JPH1134333A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH1134333A JPH1134333A JP18994497A JP18994497A JPH1134333A JP H1134333 A JPH1134333 A JP H1134333A JP 18994497 A JP18994497 A JP 18994497A JP 18994497 A JP18994497 A JP 18994497A JP H1134333 A JPH1134333 A JP H1134333A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット記録ヘッドの、従来の表面処
理方法による、吐出口からの処理剤のノズル内浸入や、
耐摩耗性や耐蝕性の不足を補う製造方法を提供する。 【解決手段】 このため、吐出口５となる面の切断工程
の次に、基材と撥水剤とから成る槽を構成後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口５を形成するように
した。
理方法による、吐出口からの処理剤のノズル内浸入や、
耐摩耗性や耐蝕性の不足を補う製造方法を提供する。 【解決手段】 このため、吐出口５となる面の切断工程
の次に、基材と撥水剤とから成る槽を構成後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口５を形成するように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般にインクと称
する記録液を、微細口から小滴として吐出、飛翔させ、
この小滴の被記録面への付着を以て記録を行うインクジ
ェット記録ヘッド、特に、インク吐出口端面に改良を加
えたインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に関す
るものである。
する記録液を、微細口から小滴として吐出、飛翔させ、
この小滴の被記録面への付着を以て記録を行うインクジ
ェット記録ヘッド、特に、インク吐出口端面に改良を加
えたインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のインクジェット記録ヘッ
ドの吐出口周縁部は、一般的に撥水性になっていること
が吐出安定性に良いことが知られている。また、前記周
縁部は、空気中の塵、ごみ等によって、また、紙等の被
記録材によって擦れ、傷を受け易い環境に置かれる。こ
のため、前記周縁部には、撥水性を有すると共に、ある
程度の耐摩耗性を有する材料を塗布する処理がなされて
いる。
ドの吐出口周縁部は、一般的に撥水性になっていること
が吐出安定性に良いことが知られている。また、前記周
縁部は、空気中の塵、ごみ等によって、また、紙等の被
記録材によって擦れ、傷を受け易い環境に置かれる。こ
のため、前記周縁部には、撥水性を有すると共に、ある
程度の耐摩耗性を有する材料を塗布する処理がなされて
いる。
【０００３】従来適応されている撥水剤及び、塗布する
方法として次のようなものが挙げられる： １）紫外線硬化型の撥水材料を塗布後、紫外線及び熱で
硬化させる、 ２）撥水性有機ポリマーを溶媒に溶かし、塗布後熱で溶
媒を乾燥させ密着させる、 ３）撥水性を有する金属（例えば金）を鍍金にて周縁部
にコートする、 ４）ニッケル鍍金液等に撥水性粒子（例えばテフロン）
を分散させ共析鍍金にて周縁部にコートする、など。
方法として次のようなものが挙げられる： １）紫外線硬化型の撥水材料を塗布後、紫外線及び熱で
硬化させる、 ２）撥水性有機ポリマーを溶媒に溶かし、塗布後熱で溶
媒を乾燥させ密着させる、 ３）撥水性を有する金属（例えば金）を鍍金にて周縁部
にコートする、 ４）ニッケル鍍金液等に撥水性粒子（例えばテフロン）
を分散させ共析鍍金にて周縁部にコートする、など。
【０００４】さらに、近年、記録ヘッドの低価格化の要
求から、基板等の材料にアルミを使用する場合がある。
この場合、吐出口端面には撥水性と耐摩耗性の他、耐蝕
性を有する処理が必要となっている。
求から、基板等の材料にアルミを使用する場合がある。
この場合、吐出口端面には撥水性と耐摩耗性の他、耐蝕
性を有する処理が必要となっている。
【０００５】基板上に液流路のパターン状に感光性材料
の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられた前記
基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設ける工程
と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程と、前
記固体層を前記基板上より除去する工程とを有する製法
で作成される液体噴射記録ヘッドでは、上記処理を固体
層除去後すなわち、吐出口形成後、印刷等で行ってい
る。
の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられた前記
