JPH11288902A - ウェーハ剥離洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウェーハを効率的に処理することができるウェ
ーハ剥離洗浄装置の提供。 【解決手段】バッチ状態のウェーハＷをウェーハ剥離枚
葉部１００において一枚ずつスライスベースから剥離し
て枚葉化したのち、そのスライスベースから剥離したウ
ェーハＷをシャトルコンベア３１２によって一枚ずつ枚
葉洗浄部３５０に搬送して枚葉洗浄する。洗浄後、検出
部４００においてウェーハＷの厚さ、割れ、欠け及び接
着剤残りを検出し、その検出結果に基づいて正常なウェ
ーハＷはウェーハ回収部５０２Ａ、５０２Ｂに、不良ウ
ェーハＷ_X は不良ウェーハ回収部５０４に、接着剤残り
ウェーハＷ_Y は接着剤残りウェーハ回収部５０６にそれ
ぞれ分別して回収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ剥離洗浄装
置に係り、特にワイヤソーで多数枚同時切断されたバッ
チ状のウェーハをスライスベースから剥離して枚葉化
し、洗浄するウェーハ剥離洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーでインゴットを切断すると、
ウェーハは全てスライスベースに接着された状態で切り
出される。このため、ウェーハはスライスベースから剥
離して枚葉化する必要がある。また、ワイヤソーで切断
された直後のウェーハには、加工液等が付着しているた
め、洗浄して加工液を除去する必要がある。

【０００３】従来、このウェーハの剥離作業と洗浄作業
は、一台のウェーハ剥離洗浄装置で行っていた。このウ
ェーハ剥離洗浄装置は、粗洗浄部、ウェーハ剥離枚葉
部、洗浄部及び回収部で構成されており、切断直後のウ
ェーハは、まず、粗洗浄部に搬送されて粗洗浄される。
そして、粗洗浄されたバッチ状態のウェーハは、ウェー
ハ剥離枚葉部に搬送されて、そこで一枚ずつスライスベ
ースから剥離されて枚葉化される。スライスベースから
剥離されたウェーハは、そのまま枚葉洗浄部に搬送され
て枚葉洗浄され、その後、回収部において一枚ずつ回収
されてカセットに収納される。

【０００４】ところで、ワイヤソーで切断されたウェー
ハは、その全てが均一な厚さで切断されているとは限ら
ず、中には規定値以上の厚さで切断されたものが含まれ
ている場合もある。また、切断過程で割れや欠けが発生
したウェーハが含まれている場合もある。このような厚
さ不良や割れ、欠けが発生した、いわゆる不良ウェーハ
は、次の処理工程に流すことはできないので、次の処理
工程に流す前の段階であらかじめ取り除いておく必要が
ある。そして、従来、このような不良ウェーハの検出、
除去は、ウェーハ剥離洗浄装置で剥離、洗浄したのち、
別途の装置に搬送して行っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ウェーハの製
造工程全体の流れを考慮した場合、ウェーハ剥離洗浄装
置で剥離したのち、別途の装置に搬送して不良ウェーハ
の検出、除去を行うとすると、きわめて処理効率が悪い
という欠点がある。本発明は、このような事情に鑑みて
なされたもので、ウェーハを効率的に処理することがで
きるウェーハ剥離洗浄装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】請求項１に係る発明は前記
目的を達成するために、切断機で多数枚同時に切断され
たバッチ状態のウェーハをウェーハ剥離枚葉部において
一枚ずつスライスベースから剥離して枚葉化したのち、
そのスライスベースから剥離したウェーハを一枚ずつ枚
葉洗浄部に搬送して枚葉洗浄し、洗浄後、回収部で一枚
ずつカセットに回収するウェーハ剥離洗浄装置におい
て、前記枚葉洗浄部で洗浄されたウェーハの厚さ、割
れ、欠け及び接着剤残りを検出する検出部を設け、該検
出部で厚さ、割れ、欠け及び接着剤残りを検出したのち
回収部で一枚ずつカセットに回収することを特徴とす
る。

【０００７】本発明によれば、ウェーハ剥離洗浄装置自
体に、ウェーハの厚さ、欠け及び接着剤残りを検出する
検出部が設けられている。この結果、ウェーハ剥離洗浄
装置でウェーハの剥離、洗浄をした後に、別途ウェーハ
を不良ウェーハの検出装置に搬送して検出する必要がな
くなり、ウェーハの処理効率が向上する。また、請求項
２に係る発明は前記目的を達成するために、直列して配
置された複数のインゴットを切断機で多数枚同時に切断
して得られたバッチ状態のウェーハをウェーハ剥離枚葉
部において各ロット毎に一枚ずつスライスベースから剥
離して枚葉化したのち、そのスライスベースから剥離し
たウェーハを一枚ずつ枚葉洗浄部に搬送して枚葉洗浄
し、洗浄後、回収部で一枚ずつ各ロット毎にカセットを
分けて回収するウェーハ剥離洗浄装置において、前記枚
葉洗浄部で洗浄されたウェーハの厚さ、割れ、欠け及び
接着剤残りを検出する検出部を設け、該検出部で厚さ、
割れ、欠け及び接着剤残りを検出したのち回収部で一枚
ずつ各ロット毎にカセットを分けて回収することを特徴
とする。

【０００８】本発明によれば、ウェーハ剥離洗浄装置自
体に、ウェーハの厚さ、欠け及び接着剤残りを検出する
検出部が設けられている。そして、この検出部で厚さ、
割れ、欠け及び接着剤残りを検出したのち、ウェーハは
各ロット毎にカセットを分けて回収部で回収する。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハ剥離洗浄装置の好ましい実施の形態について
詳説する。図１は、本発明に係るウェーハ剥離洗浄装置
１の実施の形態の構成を示す平面図である。

【００１０】同図に示すように、本実施の形態のウェー
ハ剥離洗浄装置１は、粗洗浄部１０、ウェーハ剥離枚葉
部１００、搬送部３１０、枚葉洗浄部３５０、検出部４
００及び回収部５００を主要部として構成されている。
以下、各構成部に分けて説明する。まず、粗洗浄部１０
について説明する。粗洗浄部１０は、ワイヤソーで切断
された直後のバッチ状態のウェーハＷ（スライスベース
Ｓに接着された状態のウェーハＷ）をシャワー洗浄して
切断時に付着したスラリを除去する。この粗洗浄部１０
は、ウェーハＷの洗浄を行う粗洗浄装置１２を備えてい
る。

【００１１】図２〜図５に示すように、粗洗浄装置１２
は、上部が開口された洗浄槽１４を有している。この洗
浄槽１４の上部には、矩形状に形成された枠体１６が固
着されている。枠体１６の内側には、一対の洗浄液供給
パイプ１８Ａ、１８Ｂが配設されており、該洗浄液供給
パイプ１８Ａ、１８Ｂは、前記枠体１６に図示しないブ
ッシュを介して回動自在かつスライド自在に支持されて
いる。

【００１２】前記一対の洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８
Ｂには、それぞれ６つのノズル２０Ａ、２０Ｂが一定ピ
ッチで配設されており、また、その一方端には、ジョイ
ント２２Ａ、２２Ｂを介して可撓性のチューブ２４Ａ、
２４Ｂが連結されている。このチューブ２４Ａ、２４Ｂ
は、図示しない洗浄液供給装置に連結されており、この
洗浄液供給装置から供給された洗浄液が、チューブ２４
Ａ、２４Ｂを介して前記洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８
Ｂに供給される。そして、この洗浄液供給パイプ１８
Ａ、１８Ｂに供給された洗浄液が各ノズル２０Ａ、２０
Ｂから噴射されてウェーハＷに当たり、該ウェーハＷが
シャワー洗浄される。

【００１３】ところで、前述したように、前記洗浄液供
給パイプ１８Ａ、１８Ｂは、前記枠体１６に対して回動
自在かつスライド自在に支持されている。したがって、
この洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂをスライドさせれ
ば、前記ノズル２０Ａ、２０Ｂも同時にスライド移動
し、回動させれば、ノズル２０Ａ、２０Ｂも同時に回動
（揺動）する。

【００１４】この洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂのス
ライド及び回動は、前記洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８
Ｂの一方端に設けれた駆動ユニット２６Ａ、２６Ｂによ
り行われ、該駆動ユニット２６Ａ、２６Ｂは、次のよう
に構成されている。なお、駆動ユニット２６Ａと２６Ｂ
は、同一構成であるため、駆動ユニット２６Ａの構成に
ついてのみ説明する。

【００１５】図７は、駆動ユニット２６Ａの構成を示す
要部断面図である。同図に示すように、前記枠体１６の
側面には、円筒状に形成された支持部材２８Ａが固着さ
れている。この支持部材２８Ａの内周には、前記洗浄液
供給パイプ１８Ａが挿通されており、外周には前記駆動
ユニット２６Ａの本体フレーム３０Ａ及び駆動ギア３２
Ａが回動自在に支持されている。

【００１６】前記本体フレーム３０Ａには、前記洗浄液
供給パイプ１８Ａと平行してボールネジ３４Ａが回動自
在に支持されている。このボールネジ３４Ａには、ナッ
ト部材３６Ａが螺合されており、該ナット部材３６Ａ
は、前記洗浄液供給パイプ１８Ａに連結されている。ま
た、前記ボールネジ３４Ａの一方端には、従動ギア３８
Ａが固着されており、該従動ギア３８Ａは、前記支持部
材２８Ａに回動自在に支持された駆動ギア３２Ａに噛合
されている。

【００１７】以上の構成により、前記駆動ギア３２Ａを
回転させると、その回転が従動ギア３８Ａに伝達され、
該従動ギア３８Ａに固着されたボールネジ３４Ａが回転
する。そして、このボールネジ３４Ａが回転することに
より、該ボールネジ３４Ａに螺合されたナット部材３６
Ａがボールネジ３４Ａに沿って移動し、この結果、洗浄
液供給パイプ１８Ａがスライド移動する。

【００１８】なお、駆動ギア３２Ａは、図２に示すよう
に、前記洗浄槽１４の側面に設けられたモータ４０の回
転をタイミングベルト４２で伝達して駆動する。このた
め、前記駆動ギア３２Ａには、図７に示すように、前記
タイミングベルト４２を巻きかけるためのプーリ４４Ａ
が一体的に固着されている。また、駆動ギア３２Ａを駆
動するモータ４０には正逆回転可能なモータが用いら
れ、このモータ４０を正転、逆転させることにより、洗
浄液供給パイプ１８Ａが往復移動する。

【００１９】以上の機構が、前記洗浄液供給パイプ１８
Ａをスライド移動させる機構であり、次に、洗浄液供給
パイプ１８Ａを揺動させる機構について説明する。図２
に示すように、前記洗浄槽１４の側面には、一対の油圧
シリンダ４６Ａ、４６Ｂが、それぞれブラケット４８
Ａ、４８Ｂを介して揺動自在に支持されている。この一
対の油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂのロッド先端部は、前
記揺動ユニット２６Ａ、２６Ｂの本体フレーム３０Ａ、
３０Ｂにピンによって連結されている。したがって、こ
の一対の油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂを駆動し、そのロ
ッドを伸縮させることにより、前記本体フレーム３０
Ａ、３０Ｂは、前記支持部材２８Ａ、２８Ｂを中心に回
動する。

【００２０】ここで、前記洗浄液供給パイプ１８Ａ、１
８Ｂは、前記本体フレーム３０Ａ、３０Ｂに、ナット部
材３６Ａ、３６Ｂを介して連結されているので、前記本
体フレーム３０Ａ、３０Ｂが回動することにより、連動
して回動する。このように、前記洗浄液供給パイプ１８
Ａ、１８Ｂは、前記モータ４０を駆動することにより、
軸線に沿って往復動し、油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂを
駆動することにより回動する。そして、前記ノズル２０
Ａ、２０Ｂは、この洗浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂに
設けられているので、この洗浄液供給パイプ１８Ａ、１
８Ｂを往復動させることにより往復動し、回動させるこ
とにより回動（上下方向に揺動）する。

【００２１】粗洗浄装置１２は、以上のように構成され
る。次に、この粗洗浄装置１２でウェーハＷを粗洗浄す
る場合について説明する。ワイヤソーで切断されたバッ
チ状態のウェーハＷは、図示しない搬送装置でウェーハ
剥離洗浄装置１まで搬送され、図示しないリフターに搭
載される。このリフターは、バッチ状態のウェーハＷの
マウンティングプレートＭの両端を把持して、ウェーハ
を上下左右に搬送することができるとともに、ウェーハ
の上下を反転させる機能が備えられている。

【００２２】ウェーハＷが搭載されたリフターは、ま
ず、粗洗浄装置１２の真上の位置に移動し、次いで、そ
の位置から鉛直下向きに所定量下降する。これにより、
ウェーハＷが粗洗浄装置１２の洗浄槽１４内に収納され
る。ウェーハＷが洗浄槽１４内に収容されると、次に、
ノズル２０Ａ、２０Ｂを揺動させる油圧シリンダ４６
Ａ、４６Ｂが駆動され、ノズル２０Ａ、２０Ｂが、図４
に示す二点破線の位置から実線の位置まで移動する。

【００２３】なお、前記ウェーハＷの搬入時に、前記ノ
ズル２０Ａ、２０Ｂを図４中二点破線で示す位置に退避
させておくのは、洗浄槽１４の上部から搬入されてくる
ウェーハＷが、ノズル２０Ａ、２０Ｂと接触しないよう
にするためである。前記ノズル２０Ａ、２０Ｂが、図４
に実線で示す位置まで移動すると、洗浄が開始される。
すなわち、図示しない洗浄液供給装置から洗浄液が、洗
浄液供給パイプ１８Ａ、１８Ｂに供給され、その洗浄液
供給パイプ１８Ａ、１８Ｂに供給された洗浄液が各ノズ
ル２０Ａ、２０Ｂから噴射される。洗浄槽１４内に収容
されたウェーハＷは、このノズル２０Ａ、２０Ｂから噴
射される洗浄液によってシャワー洗浄されるが、このと
き、各ノズル２０Ａ、２０Ｂは、次のように駆動され
る。すなわち、モータ４０を駆動することにより、ノズ
ル２０Ａ、２０ＢをウェーハＷの軸線に沿って往復移動
させる。これにより、洗浄槽１４内に収容されたウェー
ハＷには、ウェーハ全体に均一的に洗浄液が当たり、洗
い残しを防ぐことができる。また、ノズル２０Ａ、２０
Ｂから噴射される洗浄液は、ウェーハＷとウェーハＷと
の隙間に効果的に入り込み、その水圧で内部まで十分に
洗浄することができる。

【００２４】このノズル２０Ａ、２０Ｂによるシャワー
洗浄は、一定時間継続して行われ、所定時間経過後、洗
浄液の供給が停止されて作業は終了する。なお、この洗
浄時に噴射された洗浄液は、洗浄槽１４で底部で回収さ
れたのち、排出口５６から外部に排出される。シャワー
洗浄が終了すると、油圧シリンダ４６Ａ、４６Ｂが駆動
されて、ノズル２０Ａ、２０Ｂが、図４に実線で示す位
置から二点破線で示す位置まで移動する。

【００２５】洗浄が終了すると、図示しないリフターが
駆動されて所定距離上方に移動し、これにより、洗浄槽
１４からウェーハＷが搬出される。以上の一連の工程で
ウェーハＷの粗洗浄は終了し、洗浄槽１４から搬出され
たウェーハは、そのままリフターによって次のウェーハ
剥離枚葉部１００に搬送される。

【００２６】次に、ウェーハ剥離枚葉部１００について
説明する。ウェーハ剥離枚葉部１００は、バッチ状態の
ウェーハＷをスライスベースＳから一枚ずつ剥離して枚
葉化する。図６、図７は、それぞれウェーハ剥離枚葉部
１００の構成を示す平面図と正面図である。

【００２７】同図に示すように、前記ウェーハ剥離枚葉
部１００は、熱水槽１１２、剥離装置１１４、仕切装置
１１６及び受渡装置１１８を主要装置として構成されて
いる。まず、熱水槽１１２の構成について説明する。熱
水槽１１２は矩形の箱型に形成されており、その内部に
熱水１２０が貯留されている。スライスベースＳａ〜Ｓ
ｃから剥離するウェーハＷａ〜Ｗｃは、この熱水槽１１
２内に設けられたワーク保持部１２２にセットされる。
そして、このワーク保持部１２２にセットされることに
より、ウェーハＷａ〜Ｗｃに接着されたスライスベース
Ｓａ〜Ｓｃが熱水１２０中に浸漬される。

【００２８】次に、剥離装置１１４の構成について説明
する。剥離装置１１４は、熱水槽１１２内にセットされ
たウェーハＷａ〜ＷｃをスライスベースＳａ〜Ｓｃから
一枚ずつ剥離する装置である。図６及び図７に示すよう
に、前記熱水槽１１２の右側部近傍には、熱水槽１１２
に沿って一対の第１ガイドレール１３６、１３６が配設
されている。この第１ガイドレール１３６、１３６上に
は、リニアガイド１３８、１３８を介して第１スライド
テーブル（走行体）１４０がスライド自在に支持されて
いる。

【００２９】前記第１スライドテーブル１４０の下面に
はナット部材１４２が固着されており、該ナット部材１
４２は、前記一対の第１ガイドレール１３６、１３６の
間に配設されたネジ棒１４４に螺合されている。このネ
ジ棒１４４の両端部は、軸受部材１４６、１４６によっ
て回動自在に支持されており、また、このネジ棒１４４
の一方端には、第１ガイドレール１３６、１３６の一方
端に設置された第１送りモータ１４８が連結されてい
る。ネジ棒１４４は、この第１送りモータ１４８を駆動
することにより回動し、この結果、第１スライドテーブ
ル１４０が第１ガイドレール１３６、１３６に沿って移
動する。

【００３０】前記第１スライドテーブル１４０上には、
スライスベースＳａ〜ＳｃからウェーハＷａ〜Ｗｃを剥
離するための剥離ユニット１５０が設けられている。こ
の剥離ユニット１５０の構成は、以下のとおりである。
図８〜図１０に示すように、第１スライドテーブル１４
０上には、軸受ブロック１５２が設けられており、該軸
受ブロック１５２には、揺動フレーム１５４の基端部に
設けられた支軸１５６が揺動自在に支持されている。

【００３１】また、前記第１スライドテーブル１４０上
にはブラケット１５８を介して揺動用ロータリーアクチ
ュエータ１６０が設置されており、該揺動用ロータリー
アクチュエータ１６０の出力軸には駆動ギア１６２が固
着されている。この駆動ギア１６２には、従動ギア１６
４が噛合されており、該従動ギア１６４は回転軸１６８
の先端部に固着されている。回転軸１６８は軸受部材１
７０によって回動自在に支持されており、該軸受部材１
７０は、前記揺動用ロータリーアクチュエータ１６０に
固定された支持プレート１７２に支持されている。

【００３２】前記従動ギア１６４には、円盤状に形成さ
れた回転プレート１７４が同軸上に固着されており、該
回転プレート１７４には、コネクティングロッド１７６
の一方端がピン１７８によって連結されている。そし
て、このコネクティングロッド１７６の他方端は、前記
揺動フレーム１５４にピン１８０によって連結されてい
る。

【００３３】以上の構成により、前記揺動フレーム１５
４は揺動用ロータリーアクチュエータ１６０を駆動する
ことにより、その基端部に設けられた支軸１５６を中心
に揺動する。すなわち、前記揺動用ロータリーアクチュ
エータ１６０を駆動すると回転プレート１７２が１８０
°の範囲で往復回転し、その往復回転がコネクティング
ロッド１７６を介して揺動フレーム１５４に伝達され、
揺動フレーム１５４が揺動する。

【００３４】前記揺動フレーム１５４の上端部には、軸
受ユニット１８２が設けられており、該軸受ユニット１
８２には二本の回転軸１８６、１８８が回動自在に支持
されている。この各回転軸１８６、１８８の先端部に
は、それぞれアーム１９０、１９２が固着されており、
該アーム１９０、１９２の先端は、互いにピン１９４、
１９６を介してパット支持プレート１９８に連結されて
いる。パット支持プレート１９８には、所定の間隔をも
って一対の剥離用吸着パット２００、２００が配設され
ており、この一対の剥離用吸着パット２００、２００に
よってウェーハＷａ〜Ｗｃが真空吸着されて保持され
る。

【００３５】また、前記揺動フレーム１５４の背面部に
は、支持プレート２０２が取り付けられており、該支持
プレート２０２には昇降用ロータリーアクチュエータ２
０４が設置されている。この昇降用ロータリーアクチュ
エータ２０４の出力軸には、扇形状に形成された回転プ
レート２０６が固着されており、該回転プレート２０６
にはコネクティングロッド２０８の一方端がピン２１０
によって連結されている。そして、このコネクティング
ロッド２１０の他方端は、一方のアーム１９０にピン２
１２によって連結されている。

【００３６】以上の構成により、前記パット支持プレー
ト１９８に設けられた剥離用吸着パット２００、２００
は、昇降用ロータリーアクチュエータ２０４を駆動する
ことにより昇降移動する。すなわち、前記昇降用ロータ
リーアクチュエータ２０４を駆動すると回転プレート２
０６が１８０°の範囲で往復回転し、その往復回転がコ
ネクティングロッド２０８を介してアーム１９０に伝達
され、一方のアーム１９０が上下方向に往復角運動を行
う。このアーム１９０が往復角運動を行うと、他方側の
アーム１９２も揺りテコとなって往復角運動を行い、こ
の結果、パット支持フレーム１９８に設けられた剥離用
吸着パット２００、２００が昇降移動する。

【００３７】このように、ウェーハＷａ〜Ｗｃを吸着保
持する剥離用吸着パット２００、２００は、昇降用ロー
タリーアクチュエータ２０４を駆動することにより昇降
移動する。また、この剥離用吸着パット２００、２００
が設けられているパット支持フレーム１９８は、アーム
１９０、１９２を介して揺動フレーム１５４に接続され
ているので、揺動フレーム１５４が揺動することにより
前後方向に揺動する。

【００３８】すなわち、剥離用吸着パット２００、２０
０は、揺動用ロータリーアクチュエータ１６０を駆動す
ることにより前後方向に揺動し、昇降用ロータリーアク
チュエータ２０４を駆動することにより昇降移動する。
そして、この剥離用吸着パット２００、２００でスライ
スベースＳａからウェーハＷａを剥離するときは、次の
ようにして行う。

【００３９】まず、熱水槽１１２内にセットされたウェ
ーハＷａの端面を剥離用吸着パット２００、２００で吸
着保持する。次いで、揺動用ロータリーアクチュエータ
１６０を駆動して剥離用吸着パット２００、２００を前
後方向（ウェーハの軸線に沿った方向）に揺動させる。
ここで、前記ウェーハＷａとスライスベースＳａとを接
着している接着剤は、熱水１２０中に浸漬されているた
め十分に熱軟化している。このため、ウェーハＷａは、
複数回揺動が与えられると簡単にスライスベースＳａか
ら剥離される。

【００４０】ウェーハＷａがスライスベースＳａから剥
離されると、昇降用ロータリーアクチュエータ２０４が
駆動され、剥離したウェーハＷａを保持した状態で剥離
用吸着パット２００、２００が上方に向かって移動す
る。そして、所定の受渡位置が停止する。受渡位置に移
送されたウェーハＷａは、後述する受渡装置１１８に受
け渡されたのち、該受渡装置１１８によってシャトルコ
ンベア３１２に移送され、該シャトルコンベア３１２に
よって次工程に搬送されてゆく。

【００４１】一方、ウェーハＷａの受渡の終了した剥離
用吸着パット２００、２００は、昇降用ロータリーアク
チュエータ２０４に駆動されて下方に移動し、元の剥離
作業位置に復帰する。ところで、ウェーハＷａ〜Ｗｃ
は、前記のごとくその端面を剥離用吸着パット２００、
２００によって揺動を与えることによりスライスベース
Ｓａ〜Ｓｃから剥離されるが、ウェーハＷａ〜Ｗｃの中
には剥離用吸着パット２００、２００で揺動を与える前
から、スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離してしまって
いるものもある。この場合、ウェーハＷａ〜Ｗｃが前方
に倒れて回収不能になるおそれがある。このため、剥離
するウェーハＷａ〜Ｗｃの前方位置には、ウェーハＷａ
〜Ｗｃが前方に倒れるのを防止するための倒止板２１４
が配設されている。この倒止板２１４は、前記昇降用ロ
ータリーアクチュエータ２０４が設置された支持プレー
ト２０２に設けられており、前記剥離用吸着パット２０
０、２００と共に揺動する。

【００４２】なお、剥離用吸着パット２００、２００
は、前記倒止板２１４に形成された通路２１４ａを通っ
て昇降移動する。また、この倒止板２１４の上部には、
二枚取り防止板２１６が固着されており、スライスベー
スＳａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、こ
の二枚取り防止板２１６に形成されたスリット２１６ａ
を通って所定の受渡位置まで移送される。このスリット
２１６ａは、ウェーハが丁度一枚通れる幅で形成されて
おり、これにより、例えば、ウェーハが二枚同時に剥離
されたような場合に、その二枚のウェーハが互いにくっ
ついて二枚同時に受渡位置まで移送されるのを防止する
ことができる。

【００４３】すなわち、スライスベースから二枚のウェ
ーハが同時に剥離され、互いにくっついた場合であって
も、二枚取り防止板２１６のスリット２１６ａを通過す
る際に、その一枚目のウェーハにくっついた二枚目のウ
ェーハが、スリット２１６ａを通過できずに落下するの
で、常に一枚ずつ受渡位置に移送することができる。な
お、この場合、スリット２１６ａを通過できずに落下し
たウェーハは、倒止板２１４によって前方に倒れるのを
防止されるので、次回の剥離時に確実に回収することが
できる。

【００４４】次に、仕切装置１１６の構成について説明
する。仕切装置１１６は、熱水槽１１２内にセットされ
たウェーハＷａ〜Ｗｃの各ロット間に仕切板を挿入し、
この挿入された仕切板をウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離過程
で検出することにより、各ロットの終了地点を認識す
る。この仕切装置１１６は、三台の仕切ユニット２２０
Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃと、その仕切ユニット２２０Ａ
〜２２０Ｃを駆動する駆動ユニット２２２と、駆動ユニ
ット２２２と仕切ユニット２２０Ａ〜２２０Ｃとを接続
する接続ユニット２２４と、仕切ユニット２２０Ａ〜２
２０Ｃを所定位置に固定するブレーキユニット２２５と
から構成されている。

【００４５】まず、仕切ユニット２２０Ａ〜２２０Ｃの
構成について説明する。図６に示すように、上述した剥
離離置１１４が設置された第１ガイドレール１３６、１
３６上には、三台のスライドプレート（移動体）２２６
Ａ、２２６Ｂ、２２６Ｃがスライド自在に支持されてい
る。各スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｂ上には、図
１１及び図１２に示すように、支持プレート２２８Ａ〜
Ｃが垂直に立設されており、該支持プレート２２８Ａ〜
２２８Ｃの頂部には、シリンダ２３０Ａ〜２３０Ｃが水
平に支持されている。このシリンダ２３０Ａ〜２３０Ｃ
のロッド先端部には、Ｌ字状に形成された連結アーム２
３２Ａ〜２３２Ｃが固着されており、この連結アーム２
３２Ａ〜２３２Ｃの先端部に仕切板２３４Ａ〜２３４Ｃ
が固着されている。

【００４６】各仕切板２３４Ａ〜２３４Ｃは、シリンダ
２３０Ａ〜２３０Ｃを駆動することにより進退移動し、
このシリンダ２３０Ａ〜２３０Ｃを駆動制御することに
よって仕切板２３４Ａ〜２３４Ｃの挿入及び抜き取りを
制御する。すなわち、シリンダ２３０Ａ〜２３０Ｃのロ
ッドを伸長させることによりウェーハＷａ〜Ｗｃの各ロ
ット間に仕切板２３４Ａ〜２３４Ｃを挿入し、ロッドを
収縮させることによりウェーハＷａ〜Ｗｃから仕切板２
３４Ａ〜２３４Ｃを引き抜く。

【００４７】ここで、一枚目の仕切板２３４Ａと二枚目
の仕切板２３４Ｂは、図１１及び図１２に示すように、
各スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃを互いに接合さ
せたときに（図１１の状態）、同一面上に位置するよう
に、各アーム２３２Ａ、２３２Ｂの長さと、高さ方向の
設置位置が設定されている。また、三枚目の仕切板２３
４Ｃは、一枚目の仕切板２３４Ａと二枚目の仕切板２３
４Ｂの直後に配置されるようにアーム２３２Ｃの長さが
設定されている。

【００４８】仕切ユニット２２０Ａ〜２２０Ｃは、以上
のように構成される。なお、以下、必要に応じて仕切ユ
ニット２２０Ａを第１仕切ユニット２２０Ａ、仕切ユニ
ット２２０Ｂを第２仕切ユニット２２０Ｂ、仕切ユニッ
ト２２０Ｃを第３仕切ユニット２２０Ａという。シリン
ダ２３０Ａ〜２３０Ｃ及び仕切板２３４Ａ〜２３４Ｃに
ついても同様である。

【００４９】次に、前記仕切ユニット２２０Ａ〜２２０
Ｃを第１ガイドレール１３６、１３６に沿って移動させ
る駆動ユニット２２２の構成について説明する。図６及
び図１３に示すように、熱水槽１１２の左側部近傍に
は、熱水槽１１２に沿って一対の第２ガイドレール２３
６、２３６が配設されている。この第２ガイドレール２
３６、２３６上には、リニアガイド２３８、２３８を介
して第２スライドテーブル（第２走行体）２４０がスラ
イド自在に支持されている。

【００５０】前記第２スライドテーブル２４０の下面に
はナット部材２４２が固着されており、該ナット部材２
４２は、前記一対の第２ガイドレール２３６、２３６の
間に配設されたネジ棒２４４に螺合されている。このネ
ジ棒２４４の両端部は、軸受部材２４６、２４６によっ
て回動自在に支持されており、また、このネジ棒２４４
の一方端には、第２ガイドレール２３６、２３６の一方
端に設置された第２送りモータ２４８が連結されてい
る。ネジ棒２４４は、この第２送りモータ２４８を駆動
することにより回動し、この結果、第２スライドテーブ
ル２４０が第２ガイドレール２３６、２３６に沿って移
動する。

【００５１】次に、前記駆動ユニット２２２と仕切ユニ
ット２２０Ａ〜２２０Ｃとを接続する接続ユニット２２
４の構成について説明する。図１１及び図１２に示すよ
うに、前記スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃの先端
部上方には、矩形状に形成された接続プレート２５０が
所定の隙間をもって配置されている。この接続プレート
２５０上には、所定の間隔をもって三台のピン挿入装置
２５１Ａ、２５１Ｂ、２５１Ｃが設置されている。

【００５２】ピン挿入装置２５１Ａ〜２５１Ｃは、ガイ
ドピンブッシュ２５２Ａ〜２５２Ｃ内に挿入された接続
ピン２５３Ａ〜２５３Ｃを、ピン挿入用シリンダ２５４
Ａ〜２５４Ｃを駆動することにより、接続プレート２５
０の下面から突出させる装置であり、この接続プレート
２５０の下面から突出させた接続ピン２５３Ａ〜２５３
Ｃを、各スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃに形成さ
れている接続用ピン穴２５５Ａ〜２５５Ｃに挿入させる
ことにより、接続プレート２５０と各スライドプレート
２２６Ａ〜２２６Ｃとを接続する。

【００５３】ここで、図６及び図１３に示すように、前
記接続ユニット２２４の接続プレート２５０と、前記駆
動ユニット２２２の第２スライドテーブル２４０とは、
連結バー２５６を介して互いに連結されており、第２ス
ライドテーブル２４０が移動すると、それに伴って接続
プレート２５０も移動する。したがって、前記接続プレ
ート２５０と各スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃと
を連結させた状態で、すなわち、各接続ピン２５３Ａ〜
２５３Ｃを各スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃの接
続用ピン穴２５５Ａ〜２５５Ｃに挿入した状態で、第２
スライドテーブル２４０を移動させることにより、各ス
ライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃを移動させることが
できる。そして、このスライドプレート２２６Ａ〜２２
６Ｃを移動させるることにより、各仕切板２３４Ａ〜２
３４Ｃを熱水槽１１２内にセットされているウェーハＷ
ａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させることができる。

【００５４】なお、前記連結バー２５６は、前記熱水槽
１１２の下部に形成されている空間に配設されており、
この下部空間を移動する。次に、前記各仕切ユニット２
２０Ａ〜２２０Ｃを固定するブレーキユニット２２５の
構成について説明する。図６に示すように、前記第１ガ
イドレール１３６、１３６の側部近傍には、第１ガイド
レール１３６、１３６に沿ってブレーキプレート２５７
が配設されている。このブレーキプレート２５７は、図
１２に示すように、先端部が水平に折り曲げられた逆Ｌ
字状に形成されている。

【００５５】一方、前記スライドプレート２２６Ａ〜２
２６Ｃには、前記ブレーキプレート２５７の水平部を挟
むようにして一対のブレーキパッド２５８Ａ〜２５８
Ｃ、２５９Ａ〜２５９Ｃが配設されている（図１２には
第１仕切ユニット２２０Ａにおけるブレーキユニットの
構成のみが図示されている。）。この一対のブレーキパ
ッド２５８Ａ〜２５８Ｃ、２５９Ａ〜２５９Ｃのうち、
下側のブレーキパッド２５９Ａ〜２５９Ｃは支持部材２
６０を介してスライドプレート１２６Ａ〜２２６Ｃに固
定されている。一方、上側のブレーキパッド２５８Ａ〜
２５８Ｃは、それぞれ前記スライドプレート２２６Ａ〜
２２６Ｃ上に設置されたブレーキ用シリンダ２６１Ａ〜
２６１Ｃのロッド先端部に固着されており、該ブレーキ
用シリンダ２６１Ａ〜２６１Ｃを駆動することにより、
スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃの下面から突出す
る。

【００５６】前記のごとく構成されたブレーキユニット
２２５では、ブレーキ用シリンダ２６１Ａ〜２６１Ｃを
駆動して、一対のブレーキパッド２５８Ａ〜２５８Ｃ、
２５９Ａ〜２５９Ｃでブレーキプレート２５７を挟持す
ることにより、各仕切ユニット２２０Ａ〜２２０Ｃを固
定する。ところで、前記のごとく移動可能な仕切板２３
４Ａ〜２３４Ｃは、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に
挿入されて、ロットの切り替わりを認識するために用い
られるが、この仕切板２３４Ａ〜２３４Ｂを各ウェーハ
Ｗａ〜Ｗｃのロット間に自動で挿入するためには、各ウ
ェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を自動で検出する必要があ
る。

【００５７】そこで、上記の仕切装置１１６には、各ウ
ェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を自動で検出するロット検
出ユニット２６４が設けられており、該ロット検出ユニ
ット１６４は、次のように構成されている。図６及び図
１３に示すように、前記接続ユニット２２４と駆動ユニ
ット２２２とを連結する連結バー２５６には、熱水槽１
１２を挟んで一対の支持フレーム２６４Ｒ、２６４Ｌが
垂直に立設されている。この一対の支持フレーム２６４
Ｒ、２６４Ｌのうち一方の支持フレーム２６４Ｌの頂部
には、投光センサ２６６Ｌが設置されており、他方の支
持フレーム２６４Ｒの頂部には、受光センサ２６６Ｒが
設置されている。

【００５８】前記投光センサ２６６Ｌと受光センサ２６
６Ｒは、互いに対向するように設置されており、投光セ
ンサ２６６Ｌから投光された光が、受光センサ２６６Ｒ
によって受光されるように構成されている。また、投光
センサ２６６Ｌと受光センサ２６６Ｒは、図１１に示す
ように、各スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃを互い
に接合させたときに、一枚目の仕切板２３４Ａと同一の
平面上に位置するように配置されている。

【００５９】以上のように構成されたロット検出ユニッ
ト２６４は、次のようにして各ウェーハＷａ〜Ｗｃ間の
ロットを検出する。ロット検出ユニット２６４は連結バ
ー２５６上に設置されているので、駆動ユニット２２２
の第２スライドテーブル２４０を移動させることによ
り、ウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動する。

【００６０】そこで、まず、図１４に示すように、ロッ
ト検出ユニット２６４を第３ロットであるウェーハＷｃ
の後段部に位置させる（図中（ａ）の位置）。そして、
投光センサ２６６Ｌから受光センサ１６６Ｒに向けて光
と投光させる。このとき、投光センサ２６６Ｌから投光
された光は、前を遮るものが何もないので、そのまま受
光センサ２６６Ｒで受光される。

【００６１】次いで、駆動ユニット２２２の第２スライ
ドテーブル２４０を移動させることにより、ロット検出
ユニット２６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移
動させる。この結果、前記投光センサ２６６Ｌから投光
された光は、第３ロットであるウェーハＷａによって遮
られ、受光センサ２６６Ｒで受光されなくなる（図中
（ｂ）の位置）。

【００６２】図示しない制御装置は、前記受光センサ２
６６Ｒで光が受光されなくなったことを検出すると、第
２スライドテーブル２４０の移動を停止させる。そし
て、仕切板２３４Ｃの挿入操作を行う。なお、この仕切
板２３４Ｃの挿入操作は後に更に詳述する。前記仕切板
２３４Ｃの挿入後、図示しない制御装置は、再び第２ス
ライドテーブル２４０を移動させて、ロット検出ユニッ
ト２６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させ
る。

【００６３】ここで、前記のごとく第２スライドテーブ
ル２４０を移動させても、投光センサ２６６Ｌから発光
された光は、ウェーハＷｃによって遮られるため、受光
センサ２６６Ｒでは光が受光されない状態が続く。しか
し、前記第３ロットと第２ロットとの間には、一定の間
隔が開いているので、この地点をロット検出ユニット２
６４が通過すると、再び受光センサ２６６Ｒで光が受光
されるようになる（図中（ｃ）の位置）。制御装置は、
受光センサ２６６Ｒで再び光が受光されたことを検出す
ると、第２スライドテーブル２４０の移動を停止させ
る。そして、仕切板２３４Ｂの挿入操作を行う。

【００６４】前記仕切板２３４Ｂの挿入後、図示しない
制御装置は、再び第２スライドテーブル２４０を移動さ
せて、ロット検出ユニット２６４をウェーハＷａ〜Ｗｃ
の軸線に沿って移動させる。前記第３ロットと第２ロッ
トの間を通過すると、前記投光センサ２６６Ｌから発光
された光は、第２ロットであるウェーハＷｂによって遮
られるため、再び受光センサ２６６Ｒで光が受光されな
くなる（図中（ｄ）の位置）。

【００６５】しかし、前記同様第２ロットと第１ロット
との間には、一定の間隔が開いているので、この地点を
ロット検出ユニット２６４が通過すると、再び受光セン
サ２６６Ｒで光が受光されるようになる（図中（ｅ）の
位置）。制御装置は、受光センサ２６６Ｒで再び光が受
光されたことを検出すると、第２スライドテーブル２４
０の移動を停止させる。そして、仕切板２３４Ａの挿入
操作を行う。

【００６６】以上のように、ロット検出ユニット２６４
は、投光センサ２６６Ｌから発光された光を受光センサ
２６６Ｒで検出することにより、各ウェーハＷａ〜Ｗｃ
のロット間の検出を行う。そして、このロット検出ユニ
ット２６４の検出結果に基づいて各仕切板２３４Ａ〜２
３４Ｃを各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入してい
く。

【００６７】なお、投光センサ２６６Ｌから発行される
光の幅は、スライスベースＳａに接着されているウェー
ハの間隔（カーフロスの幅）よりも広く設定し、各ロッ
ト間の間隔よりも狭く設定する。これにより、たとえ
ば、ウェーハの隙間から一部の光が通過して、受光セン
サ２６６Ｒで検出されたとしても、投光センサ２６６Ｌ
から投光された光の全てが受光センサ２６６Ｒで受光さ
れていないことを理由に、誤検出を防止することができ
る。

【００６８】また、この場合、複数の投光センサ２６６
Ｌを横方向に配置するとともに（但し、各ロット間の間
隔よりも狭くなるように配置する。）、これに対向する
ように複数の受光センサ２６６Ｒを設置し、全ての受光
センサ２６６Ｒで光が受光されたことを検出することに
よって、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を検出するよ
うにしても、同様に誤検出を防止することができる。

【００６９】各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間の検出は
以上のように行われ、これに基づいて仕切板２３４Ａ〜
２３４Ｂの挿入が行われるが、その各ウェーハＷａ〜Ｗ
ｃのロット間に挿入された仕切板２３４Ａ〜２３４Ｃの
検出は、次の機構によって検出する。図８、図１０及び
図１１に示すように、前記剥離装置１１４の第１スライ
ドテーブル１４０上には、第１タッチセンサ２６８が設
けられている。一方、前記第１仕切ユニット２２０Ａの
スライドプレート２２６Ａ上には、この第１タッチセン
サ２６８Ａに当接する第１接触子２７０Ａが設置されて
いる。

【００７０】また、前記第１仕切ユニット２２０Ａのス
ライドプレート２２６Ａ上には、第２タッチセンサ２６
８Ｂが設けられており、前記第２仕切ユニット２２０Ｂ
のスライドプレート２２６Ｂ上には、この第２タッチセ
ンサ２６８Ｂに当接する第２接触子２７０Ｂが設置され
ている。更に、前記第２仕切ユニット２２０Ｂのスライ
ドプレート２２６Ｂ上には、第３タッチセンサ１２８Ｃ
が設けられており、前記第３仕切ユニット２２０Ｃのス
ライドプレート２２６Ｃ上には、この第３タッチセンサ
２６８Ｃに当接する第３接触子２７０Ｃが設置されてい
る。

【００７１】図示しない制御装置は、各タッチセンサ２
６８Ａ〜２６８Ｃの作動信号を入力することにより、各
ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入された仕切板２３
４Ａ〜２３４Ｃを検出する。すなわち、ウェーハを剥離
する剥離用吸着パット２００は、第１スライドテーブル
１４０を移動させることにより、ウェーハＷａ〜Ｗｃの
軸線に沿って移動する。そして、この剥離用吸着パット
２００が、第１仕切板２３４Ａの設置位置まで移動する
と、第１スライドテーブル１４０上に設置された第１タ
ッチセンサ２６８Ａが、スライドプレート２２６Ａ上に
設置された第１接触子２７０Ａに接触する。この第１タ
ッチセンサ２６８Ａは、第１接触子２７０Ａに接触する
ことにより作動し、この第１タッチセンサ２６８Ａの作
動信号を受けることにより、制御装置は第１仕切板２３
４Ａを検出する。

【００７２】また、第１仕切板２３４Ａの検出後、更に
第１スライドテーブル１４０を移動させて剥離用吸着パ
ット２００を移動させると、第１スライドテーブル１４
０に押されてスライドプレート２２６Ａが移動する。そ
して、前記剥離用吸着パット２００が、第２仕切板２３
４Ｂの設置位置まで移動すると、スライドプレート２２
６Ａ上に設置された第２タッチセンサ２６８Ｂが、スラ
イドプレート２２６Ｂ上に設置された第２接触子２７０
Ｂに接触する。この第２タッチセンサ２６８Ｂは第２接
触子２７０Ｂに接触することにより作動し、この第２タ
ッチセンサ２６８Ｂの作動信号を受けることにより、制
御装置は第２仕切板２３４Ｂを検出する。

【００７３】また、第２仕切板２３４Ｂの検出後、更に
第１スライドテーブル１４０を移動させて剥離用吸着パ
ット２００を移動させると、第１スライドテーブル１４
０に押されて移動するスライドプレート２２６Ａに押さ
れてスライドプレート２２６Ｂが移動する。そして、前
記剥離用吸着パット２００が、第３仕切板２３４Ｃの設
置位置まで移動すると、スライドプレート２２６Ｂ上に
設置された第３タッチセンサ２６８Ｃが、スライドプレ
ート２２６Ｃ上に設置された第３接触子２７０Ｃに接触
する。この第３タッチセンサ２６８Ｃは第３接触子２７
０Ｃに接触することにより作動し、この第３タッチセン
サ２６８Ｃの作動信号を受けることにより、制御装置は
第３仕切板２３４Ｃを検出する。

【００７４】このように、各タッチセンサ２６８Ａ〜２
６８Ｃは、剥離用吸着パット２００が各仕切板２３４Ａ
〜２３４Ｃの設置点まで移動すると、順次作動し、これ
により、各ウェーハＷａ〜Ｗｃ間に挿入されている仕切
板２３４Ａ〜２３４Ｃを検出することができる。次に、
受渡装置１１８の構成について説明する。受渡装置１１
８は、剥離装置１１４の剥離用吸着パット２００によっ
てスライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷ
ａ〜Ｗｃを剥離用吸着パット２００から受け取り、シャ
トルコンベア３１２に受け渡す装置である。この受渡装
置１８は、図６及び図７に示すように、駆動ユニット２
２２の第２スライドテーブル２４０上に設けられてお
り、第２送りモータ２４８を駆動することにより、第２
ガイドレール２３６、２３６に沿って移動する。具体的
な構成は、以下のとおりである。

【００７５】図１５〜図１７に示すように、前記駆動ユ
ニット２２２の第２スライドテーブル２４０上には、支
柱２７４が垂直に立設されている。この支柱２７４の頂
部には、支持フレーム２７６が垂直に立設されており、
該支持フレーム２７６には旋回用ロータリーアクチュエ
ータ２７８が水平に設置されている。前記旋回用ロータ
リーアクチュエータ２７８の出力軸には駆動ギア２８０
が噛合されており、該駆動ギア２８０には旋回軸２８４
に固着された従動ギア２８２が噛合されている。旋回軸
２８４は、前記支持フレーム２７６の頂部に設置された
軸受ユニット２８６に回動自在に支持されており、前記
旋回用ロータリーアクチュエータ２７８を駆動すること
により１８０°の範囲で回動する。

【００７６】前記旋回軸２８４の基端部には、旋回フレ
ーム２８８が固着されており、該旋回フレーム２８８に
は回転軸２９０が回動自在に支持されている。この回転
軸２９０の基端部には、旋回フレーム２８８に設置され
た方向転換用ロータリーアクチュエータ２９２の出力軸
が固着されており、該方向転換用ロータリーアクチュエ
ータ２９２を駆動することにより、９０°の範囲で回動
する。

【００７７】前記回転軸２９０の先端部には、Ｌ字状に
形成された旋回アーム２９４が固着されており、該旋回
アーム２９４の先端部には支持プレート２９６が固着さ
れている。この支持プレート２９６にはパット進退用シ
リンダ２９８が設けられており、該パット進退用シリン
ダ２９８のロッド先端部には、受渡用吸着パット３００
が設けられている。前記剥離装置１１４の剥離用吸着パ
ット２００、２００によって剥離されたウェーハＷａ〜
Ｗｃは、所定の受渡位置まで搬送されたのち、この受渡
用吸着パット３００に受け渡される。

【００７８】以上のように構成された受渡装置１１８に
おいて、受渡用吸着パット３００に吸着保持されたウェ
ーハＷａ〜Ｗｃは、旋回用ロータリーアクチュエータ２
７８を駆動することにより、垂直面上を１８０°の範囲
で旋回し（図１５参照）、方向転換用ロータリーアクチ
ュエータ２９２を駆動することにより、垂直状態から水
平状態に方向転換される。

【００７９】なお、仕切装置１１６で剥離したウェーハ
Ｗａ〜Ｗｃの受け取り、及び、その受け取ったウェーハ
Ｗａ〜Ｗｃのシャトルコンベア３１２上への受け渡し
は、次のように行う。前述したように、スライスベース
Ｓａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、剥離
用吸着パット２００、２００に吸着保持された状態で上
昇して所定の受渡位置に移送される。この受渡位置に
は、すでに受渡用吸着パット３００が待機しており、ウ
ェーハＷａ〜Ｗｃは、この受渡用吸着パット３００の軸
心と同軸上に位置する。

【００８０】前記ウェーハＷａ〜Ｗｃが受渡位置に移送
されると、次いで、パット進退用シリンダ２９８が駆動
されて、受渡用吸着パット３００がウェーハＷａに向か
って所定量前進する。この結果、ウェーハＷａの端面に
受渡用吸着パット３００が密着する。次に、受渡用吸着
パット３００が駆動され、該受渡用吸着パット３００に
よってウェーハＷａが吸着保持される。この受渡用吸着
パット３００にウェーハＷａが吸着保持されると、次い
で、剥離用吸着パット２００の駆動が停止され、これに
より、ウェーハＷａが剥離用吸着パット２００から受渡
用吸着パット３００に受け渡される。

【００８１】ウェーハＷａを受け取った受渡用吸着パッ
ト３００は、パット進退用シリンダ２９８が駆動され
て、剥離用吸着パット２００から後退する。一方、ウェ
ーハＷａを受け渡した剥離用吸着パット２００は、下降
して元の剥離作業位置に復帰する。前記受渡用吸着パッ
ト３００が後退すると、次いで、旋回用ロータリーアク
チュエータ２７８が駆動されて、旋回アーム２９４が１
８０°旋回する。この結果、ウェーハＷａがシャトルコ
ンベア３１２の上方位置に移送される。

【００８２】ここで、シャトルコンベア３１２の上方に
移送されたウェーハＷａは、シャトルコンベア３１２に
対して直交した状態にあるので、移送後、方向転換用ロ
ータリーアクチュエータ２９２が駆動されて、旋回アー
ム２９４が回転軸２９０を中心に９０°回転する。この
結果、ウェーハＷａがシャトルコンベア３１２から所定
高さの位置に水平な状態で位置する。

【００８３】前記方向転換用ロータリーアクチュエータ
２９２の駆動後、パット進退用シリンダ２９８が駆動さ
れて、受渡用吸着パット３００がシャトルコンベア３１
２に向かって所定量前進する。この結果、ウェーハＷａ
が、シャトルコンベア３１２上に載置される。ウェーハ
Ｗａが、シャトルコンベア３１２上に載置されると、受
渡用吸着パット３００の駆動が停止される。そして、パ
ット進退用シリンダ２９８が駆動されて受渡用吸着パッ
ト３００がシャトルコンベア３１２から後退する。

【００８４】以上により、ウェーハＷａの受け渡し作業
は終了し、受渡用吸着パット３００は、上記と逆の動作
で元の受渡位置に復帰する。一方、ウェーハＷａが受け
渡されたシャトルコンベア３１２は、図示しない駆動手
段に駆動されて、その受け渡されたウェーハＷａを次工
程に搬送する。ウェーハ剥離枚葉部１００は、以上のよ
うに構成される。なお、このウェーハ剥離枚葉部１００
の駆動は、全て図示しない制御装置によって自動制御さ
れており、この制御装置から出力される駆動信号に基づ
いて各構成装置が作動する。

【００８５】次に、前記のごとく構成されたウェーハ剥
離枚葉部１００におけるウェーハの剥離方法について説
明する。始動前の状態において、剥離ユニット１５０が
設置された第１スライドテーブル１４０は、第１ガイド
レール１３６の一方端（図６において下端）に位置して
いる（この位置を剥離作業開始位置という。）。一方、
受渡装置１１８が設置された第２スライドテーブル２４
０は、第２ガイドレール２３６の他方端（図６において
上端）に位置している（この位置を仕切作業開始位置と
いう。）。そして、接続装置の接続プレート２５０に
は、ピン挿入装置２５１Ａ〜２５１Ｃによって各スライ
ドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃが接続されている。

【００８６】まず、ワイヤソーでマルチ切断されたウェ
ーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを熱水槽１１２内に設置されたワ
ーク保持部２２にセットする。これにより、各ウェーハ
Ｗａ〜Ｗｃが接着されたスライスベースＳａ〜Ｓｃが熱
水槽１１２内に貯留された熱水２０中に浸漬される。な
お、ウェーハＷａ〜Ｗｃのセッティングは、オペレータ
が手動で行ってもよいし、図示しないマニピュレータに
よって自動でワーク保持部２２に搬送して、自動でセッ
トするようにしてもよい。

【００８７】ウェーハＷａ〜Ｗｃが熱水槽１１２内にセ
ットされると、制御装置は、まず、第２送りモータ２４
８を駆動して第２スライドテーブル２４０を図６中下側
に向けて移動させる。これと同時に、制御装置は、ロッ
ト検出ユニット２６４の受光センサ２６６Ｒから受光信
号の入力を開始する。第２スライドテーブル２４０の移
動開始から所定の間は、光を遮るものが何もないので、
投光センサ２６６Ｌから発光された光は、そのまま受光
センサ２６６Ｒで受光される。

【００８８】しかし、ロット検出ユニット２６４が第３
ロットのウェーハＷｃに到達すると、前記投光センサ２
６６Ｌから投光された光は、ウェーハＷｃに遮られるた
め、受光センサ２６６Ｒでは光が受光されなくなる。制
御装置は、前記受光センサ２６６Ｒで光が受光されなく
なったことを検出すると、第２スライドテーブル２４０
の移動を停止させる。そして、第３仕切ユニット２２０
Ｃのブレーキ用シリンダ２６１Ｃを駆動して第３仕切ユ
ニット２３０Ｃを固定する。

【００８９】第３仕切ユニット２３０Ｃを固定後、制御
装置は、シリンダ２３０Ｃを駆動して、第３仕切板２３
４Ｃを前進させる。これにより、第３ロット（ウェーハ
Ｗｃ）の後段位置に第３仕切板２３４Ｃが挿入される。
また、制御装置は、前記第３仕切板２３４Ｃの挿入後、
接続プレート２５０と第３スライドプレート２２６Ｃと
の接続を解除する。すなわち、ピン挿入装置２５１Ｃの
ピン挿入用シリンダ２５４Ｃを駆動して、第３スライド
プレート２２６Ｃに形成されている接続用ピン穴２５５
Ｃから接続ピン２５３Ｃを抜き取る。これにより、接続
プレート２５０と第３スライドプレート２２６Ｃとの接
続が解除され、第２スライドテーブル２４０を移動させ
ても、第３スライドプレート２２６Ｃが移動しなくな
る。

【００９０】制御装置は、前記第３スライドプレート２
２６Ｃと接続プレート２５０との接続を解除したのち、
再び第２スライドテーブル２４０を移動させて、ロット
検出ユニット２６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿っ
て移動させる。ここで、前記のごとく第２スライドテー
ブル２４０を移動させても、光はウェーハＷｃによって
遮られるため、受光センサ２６６Ｒでは光が受光されな
い状態が続く。

【００９１】しかし、前記第３ロットと第２ロットの間
には一定の間隔が開けられているので、この第３ロット
と第２ロットの間をロット検出ユニット２６４が通過す
ると、再び受光センサ２６６Ｒで光が受光されるように
なる。制御装置は、受光センサ２６６Ｒで再び光が受光
されたことを検出すると、第２スライドテーブル２４０
の移動を停止させる。そして、第２仕切ユニット２２０
Ｂのブレーキ用シリンダ２６１Ｂ（図示せず）を駆動し
て第２仕切ユニット２３０Ｂを固定する。

【００９２】第２仕切ユニット２２０Ｂを固定後、制御
装置は、シリンダ２３０Ｂを駆動して、第２仕切板２３
４Ｂを前進させる。これにより、第２ロット（ウェーハ
Ｗｂ）と第３ロット（ウェーハＷｃ）の間に第２仕切板
２３４Ｂが挿入される。また、制御装置は、前記同様に
第２仕切板２３４Ｂの挿入後、接続プレート２５０と第
２スライドプレート２２６Ｂとの接続を解除する。すな
わち、ピン挿入装置２５１Ｂのピン挿入用シリンダ２５
４Ｂを駆動して、第２スライドプレート２２６Ｂに形成
されている接続用ピン穴２５５Ｂから接続ピン２５３Ｂ
を抜き取る。これにより、接続プレート２５０と第２ス
ライドプレート２２６Ｂとの接続が解除され、第２スラ
イドテーブル２４０を移動させても、第２スライドプレ
ート２２６Ｂが移動しなくなる。

【００９３】制御装置は、前記第２スライドプレート２
２６Ｂと接続プレート２５０との接続を解除したのち、
再び第２スライドテーブル２４０を移動させて、ロット
検出ユニット２６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿っ
て移動させる。ここで、前記同様、第２スライドテーブ
ル２４０を移動させても、光はウェーハＷｂによって遮
られるため、受光センサ２６６Ｒでは光が受光されない
状態が続く。

【００９４】しかし、前記同様、第２ロットと第１ロッ
トの間には、一定の間隔が開けられているので、この第
２ロットと第１ロットの間をロット検出ユニット２６４
が通過すると、再び受光センサ２６６Ｒで光が受光され
るようになる。制御装置は、受光センサ２６６Ｒで再び
光が受光されたことを検出すると、第２スライドテーブ
ル２４０の移動を停止させる。そして、第１仕切ユニッ
ト２２０Ａのブレーキ用シリンダ２６１Ａを駆動して第
１仕切ユニット２３０Ａを固定する。

【００９５】第１仕切ユニット２２０Ｂを固定後、制御
装置は、シリンダ２３０Ａを駆動して、第１仕切板２３
４Ａを前進させる。これにより、第２ロット（ウェーハ
Ｗｂ）と第１ロット（ウェーハＷａ）との間に第１仕切
板２３４Ａが挿入される。また、制御装置は、前記同様
に第１仕切板２３４Ａの挿入後、接続プレート２５０と
第１スライドプレート２２６Ａとの接続を解除する。す
なわち、ピン挿入装置２５１Ａのピン挿入用シリンダ２
５４Ａを駆動して、第１スライドプレート２２６Ａに形
成されている接続用ピン穴２５５Ａから接続ピン２５３
Ａを抜き取る。これにより、接続プレート２５０と第１
スライドプレート２２６Ａとの接続が解除され、第２ス
ライドテーブル２４０を移動させても、第１スライドプ
レート２２６Ａが移動しなくなる。

【００９６】図１８に示すように、以上一連の操作によ
り、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に仕切板２３４Ａ
〜２３４Ｃが挿入される。制御装置は、前記第１スライ
ドプレート２２６Ａと前記接続プレート２５０との接続
を解除すると、再び第２スライドテーブル２４０を図６
中下側に向けて移動させ、その第２スライドテーブル２
４０を所定の受渡作業開始位置に位置させる。そして、
この第２スライドテーブル２４０が受渡作業開始位置に
位置したところで、ウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離作業が開
始する。

【００９７】まず、制御装置は、第１送りモータ１４８
と第２送りモータ２４８を同期させて駆動し、第１スラ
イドテーブル１４０と第２スライドテーブル２４０を前
進させる（図６中上方向に移動させる）。ここで、前記
第１スライドテーブル１４０上に設けられた剥離装置１
１４の倒止板２１４には、図示しない非接触接触式の位
置センサが設けられており、該位置センサは、ウェーハ
Ｗａの端面までの距離が所定距離に達すると作動する。
制御装置は、この位置センサの作動信号を入力すること
により、第１送りモータ１４８と第２送りモータ２４８
の駆動を停止し、第１スライドテーブル１４０と第２ス
ライドテーブル２４０とを停止させる。この結果、前記
第１スライドテーブル１４０上に設けられた剥離装置１
１４の剥離用吸着パット２００、２００がウェーハＷａ
の端面に当接する。制御装置は、ウェーハＷａの端面に
当接した剥離用吸着パット２００、２００を駆動し、該
剥離用吸着パット２００、２００にウェーハＷａを吸着
保持させる。

【００９８】制御装置は、次いで、揺動用ロータリーア
クチュエータ１６０を駆動して揺動フレーム１５４を前
後に揺動させ、剥離用吸着パット２００、２００を前後
（ウェーハの軸線に沿った方向）に揺動させる。ここ
で、前記ウェーハＷａとスライスベースＳａとを接着し
ている接着剤は、熱水１２０中に浸漬されているため十
分に熱軟化している。また、剥離用吸着パット２００、
２００は、ウェーハＷａとスライスベースＳａとの接着
部近傍を揺動中心として揺動している。このため、ウェ
ーハＷａは、剥離用吸着パット２００、２００によって
複数回揺動が与えられると簡単にスライスベースＳａか
ら剥離される。

【００９９】制御装置は、前記剥離用吸着パット２０
０、２００を所定回数揺動させたところで揺動用ロータ
リーアクチュエータ１６０の駆動を停止する。そして、
これによりウェーハＷａがスライスベースＳａから剥離
される。制御装置は、次いで、昇降用ロータリーアクチ
ュエータ２０４を駆動してアーム１９０、１９２を上方
に旋回させ、剥離用吸着パット２００、２００を上方に
移動させる。

【０１００】この際、剥離用吸着パット２００、２００
に吸着保持されたウェーハＷａは、倒止板２１４の上部
に固着された二枚取り防止板２１６のスリット２１６ａ
を通過することにより、二枚取りが防止される。すなわ
ち、吸着パット２００、２００で吸着保持したウェーハ
Ｗａ₁ に、次に剥離するウェーハＷａ₂ がくっついてき
た場合であっても、前記スリット２１６ａを通過する際
に、くっついてきたウェーハＷａ₂ が、スリット２１６
ａを通過する際に剥がされるので、常に吸着パット２０
０、２００で吸着しているウェーハＷａ一枚のみを取り
出すことができる。

【０１０１】また、スリット２１６ａを通過できずに落
下したウェーハは、倒止板２１４によって前方に倒れる
のを防止されるので、次回の剥離時に確実に回収するこ
とができる。前記のごとく上方に移動した剥離用吸着パ
ット２００、２００は、所定の受渡位置で停止する。こ
の受渡位置には、受渡装置１１８の受渡用吸着パット３
００が待機しており、剥離用吸着パット２００、２００
に吸着保持されたウェーハＷａは、この受渡用吸着パッ
ト３００の軸心と同軸上に位置する。

【０１０２】制御装置は、剥離用吸着パッド２００、２
００が所定の受渡位置で停止すると、次いで、パット進
退用シリンダ２９８を駆動して、受渡用吸着パット３０
０をウェーハＷａに向かって所定量前進させる。この結
果、ウェーハＷａの端面に受渡用吸着パット３００が密
着する。制御装置は、次いで、受渡用吸着パット３００
を駆動して、該受渡用吸着パット３００でウェーハＷａ
の端面を吸着保持する。そして、剥離用吸着パット２０
０の駆動を停止し、ウェーハＷａを受渡用吸着パット３
００に受け渡させる。

【０１０３】前記剥離用吸着パット２００の駆動を停止
すると、次いで、制御装置は、パット進退用シリンダ２
９８を駆動して、受渡用吸着パット３００を剥離用吸着
パット２００から後退させる。また、前記パット進退用
シリンダ２９８の駆動後、制御装置は、昇降用ロータリ
ーアクチュエータ２０４を駆動してアーム１９０、１９
２を下方に旋回させ、剥離用吸着パット２００、２００
を下方に移動させて、元の剥離作業位置に復帰させる。

【０１０４】これと同時に、制御装置は、前記パット進
退用シリンダ２９８の駆動後、旋回用ロータリーアクチ
ュエータ２７８を駆動して、旋回アーム２９４を１８０
°旋回させ、ウェーハＷａをシャトルコンベア３１２の
上方位置に移送する。そして、移送後、方向転換用ロー
タリーアクチュエータ２９２を駆動して、旋回アーム２
９４を回転軸２９０を中心に９０°回転させる。これに
より、ウェーハＷａがシャトルコンベア３１２に対して
平行な状態になる。制御装置は、パット進退用シリンダ
２９８を駆動して、受渡用吸着パット３００をシャトル
コンベア３１２に向けて前進させる。この結果、ウェー
ハＷａが、シャトルコンベア３１２上に載置されるの
で、次いで、制御装置は、受渡用吸着パット３００の駆
動を停止して、ウェーハＷａをシャトルコンベア３１２
に受け渡す。

【０１０５】受渡用吸着パット３００の駆動を停止した
のち、制御装置は、パット進退用シリンダ２９８を駆動
して受渡用吸着パット３００をシャトルコンベア３１２
から後退させるとともに、シャトルコンベア３１２を駆
動してウェーハＷａを次工程に搬送する。また、制御装
置は、パット進退用シリンダ２９８を駆動後、方向転換
用ロータリーアクチュエータ２９２及び旋回用ロータリ
ーアクチュエータ２７８を駆動して受渡用吸着パット３
００を元の受渡位置に復帰させる。

【０１０６】以上一連の工程で一枚目のウェーハＷａの
剥離作業が終了する。制御装置は、第１送りモータ１４
８と第２送りモータ２４８を同期させて駆動し、第１ス
ライドテーブル１４０と第２スライドテーブル２４０を
所定量前進させる。これにより、剥離用吸着パット２０
０、２００が、二枚目に剥離するウェーハＷａ₂ の端面
に当接する。制御装置は、この二枚目のウェーハＷａ₂
を上記同様の方法で剥離する。

【０１０７】以上のようにしてスライスベースＳａに接
着されているウェーハＷａ、Ｗａ、…を順次剥離し、次
工程に搬送してゆく。ここで、第１ロットのウェーハＷ
ａの剥離が全て終了したとする。制御装置は、この段階
では第１ロットの剥離が終了したことを認識することが
できず、第１送りモータ１４８と第２送りモータ２４８
を駆動して、第１スライドテーブル１４０と第２スライ
ドテーブル２４０を前進させようとする。

【０１０８】しかしながら、第１ロットのウェーハＷａ
と第２ロットのウェーハＷｂとの間には、第１仕切板２
３４Ａが挿入されているので、前記第１スライドテーブ
ル１４０を前進させると、その第１スライドテーブル４
０上に設置された第１タッチセンサ２６８Ａが、前記第
１仕切板２３４Ａが設置されている第１スライドプレー
ト２２６Ａ上に設置された第１接触子２７０Ａに接触し
て作動する。制御装置は、この第１タッチセンサ２６８
Ａの作動信号を入力することにより、第１ロットのウェ
ーハＷａの剥離が全て終了したことを検出する。そし
て、制御装置は、第１ロットのウェーハＷａの剥離が全
て終了したことを次工程以降の各部に情報として流す。

【０１０９】これにより、次工程以降の各部では、次に
シャトルコンベア３１２から搬送されてくるウェーハＷ
ｂは、種類の異なる第２ロットのウェーハＷｂであるこ
とを認識することができ、種類の異なるウェーハを混入
させることなく処理、回収等することができる。また、
制御装置は、前記第１タッチセンサ２６８Ａの作動信号
を入力すると、第１送りモータ１４８と第２送りモータ
２４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル１４０
と第２スライドテーブル２４０の移動を停止させる。そ
して、第１シリンダ２３０Ａを駆動して、第１仕切板２
３０Ａを後退させる。

【０１１０】また、制御装置は、第１仕切板２３０Ａを
後退させたのち、第１仕切ユニット２２０Ａのブレーキ
用シリンダ２６１Ａの駆動を停止して第１仕切ユニット
２３０Ａのロックを解除する。前記のごとく次工程以降
の各部に第１ロットのウェーハＷａの剥離が終了したこ
との情報を流したあと、制御装置は、再び第１送りモー
タ１４８と第２送りモータ２４８を同期させて駆動し、
第１スライドテーブル１４０と第２スライドテーブル２
４０を前進させる（図６中上方向に移動させる）。この
とき、第１スライドテーブル１４０は、第１仕切板２３
４Ａが設置された第１スライドプレート２２６Ａを押し
ながら前進する。

【０１１１】前記第１ロットのウェーハＷａを剥離した
ときと同様に、第２ロットのウェーハＷｂまでの距離が
所定の距離に達すると倒止板２１４に設置された図示し
ない位置センサが作動する。そして、この作動信号を入
力することにより、制御装置は、第１送りモータ１４８
と第２送りモータ１４８の駆動を停止し、第１スライド
テーブル１４０と第２スライドテーブル２４０とを停止
させる。この結果、剥離装置１１４の剥離用吸着パット
２００、２００が第２ロットのウェーハＷｂの端面に当
接する。

【０１１２】制御装置は、ウェーハＷｂの端面に当接し
た剥離用吸着パット２００、２００を駆動し、該剥離用
吸着パット２００、２００に第２ロットのウェーハＷｂ
を吸着保持させる。以下、前記第１ロットのウェーハＷ
ａを剥離したときと同様の手順でスライスベースＷｂに
接着されているウェーハＷｂを順次剥離して、次工程に
搬送してゆく。

【０１１３】ここで、第２ロットのウェーハＷｂの剥離
が全て終了したとする。前記同様、制御装置は、この段
階では第２ロットのウェーハＷｂの剥離が終了したこと
を認識することができず、第１送りモータ１４８と第２
送りモータ２４８を駆動して、第１スライドテーブル１
４０と第２スライドテーブル２４０を前進させようとす
る。

【０１１４】しかしながら、第２ロットのウェーハＷｂ
と第３ロットのウェーハＷｃとの間には、第２仕切板２
３４Ｂが挿入されているので、前記第１スライドテーブ
ル１４０を前進させると、その第１スライドテーブル１
４０に押されて移動する第１スライドプレート２２６Ａ
上に設置された第２タッチセンサ２６８Ｂが、前記第２
仕切板２３４Ｂが設置されている第２スライドプレート
２２６Ｂ上に設置された第２接触子２７０Ｂに接触して
作動する。制御装置は、この第２タッチセンサ２６８Ｂ
の作動信号を入力することにより、第２ロットのウェー
ハＷｂの剥離が全て終了したことを検出する。そして、
制御装置は、前記第１ロットの場合と同様に、第２ロッ
トのウェーハＷｂの剥離が全て終了したことを次工程以
降の各部に情報として流す。

【０１１５】これにより、次工程以降の各部では、次に
シャトルコンベア３１２から搬送されてくるウェーハＷ
ｃは、種類の異なる第３ロットのウェーハＷｃであるこ
とを認識することができ、種類の異なるウェーハを混入
させることなく処理、回収等することができる。また、
制御装置は、前記第２タッチセンサ２６８Ｂの作動信号
を入力すると、第１送りモータ１４８と第２送りモータ
２４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル１４０
と第２スライドテーブル２４０の移動を停止させる。そ
して、第２シリンダ２３０Ｂを駆動して、第２仕切板２
３４Ｂを後退させる。

【０１１６】また、制御装置は、第２仕切板２３０Ｂを
後退させたのち、第２仕切ユニット２２０Ｂのブレーキ
用シリンダ２６１Ｂの駆動を停止して第２仕切ユニット
２３０Ｂのロックを解除する。前記のごとく次工程以降
の各装置に第２ロットのウェーハＷｂの剥離が終了した
ことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１送りモ
ータ１４８と第２送りモータ２４８を同期させて駆動
し、第１スライドテーブル１４０と第２スライドテーブ
ル２４０を前進させる（図６中上方向に移動させる）。
このとき、第１スライドテーブル１４０は、第１仕切板
２３４Ａが設置された第１スライドプレート２２６Ａと
第２仕切板２３４Ｂが設置された第２スライドプレート
２２６Ｂとを押しながら前進する。

【０１１７】前記第２ロットのウェーハＷｂを剥離した
ときと同様に、第３ロットのウェーハＷｃまでの距離が
所定の距離に達すると倒止板２１４に設置された図示し
ない位置センサが作動する。そして、この作動信号を入
力することにより、制御装置は、第１送りモータ１４８
と第２送りモータ２４８の駆動を停止し、第１スライド
テーブル１４０と第２スライドテーブル２４０とを停止
させる。この結果、剥離装置１１４の剥離用吸着パット
２００、２００が第３ロットのウェーハＷｃの端面に当
接する。

【０１１８】制御装置は、ウェーハＷｃの端面に当接し
た剥離用吸着パット２００、２００を駆動し、該剥離用
吸着パット２００、２００に第３ロットのウェーハＷｃ
を吸着保持させる。以下、前記第２ロットのウェーハＷ
ｂを剥離したときと同様の手順でスライスベースＷｃに
接着されているウェーハＷｃを順次剥離して、次工程に
搬送してゆく。

【０１１９】ここで、第３ロットのウェーハＷｃの剥離
が全て終了したとする。前記同様、制御装置は、この段
階では第３ロットのウェーハＷｂの剥離が終了したこと
を認識することができず、第１送りモータ１４８と第２
送りモータ２４８を駆動して、第１スライドテーブル１
４０と第２スライドテーブル２４０を前進させようとす
る。

【０１２０】しかしながら、第３ロットのウェーハＷｃ
の直後には、第３仕切板２３４Ｂがセットされているの
で、前記第１スライドテーブル１４０を前進させると、
その第１スライドテーブル１４０に押されて移動する第
２スライドプレート２２６Ｂ上に設置された第３タッチ
センサ２６８Ｃが、前記第３仕切板２３４Ｃが設置され
ている第３スライドプレート２２６Ｃ上に設置された第
３接触子２７０Ｃに接触して作動する。制御装置は、こ
の第３タッチセンサ２６８Ｃの作動信号を入力すること
により、第３ロットのウェーハＷｃの剥離、すなわち、
全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終了したことを検出
する。そして、制御装置は、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃ
の剥離が終了したことを次工程以降の各部に情報として
流す。

【０１２１】次工程以降の各部では、これにより１サイ
クルの剥離作業が終了したことを認識することができ
る。また、制御装置は、前記第３タッチセンサ２６８Ｃ
の作動信号を入力すると、第１送りモータ１４８と第２
送りモータ２４８の駆動を停止して、第１スライドテー
ブル１４０と第２スライドテーブル２４０の移動を停止
させる。そして、第３シリンダ２３０Ｃを駆動して、第
３仕切板２３４Ｃを後退させる。

【０１２２】また、制御装置は、第３仕切板２３０Ｃを
後退させたのち、第３仕切ユニット２２０Ｃのブレーキ
用シリンダ２６１Ｃの駆動を停止して第３仕切ユニット
２３０Ｃのロックを解除する。前記のごとく次工程以降
の各部に第３ロットのウェーハＷｃの剥離が終了したこ
と、すなわち、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終了
したことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１送
りモータ１４８と第２送りモータ２４８を同期させて駆
動し、第１スライドテーブル１４０と第２スライドテー
ブル２４０を前進させる（図６中上方向に移動させ
る）。このとき、第１スライドテーブル１４０は、第１
仕切板２３４Ａが設置された第１スライドプレート２２
６Ａと第２仕切板２３４Ｂが設置された第２スライドプ
レート２２６Ｂ、及び第３仕切板２３４Ｃが設置された
第３スライドプレート２２６Ｃを押しながら前進する。

【０１２３】前記第２スライドテーブル２４０が、所定
の仕切作業開始位置に到達すると（仕切作業開始位置に
到達したことは図示しないタッチセンサ等で検出す
る。）、制御装置は、第１送りモータ１４８と第２送り
モータ２４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル
１４０と第２スライドテーブル２４０の移動を停止させ
る。

【０１２４】これにより、第２スライドテーブル２４０
と各仕切板２３４Ａ〜２３４Ｃが設置されたスライドプ
レート２２６Ａ〜２２６Ｃは初期位置に復帰する。制御
装置は、各ピン挿入装置２５１Ａ〜２５１Ｃのピン挿入
用シリンダ２５４Ａ〜２５４Ｃを駆動して、各スライド
プレート２２６Ａ〜２２６Ｃに形成されている接続用ピ
ン穴２５５Ａ〜２５５Ｃに接続ピン２５３Ａ〜２５３Ｃ
を挿入し、各スライドプレート２２６Ａ〜２２６Ｃを接
続プレート２５０に接続して次の剥離作業のために待機
する。

【０１２５】また、制御装置は、前記第２スライドテー
ブル２４０を所定の仕切作業開始位置に復帰させると、
その後、第１送りモータ１４８のみを駆動して、第１ス
ライドテーブル１４０を後退させる（図６中下側の方向
に移動させる。）。前記第１スライドテーブル１４０
が、所定の剥離作業開始位置に到達すると（剥離作業開
始位置に到達したことは図示しないタッチセンサ等で検
出する。）、制御装置は、第１送りモータ１４８の駆動
を停止して、第１スライドテーブル１４０の移動を停止
させる。これにより、第１スライドテーブル１４０が初
期位置に復帰する。

【０１２６】以上により、１サイクルの剥離作業が終了
する。次に、搬送部３１０について説明する。既に上述
しているように、搬送部３１０は、ウェーハ剥離枚葉部
１００で剥離、枚葉したウェーハＷを受け取り、次の枚
葉洗浄部３５０に搬送する。そして、この搬送部３１０
には、シャトルコンベア３１２が備えられており、該シ
ャトルコンベア３１２によってウェーハＷを枚葉洗浄部
３５０に搬送する。

【０１２７】次に、枚葉洗浄部３５０について説明す
る。枚葉洗浄部３５０は、前記ウェーハ剥離枚葉部１０
０で剥離枚葉されたウェーハＷを一枚ずつ枚葉洗浄す
る。この枚葉洗浄部３５０は、枚葉ブラシ洗浄部３５２
と枚葉プレリンス部３５４と枚葉リンス部３５６とから
構成されている。前記枚葉ブラシ洗浄部３５２は、チャ
ンバー構造の洗浄槽を有しており（図示せず）、該洗浄
槽内には、図１９に示すように、一対の回転ブラシ３７
８、３７８と、洗浄液を流す一対の洗浄液ノズル３８
０、３８０と、ウェーハ搬送用のローラコンベア３８２
と、液切り用の一対のエアーナイフノズル３８４、３８
４が配設されている。

【０１２８】この枚葉ブラシ洗浄部３５２では、前記搬
送部３１０のシャトルコンベア３１２によって搬送され
てきたウェーハＷの裏表面に洗浄液ノズル３８０、３８
０から洗浄液をかけながら回転ブラシ３７８、３７８に
よってブラシ洗浄する。洗浄後は、洗浄液を次工程に持
ち込まないようにするために、エアーナイフノズル３８
４、３８４から圧縮エアを噴射して液切りする。そし
て、ブラシ洗浄が終了したウェーハＷは、ローラコンベ
ア３８２によって次工程の枚葉プレリンス部３５２に搬
送する。

【０１２９】前記枚葉プレリンス部３５４は、前記枚葉
ブラシ洗浄部３５２とほぼ同様の構成を有している。す
なわち、チャンバー構造の洗浄槽を有しており、該洗浄
槽内には、一対の回転ブラシと、プレリンス液（６０℃
の温水）を流す一対のプレリンス液ノズルと、ウェーハ
搬送用のローラコンベアと、液切り用の一対のエアーナ
イフノズルが配設されている（図１９参照）。

【０１３０】この枚葉プレリンス部３５４では、前記枚
葉ブラシ洗浄部３５２のローラコンベア３８２によって
搬送されてきたウェーハの裏表面にプレリンス液ノズル
からプレリンス液をかけながら回転ブラシによってブラ
シ洗浄する。洗浄後は、プレリンス液を次工程に持ち込
まないようにするために、エアーナイフノズルから圧縮
エアを噴射して液切りする。そして、ブラシ洗浄が終了
したウェーハＷは、ローラコンベアによって次工程の枚
葉リンス部に搬送する。

【０１３１】前記枚葉リンス部３５６も前記枚葉ブラシ
洗浄部３５２とほぼ同様の構成を有している。すなわ
ち、チャンバー構造の洗浄槽を有しており、該洗浄槽内
には、一対の回転ブラシと、リンス液（純水）を流す一
対のリンス液ノズルと、ウェーハ搬送用のローラコンベ
アと、液切り用の一対のエアーナイフノズル３８４が配
設されている（図１９参照）。

【０１３２】この枚葉リンス部３５６では、前記枚葉リ
ンス洗浄部のローラコンベアによって搬送されてきたウ
ェーハの裏表面にリンス液ノズルからリンス液をかけな
がら回転ブラシによってブラシ洗浄する。洗浄後は、リ
ンス液を次工程に持ち込まないようにするために、エア
ーナイフノズルから圧縮エアを噴射して液切りする。そ
して、ブラシ洗浄が終了したウェーハＷは、ローラコン
ベアによって次の検出部４００に搬送する。

【０１３３】次に、検出部４００について説明する。検
出部４００は、洗浄の終了したウェーハＷについて一枚
一枚、割れ、欠け、及び接着剤残りの有無を検出すると
ともに、一枚一枚厚さを測定する。この検出部４００
は、図２０に示すように、前記枚葉洗浄部３５０で洗浄
が終了したウェーハＷを所定の受取位置まで搬送するた
めの搬送ユニット４０２と、その受取位置に搬送されて
きたウェーハＷを所定の検出位置まで持ち上げて回転さ
せる回転駆動ユニット４０４と、回転駆動ユニット４０
４によって回転させられたウェーハＷの厚さを測定する
厚さ測定ユニット４０６と、回転駆動ユニット４０４に
よって回転させられたウェーハＷの割れ、欠け、接着剤
残りを検出する不良ウェーハ検出ユニット４０８と、検
出が終了したウェーハＷを次の回収部５００のウェーハ
搬送ロボットに受け渡すための受渡ユニット４１０とか
ら構成されている。

【０１３４】まず、搬送ユニット４０２について説明す
る。搬送ユニット４０２は、丸ベルトコンベア４１１を
備えており、該丸ベルトコンベア４１１は、前記枚葉洗
浄部３５０の終端部に連設されている。この丸ベルトコ
ンベア４１１の両側部には、一対のガイド部材４１１
ａ、４１１ａが配設されており、このガイド部材４１１
ａ、４１１ａによってウェーハＷが直進するようにガイ
ドされる。

【０１３５】また、この丸ベルトコンベア４１１の終端
位置には、図２１に示すように、５本の位置決めピン４
１２、４１２、…が円弧をなすように配設されており、
この位置決めピン４１２、４１２、…に丸ベルトコンベ
ア４１１によって搬送されてきたウェーハＷが当接する
ことにより、ウェーハＷが所定の受取位置に位置決めさ
れる。

【０１３６】また、この位置決めピン４１２、４１２…
にウェーハＷが当接すると、図示しないセンサが作動
し、このセンサが作動することにより、丸ベルトコンベ
ア４１１の駆動が停止される。次に、回転駆動ユニット
４０４について説明する。前記回転駆動ユニット４０４
は、図示しない支持フレームに設置されており、該支持
フレームには前記丸ベルトコンベア４１１に対して垂直
にベースプレート４１４が設置されている。このベース
プレート４１４には、一対のガイドレール４１６、４１
６が配設されており、該ガイドレール４１６、４１６上
をリニアガイド４１８、４１８を介して昇降テーブル４
２０がスライド自在に支持されている。

【０１３７】前記昇降テーブル４２０には、アーム４２
２が水平に固定されており、該アーム４２２の先端部に
は軸受ユニット４２４が設けられている。この軸受ユニ
ット４２４には、回転軸４２６が回動自在に支持されて
おり、該回転軸４２６の下端部には回転テーブル４２８
が固着されている。回転テーブル４２８には、同心円上
に３つの吸着パッド４３０、４３０、４３０（図２０に
は２つのみ図示）が等間隔に配設されており、該吸着パ
ッド４３０、４３０、４３０によってウェーハＷが吸着
保持される。

【０１３８】また、前記回転軸４２６の上端部には、従
動プーリ４３２が固着されており、該従動プーリ４３２
はベルト４３４を介して駆動プーリ４３６と連結されて
いる。この駆動プーリ４３６は、前記昇降テーブル４２
０にブラケット４３８を介して設置された回転駆動モー
タ４４０の出力軸に固着されており、この回転駆動モー
タ４４０を駆動することにより、前記回転軸４２６が回
転する。そして、この回転軸４２６が回転することによ
り、回転テーブル４２８が回転する。

【０１３９】前記ベースプレート４１４の背面部には、
支持部材４４２を介して昇降用シリンダ４４４が設置さ
れている。この昇降用シリンダ４４４のロッド先端部に
は前記昇降テーブル４２０の背面部に固着された連結部
材４４６が固着されており、この結果、昇降用シリンダ
４４４を駆動すると、昇降テーブル４２０が昇降移動す
る。そして、この昇降テーブル４２０が昇降移動するこ
とにより、回転テーブル４２８も同時に昇降移動する。

【０１４０】前記ベースプレート４１４の上端部には、
ブラケット４４８を介して高さ調整用シリンダ４５０が
設置されている。この高さ調整用シリンダ４５０のロッ
ド先端部には、ストッパー部材４５２が固着されてお
り、該ストッパー部材４５２は、前記高さ調整用シリン
ダ４５０を駆動することにより、その設置位置が変化す
る。一方、前記昇降テーブル４２０の上端部には、前記
ストッパー部材４５２に係合する係止板４５４が設けら
れており、前記昇降用シリンダ４４４に駆動されて上昇
した昇降テーブル４２０は、この係止板４５４が前記ス
トッパー部材４５２に当接することにより、所定位置で
停止する。

【０１４１】次に、厚さ測定ユニット４０６について説
明する。図２０に示すように、前記丸ベルトコンベア４
１１が設置された架台４００Ａには、支柱４５６が垂直
に立設されている。この支柱４５６には、所定の間隔Ｌ
をもって一対のレーザーセンサ４５８Ａ、４５８Ｂが設
置されており、該レーザーセンサ４５８Ａ、４５８Ｂは
ウェーハＷを挟んで互いに対向するように設置されてい
る。

【０１４２】前記レーザーセンサ４５８Ａ、４５８Ｂ
は、その検出面４５８ａ、４５８ｂに図示しないレーザ
ーの発振部と受光部とを備えており、発振部からウェー
ハＷに向けてレーザーを発振する。そして、ウェーハＷ
で反射したレーザーを受光部で受光し、この受光角度に
基づいてウェーハＷとの距離ｌ_A 、ｌ_B を検出する。各
レーザーセンサ４５８Ａ、４５８Ｂの検出値は、図示し
ない制御装置に出力され、該制御装置は、次のようにウ
ェーハＷの厚さを求める。すなわち、図２３に示すよう
に、レーザーセンサ４５８Ａ、４５８Ｂとの間隔は一定
であるので、各レーザーセンサ４５８Ａ、４５８Ｂの検
出値をｌ_A 、ｌ_B とすれば、ウェーハＷの厚さをｄは、
次式ｄ＝Ｌ−（ｌ_A ＋ｌ_B ）で算出することができる。

【０１４３】なお、レーザーセンサ４５８Ａ、４５８Ｂ
によるウェーハＷまでの距離の検出は、前記ウェーハ回
転駆動ユニット４０４によってウェーハを回転駆動させ
た状態で検出する。次に、不良ウェーハ検出ユニット４
０８について説明する。図２０及び図２３に示すよう
に、前記架台４００Ａには、所定の傾斜角度をもって支
持棒４６０が固定されている。この支持棒４６０の上端
部には、支持部材４６２を介して投光センサ４６４が設
けられており、下端部には支持部材４６６を介して受光
センサ４６８が設けられている。投光センサ４６４と受
光センサ４６８は、前記ウェーハＷの周縁を挟んで互い
に対向するように設置されており、投光センサ４６４か
ら投光された光が受光センサ４６８で受光される。

【０１４４】ここで、前記投光センサ４６４の投光面に
は、ウェーハＷの周縁と直交するようにして多数の投光
素子が直列して配置されている。前記受光センサ４６８
の受光面にも、ウェーハＷの周縁と直交するようにして
前記投光素子と同数の受光素子が直列して配置されてい
る。図示しない制御装置は、前記受光センサ４６８の受
光量の変化（投光素子から投光された光を受光した受光
素子の数の変化）を検出することによって、ウェーハＷ
に生じている割れ、欠け及び接着剤残りが生じているこ
とを検出する。

【０１４５】すなわち、ウェーハＷに割れや欠け、接着
剤残りというものが全く生じていない場合は、ウェーハ
Ｗを回転させても受光センサ４６８で受光される光の量
は変化しないが、図２４に示すように、ウェーハＷに割
れＡや欠けＢが生じている場合は、その割れた部分Ａ又
は欠けた部分Ｂが検出部Ｘを通過すると、ウェーハＷを
通過する光の量が増加するので受光量が増加する。した
がって、受光センサ４６８の受光量が増加したことを検
出すれば、ウェーハＷに割れＡ又は欠けＢが生じている
ことを検出することができる。

【０１４６】また、ウェーハＷに接着剤残りＣがある場
合は、その接着剤残りの部分Ｃが検出部Ｘを通過する
と、ウェーハＷを通過する光が遮られて減少するので受
光量が減少する。したがって、受光センサ４６８の受光
量が減少したことを検出すれば、ウェーハＷに接着剤残
りＣがあることを検出することができる。このように、
図示しない制御装置は、受光センサ４６８の受光量が増
加したことを検出することにより、ウェーハＷの割れ又
は欠けを検出し、受光量が減少したことを検出すること
により、ウェーハの接着剤残りを検出する。

【０１４７】次に、受渡ユニット４１０について説明す
る。図２１に示すように、前記丸ベルトコンベア４１１
から所定高さ上方の位置には、円弧状に形成された三つ
のウェーハ受け部材４７０、４７０、４７０が円を成す
ように配設されている。この三つのウェーハ受け部材４
７０、４７０、４７０は、それぞれスライドブロック４
７２、４７２、４７２に固定されており、該スライドブ
ロック４７２、４７２、４７２は、放射状に配設された
ガイドレール４７４、４７４、４７４上をスライド自在
に支持されている。各スライドブロック４７２は、図示
しない駆動手段に駆動されることによりガイドレール４
７４上を移動し、この結果、三つのウェーハ受け部材４
７０、４７０、４７０が拡縮する。

【０１４８】前記三つのウェーハ受け部材４７０、４７
０、４７０は、ウェーハＷの検出が終了すると縮径し、
この縮径したウェーハ受け部材４７０、４７０、４７０
上に検出の終了したウェーハＷが載置される。次の回収
部５００のウェーハ搬送ロボットは、このウェーハ受け
部材４７０、４７０、４７０上に載置されたウェーハＷ
を受け取り、回収カセットに回収する。

【０１４９】次に、前記のごとく構成された検出部４０
０の作用について説明する。枚葉洗浄部３５０で枚葉洗
浄が終了したウェーハＷは、そのまま検出部４００の丸
ベルトコンベア４１１上に移送され、該丸ベルトコンベ
ア４１０によって所定の受取位置に搬送される。この所
定の受取位置に搬送されたウェーハＷは、位置決めピン
４１２、４１２に当接することにより位置決めされ、こ
の受取位置にウェーハＷが搬送されると、図示しないセ
ンサが作動して丸ベルトコンベア４１１の駆動が停止さ
れる。

【０１５０】前記ウェーハＷが、所定の受取位置に搬送
されると、次いで、昇降用シリンダ４４４に駆動されて
回転テーブル４２８が、前記所定の受取位置に位置決め
されたウェーハＷに向かって下降する。この結果、回転
テーブル４２８に設けられた３つの吸着パッド４３０、
４３０、４３０がウェーハＷの上面に当接する。吸着パ
ッド４３０、４３０、４３０がウェーハＷの上面に当接
すると、昇降用シリンダ４４４の駆動は停止され、次い
で、吸着パッド４３０が駆動される。これにより、ウェ
ーハＷが吸着パッド４３０によって吸着保持される。

【０１５１】ウェーハＷが吸着パッド４３０に保持され
ると、次いで、昇降用シリンダ４４４が再び駆動され、
回転テーブル４２８が上昇する。そして、昇降テーブル
４１６の上端に取り付けられた係止板４５４がストッパ
ー部材４５２に当接すると、昇降用シリンダ４４４の駆
動は停止され、これにより、ウェーハＷが所定の検出位
置に位置決めされる。

【０１５２】ウェーハＷが所定の検出位置に位置決めさ
れると、次に、回転駆動モータ４４０が駆動されて回転
テーブル４２８が回転し、これにより、ウェーハＷが回
転する。これと同時に、厚さ測定ユニット４０６及び不
良ウェーハ検出ユニット４０８によってウェーハＷの厚
さ及び割れ、欠け、接着剤残りが検出される。検出が終
了すると、回転駆動モータ４４０の駆動は停止され、次
いで、受渡ユニット４１０の図示しない駆動手段が駆動
される。これにより、拡径状態にあったウェーハ受け部
材４７０、４７０、４７０が縮径し、前記回転テーブル
４２８に保持されたウェーハＷの下部に位置する。

【０１５３】前記ウェーハ受け部材４７０が回転テーブ
ル４２８に保持されたウェーハＷの下部に位置すると、
次いで、昇降用シリンダ４４４が駆動されて回転テーブ
ル４２８が下降する。この結果、回転テーブル４２８に
保持されたウェーハＷがウェーハ受け部材４７０上に載
置される。前記昇降用シリンダ４４４の駆動は、ウェー
ハＷがウェーハ受け部材４７０に載置されると停止し、
次いで吸着パッド４３０の駆動が停止される。これによ
り、回転テーブル４２８に保持されたウェーハＷが、ウ
ェーハ受け部材４７０上にウェーハＷが受け渡される。
そして、このウェーハ受け部材４７０上に受け渡された
ウェーハＷが、次の回収部５００のウェーハ搬送ロボッ
トに回収される。

【０１５４】なお、ウェーハＷを受け渡した回転テーブ
ル４２８は、昇降用シリンダ４４４に駆動されることに
より所定量上昇し、所定の待機位置に待機する。次に、
回収部５００について説明する。回収部５００は、前記
検出部４００で検出の終了したウェーハＷをウェーハＷ
の種類ごと分けてカセットに回収するとともに、接着剤
残りウェーハと不良ウェーハ（割れウェーハ、欠けウェ
ーハ、厚さ不良ウェーハ、端材）を分別して回収する。
この回収部５００は、正常なウェーハを回収する二つの
ウェーハ回収部５０２Ａ、５０２Ｂと、不良ウェーハを
回収する不良ウェーハ回収部５０４と、接着剤残りウェ
ーハを回収する接着剤残りウェーハ回収部５０６と、各
回収部にウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボット５０
８とから構成されている。

【０１５５】前記ウェーハ回収部５０２Ａ、５０２Ｂに
は、それぞれ上下二段式のカセットホルダーが備えられ
ている（図示せず）。このカセットホルダーは図示しな
いカセット位置決め機構によって昇降移動自在に支持さ
れており、ウェーハＷを回収するウェーハ回収カセット
５１０Ａ、５１０Ｂは、このカセットホルダーに二台ず
つセットされる。

【０１５６】前記不良ウェーハ回収部５０４及び前記接
着剤残りウェーハ回収部５０６も前記ウェーハ回収部５
０２Ａ、５０２Ｂと同様に、それぞれ図示しないカセッ
トホルダーを備えており、該カセットホルダーは、図示
しないカセット位置決め機構によって昇降移動自在に支
持されている。そして、このカセットホルダーに不良ウ
ェーハＷ_X を回収する不良ウェーハ回収カセット５１２
と、接着剤残りウェーハＷを回収する接着剤残りウェー
ハ回収カセット５１４がセットされる。

【０１５７】前記ウェーハ搬送ロボット５０８は、前記
検出部４００のウェーハ受け部材４７０、４７０、４７
０上に載置されたウェーハＷを受け取り、その検出部４
００の検出結果に基づいてウェーハＷを各回収部に搬送
する。このウェーハ搬送ロボット５０８は、多関節形の
ロボットであり、旋回自在な第１アーム５１６の先端
に、旋回自在な第２アーム５１８が設けられており、更
にその第２アーム５１８の先端に、旋回自在なハンド部
５２０が設けられて構成されている。そして、ウェーハ
Ｗは、そのハンド部５２０の先端に設けられた吸着パッ
ド５２２で吸着保持されて搬送される。

【０１５８】このウェーハ搬送ロボット５０８でウェー
ハＷを検出部４００からウェーハ回収部５０２Ａのウェ
ーハ回収カセット５１０Ａに搬送する場合は、次の通り
である。まず、前記ウェーハ受け部材４７０、４７０、
４７０上に載置されたウェーハＷの下側にハンド部５２
０の先端が移動し、そのウェーハＷの下面を吸着パッド
５２２が吸着保持する。この吸着パッド５２２がウェー
ハＷの下面を吸着保持すると、ウェーハ受け部材４７
０、４７０、４７０が拡径し、これによりウェーハＷが
ウェーハ受け部材４７０、４７０、４７０からハンド部
５２０に受け渡される。

【０１５９】ウェーハＷを受け取ったハンド部５２０
は、ウェーハ回収部５０２Ａに向かって移動し、そこに
セットされたウェーハ回収カセット５１０Ａに収納す
る。なお、ウェーハＷを回収するウェーハ回収カセット
５１０Ａ、５１０Ｂの内部は、多段の仕切が形成されて
おり、この仕切で仕切られた空間にウェーハＷが一枚一
枚収納される。他の不良ウェーハ回収カセット５１２及
び接着剤残りウェーハ回収カセット５１４も同様の構成
である。

【０１６０】また、ウェーハＷが一枚収納されると、図
示しないカセット位置決め機構が駆動されて、仕切一段
分ウェーハ回収カセット５１０Ａが上昇する。本実施の
形態のウェーハ剥離洗浄装置１は、以上のように構成さ
れる。なお、このウェーハ剥離洗浄装置１を構成する各
機器は、すべて図示しない制御装置に駆動制御されてお
り、この制御装置が出力する駆動信号に基づいて作動す
る。

【０１６１】次に、前記のごとく構成された本実施の形
態のウェーハ剥離洗浄装置１の作用について説明する。
ここで、本実施の形態のウェーハ剥離洗浄装置１は、通
常の切断方式（一回の切断に対して一本のインゴットの
みを切断する方式）で切断されたスライスドウェーハ
と、マルチ切断方式（一回の切断に対して種類の異なる
インゴットを同時に切断する方式）で切断されたスライ
スドウェーハの二つのスライスドウェーハの剥離、洗浄
を行うことができ、まず、通常の切断方式で切断された
スライスドウェーハの剥離、洗浄を行う場合について説
明する。

【０１６２】ワイヤソーで切断されたバッチ状態のウェ
ーハＷは、図示しない搬送装置によって本実施の形態の
ウェーハ剥離洗浄装置１まで搬送される。そして、この
ウェーハ剥離洗浄装置１に備えられた図示しないリフタ
ーに搭載される。リフターに搭載されたウェーハは、ま
ず、そのリフターによって粗洗浄部１０に搬送される。
そして、そこでシャワー洗浄され、切断時に付着したス
ラリが除去される。この粗洗浄部１０におけるシャワー
洗浄は、リフターに搭載されたまま行われ、シャワー洗
浄が終了すると、ウェーハは、ウェーハ剥離枚葉部１０
０に搬送される。

【０１６３】ウェーハ剥離枚葉部１００に搬送されたウ
ェーハＷは、まず、リフターに備えられた反転機構によ
って上下が反転させられたのち（ウェーハＷがマウンテ
ィングプレートＭに対して上側になるようにさせられた
のち）、熱水槽１１２のワーク保持部１２２にセットさ
れる。ワーク保持部１２２にセットされたウェーハＷ
は、剥離用吸着パット２００によって一枚ずつスライス
ベースＳから剥離され、剥離されたウェーハＷは、順
次、搬送部３１０のシャトルコンベア３１２に移送され
る。そして、このシャトルコンベア３１２によって枚葉
洗浄部３５０に搬送される。

【０１６４】枚葉洗浄部３５０に搬送されたウェーハＷ
は、まず、枚葉ブラシ洗浄部３５２において洗浄液をか
けられながらブラシ洗浄され、次いで、枚葉プレリンス
洗浄部３５４においてプレリンス液をかけられながらブ
ラシ洗浄される。そして、最後に枚葉リンス部３５６に
おいてリンス液をかけられながらブラシ洗浄される。前
記枚葉リンス部３５６でブラシ洗浄を終えたウェーハＷ
は、そのまま検出部４００の丸ベルトコンベア４１１上
に移載され、該丸ベルトコンベア４１１によって所定の
受渡位置まで搬送される。

【０１６５】受渡位置に搬送されたウェーハＷは、回転
テーブル４２８に備えられた吸着パッド４３０に吸着保
持されて、所定の検出位置まで持ち上げられ、回転させ
られる。そして、厚さ測定ユニット４０６によって厚さ
を測定されるとともに、不良ウェーハ検出ユニット４０
８によって割れ、欠け、接着剤残りを検出される。検出
が終了すると、ウェーハＷは、ウェーハ受け部材４７０
に受け渡され、このウェーハ受け部材４７０に受け渡さ
れたウェーハＷを回収部５００のウェーハ搬送ロボット
５０８が受け取り、各回収部５０２、５０４、５０６の
カセットに収納する。

【０１６６】ここで、制御装置は、前記検出部４００の
厚さ測定ユニット４０６及び不良ウェーハ検出ユニット
４０８の検出結果に基づいて、ウェーハＷを各回収部５
０２、５０４、５０６のカセットに収納する。すなわ
ち、前記厚さ測定ユニット４０６及び不良ウェーハ検出
ユニット４０８の検出の結果、正常なウェーハＷである
場合は、ウェーハ回収部５０２Ａにセットされた上段の
ウェーハ回収カセット５１０Ａに収納し、厚さ不良、割
れ、欠け等が生じている不良ウェーハＷ_X の場合は、不
良ウェーハ回収部５０４にセットされた不良ウェーハ回
収カセット５１２に収納する。そして、接着剤残りを生
じているウェーハＷ_y の場合は、接着剤残りウェーハ回
収部５０６にセットされた接着剤残りウェーハ回収カセ
ット５１４に収納する（但し、正常なウェーハＷである
場合は、上段のウェーハ回収カセット５１０Ａが一杯に
なり次第、ウェーハ回収部５０２Ａにセットされた下段
のウェーハ回収カセット５１０Ａに収納し、下段のウェ
ーハ回収カセット５１０Ａが一杯になり次第、ウェーハ
回収部５０２Ｂにセットされた上段のウェーハ回収カセ
ット５１０Ｂに収納する。）。

【０１６７】上記の作業をスライスベースＳから剥離し
たウェーハＷ一枚一枚に対して行い、全てのウェーハＷ
がカセットに収納された時点で作業が終了する。終了
後、各装置は、始動前の状態に復帰する。このように、
本実施の形態のウェーハ剥離洗浄装置では、剥離洗浄し
たウェーハＷの厚さ、割れ、欠け、及び接着剤残りを検
出する検出部４００を備えたことにより、この検出部４
００の検出結果に基づいてウェーハＷを分別して回収す
ることができる。これにより、剥離洗浄後にウェーハを
別途検出装置に搬送して検出する必要がなくなるので、
ウェーハの製造効率が向上する。

【０１６８】次に、本実施の形態のウェーハ剥離洗浄装
置１を用いてマルチ切断方式によって切断されたウェー
ハの剥離、洗浄を行う場合について説明する。マルチ切
断方式によって切断されたウェーハは、ウェーハの種類
ごとに回収する必要があるので、次のように処理され
る。なお、ウェーハ剥離枚葉部１００に搬送されるまで
の工程は、上述した通常の切断方式によって切断された
ウェーハと同じである。

【０１６９】マルチ切断されたウェーハＷａ〜Ｗｃが、
ウェーハ剥離枚葉部１００のワーク保持部１２２にセッ
トされると、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に仕切板
２３４Ａ〜２３４Ｃがセットされる。そして、この仕切
板２３４Ａ〜２３４Ｃのセットされたところで、剥離用
吸着パッド２００による剥離作業が開始される。剥離作
業は、まず、第１ロットのウェーハＷａから行われ、剥
離されたウェーハＷａは、順次、搬送部３１０のシャト
ルコンベア３１２上に移送される。

【０１７０】シャトルコンベア３１２に移送されたウェ
ーハＷａは、前記同様に枚葉洗浄部３５０で枚葉洗浄さ
れたのち、検出部４００で厚さ測定、及び、割れ、欠
け、接着剤残りの検出をされ、その検出結果に基づい
て、各回収部の回収カセットに収納される。このとき、
正常なウェーハＷａである場合は、ウェーハ回収部５０
２Ａにセットされた上段のウェーハ回収カセット５１０
Ａに収納される。

【０１７１】第１ロットのウェーハＷａの剥離が全て終
了すると、第１ロットと第２ロット間に挿入された第１
仕切板２３４Ａが検出される。この第１仕切板２３４Ａ
が検出されると、制御装置は、以後剥離されるウェーハ
は、第２ロットのウェーハＷｂと判断して、次のように
ウェーハＷｂの回収を行う。すなわち、厚さ不良等を生
じている不良ウェーハＷ_X や、接着剤残りを生じている
ウェーハＷ_y の場合は、前記同様、それぞれ不良ウェー
ハ回収カセット５１２又は接着剤残りウェーハ回収カセ
ット５１４に収納するが、正常なウェーハＷｂである場
合は、ウェーハ回収部５０２Ａにセットされている下段
のウェーハ回収カセット５１０Ａに収納する。

【０１７２】これにより、ロットごとにウェーハを分別
することができ、種類の異なるウェーハを混入させるこ
となくウェーハを回収することができる。また、第２ロ
ットのウェーハＷａの剥離が全て終了すると、第２ロッ
トと第３ロット間に挿入された第２仕切板２３４Ｂが検
出されるので、制御装置は、この第２仕切板２３４Ｂを
検出すると、以後剥離されるウェーハは、第３ロットの
ウェーハＷｃと判断して、次のようにウェーハＷｃの回
収を行う。すなわち、前記同様厚さ不良等を生じている
不良ウェーハＷ_X や、接着剤残りを生じているウェーハ
Ｗ_y の場合は、それぞれ不良ウェーハ回収カセット５１
２又は接着剤残りウェーハ回収カセット５１４に収納す
るが、正常なウェーハＷｃである場合は、ウェーハ回収
部５０２Ｂにセットされている上段のウェーハ回収カセ
ット５１０Ｂに収納する。

【０１７３】このように、本実施の形態のウェーハ剥離
洗浄装置１では、マルチ切断されたウェーハＷａ〜Ｗｃ
に対して、ロットごとにウェーハを分別して回収するこ
とができるので、種類の異なるウェーハを混入させるこ
となく回収することができる。また、この場合であって
も、割れ、欠け等の発生した不良ウェーハＷ_X と、接着
剤残りを生じている接着剤残りウェーハＷ_y とを分別し
て回収することができるので、剥離洗浄後に別途検出装
置に搬送して検出する必要がなくなり、ウェーハの製造
効率が向上する。

【０１７４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
剥離洗浄したウェーハの厚さ、割れ、欠け、及び接着剤
残りを検出する検出部を備えたことにより、この検出部
の検出結果に基づいてウェーハを分別して回収すること
ができる。これにより、剥離洗浄後にウェーハを別途検
出装置に搬送して検出する必要がなくなるので、ウェー
ハの製造効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウェーハ剥離洗浄装置の全体構成を示す平面図

【図２】粗洗浄装置の構成を示す正面図

【図３】粗洗浄装置の構成を示す平面図

【図４】図３のＡ−Ａ断面図

【図５】図３のＢ−Ｂ断面図

【図６】ウェーハ剥離枚葉部の構成を示す平面図

【図７】ウェーハ剥離枚葉部の構成を示す正面図

【図８】剥離装置の構成を示す平面図

【図９】剥離装置の構成を示す正面図

【図１０】剥離装置の構成を示す側面図

【図１１】仕切ユニットの構成を示す平面図

【図１２】仕切ユニットの構成を示す正面図

【図１３】仕切装置の構成を示す正面図

【図１４】仕切装置の作用の説明図

【図１５】受渡装置の構成を示す正面図

【図１６】受渡装置の構成を示す側面部分断面図

【図１７】受渡装置の構成を示す平面部分断面図

【図１８】ウェーハ剥離枚葉部の要部の構成を示す平面
図

【図１９】枚葉洗浄部の構成を示す側面図

【図２０】検出部の構成を示す側面図

【図２１】搬送ユニットの構成を示す平面図

【図２２】不良ウェーハ検出ユニットの構成を示す正面
図

【図２３】厚さ測定ユニットの作用の説明図

【図２４】不良ウェーハ検出ユニットの作用の説明図

【図２５】回収部の構成を示す平面図

【符号の説明】

１…ウェーハ剥離洗浄装置 １０…粗洗浄部 １２…粗洗浄装置 １４…洗浄槽 １００…ウェーハ剥離枚葉部 １１２…熱水槽 １１４…剥離装置 １１６…仕切装置 １１８…受渡装置 ３１０…搬送部 ３１２…シャトルコンベア ３５０…枚葉洗浄部 ３５２…枚葉ブラシ洗浄部 ３５４…枚葉プレリンス部 ３５６…枚葉リンス部 ４００…検出部 ４０２…搬送ユニット ４０４…回転駆動ユニット ４０６…厚さ測定ユニット ４０８…不良ウェーハ検出ユニット ４１０受渡ユニット ５００…回収部 ５０２Ａ、５０２Ｂ…ウェーハ回収部 ５０４…不良ウェーハ回収部 ５０６…接着剤残りウェーハ回収部５０６ ５０８…ウェーハ搬送ロボット

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 切断機で多数枚同時に切断されたバッチ
   状態のウェーハをウェーハ剥離枚葉部において一枚ずつ
   スライスベースから剥離して枚葉化したのち、そのスラ
   イスベースから剥離したウェーハを一枚ずつ枚葉洗浄部
   に搬送して枚葉洗浄し、洗浄後、回収部で一枚ずつカセ
   ットに回収するウェーハ剥離洗浄装置において、 前記枚葉洗浄部で洗浄されたウェーハの厚さ、割れ、欠
   け及び接着剤残りを検出する検出部を設け、該検出部で
   厚さ、割れ、欠け及び接着剤残りを検出したのち回収部
   で一枚ずつカセットに回収することを特徴とするウェー
   ハ剥離洗浄装置。
2. 【請求項２】 直列して配置された複数のインゴットを
   切断機で多数枚同時に切断して得られたバッチ状態のウ
   ェーハをウェーハ剥離枚葉部において各ロット毎に一枚
   ずつスライスベースから剥離して枚葉化したのち、その
   スライスベースから剥離したウェーハを一枚ずつ枚葉洗
   浄部に搬送して枚葉洗浄し、洗浄後、回収部で一枚ずつ
   各ロット毎にカセットを分けて回収するウェーハ剥離洗
   浄装置において、 前記枚葉洗浄部で洗浄されたウェーハの厚さ、割れ、欠
   け及び接着剤残りを検出する検出部を設け、該検出部で
   厚さ、割れ、欠け及び接着剤残りを検出したのち回収部
   で一枚ずつ各ロット毎にカセットを分けて回収すること
   を特徴とするウェーハ剥離洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記検出部は、 ウェーハの中心を吸着保持して回転させる回転駆動手段
   と、 前記回転駆動手段で回転させられるウェーハを挟むよう
   に設置され、互いにウェーハまでの距離を測定する一対
   の測距離手段と、 前記回転駆動手段で回転させられるウェーハのエッジ部
   に向けて垂直に光を投光する投光手段と、 前記回転駆動手段で回転させられるウェーハを挟んで前
   記投光手段と対向するように設置され、前記投光手段で
   投光された光を受光する受光手段と、 前記一対の測距離手段の測定結果に基づいて前記ウェー
   ハの厚さを算出するとともに、前記受光手段で受光され
   る光の受光量の変化に基づいてウェーハの欠け及び接着
   剤残りを検出する制御手段と、 からなることを特徴とする請求項１又は２記載のウェー
   ハ剥離洗浄装置。
4. 【請求項４】 前記回収部は、 正常なウェーハを回収するウェーハ回収部と、 割れウェーハ、欠けウェーハ、厚さ不良ウェーハを回収
   する不良ウェーハ回収部と、 接着剤残りウェーハを回収する接着剤残りウェーハ回収
   部と、からなり、前記検出部の検出結果に基づいてウェ
   ーハを各回収部に回収することを特徴とする請求項１又
   は２記載のウェーハ剥離洗浄装置。