JPH1135313A - 有機−無機複合体および無機多孔質体 - Google Patents
有機−無機複合体および無機多孔質体Info
- Publication number
- JPH1135313A JPH1135313A JP18973197A JP18973197A JPH1135313A JP H1135313 A JPH1135313 A JP H1135313A JP 18973197 A JP18973197 A JP 18973197A JP 18973197 A JP18973197 A JP 18973197A JP H1135313 A JPH1135313 A JP H1135313A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- composite
- alkoxysilane
- polymer
- aliphatic polyether
- organic polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B38/00—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
- C04B38/04—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof by dissolving-out added substances
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
- C04B2111/80—Optical properties, e.g. transparency or reflexibility
Abstract
素酸化物とからなる透明均質な複合体、および大きな表
面積と空隙率を有する多孔質ケイ素酸化物を提供する。 【解決手段】 脂肪族ポリエーテル系有機ポリマーを含
むアルコキシシランオリゴマーの溶液に、水および触媒
を添加して加水分解、脱水縮合を行った後、溶媒を蒸発
させることにより得られる、脂肪族ポリエーテル系有機
ポリマーとケイ素酸化物との透明均質な複合体、および
この複合体から有機ポリマーを除去することによって得
られる、従来より空孔率、表面積の大きい多孔質ケイ素
酸化物。
Description
ル系有機ポリマーとケイ素酸化物の均質な複合体、およ
び該複合体から脂肪族ポリエーテル系有機ポリマーを除
去してなる多孔質ケイ素酸化物に関する。
Macromolecular Science−Ch
emistry,A27(13−14) P.1603
−1612(1990))には、アミド結合を含む有機
ポリマーの存在下で酸触媒を用いてテトラアルコキシシ
ランの加水分解、脱水縮合を行うと、透明均質な有機−
無機複合体が得られる。この場合、生成した複合体ゲル
中では、アミド基のカルボニル基とケイ素上のシラノー
ル基とが水素結合して、分子レベルで安定に分散してい
る。また、その複合体より有機ポリマー分を加熱焼成に
よって除去すると、分子レベルの非常に小さな空孔が均
一に分散している多孔質ケイ素酸化物が得られるという
ことが記載されている。
は、用いられる有機ポリマーがアミド結合を含んでいる
ことが必須であり、その他のポリマーを用いても不均質
なゲル体しか得られず、有機ポリマーとケイ素酸化物と
の組成は非常に限られるという問題点があった。特開平
7−100389号公報には、上記の方法で用いられる
ポリマーの一例としてポリオキサゾリン類、ポリビニル
ピロリドン、ポリN,N−ジメチルアクリルアミド、ポ
リウレタン、ポリウレア、ポリアミドの他に、アミド結
合を含有しないポリエチレンオキシド、ポリプロピレン
オキシドも挙げられてはいるが、実際にこれらを用いて
均質透明な複合体が得られるという記載はない。
エーテル系有機ポリマーとケイ素酸化物とからなる透明
均質な複合体および大きな表面積と空隙率を有する多孔
質ケイ素酸化物を提供することを目的とするものであ
る。
リエーテル系有機ポリマーを含むアルコキシシランオリ
ゴマーの溶液を用いることで、透明均質な脂肪族ポリエ
ーテル系有機ポリマーとケイ素酸化物との複合体、およ
びこの複合体から有機ポリマーを除去することによって
多孔質ケイ素酸化物が得られることを見出し、本発明に
至った。
らなり、透明である有機−無機複合体、 2. 上記1の有機−無機複合体から脂肪族ポリエーテ
ル系高分子を除去してなるケイ素酸化物の多孔質体、を
提供するものである。
酸化物と脂肪族ポリエーテル系高分子とからなる、透明
な有機−無機複合体は、脂肪族ポリエーテル系有機ポリ
マーとアルコキシシランのオリゴマーを溶液にし、水と
アルカリ触媒を添加して撹拌することによって、加水分
解、脱水縮合する工程を実施する。これによりアルコキ
シシランのオリゴマー中のアルコキシ基は水酸基とな
り、続いて脱水縮合反応を起こしてゲル化する。その
後、このゲル体を乾燥することによって得ることができ
る。
いては、原料としてアルコキシシランのオリゴマーを用
いることが重要である。アルコキシシランモノマーだけ
を用いた場合は、アルカリ触媒と水を添加して加水分
解、脱水縮合して得られたゲル体は白色になって、透明
均質な複合体が得られない。本発明において用いられる
