JPH11330288A - マイクロ波用パッケージ - Google Patents

マイクロ波用パッケージ

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JPH11330288A
JPH11330288A JP10126280A JP12628098A JPH11330288A JP H11330288 A JPH11330288 A JP H11330288A JP 10126280 A JP10126280 A JP 10126280A JP 12628098 A JP12628098 A JP 12628098A JP H11330288 A JPH11330288 A JP H11330288A
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JP
Japan
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package
cover
metal frame
microwave
metal
Prior art date
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JP10126280A
Other languages
English (en)
Inventor
Masato Fujiwara
正人 藤原
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
    • H01L2924/1616Cavity shape

Landscapes

  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
  • Waveguides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、このような問題の解決を目的とし
たもので、高利得のアクティブ回路を収納させた場合で
も、不要な発振が起きにくいマイクロ波用パッケージの
提供を目的とする。 【解決手段】 金属製ベースと、金属製ベース上に設け
られたセラミック製入出力基板及び枠状の金属製フレー
ムと、金属製フレームを気密に覆うパッケージカバーと
を備えて成るマイクロ波用パッケージにおいて、パッケ
ージカバーの一部誘電体或いは又は吸収体で構成した。
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーダ、移動体通
信等に用いられるマイクロ波用パッケージに関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来のマイクロ波用パッケージとして、
例えば、実開平7−18477号公報に掲載のものを図
7、図8に示す。図7は外観図であり、図8は内部を示
した図である。
【0003】図において、符号1は金属製ベース、2は
金属製フレーム、3は金属製カバー、4は例えばセラミ
ック製の入出力基板で、4aは入力側基板、4bは出力
側基板である。尚、図中の符号a、b、cはそれぞれ当
該パッケージキャビティ内部の空間の幅方向、高さ方
向、長手方向の寸法を示す。
【0004】次に、動作について説明する。従来のマイ
クロ波用パッケージは、上述のように構成されているの
で、パッケージキャビティ内部は、概略、図9に示すよ
うな方形導波管と同様な構造となるため、不要なTE,
TMモードが伝搬して特性劣化を招き、内部にアンプ等
がある場合には不要な発振(共振)を引き起こす等の不
都合があった。このように、パッケージが方形導波管と
同様な構造となると、不要な発振を生じさせてしまうの
で、これを抑制するため、パッケージを設計する際に
は、通常、次のような計算式を満足するように設計する
必要がある。 f<fo=C/λo 式1 λo=2/√((1/a)2+(1/c)2) 式2 ここで、fは動作周波数、foは共振周波数、Cは光
速、λoは共振周波数における波長である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来のパッケージは、
以上のように構成されているので、内部にパッシブ回路
を収納する場合には、上記の式1、2を満足させておく
だけでそれほど問題にはならないが、内部にアンプ等の
アクティブ回路を収納するような場合には、上記の式
1、2だけでなく、導波管モードの帰還による発振を考
慮に入れる必要がある。
【0006】図8のパッケージ内部における導波管モー
ドによる出力基板4bから入力基板4aへの帰還量は次
の式で表される。 帰還量(dB)=−αg・c 式3 αg=54.6/λc・√(1−(λc/λ)2) 式4 λc=2a 式5 ここで、αgは減衰定数、λcはカットオフ周波数にお
ける波長、λは動作周波数における波長である。従っ
て、上記の式3〜5より計算される帰還量がパッケージ
内に収納されるアクティブ回路の利得より大きい場合は
発振を引き起こす可能性がある。
【0007】しかも、近年、マイクロ波半導体技術の向
