JPH10144712A - オートモールド装置の集塵機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オートモールド装置の集塵機構において、集
塵口からのエアの流入を安定させ、所望の吸塵性能を実
現することを課題する。 【解決手段】 金型１表面に当接して揺動するブラシ３
と、該ブラシ３の進行方向後側に配置されて空気ととも
に樹脂かすを吸い込む集塵ダクト７と、該集塵ダクト７
の開口部の周囲を取り囲む可撓性を有するスカート９か
らなり、該スカート９をオートモールド装置の金型１表
面に当接させた状態で集塵ダクト７を移動させ、その金
型１表面に付着した樹脂かすを吸入するオートモールド
装置の集塵機構において、スカート９の進行方向前面側
の端部と金型１との間に隙間を形成し、そのスカート９
の他の部分は金型１と密着するように形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置製造過
程であるモールド工程等で用いられ、特に、オートモー
ルド装置の樹脂かすを集塵するオートモールド装置の集
塵機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、オートモールド装置には集塵機構
としてクリーナを設け、モールド形成終了後、その金型
に付着している樹脂かすを除去することとしていた。図
４はクリーナ概略構造を示す説明図である。この図にお
いて、１ａは上金型であり、１ｂは下金型を示している
（なお、両者を区別する必要のない場合は、単に金型１
として記す。）。これら上金型１ａと下金型１ｂによ
り、モールド形成を実行する。

【０００３】２は集塵機構としてのクリーナであり、ブ
ラシ３および集塵口４を有する。ブラシ３は上金型１ａ
と下金型１ｂのそれぞれに対応させて設けてある。集塵
口４も、上金型１ａと下金型１ｂのそれぞれに対応させ
て設け、図示しない集塵機に接続している。この集塵口
４の形状は、図４の奥行き方向に長くなっており、クリ
ーナ２を図の右方向へ移動させることで金型１表面の広
範囲にわたって集塵可能である。

【０００４】モールド形成が終了した後、下金型１ｂは
下降し、クリーナ２に内蔵された図示しない搬送機構に
より、製品を取り出す。その後クリーナ２により、上金
型１ａおよび下金型１ｂ表面の樹脂かすを集塵する。ま
ず、ブラシ３が揺動しながら、金型１に付着した樹脂か
すをこすりった後、集塵口４から樹脂かすを吸い込む。
この集塵口４は、図示しない集塵機に接続しており、該
集塵機で負圧を発生させることにより、その集塵口４か
ら樹脂かすを空気とともに吸い込んで除去する。

【０００５】図５は従来例の集塵口周りを示す説明図で
ある。この図において、５は可撓製を有するスカートで
あり、例えばゴム等によりなる。該スカート５は、スカ
ート止めねじ６で集塵ダクト７の周囲を取り囲むように
設置してあり、該集塵ダクト７は図示しない集塵機に接
続している。なお、図において８として示すのはパッケ
ージキャビティ部である。

【０００６】上記構成の集塵口は図の右方向へ進み、吸
塵を行う。図５の（ａ）は、スカート５を金型に密着さ
せて用いる場合を示しており、（ｂ）は、スカート５と
金型１との間にわずかに隙間をあけて用いる場合を示し
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の従来例によると、まず、スカートを金型に密着させ
た場合では、限られた面積を密閉してしまうため、真空
圧は上昇するが、エアの流れが無くなってしまい、樹脂
かすを運べなくなってしまう。また、スカートと金型に
隙間を設けた場合では、この隙間を大きくとりすぎる
と、金型表面に対する集塵性能が低下してしまい、その
隙間を小さくしたとしても、両側の隙間からエアが流入
して乱流が発生しやすくなり、所望の集塵性能を得るこ
とができない。このような集塵性能の低下を補うため
に、集塵機の容量を増大させると、スカート同士がくっ
ついてしまい、逆効果になるという問題がある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、金型表面に当
接して揺動するブラシと、このブラシの進行方向後側に
配置されて空気とともに樹脂かすを吸い込む集塵ダクト
と、この集塵ダクトの開口部の周囲を取り囲む可撓性を
有するスカートからなり、このスカートをオートモール
ド装置の金型表面に当接させた状態で集塵ダクトを移動
させ、その金型表面に付着した樹脂かすを吸入するオー
トモールド装置の集塵機構において、スカートの進行方
向前面側の端部と金型との間に隙間を形成し、そのスカ
ートの他の部分は金型に密着するように形成したことを
特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て図を用いて説明する。 〔第１の実施の形態〕図１は第１の実施の形態の説明図
であり、例えば図４に示すようなオートモールド装置の
クリーナ部分に付属した集塵口の部分を拡大して示した
断面図となっている。

【００１０】１は金型を示し、８はそのパッケージキャ
ビティ部である。この金型表面に対し、本実施の形態の
集塵口がクリーナとともに図の右方向へ移動して集塵を
行うことになる。集塵口の形状は、図の奥行き方向に長
くなっており、クリーナを図の右方向へ移動させること
で金型１表面の広範囲にわたって集塵可能である。９は
本実施の形態のスカートであり、例えばゴム製等により
なり、スカート止めねじ６で集塵ダクト７の周囲を取り
囲むように取り付けてある。例えば集塵ダクト７先端の
開口部である集塵口が、図の奥行き方向に長い長方形様
の形状である場合、スカート９はその四周を取り囲むこ
ととなる。なお、集塵ダクト７は図示しない集塵機に接
続している。

【００１１】前記スカート９は、図に示すように、図の
左側の部分を金型表面に密着させた場合に、図の右側す
なわちクリーナ進行方向前面側の部分と金型１との間に
隙間ができるようにしてある。この隙間は、例えば１〜
２ｍｍ程度とする。このような構成により、集塵機を作
動させて負圧をかけ、集塵口を図の右方向に移動させて
行く。スカート９の図の左側部分は金型１に密着してい
るが、スカート９の図の右側部分は金型１からわずかに
離れているため、集塵口が密閉されることなく、エア流
路を確保することができ、かつ、エアの流入方向が一定
となることによって乱流の発生がなくなり、安定したエ
アの流れが保たれ、良好な集塵性能を得ることができ
る。

【００１２】〔第２の実施の形態〕本実施の形態は、第
１の実施の形態の構成において、エアブロー手段を設け
たことを特徴としている。図２は第２の実施の形態の説
明図であり、例えば図４に示すようなオートモールド装
置のクリーナ部分に付属した集塵口の部分を拡大して示
した断面図となっている。

【００１３】この図において、１０はエアブロー手段で
あり、集塵口の図の右側すなわち進行方向前面側に配設
され、金型１表面にエアを吹きつける。このような構成
により、集塵機を作動させるとともにエアブロー手段１
０を作動させ、集塵口を図の右方向に移動させて行く。
この図２には示されていないが、図４に示すようなブラ
シを同時に作動させており、このブラシの揺動によって
樹脂かすは金型表面からはがされて集塵口に吸い込まれ
るが、はがれた後に金型１に再付着した樹脂かすは、エ
アブロー手段１０によって浮遊し、集塵口に吸い込まれ
る。

【００１４】なお、この集塵口の先端には、第１の実施
の形態と同様に、スカート９を設けてあり、該スカート
９の右側部分は金型１との間に隙間をとるように形成し
てあるため、エアブロー手段１０により浮遊させた樹脂
かすを効率よく吸入することができる。 〔第３の実施の形態〕本実施の形態は、第２の実施の形
態の構成において、エアブロー手段のエアブロー方向を
調整したことを特徴としている。

【００１５】図３は第３の実施の形態の説明図であり、
例えば図４に示すようなオートモールド装置のクリーナ
部分に付属した集塵口の部分を拡大して示した断面図と
なっている。この図において、１１は本実施の形態のエ
アブロー手段であり、集塵口の図の右側すなわち進行方
向前面側に配設され、スカート９と金型１との隙間の部
分に向けてエアブローを吹きつけるように設定してあ
る。

【００１６】このような構成により、集塵機を作動させ
るとともにエアブロー手段１１を作動させ、集塵口を図
の右方向に移動させて行く。なお、この集塵口の先端に
は、第１の実施の形態および第２の実施の形態と同様
に、スカート９を設けてあり、該スカート９の右側部分
は金型１との間に隙間をとるように形成してある。この
ため、エアブローによりスカート９と金型１との隙間へ
向けて飛ばされた樹脂かすを、効率よく吸い込むことが
できる。

【００１７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、集塵機構の
スカートの進行方向側の端部が金型との間に隙間をとる
ようにし、他の部分は金型に密着するようにしたので、
必要な真空圧を確保するとともに前記の隙間からエアを
安定して流入させることができ、所望の吸塵性能を実現
することが可能となる効果を有する。

【００１８】また、エアブロー手段を設けたことによ
り、樹脂かすを浮遊させて吸入することができ、吸塵性
能が向上する効果を有する。さらに、エアブロー手段の
エアブロー方向を、スカートと金型の隙間方向に設定し
たことにより、樹脂かすはその隙間方向に飛ばされて吸
塵されることとなり、より吸塵性能が向上する効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態の説明図

【図２】第２の実施の形態の説明図

【図３】第３の実施の形態の説明図

【図４】クリーナ概略構造を示す説明図

【図５】従来例の集塵口周りを示す説明図

【符号の説明】

１ 金型 ３ ブラシ ７ 集塵ダクト ９ スカート １０ エアブロー手段 １１ エアブロー手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金型表面に当接して揺動するブラシと、
   該ブラシの進行方向後側に配置されて空気とともに樹脂
   かすを吸い込む集塵ダクトと、該集塵ダクトの開口部の
   周囲を取り囲む可撓性を有するスカートからなり、該ス
   カートをオートモールド装置の金型表面に当接させた状
   態で集塵ダクトを移動させ、その金型表面に付着した樹
   脂かすを吸入するオートモールド装置の集塵機構におい
   て、 スカートの進行方向前面側の端部と金型との間に隙間を
   形成し、そのスカートの他の部分は金型に密着するよう
   に形成したことを特徴とするオートモールド装置の集塵
   機構。
2. 【請求項２】 請求項１において、集塵ダクトの開口近
   傍の進行方向前面側に、空気を吹きつけるエアブロー手
   段を設けたことを特徴とするオートモールド装置の集塵
   機構。
3. 【請求項３】 請求項２において、エアブロー手段のエ
   アブロー方向を、スカートと金型の隙間方向に設定した
   ことを特徴とするオートモールド装置の集塵機構。