JPH11285146A - 電圧駆動型電力用半導体素子の保護回路 - Google Patents

電圧駆動型電力用半導体素子の保護回路

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JPH11285146A
JPH11285146A JP8448498A JP8448498A JPH11285146A JP H11285146 A JPH11285146 A JP H11285146A JP 8448498 A JP8448498 A JP 8448498A JP 8448498 A JP8448498 A JP 8448498A JP H11285146 A JPH11285146 A JP H11285146A
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voltage
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power semiconductor
semiconductor device
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JP8448498A
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Kei Kasai
西 圭 葛
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Device Solutions Corp
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Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電圧駆動型電力用半導体素子のサイズを可及
的に小さくすることを可能にする。 【解決手段】 電圧駆動型電気力用半導体素子の出力電
流をモニタする出力電流モニタ手段Q2と、電圧駆動型
電力用半導体素子の出力電流が所定値を超えたときに出
力電流モニタ手段によってモニタされた電流値に基づい
て、電圧駆動型電力用半導体素子のゲート電位を調整す
ることにより出力電流が所定値を超えないようにする過
電流防止手段Q5,R1と、電圧駆動型電力用半導体素
子の両端にかかる電圧に基づいて出力電流を制限する出
力電流制限手段Q6,DZ1と、を備えたことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電圧駆動型電力用半
導体素子の保護回路に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、電力用半導体素子は、インバー
タやコンバータ等の電力交換や電力制御等の用途に多く
使われており、電力分野では必要不可欠なものとなって
いる。近年の電力の大容量化、高周波スイッチング化に
伴い電力用半導体素子の大容量化、スイッチングの高速
化が求められている。従来、大容量の電力用半導体素子
としてGTO(Gate Turn Off thyr
ister)に代表される電流駆動型電力用半導体素子
が使われているが、機器の小型化や高周波スイッチング
等の面で問題があり、IGBT(Insulated
Gate Bipolar Transistor)や
パワーMOSFETに代表される電圧駆動型電力用半導
体素子の使用が増加している。
【0003】このような電力駆動型電力用半導体素子の
従来の保護回路の構成を図16に示す。この保護回路
は、電圧駆動型電力用半導体素子であるパワーMOSF
ETQ1を保護するものてあって、出力電力モニタ用M
OSFET Q2と、PNP型バイポーラトランジスタ
Q3,Q4からなるカレントミラー回路と、抵抗R1お
よびNPN型バイポーラトランジスタQ5からなる過電
流防止回路とを備えている。
【0004】パワーMOSFET Q1はゲートがゲー
トドライブ回路10に駆動制御される。パワーMOSF
ET Q1のドレインは駆動電源VDDに接続され、ソ
ースが出力端子OUTに接続されている。
【0005】出力電流モニタ用MOSFET Q2はゲ
ートがパワーMOSFET Q1のゲートに接続され、
ドレインがカレントミラー回路のトランジスタQ3のコ
レクタおよびベースに接続され、ソースが出力端子OU
Tに接続されている。
【0006】過電流防止回路のトランジスタQ5は、コ
レクタがパワーMOSFET Q1のゲートに接続さ
れ、ベースがカレントミラー回路のトランジスタQ4の
コレクタに接続され、エミッタが接地電源GNDに接続
される。また抵抗R1はトランジスタQ5のベースとエ
ミッタ間に設けられる。なおカレントミラー回路のトラ
ンジスタQ3,Q4のエミッタは駆動電源VDDに接続
される。
