JPH11278604A - 清浄保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保管物が保管されていない保管部があるとき
に空気清浄のための無駄な電力消費を抑制する。 【解決手段】 保管ユニット１５にて形成される保管棚
１４の各保管部２０毎に独立して運転制御されるファン
フィルタユニット２５を設ける。各保管部２０には、そ
の保管部２０における保管物の有無を検出する近接セン
サ２１を設ける。そして、その検出結果に基づき制御盤
２８が保管物が保管されている保管部２０のファンフィ
ルタユニット２５のみを運転し、保管物が保管されてい
ない保管部２０の同ユニット２５は運転しないようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
工程が設けられるクリーン工場内に設置され、シリコン
ウェハ、液晶パネル等を工場内よりも高い清浄度の環境
下で保管する清浄保管装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１（ａ），（ｂ）及び図２は、クリー
ン工場内に設置される清浄保管装置の例を示している。
この清浄保管装置１０では、室内にスタッカクレーン１
３が設けられ、該スタッカクレーン１３の両側に保管棚
１４が設けられている。各保管棚１４には、それぞれ保
管物を保管する保管部２０が多数設けられている。清浄
保管装置１０におけるスタッカクレーン１３の移動方向
の一方には、清浄保管装置１０の外部とスタッカクレー
ン１３との間の保管物の受け渡しを行うコンベヤ１８が
設けられている。そして、スタッカクレーン１３とコン
ベヤ１８により、清浄保管装置１０の外部と各保管部２
０との間で保管物の移送が行われる。清浄保管装置１０
内は、同清浄保管装置１０が設置される工場内よりも清
浄度を高くするように設計されている。この清浄度は、
単位体積当たりの空気に含まれている塵埃の数で表わさ
れ、塵埃の数が少ないほど高い値となる。このため、清
浄保管装置１０は、同清浄保管装置１０内部の塵埃を濾
過する空気清浄装置を備えている。空気清浄装置は、清
浄保管装置１０の外部から持ち込まれる塵埃や、スタッ
カクレーン１３の動作に伴い摺動部等から発生する塵埃
を除去して、清浄保管装置１０内の清浄度を所定の清浄
度以上の清浄度に維持する。

【０００３】図１（ａ），（ｂ）及び図２に示す清浄保
管装置１０では、各保管棚１４は、上下に３段の保管部
２０を備えた保管ユニット１５をスタッカクレーン１３
の移動経路に沿って複数連結して形成されている。これ
は、共通の保管ユニット１５を使用して保管部２０の総
数が異なる清浄保管装置１０を作ったり、既設の清浄保
管装置１０の保管部２０の総数を必要に応じて容易に増
やすことができるようにするためである。そして、空気
清浄装置は、各保管ユニット１５毎に独立して設けられ
ている。

【０００４】各保管ユニット１０には、空気清浄装置と
して、各保管部２０の背面側に、フィルタ２６とモータ
ファン２７とからなるファンフィルタユニット２５がそ
れぞれ設けられている。各ファンフィルタユニット２５
のモータファン２７が運転されると、各ファンフィルタ
ユニット２５の背面側が上下に連通された連通路２３に
負圧が発生し、この負圧により各保管ユニット１５の下
部に設けられ連通路２３に連通する空気導入路２２にス
タッカクレーン１３側の空気が導入される。そして、各
ファンフィルタユニット２５に背面側から導入された空
気はフィルタ２６で微少な塵埃が濾過されて保管部２０
内に供給される。各保管部２０に供給された空気はスタ
ッカクレーン１３側に排出され、再び空気導入路２２か
らファンフィルタユニット２５に導入される。従って、
各保管部２０には常にフィルタ２６で濾過された清浄度
の高い空気が供給されるとともに清浄保管装置１０の内
部全体の空気の清浄度がほぼ基準値以上の清浄度に維持
される。

