JPH11307872A - 半導体光結合装置 - Google Patents

半導体光結合装置

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JPH11307872A
JPH11307872A JP11460398A JP11460398A JPH11307872A JP H11307872 A JPH11307872 A JP H11307872A JP 11460398 A JP11460398 A JP 11460398A JP 11460398 A JP11460398 A JP 11460398A JP H11307872 A JPH11307872 A JP H11307872A
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JP
Japan
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semiconductor
glass plate
optical
coupling device
optical isolator
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JP11460398A
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English (en)
Inventor
Kazuyuki Fukuda
和之 福田
Makoto Shimaoka
誠 嶋岡
Tadaaki Ishikawa
忠明 石川
幸司 ▲吉▼田
Koji Yoshida
Shoichi Takahashi
正一 高橋
Satoru Kikuchi
悟 菊池
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】加入者システム系で使用される半導体光結合装
置の低コスト化を実現するための適切な構造を提案する
とともに、半導体素子の安定動作と、組立てを容易に行
える半導体光結合装置を提供する。 【解決手段】箱型ケース5内を気密封止するためのガラ
ス板8に光アイソレータ7を貼り付ける。斜めに傾いた
ガラス板8にならって光アイソレータ7も傾いて設置さ
れるので、光アイソレータ7,ガラス板8,光ファイバ
12端面及び伝送システム側から反射して戻ってくる反
射光がレーザダイオード1へ戻ることがない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光通信に用
いられ、光アイソレータを搭載した半導体光結合装置の
構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の半導体光結合装置の構造
に係わる技術として、例えば特開平7−131112号公報が
ある。
【0003】この従来技術は、レーザダイオードと光フ
ァイバの光結合を、第一のレンズと第二のレンズの二個
のレンズを使用した光学系で行っている装置である。レ
ーザダイオードと第一のレンズを搭載したチップキャリ
アは、ペルチェ素子を介してパッケージ内に収納してい
る。パッケージには、パッケージ内を気密封止するため
のガラス窓と、レーザダイオードと光ファイバを光結合
させるための第二のレンズと、光ファイバを取り付けた
フェルール及びフェルールホルダが、それぞれ固定され
ている。フェルール及びフェルールホルダには、偏光
子、ファラデー回転子,検光子及びマグネットからなる
光アイソレータが接着剤で接着固定されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術には、以下の問題点がある。
【0005】すなわち、上記従来技術は、レーザダイオ
ードを収納するパッケージに、パッケージ内を気密封止
するためのガラス窓と、第二のレンズと、光アイソレー
タの構成部材を取り付けたフェルール及びフェルールホ
ルダを、それぞれ固定した構成であるが、部品点数が多
く、構造も複雑である。すなわち、気密封止用のガラス
窓はパッケージに直接取り付けられているが、第二のレ
ンズはレンズホルダを介して固定され、また光アイソレ
ータは、偏光子とマグネット,ファラデー回転子と検光
子、とに分けられ、偏光子とマグネットは偏光子ホルダ
を介してフェルールホルダに、ファラデー回転子と検光
子はガラスパイプを介してフェルールに、それぞれ固定
されている。このように、部品点数が多く、構造が複雑
になると、部品コストが高くなるだけでなく、組立てが
複雑化し工数や時間が大幅に必要となり、組立てコスト
も高くなる、などの問題がある。
【0006】これらのように、半導体光結合装置の構成
部品や組立てにおいて、部品点数の増加と構造の複雑化
は、半導体光結合装置の低コスト化を図る上で大きな障
害となる。
【0007】本発明の目的は、加入者システム系で使用
される半導体光結合装置の低コスト化を実現するための
適切な構造を提案することを目的とし、半導体素子の安
定動作と、組立てを容易に行える半導体光結合装置を提
供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】半導体光結合装置は、光
通信の光源に用いられ半導体素子と光ファイバを光学的
に結合させるものである。半導体光結合装置を低コスト
化し半導体素子の安定動作を得るためには、部品点数や
組立てコストを低減するとともに、構成部品の合理化を
図り最適配置する必要がある。
【0009】半導体素子を安定動作させるには、半導体
素子を気密封止し外部からの湿気の侵入を防ぐこと、光
ファイバ端や伝送システム側からの反射戻り光を半導体
素子に戻さないこと、が必要である。このため、パッケ
ージに気密封止用のガラス板を貼り付け、反射防止用の
光アイソレータを搭載した半導体光結合装置の提案や開
発が活発に行われており、長距離で大容量の情報を伝送
する幹線システム系では製品化が進んでいる。しかしな
がら、一般家庭に近い部分の加入者システム系では、シ
ステムの低コスト化から安価な半導体光結合装置が望ま
れており、幹線システム系で使われているような装置構
造ではコストが高く、加入者システム系に使うことは困
難であった。
【0010】本発明は、加入者システム系で使用される
半導体光結合装置の低コスト化を実現するための適切な
構造を提案するとともに、半導体素子の安定動作と、組
立てを容易に行える半導体光結合装置を得る構造とした
ものである。
【0011】すなわち上記目的を達成するために、本発
明によれば、半導体発光素子と半導体受光素子からなる
半導体素子と、この半導体素子と光学的に結合されレー
ザ光を内部伝送する光ファイバと、前記半導体素子を搭
載する基板部材と、この基板部材に前記半導体素子と一
緒に搭載され、かつ前記半導体素子と前記光ファイバと
を光学的に結合させるためのレンズと、このレンズと前
記光ファイバ間に設置された光アイソレータと、前記基
板部材を収納する箱型ケースと、この箱型ケース内を気
密封止するガラス板及びキャップと、このケースの一端
に設けられたパイプに前記光ファイバを内設したフェル
ールが取り付けられ、前記半導体素子と前記光ファイバ
とが前記レンズと前記光アイソレータを介して光学的に
空間上で結合される半導体光結合装置において、前記箱
型ケース内を気密封止するガラス板には前記光アイソレ
ータが貼り付けられていることを特徴とする半導体光結
合装置が提供される。
【0012】本発明の半導体光結合装置は、次のいずれ
かを特徴とする。
【0013】1.半導体発光素子と半導体受光素子から
なる半導体素子と、この半導体素子と光学的に結合され
レーザ光を内部伝送する光ファイバと、前記半導体素子
を搭載する基板部材と、この基板部材に前記半導体素子
と一緒に搭載され、かつ前記半導体素子と前記光ファイ
バとを光学的に結合させるためのレンズと、このレンズ
と前記光ファイバ間に設置された光アイソレータと、前
記基板部材を収納する箱型ケースと、この箱型ケース内
を気密封止するガラス板及びキャップと、このケースの
一端に設けられたパイプに前記光ファイバを内設したフ
ェルールが取り付けられ、前記半導体素子と前記光ファ
イバとが前記レンズと前記光アイソレータを介して光学
的に空間上で結合される半導体光結合装置において、前
記箱型ケー内を気密封止するガラス板には前記光アイソ
レータが貼り付けられていること。
【0014】2.前記箱型ケース内を気密封止するガラ
ス板は、金属ホルダに斜めに接着固定されていること。
【0015】3.前記箱型ケース内を気密封止するガラ
ス板は、前記箱型ケース一端に設けたパイプに斜めに接
着固定されていること。
【0016】4.前記ガラス板に貼り付けられた光アイ
ソレータは、少なくとも偏光子,ファラデー回転子及び
検光子で構成され、その構成部品が斜めに傾いて構成さ
れていること。
【0017】5.前記ガラス板を接着固定した金属ホル
ダは、前記箱型ケース一端に設けたパイプに取り付けら
れていること。
【0018】6.前記ガラス板を接着固定した金属ホル
ダは、前記箱型ケースの側壁に取り付けられているこ
と。
【0019】7.前記ガラス板を接着固定した金属ホル
ダあるいは箱型ケース一端に設けたパイプには、前記半
導体素子と前記光ファイバを光結合させる前記レンズと