上により小形で高利得のMMIC(Monolithic Micr
owave Integrated Circuit )等が開発されてお
り、従来のようなパッケージ構造では不要な発振を十分
に抑制することができなくなってきている。本発明は、
このような問題の解決を目的としたもので、高利得のア
クティブ回路を収納させた場合でも、不要な発振が起き
にくいマイクロ波用パッケージの提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、金属
製ベースと、金属製ベース上に設けられた入出力基板及
び枠状の金属製フレームと、金属製フレームを気密に覆
うパッケージカバーとを備えて成るマイクロ波用パッケ
ージにおいて、上記パッケージカバーは誘電体又は吸収
体で形成されたことを特徴とする。
【0009】請求項2の発明は、金属製ベースと、金属
製ベース上に設けられた入出力基板及び枠状の金属製フ
レームと、金属製フレームを気密に覆うパッケージカバ
ーとを備えて成るマイクロ波用パッケージにおいて、上
記パッケージカバーは誘電体で形成され、パッケージカ
バーの外部表面の全部又は一部には吸収体が設けられた
ことを特徴とする。
【0010】請求項3の発明は、金属製ベースと、金属
製ベース上に設けられた入出力基板及び枠状の金属製フ
レームと、金属製フレームを気密に覆うパッケージカバ
ーとを備えて成るマイクロ波用パッケージにおいて、上
記パッケージカバーは、上記金属製フレームに密着する
金属製枠縁と当該金属製枠縁に収められた誘電体又は吸
収体とで構成されたことを特徴とする。
【0011】請求項4の発明は、金属製ベースと、金属
製ベース上に設けられた入出力基板及び枠状の金属製フ
レームと、金属製フレームを気密に覆うパッケージカバ
ーとを備えて成るマイクロ波用パッケージにおいて、上
記パッケージカバーは、上記金属製フレームに密着する
金属製枠縁と当該金属製枠縁に収められた誘電体とで構
成され、更に、パッケージカバーの外部表面の全部又は
一部には吸収体が設けられたことを特徴とする。
【0012】請求項5の発明は、金属製ベースと、金属
製ベース上に設けられた入出力基板及び枠状の金属製フ
レームと、金属製フレームを気密に覆うパッケージカバ
ーとを備えて成るマイクロ波用パッケージにおいて、パ
ッケージの内部に金属製突起を設けたことを特徴とす
る。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づき、実
施の形態毎に説明する。尚、従来技術として説明した図
7乃至図9に示すパッケージと共通の部材には同一符号
を付し、その説明を省略する。
【0014】実施の形態1.図1は請求項1の発明の実
施の形態を示す外観図である。図中の符号5はパッケー
ジカバー(以下、単にカバーという。)で、このカバー
5が、セラミック等の誘電体又は硬質プラスチックFR
P等の電波を吸収する吸収体(電波吸収体)で形成され
ている。カバー5を金属以外の材質、例えば、誘電体又
は吸収体で形成すると、従来例のようにパッケージキャ
ビティ内部は方形導波管構造とはならず、方形導波管と
して機能し難くなるので、不要な発振が抑制される。即
ち、カバー5が誘電体で形成されている場合には、この
カバー5の部分からマイクロ波が外部に漏れ出すために
帰還量が減少し、カバー5が吸収体で形成されている場
合には、マイクロ波がこのカバー5に吸収されるために
帰還量が減少する。いずれの場合でも、従来のような金
属製カバーに較べると、帰還量が減少するから、パッケ
ージ内部の帰還による不要な発振が抑制され、内部に高
利得のアクティブ回路を収納した場合でも周波数特性に
不要な共振モードの発生による亀裂が入る等の特性悪化
を阻止することができる。
【0015】実施の形態2.図2は請求項2の発明の実
施の形態を示す外観図である。図中の符号5はパッケー
ジカバーで、このカバー5は誘電体で形成されており、
カバー5の外部表面即ち誘電体の外部表面側には吸収体
6が設けられている。図ではカバー5の外部表面のほぼ
全域に吸収体6が貼られているが、カバー外部表面の全
域に貼ってもよいし、所要の一部領域に貼ってもよい。
誘電体で形成されたカバー5の外部表面に吸収体6を貼
着することによって、このカバー5の誘電体部分から外
へ漏れ出したマイクロ波はこの吸収体6に吸収されるた
め帰還量を減少させることができ、この帰還量の減少に
より、実施の形態1と同様な作用効果を生じさせる。
【0016】実施の形態3.図3は請求項3の発明の実
施の形態を示すカバー5の斜視図であり、図4は図3の
断面図である。このカバー5は、金属製フレーム2の開
口縁2a(図1、図2に指示)に密着するよう四角枠状
に形成された金属製枠縁7と、この金属製枠縁7の枠内
に、カバー5を一体的に構成する部材として、収められ
た吸収体8aとで構成されている。このように構成する
と、パッケージキャビティ内部は方形導波管構造とはな
らず、カバー5の吸収体8aの部分でマイクロ波が吸収
されるため帰還量を減少させることができ、この帰還量
の減少により、実施の形態1と同様な作用効果を生じさ
せる。
【0017】又、金属製枠縁7の枠内に一体的に収めら
れる部材として、先には吸収体8aを用いたが、この吸
収体8aに代えて誘電体8bを用いてもよい。誘電体8
bを用いた構成とすると、吸収体8aを用いた場合と同
様に、パッケージキャビティ内部は方形導波管構造とは
ならず、従って、方形導波管として機能し難くなって、
不要な発振が抑制される。即ち、この誘導体8b部分か
らマイクロ波がパッケージの外に漏れ出すことで帰還量
が減少するのである。
【0018】このように、カバー5を構成する部材とし
て、カバー5が覆う面の全部又は一部に吸収体或いは又
誘電体を用いることによって、実施の形態1で説明した
のと同様の作用効果を発揮させることができる。更に、
この実施の形態3では、カバー5の中央領域8に吸収体
8a或いは又誘電体8bを配設できるよう、カバー5の
縁を四角枠状に形成した金属製枠縁7としてあるため、
この金属製枠縁7と金属製フレーム2の開口縁2aとの
シーム溶接が可能となり、パッケージ内部の機密度を高
めることができ、上記の不要な発振の抑制と相俟って信
頼性の高いマイクロ波用パッケージを提供することがで
きる。
【0019】実施の形態4 図5は請求項4発明の実施の形態を示すカバー5の断面
図である。この実施の形態4で示すカバー5は、金属製
フレーム2の開口縁2aに密着する金属製枠縁7と、こ
の金属製枠縁7にカバー5を一体的に構成する部材とし
て収められた誘電体8bと、カバー5の外表面側即ち誘
導体8bの外表面側に誘導体8bを覆うように設けられ
た吸収体とで構成されたものである。このように構成す
ると、カバー5の誘電体8bの部分からマイクロ波が漏
れ出して帰還量が減少し、しかも、外に漏れ出したマイ
クロ波は吸収体6に吸収されるため、更に一段と帰還量
を減少させることができ、この帰還量の減少により、実
施の形態1と同様な作用効果を生じさせる。尚、図では
カバー5の外部表面のほぼ全域に吸収体6が貼られてい
るが、カバー5の外部表面の一部の領域に貼ってもよ
い。要は外に漏れ出す電波を吸収できる領域に配設すれ
ばよい。
【0020】更に、この実施の形態4では、カバー5の
中央領域8に誘電体8bを配設できるよう、カバー5の
縁を四角枠状に形成した金属製枠縁7としてあるため、
この金属製枠縁7と金属製フレーム2の開口縁2aとの
シーム溶接が可能となり、パッケージ内部の機密度を高
めることができ、上記の不要な発振の抑制と相俟って信
頼性の高いマイクロ波用パッケージを提供することがで
きる。
【0021】実施の形態5 図6は請求項5発明の実施の形態を示すもので、カバー
5を取り除いたパッケージの平面図である。この実施の
形態5は、パッケージの内部に金属製突起9を設けるこ
とで、パッケージキャビティ内部の幅方向a、高さ方向
b、長手方向cの少なくとも一つの方向の一部分の寸法
をより小さくすることで、突起9を設けた部分の減衰定
数を大きくして、総合の帰還量を減少させたものであ
る。即ち、パッケージキャビティ(導波管)内部に突起
を設けることによってパッケージが方形導波管構造とな
らないようにすることで、不要な発振が抑制される。
【0022】図6に示す金属製突起9は幅方向aの寸法
が小さくなる位置に設けられているので、これを例に説
明する。先ず、式5を式4に代入すると以下のようにな
る。 αg=54.6/λc・√(1/(2a))2−(λc/λ)2) 式6 この式6より、幅寸法aが小さくなると減衰定数αgが
大きくなることが分かる。つまり、突起がある部分につ
いては減衰量が大きくなり、総合の帰還量を減衰させる
ことができ、この帰還量の減少により、パッケージ内部
の帰還による不要な発振が抑制され、内部に高利得のア
クティブ回路を収納した場合でも周波数特性に不要な共
振モードの発生による亀裂が入る等の特性悪化を阻止す
ることができる。
【0023】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、カバーが誘電
体で形成されている場合には、この部分からマイクロ波
が外部に漏れ出し、又、カバーが吸収体で形成されてい
る場合には、この部分にマイクロ波が吸収されるために
帰還量が減少し、いずれの場合も、従来のような金属製
カバーに較べて、帰還量が大幅に減少するから、パッケ
ージ内部の帰還による不要な発振が抑制され、内部に高
利得のアクティブ回路を収納した場合でも周波数特性に
不要な共振モードの発生による亀裂が入る等の特性悪化
を阻止することができる。
【0024】請求項2の発明によれば、カバーが誘電体
で形成されているため、この部分からマイクロ波が外部
に漏れ出して帰還量が減少する上、漏れ出したマイクロ
波はカバーの外部表面の吸収体に吸収されるため更に帰
還量を減少させることができ、これによって、パッケー
ジ内部の帰還による不要な発振が抑制され、内部に高利
得のアクティブ回路を収納した場合でも周波数特性に不
要な共振モードの発生による亀裂が入る等の特性悪化を
阻止することができる。
【0025】請求項3の発明によれば、カバーの所要の
領域に外部に電波を漏れ出させる誘電体、或いは又、電
波を吸収する吸収体を設けているので、帰還量を減少さ
