JPH11302887A

JPH11302887A - オゾン水製造装置

Info

Publication number: JPH11302887A
Application number: JP10107558A
Authority: JP
Inventors: Mitsuyuki Imaizumi; 泉三之今; Kenro Mitsuta; 田憲朗光
Original assignee: Optec Dai Ichi Denko Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Optec Dai Ichi Denko Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1998-04-17
Filing date: 1998-04-17
Publication date: 1999-11-02

Abstract

(57)【要約】【課題】水道水を原料としてオゾン水を製造するオゾ
ン水製造装置の固体高分子電解質膜や陰極に、水中に含
まれる不純物が吸着したり析出して、電気分解能力が低
下することを防止し、また、陽極金属をオゾン水に溶出
させないようにすると共に、陰極で発生する水素を安全
に処理することができるようにする。【解決手段】陽極６のオゾン水生成室４に面した部分
を、撥水性及びガス通気性を有する微細多孔質膜体13で
覆い、水蒸気となった水のみが陽極６に達するようにし
て不純物の吸着を防止した。陰極７には、陽極６で発生
した水素イオンを水素に還元すると同時にその水素を酸
化させて水にする導電性の還元酸化触媒層10Ａを配設
し、陰極７の処理用空気供給空間５に面した部分を、撥
水性及びガス通気性を有する微細多孔質膜体14で覆っ
た。これにより、陽極６で発生した水素イオンは水蒸気
となって処理用空気供給空間５に放出され、水素のまま
放出されることはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば水道水など
の公共上水道により供給される水を原料として殺菌，脱
臭，消毒効果を有するオゾン水を連続して製造すること
のできるオゾン水製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】オゾン水は、水にオゾンを溶かしたもの
で、オゾンの強い酸化作用により、殺菌，脱臭，消毒，
漂白などの目的に使用される。そして、オゾン水を製造
する方法としては、従来より、水を電気分解して得られ
たオゾンを水中に溶かしてオゾン水とする水電解法が知
られている。

【０００３】図６はこのような水電解法によりオゾン
水を製造する従来のオゾン水製造装置であって、反応容
器２１内に配設されたオゾン発生素子２２により、当該
反応容器２１がオゾン水生成室２３と処理用空気供給室
２４に仕切られている。このオゾン発生素子２２は、水
を電気分解して酸素やオゾンを発生する陽極２５と、陽
極２５で生成された水素イオンを水素に還元する陰極２
６との間に、水素イオンを透過する水素イオン交換膜と
なる固体高分子電解質膜２７が挟持された構造となって
いる。

【０００４】そして、図７に示すように、オゾン発生
素子２２の陽極２５に面したオゾン水生成室２３に水
（Ｈ₂Ｏ）を供給すると、陽極２５では、３Ｈ₂Ｏ → Ｏ₃＋６Ｈ⁺＋６ｅ^- ２Ｈ₂Ｏ → Ｏ₂＋４Ｈ⁺＋４ｅ^- の二つの反応が同時に進行して、オゾン（Ｏ₃）と酸素
（Ｏ₂）の混合気体が得られ、これが当該オゾン水生成
室２３内の水（Ｈ₂Ｏ）に溶けてオゾン水が得られる。

【０００５】一方、陽極２５で生成された水素イオン
（Ｈ⁺）は、固体高分子電解質膜２７内を移動して陰極
２６に達し、陰極２６から電子を受け取り、６Ｈ⁺＋６ｅ^-→ ３Ｈ₂（４Ｈ⁺＋４ｅ^-→ ２
Ｈ₂）で表される反応により、水素（Ｈ₂）となって放出され
る。このため、この水素を処理するために、酸化触媒を
用いて水素を低温酸化させる触媒酸化処理装置や、水素
を燃焼させる燃焼処理装置などの水素ガス処理装置２８
が、オゾン発生素子２２の陰極２６に面した処理用空気
供給室２４に連続して配設されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
オゾン水製造装置においては、陽極２５側のオゾン水生
成室２３に水道水やミネラル分を多く含む水などを供給
した場合、その水中に含まれるナトリウム，カルシウ
ム，マグネシウムなどの不純物がイオン化（Ｍ⁺）し、
陰極２６側に移動する際にその手前の固体高分子電解質
膜２７に吸着したり、また、固体高分子電解質膜２７に
吸着されなかったとしても陰極２６に析出して、電気分
解能力を低下させるという問題があった。このため、反
応容器２１のオゾン水生成室２３には、オゾンの原料と
して純水を供給する必要があり、水道水を純水とするた
めに別途イオン交換器などを用いなければならない。

【０００７】また、陽極２５としては二酸化鉛ＰｂＯ
₂を用いているのが一般的であるが、オゾン水生成室２
３に供給された水に陽極２５の鉛が溶け出して電極腐食
を生ずるだけでなく、オゾン水は鉛で汚染されるので、
この鉛を除去しなければオゾン水として使用することが
できないという問題があった。さらに、陰極２６で発生
する水素ガスを処理するために、水素ガス処理装置２８
を備えており、水素は空気と混合した状態で供給される
が、その混合率によっては爆発しやすい極めて危険なガ
スが供給されることとなる。したがって、水素を低温酸
化させる場合にその混合率の制御が面倒であり、また、
水素を燃焼処理する場合も前述と同様に混合率を制御し
て危険性を回避しつつ、パイロットバーナを常時点火状
態に維持しなければならないという面倒があった。

【０００８】そこで本発明は、第一に純水を原料とせ
ずに、水道水などのように不純物を含む水やミネラル分
を多く含む水を原料としてオゾン水を生成する場合で
も、電気分解能力を維持してオゾン水を連続的に定量供
給することができるようにし、第二に、陽極金属が溶出
することがなく、第三に陰極で発生する水素を安全に処
理することができるようにすることを技術的課題として
いる。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明は、原料となる水が供給されるオゾン水生成
室と水素処理用の空気が供給される処理用空気供給空間
がオゾン発生素子を介して仕切られ、当該オゾン発生素
子は、オゾン水生成室に供給された水を酸素，オゾン及
び水素イオンに電気分解する陽極と、陽極で生成された
水素イオンを水素に還元する陰極との間に、水素イオン
交換膜となる固体高分子電解質膜を挟持してなり、前記
陽極で生成されたオゾンをオゾン水生成室内の水に溶か
してオゾン水を製造するオゾン水製造装置において、前
記陽極は、前記オゾン水生成室に面した部分が、撥水性
及びガス通気性を有する微細多孔質膜体で覆われて形成
され、前記陰極は、陽極から固体高分子電解質膜を透過
してきた水素イオンを水素に還元すると同時にその水素
を酸化させて水にする導電性の還元酸化触媒層が電極基
材の前記固体高分子電解質膜側に配されて形成されると
共に、当該陰極の前記処理用空気供給空間に面した部分
が、撥水性及びガス通気性を有する微細多孔質膜体で覆
われたことを特徴とする。

【００１０】本発明によれば、オゾン水生成室に供給
された水が陽極で、酸素とオゾンと水素イオンに電気分
解される。このとき、陽極のオゾン水生成室に面した全
面が、撥水性及びガス通気性を有する微細多孔質膜体で
覆われているので、水蒸気となった水のみが陽極に達
し、オゾン水生成室に供給された水が液体として陽極に
接することはない。したがって、陽極の二酸化鉛が溶出
してオゾン水を汚染することが防止されるだけでなく、
水に含まれる不純物が陽極でイオン化して固体高分子電
解質膜に吸着されたり、陰極に析出することもない。そ
して、電気分解により発生した酸素とオゾンが再び微細
多孔質膜体を通ってオゾン水生成室に戻り、オゾン水生
成室内の水に溶けてオゾン水を生成する。

【００１１】一方、陽極で発生した水素イオンは、固
体高分子電解質膜を通り、陰極に達すると導電性の還元
酸化触媒層で、水素イオンが電子を受け取って水素に還
元され、さらに、これが酸化されて水蒸気になる。そし
て、還元酸化触媒層で酸化しきれなかった水素は、電極
基材を通過して酸化促進触媒層で酸化されて水蒸気にな
る。この間、水素は触媒中で発生し、発生と同時に酸化
されて水蒸気となって処理用空気供給空間に放出される
ので、処理用空気供給空間内の空気と混合されることが
なく、したがって、別途、水素ガス処理装置を設ける必
要もないし、爆発の危険もない。

【００１２】さらに、処理用空気供給空間に空気を供
給すると共に処理用空気供給空間から空気を排出する送
風機を設ければ、陰極面へ酸素を十分に供給しつつ、陰
極面での水蒸気の滞留が防止され、陰極における水素の
酸化反応が促進される。また、陰極の前記処理用空気供
給空間に面した側が、撥水性及びガス通気性を有する微
細多孔質膜体で覆われているので、処理用空気供給空間
に供給される空気に含まれる塵埃や水滴が陰極に付着す
ることによる悪影響がない。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて具体的に説明する。図１は本発明に係るオゾ
ン水製造装置を示す説明図、図２はこれに用いるオゾン
発生素子の分解斜視図、図３はオゾンの発生過程を模式
的に示す説明図、図４及び図５は他の実施形態を示す説
明図である。

【００１４】図１に示すオゾン水製造装置１は、反応
容器２内がオゾン発生素子３を介して、水が供給される
オゾン水生成室４と、外気が導入される処理空気供給室
（処理用空気供給空間）５との二つの部屋に仕切られ、
オゾン水生成室４には水の流入口４inと流出口４out が
形成され、処理空気供給室５には外気を導入する外気導
入口５inと供給室５内の空気を排出する排気口５out が
形成されている。

【００１５】オゾン発生素子３は、オゾン水生成室４
に供給された水を酸素，オゾン及び水素イオンに電気分
解する陽極６と、当該陽極６で生成された水素イオンを
水素に還元する陰極７との間に、水素イオン交換膜とな
る陽極イオン選択透過性の固体高分子電解質膜８を挟持
して形成されている。そして、陽極６は、例えば、厚さ
５０μｍのチタンエキスパンドメタルに厚さ１μｍの白
金メッキを施した後、さらに、厚さ１５０μｍのβ−二
酸化鉛メッキを施して形成されている。

【００１６】また、陰極７は、導電性の電極基材９を
挟んで、その固体高分子電解質膜８側に陽極６から固体
高分子電解質膜８を透過してきた水素イオンを水素に還
元すると同時にその水素を酸化させて水にする導電性の
還元酸化触媒層１０Ａが配設されると共に、その処理空
気供給室５側に前記還元酸化触媒層１０Ａで酸化しきれ
なかった水素を酸化させて水に変化させる導電性の酸化
促進触媒層１０Ｂが配されてなる。

【００１７】この電極基材９はカーボン繊維でできた
厚さ０．３ｍｍのカーボンペーパーにポリテトラフルオ
ロエチレン（以下「ＰＴＦＥ」と略す）の微粒子を付着
させ、３５０℃で熱処理することで撥水処理したものを
用いた。また、固体高分子電解質膜８に接する前記還元
酸化触媒層１０Ａは、ナフィオン溶液をバインダーとし
て、カーボン粉末に白金微粒子を担持させた触媒を電極
基材９に厚さ２０μｍ含浸させて形成し、酸化促進触媒
層１０Ｂは、ＰＴＦＥの微粒子溶液をバインダーとし
て、カーボン粉末に白金微粒子を担持させた触媒を厚さ
２０μｍ固着させて形成した。

【００１８】さらに、固体高分子電解質膜８は、例え
ば、スルフォン酸基をもつフッ素系樹脂であるナフィオ
ン１１７（デュポン社の商品名），フレミオン（旭硝子
社の商品名），アシプレックス（旭化成社の商品名），
ゴアセレクト（ジャパンゴアテックス社の商品名）な
ど、陽イオン選択透過性を有するものであれば任意のも
のを用いることができる。なお、本例では、厚さ１７０
μのナフィオン１１７を反応容器２の内部空間の大きさ
に合わせて１１５ｍｍ×１１５ｍｍの大きさに切断して
用いている。

【００１９】そして、陽極６と、固体高分子電解質膜
８と、陰極７を構成する還元酸化触媒層１０Ａ，電極基
材９，酸化促進触媒層１０Ｂを５層重ね合わせて１６０
℃，５０ｋｇ／ｃｍ²の圧力で２分間ホットプレスして
接合した後、その両側に電極端子となる集電極１１，１
２を設けて、オゾン発生素子３が形成されている。こ
の、集電極１１，１２は、開口部分が１００ｍｍ×１０
０ｍｍのチタン板にわずかに白金メッキしたものを配置
して陽極６及び酸化促進触媒層１０Ｂに接触させてい
る。

【００２０】なお、陽極６のオゾン水生成室４に面し
た部分は、オゾン水生成室４に供給された水が液体の状
態で陽極６に付着しないように、撥水性及びガス通気性
を有する微細多孔質膜体１３でその全面が覆われてい
る。この微細多孔質膜体１３は、例えば、厚さ３６０μ
ｍのＰＴＥＦの微細多孔質膜を２枚重ねて形成されてい
る。また、陰極７の処理空気供給室５に面した部分は、
処理空気供給室５に供給された空気中に含まれる塵埃の
付着や、陰極７の結露を防止するため、厚さ３５μｍの
ポリプロピレン製の微細多孔質膜体１４でその全面が覆
われている。

【００２１】なお、１５は処理空気供給室５内に外気
を導入する送風機であって、本例では送風量0.12ｍ³／
min の軸流ファンを使用した。また、陽極６及び陰極７
には電源装置１６が接続されると共に、当該電源装置１
６には、オゾン水生成室４の流出口４out に配設された
オゾン濃度検出センサ１７の検出信号に基づいて、検出
されたオゾン濃度と予め設定されたオゾン濃度が一致す
るように陽極及び陰極間の電圧を制御する電圧制御装置
１８が接続されている。このオゾン濃度検出センサ１７
としては、例えば、赤外光，可視光，紫外光の屈折率，
偏光，吸収スペクトルなどを利用して水中のオゾン濃度
を測定する光学センサやその他任意のセンサを採用する
ことができる。

【００２２】以上が本発明の一例構成であって、次に
その作用を説明する。図３はオゾン発生素子３内の化学
変化を模式的に示す説明図であって、陽極６及び陰極７
間に所定電圧を印加して、水道水をオゾン水生成室４に
供給すると、陽極６では、水（Ｈ₂Ｏ）が、酸素
（Ｏ₂）とオゾン（Ｏ₃）と水素イオン（Ｈ ⁺）に電気
分解される。このとき、陽極６のオゾン水生成室４に面
した部分が、撥水性及びガス通気性を有する微細多孔質
膜体１３で覆われているので、陽極６に接するのは水蒸
気となった水（Ｈ₂Ｏ（Ｇ））のみで、液状の水（Ｈ₂
Ｏ（Ｌ））が陽極６に直接接することはない。したがっ
て、陽極６の二酸化鉛が溶出してオゾン水を汚染するこ
とが防止されるだけでなく、水道水に含まれる不純物が
陽極６でイオン化して固体高分子電解質膜８に吸着され
たり、陰極７に析出することもない。

【００２３】そして、電気分解により発生した酸素
（Ｏ₂）とオゾン（Ｏ₃）が再び微細多孔質膜体１３を
通ってオゾン水生成室４に戻り、当該生成室４内の水に
溶けてオゾン水が生成される。このとき、オゾン水に含
まれるオゾン濃度がオゾン濃度検出センサ１７により検
出されて、オゾン濃度が一定になるように陽極６及び陰
極７間に印加される電圧が制御すれば、一定濃度のオゾ
ン水を連続して供給することができる。本例では、陽極
６及び陰極７間に直流３Ｖを印加して、水温１８℃の水
道水をオゾン水生成室４に供給することにより、オゾン
濃度 2.5ｍｇ／リットルのオゾン水を毎時６０リットル
生成することができた。なお、オゾン濃度を低くしたい
場合には、陽極６及び陰極７間に印加される電圧を低く
すればよい。

【００２４】一方、陽極６で発生した水素イオン（Ｈ
⁺）は、固体高分子電解質膜８を通り陰極７に達したと
ころで、まず、還元酸化触媒層１０Ａに接触して、二つ
の水素イオン（２Ｈ⁺）が二つの電子（２ｅ^-）を受け
取り、水素（Ｈ₂）に還元され、さらに、これが触媒作
用で酸化されて水蒸気（Ｈ₂Ｏ）になる。そして、還元
酸化触媒層１０Ａで酸化しきれなかった水素（Ｈ₂）
は、電極基材９を通過して酸化促進触媒層１０Ｂで酸化
されて水蒸気（Ｈ₂Ｏ）になる。この間、水素（Ｈ₂）
は触媒層１０Ａ中で発生し、発生と同時に酸化されて水
蒸気（Ｈ₂Ｏ）となって処理空気供給室５に放出される
ので、当該供給室５内に水素（Ｈ₂）の状態で放出され
ることはなく、したがって、別途、水素処理装置を設け
る必要もないし、爆発の危険もない。

【００２５】また、本例では、外気導入口５inに配さ
れた送風機１５により処理空気供給室５内に強制的に外
気を導入させると共に、供給室５内の空気を排気してい
るので、陰極７へ酸素（Ｏ₂）を十分に供給しつつ、陰
極７での水蒸気（Ｈ₂Ｏ）の滞留が防止され、陰極７に
おける水素（Ｈ₂）の酸化反応が促進される。さらに、
陰極７は、処理空気供給室５に面した部分が、撥水性及
びガス通気性を有する微細多孔質膜体１４で覆われてい
るので、処理空気供給室５に供給される空気に含まれる
塵埃や水滴が陰極７に付着することによる悪影響もな
い。

【００２６】なお、陽極６のオゾン水生成室４に面し
た部分に配設する微細多孔質膜体１３としては、ＰＴＥ
Ｆに限るものではなく、オゾンに対して耐性のあるテト
ラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重
合体（ＦＥＰ）や、テトラフルオロエチレンとパーフル
オロアルキルビニールエーテルの共重合体（ＰＦＡ）な
どの微細多孔質膜体を用いることができる。さらに、撥
水加工を施した、ガラス，アルミナ，シリカなどのセラ
ミックス繊維成形体などの微細多孔質膜体を使用するこ
ともでき、上述の高分子微細多孔質膜体より機械的強度
に優れるため、陽極６の保護効果がある。

【００２７】また、陰極７の処理空気供給室５に面し
た部分に配設する微細多孔質膜体１４としては、ポリプ
ロピレン製の微細多孔質膜体に替えて、ＰＴＦＥ，ＦＥ
Ｐ，ＰＦＡ，ポリエチレンなどの微細多孔質膜体も使用
できる。ＰＴＦＥ，ＦＥＰ，ＰＦＡはポリプロピレンよ
りオゾン耐性及び機械的強度において優れている。さら
に、送風機１５は、軸流ファンに限らずシロッコファン
その他任意の装置を採用し得る。

【００２８】さらにまた、上述の説明では、反応容器
２をオゾン発生素子３で二つの部屋に仕切った場合につ
いて説明したが、本発明はこれに限らず、図４に示すよ
うに、反応容器２内に陽極６側を対向させて二つのオゾ
ン発生素子３，３を配することにより、オゾン発生素子
３，３で挟まれた空間に水を供給してオゾン水生成室４
とし、オゾン発生素子３を介して左右両側を処理空気供
給室５，５としたり、図５に示すように、陰極７側を反
応容器２の外側に開放するように配設してもよい。

【００２９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、純
水を原料とせずに、水道水などのように不純物を含む水
を原料としてオゾン水を生成する場合でも、電気分解能
力を維持してオゾン水を連続的に定量供給することがで
きると同時に、陽極金属が溶出したり、不純物が陰極に
析出したりすることがなく、また、陰極で発生する水素
が即座に酸化されて水になるので、別途水素ガス処理装
置を設けることなく極めて安全に処理することができる
という大変優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るオゾン水製造装置の一例を示すフ
ローシート。

【図２】それに使用するオゾン発生素子の分解斜視図。

【図３】オゾン発生素子内の化学変化を示す説明図。

【図４】他の実施形態を示す説明図。

【図５】さらに他の実施形態を示す説明図。

【図６】従来装置を示す説明図。

【図７】従来のオゾン発生素子内の化学変化を示す説明
図。

【符号の説明】

１・・・・オゾン水製造装置３・・・・オゾン発生素子４・・・・オゾン水生成室４in・・・流入口４out ・・流出口５・・・・処理空気供給室（処理用空気供給空間）５in・・・外気導入口５out ・・排気口６・・・・陽極７・・・・陰極８・・・・固体高分子電解質膜９・・・・電極基材１０Ａ・・・還元酸化触媒層１０Ｂ・・・酸化促進触媒層１３・・・・微細多孔質膜体１４・・・・微細多孔質膜体１５・・・・送風機１７・・・・オゾン濃度検出センサ１８・・・・電圧制御装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者今泉三之静岡県小笠郡大東町浜川新田1933−１株式会社オプテックディディ・メルコ・ラボラトリー内 (72)発明者光田憲朗東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】原料となる水が供給されるオゾン水生成
室（４）と水素処理用の空気が供給される処理用空気供
給空間（５）がオゾン発生素子（３）を介して仕切ら
れ、当該オゾン発生素子（３）は、オゾン水生成室
（４）に供給された水を酸素，オゾン及び水素イオンに
電気分解する陽極（６）と、陽極（６）で生成された水
素イオンを水素に還元する陰極（７）との間に、水素イ
オン交換膜となる固体高分子電解質膜（８）を挟持して
なり、前記陽極（６）で生成されたオゾンをオゾン水生
成室（４）内の水に溶かしてオゾン水を製造するオゾン
水製造装置において、前記陽極（６）は、前記オゾン水生成室（４）に面した
部分が、撥水性及びガス通気性を有する微細多孔質膜体
（13）で覆われて形成され、前記陰極（７）は、陽極（６）から固体高分子電解質膜
（８）を透過してきた水素イオンを水素に還元すると同
時にその水素を酸化させて水にする導電性の還元酸化触
媒層(10A) が電極基材（９）の前記固体高分子電解質膜
（８）側に配されて形成されると共に、当該陰極（７）
の前記処理用空気供給空間（５）に面した部分が、撥水
性及びガス通気性を有する微細多孔質膜体 (14) で覆わ
れたことを特徴とするオゾン水製造装置。
【請求項２】原料となる水が供給されるオゾン水生成
室（４）と水素処理用の空気が供給される処理用空気供
給空間（５）がオゾン発生素子（３）を介して仕切ら
れ、当該オゾン発生素子（３）は、オゾン水生成室
（４）に供給された水を酸素，オゾン及び水素イオンに
電気分解する陽極（６）と、陽極（６）で生成された水
素イオンを水素に還元する陰極（７）との間に、水素イ
オン交換膜となる固体高分子電解質膜（８）を挟持して
なり、前記陽極（６）で生成されたオゾンをオゾン水生
成室（４）内の水に溶かしてオゾン水を製造するオゾン
水製造装置において、前記陽極（６）は、前記オゾン水生成室（４）に面した
部分が、撥水性及びガス通気性を有する微細多孔質膜体
（13）で覆われて形成されたことを特徴とするオゾン水
製造装置。
【請求項３】前記陽極（６）を覆う微細多孔質膜体
（13）が、ＰＴＦＥ，ＦＥＰ，ＰＦＥなどのフッ素樹
脂、または、撥水処理を施したガラス，アルミナ，シリ
カなどのセラミックスの多孔質膜体である請求項１又は
２記載のオゾン水製造装置。
【請求項４】原料となる水が供給されるオゾン水生成
室（４）と水素処理用の空気が供給される処理用空気供
給空間（５）がオゾン発生素子（３）を介して仕切ら
れ、当該オゾン発生素子（３）は、オゾン水生成室
（４）に供給された水を酸素，オゾン及び水素イオンに
電気分解する陽極（６）と、陽極（６）で生成された水
素イオンを水素に還元する陰極（７）との間に、水素イ
オン交換膜となる固体高分子電解質膜（８）を挟持して
なり、前記陽極（６）で生成されたオゾンをオゾン水生
成室（４）内の水に溶かしてオゾン水を製造するオゾン
水製造装置において、前記陰極（７）は、陽極（６）から固体高分子電解質膜
（８）を透過してきた水素イオンを水素に還元すると同
時にその水素を酸化させて水にする導電性の還元酸化触
媒層(10A) が電極基材（９）の前記固体高分子電解質膜
（８）側に配されて形成されたことを特徴とするオゾン
水製造装置。
【請求項５】前記陰極（７）は、その処理用空気供給
空間（５）側に、前記還元酸化触媒層(10A) で酸化しき
れなかった水素を酸化させて水に変化させる酸化促進触
媒層(10B) が配されてなる請求項４記載のオゾン水製造
装置。
【請求項６】前記陰極（７）は、前記処理用空気供給
空間（５）に面した部分が、撥水性及びガス通気性を有
する前記微細多孔質膜体（14）で覆われてなる請求項２
乃至５記載のオゾン水製造装置。
【請求項７】前記陰極（７）を覆う微細多孔質膜体
（14）が、ＰＴＦＥ，ＦＥＰ，ＰＦＥなどのフッ素樹脂
製、ポリプロピレン、または、ポリエステルの多孔質膜
体である請求項１又は６記載のオゾン水製造装置。
【請求項８】前記処理用空気供給空間（５）内に空気
を吸入する外気導入口（５in）と処理用空気供給空間
（５）から空気を排出する排気口（５out ）が形成さ
れ、前記外気導入口（５in）から空気を吸い込み排気口
（５out ）から排出させる送風機（15）を配してなる請
求項１乃至７記載のオゾン水製造装置。
【請求項９】前記オゾン水生成室（４）の流出口（４
out ）に、当該オゾン水生成室（４）から流出するオゾ
ン水に含まれるオゾン濃度を検出するオゾン濃度検出セ
ンサ（17）が設けられると共に、当該オゾン濃度検出セ
ンサ（17）により検出されたオゾン濃度と予め設定され
たオゾン濃度が一致するように陽極（６）及び陰極
（７）間への印加電圧を増減制御する電圧制御装置（1
8）を備えてなる請求項１乃至８記載のオゾン水製造装
置。