【0007】パワーMOSFET Q1およびモニタ用
MOSFET Q2のソース領域の面積をAQ1およびA
Q2とし、FET Q1およびQ2のドレイン電流を
D1,ID2とすると、 ID2=(AQ2/AQ1)・ID1 …(1) となる。また出力端OUTに流れ込む電流IOUT は、 IOUT =ID1+ID2 …(2) である。保護回路においては通常AQ2をAQ1よりも非常
に小さくなるように設定するので、ID1はIOUT にほぼ
等しくなる。
【0008】したがって、 ID2=(AQ2/AQ1)・IOUT …(3) となる。
【0009】一方、ID2と同じ大きさの電流がカレント
ミラー回路のトランジスタQ4のコレクタから流れ出て
過電流防止回路の抵抗R1に流れ込む。
【0010】上述の保護回路においては、出力電流I
OUT が増加して、抵抗R1での電圧降下がトランジスタ
Q5のベース・エミッタ電圧VBEQ5(=0.7V)を超
えると、トランジスタQ5がオンし、パワーMOSFE
T Q1のゲートの電位をさげるように動作する。これ
により出力電流IOUT は、下記の(4)式によって規定
される制限値I1 を有することになる。 I1 =(AQ1/(AQ2・R1))・VBEQ5 …(4) ただし、トランジスタQ3,Q4,Q5のベース電流は
無視している。
【0011】上述の従来の保護回路の動作を、パワーM
OSFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDSと出力
電流IOUT の関係で表したグラフg7 を図17に示す。
図17において、グラフh0 はパワーMOSFETの使
用動作範囲の限界を示すグラフであり、V0 はパワーM
OSFET Q1 の最大動作電圧、I0 は最大出力電
流、I1 はパワーMOSFET Q1の過電流検出レベ
ルを示しており、(4)に示す値となる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
保護回路においては、出力電流IOUT を制限していた。
この場合、図17に示すように使用動作範囲に、過電流
検出レベルI1 が引掛からないように過電流検出レベル
1 を決定すると、パワーMOSFET Q1のドレイ
ン・ソース間電圧VDSが大きくなるにしたがって消費電
力(VDS・I1 )が増す。
【0013】一般にパワーMOSFETの安全動作領域
は、消費電力をMOSFETの占有面積で割った値で決
まる。このため、保護回路により決定される最大消費電
力(=V0 ・I1 )でパワーMOSFETが破壊しない
よう、パワーMOSFETの面積を大きくする必要があ
る。これによりチップ面積が増大してパワーMOSFE
Tを含む半導体集積回路装置の製造コストが上昇すると
いう問題があった。
【0014】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
であって、電圧駆動型電力用半導体素子のサイズを可及
的に小さくすることのできる電圧駆動型電力用半導体素
子の保護回路を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明による電圧駆動型電力用半導体素子の保護回路
は、電圧駆動型電気力用半導体素子の出力電流をモニタ
する出力電流モニタ手段と、前記電圧駆動型電力用半導
体素子の出力電流が所定値を超えたときに前記出力電流
モニタ手段によってモニタされた電流値に基づいて、前
記電圧駆動型電力用半導体素子のゲート電位を調整する
ことにより前記出力電流が前記所定値を超えないように
する過電流防止手段と、前記電圧駆動型電力用半導体素
子の両端にかかる電圧に基づいて前記出力電流を制限す
る出力電流制限手段と、を備えたことを特徴とする。
【0016】なお、前記出力電流制限手段は、電圧駆動
型半導体素子とツェナーダイオードとが直列に接続され
た直列回路を有しているように構成しても良い。
【0017】なお、前記直列回路は前記ツェナーダイオ
ードと直列に接続される抵抗を更に含むように構成して
も良い。
【0018】なお、前記出力電流制限手段は、各々がト
ランジスタとツェナーダイオードとが直列に接続された
複数組の直列回路を有し、各直列回路は並列に接続さ
れ、各直列回路のツェナーダイオードのブレークダウン
電圧は異なっているように構成しても良い。
【0019】なお、各直列回路は、各々のツェナーダイ
オードと直列に接続される抵抗を更に含んでいるように
構成しても良い。
【0020】なお、前記出力電流モニタ手段は第2の電
圧駆動型半導体素子を有し、この第2の電圧駆動型半導
体素子に流れる電流と前記出力電流制限手段に流れる電
流との和の電流が前記過電流防止手段に流れるように動
作するカレントミラー回路を更に備えるように構成して
も良い。
【0021】
