JPH0722554A - 薄板のトリミング装置およびその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄板に傷を付けず、バリを起させないトリミ
ング装置を提供する。 【構成】 薄板（リードフレーム）ＨＬを、予め溝孔Ｈ
Ｅにより製品部分Ａと枠部分Ｗとに区画しておく。テー
ブル３２ｂ上に載置された製品部分Ａを押さえ装置（吸
着チャンバ）６４ｂで固定吸着し、テーブル３２ａ上に
載置された枠部分Ｗを吸着チャンバ６４ａで吸着する。
この状態で振動体５１を溝孔ＨＥの枠部分Ｗ側近傍に当
接させ、駆動源１５ｂで振動体５１を振動させる。する
と、薄板ＨＬは疲労破壊を起し、切断される。この切断
の際に、製品部分Ａはしっかり固定されているので、薄
板には傷が付かず、また、予め薄板には溝孔ＨＥが形成
されており、この溝孔ＨＥを疲労破壊させるため、切断
部にはバリが発生しない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、薄板のトリミング装置
およびその方法に係わり、特に金属薄板の精密加工製品
を製造する際に必要部分（製品部分）と不要部分（枠部
分）とに切断する薄板のトリミング装置およびその方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ブラウン管のシャドーマスク，Ｉ
Ｃ等のリードフレーム、あるいは電気かみそりの刃等の
金属薄板の精密加工製品の製造方法として、金属薄板の
必要な部分をレジストを保護し不要な部分を化学的に腐
食除去するエッチング法、あるいはパターン状の電極を
用い電気メッキにより製品を造るメッキ法、あるいは金
属薄板をプレス型で打ち抜くプレス加工法等が行われ、
これらの製造工程では上記エッチング等の加工におい
て、出荷時には残らない枠部分と製品部分が一部接続し
た形状に加工し、その後、洗浄，メッキ，検査等の後加
工を得た後に製品部分と枠部分を切断することが行われ
ている。

【０００３】これは、前記後加工において製品の変化を
防止し、あるいは生産効率を上げるためである。以下、
製品部分と枠部分とに切断する従来技術の一例として、
半導体集積回路（ＩＣ）等に用いられるリードフレーム
をエッチング法により製造する工程ついて図面を用いて
説明する。

【０００４】シート状の銅薄板を洗浄，脱脂した後、感
光性レジストを両面に塗布・乾燥した後、枠部分と製品
部分を一部分接続した形状でパターン露光する。前記パ
ターン露光のパターン形状としては、ハーフエッチング
（溝）を形成するために片面は枠部分と製品部分を一部
分接続した状態でパターン露光し、他面は枠部分と製品
部分が分離した形状でパータン露光をしたり、あるいは
枠部分と製品部分を狭い幅で接続した形状で両面をパタ
ーン露光することが行われている。

【０００５】次に、レジストを現像し、ボストベークを
行った後、エッチング加工を行い薄板に穴あるいは溝等
を形成する。次に、エッチング液の除去・洗浄、レジス
ト剥膜、洗浄・乾燥等を行った後、枠部分と製品部分の
トリミング工程に進む。

【０００６】図１１に、前記エッチング後であって、長
方形のリードフレーム（以下、小切れＬと記す）に切断
される前のシート状のリードフレームＨＬを示す。な
お、前記小切れ（製品）Ｌは、例えば４個分のＬＳＩの
リードフレームがエッチングにより形成され、該４個の
ＬＳＩがブリッジで接続されて連設されている。

【０００７】図１１，図１２（Ａ），（Ｂ）に示すよう
に、シート状のリードフレームＨＬは、例えば５００ｍ
ｍ×５００ｍｍの厚さ０．２ｍｍの銅薄板からなり、内
側に８枚の小切れＬ₁ 〜Ｌ₈ が孔部およびハーフエッチ
ング（溝）部等により区画形成され、該小切れＬ₁ 〜Ｌ
₈ の周囲には枠部Ｗが形成されている。即ち、例えば小
切れＬ₄ の周囲には、エッチングにより孔Ｈが形成さ
れ、小切れＬ₄ の長手方向には、枠部Ｗに連結するため
の４個のブリッジ部Ｂ₁ 〜Ｂ₄ が、ハーフエッチングＨ
Ｅにより形成されている。

【０００８】そして、小切れＬとして完成するためには
個々の小切れＬを接続したブリッジ部Ｂを切断する必要
があり、その切断手段としては、従来、次の諸手段が採
用されていた。

【０００９】図１１に示すように、人手により枠部を
掴んで折り曲げる。 人手により引きちぎる。 レーザ光により切断する。

【００１０】切断刃により切断する。 また、前記孔および溝加工を施したシート状の薄板、お
よびトリミングを終えた製品は吸着パッドでは吸引でき
ないため、搬送手段はコンベアに載せ搬送するか、ワー
クの周辺をつかんで搬送していた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
，の人手による折り曲げ，切断作業は、何箇所も切
断部分があるので作業効率が悪く、また、切断時，ハン
ドリング時に小切れ（製品）が変形を起すおそれがあ
る。

【００１２】また、前記のレーザ光による切断は、切
断部分の確定に高価な高精度の位置決め装置が必要とさ
れ、また、切断速度が遅く、リードフレームの種類によ
っては切断部にバリが発生するおそれがある。

【００１３】更に、前記の切断刃による切断は、切断
刃を備えた金型等を高精度で位置決めする位置決め装置
が必要とされ、また、切断刃は消耗品であるのでランニ
ングコストが高く、また、作業そのものが危険であっ
た。

【００１４】また、従来のコンベアあるいはワークをつ
かんで搬送する方法においては薄板あるいは製品のきず
付き、変形等が発生しやすいという問題もあった。そこ
で、本発明は上記問題点を解決するためになされたもの
であり、製品の変形，切断箇所のバリ発生がないトリミ
ング装置を提供することを目的とし、さらに薄板及び製
品を変形させない搬送機構を備えることにより前後工程
を含めた自動化、省力化が可能な自動トリミング装置を
提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、予め孔，溝，または孔及び溝からなる溝孔
により製品部分と枠部分とに区画され薄板の製品部分を
押さえる押さえ部材と、前記薄板の枠部分側において前
記溝孔に沿って当接するための振動部材と、を備えて構
成した。

【００１６】また、薄板あるいは製品に接する面を多孔
質部材とした吸着機構を持つ薄板あるいは製品の移載動
装置を備えた構成した。また、予め前記溝孔により製品
部分と枠部分とに区画し、前記薄板の製品部分において
少なくとも製品部分と枠部分との接続領域の近傍を押さ
え部材により押さえつつ、前記薄板の枠部分側において
前記溝孔に沿って振動部材を当接せしめ、前記枠部分側
に前記振動部材で振動を加えて前記製品部分側と枠部分
側とを切断するようにした。

【００１７】

【作用】薄板は、予め溝孔により製品部分と枠部分とに
区画されている。かかる製品部分（必要部分）を押さえ
部材で押さえる。この状態で前記薄板の枠部分（不要部
分）において前記溝孔に沿って振動部材を当接し、該振
動部材を加振装置により所定の周波数，ストロークで振
動させる。この振動部材の振動により前記薄板は微小振
動され、前記溝孔により形成されたブリッジ部に微小振
動が印加され、やがて疲労破壊により切断される。

【００１８】薄板あるいは製品の移載動機構は、多孔質
部材を通して薄板あるいは製品を吸引することにより、
吸引部分に溝孔があっても吸着搬送が可能である。ま
た、押さえ部材として多孔質部材を製品に接する面に配
した吸着機構とすることにより、トリミング時は製品部
分を吸着固定し、切断後はそのまま製品を移載すること
ができる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図１に本発明の実施例の薄板のトリミング装置Ｔ
Ｓの全体構成の概略斜視図を示し、図２に概略側面図を
示す。

【００２０】図１および図２に示すように、トリミング
装置ＴＳは、左方側に保護用の合紙を挟んでシート状の
リードフレームＨＬが積層されるワーク供給部Ｓと、露
呈された前記合紙を吸着して左方の合紙排出部ＰＯに搬
送する第１吸着チャンバＣ₁と、前記ワーク供給部Ｓで
露呈されたリードフレームＨＬを吸着して右方の位置決
め部Ｄに搬送する第２吸着チャンバＣ₂ と、該位置決め
部Ｄで位置決めされたリードフレームＨＬを吸着して右
方のトリミング部Ｔに搬送する第３吸着チャンバＣ
₃ と、該第３吸着チャンバＣ₃ に製品部分（必要部分）
が吸着されたまま前記トリミング部Ｔでトリミングさ
れ、そのトリミング結果の小切れＬが前記第３吸着チャ
ンバＣ₃ により搬送される、次の工程に搬送するための
フレーム移載部Ｍと、トリミング後の枠Ｗ（不要部分）
を載置する枠排出部ＷＯ等を含んで構成されている。な
お、符号Ｃ₄ は、第４吸着チャンバであって、トリミン
グ部Ｔでトリミング後の不要部分（枠）を背面側の枠排
出部ＷＯへ搬送し、符号Ｃ₅ は、第５吸着チャンバであ
って、フレーム移載部Ｍのベルトコンベアで搬送されて
きた小切れＬを次工程の装置（例えば、自動検査装置）
に移載する機能を有している。なお、前後工程との連絡
は、前後工程の内容に合わせ小切れＬをカセットに挿入
するなど様々な形態をとり得る。

【００２１】次に、各構成部分を説明する。先ず、本発
明の要旨をなす前記トリミング部Ｔおよび「押さえ装
置」である第３吸着チャンバＣ₃ を説明する。

【００２２】図３に前記トリミング部Ｔの拡大側面図を
示し、図４にトリミング部Ｔの要部平面図と要部側面図
を示し、図５に振動体の側面図を示す。図２〜図４に示
すように、ベース２にはトリミング部Ｔの周囲において
４本の支柱３ａ〜３ｄが立設されている。前記ベース２
にはベース７が固定され（図示せず）、該ベース７には
第１エアシリンダ４が吊り下げ固定され、前記ベース７
の四隅には４個のガイド軸８ａ〜８ｄ（８ｄは図示され
ず）が挿通される軸受９ａ〜９ｄ（９ｄは図示されず）
が固定されている。前記ガイド軸８ａ〜８ｄの上端部
は、第１支持板５の下面四隅に固定されている。第２エ
アシリンダ６本体は第３支持板１１に固定されており、
前記第２エアシリンダ６の出力軸６ａの上端面には第４
支持板１２が固定されている。前記第１支持板５と第３
支持板１１との間であって、前記ガイド軸８ａ〜８ｄに
対向した位置には４本の支柱１０ａ〜１０ｄ（１０ｃ，
１０ｄは図示されず）が介装されている。前記第３支持
板１１の四隅には４個のガイド軸１３ａ〜１３ｄ（１３
ｄは図示されず）が挿通される軸受１４ａ〜１４ｄ（１
４ｄは図示されず）が固定されている。前記ガイド軸１
３ａ〜１３ｄの上端部は、前記第４支持板１２の下面四
隅に固定されている。なお、第２エアシリンダ６は振動
源（後述する）を僅かに上下動する場合に使用され、第
１エアシリンダ４は保守作業の際に前記振動源を大幅に
下降する場合に使用される。

【００２３】前記第４支持板１２の上面側の前面側左右
には第１，第２リニアガイド１６ａ，１６ｂが立設さ
れ、第４支持板１２の上面側の背面側左右には第３，第
４リニアガイド１６ｃ，１６ｄ（１６ｄは図示されず）
が立設されている。前記第１〜第４リニアガイド１６ａ
〜１６ｄにはそれぞれスライダ１８ａ〜１８ｄ（１８ｄ
は図示されず）が摺動自在に取り付けられている。前記
第２，第３スライダ１８ｂ，１８ｃ間の上側には支持板
１７ｃが掛け渡され、その上面側には「加振装置」であ
る第３振動源１５ｃが固定されている。前記支持板１７
ｃの下面にはボールネジ２１に螺合されるナット１９ｃ
が固定されている。同様に、前記第１，第４スライダ１
８ａ，１８ｄの上側には支持板１７ｂが掛け渡され、そ
の上面側には「加振装置」である第２振動源１５ｂが固
定されている。前記支持板１７ｂの下面には前記ボール
ネジ２１に螺合されるナット１９ｂが固定されている。
前記ボールネジ２１の右端部にはボールネジ駆動モータ
２２の出力軸が固定されている。前記ボールネジ２１の
ナット１９ｂ，１９ｃに対応した部分は、互いに逆方向
にネジが螺設され、ボールネジ２１が例えば正転すれば
支持板１７ｂ，１７ｃ同士が開き、ボールネジ２１が逆
転すれば支持板１７ｂ，１７ｃ同士が閉じるように構成
されている。

【００２４】前記第４支持板１２の中央部には支持板１
７ａが固定され、該支持板１７ａ上には「加振装置」で
ある第１振動源１５ａが固定されている。第１〜第３振
動源１５ａ〜１５ｃのそれぞれの上部側には、リードフ
レームＨＬを載置するためのテーブル３１〜３３が配設
されている。即ち、支柱３ｃと３ｄ間には支持板３ｅが
掛け渡され（図４参照）、支柱３ａ，３ｂ間には支持板
３ｆが掛け渡されている。そして、前記支持板３ｅ上に
はリニアガイド３４が固定され、前記支持板３ｆ上には
リニアガイド３５が固定されている。前記リニアガイド
３５には、それぞれ対をなすスライダ３９ａ，３９ｂ、
４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂが摺動自在に取り付け
られ、前記リニアガイド３４には、それぞれ対をなすス
ライダ３６ａ，３６ｂ、３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８
ｂが摺動自在に取り付けられている。そして、前記スラ
イダ３６ａ，３９ａ間には第２テーブル３２の一片をな
すテーブル片３２ａが掛け渡され、前記スライダ３６
ｂ，３９ｂ間には第２テーブル３２の他片をなすテーブ
ル片３２ｂが掛け渡されている。同様に、前記スライダ
３７ａ，４１ａ間には第１テーブル３１の一片をなすテ
ーブル片３１ａが掛け渡され、前記スライダ３７ｂ，４
１ｂ間には第１テーブル３１の他片をなすテーブル片３
１ｂが掛け渡されている。同様に、前記スライダ３８
ａ，４２ａ間には第３テーブル３３の一片をなすテーブ
ル片３３ａが掛け渡され、前記スライダ３８ｂ，４２ｂ
間には第３テーブル３３の他片をなすテーブル片３３ｂ
が掛け渡されている。また、第２テーブル３２の下側に
はステッピングモータ４０が配設され、その出力軸はベ
ベルギア４３を介してボールネジ４４に螺合されてい
る。

【００２５】そして、前記テーブル片３２ａの下面には
前記ボールネジ４４に螺合されたナット４５ａが固定さ
れ、前記テーブル片３２ｂの下面には前記ボールネジ４
４に螺合されたナット４５ｂが固定されている。同様
に、前記テーブル片３３ａの下面には前記ボールネジ４
４に螺合されたナット４６ａが固定され、前記テーブル
片３３ｂの下面には前記ボールネジ４４に螺合されたナ
ット４６ｂが固定されている。そして、前記ボールネジ
４４のナット４５ａ，４５ｂに対応した部分と、ナット
４６ａ，４６ｂに対応した部分とは、ネジが互いに逆方
向に螺設され、ボールネジ４４の例えば正転によりテー
ブル３２と３３とが互いに開く方向に動作され、ボール
ネジ４４の逆転によりテーブル３２と３３とが互いに閉
じる方向に動作される。

【００２６】また、前記テーブル片３１ａの下面には前
記ボールネジ４７に螺合されたナット４８ａが固定さ
れ、前記テーブル片３１ｂの下面には前記ボールネジ４
７に螺合されたナット４８ｂが固定されている。前記ボ
ールネジ４７の右端部はステッピングモータ５０の出力
軸に固定され、ボールネジ４７の左端部は軸受４９に回
転自在に支持されている。そして、前記ボールネジ４７
のナット４８ａに対応した部分とナット４８ｂに対応し
た部分とは、ネジが互いに逆方向に螺設され、ボールネ
ジ４７の例えば正転によりテーブル３１ａと３１ｂとが
互いに開く方向に動作され、ボールネジ４７の逆転によ
りテーブル３１ａと３１ｂとが互いに閉じる方向に動作
される。

【００２７】図５に、前記駆動源１５ａ〜１５ｃに取り
付けられる振動体５１，５２の側面図を示す。振動体５
１は、幅狭の刃部５１ａと幅広の基部５１ｂとからな
り、前記刃部５１ａの先端は円形をなしている。前記振
動体５１は左右の第２，第３振動源１５ｂ，１５ｃ本体
に固定される。また、振動体５２は、幅狭の刃部５２ａ
と幅広の基部５２ｂとからなり、前記刃部５２ａの先端
は円形をなしている。前記振動体５２は中央の第１振動
源１５ａ本体に取り付けられ、交換可能である。必要に
応じ、前記振動体５１も変換可能としてもよい。なお、
振動体５１，５２の材質としては、アルミニューム板，
硬質ゴム板等、対象製品の材質により選択可能であり、
先端形状も同様に鋭角，鋸形などの選択が可能である。

【００２８】次に、図６，図７に基づいて第３搬送吸着
チャンバＣ₃ を説明する。図６，図７に示すように、支
持板５５の左右両端の下面（図６（Ｂ）において）には
スライダ（図示されず）が固定され、図示しない支柱上
に固定されたリニアガイド上を摺動自在にされている
（図２の第３吸着チャンバＣ₃ の移動範囲を参照）。前
記支持板５５にはエアシリンダ５６が出力軸５６ａを下
方に向けて固定され、該出力軸５６ａの下端部には支持
板５７が固定されている。前記支持板５５のエアシリン
ダ５６の周囲には４本の軸受５８ａ〜５８ｄ（５８ｄは
図示されず）が下方に向けて固定され、各軸受５８ａ〜
５８ｄにはガイド軸５９ａ〜５９ｄ（５９ｄは図示され
ず）が挿通されている。前記ガイド軸５９ａ〜５９ｄの
先端は、支持板６２の固定されている。支持板６２の下
面には２本のリニアガイド６３ａ，６３ｂが固定され、
該リニアガイド６３ａ，６３ｂには３対のスライダ６７
ａ，６７ｂ、６８ａ，６８ｂ，６９ａ，６９ｂが摺動自
在に取り付けられている。前記スライダ６７ａ，６９ｂ
には、それぞれ枠押え兼吸着チャンバ６４ａ，６６ｂが
取り付けられ、スライダ６７ｂ、６８ａ，６８ｂ，６９
ａにはそれぞれ吸着チャンバ６４ｂ，６５ａ，６５ｂ，
６６ａが取り付けられている。なお、前記スライダ６７
ｂ、６８ａ，６８ｂの背面側（図６（Ａ）において）に
対向して、図示されないスライダが配設され、スライダ
６９ｂの背面側にはスライダ６９ｃが配設されている。

【００２９】そして、前記吸着チャンバ６４ｂの吸着面
には、ポリエチレン，ステンレス，セラミック等からな
る板状の多孔質部材６４ｂ₁ が取り付けられ、ブロアー
等（図示されず）で前記多孔質部材６４ｂ₁ を介してリ
ードフレームＨＬを吸着するようになっている。なお、
他の吸着チャンバ６４ａ，６５ａ，６５ｂ，６６ａ，６
６ｂの吸着面も同様の多孔質部材により構成されてい
る。

【００３０】前記支持板６２の上面側にはステッピング
モータ７１が固定され、その出力軸にはボールネジ７２
が取り付けられている。該ボールネジ７２は、前記支持
板６２に固定された軸受７３ａ，７３ｂにより支持さ
れ、該ボールネジ７２には、それぞれ吸着チャンバ６５
ａ，６５ｂに固定されたナット７４ａ，７４ｂが螺入さ
れている。そして、前記ナット７４ａ，７４ｂに対応し
たボールネジ７２の部分は互いに逆方向にネジが螺設さ
れ、ボールネジ７２の回転方向に応じて吸着チャンバ６
５ａ，６５ｂ間の隙間が開閉するようになっている。

【００３１】同様に、ステッピングモータ７５には、ボ
ールネジ７６が連結され、該ボールネジ７６は前記支持
板６２に固定された軸受７７ａ，７７ｂにより支持され
ている。前記ボールネジ７６には、それぞれ吸着チャン
バ６４ａ，６６ｂに固定されたナット７８ａ，７８ｂが
螺入されている。そして、前記ナット７８ａ，７８ｂに
対応したボールネジ７６の部分は互いに逆方向にネジが
螺設され、ボールネジ７６の回転方向に応じて吸着チャ
ンバ６４，６６間の隙間が開閉するようになっている。

【００３２】以上の図４，図６，図７で説明したよう
に、トリミング装置Ｔのテーブルおよび吸着吸着チャン
バＣ₃ の吸着部が左右動可能なように構成しておけば、
次の利点がある。即ち、図８に示すように、製品サイズ
（リードフレームのサイズ）に応じてテーブルおよび吸
着チャンバを移動でき、様々な寸法のリードフレームを
切断することができる。

【００３３】次に、以上のように構成されたトリミング
装置ＴＳの動作を図９に示すフローチャートを参照しつ
つ説明する。先ず、リードフレーム（シート）ＨＬをワ
ーク供給部Ｓに積層載置する（図２参照）。積層された
各リードフレームＨＬ間には、リードフレーム保護用の
合紙が挟まれている（ステップＳ１）。次いで、第１吸
着チャンバＣ₁ をワーク供給部Ｓに移動させ、最上位の
合紙を第１吸着チャンバＣ₁ で吸着して合紙排出部ＰＯ
上に搬送し、そこで吸着状態を解放し合紙排出を行う
（ステップＳ２）。次いで、第２吸着チャンバＣ₂ によ
り露呈された最上位のリードフレームＨＬを吸着して位
置決め部Ｄへ搬送し、吸着状態を解放してリードフレー
ムＨＬを位置決め部Ｄに落下させる（ステップＳ３）。
このリードフレームＨＬが落下された状態でカメラ，Ｘ
Ｙθテーブル等の画像処理装置及び位置決め装置により
リードフレームＨＬのＸ，Ｙ，θ方向の位置決めが行わ
れる（ステップＳ４）。位置決めされたリードフレーム
ＨＬは第３吸着チャンバＣ₃ により吸着されてトリミン
グ部Ｔへ搬送され、トリミングが行われる（ステップＳ
５）。このトリミング動作を図１０を参照しつつ説明す
る。図１０（Ａ）に示すように、ハーフエッチングＨＥ
されたリードフレームＨＬの符号Ａの部分（ドットを付
す）が必要部分（製品部分）であり、符号Ｗの部分が不
要部分（枠部分）である。前記必要部分Ａの上下を吸着
部材６４ｂとテーブル片３２ｂで挟持して固定される。
また、不要部分Ｗの上下を吸着部材６４ａとテーブル片
３２ａで挟持して固定される。この状態で前記ハーフエ
ッチングＨＥの近傍の不要部分Ｗ側に振動体５１の先端
部が当接され、リードフレームＨＬが振動される（図１
０（Ｂ））。この際の振動数は１０〜２００Ｈｚが好ま
しく、振幅は０．１〜５ｍｍ程度が好ましい。かかる条
件下で加振されていくと、やがて、図１０（Ｃ）に示す
ように、ハーフエッチングＨＥ部分が疲労破壊を起して
切断される。そして、必要部分Ａのみが第２吸着チャン
バＣ₂ で吸着されてフレーム移載部Ｍへ搬送される（ス
テップＳ６）。一方、不要部分Ｗは第４吸着チャンバＣ
₄ で吸着されて枠排出部ＷＯに搬送される（ステップＳ
７）。

【００３４】前記ステップＳ６で移載された製品（小切
れＬ）は、ベルトコンベアで例えば次の工程の自動検査
装置へ搬送され（ステップＳ８）、自動検査が行われ
（ステップＳ９）、検査に合格すれば製品としての小切
れＬが排出される（ステップＳ１０）。

【００３５】なお、本実施例では薄板の例としてニッケ
ル合金又は銅薄板からなるリードフレームの場合につい
て説明したが、例えば、合成樹脂の薄板，セラミックの
薄板等に対しても本発明を適用できるのは勿論である。

【００３６】また、本実施例ではシート状の形態で加工
する例について示したが、金属薄板のコイルから繰り出
される金属薄板を連続で加工する工程に適用することも
可能である。

【００３７】更に、薄板の製品部分と枠部分との接続部
分を複数列状に配し、対応するトリミング装置の振動部
材の形状が直線形状の例を示したが、接続部分が製品コ
ーナー等に配した場合は、振動部材の形状を接続部分に
対応したスポット形状にする、あるいは曲線形状にする
等にしてもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上本発明によれば、製品部分の変形、
きず付きがなく切断できる。また、切断用部材である振
動部材の位置決めの精度がラフでよく、簡単な機構の採
用ができる。あるいは多品種対応として、切断位置を自
動的に変更する切断位置の自動調整機構の位置決め精度
が低くてもよいというメリットがある。

【００３９】また、薄板あるいは多孔質部材を通して吸
着することにより、薄板あるいは製品を変形させずに搬
送でき、トリミング装置の自動化・省力化も図れる。さ
らには、前後工程と連結させ、薄板加工全体の自動化も
可能となる。

【００４０】また、トリミング装置の押さえ部材に多孔
質部材を通した吸着機構を持たせることにより、切断時
に吸着しながら押さえることができ、より確実な固定が
できる。また、その他の効果としては搬送機構と押さえ
部材の持ち替えが不要となるためタクトタイムの短縮が
図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の概略を示す斜視図である。

【図２】前記実施例の概略側面図である。

【図３】前記実施例におけるトリミング部の加振器を示
す図であって、（Ａ）は正面から見た側面図、（Ｂ）は
側面から見た側面図である。

【図４】前記実施例におけるトリミング部のテーブルを
示す図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図であ
る。

【図５】前記実施例における振動体を示す図であって、
（Ａ）はテーブルの両端で使用される振動体の側面図、
（Ｂ）はテーブルの中央で使用される振動体の側面図で
ある。

【図６】前記実施例における第３吸着チャンバを示す図
であって、（Ａ）は正面から見た側面図、（Ｂ）は側面
から見た側面図である。

【図７】前記第３吸着チャンバを示す平面図である。

【図８】前記実施例のトリミング装置がリードフレーム
の大小に拘らず使用可能であることを説明する図であ
る。

【図９】前記実施例の動作を示すフローチャートであ
る。

【図１０】前記実施例における切断の状態を説明する図
である。

【図１１】従来のシート状のリードフレームの斜視図で
ある。

【図１２】従来のシート状のリードフレームに予め形成
された溝孔を示す図であって、（Ａ）は孔を示す断面
図、（Ｂ）は溝（ハーフエッチング）を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

Ｂ₁ 〜Ｂ₄ …ブリッジ部 Ｃ₃ …吸着チャンバ（押さえ装置） Ｄ…位置決め部 ＨＬ…リードフレーム Ｌ，Ｌ₁ 〜Ｌ₈ …リードフレームの小切れ Ｍ…フレーム移載部 ＰＯ…合紙排出部 Ｓ…ワーク供給部 Ｔ…トリミング部 ＴＳ…トリミング装置 ４…第１エアシリンダ ６…第２エアシリンダ １５…振動源 ３１〜３３…テーブル ５１，５２…振動体 ６４ｂ₁ …多孔質部材

フロントページの続き (72)発明者 関 俊幸 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予め溝孔により製品部分と枠部分とに区
   画された薄板の製品部分を押さえる押さえ部材と、 前記薄板の枠部分側において前記溝孔に沿って当接する
   ための振動部材と、を備えたことを特徴とする薄板のト
   リミング装置。
2. 【請求項２】 予め溝孔により製品部分と枠部分に区画
   された薄板の製品部分を押さえる押さえ部材と、 前記薄板の枠部分側において前記溝孔に沿って当接する
   ための振動部材と、を備えた薄板のトリミング装置にお
   いて、 前記薄板あるいは製品に接する面を多孔質部材とした吸
   着機構を持つ薄板あるいは製品の移載動装置を備えたこ
   とを特徴とする薄板のトリミング装置。
3. 【請求項３】 薄板を予め溝孔により薄板の製品部分と
   枠部分に区画し、 前記薄板の製品部分を押さえ部材により押さえつつ前記
   薄板の製品部分側において前記溝孔またはハーフエッチ
   ング等の他より強度が弱いステーに沿って振動部材を当
   接せしめ、前記枠部分側に前記振動部材で振動を加えて
   前記製品部分側と枠部分側とを切断するようにしたこと
   を特徴とする薄板のトリミング方法。