、ノードN1が電
源Vccレベルとなると、ノードN6の電位は昇圧され、
維持される。従って、前記ノードN2の電位は電源Vcc
レベルまで上昇される。そして、ノードN4に昇圧電圧
Vppが供給されると、ノードN2の電位は昇圧され理論
的には、電源Vcc+昇圧電圧Vppとなる。即ち、ノード
N2の電位は、第1の実施の形態のワード線駆動回路1
に比べトランジスタTr1のしきい値に分高い値となる。
この結果、更に電源Vccを低電圧化しながら、ワード線
駆動電圧Vwを昇圧電圧Vppレベルまで確実に引き上げ
ることができる。
【0051】上記実施の形態は以下のように変更して実
施してもよい。 ○第1の実施の形態では、ノードN3における電位の振
幅は電源Vssから電源Vccとして説明したが、遅延回路
3に昇圧電圧Vppを入力し、ノードN3における電位の
振幅を電源Vssから昇圧電圧Vppとなるようにしてもよ
い。このようにすると、ノードN1が電源Vccレベルと
なったときのノードN3の電位は昇圧電圧Vppなので、
ノードN2の電位は、図8に示すように電源Vccまで上
昇される。従って、第2の実施の形態の効果と同様の効
果を得ることができる。
【0052】○上記第1の実施の形態では、遅延回路3
の出力端子はトランジスタTr1,Tr3のゲートに接続さ
れているとしたが、遅延回路3の出力端子はトランジス
タTr1のゲートのみに接続し、トランジスタTr3のゲー
トにはインバータ2の出力端子を接続するようにしても
よい。このようにすると、トランジスタTr2がオンされ
るとともに、トランジスタTr3がオフされるので、ノー
ドN4に誤ったタイミングで昇圧電圧Vppが供給されて
も、ノードN4から電源Vssに貫通電流が流れることは
ない。
【0053】○第2の実施の形態では、遅延回路3の出
力端子はトランジスタTr10 のドレイン及びトランジス
タTr3のゲートに接続されているとしたが、遅延回路3
の出力端子はトランジスタTr10 のドレインのみに接続
し、トランジスタTr3のゲートにはインバータ2の出力
端子を接続するようにしてもよい。このようにすると、
トランジスタTr2がオンされるとともに、トランジスタ
Tr3がオフされるので、ノードN4に誤ったタイミング
で昇圧電圧Vppが供給されても、ノードN4から電源V
ssに貫通電流が流れることはない。
【0054】○前記遅延回路3に備えられる2段のイン
バータ4,5の段数を4段、6段等の他の偶数段に変更
してもよい。 ○前記遅延回路3は、入力信号を単純に遅延するだけの
回路であってもよい。
【0055】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、電
源電圧を昇圧した昇圧電圧をワード線に供給する半導体
記憶装置において、電源電圧を低電圧化しながら選択さ
れたワード線に昇圧電圧を確実に供給し得るワード線駆
動回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理説明図。
【図2】第1の実施の形態のワード線駆動回路を示す回
路図。
【図3】第1の実施の形態における遅延回路を示す回路
図。
【図4】第1の実施の形態のワード線駆動回路の動作を
示す波形図。
【図5】第1の実施の形態におけるセル選択回路を示す
回路図。
【図6】第2の実施の形態のワード線駆動回路を示す回
路図。
【図7】第2の実施の形態のワード線駆動回路の動作を
示す波形図。
【図8】別例のワード線駆動回路の動作を示す波形図。
【図9】従来のワード線駆動回路を示す回路図。
【符号の説明】
100 プルアップトランジスタ 101 プルダウントランジスタ 102 ゲートトランジスタ 103 制御回路 S ワード線選択信号 Vpp 昇圧電圧

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワード線選択信号に基づいてオンされ
    て、ワード線電位をワード線選択レベルに引き上げるプ
    ルアップトランジスタと、 ワード線非選択信号に基づいてオンされて、ワード線電
    位をワード線非選択レベルに引き下げるプルダウントラ
    ンジスタと、 前記ワード線選択信号及びワード線非選択信号を前記プ
    ルアップトランジスタのゲートに供給するゲートトラン
    ジスタと、 前記ゲートトランジスタは、前記プルアップトランジス
    タに供給される昇圧電圧に基づいて該プルアップトラン
    ジスタのゲート電圧が昇圧されたとき、該ゲート電圧を
    維持するブートストラップ動作を行うこととを備えたワ
    ード線駆動回路であって、 前記ワード線選択動作時に、前記プルアップトランジス
    タのゲートにワード線選択信号が供給された後に、前記
    ゲートトランジスタをオフさせる制御回路を備えたこと
    を特徴とするワード線駆動回路。
  2. 【請求項2】 前記ゲートトランジスタ及び前記プルダ
    ウントランジスタのゲートは、 同一信号で前記制御回路により制御されることを特徴と
    する請求項1に記載のワード線駆動回路。
  3. 【請求項3】 前記制御回路は、 Lレベルの前記ワード線非選択信号及びHレベルのワー
    ド線選択信号を反転させるインバータと、 前記インバータの出力信号の立ち下がりのみを遅延させ
    て前記ゲートトランジスタのゲートに出力する遅延回路
    とから構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載
    のワード線駆動回路。
  4. 【請求項4】 前記遅延回路の出力信号は、ゲートが電
    源に接続されたNMOSトランジスタを介して前記ゲー
    トトランジスタのゲートに入力することを特徴とする請
    求項3に記載のワード線駆動回路。
  5. 【請求項5】 前記遅延回路から前記ゲートトランジス
    タのゲートに出力するHレベルの信号は、前記昇圧電圧
    レベルの信号としたことを特徴とする請求項3に記載の
    ワード線駆動回路。
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