【発明の実施の形態】本発明による、電力駆動型電力用
半導体素子の保護回路(以下、単に保護回路ともいう)
の実施の形態を図面を参照して説明する。
【0022】本発明による保護回路の第1の実施の形態
の構成を図1に示す。この実施の形態の保護回路は、図
16に示す従来の保護回路において、MOSFET Q
6とツェナーダイオードDZ1とからなる出力電流制限回
路を新たに設けた構成となっている。
【0023】MOSFET Q6のゲートはパワーFE
T Q1のゲートに接続され、ドレインはダイオードD
Z1のアノードに接続され、ソースは出力端子OUTに接
続される。またダイオードDZ1のカソードはカレントミ
ラー回路のトランジスタQ3のコレクタおよびベースに
接続される。すなわち出力電流制限回路はトランジスタ
Q2と並列に接続された構成となる。
【0024】このように構成された第1の実施の形態の
保護回路において、VBEQ3をトランジスタQ3のベース
・エミッタ間電圧(約0.7V)とし、VDZをダイオー
ドDZ1のブレークダウン電圧としたとき、パワーMOS
FET Q1のドレイン・ソース間電圧VDSが VDS < VBEQ3 + VDZ を満たしている場合は、パワーMOSFET Q1は十
分にオンしているため、出力端子OUTの電位VOUT
DDに等しくなる。このため、ダイオードDZ1はブレー
クダウンせず、トランジスタQ6にはドレイン電流ID6
が流れない。このとき、トランジスタQ2のドレイン電
流ID2と同じ電流が抵抗R1に流れる。したがって出力
電流IOUT の制限値I1 は従来の場合と同様に I1 =(AQ1/(AQ2・R1))・VBEQ5 …(5) として与えられる。
【0025】一方、出力端子OUTの電位が低下してパ
ワーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDZ
が VDS ≧ VBEQ3 + VDZ となったとき、ダイオードDZ1がブレークダウンし、ト
ランジスタQ6に電流IQ6が流れる。
【0026】ドレイン電流IQ6はトランジスタQ6のソ
ース領域の面積AQ6とトランジスタQ2のソース領域の
面積AQ2との比によって決まり、次の(6)式で表され
る。 IQ6=(AQ6/AQ2)・ID2 …(6) このとき抵抗R1にはID2+ID6が流れるため、出力電
流IOUT の制限電流値I2 は次の(7)式に示すように
なる。 I2 =(AQ1/(AQ2+AQ6)・R1)・VBEQ5 …(7) すなわち制限値I2 は制限値I1 の1/(1+AQ6/A
Q2)倍となっている。
【0027】この第1の実施の形態の保護回路の動作
を、パワーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電
圧VDSと出力電流IOUT との関係で表すと図2に示すよ
うになる。
【0028】図2において、グラフg1 は第1の実施の
形態の保護回路による、出力電流IOUT の制限値を示
し、グラフh1 は上記パワーMOSFET Q1の使用
動作範囲の限界を示す。なお図2においてI0 、V0
パワーMOSFET Q1の最大出力電流、最大動作電
圧を示す。
【0029】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、パワーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電
圧がVBEQ3とVDZ1 との和よりも大きくなったときに
は、出力電流IOUT を、従来の場合の1/(1+AQ6
Q2)倍とすることが可能となるので、従来の場合に比
べて最大消費電力を抑えることができる。これにより、
パワーMOSFETの面積も従来の場合に比べて小さく
することが可能となり、パワーMOSFETを含む半導
体集積回路装置の製造コストを低下することができる。
【0030】次に本発明による保護回路の第2の実施の
形態の構成を図3に示す。この第2の実施の形態の保護
回路は、図1に示す第1の実施の形態の保護回路におい
て、MOSFET Q7と、ツェナーダイオードDZ2
Z3とからなる第2の出力電流制限回路を新たに設けた
構成となっている。
【0031】トランジスタQ7は、ゲートがパワーMO
SFET Q1のゲートに接続され、ソースが出力端子
に接続され、ドレインがダイオードDZ3のアノードに接
続される。ダイオードDZ3のカソードはダイオードDZ2
のアノードに接続される。またダイオードDZ2のカソー
ドはカレントミラー回路のトランジスタQ3 のコレクタ
およびベースに接続される。したがって、第2の出力電
流制限回路は、ダイオードDZ1およびトランジスタQ6
からなる第1の出力電流制限回路と並列に接続された構
成となる。
【0032】このように構成された第2の実施の形態に
おいて、ダイオードDZ1,DZ2,DZ3のブレークダウン
