JPH11291295A - 樹脂成形用モールド金型装置 - Google Patents
樹脂成形用モールド金型装置Info
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- JPH11291295A JPH11291295A JP11601498A JP11601498A JPH11291295A JP H11291295 A JPH11291295 A JP H11291295A JP 11601498 A JP11601498 A JP 11601498A JP 11601498 A JP11601498 A JP 11601498A JP H11291295 A JPH11291295 A JP H11291295A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/70—Maintenance
- B29C33/72—Cleaning
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリ−ナ吸込口部の密閉作用を向上させて真
空度を上げ、更に吸い込み作用を優れたものにすること
によって、集塵効果を高める。 【解決手段】 クリ−ナの吸込口部に取り付けた密閉用
弾性部材の少なくともクリ−ナの移動方向とほぼ直角に
配置した部分２４をその肉厚を厚くブロック状にし、そ
の先端面２７を幅広にする。そして、その直角配置部分
２４の先端面付近の少なくとも吸込口２６に臨む内側縁
部２９をコーナ取りして弧状に形成し、更にその直角配
置部分２４に上型下面又は下型上面に設置した突起物を
避ける突起物逃げ凹所３１、３２又は突起物逃げ切断部
を設ける。
空度を上げ、更に吸い込み作用を優れたものにすること
によって、集塵効果を高める。 【解決手段】 クリ−ナの吸込口部に取り付けた密閉用
弾性部材の少なくともクリ−ナの移動方向とほぼ直角に
配置した部分２４をその肉厚を厚くブロック状にし、そ
の先端面２７を幅広にする。そして、その直角配置部分
２４の先端面付近の少なくとも吸込口２６に臨む内側縁
部２９をコーナ取りして弧状に形成し、更にその直角配
置部分２４に上型下面又は下型上面に設置した突起物を
避ける突起物逃げ凹所３１、３２又は突起物逃げ切断部
を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路等を
樹脂封止して成形するモールド金型を備えた樹脂成形用
モールド金型装置、特にその装置に備え付ける集塵装置
のクリ−ナ吸込口部の密閉構造に関する。
樹脂封止して成形するモールド金型を備えた樹脂成形用
モールド金型装置、特にその装置に備え付ける集塵装置
のクリ−ナ吸込口部の密閉構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般的な半導体パッケージは基板
の各セクションに接合した半導体集積回路等をそれぞれ
樹脂封止して成形するモールド金型を備えた樹脂成形用
モールド金型装置を用いて製造している。この樹脂成形
用モールド金型装置の作動時に、モールド金型の上型、
下型のキャビティ内等には樹脂バリ等の粉塵が発生した
り、封止用樹脂材料のタブレットを供給するタブレット
供給部にはタブレットの振動供給によって粉塵が発生す
る等装置内の各所に粉塵が発生する。そこで、粉塵によ
る成形工程上の不具合、成形品に対する悪影響を除くた
め集塵装置を備え付け、装置内の各所に発生した粉塵を
集塵機で集めて取り除いている。因みに、ＢＧＡ（ボ−
ルグリッドアレイ）型半導体パッケージ、ＣＳ（チップ
サイズ）型半導体パッケージ等ではボ−ル半田面側への
樹脂バリの付着が致命的な欠陥となる。
の各セクションに接合した半導体集積回路等をそれぞれ
樹脂封止して成形するモールド金型を備えた樹脂成形用
モールド金型装置を用いて製造している。この樹脂成形
用モールド金型装置の作動時に、モールド金型の上型、
下型のキャビティ内等には樹脂バリ等の粉塵が発生した
り、封止用樹脂材料のタブレットを供給するタブレット
供給部にはタブレットの振動供給によって粉塵が発生す
る等装置内の各所に粉塵が発生する。そこで、粉塵によ
る成形工程上の不具合、成形品に対する悪影響を除くた
め集塵装置を備え付け、装置内の各所に発生した粉塵を
集塵機で集めて取り除いている。因みに、ＢＧＡ（ボ−
ルグリッドアレイ）型半導体パッケージ、ＣＳ（チップ
サイズ）型半導体パッケージ等ではボ−ル半田面側への
樹脂バリの付着が致命的な欠陥となる。
【０００３】このような集塵装置を備え付ける場合、樹
脂成形用モールド金型装置内各所の粉塵発生箇所の近傍
に、集塵装置の各吸込口をそれぞれ配設する。その際、
モールド金型に対しては図９に示すような上型クリ−ナ
１と下型クリ−ナ２とを使用し、樹脂封止後の基板取り
出しのための型開き時に上型、下型の清掃を必ず実施す
る。この各クリ−ナ１、２は矢印で示す基板の搬送方向
に沿って前進後退自在に備え付けられており、配置構造
は大略上下対称となっている。そして、上型クリ−ナ１
では箱状のブラシ収納ケース３に吸込口となる上開口を
設け、そのケース３の吸込口部４の付近内部にクリーニ
ング用の回転ブラシ５を設置する。又、下型クリ−ナ２
では同様のブラシ収納ケース６に吸込口となる下開口を
設け、そのケース６の吸込口部７の付近内部に同様の回
転ブラシ８を設置する。なお、各クリ−ナの吸込口内に
回転ブラシを設ける代わりに、その吸込口の前後両側或
いは片側にクリ−ナの進行方向に対し、直角方向に揺動
する揺動ブラシを設置する場合もある。
脂成形用モールド金型装置内各所の粉塵発生箇所の近傍
に、集塵装置の各吸込口をそれぞれ配設する。その際、
モールド金型に対しては図９に示すような上型クリ−ナ
１と下型クリ−ナ２とを使用し、樹脂封止後の基板取り
出しのための型開き時に上型、下型の清掃を必ず実施す
る。この各クリ−ナ１、２は矢印で示す基板の搬送方向
に沿って前進後退自在に備え付けられており、配置構造
は大略上下対称となっている。そして、上型クリ−ナ１
では箱状のブラシ収納ケース３に吸込口となる上開口を
設け、そのケース３の吸込口部４の付近内部にクリーニ
ング用の回転ブラシ５を設置する。又、下型クリ−ナ２
では同様のブラシ収納ケース６に吸込口となる下開口を
設け、そのケース６の吸込口部７の付近内部に同様の回
転ブラシ８を設置する。なお、各クリ−ナの吸込口内に
回転ブラシを設ける代わりに、その吸込口の前後両側或
いは片側にクリ−ナの進行方向に対し、直角方向に揺動
する揺動ブラシを設置する場合もある。
【０００４】又、このような各クリ−ナ１、２の吸込口
部４、７に密閉用の薄い例えば１．０ｍｍのゴム板９、
１０を吸込口の周囲をリング状に取り巻くようにそれぞ
れ配置して取り付ける。その際、吸込口の密閉によって
集塵効果を高めるため、ブラシ収納ケース３、６を上型
下面１１、下型上面１２に向けて移動させた時にゴム板
９、１０の先端面１３、１４が上型下面１１、下型上面
１２の直近まで例えば１〜２ｍｍ離れた位置まで達する
ようにする。更に、各クリ−ナ１、２には集塵時に上
型、下型のキャビティ（図示せず）に空気を吹き付け、
キャビティ等に付着した樹脂バリ等の粉塵を回転ブラシ
５、８と協同して除去するエアブロー１５、１６、回転
ブラシ５、８を駆動するモータ１７、１８、ブラシ収納
ケース３、６を上型下面１１、下型上面１２に向けて移
動する電磁シリンダー１９、２０等も設置する。なお、
上型下面１１、下型上面１２はモールド金型のパーティ
ングラインを形成する基準面である。
部４、７に密閉用の薄い例えば１．０ｍｍのゴム板９、
１０を吸込口の周囲をリング状に取り巻くようにそれぞ
れ配置して取り付ける。その際、吸込口の密閉によって
集塵効果を高めるため、ブラシ収納ケース３、６を上型
下面１１、下型上面１２に向けて移動させた時にゴム板
９、１０の先端面１３、１４が上型下面１１、下型上面
１２の直近まで例えば１〜２ｍｍ離れた位置まで達する
ようにする。更に、各クリ−ナ１、２には集塵時に上
型、下型のキャビティ（図示せず）に空気を吹き付け、
キャビティ等に付着した樹脂バリ等の粉塵を回転ブラシ
５、８と協同して除去するエアブロー１５、１６、回転
ブラシ５、８を駆動するモータ１７、１８、ブラシ収納
ケース３、６を上型下面１１、下型上面１２に向けて移
動する電磁シリンダー１９、２０等も設置する。なお、
上型下面１１、下型上面１２はモールド金型のパーティ
ングラインを形成する基準面である。
【０００５】このような薄い密閉用ゴム板９、１０を吸
込口部４、７にそれぞれ設置して用いると、ゴム板９、
１０が弾力性を有するため、上型下面１１、下型上面１
２等から基板を位置決めするピン等の突起物２１が突出
していても、各クリ−ナ１、２の前進時等に、薄いゴム
板９、１０が突起物２１に当ると、突起物２１によって
ゴム板９、１０を押し曲げることができる。それ故、ゴ
ム板９、１０を設置しても、各クリ−ナ１、２の前進等
にとって突起物２１の突出があまり邪魔にならない。そ
こで、各クリ−ナ１、２を前進させながら上型、下型の
キャビティ内等にエアブロー１５、１６によって適宜空
気を吹き付け、図１１の矢印で示すように空気を吸い込
み、粉塵を各クリ−ナ１、２の共通ダクト２２等を経て
集塵機へと送る。なお、タブレット供給部に対してもそ
のタブレット移動経路に沿って複数箇所例えば２箇所に
吸込口をそれぞれ設け、やはりその各吸込口と集塵機と
を粉塵を送るダクトを介して接続する。
込口部４、７にそれぞれ設置して用いると、ゴム板９、
１０が弾力性を有するため、上型下面１１、下型上面１
２等から基板を位置決めするピン等の突起物２１が突出
していても、各クリ−ナ１、２の前進時等に、薄いゴム
板９、１０が突起物２１に当ると、突起物２１によって
ゴム板９、１０を押し曲げることができる。それ故、ゴ
ム板９、１０を設置しても、各クリ−ナ１、２の前進等
にとって突起物２１の突出があまり邪魔にならない。そ
こで、各クリ−ナ１、２を前進させながら上型、下型の
キャビティ内等にエアブロー１５、１６によって適宜空
気を吹き付け、図１１の矢印で示すように空気を吸い込
み、粉塵を各クリ−ナ１、２の共通ダクト２２等を経て
集塵機へと送る。なお、タブレット供給部に対してもそ
のタブレット移動経路に沿って複数箇所例えば２箇所に
吸込口をそれぞれ設け、やはりその各吸込口と集塵機と
を粉塵を送るダクトを介して接続する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに密閉用のゴム板９、１０を各クリ−ナ１、２の吸込
口部４、７にそれぞれ取り付け、上型下面１１、下型上
面１２に向けて垂直方向に突出させておくと、上型下面
１１、下型上面１２に平行なキャビティ内面からほぼ垂
直方向に空気を吸い込むため空気の流れが悪くなり、乱
気流を起して吸い込みが悪くなる。それ故、樹脂バリ等
の粉塵がキャビティ内に残ってしまう。又、ゴム板９、
１０が薄く先端コーナ部が直角になっていると、空気の
流れによって自然に変形し、図１２に示すように突起物
２１に当らなくても局部的にめくれて大きく開いたりす
る。それ故、密閉作用が劣ったものとなって真空度が上
がらず、集塵効果を高めることができない。更に、ゴム
板９、１０は薄いため、多数のねじを用いて取り付けて
いたが、取り付け作業の負担が大きく、交換性にも問題
がある。
うに密閉用のゴム板９、１０を各クリ−ナ１、２の吸込
口部４、７にそれぞれ取り付け、上型下面１１、下型上
面１２に向けて垂直方向に突出させておくと、上型下面
１１、下型上面１２に平行なキャビティ内面からほぼ垂
直方向に空気を吸い込むため空気の流れが悪くなり、乱
気流を起して吸い込みが悪くなる。それ故、樹脂バリ等
の粉塵がキャビティ内に残ってしまう。又、ゴム板９、
１０が薄く先端コーナ部が直角になっていると、空気の
流れによって自然に変形し、図１２に示すように突起物
２１に当らなくても局部的にめくれて大きく開いたりす
る。それ故、密閉作用が劣ったものとなって真空度が上
がらず、集塵効果を高めることができない。更に、ゴム
板９、１０は薄いため、多数のねじを用いて取り付けて
いたが、取り付け作業の負担が大きく、交換性にも問題
がある。
【０００７】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、各クリ−ナ吸込口部の密閉作用
を向上させて真空度を上げ、更に吸い込み作用を優れた
ものにすることによって、集塵効果を高めることができ
る樹脂成形用モールド金型装置を提供することを目的と
する。
てなされたものであり、各クリ−ナ吸込口部の密閉作用
を向上させて真空度を上げ、更に吸い込み作用を優れた
ものにすることによって、集塵効果を高めることができ
る樹脂成形用モールド金型装置を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による樹脂成形用モールド金型装置では樹脂
封止して成形するモールド金型を備えた装置に集塵装置
を備え付け、その集塵装置の集塵機とモールド金型の上
型又は下型を清掃するクリ−ナとをダクトを介して接続
し、そのクリ−ナの吸込口部に密閉用弾性部材を吸込口
の周囲をリング状に取り巻くように配置し、その密閉用
弾性部材の先端面が集塵時に上型下面又は下型上面の直
近まで達するように突出させて取り付ける。
に、本発明による樹脂成形用モールド金型装置では樹脂
封止して成形するモールド金型を備えた装置に集塵装置
を備え付け、その集塵装置の集塵機とモールド金型の上
型又は下型を清掃するクリ−ナとをダクトを介して接続
し、そのクリ−ナの吸込口部に密閉用弾性部材を吸込口
の周囲をリング状に取り巻くように配置し、その密閉用
弾性部材の先端面が集塵時に上型下面又は下型上面の直
近まで達するように突出させて取り付ける。
【０００９】そして、上記密閉用弾性部材の少なくとも
クリ−ナの移動方向とほぼ直角に配置した部分をその肉
厚を厚くブロック状にし、その先端面を幅広にして、そ
の直角配置部分の先端面付近の少なくとも吸込口に臨む
内側縁部をコーナ取りして弧状に形成し、更にその直角
配置部分に上型下面又は下型上面に設置した突起物を避
ける突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設ける。
クリ−ナの移動方向とほぼ直角に配置した部分をその肉
厚を厚くブロック状にし、その先端面を幅広にして、そ
の直角配置部分の先端面付近の少なくとも吸込口に臨む
内側縁部をコーナ取りして弧状に形成し、更にその直角
配置部分に上型下面又は下型上面に設置した突起物を避
ける突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設ける。
【００１０】又、密閉用弾性部材の直角配置部分に設け
た突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状
弾性部材で閉じ、その密閉用板状弾性部材を突起物の当
接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放
可能となるように支持すると好ましくなる。
た突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状
弾性部材で閉じ、その密閉用板状弾性部材を突起物の当
接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放
可能となるように支持すると好ましくなる。
【００１１】又、密閉用弾性部材の直角配置部分に設け
た突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラ
で閉じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起
物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるよう
に軸支するとよい。
た突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラ
で閉じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起
物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるよう
に軸支するとよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、添付の図１〜８を参照し
て、本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明を適
用した樹脂成形用モールド金型装置に備え付けた集塵装
置のモールド金型を清掃する上型、下型クリ−ナの一
方、例えば下型クリ−ナの吸込口部付近を示す底面図、
図２は同下型クリ−ナの吸込口部付近の左側面図、図３
は図１のＸ−Ｘ線断面図である。このモールド金型を清
掃する上型、下型クリ−ナも従来の上型、下型クリ−ナ
１、２とほぼ同一構造にする。そして、図１に示すよう
にゴム、プラスチック等からなる一対の密閉用長手弾性
部材２４（２４ａ、２４ｂ）と一対の密閉用短手弾性部
材２５（２５ａ、２５ｂ）とを長方形吸込口２６の周囲
に長方形リング状に配置する。その際、一対の密閉用長
手弾性部材２４は矢印で示すクリ−ナの移動方向に直角
に配置し、一対の密閉用短手弾性部材２５は平行に配置
する。しかし、これ等の密閉用弾性部材２４、２５の構
造や密閉用弾性部材２４、２５をクリ−ナの吸込口部に
取り付ける方法等は異ならせる。
て、本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明を適
用した樹脂成形用モールド金型装置に備え付けた集塵装
置のモールド金型を清掃する上型、下型クリ−ナの一
方、例えば下型クリ−ナの吸込口部付近を示す底面図、
図２は同下型クリ−ナの吸込口部付近の左側面図、図３
は図１のＸ−Ｘ線断面図である。このモールド金型を清
掃する上型、下型クリ−ナも従来の上型、下型クリ−ナ
１、２とほぼ同一構造にする。そして、図１に示すよう
にゴム、プラスチック等からなる一対の密閉用長手弾性
部材２４（２４ａ、２４ｂ）と一対の密閉用短手弾性部
材２５（２５ａ、２５ｂ）とを長方形吸込口２６の周囲
に長方形リング状に配置する。その際、一対の密閉用長
手弾性部材２４は矢印で示すクリ−ナの移動方向に直角
に配置し、一対の密閉用短手弾性部材２５は平行に配置
する。しかし、これ等の密閉用弾性部材２４、２５の構
造や密閉用弾性部材２４、２５をクリ−ナの吸込口部に
取り付ける方法等は異ならせる。
【００１３】そこで、各密閉用弾性部材２４、２５とし
て肉厚を厚く例えば基部側を５ｍｍ、先端部側を１０ｍ
ｍのブロック状にし、その先端面２７（２７ａ、２７
ｂ）、２８（２８ａ、２８ｂ）を幅広にして高さと幅を
ほぼ等しくした断面Ｌ形体をそれぞれ採用する（図３参
照）。しかも、各弾性部材２４、２５はその先端面付近
の少なくとも吸込口２６に臨む内側縁部２９（２９ａ、
２９ｂ）、３０（３０ａ、３０ｂ）をコーナ取りして弧
状にそれぞれ形成しておく。又、各長手弾性部材２４に
は上型下面、下型上面等の型面に設置したピンやその他
の突起物等を避けるため、先端面２７に内側縁部２９か
ら外側縁部まで横切る突起物逃げ凹所をそれぞれ設けて
おく。その際、各長手弾性部材２４の中央部に設ける突
起物逃げ凹所３１（３１ａ、３１ｂ）はキャビティを支
持するロックブロックの突出部分を避けるため幅広に
し、その両側に２箇所ずつ設ける突起物逃げ凹所３２
（３２ａ、……３２ｄ）はサイドピンを避けるため幅狭
にして溝にする。
て肉厚を厚く例えば基部側を５ｍｍ、先端部側を１０ｍ
ｍのブロック状にし、その先端面２７（２７ａ、２７
ｂ）、２８（２８ａ、２８ｂ）を幅広にして高さと幅を
ほぼ等しくした断面Ｌ形体をそれぞれ採用する（図３参
照）。しかも、各弾性部材２４、２５はその先端面付近
の少なくとも吸込口２６に臨む内側縁部２９（２９ａ、
２９ｂ）、３０（３０ａ、３０ｂ）をコーナ取りして弧
状にそれぞれ形成しておく。又、各長手弾性部材２４に
は上型下面、下型上面等の型面に設置したピンやその他
の突起物等を避けるため、先端面２７に内側縁部２９か
ら外側縁部まで横切る突起物逃げ凹所をそれぞれ設けて
おく。その際、各長手弾性部材２４の中央部に設ける突
起物逃げ凹所３１（３１ａ、３１ｂ）はキャビティを支
持するロックブロックの突出部分を避けるため幅広に
し、その両側に２箇所ずつ設ける突起物逃げ凹所３２
（３２ａ、……３２ｄ）はサイドピンを避けるため幅狭
にして溝にする。
【００１４】これ等の各密閉用弾性部材２４、２５はク
リ−ナの吸込口部にねじ止めして固定し取り付ける。そ
の際、各弾性部材２４、２５はブロック状でその先端面
２９、３０が幅広で剛性が大きいため、取り付けに使用
するねじ３３の数が少なくて済む。そこで、各長手弾性
部材２４についてはねじ３３を４本ずつ、又各短手弾性
部材２５についてはねじ３３を２本ずつそれぞれ使用す
る。それ故、各弾性部材２４、２５が取り付け易く、交
換も容易である。なお、各弾性部材２４、２５の取り付
けに当ってはクリ−ナ吸込口部の外側に係合する取付金
具３４（３４ａ、３４ｂ）等も使用する（図２、３参
照）。
リ−ナの吸込口部にねじ止めして固定し取り付ける。そ
の際、各弾性部材２４、２５はブロック状でその先端面
２９、３０が幅広で剛性が大きいため、取り付けに使用
するねじ３３の数が少なくて済む。そこで、各長手弾性
部材２４についてはねじ３３を４本ずつ、又各短手弾性
部材２５についてはねじ３３を２本ずつそれぞれ使用す
る。それ故、各弾性部材２４、２５が取り付け易く、交
換も容易である。なお、各弾性部材２４、２５の取り付
けに当ってはクリ−ナ吸込口部の外側に係合する取付金
具３４（３４ａ、３４ｂ）等も使用する（図２、３参
照）。
【００１５】そして、各長手弾性部材２４に設けた幅広
の突起物逃げ凹所３１に対し、外側から従来使用してい
たのと同様の薄いゴム板等の密閉用弾性部材３５（３５
ａ、３５ｂ）を被せてそれぞれ閉鎖する。すると、突起
物に対する密閉用弾性部材３５の弾性力による屈曲作用
を利用でき、各長手弾性部材２４に幅広の突起物逃げ凹
所３１を設けても、密閉作用の低下を補償して集塵効果
を高めることができる。その際、各密閉用弾性部材３５
をねじ３３を２本ずつ用いて取り付けるが、取り付け用
の細長い板状の弾性部材３６（３６ａ、３６ｂ）をそれ
ぞれ介在する。
の突起物逃げ凹所３１に対し、外側から従来使用してい
たのと同様の薄いゴム板等の密閉用弾性部材３５（３５
ａ、３５ｂ）を被せてそれぞれ閉鎖する。すると、突起
物に対する密閉用弾性部材３５の弾性力による屈曲作用
を利用でき、各長手弾性部材２４に幅広の突起物逃げ凹
所３１を設けても、密閉作用の低下を補償して集塵効果
を高めることができる。その際、各密閉用弾性部材３５
をねじ３３を２本ずつ用いて取り付けるが、取り付け用
の細長い板状の弾性部材３６（３６ａ、３６ｂ）をそれ
ぞれ介在する。
【００１６】このような密閉用弾性部材２４、２５を吸
込口部に取り付けたクリ−ナを用いると、図４に示すよ
うに各密閉用弾性部材２４（２５）の肉厚が厚く、その
先端面２７（２８）が幅広で剛性が大きいため、それ等
の密閉用のブロック状弾性部材２４（２５）が空気の流
れにより変形して局部的にめくれたりすることがない。
それ故、密閉作用が優れたものになって、クリ−ナのブ
ラシ収納ケース内の真空度が上がり、集塵効果を高める
ことができる。なお、３７がブラシ収納ケース、３８が
回転ブラシである。
込口部に取り付けたクリ−ナを用いると、図４に示すよ
うに各密閉用弾性部材２４（２５）の肉厚が厚く、その
先端面２７（２８）が幅広で剛性が大きいため、それ等
の密閉用のブロック状弾性部材２４（２５）が空気の流
れにより変形して局部的にめくれたりすることがない。
それ故、密閉作用が優れたものになって、クリ−ナのブ
ラシ収納ケース内の真空度が上がり、集塵効果を高める
ことができる。なお、３７がブラシ収納ケース、３８が
回転ブラシである。
【００１７】又、各密閉用弾性部材２４（２５）の吸込
口２６に臨む内側縁部２９（３０）をコーナ取りして弧
状に形成しておくと、それ等の弧面に沿って空気が矢印
で示すように流れ、型面に平行なキャビティ内面から空
気を斜め方向に吸い込むようになる。それ故、乱気流を
起すことなく、吸い込みが良くなって集塵効果を高める
ことができる。なお、このような密閉用のブロック状弾
性部材３９は図５に示すようにその内側縁部４０と対応
する外側縁部４１もコーナ取りして弧状に形成してもよ
い。何故なら、両弧面に沿って空気が矢印で示すように
流れ、型面に平行なキャビティ内面から斜め方向に空気
を一層良好に吸い込むことができるようになるからであ
る。
口２６に臨む内側縁部２９（３０）をコーナ取りして弧
状に形成しておくと、それ等の弧面に沿って空気が矢印
で示すように流れ、型面に平行なキャビティ内面から空
気を斜め方向に吸い込むようになる。それ故、乱気流を
起すことなく、吸い込みが良くなって集塵効果を高める
ことができる。なお、このような密閉用のブロック状弾
性部材３９は図５に示すようにその内側縁部４０と対応
する外側縁部４１もコーナ取りして弧状に形成してもよ
い。何故なら、両弧面に沿って空気が矢印で示すように
流れ、型面に平行なキャビティ内面から斜め方向に空気
を一層良好に吸い込むことができるようになるからであ
る。
【００１８】上記実施の形態ではクリ−ナの移動方向と
直角に配置する各密閉用長手弾性部材２４に型面から突
出するピン等の突起物を避けるため、各先端面２７、２
８の対応位置に突起物逃げ凹所３１、３２をそれぞれ設
け、その各中央部にある幅広の突起物逃げ凹所３１のみ
を密閉用の板状弾性部材３５を用いて閉鎖したが、図６
に示すように各密閉用長手弾性部材４２（４２ａ、４２
ｂ）の先端面４３（４３ａ、４３ｂ）に設ける全ての突
起物逃げ凹所４４（４４ａ、……４４ｆ）を幅広にし、
その各突起物逃げ凹所４４を密閉用のローラ４５（４５
ａ、……４５ｆ）で閉じることもできる。なお、４６が
吸込口、４７（４７ａ、４７ｂ）が密閉用短手弾性部
材、４８（４８ａ、４８ｂ）がその各弾性部材４７の先
端面、４９（４９ａ、……４９ｆ）が密閉用ロ−ラ４５
の回転軸である。
直角に配置する各密閉用長手弾性部材２４に型面から突
出するピン等の突起物を避けるため、各先端面２７、２
８の対応位置に突起物逃げ凹所３１、３２をそれぞれ設
け、その各中央部にある幅広の突起物逃げ凹所３１のみ
を密閉用の板状弾性部材３５を用いて閉鎖したが、図６
に示すように各密閉用長手弾性部材４２（４２ａ、４２
ｂ）の先端面４３（４３ａ、４３ｂ）に設ける全ての突
起物逃げ凹所４４（４４ａ、……４４ｆ）を幅広にし、
その各突起物逃げ凹所４４を密閉用のローラ４５（４５
ａ、……４５ｆ）で閉じることもできる。なお、４６が
吸込口、４７（４７ａ、４７ｂ）が密閉用短手弾性部
材、４８（４８ａ、４８ｂ）がその各弾性部材４７の先
端面、４９（４９ａ、……４９ｆ）が密閉用ロ−ラ４５
の回転軸である。
【００１９】そして、各密閉用ロ−ラ４５の回転軸４９
を図７に示すようにブラシ収納ケース５０の吸込口部内
に設置したスプリング５１から付勢力が働くように支持
する。すると、各突起物逃げ凹所４４の内部を密閉用ロ
−ラ４５で常閉でき、クリ−ナの移動中に各密閉用ロ−
ラ４５が突起物５２に当ると、その時のみ突起物５２の
当接によってスプリング５１の付勢力に抗して密閉用ロ
ーラ４５を移動して突起物逃げ凹所４４を開放できる。
このようにして、密閉用ローラ４５を用いると、幅広の
突起物逃げ凹所４４を設けても、密閉作用、吸い込み作
用の低下を補償して集塵効果を高めることができる。な
お、このようなスプリング付き密閉用ローラは図８に示
すようにブラシ収納ケース５３の吸込口部の外側に設置
し、突起物逃げ凹所５４を外側から開閉してもよい。当
然、外側に設置した方がスプリング５５、密閉用ローラ
５６、両者を関係付ける支持体５７等の構造、大きさ等
を自由に選択できて好都合となる。
を図７に示すようにブラシ収納ケース５０の吸込口部内
に設置したスプリング５１から付勢力が働くように支持
する。すると、各突起物逃げ凹所４４の内部を密閉用ロ
−ラ４５で常閉でき、クリ−ナの移動中に各密閉用ロ−
ラ４５が突起物５２に当ると、その時のみ突起物５２の
当接によってスプリング５１の付勢力に抗して密閉用ロ
ーラ４５を移動して突起物逃げ凹所４４を開放できる。
このようにして、密閉用ローラ４５を用いると、幅広の
突起物逃げ凹所４４を設けても、密閉作用、吸い込み作
用の低下を補償して集塵効果を高めることができる。な
お、このようなスプリング付き密閉用ローラは図８に示
すようにブラシ収納ケース５３の吸込口部の外側に設置
し、突起物逃げ凹所５４を外側から開閉してもよい。当
然、外側に設置した方がスプリング５５、密閉用ローラ
５６、両者を関係付ける支持体５７等の構造、大きさ等
を自由に選択できて好都合となる。
【００２０】なお、上記実施の形態では密閉用短手弾性
部材２５も肉厚を厚くブロック状にし、その先端面２８
を幅広にしたが、従来通りの薄いゴム板等の密閉用の板
状弾性部材を使用してもよい。又、上記実施の形態では
密閉用長手弾性部材２４の先端面２７に突起物逃げ凹所
３１、３２を設けたが、その部分の部材を除いた突起物
逃げ切断部にしてもよい。
部材２５も肉厚を厚くブロック状にし、その先端面２８
を幅広にしたが、従来通りの薄いゴム板等の密閉用の板
状弾性部材を使用してもよい。又、上記実施の形態では
密閉用長手弾性部材２４の先端面２７に突起物逃げ凹所
３１、３２を設けたが、その部分の部材を除いた突起物
逃げ切断部にしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項１
記載の発明では密閉用弾性部材の少なくともクリ−ナの
移動方向とほぼ直角に配置した部分をその肉厚を厚くブ
ロック状にしその先端面を幅広にすることにより、剛性
を大きくして、空気の流れによって生じる変形をなくす
ことができる。それ故、密閉作用が優れたものになって
真空度が上がる。又、先端面付近の少なくとも吸込口に
臨む内側縁部をコーナ取りして弧状に形成することによ
り、その弧面に沿って空気が流れるので、乱気流を起す
ことなく吸い込み性能が良くなる。従って、集塵効果を
高めることができる。又、密閉用弾性部材の少なくとも
クリ−ナの移動方向とほぼ直角に配置した部分をその肉
厚を厚くブロック状にしその先端面を幅広にすることに
より、剛性を大きくしたため、密閉用弾性部材が取り付
け易くなり、交換も容易に行なえる。
記載の発明では密閉用弾性部材の少なくともクリ−ナの
移動方向とほぼ直角に配置した部分をその肉厚を厚くブ
ロック状にしその先端面を幅広にすることにより、剛性
を大きくして、空気の流れによって生じる変形をなくす
ことができる。それ故、密閉作用が優れたものになって
真空度が上がる。又、先端面付近の少なくとも吸込口に
臨む内側縁部をコーナ取りして弧状に形成することによ
り、その弧面に沿って空気が流れるので、乱気流を起す
ことなく吸い込み性能が良くなる。従って、集塵効果を
高めることができる。又、密閉用弾性部材の少なくとも
クリ−ナの移動方向とほぼ直角に配置した部分をその肉
厚を厚くブロック状にしその先端面を幅広にすることに
より、剛性を大きくしたため、密閉用弾性部材が取り付
け易くなり、交換も容易に行なえる。
【００２２】又、請求項２記載の発明では密閉用弾性部
材の直角配置部分に型面から突出する突起物を避ける突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けても、その突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状弾性
部材で閉じ、その弾性部材を突起物の当接によって突起
物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるよう
に支持することにより、突起物逃げ凹所又は突起物逃げ
切断部を設けたことによる密閉作用の低下を補償して、
集塵効果を高めることができる。
材の直角配置部分に型面から突出する突起物を避ける突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けても、その突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状弾性
部材で閉じ、その弾性部材を突起物の当接によって突起
物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるよう
に支持することにより、突起物逃げ凹所又は突起物逃げ
切断部を設けたことによる密閉作用の低下を補償して、
集塵効果を高めることができる。
【００２３】又、請求項３記載の発明では密閉用弾性部
材の直角配置部分に型面から突出する突起物を避ける突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けても、その突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラで閉
じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起物逃
げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように支
持することにより、突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断
部を設けたことによる密閉作用、吸い込み作用の低下を
補償して、集塵効果を高めることができる。
材の直角配置部分に型面から突出する突起物を避ける突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けても、その突
起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラで閉
じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起物逃
げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように支
持することにより、突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断
部を設けたことによる密閉作用、吸い込み作用の低下を
補償して、集塵効果を高めることができる。
【図１】本発明を適用した樹脂成形用モールド金型装置
に備え付けた集塵装置のモールド金型を清掃する上型、
下型クリ−ナの一方、例えば下型クリ−ナの吸込口部付
近を示す底面図である。
に備え付けた集塵装置のモールド金型を清掃する上型、
下型クリ−ナの一方、例えば下型クリ−ナの吸込口部付
近を示す底面図である。
【図２】同下型クリ−ナの吸込口部付近の左側面図であ
る。
る。
【図３】同下型クリ−ナの吸込口部付近を示す図１のＸ
−Ｘ線断面図である。
−Ｘ線断面図である。
【図４】同下型クリ−ナの要部を示す正面図である。
【図５】同下型クリ−ナの吸込口部に取り付ける密閉用
ブロック状弾性部材の変形例を示す縦断面図である。
ブロック状弾性部材の変形例を示す縦断面図である。
【図６】同下型クリ−ナの吸込口部付近の変形例を示す
底面図である。
底面図である。
【図７】同下型クリ−ナの要部を示す図６に対応する縦
断面図である。
断面図である。
【図８】同下型クリ−ナの吸込口部付近の他の変形例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図９】従来の樹脂成形用モールド金型装置に備え付け
た集塵装置のモールド金型を清掃する上型、下型クリ−
ナの正面図である。
た集塵装置のモールド金型を清掃する上型、下型クリ−
ナの正面図である。
【図１０】同下型クリ−ナの要部を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１１】同上型、下型クリ−ナのクリーニング時にお
ける吸い込み動作を示す概略縦断面図である。
ける吸い込み動作を示す概略縦断面図である。
【図１２】同下型クリ−ナの吸込口部に取り付ける密閉
用板状弾性部材の吸い込みによる変形を示す縦断面図で
ある。
用板状弾性部材の吸い込みによる変形を示す縦断面図で
ある。
２４、２５、３９、４２、４７…密閉用ブロック状弾性
部材 ２６、４６…吸込口 ２７、２８、４３、４８…
先端面 ２９、３０、４０…内側縁部 ３１、３２、４
４、５４…突起物逃げ凹所 ３３…ねじ ３４…取付金
具 ３５…密閉用板状弾性部材 ３７、５０、５３…ブ
ラシ収納ケース ３８…回転ブラシ ４１…外側縁部
４５、５６…密閉用ローラ ４９…回転軸 ５１、５５
…スプリング ５２…突起物
部材 ２６、４６…吸込口 ２７、２８、４３、４８…
先端面 ２９、３０、４０…内側縁部 ３１、３２、４
４、５４…突起物逃げ凹所 ３３…ねじ ３４…取付金
具 ３５…密閉用板状弾性部材 ３７、５０、５３…ブ
ラシ収納ケース ３８…回転ブラシ ４１…外側縁部
４５、５６…密閉用ローラ ４９…回転軸 ５１、５５
…スプリング ５２…突起物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｂ２９Ｌ 31:34
Claims (3)
- 【請求項１】 樹脂封止して成形するモールド金型を備
えた装置に集塵装置を備え付け、その集塵装置の集塵機
とモールド金型の上型又は下型を清掃するクリ−ナとを
ダクトを介して接続し、そのクリ−ナの吸込口部に密閉
用弾性部材を吸込口の周囲をリング状に取り巻くように
配置し、その密閉用弾性部材の先端面を集塵時に上型下
面又は下型上面の直近まで達するように突出させて取り
付けてなる樹脂成形用モールド金型装置において、上記
密閉用弾性部材の少なくともクリ−ナの移動方向とほぼ
直角に配置した部分をその肉厚を厚くブロック状にし、
その先端面を幅広にして、その直角配置部分の先端面付
近の少なくとも吸込口に臨む内側縁部をコーナ取りして
弧状に形成し、更にその直角配置部分に上型下面又は下
型上面に設置した突起物を避ける突起物逃げ凹所又は突
起物逃げ切断部を設けることを特徴とする樹脂成形用モ
ールド金型装置。 - 【請求項２】 密閉用弾性部材の直角配置部分に設けた
突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状弾
性部材で閉じ、その密閉用板状弾性部材を突起物の当接
によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可
能となるように支持することを特徴とする請求項１記載
の樹脂成形用モールド金型装置。 - 【請求項３】 密閉用弾性部材の直角配置部分に設けた
突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラで
閉じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起物
逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように
軸支することを特徴とする請求項１記載の樹脂成形用モ
ールド金型装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11601498A JP3834782B2 (ja) | 1998-04-11 | 1998-04-11 | 樹脂成形用モールド金型装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11601498A JP3834782B2 (ja) | 1998-04-11 | 1998-04-11 | 樹脂成形用モールド金型装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11291295A true JPH11291295A (ja) | 1999-10-26 |
| JP3834782B2 JP3834782B2 (ja) | 2006-10-18 |
Family
ID=14676684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11601498A Expired - Fee Related JP3834782B2 (ja) | 1998-04-11 | 1998-04-11 | 樹脂成形用モールド金型装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3834782B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1275484A2 (en) * | 2001-07-09 | 2003-01-15 | ASM Technology Singapore Pte Ltd. | Mold cleaning apparatus |
| JP2011082381A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1998
- 1998-04-11 JP JP11601498A patent/JP3834782B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1275484A2 (en) * | 2001-07-09 | 2003-01-15 | ASM Technology Singapore Pte Ltd. | Mold cleaning apparatus |
| EP1275484A3 (en) * | 2001-07-09 | 2003-08-27 | ASM Technology Singapore Pte Ltd. | Mold cleaning apparatus |
| US6736627B2 (en) | 2001-07-09 | 2004-05-18 | Asm Technology Singapore Pte. Ltd. | Mold cleaning apparatus |
| JP2011082381A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3834782B2 (ja) | 2006-10-18 |
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