JPH1128661A - 研磨方法及び研磨装置 - Google Patents
研磨方法及び研磨装置Info
- Publication number
- JPH1128661A JPH1128661A JP20076597A JP20076597A JPH1128661A JP H1128661 A JPH1128661 A JP H1128661A JP 20076597 A JP20076597 A JP 20076597A JP 20076597 A JP20076597 A JP 20076597A JP H1128661 A JPH1128661 A JP H1128661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- abrasive
- carrier
- carriers
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 矩形の板ガラスを研磨欠陥を生じず高精度の
平坦面に効率よく研磨できる研磨方法及び研磨装置を提
供する。 【解決手段】 本発明は、複数のキャリヤ１のそれぞれ
の保持孔２に板ガラス５を嵌合保持して回転する上定盤
８と下定盤９の間に挟み、上定盤８と下定盤９の間に研
磨剤１１を供給しながら該キャリヤ１を自転させつつ公
転させて板ガラス５の表裏面を研磨する際に、前記キャ
リヤ１の保持孔２の周辺面１ａ内に貫通孔３を設け、そ
の貫通孔３に研磨剤１１を流入させることを特徴とす
る。
平坦面に効率よく研磨できる研磨方法及び研磨装置を提
供する。 【解決手段】 本発明は、複数のキャリヤ１のそれぞれ
の保持孔２に板ガラス５を嵌合保持して回転する上定盤
８と下定盤９の間に挟み、上定盤８と下定盤９の間に研
磨剤１１を供給しながら該キャリヤ１を自転させつつ公
転させて板ガラス５の表裏面を研磨する際に、前記キャ
リヤ１の保持孔２の周辺面１ａ内に貫通孔３を設け、そ
の貫通孔３に研磨剤１１を流入させることを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板ガラスの両面を
同時に研磨する研磨方法及び研磨装置に関する。
同時に研磨する研磨方法及び研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶ディスプレイ、エレクトロル
ミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイなど
の平面ディスプレイには、矩形で厚さ０．５〜１．５ｍ
ｍの薄い板ガラスが用いられており、この板ガラスに
は、高精度の平坦性が要求される。
ミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイなど
の平面ディスプレイには、矩形で厚さ０．５〜１．５ｍ
ｍの薄い板ガラスが用いられており、この板ガラスに
は、高精度の平坦性が要求される。
【０００３】周知の工業的な成形法により製造された板
ガラスには、表面に微小な欠陥、うねり、凹凸が存在
し、そのままでは平面ディスプレイに使用できる平坦性
を有していないため、成形された板ガラスは、その表面
を研磨装置を用いて所望の高精度な平坦性を有するよう
に研磨される。
ガラスには、表面に微小な欠陥、うねり、凹凸が存在
し、そのままでは平面ディスプレイに使用できる平坦性
を有していないため、成形された板ガラスは、その表面
を研磨装置を用いて所望の高精度な平坦性を有するよう
に研磨される。
【０００４】図４に示す従来の研磨装置では、キャリヤ
１の保持孔２内に板ガラス５が嵌合保持され、そのキャ
リヤ１が、太陽歯車６と内歯車７との間に歯４を噛合し
て配設され、研磨剤供給手段１０から上定盤８に設けた
供給孔８ａを通じてスラリー状の研磨材１１が供給さ
れ、キャリヤ１が太陽歯車６の周りを遊星回動されて保
持孔２内に嵌合保持された板ガラス５の両面をそれぞれ
回転駆動される上下の定盤８、９に張り付けられた研磨
パッド８ｂ、９ｂによって同時に研磨するようになって
いる。従来、このような研磨装置で使用されているキャ
リヤ１は、図５に示すように、略円盤状を呈し、外周に
太陽歯車６と内歯車７に噛合する歯車の歯４が付設され
ており、板ガラス５を嵌合して保持するための矩形の保
持孔２を有している。
１の保持孔２内に板ガラス５が嵌合保持され、そのキャ
リヤ１が、太陽歯車６と内歯車７との間に歯４を噛合し
て配設され、研磨剤供給手段１０から上定盤８に設けた
供給孔８ａを通じてスラリー状の研磨材１１が供給さ
れ、キャリヤ１が太陽歯車６の周りを遊星回動されて保
持孔２内に嵌合保持された板ガラス５の両面をそれぞれ
回転駆動される上下の定盤８、９に張り付けられた研磨
パッド８ｂ、９ｂによって同時に研磨するようになって
いる。従来、このような研磨装置で使用されているキャ
リヤ１は、図５に示すように、略円盤状を呈し、外周に
太陽歯車６と内歯車７に噛合する歯車の歯４が付設され
ており、板ガラス５を嵌合して保持するための矩形の保
持孔２を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年に
おける平面ディスプレイの大型化に伴い、板ガラス５が
大板化してきており、研磨に対して高い効率が要求され
る。そこで、研磨能力を向上させるため、太陽歯車６と
内歯車７との間にキャリヤ１を数多く配設して両面研磨
を行った場合、キャリヤ１同志の隙間が小さくなり、研
磨の際に、下定盤９上のキャリヤ１同志の隙間が小さい
軌道部位９ａは、殆どの時間キャリヤ１及び板ガラス５
により覆われることになる。そのため、軌道部位９ａ上
を常に運行する板ガラス５の下面の部分は、上定盤９か
らの研磨剤１１の供給量が極めて少ないので研磨されず
に肉厚が厚いままとなり、厚さ不良となる。この他の部
分より肉厚が厚い部分に研磨パッド９ｂが集中的に当接
して研磨スリークと呼ばれる研磨欠陥が生じ、遂には板
ガラス５の破損に到る問題がある。
おける平面ディスプレイの大型化に伴い、板ガラス５が
大板化してきており、研磨に対して高い効率が要求され
る。そこで、研磨能力を向上させるため、太陽歯車６と
内歯車７との間にキャリヤ１を数多く配設して両面研磨
を行った場合、キャリヤ１同志の隙間が小さくなり、研
磨の際に、下定盤９上のキャリヤ１同志の隙間が小さい
軌道部位９ａは、殆どの時間キャリヤ１及び板ガラス５
により覆われることになる。そのため、軌道部位９ａ上
を常に運行する板ガラス５の下面の部分は、上定盤９か
らの研磨剤１１の供給量が極めて少ないので研磨されず
に肉厚が厚いままとなり、厚さ不良となる。この他の部
分より肉厚が厚い部分に研磨パッド９ｂが集中的に当接
して研磨スリークと呼ばれる研磨欠陥が生じ、遂には板
ガラス５の破損に到る問題がある。
【０００６】また、下定盤９の軌道部位９ａ上には、研
磨剤１１の供給量が極めて少なくなることにより、軌道
部位９ａの研磨パッド９ｂの温度が部分的に上昇してヤ
ケと呼ばれる現象が生じ、その部分だけが著しく損傷す
るので、すぐに研磨パッド９ｂの交換が必要となり、研
磨装置の稼働率が低下する問題がある。
磨剤１１の供給量が極めて少なくなることにより、軌道
部位９ａの研磨パッド９ｂの温度が部分的に上昇してヤ
ケと呼ばれる現象が生じ、その部分だけが著しく損傷す
るので、すぐに研磨パッド９ｂの交換が必要となり、研
磨装置の稼働率が低下する問題がある。
【０００７】本発明は、以上のような従来の問題点を解
決し、研磨スリーク等の研磨欠陥を生じず板ガラスを高
精度の平坦面に高効率で研磨できる研磨方法及び研磨装
置を提供することを目的とする。
決し、研磨スリーク等の研磨欠陥を生じず板ガラスを高
精度の平坦面に高効率で研磨できる研磨方法及び研磨装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る研磨方法
は、複数のキャリヤのそれぞれの保持孔に板ガラスを嵌
合保持して回転する上定盤と下定盤の間に挟み、上定盤
と下定盤の間に研磨剤を供給しながら該キャリヤを自転
させつつ公転させて板ガラスの表裏面を研磨する研磨方
法において、前記キャリヤの保持孔の周辺面内に設けた
貫通孔に研磨剤を流入させることを特徴とする。
は、複数のキャリヤのそれぞれの保持孔に板ガラスを嵌
合保持して回転する上定盤と下定盤の間に挟み、上定盤
と下定盤の間に研磨剤を供給しながら該キャリヤを自転
させつつ公転させて板ガラスの表裏面を研磨する研磨方
法において、前記キャリヤの保持孔の周辺面内に設けた
貫通孔に研磨剤を流入させることを特徴とする。
【０００９】また、本発明に係る研磨装置は、板ガラス
を嵌合保持する保持孔を有する複数のキャリヤと、該キ
ャリヤを自転させつつ公転させる遊星回転機構と、この
キャリヤを挟んで上下に対向してそれぞれ回転駆動され
る上定盤及び下定盤と、研磨剤を上定盤と下定盤の間に
供給する研磨剤供給手段とを備え、前記キャリヤの保持
孔の周辺面内に研磨剤が流入する貫通孔を設けたことを
特徴とする。
を嵌合保持する保持孔を有する複数のキャリヤと、該キ
ャリヤを自転させつつ公転させる遊星回転機構と、この
キャリヤを挟んで上下に対向してそれぞれ回転駆動され
る上定盤及び下定盤と、研磨剤を上定盤と下定盤の間に
供給する研磨剤供給手段とを備え、前記キャリヤの保持
孔の周辺面内に研磨剤が流入する貫通孔を設けたことを
特徴とする。
【００１０】キャリヤには、保持孔の周辺面内に貫通孔
が設けてあり、その貫通孔は、上定盤と下定盤に当接す
る板ガラスの研磨面に研磨不足の部分が残らない量の研
磨剤が潤沢に供給される寸法形状に設けてあり、また、
キャリヤ自体の強度を損なわないように、適度な寸法形
状のものを保持孔の周辺面内の適所に分散させて設けて
ある。キャリヤの材料としては、ステンレス綱や鉄系合
金等の薄い金属材料、布入りベークライト、グラスエポ
キシ等のプラスチック複合材料等が使用可能である。
が設けてあり、その貫通孔は、上定盤と下定盤に当接す
る板ガラスの研磨面に研磨不足の部分が残らない量の研
磨剤が潤沢に供給される寸法形状に設けてあり、また、
キャリヤ自体の強度を損なわないように、適度な寸法形
状のものを保持孔の周辺面内の適所に分散させて設けて
ある。キャリヤの材料としては、ステンレス綱や鉄系合
金等の薄い金属材料、布入りベークライト、グラスエポ
キシ等のプラスチック複合材料等が使用可能である。
【００１１】
【作用】本発明に係る研磨方法及び研磨装置によれば、
キャリヤの保持孔の周辺面内に研磨剤が流入する貫通孔
が設けられており、その貫通孔に研磨剤が流入するの
で、上定盤と下定盤に当接する板ガラスの研磨面の全体
に研磨剤が潤沢に供給され、上定盤と下定盤の間にキャ
リヤを数多く配設してキャリヤに保持した板ガラスの両
面を研磨した場合でも、板ガラスの研磨面に研磨スリー
ク等の研磨欠陥を生じず均一な厚さに研磨でき、研磨パ
ッドにヤケが生じなくなる。
キャリヤの保持孔の周辺面内に研磨剤が流入する貫通孔
が設けられており、その貫通孔に研磨剤が流入するの
で、上定盤と下定盤に当接する板ガラスの研磨面の全体
に研磨剤が潤沢に供給され、上定盤と下定盤の間にキャ
リヤを数多く配設してキャリヤに保持した板ガラスの両
面を研磨した場合でも、板ガラスの研磨面に研磨スリー
ク等の研磨欠陥を生じず均一な厚さに研磨でき、研磨パ
ッドにヤケが生じなくなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】先ず、本発明の研磨装置について
説明する。図１〜図３は、本発明に係る研磨装置の説明
図であって、１はキャリヤを、２は保持孔を、３は貫通
孔を、４はキャリヤの周縁に付設された歯車の歯を、５
は矩形の薄い板ガラスを、６は太陽歯車を、７は内歯車
を、８は上定盤を、９は下定盤を、１０は研磨剤供給手
段を、１１は研磨剤をそれぞれ示している。
説明する。図１〜図３は、本発明に係る研磨装置の説明
図であって、１はキャリヤを、２は保持孔を、３は貫通
孔を、４はキャリヤの周縁に付設された歯車の歯を、５
は矩形の薄い板ガラスを、６は太陽歯車を、７は内歯車
を、８は上定盤を、９は下定盤を、１０は研磨剤供給手
段を、１１は研磨剤をそれぞれ示している。
【００１３】本発明の研磨装置では、図１に示すよう
に、キャリヤ１は、布入りベークライトからなり、略円
盤状を呈し、その中に板ガラス５を嵌合保持する矩形の
保持部２が設けられており、保持孔２の周辺面１ａ内に
キャリヤ１の実用強度を考慮して研磨剤１１が流入する
大小複数の貫通孔３が分散して設けてある。キャリヤ１
の外周に、歯車の歯４が付設されている。この複数のキ
ャリヤ１は、図２に示すように、遊星回転機構の太陽歯
車６と内歯車７との間にその歯４が噛合されてキャリヤ
１同志の隙間が小さい密な状態に配設され、太陽歯車６
の周りを自転しつつ公転するようになっている。
に、キャリヤ１は、布入りベークライトからなり、略円
盤状を呈し、その中に板ガラス５を嵌合保持する矩形の
保持部２が設けられており、保持孔２の周辺面１ａ内に
キャリヤ１の実用強度を考慮して研磨剤１１が流入する
大小複数の貫通孔３が分散して設けてある。キャリヤ１
の外周に、歯車の歯４が付設されている。この複数のキ
ャリヤ１は、図２に示すように、遊星回転機構の太陽歯
車６と内歯車７との間にその歯４が噛合されてキャリヤ
１同志の隙間が小さい密な状態に配設され、太陽歯車６
の周りを自転しつつ公転するようになっている。
【００１４】上定盤８及び下定盤９は、図３に示すよう
に、保持部２に板ガラス５を嵌合保持し、その歯４が太
陽歯車６と内歯車７とに歯合されたキャリヤ１を挟んで
上下に対向してそれぞれ回転駆動される。研磨剤供給手
段１０は、研磨剤１１を上定盤８と下定盤９の間に供給
するものである。キャリヤ１は、太陽歯車６の周りを遊
星回動されながら、その保持孔２内に嵌合保持した板ガ
ラス５の両面を上下の定盤８、９に張り付けられた研磨
パッド８ｂ、９ｂおよび研磨剤１１によって研磨するよ
うになっている。
に、保持部２に板ガラス５を嵌合保持し、その歯４が太
陽歯車６と内歯車７とに歯合されたキャリヤ１を挟んで
上下に対向してそれぞれ回転駆動される。研磨剤供給手
段１０は、研磨剤１１を上定盤８と下定盤９の間に供給
するものである。キャリヤ１は、太陽歯車６の周りを遊
星回動されながら、その保持孔２内に嵌合保持した板ガ
ラス５の両面を上下の定盤８、９に張り付けられた研磨
パッド８ｂ、９ｂおよび研磨剤１１によって研磨するよ
うになっている。
【００１５】次に、上記研磨装置を用いて本発明の研磨
方法を説明する。本発明の研磨方法は、図２及び図３に
示すように、歯４を太陽歯車６と内歯車７とに歯合させ
て下定盤９に張り付けた研磨パッド９ｂ上に載置した複
数のキャリヤ１のそれぞれの保持孔２に板ガラス５を嵌
合保持し、それらの上に研磨パッド８ｂを張り付けた上
定盤８を下ろして上定盤８と下定盤９の間に前記板ガラ
ス５及びキャリヤ１を挟み、研磨剤供給手段１０から上
定盤８に設けた供給孔８ａを通じて上定盤８と下定盤９
の間にスラリー状の研磨剤１１を供給し、同時に、キャ
リヤ１の保持孔２の周辺面内１ａに設けた貫通孔３に研
磨剤１１を流入させながら、上定盤８と下定盤９をそれ
ぞれ回転駆動すると共に、内歯車７に対して太陽歯車６
を回転駆動して該キャリヤ１を自転させつつ公転させて
板ガラス５の表裏面を上定盤８と下定盤９に張り付けた
それぞれの研磨パッド８ｂ、９ｂにより研磨する。
方法を説明する。本発明の研磨方法は、図２及び図３に
示すように、歯４を太陽歯車６と内歯車７とに歯合させ
て下定盤９に張り付けた研磨パッド９ｂ上に載置した複
数のキャリヤ１のそれぞれの保持孔２に板ガラス５を嵌
合保持し、それらの上に研磨パッド８ｂを張り付けた上
定盤８を下ろして上定盤８と下定盤９の間に前記板ガラ
ス５及びキャリヤ１を挟み、研磨剤供給手段１０から上
定盤８に設けた供給孔８ａを通じて上定盤８と下定盤９
の間にスラリー状の研磨剤１１を供給し、同時に、キャ
リヤ１の保持孔２の周辺面内１ａに設けた貫通孔３に研
磨剤１１を流入させながら、上定盤８と下定盤９をそれ
ぞれ回転駆動すると共に、内歯車７に対して太陽歯車６
を回転駆動して該キャリヤ１を自転させつつ公転させて
板ガラス５の表裏面を上定盤８と下定盤９に張り付けた
それぞれの研磨パッド８ｂ、９ｂにより研磨する。
【００１６】この研磨の際、キャリヤ１の貫通孔３に研
磨剤１１が流入するので、板ガラス５と下定盤９との間
の軌道部位９ａにも十分な量の研磨剤１１が供給され、
板ガラス５の下面を均一な平坦面に研磨できると共に、
研磨定盤９の研磨パッド９ｂにヤケが生じないようにな
る。
磨剤１１が流入するので、板ガラス５と下定盤９との間
の軌道部位９ａにも十分な量の研磨剤１１が供給され、
板ガラス５の下面を均一な平坦面に研磨できると共に、
研磨定盤９の研磨パッド９ｂにヤケが生じないようにな
る。
【００１７】上記のように、貫通孔３を設けた上記キャ
リヤ１を使用することにより、太陽歯車６と内歯車７と
の間にキャリヤ１を数多く取り付けて両面研磨を行った
場合でも、研磨面に研磨スリーク等の研磨欠陥を生じず
板ガラス５を均一な厚さに研磨ができるようになった。
リヤ１を使用することにより、太陽歯車６と内歯車７と
の間にキャリヤ１を数多く取り付けて両面研磨を行った
場合でも、研磨面に研磨スリーク等の研磨欠陥を生じず
板ガラス５を均一な厚さに研磨ができるようになった。
【００１８】
【発明の効果】本発明の研磨方法及び研磨装置によれ
ば、研磨面に研磨欠陥を生じず板ガラスの両面を高精度
の平坦面に高効率で研磨できる実用上優れた効果を奏す
るものである。
ば、研磨面に研磨欠陥を生じず板ガラスの両面を高精度
の平坦面に高効率で研磨できる実用上優れた効果を奏す
るものである。
【図１】本発明の研磨装置に用いるキャリヤの説明図
【図２】本発明の研磨方法の一形態の説明図
【図３】本発明の研磨装置の要部断面図
【図４】従来の研磨装置の要部断面図
【図５】従来の研磨装置の説明図
１ キャリヤ ２ 保持部 ３ 貫通孔 ４ 歯 ５ 板ガラス ６ 太陽歯車 ７ 内歯車 ８ 上定盤 ９ 下定盤 １０ 研磨剤
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のキャリヤのそれぞれの保持孔に板
ガラスを嵌合保持して回転する上定盤と下定盤の間に挟
み、上定盤と下定盤の間に研磨剤を供給しながら該キャ
リヤを自転させつつ公転させて板ガラスの表裏面を研磨
する研磨方法において、前記キャリヤの保持孔の周辺面
内に設けた貫通孔に研磨剤を流入させることを特徴とす
る研磨方法。 - 【請求項２】 板ガラスを嵌合保持する保持孔を有する
複数のキャリヤと、該キャリヤを自転させつつ公転させ
る遊星回転機構と、このキャリヤを挟んで上下に対向し
てそれぞれ回転駆動される上定盤及び下定盤と、研磨剤
を上定盤と下定盤の間に供給する研磨剤供給手段とを備
え、前記キャリヤの保持孔の周辺面内に研磨剤が流入す
る貫通孔を設けたことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20076597A JPH1128661A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 研磨方法及び研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20076597A JPH1128661A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 研磨方法及び研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1128661A true JPH1128661A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16429807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20076597A Pending JPH1128661A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 研磨方法及び研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1128661A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000035630A1 (fr) * | 1998-12-14 | 2000-06-22 | Seiko Epson Corporation | Support de polissage, dispositif de polissage de surface et procede de polissage de surface |
| JP2009190159A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | キャリア及びウエハ研磨装置 |
| KR101261238B1 (ko) | 2011-08-31 | 2013-05-07 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 반도체 기판의 래핑 장치 및 이를 이용한 반도체 기판의 래핑 방법 |
| JP2014039998A (ja) * | 2013-09-27 | 2014-03-06 | Hoya Corp | 研磨装置 |
| JP2014073573A (ja) * | 2013-10-23 | 2014-04-24 | Hoya Corp | 研磨装置 |
-
1997
- 1997-07-09 JP JP20076597A patent/JPH1128661A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000035630A1 (fr) * | 1998-12-14 | 2000-06-22 | Seiko Epson Corporation | Support de polissage, dispositif de polissage de surface et procede de polissage de surface |
| JP2009190159A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | キャリア及びウエハ研磨装置 |
| KR101261238B1 (ko) | 2011-08-31 | 2013-05-07 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 반도체 기판의 래핑 장치 및 이를 이용한 반도체 기판의 래핑 방법 |
| JP2014039998A (ja) * | 2013-09-27 | 2014-03-06 | Hoya Corp | 研磨装置 |
| JP2014073573A (ja) * | 2013-10-23 | 2014-04-24 | Hoya Corp | 研磨装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1128661A (ja) | 研磨方法及び研磨装置 | |
| JP2009178806A (ja) | 研磨用キャリア、及び、研磨装置 | |
| WO2018043054A1 (ja) | ドレッサー | |
| JP2004058201A (ja) | ワークの研磨方法および電子デバイス用基板の製造方法 | |
| JPH11104954A (ja) | 研磨用キャリヤ及び研磨方法 | |
| JP2008000824A (ja) | 板状体の製造方法 | |
| JPH11254303A (ja) | ラップ盤 | |
| TWI232149B (en) | The grinding device and the grinding method for liquid crystal panel surface | |
| JP2002239895A (ja) | 研磨用保持部材、研磨方法および研磨装置 | |
| JPH07178655A (ja) | ガラス板の研磨方法 | |
| JP2008221355A (ja) | 両面加工装置 | |
| JP2001030159A (ja) | 研磨方法及び研磨装置 | |
| JPH1110505A (ja) | 研磨機 | |
| JP2000084834A (ja) | 研削加工用キャリア | |
| JP2004358616A (ja) | 研磨用具並びに研磨装置及び方法 | |
| JP2003340712A (ja) | 傾斜形平面研磨装置 | |
| JP4289764B2 (ja) | テープ研磨装置 | |
| JP2001047359A (ja) | 平面研磨装置 | |
| JPH09193002A (ja) | ウェーハ用ラップ機の定盤修正キャリヤ | |
| JP2001138220A (ja) | 板ガラスの研磨装置 | |
| CN217728342U (zh) | 一种金刚石膜片的研磨装置 | |
| JPH11156707A (ja) | 研磨装置用ワークキャリヤ | |
| JP2004276133A (ja) | ガラス基板の片面研磨における研磨液の供給方法および片面研磨装置 | |
| JP2003326455A (ja) | 被研磨物保持具 | |
| CN211565521U (zh) | 一种用于晶体抛光的游星轮片 |