JPH11338165A - スクリーン版の露光方法及び露光装置 - Google Patents

スクリーン版の露光方法及び露光装置

Info

Publication number
JPH11338165A
JPH11338165A JP10146452A JP14645298A JPH11338165A JP H11338165 A JPH11338165 A JP H11338165A JP 10146452 A JP10146452 A JP 10146452A JP 14645298 A JP14645298 A JP 14645298A JP H11338165 A JPH11338165 A JP H11338165A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
glass dry
dry plate
screen plate
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10146452A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3347058B2 (ja
Inventor
Takashi Kimura
高士 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MESH KK
Original Assignee
MESH KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MESH KK filed Critical MESH KK
Priority to JP14645298A priority Critical patent/JP3347058B2/ja
Publication of JPH11338165A publication Critical patent/JPH11338165A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3347058B2 publication Critical patent/JP3347058B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 刷版製造コストの削減と精度の向上が達せら
れるスクリーン版の吸引密着露光方法及び露光装置を提
供する。 【解決手段】 ガラス乾板4上にスクリーン版2を吸引
密着させて露光処理するに際し、枠型に形成したガラス
乾板ホルダー5の段差部8に上記ガラス乾板4の周縁を
支持すると共に、該カラス乾板4の表面にスクリーン版
2を重ね、ついで、上記ガラス乾板ホルダー5に設けら
れた吸引路7a、7bを介してガラス乾板4及び/又は
スクリーン版2を直接真空吸引してガラス乾板4上に密
着させ、露光処理する。その際、スクリーン版2とガラ
ス乾板4とを垂直に対向させて配置し、かつ、ガラス乾
板4を懸垂保持してスライダー式に移動させ、スクリー
ン版2に密着するよう構成することにより縦型の露光装
置21も得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、スクリーン版の
露光方法及びこれに用いる露光装置に関し、特に写真製
版における吸引密着露光法の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の吸引密着露光法では、露光に際し
て、図11に示すように、スクリーン版2とガラス乾板
4とを密着させる手段として、ベース用ガラス14と密
着用ラバー15との間に、スクリーン版2とガラス乾板
4とを挟み込み、ベース用ガラス14と密着用ラバー1
5の間の空気を抜きとって真空状態にすることにより、
結果としてスクリーン版2とガラス乾板4との密着を図
っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来法
では、密着用ラバーを使用しているため、スクリーン枠
に過度の力がかかってスクリーン枠が変形し、その結
果、露光が終了してスクリーン枠が密着から開放された
時、画像に歪みが生じていた。また、ベース用ガラス上
のガラス乾板及びスクリーン枠にはそれぞれの厚みと高
さがあるため、密着用ラバーとスクリーン枠、乃至はベ
ース用ガラスの端部との間に一部密着できない箇所が生
