JPH11354072A - レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 - Google Patents
レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法Info
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- JPH11354072A JPH11354072A JP10160201A JP16020198A JPH11354072A JP H11354072 A JPH11354072 A JP H11354072A JP 10160201 A JP10160201 A JP 10160201A JP 16020198 A JP16020198 A JP 16020198A JP H11354072 A JPH11354072 A JP H11354072A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】レーザイオン化中性粒子質量分析において、試
料から発生する二次イオン起因のバックグラウンドを低
くすることによって高感度で分析する。 【解決手段】試料から放出される二次イオンを、光励起
イオンを質量分析計に導く方向とは別方向に導く。
料から発生する二次イオン起因のバックグラウンドを低
くすることによって高感度で分析する。 【解決手段】試料から放出される二次イオンを、光励起
イオンを質量分析計に導く方向とは別方向に導く。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、荷電粒子線もしく
は光を試料に照射して、試料から放出される中性粒子
に、レーザビームを照射して発生した光励起イオンを検
出して、試料内の被検元素の濃度もしくは分布などを調
べる共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分
析方法に係り、特に試料から発生する二次イオン起因の
バックグラウンドを低くすることによって高感度で分析
するのに好適なレーザイオン化中性粒子質量分析装置お
よび分析方法に関する。
は光を試料に照射して、試料から放出される中性粒子
に、レーザビームを照射して発生した光励起イオンを検
出して、試料内の被検元素の濃度もしくは分布などを調
べる共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分
析方法に係り、特に試料から発生する二次イオン起因の
バックグラウンドを低くすることによって高感度で分析
するのに好適なレーザイオン化中性粒子質量分析装置お
よび分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、イオンビームを試料に照射して試
料から放出される二次イオンを検出する二次イオン質量
分析法は、固体の表面分析において最も高感度な分析法
として広く用いられてきた。しかしながら、分析対象の
半導体デバイスの高密度化や高性能化により、更に高感
度な分析法が求められている。この要求を満たすことが
できる有力な候補として、イオンビーム照射によって試
料から放出される中性粒子にレーザビームを照射してイ
オンを発生させ、これを検出するレーザイオン化中性粒
子質量分析法が期待されている。
料から放出される二次イオンを検出する二次イオン質量
分析法は、固体の表面分析において最も高感度な分析法
として広く用いられてきた。しかしながら、分析対象の
半導体デバイスの高密度化や高性能化により、更に高感
度な分析法が求められている。この要求を満たすことが
できる有力な候補として、イオンビーム照射によって試
料から放出される中性粒子にレーザビームを照射してイ
オンを発生させ、これを検出するレーザイオン化中性粒
子質量分析法が期待されている。
【０００３】レーザイオン化中性粒子質量分析法が従来
の二次イオン質量分析法に比較して高感度な分析が期待
できるのは次の理由による。すなわち二次イオンの発生
割合が多くとも１％程度であるのに対して、９９％以上
は中性粒子であり、これを効率良くイオン化できれば、
大幅な感度向上が期待できるのである。
の二次イオン質量分析法に比較して高感度な分析が期待
できるのは次の理由による。すなわち二次イオンの発生
割合が多くとも１％程度であるのに対して、９９％以上
は中性粒子であり、これを効率良くイオン化できれば、
大幅な感度向上が期待できるのである。
【０００４】従来のレーザイオン化中性粒子質量分析装
置の例としては、特開平6−119905号公報記載のレーザ
イオン化中性粒子質量分析装置がある。従来の装置の原
理について図２を用いて説明する。まず一次イオン源１
からイオンビーム２が引き出され、一組の静電偏向板４
およびアパーチャ５で構成されるイオンビームパルス化
機構６、互いに直交する二組の静電偏向板８で構成され
るイオンビーム走査機構９およびイオンビームレンズ１
０を通して試料１２に照射される。そして試料１２から
放出された中性粒子１３にパルスレーザビーム１５を照
射することによってイオン化した光励起イオン１６を質
量分析計１７によって検出する。
置の例としては、特開平6−119905号公報記載のレーザ
イオン化中性粒子質量分析装置がある。従来の装置の原
理について図２を用いて説明する。まず一次イオン源１
からイオンビーム２が引き出され、一組の静電偏向板４