【０００５】各保管ユニット１５の各モータファン２７
には、清浄保管装置１０の外部に設けられた制御盤２８
から駆動用交流電力が供給される。制御盤２８は、全て
の保管ユニット１５の各モータファン２７に駆動用交流
電力を供給するか、あるいは、全てのモータファン２７
への駆動用交流電力の供給を停止するようになってい
る。従って、工場が稼動している間は、全てのファンフ
ィルタユニット２５のモータファン２７が運転される。
各ファンフィルタユニット２５の清浄能力、即ち、単位
時間当たりに濾過することができる空気の量は、全ての
ファンフィルタユニット２５が連続して運転されている
ときに、清浄保管装置内の定常的な清浄度がほぼ所定の
清浄度となるように設定されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、清浄保管装
置１０は、保管するシリコンウェハ等の保管物の数が多
くなる場合に備えて保管部２０の数が多めに設けられて
いる。従って、清浄保管装置１０は、多数の保管部２０
が空の状態で長い時間使用されることがある。保管物の
総数が少ない場合、保管物の移送作業の頻度が少なくな
るため、入出庫時に保管装置１０内に持ち込まれる塵埃
の量や、スタッカクレーン１３の作動によって発生する
塵埃の量が相対的に少なくなる。一方、ファンフィルタ
ユニット２５の濾過能力には変わりがないので、保管装
置１０内の清浄度が所定の清浄度よりも高くなる。従っ
て、空の保管部２０が多数ある場合には、ファンフィル
タユニット２５の清浄能力が必要な大きさを上回って電
力が無駄に消費される場合があった。

【０００７】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的は、保管物が保管されて
いない保管部があるときに空気清浄のための無駄な電力
消費を抑制することができる清浄保管装置を提供するこ
とにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、外部に対して密閉された
状態に形成された部屋と、前記部屋内に設けられ、それ
ぞれ保管物が載置される複数の保管部と、前記各保管部
と前記部屋の外部との間で保管物の移送を行う移送手段
と、前記部屋内の空気を循環させて同空気を濾過する、
独立して運転制御可能な複数の空気清浄手段とを備えた
清浄保管装置において、前記各保管部における保管物の
有無に基づき、少なくとも保管物が保管されている保管
部内の清浄度を所定の清浄度以上の高い清浄度に維持す
る範囲で、前記各空気清浄手段の総清浄能力を小さく制
限するように同各空気清浄手段を制御する清浄能力制御
手段を備えた。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記空気清浄手段は、前記各保管部毎
に設けられ、同保管部と該保管部の外部との間に設けら
れたフィルタと、該フィルタに保管部の外部から空気を
圧送するモータファンとからなるフィルタユニットであ
って、清浄能力制御手段は、各保管部に保管物が保管さ
れているか否かを検出する保管物検出手段と、少なくと
も保管物が検出される保管部に設けられている前記フィ
ルタユニットのモータファンを所定の回転速度で運転
し、その他の保管部のフィルタユニットのモータファン
を前記所定の回転速度よりも低い回転速度で運転するか
あるいは停止させる運転制御手段とを備えた。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記各保管部は、前記移送手段の移動
経路に沿って設けられ、同移送手段側だけに開口部を有
するように設けられるとともに同各開口部が上下に並ぶ
ように設けられ、前記各フィルタユニットは、上下に並
ぶ各保管部の下方から前記移送手段側の空気を導入して
濾過し、濾過した空気を各保管部に前記開口部の反対側
から供給するように設けられ、前記運転制御手段は、上
下に並ぶ前記各保管部の内のいずれかの保管部に保管物
が保管され、その他の保管部に保管物が保管されていな
いときには、保管物が保管されていない保管部に備えら
れた前記フィルタユニットのモータファンを前記所定の
回転速度よりも低い回転速度で運転する。

【００１１】（作用）請求項１に記載の発明によれば、
少なくとも保管物が保管されている保管部を含む保管部
内の清浄度が所定の清浄度以上に維持されるとともに独
立して運転制御される複数の空気清浄手段の総清浄能力
が制限される。

【００１２】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の作用に加えて、保管物が保管されている
保管部のフィルタユニットが所定の清浄能力で運転され
るとともに保管物が保管されていない保管部のフィルタ
ユニットの清浄能力が制限されて清浄保管装置全体の総
清浄能力が制限される。

【００１３】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
に記載の発明の作用に加えて、上下に並ぶように設けら
れた各保管部の内に保管物が保管されていない保管部が
あっても、全ての保管部の開口部から空気が排出される
ため、乱流が発生せず保管物が保管されていない保管部
に空気が滞留しない。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図３に従って説明する。図１（ａ），
（ｂ）に示すように、清浄保管装置１０は、細長い形状
に形成され、外部に対して密閉された部屋１１を備えて
いる。部屋１１の内部には、該部屋１１の長手方向に延
びる通路１２が設けられ、該通路１２内にはスタッカク
レーン１３が設けられている。通路１２の両側には、保
管棚１４がそれぞれ設けられている。各保管棚１４は、
それぞれ同一に形成され、スタッカクレーン１３の移動
経路に沿って順に配列された複数の保管ユニット１５に
よって形成されている。各保管棚１４は、清浄保管装置
１０全体で保管する保管物の数に応じて必要数の保管ユ
ニット１５を接続して形成されるようになっている。

【００１５】清浄保管装置１０は、長手方向の一方の端
部に、分電盤１６等が収容された作業空間１７を備え、
同じく他方の端部に、スタッカクレーン１３と清浄保管
装置１０の外部の図示しない無人搬送台車との間で保管
物の移載を行うコンベヤ１８が設けられた移載室１９を
備えている。本実施の形態では、スタッカクレーン１３
及びコンベヤ１８にて移送手段が構成されている。

【００１６】図２に示すように、保管ユニット１５は、
同一容積に形成されるとともに通路１２側だけに開口部
２０ａを備え、各開口部２０ａが上下方向に並ぶように
棚状に設けられた複数の保管部２０を備えている。各保
管部２０には、同各保管部２０に保管物が保管されてい
るか否かを検出する保管物検出手段としての近接センサ
２１がそれぞれ設けられている。

【００１７】又、保管ユニット１５は、各保管部２０よ
りも下部に設けられ、通路１２側において部屋１１内に
開口する空気導入路２２を備えている。さらに、保管ユ
ニット１５は、空気導入路２２を各保管部２０の開口側
とは反対側に連通する連通路２３を備えている。又、保
管ユニット１５は、空気導入路２２と連通路２３との間
に、空気導入路２２から連通路２３に導入される空気を
濾過するプレフィルタ２４を備えている。

【００１８】保管ユニット１５には、各保管部２０の開
口部２０ａと反対側に、連通路２３及び空気導入路２２
を介して通路１２側の空気を導入し、導入した空気を濾
過して各保管部２０内から通路１２側に排出する空気清
浄器としてのファンフィルタユニット２５がそれぞれ設
けられている。各保管ユニット１５に設けられたファン
フィルタユニット２５は、全て同一のものであり清浄能
力が同一である。本実施の形態では、プレフィルタ２４
及びファンフィルタユニット２５にて、空気清浄手段が
構成されている。

【００１９】ファンフィルタユニット２５は、フィルタ
２６（例えば、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particle A
ir Filter ）フィルタ）と該フィルタ２６の一方の側面
に保管部２０の外部から空気を圧送するモータファン２
７とを備えている。ファンフィルタユニット２５は、各
保管部２０に対して、フィルタ２６が同保管部２０の開
口部２０ａと反対側に配置され、モータファン２７がフ
ィルタ２６に対して保管部２０と反対側の連通路２３に
面するように設けられている。そして、各保管ユニット
１５の各保管部２０毎に、ファンフィルタユニット２
５、同保管部２０、通路１２、空気導入路２２、連通路
２３及びファンフィルタユニット２５からなる空気の循
環経路が形成されている。

【００２０】清浄保管装置１０の外部には、図１
（ａ），（ｂ）に示すように、作業空間１７のすぐ外側
に、各保管ユニット１５の各モータファン２７を運転制
御するための運転制御手段としての制御盤２８が設けら
れている。本実施の形態では、近接センサ２１及び制御
盤２８にて清浄能力制御手段が構成されている。