基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設ける工程
と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程と、前
記固体層を前記基板上より除去する工程とを有する製法
で作成される液体噴射記録ヘッドでは、上記処理を固体
層除去後すなわち、吐出口形成後、印刷等で行ってい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来行
われている前記表面処理方法による液体噴射記録ヘッド
は、次のような問題点がある： １）固体層除去後、すなわち吐出口形成後処理を行うた
め、吐出口からノズル内に処理剤が入り込み易く、最悪
の場合吐出方向が曲がって良好な印字が得られない、 ２）また、処理剤が吐出口に入らないように処理するた
め、結果的に処理層が薄くなり、充分な耐摩耗性、耐蝕
性が得られない、など。
われている前記表面処理方法による液体噴射記録ヘッド
は、次のような問題点がある： １）固体層除去後、すなわち吐出口形成後処理を行うた
め、吐出口からノズル内に処理剤が入り込み易く、最悪
の場合吐出方向が曲がって良好な印字が得られない、 ２）また、処理剤が吐出口に入らないように処理するた
め、結果的に処理層が薄くなり、充分な耐摩耗性、耐蝕
性が得られない、など。
【０００７】本発明は以上のような局面にかんがみてな
されたもので、叙上の問題点を解消するためのインクジ
ェット記録ヘッドとその製造方法の提供を目的としてい
る。
されたもので、叙上の問題点を解消するためのインクジ
ェット記録ヘッドとその製造方法の提供を目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、下記の各項（１）〜（８）のいずれかに示すイン
クジェット記録ヘッドまたはその製造方法を提供するこ
とにより、前記目的を達成しようとするものである。
ては、下記の各項（１）〜（８）のいずれかに示すイン
クジェット記録ヘッドまたはその製造方法を提供するこ
とにより、前記目的を達成しようとするものである。
【０００９】（１）基板上に液流路のパターン状に感光
性材料の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられ
た前記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設け
る工程と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程
と、前記固体層を前記基板上より除去する工程とを含む
液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記切断工程
の次に、基材と撥水剤とから成る層を構成後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口を形成することを特
徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （２）前記基材が、硬化性の樹脂であることを特徴とす
る前項（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。
性材料の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられ
た前記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設け
る工程と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程
と、前記固体層を前記基板上より除去する工程とを含む
液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記切断工程
の次に、基材と撥水剤とから成る層を構成後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口を形成することを特
徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （２）前記基材が、硬化性の樹脂であることを特徴とす
る前項（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。
【００１０】（３）前記基材が、接着層を有する樹脂フ
ィルムであることを特徴とする前項（１）記載のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。
ィルムであることを特徴とする前項（１）記載のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１１】（４）基板上に液流路のパターン状に感光
性材料の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられ
た前記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設け
る工程と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程
と、前記固体層を前記基板上より除去する工程を含む液
体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記切断工程に
て前記固体層を露出させず、前記吐出口となる面に撥水
剤から成る層を構成後、エキシマレーザのアブレーショ
ンにて吐出口を形成することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
性材料の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられ
た前記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設け
る工程と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程
と、前記固体層を前記基板上より除去する工程を含む液
体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記切断工程に
て前記固体層を露出させず、前記吐出口となる面に撥水
剤から成る層を構成後、エキシマレーザのアブレーショ
ンにて吐出口を形成することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
【００１２】（５）エネルギー発生素子が、電気的エネ
ルギーを与えることにより発熱し、インクに状態変化を
生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変換体であるこ
とを特徴とする前項（１）及び（４）のいずれか記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
ルギーを与えることにより発熱し、インクに状態変化を
生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変換体であるこ
とを特徴とする前項（１）及び（４）のいずれか記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１３】（６）記録媒体の記録領域の全幅に亘って
吐出口が複数設けられているフルラインタイプのもので
あることを特徴とする前項（１）及び（４）のいずれか
記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
吐出口が複数設けられているフルラインタイプのもので
あることを特徴とする前項（１）及び（４）のいずれか
記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１４】（７）多色用の吐出口が一体成形されたも
のであることを特徴とする前項（１）及び（４）のいず
れか記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
のであることを特徴とする前項（１）及び（４）のいず
れか記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１５】（８）前項（１）ないし（７）のいずれか
記載の製造方法により製造されたことを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド。
記載の製造方法により製造されたことを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド。
【００１６】
【作用】以上のような本発明の構成の液体噴射記録ヘッ
ドでは、吐出口端面の処理を固体層除去前すなわち、吐
出口形成前に行うため、吐出口に処理剤が入り込むこと
がない。従って基材＋撥水剤層あるいは撥水剤層の膜厚
を厚くすることができ、充分な耐摩耗性及び耐蝕性が得
られる。
ドでは、吐出口端面の処理を固体層除去前すなわち、吐
出口形成前に行うため、吐出口に処理剤が入り込むこと
がない。従って基材＋撥水剤層あるいは撥水剤層の膜厚
を厚くすることができ、充分な耐摩耗性及び耐蝕性が得
られる。
【００１７】なお、本発明構成について考察する：基材
＋撥水剤層あるいは撥水剤層の処理後、エキシマレーザ
によるアブレーションにて吐出口を形成し、最後に固体
層を除去して液体噴射記録ヘッドを完成する。
＋撥水剤層あるいは撥水剤層の処理後、エキシマレーザ
によるアブレーションにて吐出口を形成し、最後に固体
層を除去して液体噴射記録ヘッドを完成する。
【００１８】切断工程にて固体層を露出させる場合、撥
水剤層のみを処理することが考えられるが、完成したノ
ズル内の一部が撥水剤で構成されてしまい、インク中の
泡溜り、インクメニスカス不安定を起こす怖れがあるの
で好ましくない。
水剤層のみを処理することが考えられるが、完成したノ