およびアパーチャ５で構成されるイオンビームパルス化
機構６、互いに直交する二組の静電偏向板８で構成され
るイオンビーム走査機構９およびイオンビームレンズ１
０を通して試料１２に照射される。そして試料１２から
放出された中性粒子１３にパルスレーザビーム１５を照
射することによってイオン化した光励起イオン１６を質
量分析計１７によって検出する。
【０００５】試料表面元素の二次元分布を得る場合に
は、イオンビーム２を、走査信号電圧を二組の静電偏向
板８に印加することによって試料上を走査させる。そし
てイオンビームの試料上の走査点に対応して、光励起イ
オン強度を測定すれば、試料表面元素の二次元分布を高
感度で得ることができる。
は、イオンビーム２を、走査信号電圧を二組の静電偏向
板８に印加することによって試料上を走査させる。そし
てイオンビームの試料上の走査点に対応して、光励起イ
オン強度を測定すれば、試料表面元素の二次元分布を高
感度で得ることができる。
【０００６】しかしながら、この装置の場合には、二次
イオンが光励起イオンと同時に検出されると、質量分析
計の質量分解能が低下したり、定量精度が低下するなど
の可能性があるため、従来より二次イオンと光励起イオ
ンを分離して検出する機構が組み込まれていた。例えば
試料で発生する二次イオンが得る加速エネルギが、試料
上方数ｍｍで発生する光励起イオンが得る加速エネルギ
に比べて大きいことを利用して、質量分析計の中でイオ
ンをエネルギ分別することによって二次イオンと光励起
イオンを分離したり、光励起イオンや二次イオンを質量
分析計に導くための引出電極と質量分析計の間に存在す
る静電偏向器にイオンビーム照射のタイミングに同期し
た時間的に変化する電圧を印加して、二次イオンと光励
起イオンを分離してきた（特開平5−62643号公報）。こ
れらの方法は質量分析計の質量分解能を低下あるいは、
定量精度の低下に対応するにはある程度効果を示してき
た。
イオンが光励起イオンと同時に検出されると、質量分析
計の質量分解能が低下したり、定量精度が低下するなど
の可能性があるため、従来より二次イオンと光励起イオ
ンを分離して検出する機構が組み込まれていた。例えば
試料で発生する二次イオンが得る加速エネルギが、試料
上方数ｍｍで発生する光励起イオンが得る加速エネルギ
に比べて大きいことを利用して、質量分析計の中でイオ
ンをエネルギ分別することによって二次イオンと光励起
イオンを分離したり、光励起イオンや二次イオンを質量
分析計に導くための引出電極と質量分析計の間に存在す
る静電偏向器にイオンビーム照射のタイミングに同期し
た時間的に変化する電圧を印加して、二次イオンと光励
起イオンを分離してきた（特開平5−62643号公報）。こ
れらの方法は質量分析計の質量分解能を低下あるいは、
定量精度の低下に対応するにはある程度効果を示してき
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のレー
ザイオン化中性粒子質量分析装置では、上記した質量分
析計でのエネルギ分別による分離法あるいは引出電極と
質量分析計の間の静電偏向器による分離法では完全には
分離できなかった二次イオンが存在し、これに起因する
バックグラウンドについては十分考慮されていなかっ
た。
ザイオン化中性粒子質量分析装置では、上記した質量分
析計でのエネルギ分別による分離法あるいは引出電極と
質量分析計の間の静電偏向器による分離法では完全には
分離できなかった二次イオンが存在し、これに起因する
バックグラウンドについては十分考慮されていなかっ
た。
【０００８】例えば、エネルギ分別による分離法では、
エネルギ分解能の不足あるいは二次イオンのエネルギ分
析器への衝突によって、二次イオンが完全には分離され
なかった。また引出電極と質量分析計の間の静電偏向器
による分離法では、試料と静電偏向器の間に一定の距離
が存在することが起因して二次イオンが完全には分離さ
れなかった。
エネルギ分解能の不足あるいは二次イオンのエネルギ分
析器への衝突によって、二次イオンが完全には分離され
なかった。また引出電極と質量分析計の間の静電偏向器
による分離法では、試料と静電偏向器の間に一定の距離
が存在することが起因して二次イオンが完全には分離さ
れなかった。
【０００９】すなわちレーザビーム照射前に試料へのイ
オンビーム照射によって、まず先に二次イオンが発生す
る。その後レーザビーム照射によって光励起イオンが発
生することになる。したがって静電偏向器で先に飛行し
てくる二次イオンを質量分析計に導かないようにして、
二次イオンと光励起イオンを分離する。しかし、試料か
ら静電偏向器の位置まで二次イオンが飛行する時間に、
相対的に重い二次イオンは相対的に軽い光励起イオンに
追い抜かれる。このため静電偏向器では二次イオンと光
励起イオンを、完全に分離することは難しくなる。
オンビーム照射によって、まず先に二次イオンが発生す
る。その後レーザビーム照射によって光励起イオンが発
生することになる。したがって静電偏向器で先に飛行し
てくる二次イオンを質量分析計に導かないようにして、
二次イオンと光励起イオンを分離する。しかし、試料か
ら静電偏向器の位置まで二次イオンが飛行する時間に、
相対的に重い二次イオンは相対的に軽い光励起イオンに
追い抜かれる。このため静電偏向器では二次イオンと光
励起イオンを、完全に分離することは難しくなる。
【００１０】このような二次イオンは、被検元素の光イ
オン信号に重畳されて、検出感度を低下させるという問
題があった。
オン信号に重畳されて、検出感度を低下させるという問
題があった。
【００１１】本発明の目的は、以上述べたような従来の
装置の問題点を解決し、従来の装置に比べて、バックグ
ラウンドを低くすることによって、高感度で分析するこ
とができるレーザイオン化中性粒子質量分析装置および
分析方法を提供することにある。
装置の問題点を解決し、従来の装置に比べて、バックグ
ラウンドを低くすることによって、高感度で分析するこ
とができるレーザイオン化中性粒子質量分析装置および
分析方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題は、荷電粒子線
もしくは光を試料に照射して、試料から放出される中性
粒子に、レーザビームを照射して発生した光励起イオン
を質量分析計で分析して、試料内の被検元素の濃度もし
くは分布などを調べるレーザイオン化中性粒子質量分析
装置において、試料から放出される二次イオンを試料直
上から導く方向を、上記光励起イオンを上記質量分析計
に導く方向とは別方向にするように構成することで達成
される。
もしくは光を試料に照射して、試料から放出される中性
粒子に、レーザビームを照射して発生した光励起イオン
を質量分析計で分析して、試料内の被検元素の濃度もし
くは分布などを調べるレーザイオン化中性粒子質量分析
装置において、試料から放出される二次イオンを試料直
上から導く方向を、上記光励起イオンを上記質量分析計
に導く方向とは別方向にするように構成することで達成
される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態の第１例を
図１を用いて説明する。本装置は次のように動作させ
る。まず一次イオン源１から引き出されたイオンビーム
２は、パルス電圧電源３，一組の静電偏向板４およびア
パーチャ５で構成されるイオンビームパルス化機構６，
走査電源７および互いに直交する二組の静電偏向板８で
構成されるイオンビーム走査機構９およびイオンビーム
レンズ１０を通過して、最後に試料台１１上の試料１２
に照射される。このとき試料１２から放出された二次イ
オン１６は、光励起イオン引出電極１７の他に設けた二
次イオン引出電極１８にパルス電圧を印加して質量分析
計１９に導かれないようにする。
図１を用いて説明する。本装置は次のように動作させ
る。まず一次イオン源１から引き出されたイオンビーム
２は、パルス電圧電源３，一組の静電偏向板４およびア
パーチャ５で構成されるイオンビームパルス化機構６，
走査電源７および互いに直交する二組の静電偏向板８で
構成されるイオンビーム走査機構９およびイオンビーム
レンズ１０を通過して、最後に試料台１１上の試料１２
に照射される。このとき試料１２から放出された二次イ
オン１６は、光励起イオン引出電極１７の他に設けた二
次イオン引出電極１８にパルス電圧を印加して質量分析
計１９に導かれないようにする。
【００１４】そして、次にレーザ装置１４からパルスレ
ーザビーム１５を発生させ、これを試料１２から放出さ
れた中性粒子１３に照射する。このとき発生した光励起
イオン２０は、二次イオン引出電極１８にはパルス電圧
を印加しないで、光励起イオン引出電極１７に電圧を印
加して質量分析計１９に導いて検出する。
ーザビーム１５を発生させ、これを試料１２から放出さ
れた中性粒子１３に照射する。このとき発生した光励起
イオン２０は、二次イオン引出電極１８にはパルス電圧
を印加しないで、光励起イオン引出電極１７に電圧を印
加して質量分析計１９に導いて検出する。
【００１５】ここで、イオンビームパルス化機構６，レ
ーザ装置１４，二次イオン引出電極電源２１，光励起イ
オン引出電極電源２２は互いに同期を取って動作するよ
うに、コンピュータ２３によって制御する。これらの動
作のタイミングチャートを図３に示す。すなわち、まず
イオンビーム２がパルス的に照射される。そしてその時
間のみに、二次イオン引出電極１８に電圧を印加する。
次にレーザ装置１４からパルスレーザビーム１５を照射
する。次に光励起イオン引出電極１７に電圧を印加し
て、光励起イオン２０を質量分析計１９に導く。
ーザ装置１４，二次イオン引出電極電源２１，光励起イ
オン引出電極電源２２は互いに同期を取って動作するよ
うに、コンピュータ２３によって制御する。これらの動
作のタイミングチャートを図３に示す。すなわち、まず
イオンビーム２がパルス的に照射される。そしてその時
間のみに、二次イオン引出電極１８に電圧を印加する。
次にレーザ装置１４からパルスレーザビーム１５を照射
する。次に光励起イオン引出電極１７に電圧を印加し
て、光励起イオン２０を質量分析計１９に導く。
【００１６】以上のようにした場合には、従来に比べて
二次イオンと光励起イオンの分離の度合いを大きくする
ことができ、光励起イオンの質量分析に際してのバック
グラウンドを大幅に低くすることができる。これにより
従来に比べて高感度な分析が達成される。
二次イオンと光励起イオンの分離の度合いを大きくする
ことができ、光励起イオンの質量分析に際してのバック
グラウンドを大幅に低くすることができる。これにより
従来に比べて高感度な分析が達成される。
【００１７】本発明の実施形態の第２例を説明する。本
装置は第１例に対照して、二次イオン引出電極を特には
設けない点と、光励起イオン引出電極１７の構造に特徴
がある。第２例の試料近傍を図４に示す。本実施形態で
は、光励起イオン引出電極１７の構造は図４に示すよう
に２分割されている。そして二次イオン１６が放出され
ている間には、光励起イオン引出電極１７の２分割され
た各々の部分について異なる電圧を印加する。すると二
次イオン１６は図４の垂直上方の質量分析計１９には向
かわない。片方の電極の一部をメッシュ状の金属で形成
しておけば、二次イオン１６はそのメッシュを通過して
質量分析には無関係の方向に飛行する。
装置は第１例に対照して、二次イオン引出電極を特には
設けない点と、光励起イオン引出電極１７の構造に特徴
がある。第２例の試料近傍を図４に示す。本実施形態で
は、光励起イオン引出電極１７の構造は図４に示すよう
に２分割されている。そして二次イオン１６が放出され
ている間には、光励起イオン引出電極１７の２分割され
た各々の部分について異なる電圧を印加する。すると二
次イオン１６は図４の垂直上方の質量分析計１９には向
かわない。片方の電極の一部をメッシュ状の金属で形成
しておけば、二次イオン１６はそのメッシュを通過して
質量分析には無関係の方向に飛行する。
【００１８】そして次にレーザビーム１５を照射して、
光励起イオン２０を生成させた後には、光励起イオン引
出電極１７の２分割された各々の部分について同じ電圧
を印加する。すると光励起イオン２０は質量分析計１９
の方向に導かれて、質量分析されることになる。したが
って上記第１例の場合と同じように、従来に比べて二次
イオンと光励起イオンの分離の度合いを大きくすること
ができ、光励起イオンの質量分析に際してバックグラウ
ンドを低くすることができて、従来に比べて高感度な分
析が達成される。
光励起イオン２０を生成させた後には、光励起イオン引
出電極１７の２分割された各々の部分について同じ電圧
を印加する。すると光励起イオン２０は質量分析計１９
の方向に導かれて、質量分析されることになる。したが
って上記第１例の場合と同じように、従来に比べて二次
イオンと光励起イオンの分離の度合いを大きくすること
ができ、光励起イオンの質量分析に際してバックグラウ
ンドを低くすることができて、従来に比べて高感度な分
析が達成される。
【００１９】本発明の実施形態の第３例を説明する。本
装置は第１例に対照して、二次イオン引出電極１８を特
には設けない点と、光励起イオン引出電極１９と試料１
２の間に偏向電極２４を新たに設けた点で特徴がある。
第３例の試料近傍を図５に示す。本実施形態では、図５
に示すように、光励起イオン引出電極１９と試料１２の
間に偏向電極２４を新たに設けた。
装置は第１例に対照して、二次イオン引出電極１８を特
には設けない点と、光励起イオン引出電極１９と試料１
２の間に偏向電極２４を新たに設けた点で特徴がある。
第３例の試料近傍を図５に示す。本実施形態では、図５
に示すように、光励起イオン引出電極１９と試料１２の
間に偏向電極２４を新たに設けた。
【００２０】そして二次イオン１６が放出されている間
には、この偏向電極２４に電圧を印加する。すると二次
イオンは図５の垂直上方の質量分析計１９には向かわな
い。光励起イオン引出電極１７の一部をメッシュ状の金
属で形成しておけば、二次イオン１６はそのメッシュを
通過して質量分析１９には無関係の方向に飛行する。そ
して次にレーザビーム１５を照射して、光励起イオン２
０を生成させた後には、偏向電極２４に電圧を印加しな
い。すると光励起イオン２０は質量分析計１９の方向に
導かれて、質量分析されることになる。
には、この偏向電極２４に電圧を印加する。すると二次
イオンは図５の垂直上方の質量分析計１９には向かわな
い。光励起イオン引出電極１７の一部をメッシュ状の金
属で形成しておけば、二次イオン１６はそのメッシュを
通過して質量分析１９には無関係の方向に飛行する。そ
して次にレーザビーム１５を照射して、光励起イオン２
０を生成させた後には、偏向電極２４に電圧を印加しな
い。すると光励起イオン２０は質量分析計１９の方向に
導かれて、質量分析されることになる。
【００２１】したがって、上記第１例の場合と同じよう
に、従来に比べて二次イオンと光励起イオンの分離の度
合いを大きくすることができ、光励起イオンの質量分析
に際してバックグラウンドを低くすることができて、従
来に比べて高感度な分析が達成される。
に、従来に比べて二次イオンと光励起イオンの分離の度
合いを大きくすることができ、光励起イオンの質量分析
に際してバックグラウンドを低くすることができて、従
来に比べて高感度な分析が達成される。
【００２２】なおこれまで述べた実施の形態の例ではイ
オンビームを試料に照射したが、試料から中性粒子を放
出せしめる荷電粒子や光であってもよい。
オンビームを試料に照射したが、試料から中性粒子を放
出せしめる荷電粒子や光であってもよい。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、特に試料から発生する
二次イオン起因のバックグラウンドを低くすることによ
って高感度で分析するのに好適なレーザイオン化中性粒
子質量分析装置および分析方法が提供される。
二次イオン起因のバックグラウンドを低くすることによ
って高感度で分析するのに好適なレーザイオン化中性粒
子質量分析装置および分析方法が提供される。
【図１】本発明の実施形態レーザイオン化中性粒子質量
分析の一例を示す装置の構成図。
分析の一例を示す装置の構成図。
【図２】従来例の中性粒子質量分析装置の構成図。
【図３】本発明の実施形態の一例における装置制御のタ
イミングチャート。
イミングチャート。
【図４】本発明の実施形態の一例を示す装置の試料近傍
の斜視図。
の斜視図。
【図５】本発明の実施形態の一例を示す装置の試料近傍
の斜視図。
の斜視図。
１…一次イオン源、２…イオンビーム、３…パルス電圧
電源、４…一組の静電偏向板、５…アパーチャ、６…イ
オンビームパルス化機構、７…走査電源、８…互いに直
交する二組の静電偏向板、９…イオンビーム走査機構、
１０…イオンビームレンズ、１１…試料台、１２…試
料、１３…中性粒子、１４…レーザ装置、１５…レーザ
ビーム、１６…二次イオン、１７…光励起イオン引出電
極、１８…二次イオン引出電極、１９…質量分析計、２
０…光励起イオン、２１…光励起イオン引出電極電源、
２２…二次イオン引出電極電源、２３…コンピュータ、
２４…偏向電極。
電源、４…一組の静電偏向板、５…アパーチャ、６…イ
オンビームパルス化機構、７…走査電源、８…互いに直
交する二組の静電偏向板、９…イオンビーム走査機構、
１０…イオンビームレンズ、１１…試料台、１２…試
料、１３…中性粒子、１４…レーザ装置、１５…レーザ
ビーム、１６…二次イオン、１７…光励起イオン引出電
極、１８…二次イオン引出電極、１９…質量分析計、２
０…光励起イオン、２１…光励起イオン引出電極電源、
２２…二次イオン引出電極電源、２３…コンピュータ、
２４…偏向電極。
Claims (7)
- 【請求項１】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射し
て発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料
内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイ
オン化中性粒子質量分析装置において、試料から放出さ
れる二次イオンを試料直上から導く方向を、上記光励起
イオンを上記質量分析計に導く方向とは別方向にするよ
うに構成したことを特徴とするレーザイオン化中性粒子
質量分析装置。 - 【請求項２】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射し
て発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料
内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイ
オン化中性粒子質量分析装置において、試料から放出さ
れる二次イオンを試料直上から導く引出電極を、上記光
励起イオンを上記質量分析計に導くための引出電極とは
別に設けたことを特徴とするレーザイオン化中性粒子質
量分析装置。 - 【請求項３】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射し
て発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料
内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイ
オン化中性粒子質量分析装置において、上記光励起イオ
ンを上記質量分析計に導く引出電極を少なくとも２分割
して、分割された各々部分に印加する電圧を、試料から
放出される二次イオン引出時と上記光励起イオン引出時
で異なるようにして、上記二次イオンを試料直上から導
く方向を、上記光励起イオンを上記質量分析計に導く方
向とは別方向にするようにしたことを特徴とするレーザ
イオン化中性粒子質量分析装置。 - 【請求項４】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射し
て発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料
内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイ
オン化中性粒子質量分析装置において、上記光励起イオ
ンを質量分析計に導く引出電極と試料との間に電極を設
け、上記電極への電圧印加のタイミングを制御すること
によって、試料から放出される二次イオンを試料直上か
ら導く方向を、上記光励起イオンを上記質量分析計に導
く方向とは別方向にするようにしたことを特徴とするレ
ーザイオン化中性粒子質量分析装置。 - 【請求項５】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射し
て発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料
内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイ
オン化中性粒子質量分析方法において、試料から放出さ
れる二次イオンを試料直上から導く方向を、上記光励起
イオンを上記質量分析計に導く方向とは別方向にするよ
うにしたことを特徴とするレーザイオン化中性粒子質量
分析方法。 - 【請求項６】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射し
て発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料
内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイ
オン化中性粒子質量分析方法において、上記光励起イオ
ンを上記質量分析計に導く引出電極を少なくとも２分割
して、分割された各々部分に印加する電圧を、試料から
放出される二次イオン引出時と上記光励起イオン引出時
で異なるようにして、上記二次イオンを試料直上から導
く方向を、上記光励起イオンを上記質量分析計に導く方
向とは別方向にするようにしたことを特徴とするレーザ
イオン化中性粒子質量分析方法。 - 【請求項７】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射し
て発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料
内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイ
オン化中性粒子質量分析装置において、上記光励起イオ
ンを質量分析計に導く引出電極と試料との間に電極を設
け、上記電極への電圧印加のタイミングを制御すること
によって、試料から放出される二次イオンを試料直上か
ら導く方向を、上記光励起イオンを上記質量分析計に導
く方向とは別方向にするようにしたことを特徴とするレ
ーザイオン化中性粒子質量分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10160201A JPH11354072A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10160201A JPH11354072A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11354072A true JPH11354072A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15709989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10160201A Pending JPH11354072A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11354072A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008021504A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Fujitsu Ltd | 照射方向可変イオン照射装置および二次イオン質量分析装置 |
| JP2011233248A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-17 | Tokyo Institute Of Technology | レーザイオン化質量分析装置 |
| JP2011237415A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-24 | Canon Inc | 質量に関する情報を取得するための情報取得装置及び情報取得方法 |
| JP2016024992A (ja) * | 2014-07-22 | 2016-02-08 | 学校法人 工学院大学 | 質量分析装置および質量分析方法 |
| CN105572216A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-05-11 | 大连民族大学 | 一种新型飞行时间二次离子质谱 |
| CN108305826A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-07-20 | 常州英诺激光科技有限公司 | 外置电磁场常压敞开式激光质谱仪 |
-
1998
- 1998-06-09 JP JP10160201A patent/JPH11354072A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008021504A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Fujitsu Ltd | 照射方向可変イオン照射装置および二次イオン質量分析装置 |
| JP2011237415A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-24 | Canon Inc | 質量に関する情報を取得するための情報取得装置及び情報取得方法 |
| JP2011233248A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-17 | Tokyo Institute Of Technology | レーザイオン化質量分析装置 |
| JP2016024992A (ja) * | 2014-07-22 | 2016-02-08 | 学校法人 工学院大学 | 質量分析装置および質量分析方法 |
| CN105572216A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-05-11 | 大连民族大学 | 一种新型飞行时间二次离子质谱 |
| CN108305826A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-07-20 | 常州英诺激光科技有限公司 | 外置电磁场常压敞开式激光质谱仪 |
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