【００２１】次に、保管装置の電気的構成を図３に示す
電気配線図に従って説明する。尚、図３においては、制
御盤２８に対して３つの保管ユニット１５が接続されて
いる状態を示しているが、実際には全ての保管ユニット
１５が接続されている。

【００２２】制御盤２８には、三相２００Ｖの商用交流
電力が、分電盤１６に設けられたメインブレーカ３０を
介して供給されている。制御盤２８には、各保管ユニッ
ト１５の各保管部２０に設けられた近接センサ２１がそ
れぞ信号線３１を介して接続されている。各近接センサ
２１は、それぞれが設けられている保管部２０に保管物
が保管されているか否かに基づく検出信号を制御盤２８
に出力する。又、制御盤２８は、各保管ユニット１５の
各モータファン２７に駆動用交流電力を供給するための
電源ケーブル３２を複数備え、各電源ケーブル３２はそ
れぞれ分電盤１６上のサブブレーカ３３を介して各保管
ユニット１５の各保管部２０のモータファン２７に接続
されている。

【００２３】制御盤２８は、各近接センサ２１からの検
出信号に基づき、同近接センサ２１が設けられている保
管部２０のモータファン２７に電源ケーブル３２を介し
て供給する駆動用交流電力の供給及び停止を行う制御回
路部３４を備えている。

【００２４】制御回路部３４は、ある保管部２０の近接
センサ２１にて保管物が検出されるときには、その保管
部２０のファンフィルタユニット２５のモータファン２
７に駆動用交流電力を供給し、同じく近接センサ２１に
て保管物が検出されないときには、その保管部２０のモ
ータファン２７に駆動用交流電力を供給しない。

【００２５】次に、以上のように構成された清浄保管装
置の作用について説明する。入庫時において無人搬送車
にて入出庫口のコンベヤ１８上に搬送された保管物は、
コンベヤ１８によって清浄保管装置１０内に搬送され
る。清浄保管装置１０内に搬送された保管物は、スタッ
カクレーン１３によって所定の保管部２０まで搬送さ
れ、同保管部２０に移載される。同様に、出庫時には、
所定の保管部２０に保管されている保管物が清浄保管装
置１０から外部に移載される。このとき、スタッカクレ
ーン１３の運転に伴ってその摺動部等から発塵する。

【００２６】このとき、各保管部２０に設けられた近接
センサ２１のそれぞれの検出結果に基づき、保管物が保
管されている保管部２０のファンフィルタユニット２５
のモータファン２７のみに制御盤２８が駆動用交流電力
を供給する。すると、保管物が保管されている保管部２
０のファンフィルタユニット２５が運転され、保管物が
保管されていない保管部２０のファンフィルタユニット
２５は運転されない。従って、保管物が保管されている
保管部２０内の清浄度が所定の清浄度に維持されるとと
もに各ファンフィルタユニット２５の清浄能力を合わせ
た総清浄能力が制限される。

【００２７】以上詳述したように、本実施の形態の清浄
保管装置によれば、以下の効果を得ることができる。 （１） 清浄能力制御手段（制御盤２８）が、各保管部
２０における保管物の有無に基づき、少なくとも保管物
が保管されている保管部２０内の清浄度を所定の清浄度
以上の高い清浄度に維持する範囲で、複数の独立して制
御される空気清浄手段（ファンフィルタユニット２５）
の総清浄能力を小さく制限するように同各空気清浄手段
を制御する。

【００２８】従って、少なくとも保管物が保管されてい
る保管部２０の清浄度が所定の清浄度に維持されるとと
もに、独立して運転制御される複数の空気清浄手段の総
清浄能力が制限される。その結果、保管物が保管されて
いない保管部２０があるときに空気清浄のための電力消
費を抑制することができる。

【００２９】（２） 空気清浄手段を各保管部２０毎に
設けたフィルタユニット（ファンフィルタユニット２
５）とし、清浄能力制御手段は、各保管部２０に設けた
保管物検出手段（近接センサ２１）にて保管物が検出さ
れる保管部２０のフィルタユニットのモータファン２７
を所定の回転速度で運転し、保管物が検出されない保管
部２０のフィルタユニットのモータファン２７を停止さ
せるようにした。

【００３０】従って、保管物が保管されていないフィル
タユニットの清浄能力の制限によって保管装置全体の総
清浄能力を制限して、無駄な電力消費を抑制することが
できる。

【００３１】（３） 各保管部２０を、それぞれ同一形
状に形成され移送手段の移動経路に沿って順に配列され
る保管単位体（保管ユニット１５）に設け、空気清浄手
段は、各保管単位体にそれぞれ独立して設けられ、各保
管部２０内に濾過した空気を供給する空気清浄器（ファ
ンフィルタユニット２５）とした。

【００３２】従って、保管部２０の総数が異なる清浄保
管装置１０を共通の保管単位体を使用して形成すること
ができる。尚、実施の形態は上記実施の形態に限らず、
以下のように変更してもよい。

【００３３】○ 各ファンフィルタユニット２５のモー
タファン２７の回転速度を、所定の回転速度と、それよ
りも低い回転速度の２段階に切り換えることができるよ
うにしておく。そして、１つの保管ユニット１５の各保
管部２０に保管物が保管されているときには各保管部２
０のモータファン２７を所定の回転速度で運転し、いず
れかの保管部２０に保管物が保管されていないときには
各保管部２０のモータファン２７を低い回転速度で運転
することによりファンフィルタユニット２５全体の清浄
能力を制限するようにしてもよい。この場合には、保管
物が保管されていない全ての保管部２０に塵埃が滞留し
ないようにすることができる。

【００３４】このとき、保管物が保管されている保管部
２０のモータファン２７だけを所定の回転速度で運転す
るようにしてもよい。この場合には、保管物が保管され
てい保管部２０内の清浄度を所定の清浄度以上の清浄度
に維持することができる ○ いずれかの保管部２０に保管物が保管されている保
管ユニット１５の全ての保管部２０のファンフィルタユ
ニット２５と、同保管ユニット１５の両側のそれぞれ１
個あるいは２個以上の保管ユニット１５の全ての保管部
２０のファンフィルタユニット２５を運転するようにし
てもよい。この場合には、少なくとも１つの保管部２０
に保管物が保管されている保管ユニット１５の各保管部
２０が面する通路１２の空間における乱流の発生を確実
に防止し、乱流によりモータファン２７が運転されてい
ない保管部２０に滞留が確実に生じないようにすること
ができる。

【００３５】○ 保管ユニット１５は、保管部２０を３
個備えたものに限らず、２個あるいは４個以上備えたも
のであってもよい。 ○ 保管ユニットを、複数の保管部２０が上下に並んで
設けられた保管ユニット部と、該保管ユニット部の下側
に設けられ、通路１２側から空気を導入して圧送する１
台のブロアが収容されたブロアユニット部と、ブロアユ
ニット部から圧送される空気を各保管部２０の背面側に
案内するダクトユニット部とを備え、各保管部２０の背
面側にブロアユニット部から圧送される空気を濾過する
フィルタをそれぞれ設けた構成としてもよい。この場
合、ブロアの清浄能力を可変としておき、保管ユニット
のいずれかの保管部に保管物が保管されていないときに
ブロアの清浄能力を制限することにより、清浄保管装置
全体の総清浄能力を制限する。

【００３６】○ 保管単位体（保管ユニット１５）にて
保管棚１４が形成される清浄保管装置に限らず、保管棚
１４全体が一体的に形成された清浄保管装置に実施して
もよい。

【００３７】○ 空気清浄器は、各保管部毎に設けられ
るフィルタユニットに限らず、１台で複数の保管部に濾
過した空気を供給するように設けられたフィルタユニッ
トであってもよい。

【００３８】○ 清浄保管装置１０を、保管棚１４の各
保管部２０における保管物の保管状況データを制御盤２
８内に設けた移送手段制御手段としてのコンピュータに
よって保存管理し、この保管状況データに基づいてコン
ピュータがスタッカクレーン等の移送手段を運転制御す
るように構成する。そして、同コンピュータがその保管
状況データに基づいて空気清浄手段を制御するようにし
てもよい。この場合には、各保管部２０毎に保管物検出
手段を設ける必要がない。尚、コンピュータは、保管物
のロット、仕掛かり段階等の情報を含む在庫管理情報を
記憶し、この在庫管理時情報に基づいて入出庫を行うも
のであってもよい。

【００３９】○ 上記清浄保管装置において、コンピュ
ータが、保管物を移載室１９に近い位置にある保管部２
０から順に保管するようにして１回の移載作業に伴うス
タッカクレーン１３の動作量をできるだけ少なくなるよ
うにし、スタッカクレーン１３の移載作業に伴って発生
する塵埃の量ができるだけ少なくなるように保管作業を
行うようにする。この場合には、電力消費を抑制しなが
ら清浄保管装置内の清浄度をより高くすることができ
る。

【００４０】○ 清浄保管装置は、三相２００Ｖの電源
で運転されるものに限らず、単相２００Ｖの電源で運転
されるものであっもよい。 ○ 移送手段は、スタッカクレーン１３にて構成される
ものに限らず、その他例えば、天井吊り下げ方式モノレ
ール型のクレーンで、保管物を移載するキャリリアを上
下に移動可能としたものや、有軌道方式の無人搬送台車
で、保管物を移載するステージを上下に移動可能とした
ものであってもよい。

【００４１】○ 半導体装置を製造するクリーン工場内
に設置する清浄保管装置に限らず、通常の環境の工場内
等で使用する清浄保管装置に実施してもよい。 以下、前記実施の形態から把握できる請求項以外の技術
的思想をその効果と共に記載する。

【００４２】（１） 請求項１に記載の清浄保管装置に
おいて、前記各保管部は、前記移送手段の移動経路に沿
って設けられ、同移送手段側だけに開口部を有するよう
に設けられるとともに同各開口部が上下方向に並ぶよう
に上下に設けられ、前記空気清浄手段は、上下に並ぶ各
保管部の下方から前記移送手段側の空気を導入して濾過
し、濾過した空気を各保管部に前記開口部の反対側から
供給するように設けられ、前記清浄能力制御手段は、各
保管部に保管物が保管されているか否かを検出する保管
物検出手段と、上下に並ぶ前記各保管部の全てに保管物
が保管されているときには前記空気清浄手段の所定の清
浄能力で運転し、上下に並ぶ前記各保管部のいずれかの
保管部に保管物が保管され、その他の保管部に保管物が
保管されていないときには、前記空気清浄手段を前記所
定の清浄能力よりも低い清浄能力で運転する運転制御手
段とを備えた。

【００４３】このような構成によれば、上下に並ぶよう
に設けられた複数の保管部において保管物が保管されて
いない保管部に塵埃が滞留しないようすることができ
る。 （２） 請求項１に記載の清浄保管装置において、前記
各保管部における保管物の保管状況データに基づき、前
記移送手段を運転制御する移送手段制御手段を備え、前
記清浄能力制御手段は、前記保管状況データに基づいて
前記空気清浄手段を制御する。このような構成によれ
ば、各保管部に保管物検出手段を設ける必要がない。

【００４４】（３） 請求項１又は上記（１），（２）
に記載の清浄保管装置において、前記各保管部は、それ
ぞれ同一形状に形成され前記移送手段の移動経路に沿っ
て順に配列された保管単位体にそれぞれ設けられたもの
であり、前記空気清浄手段は、前記各保管単位体にそれ
ぞれ独立して設けられ、前記各保管部内に濾過した空気
を供給する空気清浄器である。

【００４５】このような構成によれば、保管部の総数が
異なる清浄保管装置を共通の保管単位体を使用して形成
することができる。又、いずれの保管部にも保管物が保
管されていない保管単位体に必要な清浄能力を低減して
無駄な電力消費を抑制することができる。

【００４６】（４） 上記（３）に記載の清浄保管装置
において、前記空気清浄器は、各保管部毎に設けられ、
同保管部と該保管部の外部との間に設けられたフィルタ
と、該フィルタに同保管部の外部から空気を圧送するモ
ータファンとからなるフィルタユニットである。

【００４７】このような構成によれば、保管物が保管さ
れていない保管部に必要な清浄能力を確実に低減して無
駄な電力消費を効果的に抑制することができる。

【００４８】

【発明の効果】請求項１〜請求項３に記載の発明によれ
ば、保管物が保管されていない保管部があるときに空気
清浄のための無駄な電力消費を抑制することができる。

【００４９】請求項２に記載の発明によれば、各保管部
毎に設けられたフィルタユニットの清浄能力単位で総清
浄能力を制限して、無駄な電力消費を効果的に抑制する
ことができる。

【００５０】請求項３に記載の発明によれば、保管物が
保管されていない保管部に塵埃が滞留しないようにする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 （ａ）は清浄保管装置の模式平断面図、
（ｂ）は同じく模式側面図。

【図２】 図１におけるＡ−Ａ線断面図。

【図３】 清浄保管装置の電気配線図。

【符号の説明】

１０…部屋、１３…移送手段を構成するスタッカクレー
ン、１５…保管単位体としての保管ユニット、１８…移
送手段を構成するコンベヤ、２０…保管部、２０ａ…開
口部、２１…清浄能力制御手段を構成する保管物検出手
段としての近接センサ、２４…空気清浄手段を構成する
プレフィルタ、２５…空気清浄手段を構成する空気清浄
器としてのファンフィルタユニット、２８…清浄能力制
御手段を構成する運転制御手段としての制御盤。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部に対してほぼ密閉された状態に形成
   された部屋と、 前記部屋内に設けられ、それぞれ保管物が載置される複
   数の保管部と、 前記各保管部と前記部屋の外部との間で保管物の移送を
   行う移送手段と、 前記部屋内の空気を循環させて同空気を濾過する、独立
   して運転制御可能な複数の空気清浄手段とを備えた清浄
   保管装置において、 前記各保管部における保管物の有無に基づき、少なくと
   も保管物が保管されている保管部内の清浄度を所定の清
   浄度以上の高い清浄度に維持する範囲で、前記各空気清
   浄手段の総清浄能力を小さく制限するように同各空気清
   浄手段を制御する清浄能力制御手段を備えた清浄保管装
   置。
2. 【請求項２】 前記空気清浄手段は、前記各保管部毎に
   設けられ、同保管部と該保管部の外部との間に設けられ
   たフィルタと、該フィルタに同保管部の外部から空気を
   圧送するモータファンとからなるフィルタユニットであ
   って、 清浄能力制御手段は、各保管部に保管物が保管されてい
   るか否かを検出する保管物検出手段と、少なくとも保管
   物が検出される保管部に設けられている前記フィルタユ
   ニットのモータファンを所定の回転速度で運転し、その
   他の保管部のフィルタユニットのモータファンを前記所
   定の回転速度よりも低い回転速度で運転するかあるいは
   停止させる運転制御手段とを備えた請求項１に記載の清
   浄保管装置。
3. 【請求項３】 前記各保管部は、前記移送手段の移動経
   路に沿って設けられ、同移送手段側だけに開口部を有す
   るように設けられるとともに同各開口部が上下方向に並
   ぶように上下に設けられ、 前記各フィルタユニットは、上下に並ぶ各保管部の下方
   から前記移送手段側の空気を導入して濾過し、濾過した
   空気を各保管部に前記開口部の反対側から供給するよう
   に設けられ、 前記運転制御手段は、上下に並ぶ前記各保管部の内のい
   ずれかの保管部に保管物が保管され、その他の保管部に
   保管物が保管されていないときには、保管物が保管され
   ていない保管部に備えられた前記フィルタユニットのモ
   ータファンを前記所定の回転速度よりも低い回転速度で
   運転する請求項２に記載の清浄保管装置。