じる。この点も露光終了後の画像に歪みを生ずる原因と
なっており、好ましくなかった。
【0004】また、ベース用ガラスや密着用ラバーを含
め比較的数多く器材を積層使用するので、これら器材面
にごみなど異物が付着する機会が多く、その上、装置が
横型で内部空間が手狭なため、付着した異物の除去が困
難であり、これが基で露光処理後の刷版にピンホールが
生ずることが多い。さらに、露光用光源とガラス乾板と
の間にベース用ガラスが介在するため、露光用光源から
の光量がベース用ガラスに吸収されて減衰し有効に利用
できないという欠点があった。
【0005】この発明は、従来型の吸引密着露光法にみ
られる上記諸欠点を改良すべくなされたものであって、
その目的とするところは、ベース用ガラスや密着用ラバ
ーが不要であって、露光用光源からの光量が有効に活用
でき、かつ、密着露光終了後の画像に歪みやピンホール
の生ずる恐れがなく、従来法に比して刷版製造コストの
削減と品質の改良が達せられるスクリーン版の露光方
法、及びこれに好適な露光装置を提供するところにあ
る。
【0006】上記の目的を達成するため、本発明者は、
ベース用ガラスと密着用ラバーの間でスクリーン版とガ
ラス乾板を挟み込むのではなく、スクリーン版を直接ガ
ラス乾板上に真空吸引によって密着させれば従来の諸問
題をことごとく解決し得るという知見に基づき、この発
明を完成するに至った。
【0007】
【課題を解決するための手段】すなわち、この発明の請
求項1記載の発明は、露光用光源に直接対峙させたガラ
ス乾板上にスクリーン版を重ね合わせ、真空吸引によっ
てスクリーン版をガラス乾板表面に密着させて露光処理
することを特徴とするスクリーン版の露光方法をその要
旨する。
【0008】このように本発明では、ガラス乾板表面に
スクリーン版を吸引密着させるに際し、密着用ラバーを
使用しないため、スクリーン枠に過度の力がかかって変
形することがなく、その結果、露光終了後にスクリーン
枠を密着から開放しても画像に歪みが生ずることがな
い。また、ベース用ガラスを用いないため光源からの光
はガラス乾板に直接照射され、従来のようにベース用ガ
ラスにより光量が吸収され減衰する心配がない。さらに
また、ベース用ガラスや密着用ラバーの汚れ、塵埃の付
着などによるトラブルも払拭される。
【0009】また、この発明の請求項2記載のように、
ガラス乾板及びスクリーン版を立設状態において密着さ
せる縦型のスクリーン版の露光方法においては、特に大
型のスクリーンの場合、横型の従来法に比して、装置の
設置面積が縮小でき、露光操作も簡略化されて好都合で
ある。
【0010】ガラス乾板表面にスクリーン版を真空吸引
により密着させて露光処理する方法としては、請求項3
に記載するような手段が好ましく採用できる。すなわ
ち、枠型に形成したガラス乾板ホルダーの内縁側表面に
上記ガラス乾板の周縁を保持すると共に、該ガラス乾板
表面にスクリーン版を重合させて配置し、ついで、上記
ホルダーに形成された吸引路を介してスクリーン版を真
空吸引して上記ガラス乾板表面に密着させ、露光処理す
るスクリーン版の露光方法である。
【0011】また、この発明の請求項4記載のように、
ガラス乾板ホルダーの内縁側表面に、ガラス乾板の厚み
に相当する深さの段差部を形成しておくと、ガラス乾板
を当該ホルダーに載置するに際し、その位置決めが容易
であり、また、ガラス乾板とガラス乾板ホルダーの表面
を面一の平面に形成できるので、露光後の画像に歪みが
生じないという利点がある。
【0012】また、請求項2記載のように、ガラス乾板
及びスクリーン版を立設状態において密着させる縦型の
スクリーン版の露光方法としては、請求項5に記載する
ような手段が好ましく採用できる。すなわち、ガラス乾
板ホルダーを立設させて配置し、段差部に形成されたガ
ラス乾板吸引路を介して該段差部にガラス乾板の周縁を
吸引保持すると共に、該ガラス乾板表面にスクリーン版
を重合させて配置し、前記ホルダーの外縁側表面に形成
されたスクリーン版吸引路を介してスクリーン版を真空
吸引して上記ガラス乾板表面に密着させ、露光処理する
スクリーン版の露光方法である。
【0013】さらに、この発明のうち請求項6記載の発
明は、露光用光源に直接対峙させたガラス乾板表面にス
クリーン版を密着させて配置し、露光処理するための露
光装置であって、その要旨とするところは、前記ガラス
乾板を保持する枠型のガラス乾板ホルダーを備え、該ガ
ラス乾板ホルダーは、その表面の内縁側にガラス乾板を
支持するための段差部を有し、また、この段差部を含む
上記ホルダー表面には複数の吸引路が並列に形成されて
おり、少なくとも前記スクリーン版をその外縁側吸引路
により吸引して前記ガラス乾板表面に密着可能に構成さ
れてなることを特徴とする。
【0014】このような露光装置によれば、ベース用ガ
ラスと密着用ラバーが不要なため、露光部の構造が簡略
化できる。小形のスクリーン版を対象とするものは従来
どおり横型の装置とすることもできるが、スクリーンが
大形の場合は、後述するように、縦型とする方が使い易
くて好ましい。前者の場合、上記段差部及び該段差部に
付属する吸引路は必ずしも必要なものではないが、これ
があるとカラス乾板を正確に位置決めして載置でき、し
かも、ずれが防止できて好ましい。また、請求項7記載
のように、該段差部をガラス乾板の厚みに相当する深さ
に形成しておくと、この上に吸引密着されたスクリーン
の要部全体が平坦に保持されるので、伸縮性の小さいス
クリーン、例えば、ステンレスメッシュに対しても、折
れ傷が生じ品質を損ねる心配がない。
【0015】また、この発明のうち請求項8記載の発明
は、大型のスクリーン版を対象に構成された縦型の露光
装置に関し、その特徴とするところは、請求項6または
7記載のスクリーン版の露光装置であって、ガラス乾板
ホルダーの周縁を把持し、これを垂直姿勢に維持する支
持部材と、スクリーン版をガラス乾板ホルダーに対向さ
せて立設配置するスクリーン枠固定具と、上記支持部材
を懸垂して前後方向に移動させ、前記スクリーン版に近
接ないし離反させるためのスライダー装置とを備えてい
ることにある。上記カラス乾板ホルダーの材質は、特に
限定されるものではないが、例えば黒色アルマイトのよ
うな軽量な金属材料を用いて作製しておくと、懸垂され
るホルダーの軽量化が図れて好ましい。
【0016】かかる構成からなる装置では、横型に構成
した装置よりも設置スペースが小さくなり、しかも、立
設したスクリーン版とガラス乾板ホルダーとの間に人が
出入りてきる程度の間隔が保持できるので、装置内での
作業が可能となり、ガラス乾板やスクリーン枠の取付
け、移動作業がし易く、スクリーン版やガラス乾板に異
物が付着したときも、作業員が中に入って十分に清掃す
ることができるなど有利な点が多い。
【0017】また、請求項9記載のように、前記支持部
材にθ角方向、X軸方向、Y軸方向の位置微調整機構を
付設するときは、支持部材に保持されたガラス乾板の縦
軸、横軸の位置や傾きを微調整して干渉縞の発生を防止
することができ、露光精度の向上にとって特に好ましい
ことである。
【0018】
【発明の実施の形態】つぎに、図に基づいてこの発明の
実施の形態を説明する。図1及び図2は、いずれもこの
発明に係るスクリーン版の露光方法に関し、前者は当該
露光装置を横型に、後者はこれを縦型に構成し配置した
場合の概略側面図である。これらの図において、1は露
光装置、2はスクリーン版、3はスクリーン枠、4はガ
ラス乾板、5はガラス乾板ホルダー、6は露光用光源で
ある。
【0019】図3はこの発明に係る上記ガラス乾板ホル
ダー5の一例を示す平面図である。該ガラス乾板ホルダ
ー5は、それぞれ一対の吸着バーAとBとを枠型に組立
てて構成され、その内縁側表面には段差部8が設けられ
ている(図1〜2参照)。この段差部8にガラス乾板4
の周縁部を載置して、ガラス乾板4を水平または垂直に
支持する。この場合、段差部8の深さh はガラス乾板4
の厚みと同等に設定されているので、ここに保持された
ガラス乾板4は枠型ホルダー5の表面と面一の平面を形
成する。
【0020】図4(a)は、ガラス乾板ホルダー5を構
成する吸着バーAの平面図であり、図4(b)はその短
辺方向側面図、図4(c)は図4(a)中のL−L線に
沿う断面拡大図である。この吸着バーAの表面には5本
のアリ溝9a、9b、9c、9d、9eが長辺方向に穿
設され、そのうち3本のアリ溝9a、9b、9cは内縁
側の段差部8に、他の2本のアリ溝9d、9eは外縁側
にあって、それぞれ吸引孔10a、10bを介してガラ
ス乾板4及びスクリーン版2を真空吸引するように構成
されている。上記吸引孔10a、10bは、図示しない
真空吸引装置に連結され、アリ溝と協働し全体としてガ
