JPH11346092A - 電子部品実装用ノズルおよび電子部品実装装置 - Google Patents

電子部品実装用ノズルおよび電子部品実装装置

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JPH11346092A
JPH11346092A JP10150975A JP15097598A JPH11346092A JP H11346092 A JPH11346092 A JP H11346092A JP 10150975 A JP10150975 A JP 10150975A JP 15097598 A JP15097598 A JP 15097598A JP H11346092 A JPH11346092 A JP H11346092A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 開口部を有する異形のワークを位置精度よく
プリント基板などの実装対象物に実装できる電子部品実
装用ノズルおよび電子部品実装装置を提供すること。 【解決手段】 ノズル50の下端部のブロック51の中
央にはテーパ状の側面53を有する突部52が突設され
る。またブロック51には吸着孔55が穿孔される。突
部52をワーク40の開口部43に嵌入させ、テーパ状
の側面53を開口部43の内縁部に当接させてワーク4
0を真空吸着し、パッケージ32上に搭載する。ワーク
40は突部52で位置決めされるので、位置精度よくパ
ッケージ32に搭載できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、開口部を有するワ
ークをプリント基板などに実装するための電子部品実装
用ノズルおよび電子部品実装装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品実装装置は、移載ヘッドのノズ
ルでワークを真空吸着し、プリント基板などに実装する
ものである。ワークは一般にICチップ、抵抗チップ、
コンデンサチップなどであり、これらのワークの形状は
箱形である。したがってこれらのワークを真空吸着する
ノズルとしては、単純なパイプ状のフラットノズルやワ
ークの角部に当接するテーパ状内面を有するコレットノ
ズルが用いられる。ワークとしては、上記ICチップ、
抵抗チップ、コンデンサチップ以外にも異形のワークが
プリント基板などに実装される。
【0003】図11は従来のワークとノズルの斜視図、
図12は同断面図である。このワーク1は枠形の異形の
ワークであり、プリント基板に実装されたチップを包囲
するようにプリント基板に実装される。ノズル2は下端
部に4角形のブロック3を有しており、ブロック3に吸
着孔4が穿孔されている。このノズル2は吸着孔4でワ
ーク1の上面を真空吸着し、プリント基板に実装する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のノズルは、ワークを真空吸着した状態でワークはノズ
ルに対して水平方向に位置ずれしやすく、このためワー
クの実装位置精度があがらないという問題点があった。
図12において、鎖線で示すワーク1は矢印方向へ位置
ずれしたものを示している。
【0005】したがって本発明は、図11に示すような
開口部を有する異形のワークを位置精度よくプリント基
板などの実装対象物に実装できる電子部品実装用ノズル
および電子部品実装装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、開口部を有す
るワークを真空吸着する電子部品実装用ノズルであっ
て、ブロックと、このブロックから下方へ突出して前記
開口部に嵌入しかつ前記開口部の内縁部に当接するテー
パ状の側面を有する突部と、前記ブロックに穿孔されて
前記ワークの壁部の上面を真空吸着する吸着孔とを有す
ることを特徴とする電子部品実装用ノズルである。
【0007】また好ましくは、前記突部が前記開口部に
嵌入して前記テーパ状の側面が前記内縁部に当接した状
態で、前記ブロックの下面と前記壁部の上面の間にギャ
ップが確保される。
【0008】また好ましくは、前記突部のつけ根に溝を
形成した。また本発明は、移載ヘッドのノズルで開口部
を有するワークを真空吸着してピックアップし、基板に
移送搭載するようにした電子部品実装装置であって、前
記ノズルがブロックと、このブロックから下方へ突出し
て前記開口部に嵌入しかつ前記開口部の内縁部に当接す
るテーパ状の側面を有する突部と、前記ブロックに穿孔
されて前記ワークの壁部の上面を真空吸着する吸着孔と
を有することを特徴とする電子部品実装装置である。
【0009】また好ましくは、前記突部が前記開口部に
嵌入して前記テーパ状の側面が前記内縁部に当接した状
態で、前記ブロックの下面と前記壁部の上面の間にギャ
ップが確保される。
【0010】また好ましくは、前記突部のつけ根に溝を
形成した。上記構成において、ブロックから下方へ突出
する突部をワークの開口部に嵌入させ、そのテーパ状の
側面を開口部の内縁部に当接させることにより、ワーク
の真空吸着位置を位置決めする。したがって真空吸着さ
れたワークが位置ずれすることはなく、位置精度よくプ
リント基板などに実装できる。
【0011】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)図1は本発明の
実施の形態1の電子部品実装装置の斜視図、図2は同光
通信ユニットの分解斜視図、図3は同ノズルの上下反転
斜視図、図4は同ワークを実装中のノズルとワークの断
面図である。
【0012】まず図1を参照して電子部品実装装置の全
体構造を説明する。図1において、10はリードフレー
ム30の搬送路であり、その上方には第1の移載ヘッド
11、第2の移載ヘッド12、ボンド塗布ヘッド13が
配設されている。第1の移載ヘッド11、第2の移載ヘ
ッド12、ボンド塗布ヘッド13は同一の可動テーブル
14に装着されており、図外の駆動手段に駆動されて搬
送路10と直交する方向へ同時に往復移動する。
【0013】第1の移載ヘッド11はワーク供給部20
のトレイ21に備えられたワーク40(図2)をノズル
15の下端部で真空吸着してピックアップし、位置ずれ
補正テーブル22上に移載する。位置ずれ補正テーブル
22上に移載されたワーク40には位置ずれ補正爪23
が押し当てられ、ワーク40の位置ずれが補正される。
第2の移載ヘッド12はノズル50の下端部で位置ずれ
補正テーブル22上のワーク40を真空吸着してピック
アップし、リードフレーム30上に搭載されたパッケー
ジ32上に移載する。ボンド塗布ヘッド13は、ノズル
24からボンド46を吐出し、パッケージ32に塗布す
る(図4)。ワーク40は第2の移載ヘッド12により
このボンド46上に搭載されてパッケージ32に接着さ
れる。なおボンド塗布ヘッドとしては、転写ピン方式な
どの他の型式のものも用いられる。
【0014】図1において、25はXテーブル、26は
Yテーブルであり、搬送路10をX方向やY方向へ移動
させてその位置を調整する。27は第1のカメラであ
り、トレイ21に収納されたワーク40を認識する。2
8は第2のカメラであり、リードフレーム30上のパッ
ケージ32やパッケージ32上に搭載されたワーク40
を認識する。29はリードフレーム30が収納されたマ
ガジンであり、リードフレーム30は1枚づつマガジン
29から搬送路10へ送り出される。
【0015】図2は光通信ユニットを組み立てるための
素子を示している。リードフレーム30のリード31上
にパッケージ32が搭載されている。パッケージ32は
4角の枠形であり、その内部にレーザダイオード33と
ミラー34が実装されている。マガジン29に収納され
たリードフレーム30には、前工程においてパッケージ
32、レーザダイオード33、ミラー34が予め実装さ
れている。
【0016】図2において、ワーク40は台部41の一
側部に壁部42を突設して成り、壁部42の中央に4角
形の開口部43を開口している。44はレンズユニット
であり、レンズ45を有している。ワーク40はパッケ
ージ32上に搭載される。またレンズユニット44は、
後工程でワーク40上に搭載される。パッケージ32上
にワーク40とレンズユニット44を実装した後、リー
ド31は切断され、光通信ユニットは完成する。
【0017】次にノズル50の構造を説明する。図3は
ノズル50を上下反転して示すものであって、その下端
部には角形のブロック51が形成されている。ブロック
51の中央には角錐形の突部52が突設されている。突
部52の側面53は先細状のテーパ状となっている。ま
た突部52の両側部のつば部54には吸着孔55が穿孔
されている(図4も参照)。突部52のつけ根には細い
溝56が形成されている。溝56の効用については、実
施の形態4で説明する。図4に示すように、突部52は
ワーク40の開口部43に嵌入し、テーパ状の側面53
が開口部43の内縁部に当接し、吸着孔55で壁部42
の上面を真空吸着する。このように突部52を開口部4
3に嵌入させてワーク40を真空吸着することにより、
真空吸着状態のワーク40が水平方向へ位置ずれするの
を防止する。またこの状態で、つば部54と壁部42の
間にはギャップGが確保される。このようにギャップG
を確保することにより、開口部43に寸法誤差があって
も、テーパ状の側面を開口部43の内縁部に確実に当接
させてワーク40をしっかり真空吸着し、パッケージ3
2上に位置ずれなく正確に搭載することができる。
【0018】(実施の形態2)図5は本発明の実施の形
態2のノズルの上下反転斜視図、図6は同プリント基板
の斜視図である。
【0019】図5において、ノズル60の下端部にはブ
ロック61が形成されている。ブロック61の中央部に
は角錐形の突部62が突設されている。突部62の側面
63はテーパ状である。また突部62の周囲には吸着孔
64が穿孔されている。好ましくは、実施の形態1と同
様に、突部62のつけ根に細い溝を形成する。
【0020】図6において、プリント基板70上には枠
形のワーク71が搭載されており、その開口部72には
第1のチップ73が実装されている。またワーク71の
近傍には第2のチップ74が実装されている。75はボ
ンド塗布ヘッドのノズルであり、ワーク71の内部にボ
ンド76を吐出し、第1のチップ73をボンド76で封
止する。
【0021】ワーク71の近傍には第2のチップ74が
実装されるので、ワーク71は位置精度よくプリント基
板70に実装せねばならない。何故ならば、ワーク71
の位置精度が悪いと第2のチップ74に当るからであ
る。そこでこのワーク71は、図4に示す実施の形態1
と同様に、ノズル60の突部62をワーク71の開口部
72に嵌入させ、そのテーパ状の側面63を開口部72
の内縁部に当接させ、ワーク71の位置ずれを防止しな
がらプリント基板70に実装する。
【0022】(実施の形態3)図7は本発明の実施の形
態3のノズルの上下反転斜視図、図8は同ワークの斜視
図、図9は同ワークを実装中のノズルとワークの断面図
である。
【0023】図7において、ノズル80の下端部には円
板形のブロック81が形成されており、ブロック81の
中央には円錐形の突部82が突設されている。83はテ
ーパ状の側面である。またブロック81には吸着孔84
が突部82を取り囲むようにサークル状に穿孔されてい
る。また好ましくは、実施の形態1と同様に、突部82
のつけ根に細い溝を形成する。
【0024】図8において、ワーク90はリング状であ
り、開口部91を有している。またその内縁部はテーパ
状に面取りされた光反射面92になっている。図9に示
すように突部82を開口部91に嵌入させ、テーパ状の
側面83をワーク90のテーパ状の内縁部92に当接さ
せ、ワーク90を位置精度よくプリント基板93に実装
する。なお後工程で、ワーク90の内部のプリント基板
93上にレーザダイオードが実装される。レーザダイオ
ードから側方へ照射されたレーザ光は光反射面92で上
方へ反射される。すなわちこのワーク90は、光通信ユ
ニットの要素となるものである。
【0025】(実施の形態4)図10は本発明の実施の
形態4のワークを実装中のノズルとワークの断面図であ
る。ノズル50の突部52のつけ根に溝56が形成され
ていない点において図4と相違しており、これ以外の他
の構造は図4と同じである。突部52のつけ根は、溝5
6を形成していないことにより、わずかにアール状の曲
面57になっている。
【0026】ワーク40の開口部43のエッジEはこの
曲面57に当接してノズル50に真空吸着されるので、
図4の場合よりも真空吸着状態におけるワーク40の位
置が微妙に狂いやすいという難点がある。これに対し、
図4の例では、溝56を形成してアール状の曲面57が
生じないようにすることにより、エッジEをテーパ面5
3に当接させてワーク40を正しい位置に真空吸着する
ことができる。
【0027】上記各実施の形態から明らかなように、ノ
ズルの形状、特に突部の形状や吸着孔の配列は、真空吸
着の対象となるワークの形状に応じて設計変更される。