ズル内の一部が撥水剤で構成されてしまい、インク中の
泡溜り、インクメニスカス不安定を起こす怖れがあるの
で好ましくない。
【００１９】基材の硬化性樹脂としては、実施例におい
て後述するように、エポキシ樹脂，フェノール樹脂，不
飽和ポリエステル，アルキド樹脂，尿素樹脂，メラミン
樹脂，ウレタン樹脂，珪素樹脂、等が挙げられるが、耐
薬品性、インク親和性の観点からエポキシ樹脂が好まし
い。硬化方法は、光硬化，２液常温硬化，常温湿気硬
化，加熱硬化等、いかなる方法でも良い。
て後述するように、エポキシ樹脂，フェノール樹脂，不
飽和ポリエステル，アルキド樹脂，尿素樹脂，メラミン
樹脂，ウレタン樹脂，珪素樹脂、等が挙げられるが、耐
薬品性、インク親和性の観点からエポキシ樹脂が好まし
い。硬化方法は、光硬化，２液常温硬化，常温湿気硬
化，加熱硬化等、いかなる方法でも良い。
【００２０】接着層を有する樹脂フィルムとしてはＰ
Ｐ，ＰＥ，ＰＡ，ＰＥＴ、ＰＢＴ、ＰＳＦ、ＰＥＳ、Ｐ
ＥＥＫ、ＰＥＩ等が挙げられる。接着層としては、上記
硬化性の樹脂をフィルムにコートして得られる。
Ｐ，ＰＥ，ＰＡ，ＰＥＴ、ＰＢＴ、ＰＳＦ、ＰＥＳ、Ｐ
ＥＥＫ、ＰＥＩ等が挙げられる。接着層としては、上記
硬化性の樹脂をフィルムにコートして得られる。
【００２１】撥水剤としては、従来から行われている物
が使用できるが、本発明の構成では、吐出口を形成する
前に撥水剤の処理を行うため、ノズル内への入り込みが
ないので比較的厚めの撥水層を形成できる。従って、耐
摩耗性が向上する。また、フィラー入りや、硬化性樹脂
で構成される耐摩耗性撥水剤も適応できる。さらに、樹
脂フィルムを基材にした場合、フィルムを吐出口端面に
接着する前に撥水剤を塗布できるので汎用のフィルムコ
ーターを使用することができる。
が使用できるが、本発明の構成では、吐出口を形成する
前に撥水剤の処理を行うため、ノズル内への入り込みが
ないので比較的厚めの撥水層を形成できる。従って、耐
摩耗性が向上する。また、フィラー入りや、硬化性樹脂
で構成される耐摩耗性撥水剤も適応できる。さらに、樹
脂フィルムを基材にした場合、フィルムを吐出口端面に
接着する前に撥水剤を塗布できるので汎用のフィルムコ
ーターを使用することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、複
数の実施例に基づいて詳細に説明する。
数の実施例に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
（実施例１）図１ないし図５に示した各製作工程手順に
準じて、図６に完成状態の構成模式的斜視図を示す液体
噴射記録ヘッドを作成した。図１は、後述する固体層形
成前の基板の模式的斜視図、図２は、固体層形成後の基
板の模式的平面図及び切断面図、図３，図４は、それぞ
れ液流路構成材料積層後、及び同材料硬化後の各基板の
模式的切断面図、図５は固体層除去後の基板の模式的切
断面図である。
準じて、図６に完成状態の構成模式的斜視図を示す液体
噴射記録ヘッドを作成した。図１は、後述する固体層形
成前の基板の模式的斜視図、図２は、固体層形成後の基
板の模式的平面図及び切断面図、図３，図４は、それぞ
れ液流路構成材料積層後、及び同材料硬化後の各基板の
模式的切断面図、図５は固体層除去後の基板の模式的切
断面図である。
【００２４】まず、液体吐出エネルギー発生素子として
の電気熱変換体２（材質ＨｆＢ２）を形成したアルミ基
板１上に、ポジ型レジストＯＺＡＴＥＣ ＰＬ−２６８
〔商品名、ヘキストジャパン（株）〕から成る乾燥後厚
さ２５μｍ相当の感光層２をスピンナーで２７００ｒｐ
ｍの回転数で４０秒間回転塗布した。この感光層２に、
図６に相当するパターンのマスクを重ね、液流路５形成
予定部分を除く部分に１０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線照
射を行った（図１）。
の電気熱変換体２（材質ＨｆＢ２）を形成したアルミ基
板１上に、ポジ型レジストＯＺＡＴＥＣ ＰＬ−２６８
〔商品名、ヘキストジャパン（株）〕から成る乾燥後厚
さ２５μｍ相当の感光層２をスピンナーで２７００ｒｐ
ｍの回転数で４０秒間回転塗布した。この感光層２に、
図６に相当するパターンのマスクを重ね、液流路５形成
予定部分を除く部分に１０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線照
射を行った（図１）。
【００２５】この場合、液流路５の長さは１ｍｍであり
ノズル密度は１６本／ｍｍでノズル数は１２８本であっ
た。次に１％の苛性ソーダ水溶液にてスプレー現像を行
い、上記電気熱変換体２を含むガラス基板１上の液流路
形成予定部分に厚さ約２５μｍのレリーフの固体層３を
形成した。次に、この固体層３の除去性を高めるため、
５０００ｍＪ／ｃｍ2 の量の紫外線を照射した（図
２）。
ノズル密度は１６本／ｍｍでノズル数は１２８本であっ
た。次に１％の苛性ソーダ水溶液にてスプレー現像を行
い、上記電気熱変換体２を含むガラス基板１上の液流路
形成予定部分に厚さ約２５μｍのレリーフの固体層３を
形成した。次に、この固体層３の除去性を高めるため、
５０００ｍＪ／ｃｍ2 の量の紫外線を照射した（図
２）。
【００２６】次に、以下に示す組成から成る硬化性材料
４を積層した（図３）。
４を積層した（図３）。
【００２７】アデカオプトマーＫＲＭ−４２１０（エポ
キシ樹脂）〔商品名、旭電化工業（株）〕 エポライト３００２（エポキシ樹脂）〔商品名、共栄社
油脂化学工業（株）〕 アデカオプトマーＳＰ−１７０（光重合開始剤）〔商品
名、旭電化工業（株）〕 積層の方法としてはアプリケータを用いて５０μｍの厚
さに塗布した。これに２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を
照射し硬化した後、オリフィスを形成する位置にて切断
しポジ型レジストから成る固体層３の端面を露出させ
た。
キシ樹脂）〔商品名、旭電化工業（株）〕 エポライト３００２（エポキシ樹脂）〔商品名、共栄社
油脂化学工業（株）〕 アデカオプトマーＳＰ−１７０（光重合開始剤）〔商品
名、旭電化工業（株）〕 積層の方法としてはアプリケータを用いて５０μｍの厚
さに塗布した。これに２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を
照射し硬化した後、オリフィスを形成する位置にて切断
しポジ型レジストから成る固体層３の端面を露出させ
た。
【００２８】この端面に上記硬化性材料を塗布し、同様
に上記条件にて硬化した後、以下に示す組成からなる撥
水性材料を塗布した（図４）。
に上記条件にて硬化した後、以下に示す組成からなる撥
水性材料を塗布した（図４）。
【００２９】ＥＨＰＥ−３１５０（エポキシ樹脂）〔商
品名、ダイセル化学工業（株）〕 ケミノックスＡＦＥｐ（ビスＡＦ型エポキシ樹脂）〔商
品名、ＮＯＫ（株）〕 １、４ＨＦＡＢ（フッ素含有ジオール）〔商品名、セン
トラル硝子（株）〕 ＭＦ−１２０（フッ素含有エポキシ樹脂）〔商品名、ト
ーケムプロダクト（株）〕 Ａ−１８７（エポキシ系シランカップリング剤）〔商品
名、日本ユニカー（株）〕 ＳＰ−１７０（カチオン重合触媒）〔商品名、旭電化工
業（株）〕 ジグライム（溶剤） これに上記条件で紫外線を照射し硬化した後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口を形成する。最後に
乳酸メチルに浸漬し、固体層を超音波洗浄槽中にて１０
分間洗浄除去し、記録ヘッドを乾燥させた（図５）。
品名、ダイセル化学工業（株）〕 ケミノックスＡＦＥｐ（ビスＡＦ型エポキシ樹脂）〔商
品名、ＮＯＫ（株）〕 １、４ＨＦＡＢ（フッ素含有ジオール）〔商品名、セン
トラル硝子（株）〕 ＭＦ−１２０（フッ素含有エポキシ樹脂）〔商品名、ト
ーケムプロダクト（株）〕 Ａ−１８７（エポキシ系シランカップリング剤）〔商品
名、日本ユニカー（株）〕 ＳＰ−１７０（カチオン重合触媒）〔商品名、旭電化工
業（株）〕 ジグライム（溶剤） これに上記条件で紫外線を照射し硬化した後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口を形成する。最後に
乳酸メチルに浸漬し、固体層を超音波洗浄槽中にて１０
分間洗浄除去し、記録ヘッドを乾燥させた（図５）。
【００３０】以上のようにして作成した液体噴射記録ヘ
ッド（図６）をインクジェット記録装置本体に装着し、
純水／グリセリン／ダイレクトブラック１５４（水溶性
黒色染料）＝６５／３０／５から成るインクジェットイ
ンクを用いて記録を行ったところ、安定な印字が可能で
あった。
ッド（図６）をインクジェット記録装置本体に装着し、
純水／グリセリン／ダイレクトブラック１５４（水溶性
黒色染料）＝６５／３０／５から成るインクジェットイ
ンクを用いて記録を行ったところ、安定な印字が可能で
あった。
【００３１】（実施例２）第２の実施例として、前記実
施例１と同様に、図６の構成の液体噴射記録ヘッドを作
成した。
施例１と同様に、図６の構成の液体噴射記録ヘッドを作
成した。
【００３２】まず、液体吐出エネルギー発生素子として
電気熱変換体（材質：陽極酸化ＴａＡｌ）を形成したア
ルミ基板上に液状ポジ型レジストＰＭＥＲ−ＡＲ９００
〔商品名、東京応化工業（株）〕をスピンナで２５００
ｒｐｍの回転数で５０秒間回転塗布した後、２０分間乾
燥した。
電気熱変換体（材質：陽極酸化ＴａＡｌ）を形成したア
ルミ基板上に液状ポジ型レジストＰＭＥＲ−ＡＲ９００
〔商品名、東京応化工業（株）〕をスピンナで２５００
ｒｐｍの回転数で５０秒間回転塗布した後、２０分間乾
燥した。
【００３３】この感光層に、ノズル数２４本、ノズルピ
ッチ０．２５ｍｍ、液流路３ｍｍに相当するパターンの
マスクを重ね液流路形成予定部分を除く部分に、４００
０ｍｊ／ｃｍ2 の紫外線の照射を行った。次に、１％苛
性ソーダ水溶液によりスプレー現像を行い、レリーフ状
固体層を形成した。
ッチ０．２５ｍｍ、液流路３ｍｍに相当するパターンの
マスクを重ね液流路形成予定部分を除く部分に、４００