は別のレンズが取り付けられていること。
【0020】以上のように構成した本発明においては、
箱型ケース内を気密封止するガラス板に光アイソレータ
を貼り付けた構造であり、ガラス板及び光アイソレータ
構成部品を斜めに傾かせている。これにより、部品点数
が多く、構造が複雑化したような従来の構成ではなくな
るので、半導体光結合装置の低コスト化と半導体素子の
安定動作を実現できる。つまり、光アイソレータ構成部
品を一体部品にし、箱型ケース内を気密封止するガラス
板に貼り付けることで、気密封止用ガラス板と光アイソ
レータの部品共通化を図り最低限必要な部品点数とする
ことで、組立て時の工数や時間も低減でき容易な組立て
を可能にできる。また、ガラス板で箱型ケース内の気密
封止を行うとともに、ガラス板及び光アイソレータを斜
めに傾かせて最適位置に配置しているため、外部からの
湿気の侵入を防ぎ、さらに光ファイバ端や伝送システム
側からの反射戻り光が半導体素子に戻らないことから、
長期に渡って半導体素子の安定動作が可能な半導体光結
合装置を得ることができる。
【0021】以上により、加入者システム系で使用され
る半導体光結合装置の低コスト化を実現できるととも
に、半導体素子の安定動作と、組立てを容易に行える半
導体光結合装置を得ることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。なお、煩雑を避けるためにワイ
ヤボンディングや接着剤及びレーザ溶接等の図示を省略
している。また、本発明の実施の形態では、半導体素子
として、半導体発光素子であるレーザダイオードと、半
導体受光素子であるフォトダイオードと、光ファイバと
して単一モード光ファイバを使用している。
【0023】本発明の第一の実施の形態を図1により説
明する。
【0024】本実施の形態による半導体光結合装置の構
造を表す縦断面図を図1に示す。
【0025】図1において、半導体光結合装置は、半導
体発光素子であるレーザダイオード1と、半導体受光素
子であるフォトダイオード2と、レーザダイオード1と
光学的に結合して光伝送を行うフェルール11に内設し
た光ファイバ12と、レーザダイオード1と光ファイバ
12を光学的に結合するレンズ3と、光ファイバ12側
からの反射戻り光をレーザダイオード1に戻さない光ア
イソレータ7とを備えている。レーザダイオード1,フ
ォトダイオード2及びレンズ3を搭載した基板部材4
は、一端面にパイプ6を備えた箱型のケース5内に設置
されている。パイプ6にはガイド10を介してフェルー
ル11が接合固定されている。箱型ケース5の上面に
は、ケース5内部を外部と遮断し気密封止するためのキ
ャップ13が、ケース5側面の内側には、同じくケース
5内部を外部と遮断し気密封止するためのガラス板8
が、それぞれ取り付けられている。ガラス板8はホルダ
18を介して斜めに傾いてケース5に取り付けられてお
り、このガラス板8に光アイソレータ7が接着固定され
ている。
【0026】つまり、レーザダイオード1から出射した
レーザ光は、レンズ3に入射する前は広がった出射光で
あるが、レンズ3で集光したレーザ光に絞られ、光アイ
ソレータ7,ガラス板8を透過して光ファイバ12に入
射しファイバ12内伝送する光結合系である。ここで
は、箱型ケース5の寸法は、高さ(図の縦方向)4.6m
m,横幅(図の断面方向)7.6mm,パイプ6を含めたケ
ース5長さ(図の横方向)12.5mm である。ケース5
の材質はセラミックス材、パイプ6の材質はケース5材
と熱膨張係数が近いステンレス鋼で、パイプ6はケース
5にAgろう付けで取り付けている。
【0027】レーザダイオード1とフォトダイオード2
は、基板部材4上面の所定位置に、位置決めマーカ(図
示せず)を目印にそれぞれ位置決めし搭載している。一
方、基板部材4の上面には、レンズ3搭載用の段差部を
設けており、この部分にレンズ3を接着剤あるいははん
だで接合している。レンズ3の搭載は、レンズ3の中心
軸とレーザダイオード1のレーザ出射位置が一致するよ
うに位置合せしている。これらレーザダイオード1,フ
ォトダイオード2及びレンズ3を搭載した基板部材4
は、ケース5内の所定位置に設置し、レーザダイオード
1とフォトダイオード2が外部と電気的に接続するよう
に基板部材4及びケース5にそれぞれワイヤーボンディ
ング(図示せず)している。ケース5にはあらかじめホ
ルダ18を介してガラス板8が斜めに取り付けられてお
り、このガラス板8に光アイソレータ7が接着剤で接着
固定されている。
【0028】光ファイバ12を内設したフェルール11
はガイド10を介してパイプ6に取り付けている。フェ
ルール11及びガイド10の取り付けは、まずケース5
内に設置したレーザダイオード1をレーザ発振させ、レ
ンズ3で集光されたレーザ光を光ファイバ12で受け
て、そのときの光ファイバ12出力が最大となるように
位置調整する。位置調整については、光軸と垂直方向
(図の上下方向,断面方向)はパイプ6端面でガイド10
をスライドさせながら、光軸方向(図の横方向)はガイ
ド10内でフェルール11をスライドさせながら、それ
ぞれの方向に行う。位置調整後、レーザ溶接15,16
でフェルール11をガイド10に、ガイド10をパイプ
6にそれぞれ接合固定している。
【0029】光アイソレータ7の内部構成としては、偏
光子,ファラデー回転子,検光子及びマグネットから構
成されており、それぞれを接着剤で空間がないように貼
り合わせて接着固定している。ガラス板8とは検光子が
接着剤で貼り付けられている。斜めに傾けたガラス板8
に偏光子,ファラデー回転子,検光子及びマグネットを
貼り付けているため、傾けたガラス板8にならって光ア
イソレータ7も傾いて設置される。
【0030】つまり、レーザダイオード1の出射レーザ
光のアイソレータ7入射部である偏光子が斜めに傾いて
いるため、偏光子で反射したレーザ光が直接レーザダイ
オード1に反射戻り光として戻ることはなく、さらにフ
ァラデー回転子,検光子及びガラス板8も斜めに傾い
て、それぞれ空間がないように接着剤で貼り合わせてい
るため、光アイソレータ7内部で反射が起こることもな
い。
【0031】また、光ファイバ12端面あるいは伝送シ
ステム側からレーザダイオード1に戻ってくる反射戻り
光に対しては、斜めに傾けたガラス板8と光アイソレー
タ7にて遮断される。なお、ガラス板8には、レーザダ
イオード1の発振波長に対応した反射防止膜を施してい
る。光アイソレータ7の構成部品の接着固定及びガラス
板8への接着固定には、光学的に透明で紫外線硬化接着
剤を使用している。
【0032】以上のように構成した本実施の形態におい
ては、ケース5内を気密封止するガラス板8に光アイソ
レータ7を貼り付け、ガラス板8及び光アイソレータ7
構成部品を斜めに傾かせた構造としている。これによ
り、部品点数が多く、構造が複雑化したような従来の構
成ではなくなるので、半導体光結合装置の低コスト化と
レーザダイオード1の安定動作を実現できる。つまり、
光アイソレータ7を構成する偏光子,ファラデー回転
子,検光子及びマグネットからなる部品を接着剤で貼り
合わせて一体部品にし、ケース5内を気密封止するガラ
ス板8に貼り付けることで、気密封止用ガラス板8と光
アイソレータ7の部品共通化を図れ最低限必要な部品点
数とすることで、組立て時の工数や時間も低減でき容易
な組立てを可能にできる。また、ガラス板8でケース5
内の気密封止を行うとともに、ガラス板8及び光アイソ
レータ7を斜めに傾かせて配置しているため、外部から
の湿気の侵入を防ぎ、さらに光アイソレータ7内や光フ
ァイバ12端及び伝送システム側からの反射戻り光がレ
ーザダイオード1に戻ることはなく、長期に渡ってレー
ザダイオード1の安定動作が可能な半導体光結合装置を
得ることができる。
【0033】したがって、加入者システム系で使用され
る半導体光結合装置の低コスト化を実現できるととも
に、レーザダイオード1の安定動作と、組立てを容易に
行える半導体光結合装置を得ることができる。
【0034】次に、本発明の第二の実施の形態を図2か
ら図4により説明する。
【0035】本発明の第二の実施の形態は、第一の実施
の形態の半導体光結合装置の光アイソレータ7及びガラ
ス板8を固定したホルダ9をパイプ6端に取り付けた構
造で、半導体光結合装置の構造を表す縦断面図を図2
に、光アイソレータ7の固定が異なる構造を表す縦断面
図を図3に、光アイソレータ7とガラス板8を取り付け
たホルダ9内にレンズ17を設置した構造を表す縦断面
図を図4に示す。第一の実施の形態と同等の構成要素に
は同一の符号を記し、詳細説明を省略する。
【0036】本実施の形態による半導体光結合装置の光
アイソレータ7及びガラス板8を固定したホルダ9をパ
イプ6端に取り付けた構造を図2に示す。本実施の形態
の半導体光結合装置が、前記第一の実施の形態の半導体
光結合装置と異なる点は、図2ではケース5の一端面に
備えたパイプ6端部に、ガラス板8と光アイソレータ7
を取り付けたホルダ9を設置した点である。
【0037】図2において、ホルダ9にはガラス板8が
接合固定されており、このガラス板8に光アイソレータ
7を接着剤で接着固定している。ガラス板8には、第一
に実施の形態と同様に、光アイソレータ7の構成部品の
検光子を貼り付けている。光アイソレータ7付きホルダ
9の取り付けは、まずケース5の一端面に設けたパイプ
6部分へ、ホルダ9へ取り付けた光アイソレータ7を挿
入する状態で設置し、つぎに光アイソレータ7とレーザ
ダイオード1の偏波方向を合せるように回転させ、ホル
ダ9をパイプ6端部にレーザ溶接14で固定している。
レーザ溶接14はホルダ9の全周囲を溶接するように行
い、外部からケース5内へ侵入する湿気を防いでいる。
つまり、ケース5内の気密封止は、ケース5の上面に取
り付けたキャップ13と、ホルダ9に取り付けたガラス
板8と、ホルダ9をパイプ6端面に全周囲を溶接するこ
と、でとることができる。フェルール11及びガイド1
0の取り付けは、図1に示した第一の実施の形態と同様
に行っている。
【0038】図3は、図2で示したガラス板8に取り付
けた光アイソレータ7の固定が異なる構造である。ホル
ダ9に接合固定されたガラス板8には、光アイソレータ
7の構成部品である偏光子を接着剤で貼り付けており、
ホルダ9の内部に光アイソレータ7を収納する構造とし
ている。この構造によれば、ホルダ9内に光アイソレー
タ7を収納し保護できるので、例えばマグネットを使用
しない光学結晶を剥き出しの光アイソレータ7を使用す
る場合には適している構造である。
【0039】図4は、図2で示した光アイソレータ7付
きホルダ9の内部に、基板部材4上の搭載したレンズ3
とは別のレンズ17を収納し接合固定した構造である。
つまり、基板部材4上のレンズ3とホルダ9内のレンズ
17の2個のレンズを使用した光学系で、レーザダイオ
ード1と光ファイバ12の光結合を行う構造である。こ
の構造によれば、レンズを2個使用してレーザダイオー
ド1と光ファイバ12の光結合を行う場合でも、レンズ
17を光アイソレータ7付きホルダ9に一体部品として
取り付けているので、レンズ17が増えても部品点数が
多くなることはなく、組立てや位置調整も図2で示した
方法と同様に行える。
【0040】このように構成した本実施の形態において
は、第一の実施の形態よりも、光アイソレータ7を光フ
ァイバ12に近づけた位置に設置できるため、レンズ3
で集光され数十μmに絞られたレーザ光に合せて、光ア
イソレータ7の有効径を小さくできる。すなわち、光ア
イソレータ7は、その有効径によりコストが決まってい
るので、有効径の小さい方がコストを低くできるため、
半導体光結合装置のコストも低減できる。また、ケース
5内の気密封止を、ケース5の上面に取り付けたキャッ
プ13と、ホルダ9に取り付けたガラス板8と、ホルダ
9をパイプ6端面に全周囲を溶接すること、でとってい
るため、外部からの湿気の侵入を防ぎ、長期に渡ってレ
ーザダイオード1の安定動作が可能となる。
【0041】また、マグネットを使用しない光学結晶剥
き出しの光アイソレータ7を保護した状態での取り付け
が可能であり、さらに、レンズ17をホルダ9内に収納
し接合固定しているので、気密封止用ガラス板8と光ア
イソレータ7の部品共通化を図れ最低限必要な部品点数
とすることで、組立て時の工数や時間も低減でき容易な
組立てを可能にできる。したがって、前記第一の実施の
形態で示した半導体光結合装置よりも、さらに光アイソ
レータ7の低コスト化を図れ、レンズ17の増加にも適
した半導体光結合装置を実現できる。また、本実施の形
態は、上記光アイソレータ7の設置が異なること以外の
構成は、前記第一の実施の形態と同様の構成であるた
め、反射戻り光を防ぐ効果についても第一の実施の形態
と同様の効果を得ることができる。
【0042】なお、上記第二の実施の形態の図3で示し
た光アイソレータ7の設置構造と同様に、上記第一の実
施の形態の図1の半導体光結合装置の光アイソレータ7
の設置を行っても良く、図3と同様に光アイソレータ7
の偏光子をガラス板8に貼り付けることで構成できるの
で、これらの場合も同様に上記実施の形態と同様の効果
を得ることができる。
【0043】また、上記第二の実施の形態の図4で示し
たレンズ17は、図では球レンズ17の形状であるが、
これらに限定されるものではなく、例えばロッドレン
ズ,屈折率分布型レンズ,非球面レンズ及び平板レンズ
でも良く、同様の構成で半導体光結合装置を構成できる
ので、これらの場合も同様に上記実施の形態と同様の効
果を得ることができる。
【0044】また、上記第一及び第二の実施の形態で、
光アイソレータ7の構成部品である偏光子及び検光子を
ガラス板8に接着剤で貼り付けた構成としているが、こ
れらに限定されるものではなく、例えばガラス板8を介
して偏光子とファラデー回転子を貼り付ける、あるいは
検光子とファラデー回転子を貼り付けても良く、光アイ
ソレータ7がガラス板8に対して如何なる状態で接着固
定されていても、光アイソレータ7付きホルダ9として
一体構造で構成できるので、上記実施の形態と同様の構
成で半導体光結合装置を構成でき、これらの場合も同様
に上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0045】
【発明の効果】本発明によれば、半導体光結合装置の低
コスト化とレーザダイオードの安定動作を実現できる。
つまり、光アイソレータを構成する偏光子,ファラデー
回転子,検光子及びマグネットからなる部品を接着剤で
貼り合わせて一体部品にし、ケース内を気密封止するガ
ラス板に貼り付けることで、気密封止用ガラス板と光ア
イソレータの部品共通化を図れ、簡単かつ最低限必要な
部品点数とでき、組立て時の工数や時間も低減でき容易
な組立てを可能にできる。また、光アイソレータを光フ
ァイバに近づけて設置することで光アイソレータの有効
径を小さくでき、コストの低く光アイソレータの使用に
より半導体光結合装置のコストも低減できる。
【0046】また、マグネットを使用しない光学結晶剥
き出しの光アイソレータの取り付け、及びレンズが増え
た光結合系でも部品点数を増やすことなく構成できるの
で、組立て時の工数や時間が増えることはない。また、
ガラス板でケース内の気密封止を行うとともに、ガラス
板及び光アイソレータを斜めに傾かせて配置しているた
め、外部からの湿気の侵入を防ぎ、さらに光アイソレー
タ内や光ファイバ端及び伝送システム側からの反射戻り
光がレーザダイオードに戻ることはなく、長期に渡って
レーザダイオードの安定動作が可能な半導体光結合装置
を得ることができる。
【0047】よって、加入者システム系で使用される半
導体光結合装置の低コスト化を実現できるとともに、レ
ーザダイオードの安定動作と、組立ての容易を図った半
導体光結合装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施の形態による半導体光結合
装置の構造を表す縦断面図である。
【図2】本発明の第二の実施の形態による半導体光結合
装置の構造を表す縦断面図である。
【図3】本発明の第二の実施の形態の光アイソレータ搭
載部の他の構造を表す縦断面図である。
【図4】本発明の第二の実施の形態の光アイソレータ搭
載部の他の構造を表す縦断面図である。
【符号の説明】
1…レーザダイオード、2…フォトダイオード、3,1
7…レンズ、4…基板部材、5…ケース、6…パイプ、
7…光アイソレータ、8…ガラス板、9,18…ホル
ダ、10…ガイド、11…フェルール、12…光ファイ
バ、13…キャップ、14,15,16…レーザ溶接。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲吉▼田 幸司 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 高橋 正一 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 菊池 悟 長野県小諸市拍木190 日立東部セミコン ダクタ株式会社小諸工場内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体発光素子と半導体受光素子からなる
    半導体素子と、この半導体素子と光学的に結合されレー
    ザ光を内部伝送する光ファイバと、前記半導体素子を搭
    載する基板部材と、この基板部材に前記半導体素子と一
    緒に搭載され、かつ前記半導体素子と前記光ファイバと
    を光学的に結合させるレンズと、このレンズと前記光フ
    ァイバ間に設置された光アイソレータと、前記基板部材
    を収納する箱型ケースと、この箱型ケース内を気密封止
    するガラス板及びキャップと、このケースの一端に設け
    られたパイプに前記光ファイバを内設したフェルールが
    取り付けられ、前記半導体素子と前記光ファイバとが前
    記レンズと前記光アイソレータを介して光学的に空間上
    で結合される半導体光結合装置において、前記箱型ケー
    ス内を気密封止するガラス板には前記光アイソレータが
    貼り付けられていることを特徴とする半導体光結合装
    置。
JP11460398A 1998-04-24 1998-04-24 半導体光結合装置 Pending JPH11307872A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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