なお実施の形態2〜4のノズルも、図1の電子部品実装
装置に適用される。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ブロック
から下方へ突出する突部をワークの開口部に嵌入させ、
そのテーパ状の側面を開口部の内縁部に当接させること
により、ワークの真空吸着位置を位置決めするので、真
空吸着されたワークが水平方向に位置ずれすることはな
く、位置精度よくプリント基板などに実装できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の電子部品実装装置の斜
視図
【図2】本発明の実施の形態1の光通信ユニットの分解
斜視図
【図3】本発明の実施の形態1のノズルの上下反転斜視
【図4】本発明の実施の形態1のワークを実装中のノズ
ルとワークの断面図
【図5】本発明の実施の形態2のノズルの上下反転斜視
【図6】本発明の実施の形態2のプリント基板の斜視図
【図7】本発明の実施の形態3のノズルの上下反転斜視
【図8】本発明の実施の形態3のワークの斜視図
【図9】本発明の実施の形態3のワークを実装中のノズ
ルとワークの断面図
【図10】本発明の実施の形態4のワークを実装中のノ
ズルとワークの断面図
【図11】従来のワークとノズルの斜視図
【図12】従来のワークとノズルの断面図
【符号の説明】
40,71,90 ワーク 43,73,91 開口部 50,60,80 ノズル 51,61,81 ブロック 52,62,82 突部 53,63,83 テーパ状の側面 55,64,84 吸着孔 56 溝

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】開口部を有するワークを真空吸着する電子
    部品実装用ノズルであって、ブロックと、このブロック
    から下方へ突出して前記開口部に嵌入しかつ前記開口部
    の内縁部に当接するテーパ状の側面を有する突部と、前
    記ブロックに穿孔されて前記ワークの壁部の上面を真空
    吸着する吸着孔とを有することを特徴とする電子部品実
    装用ノズル。
  2. 【請求項2】前記突部が前記開口部に嵌入して前記テー
    パ状の側面が前記内縁部に当接した状態で、前記ブロッ
    クの下面と前記壁部の上面の間にギャップが確保される
    ことを特徴とする請求項1記載の電子部品実装用ノズ
    ル。
  3. 【請求項3】前記突部のつけ根に溝を形成したことを特
    徴とする請求項1または2記載の電子部品実装用ノズ
    ル。
  4. 【請求項4】移載ヘッドのノズルで開口部を有するワー
    クを真空吸着してピックアップし、基板に移送搭載する
    ようにした電子部品実装装置であって、前記ノズルがブ
    ロックと、このブロックから下方へ突出して前記開口部
    に嵌入しかつ前記開口部の内縁部に当接するテーパ状の
    側面を有する突部と、前記ブロックに穿孔されて前記ワ
    ークの壁部の上面を真空吸着する吸着孔とを有すること
    を特徴とする電子部品実装装置。
  5. 【請求項5】前記突部が前記開口部に嵌入して前記テー
    パ状の側面が前記内縁部に当接した状態で、前記ブロッ
    クの下面と前記壁部の上面の間にギャップが確保される
    ことを特徴とする請求項4記載の電子部品実装装置。
  6. 【請求項6】前記突部のつけ根に溝を形成したことを特
    徴とする請求項4または5記載の電子部品実装装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013214590A (ja) * 2012-04-02 2013-10-17 Panasonic Corp 吸着ツール及び部品実装装置
JP2013214589A (ja) * 2012-04-02 2013-10-17 Panasonic Corp 吸着ツール及び部品実装装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013214590A (ja) * 2012-04-02 2013-10-17 Panasonic Corp 吸着ツール及び部品実装装置
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