０ｍｊ／ｃｍ2 の紫外線の照射を行った。次に、１％苛
性ソーダ水溶液によりスプレー現像を行い、レリーフ状
固体層を形成した。
【００３４】次に上記固体層の除去性を高めるため、５
０００ｍＪ／ｃｍ2 の量の紫外線照射を行った。次に以
下に示す組成から成る硬化性材料を積層した。
０００ｍＪ／ｃｍ2 の量の紫外線照射を行った。次に以
下に示す組成から成る硬化性材料を積層した。
【００３５】アデカオプトマーＫＲＭ−４２１０（エポ
キシ樹脂）〔商品名、旭電化工業（株）〕 エポライト３００２（エポキシ樹脂）〔商品名、共栄社
油脂化学工業（株）〕 アデカオプトマーＳＰ−１７０（光重合開始剤）〔商品
名、旭電化工業（株）〕 積層の方法としてはアプリケータを用いて５０μｍの厚
さに塗布した。これに２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を
照射し、硬化した後、オリフィスを形成する位置にて切
断し、ポジ型レジストから成る固体層の端面を露出させ
た。
キシ樹脂）〔商品名、旭電化工業（株）〕 エポライト３００２（エポキシ樹脂）〔商品名、共栄社
油脂化学工業（株）〕 アデカオプトマーＳＰ−１７０（光重合開始剤）〔商品
名、旭電化工業（株）〕 積層の方法としてはアプリケータを用いて５０μｍの厚
さに塗布した。これに２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を
照射し、硬化した後、オリフィスを形成する位置にて切
断し、ポジ型レジストから成る固体層の端面を露出させ
た。
【００３６】この端面に、湿気硬化型接着剤スーパーＸ
〔商品名、セメダイン（株）〕を１０μ程度塗布し、そ
こに前記実施例１と同じ撥水剤を塗布硬化したＰＥＳ製
フィルムを貼り合わせる。続いてエキシマレーザのアブ
レーションにて吐出口を形成する。最後に乳酸メチルに
浸漬し、固体層を超音波洗浄槽中にて１０分間洗浄除去
し、記録ヘッドを乾燥させた。さらに、実施例１と同じ
インクジェットインクを用いて記録を行ったところ、安
定な印字が可能であった。
〔商品名、セメダイン（株）〕を１０μ程度塗布し、そ
こに前記実施例１と同じ撥水剤を塗布硬化したＰＥＳ製
フィルムを貼り合わせる。続いてエキシマレーザのアブ
レーションにて吐出口を形成する。最後に乳酸メチルに
浸漬し、固体層を超音波洗浄槽中にて１０分間洗浄除去
し、記録ヘッドを乾燥させた。さらに、実施例１と同じ
インクジェットインクを用いて記録を行ったところ、安
定な印字が可能であった。
【００３７】（実施例３）図７ないし図１０に示した各
製作工程手順に準じて、図６の構成の液体噴射記録ヘッ
ドを作成した。図７（ａ），（ｂ）は、それぞれ固体層
形成後の基板平面図及びそのＡ−Ａ切断面図、図８は撥
水層形成後の切断面図、図９は固体層除去後の切断面図
である。
製作工程手順に準じて、図６の構成の液体噴射記録ヘッ
ドを作成した。図７（ａ），（ｂ）は、それぞれ固体層
形成後の基板平面図及びそのＡ−Ａ切断面図、図８は撥
水層形成後の切断面図、図９は固体層除去後の切断面図
である。
【００３８】まず、液体吐出エネルギー発生素子として
の電気熱変換体（材質ＨｆＢ２）を形成したアルミ基板
１上に、ポジ型レジストＯＺＡＴＥＣ ＰＬ−２６８
〔ヘキストジャパン（株）〕から成る乾燥後厚さ２５μ
ｍ相当の感光層をスピンナで２７００ｒｐｍの回転数で
４０秒間回転塗布した。この感光層に図６に相当するパ
ターンのマスクを重ね、液流路形成予定部分を除く部分
に１０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線照射を行った。
の電気熱変換体（材質ＨｆＢ２）を形成したアルミ基板
１上に、ポジ型レジストＯＺＡＴＥＣ ＰＬ−２６８
〔ヘキストジャパン（株）〕から成る乾燥後厚さ２５μ
ｍ相当の感光層をスピンナで２７００ｒｐｍの回転数で
４０秒間回転塗布した。この感光層に図６に相当するパ
ターンのマスクを重ね、液流路形成予定部分を除く部分
に１０００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線照射を行った。
【００３９】この場合、液流路の長さは０．８ｍｍであ
り、ノズル密度は１６本／ｍｍで、ノズル数は１２８本
であった。次に１％の苛性ソーダ水溶液にてスプレー現
像を行い、上記電気熱変換体２を含むガラス基板１上の
液流路形成予定部分に厚さ２５μｍのレリーフの固体層
３を形成した（図７（ａ））。
り、ノズル密度は１６本／ｍｍで、ノズル数は１２８本
であった。次に１％の苛性ソーダ水溶液にてスプレー現
像を行い、上記電気熱変換体２を含むガラス基板１上の
液流路形成予定部分に厚さ２５μｍのレリーフの固体層
３を形成した（図７（ａ））。
【００４０】次に、固体層３の除去性を高めるため、５
０００ｍＪ／ｃｍ2 の量の紫外線を照射した。次に以下
に示す組成から成る硬化性材料を積層した。
０００ｍＪ／ｃｍ2 の量の紫外線を照射した。次に以下
に示す組成から成る硬化性材料を積層した。
【００４１】アデカオプトマーＫＲＭ−４２１０（エポ
