JPH1139819A - 負圧利用型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気記録媒体に対向する浮上面に少なくとも１
つの溝部を設けたクロスレールを有する負圧利用型磁気
ヘッドスライダにおいて（空気流入端を除く）浮上面レ
ールの稜線部に傾斜面を有することで、浮上面溝部加工
バラツキによる浮上量のバラツキをなくす、あるいは低
減する。 【解決手段】浮上面レール面積（正圧力）と浮上面溝深
さ（負圧力）の釣合いと浮上量の関係を考慮し、浮上磁
気ヘッドスライダ浮上面レールの稜線部に傾斜面を構成
する。磁気ヘッドスライダ浮上面形成時もしくは浮上面
加工時、浮上面溝深さと浮上面レール面積はある関係に
基づき変化し、浮上面溝深さ変化による浮上量の変動分
を浮上面レール面積の変化による浮上量の変動で補正す
る。浮上面レールの稜線部に傾斜面を施す場合、傾斜面
角度は３０度から６０度が最適である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
及び光磁気ディスク装置等の走行する記録媒体面上を微
小な浮上隙間で浮上する磁気ヘッドスライダに係り、特
に浮上面形状を改良することで、ヘッドスライダ加工バ
ラツキによる浮上量バラツキをなくす、あるいは低減す
る為のクロスレールを有する負圧利用型磁気ヘッドスラ
イダ及び磁気ディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ヘッドスライダは、一般にその後端
に記録再生用磁気ヘッド素子を有しており、高速で移動
する磁気記録媒体表面と磁気ヘッドスライダに設けられ
た浮上面との間に押し込まれる空気流によって浮上（正
圧）力を発生する。磁気ヘッドスライダの浮上量は、こ
の正圧力と外部から磁気ヘッドスライダに印可されるバ
ネ力と釣り合わせて適切な量に調節される。これは、特
開昭５７−５６９号公報等により公知である。

【０００３】磁気ヘッドスライダにおいて、高速で回転
する磁気記録媒体の表面上にデータを読み書きする為に
磁気ヘッドスライダが移動する。再生ヘッドに高密度記
録に適した磁気抵抗素子や、内周から外周にわたって線
記録密度をほぼ一定にする記録方式においてはディスク
上の任意の浮上量をほぼ一定にする技術が重要になる。
同一の回転数で回る磁気ディスクの表面での周速は、内
周から外周に行くに従い大きくなる。特開昭５７−５６
９号公報等で公知の正圧のみ利用磁気ヘッドスライダに
おいて周速が大きくなると浮上量が比例してあがるとい
う問題があった。このディスク内周から外周において、
浮上量を一定に近づける為の負圧利用型磁気ヘッドスラ
イダが考案されている。この負圧利用型磁気ヘッドスラ
イダとして、特開昭６３−５６６３５号公報等の開示が
ある。

【０００４】この負圧利用型磁気ヘッドスライダは、高
速で移動する磁気記録媒体表面と磁気スライダに設けら
れた浮上面のサイドレールとの間に押し込まれる空気流
によって発生する浮上（正圧）力と、負圧発生領域（サ
イドレールとクロスレールによって囲まれたくぼみ。以
後浮上面溝と呼ぶ）と外部から磁気ヘッドスライダに印
可されるバネ力と釣り合によってディスク内周から外周
にかけて、より一定でかつ適切な浮上量に調節される。

【０００５】正圧利用型磁気ヘッドスライダにおいて、
浮上面（サイド）レールにテーパ及びステップ加工を施
した磁気ヘッドスライダとして米国特許（ＵＳＰ）４６
７３９９６等の開示がある。

【０００６】この加工の目的は浮上磁気ヘッドスライダ
とディスクの位置関係により斜めから入る空気流の影響
に対する磁気ヘッドスライダの浮上姿勢の安定化を目的
としている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のクロスレールを
有する負圧利用型磁気ヘッドスライダは、ディスクの内
周から外周の浮上量を安定させる為に負圧と正圧の釣り
合いを利用している。負圧力を安定させる為に、浮上面
溝深さの均一化が重要である。また正圧力を安定させる
為には、浮上面形状（特に浮上面の面積）の安定化が重
要である。

【０００８】この為浮上面形成時の溝深さバラツキがそ
のまま浮上量バラツキとなり問題となる。また浮上面形
成後、浮上面精度向上や磁気ヘッドスライダの電気特性
向上等の加工を行う時、浮上面溝深さのバラツキによる
浮上量バラツキが大きくなり問題となる。