電圧はすべて同じ値VDZと仮定する。パワーMOSFE
TQ1のドレイン・ソース間電圧VDSが VDS < VBEQ3 + VDZ のとき、ダイオードDZ1,DZ2,DZ3はブレークダウン
せず、トランジスタQ2による、出力電流IOUT の制限
値I1 は第1の実施の形態で述べた場合と同様に(5)
式によって与えられる。
【0033】一方出力端子OUTの電位が低下してパワ
ーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDSが VBEQ3+VDZ ≦ VDS < VBEQ3+2VDZ の場合には、ダイオードDZ1はブレークダウンするが、
ダイオードDZ2,DZ3はブレークダウンしないため、ト
ランジスタQ6には電流が流れるがトランジスタQ7に
は電流は流れない。したがってこの場合の出力電流I
OUT の制限値I2 は第1の実施の形態の場合と同様に
(7)式によって与えられる。
【0034】更に出力端子OUTの電位が低下して、パ
ワーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDS
が VDS ≧ VBEQ3+2VDZ である場合には、ダイオードDZ1,DZ2,DZ3はブレー
クダウンし、トランジスタQ7にも電流ID7が流れる。
電流ID7はトランジスタQ7のソース領域の面積AQ7
トランジスタQ2のソース領域の面積AQ2との比、AQ7
/AQ2により決定され、次の(8)式によって与えられ
る。 ID7=AQ7/AQ2・ID2 …(8)
【0035】このとき、カレントミラー回路によって抵
抗R1へは電流ID2+ID6+ID7が流れるので、出力電
流IOUT の制限値I3 は次の(9)式によって与えられ
る。 I3 =AQ1/((AQ2+AQ6+AQ7)・R1)・VBEQ5 …(9) したがって制限値I3 は制限値I1 の1/(1+AQ6
Q2+AQ7/AQ2)倍となっている。
【0036】この第2の実施の形態の保護回路の動作
を、パワーFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDS
と出力電流IOUT との関係で表すと図4に示すようにな
る。図4においてグラフg2 は第2の実施の形態の保護
回路による、出力電流IOUT の制限値を示し、グラフh
2 はパワーFET Q1の使用動作範囲の限界を示す。
なお、図4においてI0 、V0 はパワーFET Q1の
最大出力電流、最大動作電圧を示す。
【0037】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、出力電流IOUT の制限値を、パワーFET Q1の
ドレイン・ソース間電圧VDSに依存して3段階に分けて
いるので、第1の実施の形態に比べて更に消費電力を抑
えることができる。
【0038】これにより、パワーMOSFET Q1の
面積を更に小さくすることができる。
【0039】次に本発明による保護回路の第3の実施の
形態の構成を図5に示す。この第3の実施の形態の保護
回路は、図1に示す第1の実施の形態の保護回路におい
て、ダイオードDZ1のカソードとトランジスタQ3のコ
レクタおよびベースとの間に抵抗R2を設けた構成とな
っている。
【0040】パワーMOSFET Q1のドレイン・ソ
ース間電圧VDSが、 VDS < VBEQ3+VDZ の場合には、本実施の形態の保護回路による、出力電流
OUT の制限値I1 は、第1の実施の形態の場合と同様
に(5)式によって与えられる。
【0041】出力端子OUTの電位VOUT が低下してパ
ワーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDS
が、 VDS ≧ VBEQ3+VDZ となった場合には、ダイオードDZ1がブレークダウン
し、トランジスタQ6にドレイン電流ID6が流れる。こ
のドレイン電流ID6は抵抗R2により制限されてトラン
ジスタQ6は線形領域、すなわちトランジスタQ6のド
レイン・ソース間電圧VDSQ6がほぼOVの領域で動作す
るため、ドレイン電流ID6は次の(10)式によって与
えられる。 ID6=(VDS−VBEQ3+VDZ)/R2 …(10) このとき、抵抗R1に電流ID2+ID6が流れるため、出
力電流IOUT 制限値I2 は次の(11)式によって与え
られる。 I2 =AQ1/AQ2・(VBEQ5/R1 −(VDS−VBEQ3+VDZ)/R2 …(11) すなわち制限値I2 はパワーMOSFET Q1のドレ
イン・ソース間電圧VDSが増加するにつれて直線的に減
少する特性を示している。
【0042】更に出力端子OUTの電位VOUT が低下、
すなわちパワーMOSFET Q1のドレイン・ソース
間電圧VDSが大きくなると、トランジスタQ6は飽和領