キシ樹脂）〔商品名、旭電化工業（株）〕 エポライト３００２（エポキシ樹脂）〔商品名、共栄社
油脂化学工業（株）〕 アデカオプトマーＳＰ−１７０（光重合開始剤）〔商品
名、旭電化工業（株）〕 積層の方法としてはアプリケータを用いて５０μｍの厚
さに塗布した。これに２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を
照射し硬化した後、オリフィスを形成する位置にて切断
した（図７（ｂ））。
キシ樹脂）〔商品名、旭電化工業（株）〕 エポライト３００２（エポキシ樹脂）〔商品名、共栄社
油脂化学工業（株）〕 アデカオプトマーＳＰ−１７０（光重合開始剤）〔商品
名、旭電化工業（株）〕 積層の方法としてはアプリケータを用いて５０μｍの厚
さに塗布した。これに２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を
照射し硬化した後、オリフィスを形成する位置にて切断
した（図７（ｂ））。
【００４２】各端面に、以下に示す組成から成る撥水性
材料を塗布した（図８）。
材料を塗布した（図８）。
【００４３】ＥＨＰＥ−３１５０（エポキシ樹脂）〔商
品名、ダイセル化学工業（株）〕 ケノミックスＡＦＥｐ（ビスＡＦ型エポキシ樹脂）〔商
品名、ＮＯＫ（株）〕 １、４ＨＦＡＢ（フッ素含有ジオール）〔商品名、セン
トラル硝子（株）〕 ＭＦ−１２０（フッ素含有エポキシ樹脂）〔商品名、ト
ーケムプロダクト（株）〕 Ａ−１８７（エポキシ系シランカップリング剤）〔商品
名、日本ユニカー（株）〕 ＳＰ−１７０（カチオン重合触媒）〔商品名、旭電化工
業（株）〕 ジグライム（溶剤） これに上記条件で紫外線を照射し硬化した後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口を形成する。最後に
乳酸メチルに浸漬し、固体層３を超音波洗浄槽中にて１
０分間洗浄除去し、記録ヘッドを乾燥させた（図９）。
品名、ダイセル化学工業（株）〕 ケノミックスＡＦＥｐ（ビスＡＦ型エポキシ樹脂）〔商
品名、ＮＯＫ（株）〕 １、４ＨＦＡＢ（フッ素含有ジオール）〔商品名、セン
トラル硝子（株）〕 ＭＦ−１２０（フッ素含有エポキシ樹脂）〔商品名、ト
ーケムプロダクト（株）〕 Ａ−１８７（エポキシ系シランカップリング剤）〔商品
名、日本ユニカー（株）〕 ＳＰ−１７０（カチオン重合触媒）〔商品名、旭電化工
業（株）〕 ジグライム（溶剤） これに上記条件で紫外線を照射し硬化した後、エキシマ
レーザのアブレーションにて吐出口を形成する。最後に
乳酸メチルに浸漬し、固体層３を超音波洗浄槽中にて１
０分間洗浄除去し、記録ヘッドを乾燥させた（図９）。
【００４４】以上のようにして作成した液体噴射記録ヘ
ッドをインクジェット記録装置本体に装着し、純水／グ
リセリン／ダイレクトブラック１５４（水溶性黒色染
料）＝６５／３０／５から成るインクジェットインクを
用いて記録を行ったところ、安定な印字が可能であっ
た。
ッドをインクジェット記録装置本体に装着し、純水／グ
リセリン／ダイレクトブラック１５４（水溶性黒色染
料）＝６５／３０／５から成るインクジェットインクを
用いて記録を行ったところ、安定な印字が可能であっ
た。
【００４５】続いて、キヤノンＢＪカートリッジＢＣ−
０１〔商品名、キヤノン（株）〕を比較例として、印字
耐久テストを実施した。テスト方法は、タンクに充填し
たインクが無くなると、インク再充填を５回行い、印字
品質の経時変化を調べた。本実施例のインクジェットノ
ズルを装着した前記ＢＪカートリッジは、最後まで印字
品質の変化が無く良好な結果が得られた。比較例のＢＪ
カートリッジは５回目のインク充填の後から徐々に印字
品質の変化が見られ、罫線等の直線が縒れるようになっ
て来た。
０１〔商品名、キヤノン（株）〕を比較例として、印字
耐久テストを実施した。テスト方法は、タンクに充填し
たインクが無くなると、インク再充填を５回行い、印字
品質の経時変化を調べた。本実施例のインクジェットノ
ズルを装着した前記ＢＪカートリッジは、最後まで印字
品質の変化が無く良好な結果が得られた。比較例のＢＪ
カートリッジは５回目のインク充填の後から徐々に印字
品質の変化が見られ、罫線等の直線が縒れるようになっ
て来た。
【００４６】耐久テスト後のノズルの周辺を観察したと
ころ、比較例の周辺には、ごみ等を引きずったと思われ
る傷が多数見られ、吐出口のエッジ部分にも傷があり、
この傷にそってインクが付着していたのに対して、本実
施例の周辺はほとんど変化が無く、インクの付着も無か
った。
ころ、比較例の周辺には、ごみ等を引きずったと思われ
る傷が多数見られ、吐出口のエッジ部分にも傷があり、
この傷にそってインクが付着していたのに対して、本実
施例の周辺はほとんど変化が無く、インクの付着も無か
った。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の吐出口端
面の改良されたインクジェット記録ヘッドは、インクの
吐出安定性に優れ、長期に亘って外因による傷を受け難
い摩耗性に優れ、基板材料等の耐蝕性に優れるヘッドが
得られる。
面の改良されたインクジェット記録ヘッドは、インクの
吐出安定性に優れ、長期に亘って外因による傷を受け難
い摩耗性に優れ、基板材料等の耐蝕性に優れるヘッドが
得られる。
【図１】 実施例１の固体層形成前の模式的斜視図
【図２】 固体層形成後の基板の模式的平面図（ａ）と
切断面図（ｂ）
切断面図（ｂ）
【図３】 液流路構成材料積層後の基板の模式的切断面
図
図
【図４】 液流路構成材料硬化後の基板の模式的切断面
図
図
【図５】 固体層除去後の基板の模式的切断面図
【図６】 完成状態のインクジェット記録ヘッドの模式
的斜視図
的斜視図
【図７】 実施例３の固体層形成後の基板平面図（ａ）
及びそのＡ−Ａ断面図（ｂ）
及びそのＡ−Ａ断面図（ｂ）
【図８】 撥水剤層形成後の切断面図
【図９】 固体層除去後の切断面図
１ アルミ基板 ２ 液体吐出エネルギー発生素子 ３ 固体層 ４ 液流路構成材料 ５ 液流路 ６ 液供給口
Claims (8)
- 【請求項１】 基板上に液流路のパターン状に感光性材
料の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられた前
記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設ける工
程と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程と、
前記固体層を前記基板上より除去する工程とを含む液体
噴射記録ヘッドの製造方法において、前記切断工程の次
に、基材と撥水剤とから成る層を構成後、エキシマレー
ザのアブレーションにて吐出口を形成することを特徴と
するインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記基材が、硬化性の樹脂であることを
特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの
製造方法。 - 【請求項３】 前記基材が、接着層を有する樹脂フィル
ムであることを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 基板上に液流路のパターン状に感光性材
料の固体層を設ける工程と、この固体層が設けられた前
記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設ける工
程と、後に吐出口となる面を切断にて形成する工程と、
前記固体層を前記基板上より除去する工程を含む液体噴
射記録ヘッドの製造方法において、 前記切断工程にて前記固体層を露出させず、前記吐出口
となる面に撥水剤から成る層を構成後、エキシマレーザ
のアブレーションにて吐出口を形成することを特徴とす
るインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 エネルギー発生素子が、電気的エネルギ
ーを与えることにより発熱し、インクに状態変化を生ぜ
しめて吐出を行わせるための電気熱変換体であることを
特徴とする請求項１及び４のいずれか記載のインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 記録媒体の記録領域の全幅に亘って吐出
口が複数設けられているフルラインタイプのものである
ことを特徴とする請求項１及び４のいずれか記載のイン
クジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 多色用の吐出口が一体成形されたもので
あることを特徴とする請求項１及び４のいずれか記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれか記載の製造
方法により製造されたことを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18994497A JPH1134333A (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18994497A JPH1134333A (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1134333A true JPH1134333A (ja) | 1999-02-09 |
Family
ID=16249826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18994497A Withdrawn JPH1134333A (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1134333A (ja) |
-
1997
- 1997-07-15 JP JP18994497A patent/JPH1134333A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |