JPH11326537A - 凹凸検出装置 - Google Patents
凹凸検出装置Info
- Publication number
- JPH11326537A JPH11326537A JP13678898A JP13678898A JPH11326537A JP H11326537 A JPH11326537 A JP H11326537A JP 13678898 A JP13678898 A JP 13678898A JP 13678898 A JP13678898 A JP 13678898A JP H11326537 A JPH11326537 A JP H11326537A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被測定面の凹凸の有無が容易に検出できる凹凸
検出装置を安価で提供することを目的とする。 【解決手段】先端部（プローブ４１）が被測定面に接触
し、被測定面の凹凸に追従して変位する接触子（アーム
４０）と、先端部が凹凸を通過する際の接触子の変位に
伴って接触子に衝突し、接触子との衝突による振動を電
気信号に変換する衝突センサ（ピックアップ５０）と、
接触子と衝突センサとを保持し、被測定面に沿って位置
移動させる移動手段と、電気信号から凹凸部の有無を判
断する判断手段（判定器７０）とから構成されてなるこ
とを特徴とする。
検出装置を安価で提供することを目的とする。 【解決手段】先端部（プローブ４１）が被測定面に接触
し、被測定面の凹凸に追従して変位する接触子（アーム
４０）と、先端部が凹凸を通過する際の接触子の変位に
伴って接触子に衝突し、接触子との衝突による振動を電
気信号に変換する衝突センサ（ピックアップ５０）と、
接触子と衝突センサとを保持し、被測定面に沿って位置
移動させる移動手段と、電気信号から凹凸部の有無を判
断する判断手段（判定器７０）とから構成されてなるこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物に形成さ
れた凹凸の有無を検出する凹凸検出装置に関する。
れた凹凸の有無を検出する凹凸検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は被測定物の測定面に形成された凸
部や凹部の有無を検出するのに光学式のセンサ、例えば
発光側（発光素子）より出力さた光を受光する受光側
（受光素子）等により構成され、出力した光が反射して
返ってくるまでの時間差を計測して、その距離から凹凸
を判断する光センサ等を利用したものが一般的に用いら
れている。
部や凹部の有無を検出するのに光学式のセンサ、例えば
発光側（発光素子）より出力さた光を受光する受光側
（受光素子）等により構成され、出力した光が反射して
返ってくるまでの時間差を計測して、その距離から凹凸
を判断する光センサ等を利用したものが一般的に用いら
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の光学式
のセンサでは、部品点数が多く高価であり、また光量や
光の反射角度等を最適の状態に調整する必要があった。
本発明は上述の問題を解決するもので、被測定面の凹凸
の有無が容易に検出できる凹凸検出装置を安価で提供す
ることを目的とする。
のセンサでは、部品点数が多く高価であり、また光量や
光の反射角度等を最適の状態に調整する必要があった。
本発明は上述の問題を解決するもので、被測定面の凹凸
の有無が容易に検出できる凹凸検出装置を安価で提供す
ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の目的を達
成するもので、先端部が被測定面に接触し、該被測定面
の凹凸に追従して変位する接触子と、前記先端部が前記
凹凸を通過する際の前記接触子の変位に伴って該接触子
に衝突し、該接触子との衝突による振動を電気信号に変
換する衝突センサと、前記接触子と前記衝突センサとを
保持し、前記被測定面に沿って位置移動させる移動手段
と、前記電気信号から凹凸部の有無を判断する判断手段
とから構成されてなることを特徴とするものである。
成するもので、先端部が被測定面に接触し、該被測定面
の凹凸に追従して変位する接触子と、前記先端部が前記
凹凸を通過する際の前記接触子の変位に伴って該接触子
に衝突し、該接触子との衝突による振動を電気信号に変
換する衝突センサと、前記接触子と前記衝突センサとを
保持し、前記被測定面に沿って位置移動させる移動手段
と、前記電気信号から凹凸部の有無を判断する判断手段
とから構成されてなることを特徴とするものである。
【０００５】また、先端部が被測定面に接触し、該被測
定面の凹凸に追従して変位する接触子と、前記先端部が
前記凹凸を通過する際の前記接触子の変位に伴って、光
路の状態が変化してその出力信号が変化する発光素子と
受光素子からなる光センサと、前記接触子と前記光セン
サとを保持し、前記被測定面に沿って位置移動させる移
動手段と、前記出力信号から凹凸部の有無を判断する判
断手段とから構成されてなることを特徴とするものであ
る。
定面の凹凸に追従して変位する接触子と、前記先端部が
前記凹凸を通過する際の前記接触子の変位に伴って、光
路の状態が変化してその出力信号が変化する発光素子と
受光素子からなる光センサと、前記接触子と前記光セン
サとを保持し、前記被測定面に沿って位置移動させる移
動手段と、前記出力信号から凹凸部の有無を判断する判
断手段とから構成されてなることを特徴とするものであ
る。
【０００６】また、前記接触子は前記被測定面と平行に
設けられた支点により 回動自在に保持されていること
を特徴とするものである。
設けられた支点により 回動自在に保持されていること
を特徴とするものである。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図１及び図２を用いて説明
する。図１は本発明の実施例の凹凸検出装置を示す概略
構成図である。図２は本実施例の凹凸検出装置を用いた
凸部の検出原理を示す概略図で、（ａ）はアームのプロ
ーブ部が凸部の頂点の位置の状態を示す正面拡大図、
（ｂ）はアームの伝達部がピックアップの先端部に衝突
した状態を示す正面拡大図である。
する。図１は本発明の実施例の凹凸検出装置を示す概略
構成図である。図２は本実施例の凹凸検出装置を用いた
凸部の検出原理を示す概略図で、（ａ）はアームのプロ
ーブ部が凸部の頂点の位置の状態を示す正面拡大図、
（ｂ）はアームの伝達部がピックアップの先端部に衝突
した状態を示す正面拡大図である。
【０００８】１０は凹凸検出装置で、被測定物の測定基
準面（平面上）２０に形成された凹凸部の有無を検出す
る装置である。凹凸検出装置１０は、検出部３０、信号
処理部６０および判定器７０等により構成されている。
検出部３０は測定面に形成された凹凸に追従して変位す
るアーム（接触子に相当）４０と、アーム４０が垂直方
向へ変位する際に衝突し発生させる衝撃（振動）を電気
信号に変換するピックアップ（衝突センサに相当）５０
と、アーム４０およびピックアップ５０を保持し測定範
囲を移動する移動部（図示省略）等により構成されてい
る。
準面（平面上）２０に形成された凹凸部の有無を検出す
る装置である。凹凸検出装置１０は、検出部３０、信号
処理部６０および判定器７０等により構成されている。
検出部３０は測定面に形成された凹凸に追従して変位す
るアーム（接触子に相当）４０と、アーム４０が垂直方
向へ変位する際に衝突し発生させる衝撃（振動）を電気
信号に変換するピックアップ（衝突センサに相当）５０
と、アーム４０およびピックアップ５０を保持し測定範
囲を移動する移動部（図示省略）等により構成されてい
る。
【０００９】アーム４０は、水平アーム部４４に対し垂
直下方へ延在し、測定面に接触した状態で測定面をなぞ
るプローブ部（先端部に相当、図示左側）４１と、水平
アーム部４４のもう一方の端（図示右側）に垂直下方へ
延在し、プローブ部４１（アーム４０全体）が測定基準
面２０に対して垂直方向へ変位（回動）する際に、ピッ
クアップ５０の先端部５１に衝突し、衝撃（振動）を伝
える伝達部４２と、水平アーム部４４にはアーム４０全
体を測定基準面２０に対して平行に保持し回動させる回
動支点４３等が形成されている。
直下方へ延在し、測定面に接触した状態で測定面をなぞ
るプローブ部（先端部に相当、図示左側）４１と、水平
アーム部４４のもう一方の端（図示右側）に垂直下方へ
延在し、プローブ部４１（アーム４０全体）が測定基準
面２０に対して垂直方向へ変位（回動）する際に、ピッ
クアップ５０の先端部５１に衝突し、衝撃（振動）を伝
える伝達部４２と、水平アーム部４４にはアーム４０全
体を測定基準面２０に対して平行に保持し回動させる回
動支点４３等が形成されている。
【００１０】ピックアップ５０は、アーム４０のプロー
ブ部４１が測定面の凹凸部を通過する際に垂直方向へ変
位する変位差によりアーム４０が回動支点４３を中心に
回動し、アーム４０の伝達部４２がピックアップ５０の
先端部５１に衝突する際に発生する衝撃（振動）の大き
さを電気信号の大きさに変換するものである。ピックア
ップ５０は原理的にはアナログレコード盤の再生に用い
られるカートリッジと同じで、磁石とコイルからなり磁
力の変化によりコイルに誘起する電圧を出力するものが
用いられる。尚、ピックアップ５０として、衝撃による
歪みにより電圧を発生する圧電素子を用いることも可能
である。
ブ部４１が測定面の凹凸部を通過する際に垂直方向へ変
位する変位差によりアーム４０が回動支点４３を中心に
回動し、アーム４０の伝達部４２がピックアップ５０の
先端部５１に衝突する際に発生する衝撃（振動）の大き
さを電気信号の大きさに変換するものである。ピックア
ップ５０は原理的にはアナログレコード盤の再生に用い
られるカートリッジと同じで、磁石とコイルからなり磁
力の変化によりコイルに誘起する電圧を出力するものが
用いられる。尚、ピックアップ５０として、衝撃による
歪みにより電圧を発生する圧電素子を用いることも可能
である。
【００１１】信号処理部６０は、ピックアップ５０によ
り得られた電気信号を増幅するＡＭＰ６５と、増幅され
た信号が凹凸部を通過する際に得られた信号かまたは測
定表面のノイズによるものかを区分し、凹凸部を通過す
る際に得られた信号のみを分離して矩形波形とするコン
パレータ６６と、判定器７０が判定可能な電気信号（判
定レベル、判定時間）となるように波形を成形するＣＲ
ディレイ６７と、ＣＲディレイ６７より得られた信号を
自動判定し、必要により判定結果を知らせる判定器７０
等により構成されている。
り得られた電気信号を増幅するＡＭＰ６５と、増幅され
た信号が凹凸部を通過する際に得られた信号かまたは測
定表面のノイズによるものかを区分し、凹凸部を通過す
る際に得られた信号のみを分離して矩形波形とするコン
パレータ６６と、判定器７０が判定可能な電気信号（判
定レベル、判定時間）となるように波形を成形するＣＲ
ディレイ６７と、ＣＲディレイ６７より得られた信号を
自動判定し、必要により判定結果を知らせる判定器７０
等により構成されている。
【００１２】次に、凸部の有無検出動作を説明する。被
測定物を所定の位置にセットし、検出部３０のプローブ
部４１を測定開始位置へ移動させる。そして、検出部３
０を測定基準面（平面上）２０に沿って矢印Ａ方向へ移
動させると、プローブ部４１（アーム４０全体）が凸部
２１に沿って矢印Ｂ方向へ回動し凸部２１の頂点に達す
る。さらに検出部３０を移動させると、プローブ部４１
が測定基準面２０に変位（矢印Ｃ方向へ回動）する際
に、アーム４０の伝達部４２がピックアップ５０の先端
部５１に衝突する。この衝突により発生した衝撃（振
動）がピックアップ５０により電気信号に変換される。
以下の動作は、前述の信号処理部６０で説明した処理が
行われ凸部２１が検出される。尚、本実施例では凸部２
１の有無の検出について説明したが凹部２５の有無の検
出についても凸部２１の有無の検出と基本的に同じであ
る。
測定物を所定の位置にセットし、検出部３０のプローブ
部４１を測定開始位置へ移動させる。そして、検出部３
０を測定基準面（平面上）２０に沿って矢印Ａ方向へ移
動させると、プローブ部４１（アーム４０全体）が凸部
２１に沿って矢印Ｂ方向へ回動し凸部２１の頂点に達す
る。さらに検出部３０を移動させると、プローブ部４１
が測定基準面２０に変位（矢印Ｃ方向へ回動）する際
に、アーム４０の伝達部４２がピックアップ５０の先端
部５１に衝突する。この衝突により発生した衝撃（振
動）がピックアップ５０により電気信号に変換される。
以下の動作は、前述の信号処理部６０で説明した処理が
行われ凸部２１が検出される。尚、本実施例では凸部２
１の有無の検出について説明したが凹部２５の有無の検
出についても凸部２１の有無の検出と基本的に同じであ
る。
【００１３】以上説明したように本実施例によれば、検
出部３０がアーム４０とピックアップ５０の単純な組み
合わせにより構成されており、アーム４０のプローブ部
４１が凸部２１を通過する際に、測定基準面２０に対し
て垂直方向にアーム４０が位置が変位す動作を利用して
ピックアップ５０に衝突させ、衝突の振動を電気信号に
変換して取り出し凸部２１の有無の検出を行っているの
で、凹凸検出装置１０を安価に提供することができる。
また、凹凸検出装置１０は光学式の凹凸検出装置では検
出困難な例えば狭い場所や深い孔の中の凹凸の検出等に
もアーム４０の形状を工夫することにより容易に検出す
ることができる。
出部３０がアーム４０とピックアップ５０の単純な組み
合わせにより構成されており、アーム４０のプローブ部
４１が凸部２１を通過する際に、測定基準面２０に対し
て垂直方向にアーム４０が位置が変位す動作を利用して
ピックアップ５０に衝突させ、衝突の振動を電気信号に
変換して取り出し凸部２１の有無の検出を行っているの
で、凹凸検出装置１０を安価に提供することができる。
また、凹凸検出装置１０は光学式の凹凸検出装置では検
出困難な例えば狭い場所や深い孔の中の凹凸の検出等に
もアーム４０の形状を工夫することにより容易に検出す
ることができる。
【００１４】尚、本実施例ではアーム４０（プローブ部
４１）を回動させるようにしたが、回動させずに測定面
に対して垂直方向へ変位させるように構成してもよい。
本発明の第２実施例を図３を用いて説明する。図３は本
発明の第２実施例の凹凸検出装置を示す概略構成図で、
（ａ）はアームのプローブ部が測定基準面の位置の状態
を示す正面拡大図、（ｂ）はアームのプローブ部が凸部
の頂点の位置の状態を示す正面拡大図である。尚、第２
実施例では第１実施例と同じ構成については同じ符号を
付し説明を省略する。
４１）を回動させるようにしたが、回動させずに測定面
に対して垂直方向へ変位させるように構成してもよい。
本発明の第２実施例を図３を用いて説明する。図３は本
発明の第２実施例の凹凸検出装置を示す概略構成図で、
（ａ）はアームのプローブ部が測定基準面の位置の状態
を示す正面拡大図、（ｂ）はアームのプローブ部が凸部
の頂点の位置の状態を示す正面拡大図である。尚、第２
実施例では第１実施例と同じ構成については同じ符号を
付し説明を省略する。
【００１５】７５は凹凸検出装置で、被測定物の測定基
準面（平面上）２０に形成された凹凸部の有無を検出す
る装置である。凹凸検出装置７５は、アーム８０、光セ
ンサ９０およびアーム８０および光センサ９０を保持し
測定範囲を移動する移動部（図示省略）等により構成さ
れている。アーム８０は、水平アーム部８４に対し垂直
下方へ延在し、測定面に接触した状態で測定面をなぞる
プローブ部（先端部に相当、図示左側）８１と、水平ア
ーム部８４のもう一方の端（図示右側）に垂直下方へ延
在し、プローブ部８１（アーム８０全体）が測定基準面
２０に対して垂直方向へ変位（回動）する際に、光セン
サ９０から出射された光線の反射面となる光反射部８２
と、水平アーム部８４にはアーム８０全体を測定基準面
２０に対して平行に保持し回動させる回動支点８３等が
形成されている。
準面（平面上）２０に形成された凹凸部の有無を検出す
る装置である。凹凸検出装置７５は、アーム８０、光セ
ンサ９０およびアーム８０および光センサ９０を保持し
測定範囲を移動する移動部（図示省略）等により構成さ
れている。アーム８０は、水平アーム部８４に対し垂直
下方へ延在し、測定面に接触した状態で測定面をなぞる
プローブ部（先端部に相当、図示左側）８１と、水平ア
ーム部８４のもう一方の端（図示右側）に垂直下方へ延
在し、プローブ部８１（アーム８０全体）が測定基準面
２０に対して垂直方向へ変位（回動）する際に、光セン
サ９０から出射された光線の反射面となる光反射部８２
と、水平アーム部８４にはアーム８０全体を測定基準面
２０に対して平行に保持し回動させる回動支点８３等が
形成されている。
【００１６】光センサ９０は、発光素子と受光素子が組
み込まれており、プローブ部８１が凹凸の無い部分即ち
測定基準面２０に位置する状態で、発光素子より出射さ
れた光線がアーム８０の光反射部８２に当たって反射し
て受光素子に入射されるように設置された反射型の光セ
ンサである。尚、光センサ９０とアーム８０とは移動部
に一体として保持されている。
み込まれており、プローブ部８１が凹凸の無い部分即ち
測定基準面２０に位置する状態で、発光素子より出射さ
れた光線がアーム８０の光反射部８２に当たって反射し
て受光素子に入射されるように設置された反射型の光セ
ンサである。尚、光センサ９０とアーム８０とは移動部
に一体として保持されている。
【００１７】次に、凸部の有無検出動作を説明する。被
測定物を所定の位置にセットし、アーム８０のプローブ
部８１を測定開始位置へ移動させる。そして、アーム８
０と光センサ９０とが一体に構成された凹凸検出装置７
５を測定基準面２０に沿って矢印Ｄ方向へ移動させる
と、プローブ部８１（アーム８０全体）が回動支点８３
を支点にして凸部２１に沿って矢印Ｅ方向へ回動し凸部
２１の頂点に達する。この状態は光反射部８２による光
の反射方向が凹凸のない時と変わっており、光センサ９
０の受光素子には反射光が入射されなくなって凸部２１
が認識される。
測定物を所定の位置にセットし、アーム８０のプローブ
部８１を測定開始位置へ移動させる。そして、アーム８
０と光センサ９０とが一体に構成された凹凸検出装置７
５を測定基準面２０に沿って矢印Ｄ方向へ移動させる
と、プローブ部８１（アーム８０全体）が回動支点８３
を支点にして凸部２１に沿って矢印Ｅ方向へ回動し凸部
２１の頂点に達する。この状態は光反射部８２による光
の反射方向が凹凸のない時と変わっており、光センサ９
０の受光素子には反射光が入射されなくなって凸部２１
が認識される。
【００１８】以上説明したように本実施例によれば、ア
ーム８０と光センサ９０および移動部の単純な組み合わ
せにより構成されているので、より安価な凹凸検出装置
を提供することができる。尚、本実施例では第１実施例
に構成されている信号処理部６０および判定器７０を省
略したが必要により構成してもよい。尚、本実施例では
光センサ９０に反射型の光センサを用いたが、その他に
発光側（発光素子）より出力さた光を受光する受光側
（受光素子）等により構成される透過型の光センサを用
いることもできる。
ーム８０と光センサ９０および移動部の単純な組み合わ
せにより構成されているので、より安価な凹凸検出装置
を提供することができる。尚、本実施例では第１実施例
に構成されている信号処理部６０および判定器７０を省
略したが必要により構成してもよい。尚、本実施例では
光センサ９０に反射型の光センサを用いたが、その他に
発光側（発光素子）より出力さた光を受光する受光側
（受光素子）等により構成される透過型の光センサを用
いることもできる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
測定面の凹凸の有無が容易に検出できる凹凸検出装置を
安価で提供することができる。
測定面の凹凸の有無が容易に検出できる凹凸検出装置を
安価で提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の凹凸検出装置を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図２】第１実施例の凹凸検出装置を用いた凸部の検出
原理を示す概略図で、（ａ）はアームのプローブ部が凸
部の頂点の位置の状態を示す正面拡大図、（ｂ）はアー
ムの伝達部がピックアップの先端部に衝突した状態を示
す正面拡大図である。
原理を示す概略図で、（ａ）はアームのプローブ部が凸
部の頂点の位置の状態を示す正面拡大図、（ｂ）はアー
ムの伝達部がピックアップの先端部に衝突した状態を示
す正面拡大図である。
【図３】本発明の第２実施例の凹凸検出装置を示す概略
構成図で、（ａ）はアームのプローブ部が測定基準面の
位置の状態を示す正面拡大図、（ｂ）はアームのプロー
ブ部が凸部の頂点の位置の状態を示す正面拡大図であ
る。
構成図で、（ａ）はアームのプローブ部が測定基準面の
位置の状態を示す正面拡大図、（ｂ）はアームのプロー
ブ部が凸部の頂点の位置の状態を示す正面拡大図であ
る。
１０，７５・・凹凸検出装置 ２０・・・・・測定基準面 ２１・・・・・凸部 ２５・・・・・凹部 ３０・・・・・検出部 ４０，８０・・アーム ４１，８１・・プローブ部 ４２・・・・・伝達部 ４３，８３・・回動支点 ４４，８４・・水平アーム部 ５０・・・・・ピックアップ ５１・・・・・先端部 ６０・・・・・信号処理部 ６５・・・・・ＡＭＰ ６６・・・・・コンパレータ ６７・・・・・ＣＲディレイ ７０・・・・・判定器 ８２・・・・・光反射部 ９０・・・・・光電センサ
Claims (3)
- 【請求項１】 先端部が被測定面に接触し、該被測定面
の凹凸に追従して変位する接触子と、 前記先端部が前記凹凸を通過する際の前記接触子の変位
に伴って該接触子に衝突し、該接触子との衝突による振
動を電気信号に変換する衝突センサと、 前記接触子と前記衝突センサとを保持し、前記被測定面
に沿って位置移動させる移動手段と、 前記電気信号から凹凸部の有無を判断する判断手段とか
ら構成されてなることを特徴とする凹凸検出装置。 - 【請求項２】 先端部が被測定面に接触し、該被測定面
の凹凸に追従して変位する接触子と、 前記先端部が前記凹凸を通過する際の前記接触子の変位
に伴って、光路の状態が変化してその出力信号が変化す
る発光素子と受光素子からなる光センサと、 前記接触子と前記光センサとを保持し、前記被測定面に
沿って位置移動させる移動手段と、 前記出力信号から凹凸部の有無を判断する判断手段とか
ら構成されてなることを特徴とする凹凸検出装置。 - 【請求項３】 前記接触子は前記被測定面と平行に設け
られた支点により回動自在に保持されていることを特徴
とする請求項１及び請求項２記載の凹凸検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13678898A JPH11326537A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 凹凸検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13678898A JPH11326537A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 凹凸検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326537A true JPH11326537A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=15183541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13678898A Pending JPH11326537A (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 凹凸検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11326537A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337349A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Nec Electronics Corp | 漏液検出装置 |
-
1998
- 1998-05-19 JP JP13678898A patent/JPH11326537A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337349A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Nec Electronics Corp | 漏液検出装置 |
| JP4571889B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2010-10-27 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 漏液検出装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021203 |