ラス乾板吸引路7a及びスクリーン版吸引路7bを構成
している。
【0021】図5(a)は、上記吸着バーAと共にガラ
ス乾板ホルダー5を構成する吸着バーBの平面図であ
り、図5(b)はその短辺方向側面図、図5(c)は一
部拡大平面図、図5(d)は同長辺方向側面図である。
図に示す通り、この吸着バーBにはこれを吸着バーAと
組合わせて枠型に形成したとき、前記アリ溝9a、9
b、9c、9d、9eとそれぞれ連通し、同一の吸引作
用を呈する5本のアリ溝11a、11b、11c、11
d、11eが形成されている。
【0022】上記吸着バーAとBを枠型に組立てるに当
っては、ネジ止め、嵌合、接着など各種の方法を採用し
うるが、ここでは、図5(b)に示すネジ穴12から図
4(b)のネジ穴13に止めネジを捩じ込むことにより
係止する方法が採用されている。このように本発明のガ
ラス乾板ホルダーは組立、分解自在な吸着バーからなる
ので、各部の寸法が異なる数種の吸着バーを揃えておく
ことにより、寸法の大小異なるガラス乾板の保持に容易
に対応することができる。
【0023】図1に示した方法で本発明を実施するに当
っては、前記のごときガラス乾板ホルダー5を露光機に
水平に取り付け、その段差部8にガラス乾板4の周縁を
載置して位置決めする。この場合、段差部8に設けられ
たガラス乾板用吸引路7a(アリ溝9a〜9c、11a
〜11c及び吸引孔10aからなる)は特に機能させる
必要はないので、吸引孔10aを真空ポンプへ連結する
開閉弁は閉じておけばよい。ついで、ガラス乾板4の上
にスクリーン版2を重ねた後,真空ポンプを稼働させ吸
引孔10bに通ずる開閉弁を開放すれば、アリ溝9d、
9e及び11d、11eによりスクリーン版が吸引さ
れ、図に示すように、ガラス乾板4の表面にスクリーン
版2が吸引密着される。この場合、隣接するアリ溝間に
は適宜の間隔をおいて複数の細溝が設けられ、これによ
り相互に連結されているが、これに限らず、各アリ溝ご
とにそれぞれ別個の吸引孔を設けておくことも可能であ
る。また、アリ溝や吸引孔の数、或いはそれらの設定位
置も、前記の例に限らず、必要に応じ適宜変更できるこ
とはいうまでもない。なお、特殊な例としては、外縁側
表面にアリ溝は設けず、その代わり、その表面全周に亘
って多数の吸引孔を所定の間隔で配置して構成されるこ
ともある。
【0024】また、別法として、上記のガラス乾板に代
わり、厚み100μ前後の薄いポシフィルムを原板とす
るときは、、ガラス乾板と同等か少し薄めの透明ガラス
板をガラス乾板ホルダーの段差部で保持し、その上にポ
ジフィルムを重ねて載置し、ついで、上記の方法に従
い、その表面にスクリーン版を吸引密着させて露光する
ことも可能である。
【0025】また、図2に示した方法で本発明を実施す
るに当っては、露光機1に立設して配置されたガラス乾
板ホルダー5の段差部8にガラス乾板4の周縁を嵌合支
持させると共に、真空ポンプを稼働してガラス乾板吸引
路7aを機能させ、アリ溝(9a〜9c及び11a〜1
1c)によりガラス乾板4を吸引保持させる。ついで、
スクリーン枠固定手段を介して垂直に支持されたスクリ
ーン版2に上記ホルダー5を近接させてガラス乾板4と
スクリーン版2を重合させ,しかる後、吸引孔10bに
繋がる真空開閉弁を開放して、アリ溝(9d、9e及び
11d、11e)によりスクリーン版を吸引すると、図
に示すように、ガラス乾板4の表面にスクリーン版2が
吸引密着される。
【0026】図6は、図2に示した方法を実施するのに
特に好ましい露光装置を示した斜視図である。図のごと
く、この露光装置21は、ガラス乾板4の周辺部を吸引
し保持する枠型のガラス乾板ホルダー5と、スクリーン
版2を前記ガラス乾板4に対向させて立設固定するスク
リーン枠保持具22と、前記ガラス乾板ホルダー5の周
縁を把持し垂直姿勢に維持する支持部材32と、該支持
部材32を懸垂して前後方向に移動させ、前記スクリー
ン版2に近接ないし離反させるためのスライダー装置2
3とを備え、また、前記ガラス乾板ホルダー5の背後に
所定の距離をおいて露光用光源26が配置されている。
【0027】上記スクリーン枠保持具22は、図7に示
すように、構造枠24に立設され、上下の雄ネジ部30
a、30bにおいて右巻き、左巻きに溝つけされた左右
2本の回転式支持棒25と、その両端を雌ネジ孔31
a、31bにより上記回転式支持棒に螺合させて取り付
けられた上下一対の保持バー27、28とからなってい
る。そして、上下の保持バー27と28が互いに接近す
る方向に上記回転式支持棒25をモータ29により回転
させると、上記保持バー27と28間にスクリーン枠3
が自動的に挟持され固定される。
【0028】図8〜10は、ガラス乾板ホルダー5を装
着する支持部材32の構成を示す説明図であり、このう
ち図8はその正面図、図9はガラス乾板ホルダー5を装
着した支持部材32を正面側からみた斜視図、図10は
同じく裏面側からみた斜視図である。図のごとく、支持
部材32は、θ角位置調整プレートa、Y軸位置調整プ
レートb、X軸位置調整プレートc、ベース枠dからな
り、これら各プレートが具備する位置調整機構を介し
て、θ角位置調整プレートaに把持されたガラス乾板ホ
ルダー5のθ角方向、X軸方向、Y軸方向の位置を微調
整することができる。
【0029】上記各プレートが具備する位置調整機構の
うち、θ角のそれは、モータfを動力源としてラック・
アンド・ピニオン形式のθ角微調整装置eを駆動させ、
図8に示すごとく、±3°の角度範囲でガラス乾板4を
中心点oの周りに回転させることにより、微調整可能に
構成されている。なお、図中gはθ角位置調整プレート
aの四隅に設けられた回転ガイド輪であり、yは当該ガ
イド輪gを受納しかつ円周方向の移動をガイドすべくY
軸位置調整プレートbの表面四隅に設けられた円弧状レ
ールである。
【0030】つぎに、Y軸の位置調整機構は、図8の点
線で示すように、Y軸位置調整プレートbの左右垂直枠
の裏面に着設された雌ネジ部m、m´と、これら左右の
雌ネジ部m、m´に螺合された軸棒k、k´と、X軸位
置調整プレートcの左右垂直枠の表面に着設され、上記
軸棒k、k´を挿通・支持する軸受部n、n´とを備
え、モータiの駆動力を左右一対のプーリーj、j´を
介して上記軸棒k、k´に伝達し回転させることによ
り、Y軸方向への微動を可能にするものである。
【0031】また、X軸位置調整機構は、図10に示す
ごとく、ラック・アンド・ピニオン形式のX軸微調整装
置pをモータqにより稼働させることにより、支持部材
32裏面四隅のガイド機構sに沿って可動可能に支持さ
れたX軸位置調整プレートcをX軸方向に微動させ、所
望の位置に設定するよう構成されている。上記のごとき
位置調整機構を備えた支持部材を採用すると、ガラス乾
板の位置が不適正な場合にみられる光の干渉が効果的に
防止されるので、焦点ぼけがおこらず鮮明な画像が得ら
れるという利点がある。
【0032】なお、該支持部材32の側面及び構造枠2
4には、図6と図8に示すように、それぞれ相対向する
位置に枠体用クランパー33が設けられており、これに
よりスクリーン版に対しガラス乾板の正確かつ安全な接
近と固定的保持が可能となっている。
【0033】
【発明の効果】この発明は、前記のごとき露光方法及び
これに用いる露光装置を採用しているから、従来法に比
して露光方式が簡略で、光源からの光量が有効に利用で
き、しかも、密着露光終了後の画像に歪みやピンホール
の生ずる恐れがなくなり、刷版製造コストの削減と精度
の向上が達せられる。特に、露光装置を縦型に構成した
ときは、最新の大型テレビジョン用特殊画面の製造に際
して有利に適用できるスクリーン版の露光装置が提供さ
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係るスクリーン版の露光方法の一例
を示す概略側面図
【図2】同じくこの発明に係るスクリーン版の露光方法
の他の例を示す概略側面図
【図3】この発明に係るガラス乾板ホルダーの一例を示
す図
【図4】同カラス乾板保持具を構成する吸着バーAの構
造を示す図であり、図4(a)はその平面図、図4
(b)は短辺方向側面図、図4(c)は図4(a)中の
L−L線に沿う断面拡大図
【図5】同ガラス乾板ホルダーを構成する吸着バーBの
構造を示す図であり、図5(a)はその平面図、図5
(b)は短辺方向側面図、図5(c)は一部拡大平面
図、図5(d)は同長辺方向側面図
【図6】この発明に係る露光装置の一例を示す斜視図
【図7】同露光装置のスクリーン枠固定具を示す斜視図
【図8】この発明に係るガラス乾板ホルダー装着用支持
部材33の構成を示す正面図
【図9】ガラス乾板ホルダーを装着した同支持部材33
の正面側からみた斜視図
【図10】同じく裏面側からみた斜視図