【０００９】

【課題を解決するための手段】磁気ヘッドスライダ浮上
面形成時に浮上面レール面積（正圧力）と浮上面溝深さ
（負圧力）の釣合いと浮上量の関係を考慮し、磁気ヘッ
ドスライダ浮上面レールの稜線部に傾斜面又はステップ
形状を構成する。また浮上面形成後磁気ヘッドスライダ
浮上面を加工した場合、浮上面溝深さと浮上面レール面
積はある関係に基づき変化し、浮上面溝深さ変化による
浮上量変動分を浮上面レール面積変化による浮上量の変
動で補正する。

【００１０】浮上面レールの稜線部に傾斜面を施す場
合、傾斜面角度は３０度から６０度が最適である。この
傾斜面の変わりにステップ加工を施しても同じ効果を得
られる。

【００１１】現状の磁気ヘッドスライダは、高速で移動
する磁気記録媒体表面と磁気ヘッドスラテダに設けられ
た浮上面レールとの間に押し込まれる空気流によって浮
上（正圧）力を発生し、浮上面レール面積に比例して浮
上量があがる。負圧利用型磁気ヘッドスライダは、上記
の正圧効果の他に浮上面レール部（クロスレールとサイ
ドレール）に囲まれた浮上面溝部に流れ込む空気流によ
り負圧が発生し、磁気ヘッドスライダが必要以上に浮上
しないように制御する。この浮上面溝深さと浮上面レー
ル面積の関係が浮上量の安定化に影響する。この浮上面
レール面積と浮上面溝深さによる浮上量の関係が浮上面
形成時もしくは浮上面加工時においても一定の関係を保
つ浮上面形状を構成する。

【００１２】浮上面形成時もしくは浮上面加工時、浮上
面溝深さが小さくなると浮上量が下がる場合、浮上面溝
深さが小さくなり浮上量が下がることを補正する為に、
浮上面レール面積は広がり浮上量をあげる方向に浮上面
レールの稜線部に傾斜面を形成し、浮上面溝深さのバラ
ツキによる浮上量の変化を押さえる。

【００１３】浮上面形成時もしくは浮上面加工時、浮上
面溝深さが小さくなると浮上量が上がる場合において
も、浮上量が上がることを補正する為に、浮上面レール
面積を狭まり浮上量を下げる方向に浮上面レールの稜線
部に傾斜面を形成し、浮上面溝深さのバラツキによる浮
上量の変化を押さえる。

【００１４】浮上面レールの稜線部に傾斜面を形成する
方法は、浮上面溝形成時のレジスト膜塗布時の角度によ
り、形成できる。また浮上面レール及び浮上面溝形成後
に機械加工でも形成可能である。

【００１５】浮上面レールの稜線部を傾斜面にする場
合、角度は３０度から６０度が最適である。これは、角
度が３０度未満の場合、この傾斜面を形成する時のバラ
ツキが大きくなる。この時浮上面加工時の浮上面レール
面積のバラツキにより、浮上量の影響が大きくなり適切
でない。また角度が６０度より大きくなると浮上面加工
時の正圧（浮上面レール面積）と負圧（浮上面溝深さ）
の関係が１対√３以上となり浮上面レール面積変化時の
浮上量の影響が大きくなり適切でない。

【００１６】傾斜面の浮上面溝方向の深さは、溝深さの
半分程度あれば、効果が得られる。また傾斜面は浮上面
レールの全ての稜線部に有さなくても効果が得られる。

【００１７】浮上面形成時もしくは浮上面加工時、浮上
面溝深さが小さくなり浮上量が変化するのを補正する
為、浮上面レールの稜線部傾斜面を有する変わりにステ
ップ加工を施しても同様な効果が得られる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下実施例により本発明を詳細に
説明する。

【００１９】図１は本発明の負圧利用型磁気ヘッドスラ
イダの一実施例を浮上面側が見えるように表した斜視図
であり、図２は図１を浮上面側から見た平面図である
（浮上面溝深さが小さくなった時、浮上量がさがる場
合、浮上面レールの稜線部に傾斜面を形成し浮上量があ
がるのを補正するクロスレールを有する負圧利用型磁気
ヘッドスライダ）。図１に示すように浮上磁気ヘッドス
ライダ１０を構成するＡｌＴｉＣ等のセラミック構造体
の後側端面（空気流出端側の面）１１には、薄膜による
読み書き変換素子１２が形成されている。磁気ヘッドス
ライダ１０の磁気記録媒体に対向する面（磁気ヘッドス
ライダ浮上面）には、空気流入側にテーパ１３を設け、
空気流入側から空気流出側に向かって浮上面レール１
４、１５、１６、１７及び１８が形成されている。浮上
面レールの内１４及び１５をサイドレール、１７及び１
８をクロースレールと呼ぶ。このクロスレール１７及び
１８とサイドレール１４及び１５で囲まれた浮上面溝部
１９に負圧が発生する。この浮上面溝深さにより負圧力
が制御される。

【００２０】本発明は図２において浮上面１４、１５、
１６、１７及び１８における浮上面レールの稜線部に傾
斜面１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６
ｂ、１６ｃ、１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂを構成し
ている。

【００２１】図３は、図２のＡ−Ａ断面図を示す。

【００２２】図４は、浮上面溝深さが小さくなった時、
浮上量があがる場合、浮上面レールの稜線部に傾斜面を
形成し浮上量があがるのを補正するクロスレールを有す
る負圧利用型磁気ヘッドスライダの断面図を示す。浮上
面形成時もしくは浮上面加工時に浮上面溝深さが小さく
なり浮上量があがる時、浮上量を下げるように浮上面レ
ール幅が細くなる構造を有する。

【００２３】図５は、１４及び１５及び１６に示す浮上
面レール側の稜線部にステップを構成している。

【００２４】図６、図７は、浮上面レールの一部に傾斜
面を有する磁気ヘッドスライダを浮上面から見た平面図
である。

【００２５】図８は、浮上面溝深さが小さくなると浮上
量が下がる場合の従来の負圧利用型磁気ヘッドスライダ
と本報告（浮上面レールの稜線部に傾斜面設ける）磁気
ヘッドスライダにおける、追加工による浮上面溝深さ変
化と磁気ヘッドスライダ浮上量の変化（浮上面溝深さが
小さくなると浮上量が下がる場合）の特性図を示す。

【００２６】図９は、浮上面レールの稜線部における傾
斜面の用語説明を示す。

【００２７】図１０は、本発明の負圧利用型磁気ヘッド
スライダを搭載した磁気ディスク装置を示す一部断面斜
視図である。キャリッジ２０に結合された磁気ヘッドス
ライダ支持装置２１の先端部に読み書き素子を搭載した
磁気ヘッドスライダ１０が装着されている。本実施例に
より磁気ヘッドスライダ加工時のバラツキによる磁気ヘ
ッドスライダの浮上量バラツキをなくす、あるいは低減
し安定した高密度記録を実現できる。

【００２８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、磁気記録媒体に対向する浮上面レールの稜線部に傾
斜面をもうけることで、浮上面形成時もしくは浮上面加
工時に発生する浮上面溝深さのバラツキから来る浮上量
シフト分を補正し、磁気ヘッドスライダの浮上量を安定
に生産することができる。

【００２９】傾斜面の場合、角度は３０度から６０度が
のぞましい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクロスレールを有する負圧利用型磁気
ヘッドスライダの一実施例の斜視図。

【図２】図１を浮上面側から見た平面図。

【図３】図２のＡ−Ａ断面図。

【図４】浮上面溝深さが小さくなった時、浮上量があが
る場合の負圧利用型磁気ヘッドスライダの浮上面レール
の稜線部、傾斜面の断面図。

【図５】浮上面レール側の稜線部にステップを有する磁
気ヘッドスライダの断面図。

【図６】第１実施例の応用例その１。

【図７】第１実施例の応用例その２。

【図８】従来の負圧利用型磁気ヘッドスライダと本報告
磁気ヘッドスライダにおける、浮上面溝深さの変化と磁
気ヘッドスライダ浮上量の変化を表わす特性図。

【図９】浮上面レールの稜線部における傾斜面の用語説
明図。

【図１０】本発明の磁気ヘッドスライダを搭載した磁気
ディスク装置の一部断面斜視図。

【符号の説明】

10…磁気ヘッドスライダ、 11…後側端面、12
…読み書き変換素子、 13…テーパ、14、1
5、16…浮上面レール、14a、14b、15a、15b、16a、16
b、16c、17a、17b、18a、18b…浮上面レールの稜線部、
17、18…クロスレール、19…浮
上面溝部、 20…キャリッジ、21…磁
気ヘッドスライダ支持装置、 22…記録媒体。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】記録媒体に対向する浮上面側に少なくとも
   １つの溝部を設けたクロスレールを有する負圧利用型磁
   気ヘッドスライダにおいて（空気流入端を除く）浮上面
   レールの稜線部に傾斜面を有する事を特徴とする負圧利
   用型磁気ヘッドスライダ。
2. 【請求項２】傾斜面の角度が３０度〜６０度であること
   を特徴とする請求項１の磁気ヘッドスライダ。
3. 【請求項３】記録媒体に対向する浮上面側に少なくとも
   １つの溝部を設けたクロスレールを有する負圧利用型磁
   気ヘッドスライダにおいて（空気流入端を除く）浮上面
   レールの稜線部がステップ形状に形成されることを特徴
   とする負圧利用型磁気ヘッドスライダ。
4. 【請求項４】請求項１〜３のいずれか１項記載のクロス
   レールを有する負圧利用型磁気ヘッドスライダを装着し
   たことを特徴とする磁気ディスク装置。