域で動作し、出力電流IOUT の制限値I3 は次の(1
2)式で与えられる。 I3 =AQ1・VBEQ5/((AQ2+AQ6)・R1) …(12) 制限値I2 から制限値I3 に切替るときの、パワーMO
SFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDSは、I2
=I3 となるときの値V1 であり、次の(13)式によ
って与えられる。 V1=AQ6・R1・VBEQ5/((AQ2+AQ6)R2)+VBEQ3+VDZ …(13) この第3の実施の形態の保護回路の動作を、パワーMO
SFET Q1のドレイン・ソース間電圧VDSと出力電
流との関係で表すと、図6に示すようになる。図6にお
いて、グラフg3 は第3の実施の形態の保護回路によ
る、出力電流IOU T の制限値を示し、グラフh3 はパワ
ーMOSFET Q1の使用動作範囲の限界を示す。な
お図6において、I0 ,V0 はパワーMOSFET Q
1の最大出力電流、最大動作電圧を示す。
【0043】以上の説明したように本実施の形態によれ
ば、パワーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電
圧VDSのある範囲において、制限値を直線的に減少させ
ることが可能となり、従来の場合比べて消費電力を抑え
ることができ、これにより、パワーMOSFET Q1
の面積を小さくすることができる。
【0044】なお第1、第2の実施の形態においては、
MOSFETのソース領域の面積比で、出力電流の制限
値を設定しているため、制限値の変更や微調整が難しい
が、第3の実施の形態においては、抵抗R2によって制
限値の傾きを任意に設定できるので、第1、第2の実施
の形態に比べて優れている。
【0045】次に本発明による保護回路の第4の実施の
形態の構成を図7に示す。この実施の形態の保護回路
は、図16に示す従来の保護回路において、第1乃至第
nの出力電流制限回路を設けたものである。第i(i=
1,…n)の出力電流制限回路は、1個のMOSFET
と、直列に接続されたi個のツェナーダイオードとを備
えている。上記MOSFETはゲートがパワーMOSF
ET Q1のゲートに接続され、ソースが出力端子OU
Tに接続され、ドレインがi個のダイオードからなる直
列回路の一端(ダイオードのアノード端子)に接続され
ている。i個のダイオードからなる直列回路の他端はカ
レントミラー回路のトランジスタQ3のコレクタおよび
ベースに接続されている。
【0046】このように構成された本実施の形態の動作
を、パワーMOSFET Q1のドレイン・ソース間電
圧と出力電流IOUT との関係で示すと図8のグラフg4
となる。
【0047】この第4の実施の形態も従来の場合に比べ
て消費電力を抑えることが可能となり、パワーMOSF
ET Q1の面積を小さくすることができる。
【0048】次に本発明による保護回路の第5の実施の
形態の構成を図9に示す。この実施の形態の保護回路
は、図7に示す第4の実施の形態の保護回路において、
各出力電流制限回路のダイオードからなる直列回路とカ
レントミラー回路のトランジスタQ3のコレクタおよび
ベースとの間に抵抗を設けた構成となっている。これに
より、図10のグラフg5 に示すように出力電流の電流
制限値は、連続的に減少することになる。
【0049】次に本発明による保護回路の第6の実施の
形態の構成を図11に示す。この実施の形態の保護回路
は、図3に示す第2の実施の形態において、ダイオード
Z2を抵抗R3に置換えた構成となっている。
【0050】この第6の実施の形態の保護回路によって
規定される、出力電流の制限値は図12に示すグラフg
6 のようになる。これによりこの第6の実施の形態の保
護回路は第2の実施の形態に比べて更に消費電力を抑え
ることができ、パワーMOSFET Q1の面積をより
小さくすることができる。
【0051】次に本発明による保護回路の第7の実施の
形態の構成を図13に示す。この第7の実施の形態の保
護回路は、図1に示す第1の実施の形態の保護回路にお
いて、パワーMOSFET Q1の出力端子OUTを接
地端子に換えるとともに電源端子VDDを出力端子OUT
に換えた構成となっている。
【0052】この第7の実施の形態の保護回路の動作は
第1の実施の形態と同様であり、第1の実施の形態と同
様の効果を奏する。
【0053】次に本発明による保護回路の第8の実施の
形態の構成を図14に示す。第8の実施の形態の保護回
路は、図1に示す第1の実施の形態において、パワーM
OSFET Q1をIGBT Q11に、MOSトラン
ジスタQ2,Q6をIGBTQ12,Q13に各々置換
えた構成となっている。
【0054】この第8の実施の形態も第1の実施の形態
と同様の効果を奏することは言うまでもない。