【図11】従来の吸引密着露光法を示す概略側面図であ
る。
【符号の説明】
1、21 … 露光装置 2 … スクリーン版 4 … ガラス乾板 5 … ガラス乾板ホルダー 6、26 … 露光用光源 7a、7b … 吸引路 8 … 段差部 9a、9b、9c、9d、9e … アリ溝 10a、10b …吸引孔 11a、11b、11c、11d、11e … アリ溝 22 … スクリーン枠保持具 23 …スライダー装置

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 露光用光源に直接対峙させたガラス乾板
    上にスクリーン版を重ね合わせ、真空吸引によってスク
    リーン版をガラス乾板表面に密着させて露光処理するこ
    とを特徴とするスクリーン版の露光方法。
  2. 【請求項2】 ガラス乾板及びスクリーン版を立設状態
    において密着させる請求項1記載のスクリーン版の露光
    方法。
  3. 【請求項3】 枠型に形成したガラス乾板ホルダーの内
    縁側表面にガラス乾板の周縁を保持すると共に、該ガラ
    ス乾板表面にスクリーン版を重合させて配置し、上記ガ
    ラス乾板ホルダーに形成された吸引路を介してスクリー
    ン版を真空吸引して上記ガラス乾板表面に密着させ、露
    光処理することを特徴とする請求項1または2記載のス
    クリーン版の露光方法。
  4. 【請求項4】 ガラス乾板ホルダーの内縁側表面に、ガ
    ラス乾板の厚みに相当する深さの段差部が形成されてい
    る請求項1記載のスクリーン版の露光方法。
  5. 【請求項5】 請求項4記載のスクリーン版の露光方法
    において、前記ガラス乾板ホルダーを立設させて配置
    し、前記段差部に形成されたガラス乾板吸引路を介して
    該段差部にカラス乾板の周縁を吸引保持すると共に、該
    ガラス乾板表面にスクリーン版を重合させて配置し、前
    記ホルダーの外縁側表面に形成されたスクリーン版吸引
    路を介してスクリーン版を真空吸引して上記ガラス乾板
    表面に密着させ、露光処理することを特徴とするスクリ
    ーン版の露光方法。
  6. 【請求項6】 露光用光源に直接対峙させたガラス乾板
    表面にスクリーン版を密着させて配置し、露光処理する
    ための露光装置であって、前記ガラス乾板を保持する枠
    型のガラス乾板ホルダーを備え、該ガラス乾板ホルダー
    は、その表面の内縁側にガラス乾板を支持するための段
    差部を有し、また、この段差部を含む上記ホルダー表面
    には複数の吸引路が並列に形成されており、少なくとも
    前記スクリーン版をその外縁側吸引路により吸引して前
    記ガラス乾板表面に密着可能に構成したことを特徴とす
    るスクリーン版の露光装置。
  7. 【請求項7】 前記段差部は、ガラス乾板の厚みに相当
    する深さを有する請求項6記載のスクリーン版の露光装
    置。
  8. 【請求項8】 前記露光装置は、前記ガラス乾板ホルダ
    ーの周縁を把持し、これを垂直姿勢に維持する支持部材
    と、前記スクリーン版をガラス乾板ホルダーに対向させ
    て立設配置するスクリーン枠固定具と、上記支持部材を
    懸垂して前後方向に移動させ、前記スクリーン版に近接
    ないし離反させるためのスライダー装置とを備えている
    請求項6または7記載のスクリーン版の露光装置。
  9. 【請求項9】 前記支持部材が、θ角位置調整プレー
    ト、Y軸位置調整プレート、X軸位置調整プレート、ベ
    ース枠からなり、これら各プレートが具備する位置調整
    機構を介して、上記θ角位置調整プレートに把持された
    ガラス乾板ホルダーのθ角方向、X軸方向、Y軸方向の
    位置を微調整する機能を備えている請求項8記載のスク
    リーン版の露光装置。
JP14645298A 1998-05-28 1998-05-28 スクリーン版の露光方法及び露光装置 Expired - Fee Related JP3347058B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14645298A JP3347058B2 (ja) 1998-05-28 1998-05-28 スクリーン版の露光方法及び露光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14645298A JP3347058B2 (ja) 1998-05-28 1998-05-28 スクリーン版の露光方法及び露光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11338165A true JPH11338165A (ja) 1999-12-10
JP3347058B2 JP3347058B2 (ja) 2002-11-20

Family

ID=15407969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14645298A Expired - Fee Related JP3347058B2 (ja) 1998-05-28 1998-05-28 スクリーン版の露光方法及び露光装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3347058B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1229391A3 (de) * 2001-02-01 2007-10-24 Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Handhabung einer zu belichtenden Belichtungsfläche, inbesondere einer Druckplatte

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1229391A3 (de) * 2001-02-01 2007-10-24 Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Handhabung einer zu belichtenden Belichtungsfläche, inbesondere einer Druckplatte

Also Published As

Publication number Publication date
JP3347058B2 (ja) 2002-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2609386B2 (ja) 基板組立装置
KR100362721B1 (ko) 기판접합장치
JPH10116760A (ja) 露光装置及び基板保持装置
JPH0667134A (ja) 液晶セルの組み立て装置
JP2004061577A (ja) 露光装置のマスク板固定方法およびマスク板支持装置
JP3347058B2 (ja) スクリーン版の露光方法及び露光装置
US4898058A (en) Apparatus for removing pellicles
JPH11326857A (ja) 基板の組立て装置及び組立て方法
JP2000275140A5 (ja)
JPS6398645A (ja) 感光材料の位置決め保持装置
JPH1152583A (ja) プロキシミティ露光装置
JP3344060B2 (ja) 板状部材の位置合わせ方法及びその装置とそれを用いた液晶画面の製造方法
CN1493922A (zh) 具有垂直于晶片台的光罩台的反射折射光刻系统及方法
JP3117560B2 (ja) 整合装置
JPS59115849A (ja) スクリ−ン印刷版の位置決め装置
JP3863245B2 (ja) フラットパネルディスプレイの組立方法および組立装置
CN221149146U (zh) 手动双工位光刻机
JPH0722554A (ja) 薄板のトリミング装置およびその方法
JPH01238666A (ja) 両面焼付機
JPS6128161Y2 (ja)
KR101587260B1 (ko) 펠리클 막의 제조장치 및 이를 이용한 펠리클 막의 제조방법
JPH09141481A (ja) レーザ加工機
TWM628714U (zh) 異型貼膜裝置
JPH01238668A (ja) 両面焼付機における版の整合方法
JPS62271425A (ja) 露光装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees