JPH11295402A - 磁界検出装置および磁界分布測定装置 - Google Patents
磁界検出装置および磁界分布測定装置Info
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- JPH11295402A JPH11295402A JP11135098A JP11135098A JPH11295402A JP H11295402 A JPH11295402 A JP H11295402A JP 11135098 A JP11135098 A JP 11135098A JP 11135098 A JP11135098 A JP 11135098A JP H11295402 A JPH11295402 A JP H11295402A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、小型で実装密度が高く分解能が向
上し、異なる方向に発生する磁界の方向を検出できる磁
界検出装置を提供する。 【解決手段】 磁界検出装置は、積層プリント配線基板
にＸ軸プローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ
３をマトリックス状に設けてプローブマトリックス１４
を構成する。Ｘ軸およびＹ軸プローブ２，３は、軸方向
が基板表面と略平行にプリント配線にて形成した一対の
平行アンテナ片と、ブラインドビアホール４にて形成し
た一対の垂直アンテナ片とを有する。Ｘ軸およびＹ軸プ
ローブ２，３は基板表面に対して略垂直な面を有しかつ
互いに面が略垂直な環状である。Ｚ軸プローブ３は、軸
方向が基板表面と略平行で互いに直行するプリント配線
にて形成した二対の平行アンテナ片にて基板表面に対し
て略平行な面を有する環状である。小型のループプロー
ブにて３次元の磁界分布を精密に測定できる。
上し、異なる方向に発生する磁界の方向を検出できる磁
界検出装置を提供する。 【解決手段】 磁界検出装置は、積層プリント配線基板
にＸ軸プローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ
３をマトリックス状に設けてプローブマトリックス１４
を構成する。Ｘ軸およびＹ軸プローブ２，３は、軸方向
が基板表面と略平行にプリント配線にて形成した一対の
平行アンテナ片と、ブラインドビアホール４にて形成し
た一対の垂直アンテナ片とを有する。Ｘ軸およびＹ軸プ
ローブ２，３は基板表面に対して略垂直な面を有しかつ
互いに面が略垂直な環状である。Ｚ軸プローブ３は、軸
方向が基板表面と略平行で互いに直行するプリント配線
にて形成した二対の平行アンテナ片にて基板表面に対し
て略平行な面を有する環状である。小型のループプロー
ブにて３次元の磁界分布を精密に測定できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁界を検出するル
ーププローブを備えた磁界検出装置およびこの磁界検出
装置を備えた磁界分布測定装置に関する。
ーププローブを備えた磁界検出装置およびこの磁界検出
装置を備えた磁界分布測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁界分布測定装置としては、例え
ば図１９に示すようなワイヤにて形成されたループアン
テナを図１８に示すように基板上にマトリックス状に配
設してアンテナマトリックス２３を構成した磁界検出装
置を用いて、電子機器のプリント基板から発生するＸＹ
平面上の磁界分布を１ｃｍ程度の分解能で測定して、図
２０および図２１に示すようにノイズ発生量の大きいＩ
ＣであるＬＳＩ２１などの電子部品を特定する構成が知
られている。
ば図１９に示すようなワイヤにて形成されたループアン
テナを図１８に示すように基板上にマトリックス状に配
設してアンテナマトリックス２３を構成した磁界検出装
置を用いて、電子機器のプリント基板から発生するＸＹ
平面上の磁界分布を１ｃｍ程度の分解能で測定して、図
２０および図２１に示すようにノイズ発生量の大きいＩ
ＣであるＬＳＩ２１などの電子部品を特定する構成が知
られている。
【０００３】一方、図２２に示すような特開昭６１−２
７６４８号公報に記載のように、集積回路のチップ表面
に局所的に電界または磁界を印加できかつ位置可変なプ
ローブ電極を、集積回路のチップ表面上で移動させ、集
積回路の回路電流をモニタすることにより、故障回路を
検出する構成が知られている。
７６４８号公報に記載のように、集積回路のチップ表面
に局所的に電界または磁界を印加できかつ位置可変なプ
ローブ電極を、集積回路のチップ表面上で移動させ、集
積回路の回路電流をモニタすることにより、故障回路を
検出する構成が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、プリント基
板におけるノイズの発生は、ノイズの発生量の大きいＩ
Ｃは高速クロックを使用するＣＰＵやＡＳＩＣなどのＬ
ＳＩ２１で、特にＩＣ内とバイパスコンデンサを流れる
貫通電流のループによって引き起こされるグランドノイ
ズに起因することが多い。
板におけるノイズの発生は、ノイズの発生量の大きいＩ
Ｃは高速クロックを使用するＣＰＵやＡＳＩＣなどのＬ
ＳＩ２１で、特にＩＣ内とバイパスコンデンサを流れる
貫通電流のループによって引き起こされるグランドノイ
ズに起因することが多い。
【０００５】しかしながら、上記図１８および図１９に
示すようなＸＹ平面上の磁界分布を測定する構成、特に
ワイヤにてループプローブを形成しマトリックス状に排
泄したアンテナマトリックス２３の構成では、図２０お
よび図２１に示すように分解能が低いため、ＩＣ近傍の
詳細な磁界分布を測定することができないため、ＩＣの
最適なバイパスコンデンサの選択や配置、ＩＣの最適な
電源配線設計などに利用できない。さらに、測定位置に
おけるプローブの方向がプリント基板である回路基板２
２の平面に対して平行な１方向のみであるため、他の方
向に発生する磁界の方向を検出できない。また、図２２
に示すような特開昭６１−２７６４８号公報に記載の構
成では、プローブを用いて局所的に磁界を印加すること
により故障を解析できるが、磁界の分布を測定すること
ができない問題がある。
示すようなＸＹ平面上の磁界分布を測定する構成、特に
ワイヤにてループプローブを形成しマトリックス状に排
泄したアンテナマトリックス２３の構成では、図２０お
よび図２１に示すように分解能が低いため、ＩＣ近傍の
詳細な磁界分布を測定することができないため、ＩＣの
最適なバイパスコンデンサの選択や配置、ＩＣの最適な
電源配線設計などに利用できない。さらに、測定位置に
おけるプローブの方向がプリント基板である回路基板２
２の平面に対して平行な１方向のみであるため、他の方
向に発生する磁界の方向を検出できない。また、図２２
に示すような特開昭６１−２７６４８号公報に記載の構
成では、プローブを用いて局所的に磁界を印加すること
により故障を解析できるが、磁界の分布を測定すること
ができない問題がある。
【０００６】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、小型で実装密度が高く分解能が向上する、また磁
界の方向を検出可能である、さらには異なる方向に発生
する磁界の方向を検出可能な磁界検出装置および磁界分
布測定装置を提供することを目的とする。
ので、小型で実装密度が高く分解能が向上する、また磁
界の方向を検出可能である、さらには異なる方向に発生
する磁界の方向を検出可能な磁界検出装置および磁界分
布測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の磁界検出
装置は、プリント配線が積層形成された積層プリント配
線基板と、この積層プリント配線基板に設けられ、この
積層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行な
一対の平行アンテナ片および前記積層プリント配線基板
の平面に対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片
を有し、前記一対の平行アンテナ片および前記一対の垂
直アンテナ片がそれぞれ接続されて前記積層プリント配
線基板の平面に対して略垂直な面を有する環状のループ
プローブとを具備したものである。
装置は、プリント配線が積層形成された積層プリント配
線基板と、この積層プリント配線基板に設けられ、この
積層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行な
一対の平行アンテナ片および前記積層プリント配線基板
の平面に対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片
を有し、前記一対の平行アンテナ片および前記一対の垂
直アンテナ片がそれぞれ接続されて前記積層プリント配
線基板の平面に対して略垂直な面を有する環状のループ
プローブとを具備したものである。
【０００８】請求項２記載の磁界検出装置は、請求項１
記載の磁界検出装置において、ループプローブは、積層
プリント配線基板にマトリックス状に設けられたもので
ある。
記載の磁界検出装置において、ループプローブは、積層
プリント配線基板にマトリックス状に設けられたもので
ある。
【０００９】請求項３記載の磁界検出装置は、請求項１
または２記載の磁界検出装置において、ループプローブ
は、平行アンテナ片および垂直アンテナ片をそれぞれ複
数対有し、多重環状に形成されたものである。
または２記載の磁界検出装置において、ループプローブ
は、平行アンテナ片および垂直アンテナ片をそれぞれ複
数対有し、多重環状に形成されたものである。
【００１０】請求項４記載の磁界検出装置は、請求項１
ないし３のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層プリント配線基板に設けられ、この積層プリント配
線の平面に対して軸方向が略平行な一対の平行アンテナ
片、および、前記積層プリント配線基板の平面に対して
軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片を有し、前記一
対の平行アンテナ片および前記一対の垂直アンテナ片が
それぞれ接続されて前記積層プリント配線基板の平面に
対して略垂直でかつループプローブにて構成される面に
対して略垂直な面を有する環状で、ループプローブと対
をなす第２のループプローブを具備したものである。
ないし３のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層プリント配線基板に設けられ、この積層プリント配
線の平面に対して軸方向が略平行な一対の平行アンテナ
片、および、前記積層プリント配線基板の平面に対して
軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片を有し、前記一
対の平行アンテナ片および前記一対の垂直アンテナ片が
それぞれ接続されて前記積層プリント配線基板の平面に
対して略垂直でかつループプローブにて構成される面に
対して略垂直な面を有する環状で、ループプローブと対
をなす第２のループプローブを具備したものである。
【００１１】請求項５記載の磁界検出装置は、請求項４
記載の磁界検出装置において、第２のループプローブ
は、平行アンテナ片および垂直アンテナ片をそれぞれ複
数対有し、多重環状に形成されたものである。
記載の磁界検出装置において、第２のループプローブ
は、平行アンテナ片および垂直アンテナ片をそれぞれ複
数対有し、多重環状に形成されたものである。
【００１２】請求項６記載の磁界検出装置は、請求項１
ないし５のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層検出装置は、ブラインドビアホールを有し、垂直ア
ンテナ片は、前記ブラインドビアホールに設けられたも
のである。
ないし５のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層検出装置は、ブラインドビアホールを有し、垂直ア
ンテナ片は、前記ブラインドビアホールに設けられたも
のである。
【００１３】請求項７記載の磁界検出装置は、請求項１
ないし６のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層プリント配線基板に設けられ、この積層プリント配
線基板の平面に対して略平行でかつ互いに略直行する二
対の平行アンテナ片がそれぞれ接続され前記積層プリン
ト配線基板の平面に対して略平行な面を有する環状の第
３のループプローブを具備したものである。
ないし６のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層プリント配線基板に設けられ、この積層プリント配
線基板の平面に対して略平行でかつ互いに略直行する二
対の平行アンテナ片がそれぞれ接続され前記積層プリン
ト配線基板の平面に対して略平行な面を有する環状の第
３のループプローブを具備したものである。
【００１４】請求項８記載の磁界検出装置は、請求項７
記載の磁界検出装置において、第３のループプローブ
は、複数対の平行アンテナ片がそれぞれ接続されて多重
環状に形成されたものである。
記載の磁界検出装置において、第３のループプローブ
は、複数対の平行アンテナ片がそれぞれ接続されて多重
環状に形成されたものである。
【００１５】請求項９記載の磁界検出装置は、請求項１
ないし８のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
平行アンテナ片は、プリント配線により形成されたもの
である。
ないし８のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
平行アンテナ片は、プリント配線により形成されたもの
である。
【００１６】請求項１０記載の磁界検出装置は、請求項
１ないし９のいずれか一に記載の磁界検出装置におい
て、積層プリント配線基板は、磁界を遮断するシールド
層を備えたものである。
１ないし９のいずれか一に記載の磁界検出装置におい
て、積層プリント配線基板は、磁界を遮断するシールド
層を備えたものである。
【００１７】請求項１１記載の磁界分布測定装置は、請
求項１ないし１０のいずれか一に記載の磁界検出装置
と、この磁界検出装置に接続され磁界を検出して出力す
るループプローブを選択するセレクタと、前記磁界検出
装置に接続され前記ループプローブから出力された電圧
が入力されるレシーバと、前記セレクタおよび前記レシ
ーバに接続され、前記レシーバを制御して特定の周波数
の磁界強度を測定させて所定の信号を出力させる制御部
とを具備したものである。
求項１ないし１０のいずれか一に記載の磁界検出装置
と、この磁界検出装置に接続され磁界を検出して出力す
るループプローブを選択するセレクタと、前記磁界検出
装置に接続され前記ループプローブから出力された電圧
が入力されるレシーバと、前記セレクタおよび前記レシ
ーバに接続され、前記レシーバを制御して特定の周波数
の磁界強度を測定させて所定の信号を出力させる制御部
とを具備したものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施の形態の磁
界分布測定装置の構成を図面を参照して説明する。
界分布測定装置の構成を図面を参照して説明する。
【００１９】図１は、本発明の一実施の形態の磁界検出
装置の構成を示す斜視透視図である。図２は、同上平面
透視図である。図３は、同上のＸ軸プローブの構成を示
す断面図である。図４は、同上のＹ軸プローブの構成を
示す断面図である。図５は、同上のＺ軸プローブの構成
を示す断面図である。図６は、同上のループマトリック
スを示す平面透視図である。図７は、同上磁界分布測定
装置の回路構成を示すブロック図である。図８は、同上
ＬＳＩ近傍の断面図である。図９は、同上バイパスコン
デンサが適正配置された電子機器の構成を示す平面図で
ある。図１０は、同上の測定結果の磁界分布を示す分布
図である。図１１は、同上バイパスコンデンサが適正配
置されていない被測定物であるプリント配線基板の構成
を示す平面図である。図１２は、同上の測定結果の磁界
分布を示す分布図である。図１３は、同上磁界強度のベ
クトル和を説明するグラフである。図１４は、同上電流
方向を示す分布図である。図１５は、同上測定するプリ
ント配線基板の発生磁界を示す断面図である。図１６
は、同上の垂直方向の発生磁界を示す平面図である。
装置の構成を示す斜視透視図である。図２は、同上平面
透視図である。図３は、同上のＸ軸プローブの構成を示
す断面図である。図４は、同上のＹ軸プローブの構成を
示す断面図である。図５は、同上のＺ軸プローブの構成
を示す断面図である。図６は、同上のループマトリック
スを示す平面透視図である。図７は、同上磁界分布測定
装置の回路構成を示すブロック図である。図８は、同上
ＬＳＩ近傍の断面図である。図９は、同上バイパスコン
デンサが適正配置された電子機器の構成を示す平面図で
ある。図１０は、同上の測定結果の磁界分布を示す分布
図である。図１１は、同上バイパスコンデンサが適正配
置されていない被測定物であるプリント配線基板の構成
を示す平面図である。図１２は、同上の測定結果の磁界
分布を示す分布図である。図１３は、同上磁界強度のベ
クトル和を説明するグラフである。図１４は、同上電流
方向を示す分布図である。図１５は、同上測定するプリ
ント配線基板の発生磁界を示す断面図である。図１６
は、同上の垂直方向の発生磁界を示す平面図である。
【００２０】図７に示す磁界分布測定装置は、ループプ
ローブであるＸ軸プローブ２、第２のループプローブで
あるＹ軸プローブ１および第３のループプローブである
Ｚ軸プローブ３をマトリックス状に設けてプローブマト
リックス１４を構成した積層プリント配線基板を有した
磁界検出装置２８を備えている。そして、この磁界検出
装置２８のプローブマトリックス１４には任意のＸ軸プ
ローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３を選択
するセレクタ１５が接続され、選択されたが検出した磁
界を電圧として出力する。また、プローブマトリックス
１４には出力された電圧を増幅するＲＦアンプ１６が接
続され、このＲＦアンプ１６には増幅された電圧が入力
されるＲＦレシーバ１７が接続されている。
ローブであるＸ軸プローブ２、第２のループプローブで
あるＹ軸プローブ１および第３のループプローブである
Ｚ軸プローブ３をマトリックス状に設けてプローブマト
リックス１４を構成した積層プリント配線基板を有した
磁界検出装置２８を備えている。そして、この磁界検出
装置２８のプローブマトリックス１４には任意のＸ軸プ
ローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３を選択
するセレクタ１５が接続され、選択されたが検出した磁
界を電圧として出力する。また、プローブマトリックス
１４には出力された電圧を増幅するＲＦアンプ１６が接
続され、このＲＦアンプ１６には増幅された電圧が入力
されるＲＦレシーバ１７が接続されている。
【００２１】さらに、セレクタ１５およびＲＦレシーバ
１７にはコンピュータ１８が接続されている。このコン
ピュータ１８は、セレクタ１５に所定の信号を出力して
任意のループプローブを選択させるとともに、ＲＦレシ
ーバ１７に所定の信号を出力してＲＦアンプ１６から入
力された増幅された電圧により特定の周波数の磁界強度
を測定しデジタル信号としてコンピュータ１８に転送さ
せる。
１７にはコンピュータ１８が接続されている。このコン
ピュータ１８は、セレクタ１５に所定の信号を出力して
任意のループプローブを選択させるとともに、ＲＦレシ
ーバ１７に所定の信号を出力してＲＦアンプ１６から入
力された増幅された電圧により特定の周波数の磁界強度
を測定しデジタル信号としてコンピュータ１８に転送さ
せる。
【００２２】また、コンピュータ１８には、このコンピ
ュータ１８が検出した磁界強度をデータ処理し、このデ
ータ処理に基づいて磁界強度分布を画面にて出力表示す
る表示手段であるＣＲＴモニタ１９が接続されている。
さらに、コンピュータ１８には、磁界強度分布を印字出
力するプリンタ２０が接続されている。
ュータ１８が検出した磁界強度をデータ処理し、このデ
ータ処理に基づいて磁界強度分布を画面にて出力表示す
る表示手段であるＣＲＴモニタ１９が接続されている。
さらに、コンピュータ１８には、磁界強度分布を印字出
力するプリンタ２０が接続されている。
【００２３】次に、磁界検出装置のプローブマトリック
スの構成を図面を参照して説明する。
スの構成を図面を参照して説明する。
【００２４】磁界検出装置２８は、図３ないし図５に示
すように、８つのプリント配線層を積層形成している。
そして、第１層がＸ軸プローブ２の一部を構成するプリ
ント配線が設けられたＸ軸プローブ構成層Ａ５、第２層
がＹ軸プローブ１の一部を構成するプリント配線が設け
られたＹ軸プローブ構成層Ａ６、第３層がＺ軸プローブ
３を構成するプリント配線が設けられたＺ軸プローブ構
成層７、第４層がＸ軸プローブ２の一部を構成するプリ
ント配線が設けられたＸ軸プローブ構成層Ｂ８、第５層
がＹ軸プローブ１の一部を構成するプリント配線が設け
られたＹ軸プローブ構成層Ｂ９、第６層が磁界を遮断す
るシールド層１０、第７層および第８層がＸ軸プローブ
２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３から外部へ配
線するための配線パターンが設けられた配線層１１およ
び配線層１２となっている。また、プローブマトリック
ス１４には、このプローブマトリックス１４の基板表面
と略垂直なブラインドビアホール４が複数設けられてい
る。
すように、８つのプリント配線層を積層形成している。
そして、第１層がＸ軸プローブ２の一部を構成するプリ
ント配線が設けられたＸ軸プローブ構成層Ａ５、第２層
がＹ軸プローブ１の一部を構成するプリント配線が設け
られたＹ軸プローブ構成層Ａ６、第３層がＺ軸プローブ
３を構成するプリント配線が設けられたＺ軸プローブ構
成層７、第４層がＸ軸プローブ２の一部を構成するプリ
ント配線が設けられたＸ軸プローブ構成層Ｂ８、第５層
がＹ軸プローブ１の一部を構成するプリント配線が設け
られたＹ軸プローブ構成層Ｂ９、第６層が磁界を遮断す
るシールド層１０、第７層および第８層がＸ軸プローブ
２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３から外部へ配
線するための配線パターンが設けられた配線層１１およ
び配線層１２となっている。また、プローブマトリック
ス１４には、このプローブマトリックス１４の基板表面
と略垂直なブラインドビアホール４が複数設けられてい
る。
【００２５】そして、Ｘ軸プローブ２は、図１ないし図
３に示すように、第１層のＸ軸プローブ構成層Ａ５およ
び第４層のＸ軸プローブ構成層Ｂ８に、軸方向がプロー
ブマトリックス１４の基板表面とそれぞれ略平行にライ
ン状に設けられたプリント配線にて形成された一対の平
行アンテナ片を有している。また、Ｘ軸プローブ２は、
第１層のＸ軸プローブ構成層Ａ５から第４層のＸ軸プロ
ーブ構成層Ｂ８に貫通するブラインドビアホール４と、
第１層のＸ軸プローブ構成層Ａ５から第７層の配線層１
１に貫通するブラインドビアホール４とにそれぞれ設け
られた配線により形成された一対の垂直アンテナ片を有
している。そして、Ｘ軸プローブ２は、これら一対の平
行アンテナ片および一対の垂直アンテナ片がそれぞれ接
続され、プローブマトリックス１４の基板表面に対して
略垂直な面を有する環状に形成されている。なお、この
Ｘ軸プローブ２は、被測定対象となる電子機器から発生
する磁界のプローブマトリックス１４の基板表面と略平
行な方向の磁界を検出して電圧として出力する。
３に示すように、第１層のＸ軸プローブ構成層Ａ５およ
び第４層のＸ軸プローブ構成層Ｂ８に、軸方向がプロー
ブマトリックス１４の基板表面とそれぞれ略平行にライ
ン状に設けられたプリント配線にて形成された一対の平
行アンテナ片を有している。また、Ｘ軸プローブ２は、
第１層のＸ軸プローブ構成層Ａ５から第４層のＸ軸プロ
ーブ構成層Ｂ８に貫通するブラインドビアホール４と、
第１層のＸ軸プローブ構成層Ａ５から第７層の配線層１
１に貫通するブラインドビアホール４とにそれぞれ設け
られた配線により形成された一対の垂直アンテナ片を有
している。そして、Ｘ軸プローブ２は、これら一対の平
行アンテナ片および一対の垂直アンテナ片がそれぞれ接
続され、プローブマトリックス１４の基板表面に対して
略垂直な面を有する環状に形成されている。なお、この
Ｘ軸プローブ２は、被測定対象となる電子機器から発生
する磁界のプローブマトリックス１４の基板表面と略平
行な方向の磁界を検出して電圧として出力する。
【００２６】また、Ｙ軸プローブ１は、図１、図２およ
び図４に示すように、第２層のＹ軸プローブ構成層Ａ６
および第５層のＹ軸プローブ構成層Ｂ９に、軸方向がプ
ローブマトリックス１４の基板表面とそれぞれ略平行に
ライン状に設けられたプリント配線にて形成された一対
の平行アンテナ片を有している。また、Ｙ軸プローブ１
は、第２層のＹ軸プローブ構成層Ａ６から第５層のＹ軸
プローブ構成層Ｂ９に貫通するブラインドビアホール４
と、第２層のＹ軸プローブ構成層Ａ６から第８層の配線
層１２に貫通するブラインドビアホール４とにそれぞれ
設けられた配線により形成された一対の垂直アンテナ片
を有している。そして、Ｙ軸プローブ１は、これら一対
の平行アンテナ片および一対の垂直アンテナ片がそれぞ
れ接続され、プローブマトリックス１４の基板表面に対
して略垂直な面でかつＸ軸プローブ２にて構成される面
に対して略垂直な面を有する環状に形成されている。な
お、このＹ軸プローブ１の第２層のＹ軸プローブ構成層
Ａ５から第８層の配線層１２に貫通するブラインドビア
ホール４とに設けられた配線により形成された垂直アン
テナ片と対をなす他方の外部へ配線される部分は、第５
層のＸ軸プローブ構成層Ｂ８から第７層の配線層１１に
貫通するブラインドビアホール４にて形成される。そし
て、このＹ軸プローブ１は、被測定対象となる電子機器
から発生する磁界のプローブマトリックス１４の基板表
面と略平行でかつＸ軸プローブ１にて検出する磁界に略
直行する方向の磁界を検出して電圧として出力する。
び図４に示すように、第２層のＹ軸プローブ構成層Ａ６
および第５層のＹ軸プローブ構成層Ｂ９に、軸方向がプ
ローブマトリックス１４の基板表面とそれぞれ略平行に
ライン状に設けられたプリント配線にて形成された一対
の平行アンテナ片を有している。また、Ｙ軸プローブ１
は、第２層のＹ軸プローブ構成層Ａ６から第５層のＹ軸
プローブ構成層Ｂ９に貫通するブラインドビアホール４
と、第２層のＹ軸プローブ構成層Ａ６から第８層の配線
層１２に貫通するブラインドビアホール４とにそれぞれ
設けられた配線により形成された一対の垂直アンテナ片
を有している。そして、Ｙ軸プローブ１は、これら一対
の平行アンテナ片および一対の垂直アンテナ片がそれぞ
れ接続され、プローブマトリックス１４の基板表面に対
して略垂直な面でかつＸ軸プローブ２にて構成される面
に対して略垂直な面を有する環状に形成されている。な
お、このＹ軸プローブ１の第２層のＹ軸プローブ構成層
Ａ５から第８層の配線層１２に貫通するブラインドビア
ホール４とに設けられた配線により形成された垂直アン
テナ片と対をなす他方の外部へ配線される部分は、第５
層のＸ軸プローブ構成層Ｂ８から第７層の配線層１１に
貫通するブラインドビアホール４にて形成される。そし
て、このＹ軸プローブ１は、被測定対象となる電子機器
から発生する磁界のプローブマトリックス１４の基板表
面と略平行でかつＸ軸プローブ１にて検出する磁界に略
直行する方向の磁界を検出して電圧として出力する。
【００２７】さらに、Ｚ軸プローブ３は、図１、図２お
よび図５に示すように、第３層のＺ軸プローブ構成層７
に、軸方向がプローブマトリックス１４の基板表面とそ
れぞれ略平行でかつ互いに略直行するライン状に設けら
れたプリント配線にて形成された二対の平行アンテナ片
がそれぞれ接続され、プローブマトリックス１４の基板
表面に対して略平行でＸ軸プローブ２およびＹ軸プロー
ブ１にて構成される面に対してそれぞれ略垂直な面を有
する環状に形成されている。なお、このＺ軸プローブ３
の対をなす外部へ配線される部分は、第３層のＺ軸プロ
ーブ構成層７から第７層の配線層１１に貫通するブライ
ンドビアホール４にて形成される。そして、このＺ軸プ
ローブ３は、被測定対象となる電子機器から発生する磁
界のプローブマトリックス１４の基板表面と略垂直な方
向の磁界を検出して電圧として出力する。
よび図５に示すように、第３層のＺ軸プローブ構成層７
に、軸方向がプローブマトリックス１４の基板表面とそ
れぞれ略平行でかつ互いに略直行するライン状に設けら
れたプリント配線にて形成された二対の平行アンテナ片
がそれぞれ接続され、プローブマトリックス１４の基板
表面に対して略平行でＸ軸プローブ２およびＹ軸プロー
ブ１にて構成される面に対してそれぞれ略垂直な面を有
する環状に形成されている。なお、このＺ軸プローブ３
の対をなす外部へ配線される部分は、第３層のＺ軸プロ
ーブ構成層７から第７層の配線層１１に貫通するブライ
ンドビアホール４にて形成される。そして、このＺ軸プ
ローブ３は、被測定対象となる電子機器から発生する磁
界のプローブマトリックス１４の基板表面と略垂直な方
向の磁界を検出して電圧として出力する。
【００２８】そしてさらに、これら対をなすＸ軸プロー
ブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３は、図６に
示すように、マトリックス状に設けられてプローブマト
リックス１４を構成し、磁界検出装置が形成されてい
る。
ブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３は、図６に
示すように、マトリックス状に設けられてプローブマト
リックス１４を構成し、磁界検出装置が形成されてい
る。
【００２９】次に、上記磁界分布測定装置により電子機
器から発生する磁界の分布を測定する動作を図面を参照
して説明する。
器から発生する磁界の分布を測定する動作を図面を参照
して説明する。
【００３０】まず、図８に示すように、磁界検出装置２
８のプローブマトリックス１４上に被測定対象となる電
子部品を搭載した電子機器であるプリント配線基板３０
を載置する。そして、この状態で、プローブマトリック
ス１４は、セレクタ１５によって任意のＸ軸プローブ
２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３が選択され、
検出した磁界を電圧として出力する。そして、出力され
た電圧は、ＲＦアンプ１６によって増幅され、ＲＦレシ
ーバ１７へ入力される。この後、ＲＦレシーバ１７は、
コンピュータ１８によって制御され、特定の周波数の磁
界強度を測定し、デジタル信号としてコンピュータ１８
に転送する。そして、コンピュータ１８は、検出した磁
界強度をデータ処理し、ＣＲＴモニタ１９の画面上に磁
界強度分布として画像出力、あるいは、プリンタ２０に
て印字出力する。
８のプローブマトリックス１４上に被測定対象となる電
子部品を搭載した電子機器であるプリント配線基板３０
を載置する。そして、この状態で、プローブマトリック
ス１４は、セレクタ１５によって任意のＸ軸プローブ
２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３が選択され、
検出した磁界を電圧として出力する。そして、出力され
た電圧は、ＲＦアンプ１６によって増幅され、ＲＦレシ
ーバ１７へ入力される。この後、ＲＦレシーバ１７は、
コンピュータ１８によって制御され、特定の周波数の磁
界強度を測定し、デジタル信号としてコンピュータ１８
に転送する。そして、コンピュータ１８は、検出した磁
界強度をデータ処理し、ＣＲＴモニタ１９の画面上に磁
界強度分布として画像出力、あるいは、プリンタ２０に
て印字出力する。
【００３１】ここで、磁界の方向は、Ｘ軸プローブ２の
検出した磁界強度と、Ｙ軸プローブ１の検出した磁界強
度とをベクトル和することにより測定される。すなわ
ち、図１３に示すように、測定点におけるＸ軸方向の磁
界強度をＸ、Ｙ軸方向の磁界強度をＹとすると、測定点
の磁界の強度Ｃと方向θは、 Ｃ＝（Ｘ2＋Ｙ2）1/2 θ＝ｔａｎ-1（Ｙ／Ｘ） の式を用いて求められる。
検出した磁界強度と、Ｙ軸プローブ１の検出した磁界強
度とをベクトル和することにより測定される。すなわ
ち、図１３に示すように、測定点におけるＸ軸方向の磁
界強度をＸ、Ｙ軸方向の磁界強度をＹとすると、測定点
の磁界の強度Ｃと方向θは、 Ｃ＝（Ｘ2＋Ｙ2）1/2 θ＝ｔａｎ-1（Ｙ／Ｘ） の式を用いて求められる。
【００３２】この式を用いて、電流の方向が磁界の方向
と直行した方向となることを利用して、図１４に示すよ
うに、金属フレーム上にノイズ電圧２９を印加したノイ
ズによる電流の方向を測定できる。
と直行した方向となることを利用して、図１４に示すよ
うに、金属フレーム上にノイズ電圧２９を印加したノイ
ズによる電流の方向を測定できる。
【００３３】ここで、ＬＳＩ２４のデカプリングコンデ
ンサが適正配置されている、すなわち図９に示すように
ＬＳＩ２４の電源ピン２５とグランドピン２７にバイパ
スコンデンサ２６が近い場合には、図１０に示すよう
に、磁界強度分布は磁界の強い領域が小さくなる。一
方、デカプリングコンデンサが適正配置されていない、
すなわち図１１に示すように電源ピン２５とグランドピ
ン２７にバイパスコンデンサ２６が遠い場合には、図１
２に示すように、磁界強度分布は磁界の強い領域が大き
くなる。このように、磁界の強い領域が多いということ
は、広い範囲に高周波電流が流れていることを示し、Ｅ
ＭＩ発生の大きな要素となり得るので、ＥＭＩ発生を容
易に詳細に判断できる。
ンサが適正配置されている、すなわち図９に示すように
ＬＳＩ２４の電源ピン２５とグランドピン２７にバイパ
スコンデンサ２６が近い場合には、図１０に示すよう
に、磁界強度分布は磁界の強い領域が小さくなる。一
方、デカプリングコンデンサが適正配置されていない、
すなわち図１１に示すように電源ピン２５とグランドピ
ン２７にバイパスコンデンサ２６が遠い場合には、図１
２に示すように、磁界強度分布は磁界の強い領域が大き
くなる。このように、磁界の強い領域が多いということ
は、広い範囲に高周波電流が流れていることを示し、Ｅ
ＭＩ発生の大きな要素となり得るので、ＥＭＩ発生を容
易に詳細に判断できる。
【００３４】また、図１５に示すように、電子機器のプ
リント配線基板３０の近傍に発生する磁界の方向は、こ
のプリント配線基板３０のエッジ部分においてプリント
配線基板３０の平面と垂直な方向の磁界が強くなる傾向
がある。そこで、図１６に示すように、Ｚ軸プローブ３
により、プリント配線基板３０の平面と垂直方向の磁界
を測定する。
リント配線基板３０の近傍に発生する磁界の方向は、こ
のプリント配線基板３０のエッジ部分においてプリント
配線基板３０の平面と垂直な方向の磁界が強くなる傾向
がある。そこで、図１６に示すように、Ｚ軸プローブ３
により、プリント配線基板３０の平面と垂直方向の磁界
を測定する。
【００３５】このように、上記実施の形態では、プリン
ト配線が積層形成された積層プリント配線基板の平面に
対して軸方向が略平行な一対の平行アンテナ片と、積層
プリント配線基板の平面に対して軸方向が略垂直な一対
の垂直アンテナ片とをそれぞれ接続して積層プリント配
線基板の平面に対して略垂直な面を有する環状のＸ軸プ
ローブ２を構成するため、例えばプリント配線を用いて
小型のＸ軸プローブ２が簡単な構成で形成可能となり、
分解能を向上できる。
ト配線が積層形成された積層プリント配線基板の平面に
対して軸方向が略平行な一対の平行アンテナ片と、積層
プリント配線基板の平面に対して軸方向が略垂直な一対
の垂直アンテナ片とをそれぞれ接続して積層プリント配
線基板の平面に対して略垂直な面を有する環状のＸ軸プ
ローブ２を構成するため、例えばプリント配線を用いて
小型のＸ軸プローブ２が簡単な構成で形成可能となり、
分解能を向上できる。
【００３６】また、ループプローブを積層プリント配線
基板にマトリックス状に設けたため、磁界分布を詳細に
測定可能となり、電子部品の最適な配置や電源配線設計
などを効率よくできる。
基板にマトリックス状に設けたため、磁界分布を詳細に
測定可能となり、電子部品の最適な配置や電源配線設計
などを効率よくできる。
【００３７】さらに、プリント配線が積層形成された積
層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行な一
対の平行アンテナ片と、積層プリント配線基板の平面に
対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片とをそれ
ぞれ接続して積層プリント配線基板の平面に対して略垂
直でかつＸ軸プローブ２にて構成される面に対して略垂
直な面を有する環状のＹ軸プローブ１を構成したため、
Ｘ軸プローブ２とにて小型で詳細な磁界分布を容易に測
定できる。
層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行な一
対の平行アンテナ片と、積層プリント配線基板の平面に
対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片とをそれ
ぞれ接続して積層プリント配線基板の平面に対して略垂
直でかつＸ軸プローブ２にて構成される面に対して略垂
直な面を有する環状のＹ軸プローブ１を構成したため、
Ｘ軸プローブ２とにて小型で詳細な磁界分布を容易に測
定できる。
【００３８】そして、垂直アンテナ片は、ブラインドビ
アホール４を用いて形成したため、プリント配線を利用
した小型のループプローブを構成できる。
アホール４を用いて形成したため、プリント配線を利用
した小型のループプローブを構成できる。
【００３９】さらに、積層プリント配線基板の平面に対
して略平行でかつ互いに略直行する二対の平行アンテナ
片をそれぞれ接続し積層プリント配線基板の平面に対し
て略平行な面を有する環状のＺ軸プローブ３を構成した
ため、Ｘ軸プローブ２およびＹ軸プローブ１とにて３次
元の磁界分布を測定できる。
して略平行でかつ互いに略直行する二対の平行アンテナ
片をそれぞれ接続し積層プリント配線基板の平面に対し
て略平行な面を有する環状のＺ軸プローブ３を構成した
ため、Ｘ軸プローブ２およびＹ軸プローブ１とにて３次
元の磁界分布を測定できる。
【００４０】そして、これらＸ軸プローブ２、Ｙ軸プロ
ーブ１およびＺ軸プローブ３の平行アンテナ片をプリン
ト配線を利用して形成したため、簡単な構成で小型のル
ーププローブを構成できる。
ーブ１およびＺ軸プローブ３の平行アンテナ片をプリン
ト配線を利用して形成したため、簡単な構成で小型のル
ーププローブを構成できる。
【００４１】また、積層プリント配線基板の各層でのプ
リント配線を利用してＸ軸プローブ２、Ｙ軸プローブ１
およびＺ軸プローブ３を構成したため、容易に小型のル
ーププローブを構成でき、容易に簡単な構成で分解能が
高い磁界検出装置２８を形成できる。
リント配線を利用してＸ軸プローブ２、Ｙ軸プローブ１
およびＺ軸プローブ３を構成したため、容易に小型のル
ーププローブを構成でき、容易に簡単な構成で分解能が
高い磁界検出装置２８を形成できる。
【００４２】さらに、各Ｘ軸プローブ２、Ｙ軸プローブ
１およびＺ軸プローブ３を構成する層と、これら各Ｘ軸
プローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３を外
部に配線する層との間にシールド層を設けたため、配線
層１１，１２に流れる信号により発生する電磁界が磁界
を検出する各Ｘ軸プローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ
軸プローブ３へ与える影響を防止でき、より高分解能が
得られる。
１およびＺ軸プローブ３を構成する層と、これら各Ｘ軸
プローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ軸プローブ３を外
部に配線する層との間にシールド層を設けたため、配線
層１１，１２に流れる信号により発生する電磁界が磁界
を検出する各Ｘ軸プローブ２、Ｙ軸プローブ１およびＺ
軸プローブ３へ与える影響を防止でき、より高分解能が
得られる。
【００４３】そして、この磁界検出装置２８を用いて磁
界分布測定装置を構成したため、高分解能が容易に得ら
れ、小型の装置が得られる。
界分布測定装置を構成したため、高分解能が容易に得ら
れ、小型の装置が得られる。
【００４４】なお、上記実施の形態において、例えば図
１７に示すように、複数巻き状態の多重環状に形成して
もよい。この多重環状に形成することにより、より分解
能を向上できる。
１７に示すように、複数巻き状態の多重環状に形成して
もよい。この多重環状に形成することにより、より分解
能を向上できる。
【００４５】
【発明の効果】本発明は、プリント配線が積層形成され
た積層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行
な一対の平行アンテナ片と、積層プリント配線基板の平
面に対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片とを
それぞれ接続して積層プリント配線基板の平面に対して
略垂直な面を有する環状のループプローブを構成するた
め、例えばプリント配線を用いて小型のループプローブ
が簡単な構成で形成可能となり、分解能を向上できる。
た積層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行
な一対の平行アンテナ片と、積層プリント配線基板の平
面に対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片とを
それぞれ接続して積層プリント配線基板の平面に対して
略垂直な面を有する環状のループプローブを構成するた
め、例えばプリント配線を用いて小型のループプローブ
が簡単な構成で形成可能となり、分解能を向上できる。
【００４６】また、ループプローブを積層プリント配線
基板にマトリックス状に設けたため、磁界分布を詳細に
測定可能となり、電子部品の最適な配置や電源配線設計
などを効率よくできる。
基板にマトリックス状に設けたため、磁界分布を詳細に
測定可能となり、電子部品の最適な配置や電源配線設計
などを効率よくできる。
【００４７】さらに、プリント配線が積層形成された積
層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行な一
対の平行アンテナ片と、積層プリント配線基板の平面に
対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片とをそれ
ぞれ接続して積層プリント配線基板の平面に対して略垂
直でかつループプローブにて構成される面に対して略垂
直な面を有する環状の第２のループプローブを構成した
ため、ループプローブとにて小型で詳細な磁界分布を容
易に測定できる。
層プリント配線基板の平面に対して軸方向が略平行な一
対の平行アンテナ片と、積層プリント配線基板の平面に
対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片とをそれ
ぞれ接続して積層プリント配線基板の平面に対して略垂
直でかつループプローブにて構成される面に対して略垂
直な面を有する環状の第２のループプローブを構成した
ため、ループプローブとにて小型で詳細な磁界分布を容
易に測定できる。
【００４８】そして、垂直アンテナ片は、ブラインドビ
アホールを用いて形成したため、プリント配線を利用し
た小型のループプローブを簡単な構成でき容易に構成で
きる。
アホールを用いて形成したため、プリント配線を利用し
た小型のループプローブを簡単な構成でき容易に構成で
きる。
【００４９】さらに、積層プリント配線基板の平面に対
して略平行でかつ互いに略直行する二対の平行アンテナ
片をそれぞれ接続し積層プリント配線基板の平面に対し
て略平行な面を有する環状の第３のループプローブを構
成したため、小型で３次元の磁界分布を高分解能で測定
できる。
して略平行でかつ互いに略直行する二対の平行アンテナ
片をそれぞれ接続し積層プリント配線基板の平面に対し
て略平行な面を有する環状の第３のループプローブを構
成したため、小型で３次元の磁界分布を高分解能で測定
できる。
【００５０】そして、ループプローブの平行アンテナ片
をプリント配線を利用して形成したため、簡単な構成で
小型のループプローブを構成できる。
をプリント配線を利用して形成したため、簡単な構成で
小型のループプローブを構成できる。
【００５１】また、積層プリント配線基板の各層でのプ
リント配線を利用してループプローブを構成したため、
容易に小型のループプローブを構成でき、容易に簡単な
構成で分解能が高い装置を形成できる。
リント配線を利用してループプローブを構成したため、
容易に小型のループプローブを構成でき、容易に簡単な
構成で分解能が高い装置を形成できる。
【００５２】さらに、積層プリント配線基板に磁界を遮
断するシールド層を設けたため、信号により発生する電
磁界などが磁界を検出するループプローブへ与える影響
を防止でき、より高分解能が得られる。
断するシールド層を設けたため、信号により発生する電
磁界などが磁界を検出するループプローブへ与える影響
を防止でき、より高分解能が得られる。
【００５３】そして、小型で高分解能の磁界検出装置を
用いて磁界分布測定装置を構成したため、高分解能が容
易に得られ、小型の装置が得られる。
用いて磁界分布測定装置を構成したため、高分解能が容
易に得られ、小型の装置が得られる。
【図１】本発明の一実施の形態の磁界検出装置の構成を
示す斜視透視図である。
示す斜視透視図である。
【図２】同上平面透視図である。
【図３】同上のＸ軸プローブの構成を示す断面図であ
る。
る。
【図４】同上のＹ軸プローブの構成を示す断面図であ
る。
る。
【図５】同上のＺ軸プローブの構成を示す断面図であ
る。
る。
【図６】同上のループマトリックスを示す平面透視図で
ある。
ある。
【図７】同上磁界分布測定装置の回路構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図８】同上ＬＳＩ近傍の断面図である。
【図９】同上バイパスコンデンサが適正配置された電子
機器の構成を示す平面図である。
機器の構成を示す平面図である。
【図１０】同上の測定結果の磁界分布を示す分布図であ
る。
る。
【図１１】同上バイパスコンデンサが適正配置されてい
ない被測定物であるプリント配線基板の構成を示す平面
図である。
ない被測定物であるプリント配線基板の構成を示す平面
図である。
【図１２】同上の測定結果の磁界分布を示す分布図であ
る。
る。
【図１３】同上磁界強度のベクトル和を説明するグラフ
である。
である。
【図１４】同上電流方向を示す分布図である。
【図１５】同上測定するプリント配線基板の発生磁界を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図１６】同上の垂直方向の発生磁界を示す平面図であ
る。
る。
【図１７】本発明の他の実施の形態を示すループプロー
ブの斜視図である。
ブの斜視図である。
【図１８】従来例の磁界分布測定装置の磁界検出装置を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図１９】同上のループアンテナを示す側面図である。
【図２０】同上磁界分布の測定状況を示す斜視図であ
る。
る。
【図２１】同上の磁界分布の測定結果を示す分布図であ
る。
る。
【図２２】従来の他の例の磁界分布測定装置を示すブロ
ック図である。
ック図である。
１ Ｙ軸プローブ ２ Ｘ軸プローブ ３ Ｚ軸プローブ ４ ブラインドビアホール ５ Ｘ軸プローブ構成層Ａ ６ Ｙ軸プローブ構成層Ａ ７ Ｚ軸プローブ構成層 ８ Ｘ軸プローブ構成層Ｂ８ ９ Ｙ軸プローブ構成層Ｂ １０ シールド層 １１，１２ 配線層 １３ ループアンテナ １４ プローブマトリックス １５ セレクタ １６ ＲＦアンプ １７ ＲＦレシーバ １８ コンピュータ １９ ＣＲＴモニタ ２０ プリンタ ２１，２４ ＬＳＩ ２２ 回路基板 ２３ アンテナマトリックス ２５ 電源ピン ２６ バイパスコンデンサ ２７ グランドピン ２８ 磁界検出装置 ２９ ノイズ電圧 ３０ プリント配線基板
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】しかしながら、上記図１８および図１９に
示すようなＸＹ平面上の磁界分布を測定する構成、特に
ワイヤにてループプローブを形成しマトリックス状に配
設したアンテナマトリックス２３の構成では、図２０お
よび図２１に示すように分解能が低いため、ＩＣ近傍の
詳細な磁界分布を測定することができないため、ＩＣの
最適なバイパスコンデンサの選択や配置、ＩＣの最適な
電源配線設計などに利用できない。さらに、測定位置に
おけるプローブの方向がプリント基板である回路基板２
２の平面に対して平行な１方向のみであるため、他の方
向に発生する磁界の方向を検出できない。また、図２２
に示すような特開昭６１−２７６４８号公報に記載の構
成では、プローブを用いて局所的に磁界を印加すること
により故障を解析できるが、磁界の分布を測定すること
ができない問題がある。
示すようなＸＹ平面上の磁界分布を測定する構成、特に
ワイヤにてループプローブを形成しマトリックス状に配
設したアンテナマトリックス２３の構成では、図２０お
よび図２１に示すように分解能が低いため、ＩＣ近傍の
詳細な磁界分布を測定することができないため、ＩＣの
最適なバイパスコンデンサの選択や配置、ＩＣの最適な
電源配線設計などに利用できない。さらに、測定位置に
おけるプローブの方向がプリント基板である回路基板２
２の平面に対して平行な１方向のみであるため、他の方
向に発生する磁界の方向を検出できない。また、図２２
に示すような特開昭６１−２７６４８号公報に記載の構
成では、プローブを用いて局所的に磁界を印加すること
により故障を解析できるが、磁界の分布を測定すること
ができない問題がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の磁界検出
装置は、プリント配線が積層形成された積層プリント配
線基板と、この積層プリント配線基板に設けられ、この
積層プリント配線基板の平面に対して略平行な一対の平
行アンテナ片および前記積層プリント配線基板の平面に
対して略垂直な一対の垂直アンテナ片を有し、前記一対
の平行アンテナ片および前記一対の垂直アンテナ片がそ
れぞれ接続されて前記積層プリント配線基板の平面に対
して略垂直な面を有する環状のループプローブとを具備
したものである。
装置は、プリント配線が積層形成された積層プリント配
線基板と、この積層プリント配線基板に設けられ、この
積層プリント配線基板の平面に対して略平行な一対の平
行アンテナ片および前記積層プリント配線基板の平面に
対して略垂直な一対の垂直アンテナ片を有し、前記一対
の平行アンテナ片および前記一対の垂直アンテナ片がそ
れぞれ接続されて前記積層プリント配線基板の平面に対
して略垂直な面を有する環状のループプローブとを具備
したものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】請求項４記載の磁界検出装置は、請求項１
ないし３のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層プリント配線基板に設けられ、この積層プリント配
線の平面に対して略平行な一対の平行アンテナ片、およ
び、前記積層プリント配線基板の平面に対して略垂直な
一対の垂直アンテナ片を有し、前記一対の平行アンテナ
片および前記一対の垂直アンテナ片がそれぞれ接続され
て前記積層プリント配線基板の平面に対して略垂直でか
つ前記ループプローブにて構成される面に対して略垂直
な面を有する環状の第２のループプローブを具備したも
のである。
ないし３のいずれか一に記載の磁界検出装置において、
積層プリント配線基板に設けられ、この積層プリント配
線の平面に対して略平行な一対の平行アンテナ片、およ
び、前記積層プリント配線基板の平面に対して略垂直な
一対の垂直アンテナ片を有し、前記一対の平行アンテナ
片および前記一対の垂直アンテナ片がそれぞれ接続され
て前記積層プリント配線基板の平面に対して略垂直でか
つ前記ループプローブにて構成される面に対して略垂直
な面を有する環状の第２のループプローブを具備したも
のである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】磁界検出装置２８は、図３ないし図５に示
すように、８つのプリント配線層を積層して形成した積
層プリント配線基板Ｐを備えている。そして、第１層が
Ｘ軸プローブ２の一部を構成するプリント配線が設けら
れたＸ軸プローブ構成層Ａ５、第２層がＹ軸プローブ１
の一部を構成するプリント配線が設けられたＹ軸プロー
ブ構成層Ａ６、第３層がＺ軸プローブ３を構成するプリ
ント配線が設けられたＺ軸プローブ構成層７、第４層が
Ｘ軸プローブ２の一部を構成するプリント配線が設けら
れたＸ軸プローブ構成層Ｂ８、第５層がＹ軸プローブ１
の一部を構成するプリント配線が設けられたＹ軸プロー
ブ構成層Ｂ９、第６層が磁界を遮断するシールド層１
０、第７層および第８層がＸ軸プローブ２、Ｙ軸プロー
ブ１およびＺ軸プローブ３から外部へ配線するための配
線パターンが設けられた配線層１１および配線層１２と
なっている。また、プローブマトリックス１４には、こ
のプローブマトリックス１４の基板表面と略垂直なブラ
インドビアホール４が複数設けられている。
すように、８つのプリント配線層を積層して形成した積
層プリント配線基板Ｐを備えている。そして、第１層が
Ｘ軸プローブ２の一部を構成するプリント配線が設けら
れたＸ軸プローブ構成層Ａ５、第２層がＹ軸プローブ１
の一部を構成するプリント配線が設けられたＹ軸プロー
ブ構成層Ａ６、第３層がＺ軸プローブ３を構成するプリ
ント配線が設けられたＺ軸プローブ構成層７、第４層が
Ｘ軸プローブ２の一部を構成するプリント配線が設けら
れたＸ軸プローブ構成層Ｂ８、第５層がＹ軸プローブ１
の一部を構成するプリント配線が設けられたＹ軸プロー
ブ構成層Ｂ９、第６層が磁界を遮断するシールド層１
０、第７層および第８層がＸ軸プローブ２、Ｙ軸プロー
ブ１およびＺ軸プローブ３から外部へ配線するための配
線パターンが設けられた配線層１１および配線層１２と
なっている。また、プローブマトリックス１４には、こ
のプローブマトリックス１４の基板表面と略垂直なブラ
インドビアホール４が複数設けられている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
Claims (11)
- 【請求項１】 プリント配線が積層形成された積層プリ
ント配線基板と、 この積層プリント配線基板に設けられ、この積層プリン
ト配線基板の平面に対して軸方向が略平行な一対の平行
アンテナ片および前記積層プリント配線基板の平面に対
して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片を有し、前
記一対の平行アンテナ片および前記一対の垂直アンテナ
片がそれぞれ接続されて前記積層プリント配線基板の平
面に対して略垂直な面を有する環状のループプローブと
を具備したことを特徴とする磁界検出装置。 - 【請求項２】 ループプローブは、積層プリント配線基
板にマトリックス状に設けられたことを特徴とする請求
項１記載の磁界検出装置。 - 【請求項３】 ループプローブは、平行アンテナ片およ
び垂直アンテナ片をそれぞれ複数対有し、多重環状に形
成されたことを特徴とする請求項１または２記載の磁界
検出装置。 - 【請求項４】 積層プリント配線基板に設けられ、この
積層プリント配線の平面に対して軸方向が略平行な一対
の平行アンテナ片、および、前記積層プリント配線基板
の平面に対して軸方向が略垂直な一対の垂直アンテナ片
を有し、前記一対の平行アンテナ片および前記一対の垂
直アンテナ片がそれぞれ接続されて前記積層プリント配
線基板の平面に対して略垂直でかつループプローブにて
構成される面に対して略垂直な面を有する環状で、ルー
ププローブと対をなす第２のループプローブを具備した
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一に記載
の磁界検出装置。 - 【請求項５】 第２のループプローブは、平行アンテナ
片および垂直アンテナ片をそれぞれ複数対有し、多重環
状に形成されたことを特徴とする請求項４記載の磁界検
出装置。 - 【請求項６】 積層検出装置は、ブラインドビアホール
を有し、 垂直アンテナ片は、前記ブラインドビアホールに設けら
れたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一に
記載の磁界検出装置。 - 【請求項７】 積層プリント配線基板に設けられ、この
積層プリント配線基板の平面に対して略平行でかつ互い
に略直行する二対の平行アンテナ片がそれぞれ接続され
前記積層プリント配線基板の平面に対して略平行な面を
有する環状の第３のループプローブを具備したことを特
徴とする請求項１ないし６のいずれか一に記載の磁界検
出装置。 - 【請求項８】 第３のループプローブは、複数対の平行
アンテナ片がそれぞれ接続されて多重環状に形成された
ことを特徴とする請求項７記載の磁界検出装置。 - 【請求項９】 平行アンテナ片は、プリント配線により
形成されたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれ
か一に記載の磁界検出装置。 - 【請求項１０】 積層プリント配線基板は、磁界を遮断
するシールド層を備えたことを特徴とする請求項１ない
し９のいずれか一に記載の磁界検出装置。 - 【請求項１１】 請求項１ないし１０のいずれか一に記
載の磁界検出装置と、 この磁界検出装置に接続され磁界を検出して出力するル
ーププローブを選択するセレクタと、 前記磁界検出装置に接続され前記ループプローブから出
力された電圧が入力されるレシーバと、 前記セレクタおよび前記レシーバに接続され、前記レシ
ーバを制御して特定の周波数の磁界強度を測定させて所
定の信号を出力させる制御部とを具備したことを特徴と
する磁界分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135098A JP2943793B1 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 磁界検出装置および磁界分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135098A JP2943793B1 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 磁界検出装置および磁界分布測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2943793B1 JP2943793B1 (ja) | 1999-08-30 |
| JPH11295402A true JPH11295402A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14558976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11135098A Expired - Fee Related JP2943793B1 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 磁界検出装置および磁界分布測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2943793B1 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002228698A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Melco Inc | 電界プローブ |
| WO2003012465A1 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Advantest Corporation | Electromagnetic wave measuring apparatus |
| WO2003023424A1 (fr) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Chikayoshi Sumi | Appareil pour evaluer un vecteur densite de courant et appareil pour evaluer une conductivite electrique |
| JP2004109037A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 故障診断方法、故障診断システム、回路基板 |
| JP2020034285A (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 国立大学法人金沢大学 | 磁界空間分布検出装置 |
| JP6887575B1 (ja) * | 2020-05-11 | 2021-06-16 | 三菱電機株式会社 | 電磁界センサ |
-
1998
- 1998-04-08 JP JP11135098A patent/JP2943793B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002228698A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Melco Inc | 電界プローブ |
| WO2003012465A1 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Advantest Corporation | Electromagnetic wave measuring apparatus |
| US7167133B2 (en) | 2001-07-27 | 2007-01-23 | Advantest Corporation | Electromagnetic wave measuring apparatus |
| WO2003023424A1 (fr) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Chikayoshi Sumi | Appareil pour evaluer un vecteur densite de courant et appareil pour evaluer une conductivite electrique |
| JP2004109037A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 故障診断方法、故障診断システム、回路基板 |
| JP2020034285A (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 国立大学法人金沢大学 | 磁界空間分布検出装置 |
| JP6887575B1 (ja) * | 2020-05-11 | 2021-06-16 | 三菱電機株式会社 | 電磁界センサ |
| US11946953B2 (en) | 2020-05-11 | 2024-04-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Electromagnetic field sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2943793B1 (ja) | 1999-08-30 |
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