【0055】次に本発明による保護回路の第9の実施の
形態の構成を図15に示す。この第9の実施の形態の保
護回路は、図1に示す第1の実施の形態の保護回路にお
いて、カレントミラー回路を、NPN型バイポーラトラ
ンジスタQ9,Q10で構成するとともに過電流防止回
路を抵抗R4とPNP型バイポーラトランジスタQ8で
構成したものとなっている。
【0056】この第9の実施の形態も第1の実施の形態
と同様の効果を奏することは言うまでもない。
【0057】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、従来
の場合に比べて消費電力を抑えることが可能となり、電
圧駆動型電力用半導体素子のサイズを可及的に小さくす
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による保護回路の第1の実施の形態の構
成を示す回路図。
【図2】第1の実施の形態の保護回路の動作を説明する
グラフ。
【図3】本発明による保護回路の第2の実施の形態の構
成を示す回路図。
【図4】第2の実施の形態の保護回路の動作を説明する
グラフ。
【図5】本発明による保護回路の第3の実施の形態の構
成を示す回路図。
【図6】第3の実施の形態の保護回路の動作を説明する
グラフ。
【図7】本発明による保護回路の第4の実施の形態の構
成を示す回路図。
【図8】第4の実施の形態の保護回路の動作を説明する
グラフ。
【図9】本発明による保護回路の第5の実施の形態の構
成を示す回路図。
【図10】第5の実施の形態の保護回路の動作を説明す
るグラフ。
【図11】本発明による保護回路の第6の実施の形態の
構成を示す回路図。
【図12】第6の実施の形態の保護回路の動作を説明す
るグラフ。
【図13】本発明による保護回路の第7の実施の形態の
構成を示す回路図。
【図14】本発明による保護回路の第8の実施の形態の
構成を示す回路図。
【図15】本発明による保護回路の第9の実施の形態の
構成を示す回路図。
【図16】従来の保護回路の構成を示す回路図。
【図17】従来の保護回路の動作を説明するグラフ。
【符号の説明】
10 ゲートドライブ回路 Q1 パワーMOSFET(電圧駆動型電力用半導体素
子) Q2 出力電流モニタ用MOSFET Q3 バイポーラトランジスタ Q4 バイポーラトランジスタ Q5 バイポーラトランジスタ Q6 MOSFET DZ1 ツェナーダイオード R1 抵抗

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電圧駆動型電気力用半導体素子の出力電流
    をモニタする出力電流モニタ手段と、 前記電圧駆動型電力用半導体素子の出力電流が所定値を
    超えたときに前記出力電流モニタ手段によってモニタさ
    れた電流値に基づいて、前記電圧駆動型電力用半導体素
    子のゲート電位を調整することにより前記出力電流が前
    記所定値を超えないようにする過電流防止手段と、 前記電圧駆動型電力用半導体素子の両端にかかる電圧に
    基づいて前記出力電流を制限する出力電流制限手段と、 を備えたことを特徴とする電圧駆動型電力用半導体素子
    の保護回路。
  2. 【請求項2】前記出力電流制限手段は、電圧駆動型半導
    体素子とツェナーダイオードとが直列に接続された直列
    回路を有していることを特徴とする請求項1記載の電圧
    駆動型電力用半導体素子の保護回路。
  3. 【請求項3】前記直列回路は前記ツェナーダイオードと
    直列に接続される抵抗を更に含むことを特徴とする請求
    項2記載の電圧駆動型電力用半導体素子の保護回路。
  4. 【請求項4】前記出力電流制限手段は、各々がトランジ
    スタとツェナーダイオードとが直列に接続された複数組
    の直列回路を有し、各直列回路は並列に接続され、各直
    列回路のツェナーダイオードのブレークダウン電圧は異
    なっていることを特徴とする請求項1記載の電圧駆動型
    電力用半導体素子の保護回路。
  5. 【請求項5】各直列回路は、各々のツェナーダイオード
    と直列に接続される抵抗を更に含んでいることを特徴と
    する請求項4記載の電圧駆動型電力用半導体素子の保護
    回路。
  6. 【請求項6】前記出力電流モニタ手段は第2の電圧駆動
    型半導体素子を有し、 この第2の電圧駆動型半導体素子に流れる電流と前記出
    力電流制限手段に流れる電流との和の電流が前記過電流
    防止手段に流れるように動作するカレントミラー回路を
    更に備えたことを特徴とする請求項2乃至5のいずれか
    に記載の電圧駆動型電力用半導体素子の保護回路。
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