せることができ、上記した請求項1の発明と同様の作用
効果を発揮させる。更にこの請求項3の発明によれば、
カバーの縁を金属製枠縁としてあるため金属製フレーム
の開口縁とのシーム溶接が可能となり、パッケージ内部
の機密度を高めることができ、不要な発振の抑制と相俟
って信頼性の高いマイクロ波用パッケージを提供するこ
とができる。
【0026】請求項4の発明によれば、カバーの所要の
領域に外部に電波を漏れ出させる誘電体を設けているの
で、この部分からマイクロ波が外部に漏れ出して帰還量
が減少する上、漏れ出したマイクロ波はカバーの外部表
面の吸収体に吸収されるため更に帰還量を減少させるこ
とができ、これによって、パッケージ内部の帰還による
不要な発振が抑制され、内部に高利得のアクティブ回路
を収納した場合でも周波数特性に不要な共振モードの発
生による亀裂が入る等の特性悪化を阻止することができ
る。更にこの請求項4の発明によれば、カバーの縁を金
属製枠縁としてあるため金属製フレームの開口縁とのシ
ーム溶接が可能となり、パッケージ内部の機密度を高め
ることができ、不要な発振の抑制と相俟って信頼性の高
いマイクロ波用パッケージを提供することができる。
【0027】請求項5の発明によれば、パッケージキャ
ビティ内部の幅方向、高さ方向、長手方向の少なくとも
一つの方向の一部分の寸法をより小さくすることによっ
て、突起を設けた部分の減衰定数を大きくし、総合の帰
還量を減少させることができるから、パッケージ内部の
帰還による不要な発振が抑制され、内部に高利得のアク
ティブ回路を収納した場合でも周波数特性に不要な共振
モードの発生による亀裂が入る等の特性悪化を阻止する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1を示す外観図である。
【図2】 実施の形態2を示す外観図である。
【図3】 実施の形態3のカバーを示す斜視図である。
【図4】 図3の断面図である。
【図5】 実施の形態4のカバーを示す断面図である。
【図6】 実施の形態5のカバーを除いた状態の平面図
である。
【図7】 従来例を示す外観図である。
【図8】 カバーを除いた状態での従来例の平面図であ
る。
【図9】 方形導波管構造を示す概念図である。
【符号の説明】
1 金属製ベース、2 金属製フレーム、2a 開口
縁、3 金属製カバー、4 入出力基板、4a 入力側
基板、4b 出力側基板、5 カバー(パッケイジカバ
ー)、6 吸収体、7 金属製枠縁、8 中央領域、8
a 吸収体、8b誘導体、9 突起。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 9/00 H05K 9/00 C

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属製ベースと、金属製ベース上に設け
    られた入出力基板及び枠状の金属製フレームと、金属製
    フレームを気密に覆うパッケージカバーとを備えて成る
    マイクロ波用パッケージにおいて、 上記パッケージカバーは誘電体又は吸収体で形成された
    ことを特徴とするマイクロ波用パッケージ。
  2. 【請求項2】 金属製ベースと、金属製ベース上に設け
    られた入出力基板及び枠状の金属製フレームと、金属製
    フレームを気密に覆うパッケージカバーとを備えて成る
    マイクロ波用パッケージにおいて、 上記パッケージカバーは誘電体で形成され、パッケージ
    カバーの外部表面の全部又は一部には吸収体が設けられ
    たことを特徴とするマイクロ波用パッケージ。
  3. 【請求項3】 金属製ベースと、金属製ベース上に設け
    られた入出力基板及び枠状の金属製フレームと、金属製
    フレームを気密に覆うパッケージカバーとを備えて成る
    マイクロ波用パッケージにおいて、 上記パッケージカバーは、上記金属製フレームに密着す
    る金属製枠縁と当該金属製枠縁に収められた誘電体又は
    吸収体とで構成されたことを特徴とするマイクロ波用パ
    ッケージ。
  4. 【請求項4】 金属製ベースと、金属製ベース上に設け
    られた入出力基板及び枠状の金属製フレームと、金属製
    フレームを気密に覆うパッケージカバーとを備えて成る
    マイクロ波用パッケージにおいて、 上記パッケージカバーは、上記金属製フレームに密着す
    る金属製枠縁と当該金属製枠縁に収められた誘電体とで
    構成され、更に、パッケージカバーの外部表面の全部又
    は一部には吸収体が設けられたことを特徴とするマイク
    ロ波用パッケージ。
  5. 【請求項5】 金属製ベースと、金属製ベース上に設け
    られた入出力基板及び枠状の金属製フレームと、金属製
    フレームを気密に覆うパッケージカバーとを備えて成る
    マイクロ波用パッケージにおいて、 パッケージの内部に金属製突起を設けたことを特徴とす
    るマイクロ波用パッケージ。
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