アルコキシシランオリゴマーの具体例としては、エチル
シリケート、メチルシリケートなどと呼ばれるアルコキ
シシランのオリゴマーを単独で、あるいは混合して用い
ることができる。また上記のアルコキシシランのオリゴ
マーばかりでなく、テトラメトキシシラン、テトラエト
キシシラン、テトラ(i−プロピル)シラン、テトラ
(t−ブチル)シランなどのテトラアルコキシシラン、
あるいはこれらの混合物を予め水と酸触媒を用いて縮合
させオリゴマーにした化合物を単離して用いてもよく、
あるいは酸触媒で処理した溶液をin−situでゲル
化反応に用いてもよい。この場合の酸触媒の具体例とし
ては塩酸、硝酸、硫酸、酢酸などが挙げられる。これら
の酸触媒の添加量はアルコキシシラン中に含まれるケイ
素原子1モルに対し10-6〜10-1モル、好ましくは1
0-5〜10-2モルが適当である。また添加される水の量
は原料のアルコキシシランに含まれるケイ素原子1モル
に対し10-1〜104モル、好ましくは1〜10モルで
ある。10-1モルより少ないとオリゴマーの生成が十分
に進まず、均質透明な複合体が得られない場合がある。
また104モルより多いと複合体の均質透明性が低下す
る。
ついては特に規定はなく、ゲル化する以前であればどの
ような重合度のものでも用いることができる。本発明の
有機−無機複合体の製造原料であるアルコキシシランの
オリゴマーに、アルコキシシランモノマーが50重量%
程度以下であれば混合されていても構わない。
原子上に1個のアルキル基やアリール基をもつアルコキ
シシランおよび/またはアルコキシシランオリゴマーを
用いたり、ケイ素原子上に1〜3個のアルキル基やアリ
ール基をもつアルコキシシランおよび/またはアルコキ
シシランオリゴマーを上記のアルコキシシランおよび/
またはアルコキシシランオリゴマーに混合して用いるこ
とも可能である。
ーとケイ素酸化物の均質透明な複合体を、アルコキシシ
ランモノマーを原料として得るためには、予め酸触媒で
処理して加水分解、縮合させた後にアルカリ触媒を加え
るという工程が必要である。もちろん、原料として単離
されたアルコキシシランオリゴマーを用いる場合には酸
触媒による前処理は不要である。
有機ポリマー(以下、有機ポリマーという。)の具体例
としては、ポリオキシメチレン、ポリエチレングリコー
ル、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレング
リコール等が挙げられる。これらは単独で用いてもよい
し、これらの混合物として用いてもよい。また、これら
のポリマーの構成成分であるモノマーどうしの共重合体
や、他の任意のモノマーとの共重合体を用いてもよい。
また、有機ポリマーの分子量は、得られる複合体の硬度
等の希望する特性に応じて200〜15000000の
中から選ばれる。
シシランおよび/またはアルコキシシランオリゴマー1
重量部に対し10-2〜102 重量部、好ましくは10-1
〜10重量部、さらに好ましくは10-1〜1重量部であ
る。有機ポリマーの添加量が10-2重量部より少ない
と、複合体あるいは多孔質体の特性が現れない。また1
02 重量部より大きくても、複合体の特性が現れず実用
性に乏しい。
ンおよび/またはアルコキシシランのオリゴマーと有機
ポリマーの両方が溶解する溶媒であれば、何を用いても
よい。また、原料のアルコキシシランおよび/またはア
ルコキシシランのオリゴマーが不溶であっても、加水分
解された後に可溶となるものであれば同様に使用するこ
とができる。用いられる溶媒の例として、C1 〜C4 の
一価アルコール、C1〜C4 の二価アルコール、ホルム
アミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミ
ド、N−メチルピロリドンなどのアミド類、ジエチルエ
ーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテ
ル、テトラヒドロフラン、1、4−ジオキサン、ジグリ
ム、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエー
テルなどのエーテル類、酢酸エチル、乳酸エチル、エチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエ
ステル類が好適に用いられる。これらの溶媒を混合した
り、他の任意の溶媒あるいは添加物を混合してもよい。
また該溶媒の使用量は、アルコキシシランおよび/また
はアルコキシシランのオリゴマーと有機ポリマーを合わ
せて5〜50重量%の範囲の濃度となるように設定す
る。5重量%より少ないとゲル化せず、50重量%より
多いと均一な溶液にならないことがある。
モニア水、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、トリエ
チルアミン、トリエタノールアミン、ピリジン、ピペリ
ジンなどが挙げられる。これらの触媒の添加量はアルコ
キシシランオリゴマー中に含まれるケイ素原子1モルに
対し10-5〜1モル、好ましくは10-4〜10-1モルが
適当である。触媒の添加量が10-5モルより少ないと加
水分解反応が十分に進まず、ゲル化が起こらない場合が
ある。また、1モルより多いと沈殿の生成などが起こり
均一な多孔質体が得られない場合がある。また当然であ
るが、原料としてアルコキシシランを用い、酸触媒で予
め縮合させたオリゴマーをin−situで用いる場合
は、最初に加えた酸触媒よりもアルカリ触媒の量を10
-5モル以上過剰に入れることが必要である。
は、これらの触媒が水溶液である場合にはその溶媒であ
る水によって起こるし、必要ならば別途水を添加する。
用いられる水の全量は原料のアルコキシシランオリゴマ
ーの種類にもよるが、アルコキシシランオリゴマーに含
まれているケイ素原子1モルに対し0.3〜104モ
ル、好ましくは1〜10モルである。0.3モルより少
ないと加水分解が十分に進まず、ゲル化が起こらない場
合がある。また104モルより多いと得られる複合体の
透明均質性が低下する。また、本工程を行う以前に既に
水が加えてある場合には、既に加えてある量と本工程で
添加する量の合計が上記の範囲に含まれるようにする。
ないが、通常は0〜150℃、好ましくは20〜60℃
の範囲で行う。低すぎると反応速度が小さく、十分に架
橋させるのに長時間を要し、また高すぎるとボイドが生
成しやすく、得られる複合体の透明均質性が低下する。
ゲル化に要する時間はゲル化の温度や触媒の量などによ
って異なるが、通常数分間〜数日間の範囲である。
するために乾燥する。乾燥温度は当然溶媒の種類によっ
て異なるが、通常20〜200℃の範囲で行う。また減
圧下で乾燥を行うのも有効である。ボイドの発生を制御
し、透明均質な乾燥ゲル膜を得るために、乾燥工程中に
徐々に温度を上昇させる方法も好ましい。以上の方法に
より、透明均質な有機−無機複合体を得ることができ
る。また、この複合体から有機ポリマーを除去すること
で、多孔質ケイ素酸化物を得ることができる。有機ポリ
マーを除去する方法としては加熱焼成、溶媒抽出、プラ
ズマ処理などが挙げられる。もっとも簡便なのが加熱に
よって有機ポリマーを除去する方法であり、通常200
〜900℃、好ましくは300〜600℃の範囲内で1
〜24時間程度加熱する。
ルとの複合体はレンズなどの光学材料や、構造材料、フ
ィルム、コーティング材などの幅広い用途に使用可能で
ある。またこれを用いた多孔質体は従来よりも表面積が
大きいものが得られるので、触媒の担持体として用いる
ことができる。また、複合体および多孔質体の形状は自
由であるので、例えばコーティング膜とすることによっ
て誘電率の低いLSI多層配線用絶縁膜として用いるこ
とも可能である。
お、N2 BET法による表面積の測定は島津製作所製の
窒素吸着式表面積測定装置を用いて行った。
ルシリケート40)0.43g、ポリプロピレングリコ
ール(平均分子量4000)0.17gをエタノール
0.8g、ジメチルホルムアミド1.2gの混合溶媒に
溶解し、この溶液に0.1Nアンモニア水溶液2mgを
加え、室温にて30分間撹拌した。この溶液を密閉容器
中で室温にて1時間放置したところ、溶液は流動性を失
っていた。さらに終夜静置し、6時間かけて60℃から
120℃にし、120℃に保ったまま真空に減圧するこ
とによって、透明な乾燥ゲル体を得た。またこれを空気
中で450℃にて2時間加熱して有機ポリマーを除去し
たところ、得られたケイ素酸化物は990m2/gの表
面積を有することが、窒素吸着法により分かった。
ルシリケート40)0.43g、ポリプロピレングリコ
ール(平均分子量4000)0.34gをエタノール
0.8g、ジメチルホルムアミド1.2gの混合溶媒に
溶解し、この溶液に0.1Nアンモニア水溶液2mgを
加え、室温にて30分間撹拌した。この溶液を密閉容器
中で室温にて1時間放置したところ、溶液は流動性を失
っていた。さらに終夜静置し、6時間かけて60℃から
120℃にし、120℃に保ったまま真空に減圧するこ
とによって、透明な乾燥ゲル体を得た。またこれを空気
中で450℃にて2時間加熱して有機ポリマーを除去し
たところ、得られたケイ素酸化物は960m2/gの表
面積を有することが、窒素吸着法により分かった。
レングリコール(平均分子量20000)0.17gを
ジメチルホルムアミド1g、プロピレングリコールメチ
ルエーテルアセテート0.5gの混合溶媒に溶解し、こ
の溶液に水0.5gと0.1N塩酸0.1mgを加え、
室温にて2時間撹拌し、テトラエトキシシランを部分的
に加水分解してオリゴマーにした。この溶液にさらに
0.1Nアンモニア水溶液2.5mgを加え、密閉した
容器中で室温にて2時間放置したところ、溶液は流動性
を失っていた。さらに終夜静置し、6時間かけて60℃
から120℃にし、120℃に保ったまま真空に減圧す
ることによって、透明な乾燥ゲル体を得た。
レングリコール(平均分子量20000)0.68gを
ジメチルホルムアミド4g、プロピレングリコールメチ
ルエーテルアセテート2gの混合溶媒に溶解し、この溶
液に0.1N塩酸2.5mgと水1gを加え、室温にて
2時間撹拌した。これを密閉容器中で室温にて終夜放置
したが、溶液はゲル化しなかった。さらに1週間静置し
たが、溶液はゲル化していたものの、白色不透明になっ
ていた。
マーである脂肪族ポリエーテルとの透明均質な複合体が
広範囲の組成で得られる。また、該複合体を熱処理して
得られる多孔質体は従来よりも表面積が大きいものが得
られ、産業上大いに有用である。
Claims (2)
- 【請求項1】 ケイ素酸化物と脂肪族ポリエーテル系高
分子とからなり、透明である有機−無機複合体。 - 【請求項2】 請求項1記載の有機−無機複合体から脂
肪族ポリエーテル系高分子を除去してなるケイ素酸化物
の多孔質体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18973197A JP4025389B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 有機−無機複合体および無機多孔質体 |
US09/423,798 US6448331B1 (en) | 1997-07-15 | 1998-07-15 | Alkoxysilane/organic polymer composition for thin insulating film production and use thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18973197A JP4025389B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 有機−無機複合体および無機多孔質体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1135313A true JPH1135313A (ja) | 1999-02-09 |
JP4025389B2 JP4025389B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=16246252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18973197A Expired - Fee Related JP4025389B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 有機−無機複合体および無機多孔質体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4025389B2 (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11217458A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 多孔質膜、その製造法及び物品 |
JP2000281329A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Naohiro Soga | 基板上に形成される多孔質材料の製造法 |
JP2001049178A (ja) * | 1999-06-01 | 2001-02-20 | Jsr Corp | 膜形成用組成物、膜の形成方法および低密度化膜 |
JP2001049177A (ja) * | 1999-06-01 | 2001-02-20 | Jsr Corp | 膜形成用組成物、膜の形成方法および低密度化膜 |
JP2001106914A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-04-17 | Asahi Kasei Corp | 絶縁薄膜製造用のシリカ前駆体/有機ポリマー組成物 |
WO2001074957A1 (fr) * | 2000-04-04 | 2001-10-11 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Composition de revetement pour la production de films minces d'isolation |
WO2002085785A1 (fr) * | 2001-04-17 | 2002-10-31 | Tokuyama Corporation | Procede permettant de produire un materiau poreux anorganique |
JP2004536924A (ja) * | 2001-07-26 | 2004-12-09 | ダウ・コーニング・コーポレイション | シロキサン樹脂 |
JP2005120371A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Samsung Electronics Co Ltd | 有機絶縁体形成用組成物及びこれから製造された有機絶縁体 |
JP2005314711A (ja) * | 2005-07-29 | 2005-11-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 多孔質膜、物品及び複合材 |
JP2006036598A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | 多孔質シリカ系薄膜の製造方法、多孔質シリカ系薄膜及び構造物 |
WO2007020894A1 (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Shiseido Co., Ltd. | メソポーラスシリカ及びその製造方法 |
JP2007045692A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Shiseido Co Ltd | メソポーラスシリカおよびその製造方法 |
WO2013111783A1 (ja) | 2012-01-23 | 2013-08-01 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | コーティング組成物及び反射防止膜 |
CN105480983A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-04-13 | 江南大学 | 一种亲水多孔二氧化硅微球的制备方法 |
-
1997
- 1997-07-15 JP JP18973197A patent/JP4025389B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11217458A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 多孔質膜、その製造法及び物品 |
JP2000281329A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Naohiro Soga | 基板上に形成される多孔質材料の製造法 |
JP2001049178A (ja) * | 1999-06-01 | 2001-02-20 | Jsr Corp | 膜形成用組成物、膜の形成方法および低密度化膜 |
JP2001049177A (ja) * | 1999-06-01 | 2001-02-20 | Jsr Corp | 膜形成用組成物、膜の形成方法および低密度化膜 |
JP2001106914A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-04-17 | Asahi Kasei Corp | 絶縁薄膜製造用のシリカ前駆体/有機ポリマー組成物 |
JP4702970B2 (ja) * | 1999-10-12 | 2011-06-15 | 旭化成株式会社 | 絶縁薄膜製造用のシリカ前駆体/有機ポリマー組成物 |
WO2001074957A1 (fr) * | 2000-04-04 | 2001-10-11 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Composition de revetement pour la production de films minces d'isolation |
US6787191B2 (en) | 2000-04-04 | 2004-09-07 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Coating composition for the production of insulating thin films |
US7045106B2 (en) | 2001-04-17 | 2006-05-16 | Tokuyama Corporation | Method for producing inorganic porous material |
WO2002085785A1 (fr) * | 2001-04-17 | 2002-10-31 | Tokuyama Corporation | Procede permettant de produire un materiau poreux anorganique |
JP2004536924A (ja) * | 2001-07-26 | 2004-12-09 | ダウ・コーニング・コーポレイション | シロキサン樹脂 |
JP4562027B2 (ja) * | 2003-10-15 | 2010-10-13 | 三星電子株式会社 | 有機絶縁体形成用組成物及びこれから製造された有機絶縁体 |
JP2005120371A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Samsung Electronics Co Ltd | 有機絶縁体形成用組成物及びこれから製造された有機絶縁体 |
JP2006036598A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | 多孔質シリカ系薄膜の製造方法、多孔質シリカ系薄膜及び構造物 |
JP2005314711A (ja) * | 2005-07-29 | 2005-11-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 多孔質膜、物品及び複合材 |
WO2007020894A1 (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Shiseido Co., Ltd. | メソポーラスシリカ及びその製造方法 |
JP2007045692A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Shiseido Co Ltd | メソポーラスシリカおよびその製造方法 |
WO2013111783A1 (ja) | 2012-01-23 | 2013-08-01 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | コーティング組成物及び反射防止膜 |
KR20140102283A (ko) | 2012-01-23 | 2014-08-21 | 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 | 코팅 조성물 및 반사 방지막 |
CN105480983A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-04-13 | 江南大学 | 一种亲水多孔二氧化硅微球的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4025389B2 (ja) | 2007-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4025389B2 (ja) | 有機−無機複合体および無機多孔質体 | |
US8097690B2 (en) | Cyclic dihydrogenpolysiloxanes, hydrogenpolysiloxanes, processes for their production, silica type glass moldings and a process for their production, optical elements and a process for their production | |
KR20080104937A (ko) | 폴리알킬실세스퀴옥산 미립자 및 그 제조방법 | |
EP0977798A1 (en) | Organohydridosiloxane resins with low organic content | |
JP2010261049A (ja) | 安定組成物 | |
JPS62230828A (ja) | 半導体用絶縁膜形成塗布液 | |
Wu et al. | Synthesis of aqueous highly branched silica sol as underlying crosslinker for corrosion protection | |
JP4321686B2 (ja) | 有機−無機複合体および多孔質ケイ素酸化物の製造方法 | |
KR20020018681A (ko) | 실리콘올리고머용액의 제조방법 및 그 용액으로 형성된오르가노폴리실록산막 | |
JP3801208B2 (ja) | 硬化性ポリメチルシルセスキオキサン組成物 | |
US20030047111A1 (en) | Coating solution for forming transparent silica coating film and method for producing transparent silica coating film | |
JP3696311B2 (ja) | ポリシラザン組成物、ポリシラザン溶液の調製方法、該組成物を用いたコーティング用組成物及び該コーティング用組成物を用いて得られるセラミックス被膜付プラスチック | |
EP1412434B1 (en) | Siloxane resins | |
JP4251927B2 (ja) | 多孔性シリカ膜の製造方法 | |
JPH10298289A (ja) | シロキサンポリマーの製造方法 | |
JP3851393B2 (ja) | 多孔質ケイ素酸化物膜の製造法 | |
JP2000290283A (ja) | ゾル材料 | |
JPH11340220A (ja) | シリカ系被膜形成用塗布液及びその製造方法 | |
KR100586438B1 (ko) | 아미노기를 함유한 알콕시실란 화합물을 이용한폴리실세스퀴옥산 구형 입자의 제조방법 및폴리실세스퀴옥산 구형 입자 | |
JP2000319530A (ja) | 半導体素子用組成物 | |
KR101475492B1 (ko) | 폴리알킬실세스퀴옥산 미립자 및 그 제조방법 | |
KR100314875B1 (ko) | 졸 물질 | |
JP3724556B2 (ja) | ポリメチルシルセスキオキサンの製造方法 | |
JPH05140326A (ja) | 微粒子の製造方法及び強化ポリジオルガノシロキサン | |
JPH07157490A (ja) | アミノ基含有シリケートオリゴマー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040629 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071005 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121012 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121012 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131012 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |