JPH10315963A - 無人搬送車 - Google Patents
無人搬送車Info
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- JPH10315963A JPH10315963A JP14466097A JP14466097A JPH10315963A JP H10315963 A JPH10315963 A JP H10315963A JP 14466097 A JP14466097 A JP 14466097A JP 14466097 A JP14466097 A JP 14466097A JP H10315963 A JPH10315963 A JP H10315963A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 無人搬送車が走行する際に、室内のダウンフ
ローの流れに乱れを生じさせず、発塵を抑制することが
できるとともに、搬送物を、所定のクリーン度を維待し
ながら、各種製造装置間で搬送することができる無人搬
送車を提供すること。 【解決手段】 天井３０に配設したレール３２に懸吊さ
れて走行するようにした無人搬送車１において、無人搬
送車１に、搬送物１１を搬入、搬出するための開閉シャ
ッタ１４を配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバ
１２を形成するとともに、この搬送物搭載チャンバ１２
にクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置１３を
設置し、クリーンエア供給装置１３から供給されたエア
を搬送物搭載チャンバ１３に形成した排気口１５から搬
送ゾーンＲ１に放出するようにする。
ローの流れに乱れを生じさせず、発塵を抑制することが
できるとともに、搬送物を、所定のクリーン度を維待し
ながら、各種製造装置間で搬送することができる無人搬
送車を提供すること。 【解決手段】 天井３０に配設したレール３２に懸吊さ
れて走行するようにした無人搬送車１において、無人搬
送車１に、搬送物１１を搬入、搬出するための開閉シャ
ッタ１４を配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバ
１２を形成するとともに、この搬送物搭載チャンバ１２
にクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置１３を
設置し、クリーンエア供給装置１３から供給されたエア
を搬送物搭載チャンバ１３に形成した排気口１５から搬
送ゾーンＲ１に放出するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備、
液晶基板製造設備等のクリーンな設備において、半導体
ウエハや液晶基板を収納したカセット等の搬送物（本明
細書において、単に、「搬送物」という。）の搬送を行
うための無人搬送車に関するものである。
液晶基板製造設備等のクリーンな設備において、半導体
ウエハや液晶基板を収納したカセット等の搬送物（本明
細書において、単に、「搬送物」という。）の搬送を行
うための無人搬送車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造設備や液晶基板製造設
備において、半導体ウエハや液晶基板を収納したカセッ
トを、各種製造装置間で搬送するために、無人搬送車が
用いられている。ところで、従来の無人搬送車は、床面
に敷設したレール上を走行するようにされているため、
無人搬送車が走行する際に発塵が起こりやすく、このた
め、発塵を抑制し、室内を所定のクリーン度に維待する
ために、ヘパフィルタを備えたクリーンエア供給装置等
からなる空調設備を設置し、室内にダウンフローが生じ
るようにしていた。
備において、半導体ウエハや液晶基板を収納したカセッ
トを、各種製造装置間で搬送するために、無人搬送車が
用いられている。ところで、従来の無人搬送車は、床面
に敷設したレール上を走行するようにされているため、
無人搬送車が走行する際に発塵が起こりやすく、このた
め、発塵を抑制し、室内を所定のクリーン度に維待する
ために、ヘパフィルタを備えたクリーンエア供給装置等
からなる空調設備を設置し、室内にダウンフローが生じ
るようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の無
人搬送車は、床面に敷設したレール上を走行するように
されているため、無人搬送車が走行する際に発塵が起こ
りやすく、これを防止するためには、高性能のヘパフィ
ルタを備えたクリーンエア供給装置等を備えた空調設備
が必要となり、設備の構築コストが上昇するという問題
があるとともに、上記の対策を講じても、レール上を走
行する搬送車が床面に形成した排気口を塞ぐため、室内
のダウンフローの流れに乱れが生じやすく、発塵を抑制
することが技術的に困難を伴うという問題があった。ま
た、これに加えて、床面に敷設したレールが、製造装置
の搬入、搬出等の作業の障害となり、さらに、使用可能
な有効床面積が小さくなり、建屋の建設コストが上昇す
るという問題があった。
人搬送車は、床面に敷設したレール上を走行するように
されているため、無人搬送車が走行する際に発塵が起こ
りやすく、これを防止するためには、高性能のヘパフィ
ルタを備えたクリーンエア供給装置等を備えた空調設備
が必要となり、設備の構築コストが上昇するという問題
があるとともに、上記の対策を講じても、レール上を走
行する搬送車が床面に形成した排気口を塞ぐため、室内
のダウンフローの流れに乱れが生じやすく、発塵を抑制
することが技術的に困難を伴うという問題があった。ま
た、これに加えて、床面に敷設したレールが、製造装置
の搬入、搬出等の作業の障害となり、さらに、使用可能
な有効床面積が小さくなり、建屋の建設コストが上昇す
るという問題があった。
【０００４】本発明は、上記従来の無人搬送車の有する
問題点を解決し、無人搬送車が走行する際に、室内のダ
ウンフローの流れに乱れを生じさせず、発塵を抑制する
ことができるとともに、搬送物を、所定のクリーン度を
維待しながら、各種製造装置間で搬送することができる
無人搬送車を提供することを目的とする。
問題点を解決し、無人搬送車が走行する際に、室内のダ
ウンフローの流れに乱れを生じさせず、発塵を抑制する
ことができるとともに、搬送物を、所定のクリーン度を
維待しながら、各種製造装置間で搬送することができる
無人搬送車を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の無人搬送車は、天井部に配設したレールに
懸吊されて走行するようにした無人搬送車において、無
人搬送車に、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッ
タを配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバを形成
するとともに、該搬送物搭載チャンバにクリーンエアを
供給するクリーンエア供給装置を設置し、クリーンエア
供給装置から供給されたエアを搬送物搭載チャンバに形
成した排気口から外部に放出するようにしたことを特徴
とする。
め、本発明の無人搬送車は、天井部に配設したレールに
懸吊されて走行するようにした無人搬送車において、無
人搬送車に、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッ
タを配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバを形成
するとともに、該搬送物搭載チャンバにクリーンエアを
供給するクリーンエア供給装置を設置し、クリーンエア
供給装置から供給されたエアを搬送物搭載チャンバに形
成した排気口から外部に放出するようにしたことを特徴
とする。
【０００６】この無人搬送車は、搬送物を搬入、搬出す
るための開閉シャッタを配設した開口部を備えた搬送物
搭載チャンバを形成するとともに、該搬送物搭載チャン
バにクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置を設
置し、クリーンエア供給装置から供給されたエアを搬送
物搭載チャンバに形成した排気口から外部に放出するよ
うにしているため、無人搬送車が走行する際に、搬送車
が床面に形成した排気口を塞ぐことがないため、室内の
ダウンフローの流れに乱れが生じず、発塵を抑制するこ
とができるとともに、搬送物搭載チャンバ内を所定のク
リーン度に維待することができ、搬送物を、各種製造装
置間で塵埃が付着することなく搬送することができる。
また、無人搬送車を天井部に配設したレールに懸吊され
て走行するようにしているため、床面のレール等の障害
物をなくすことができ、製造装置の搬入、搬出等の作業
を円滑に行うことができるとともに、使用可能な有効床
面積を大きく取ることができる。
るための開閉シャッタを配設した開口部を備えた搬送物
搭載チャンバを形成するとともに、該搬送物搭載チャン
バにクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置を設
置し、クリーンエア供給装置から供給されたエアを搬送
物搭載チャンバに形成した排気口から外部に放出するよ
うにしているため、無人搬送車が走行する際に、搬送車
が床面に形成した排気口を塞ぐことがないため、室内の
ダウンフローの流れに乱れが生じず、発塵を抑制するこ
とができるとともに、搬送物搭載チャンバ内を所定のク
リーン度に維待することができ、搬送物を、各種製造装
置間で塵埃が付着することなく搬送することができる。
また、無人搬送車を天井部に配設したレールに懸吊され
て走行するようにしているため、床面のレール等の障害
物をなくすことができ、製造装置の搬入、搬出等の作業
を円滑に行うことができるとともに、使用可能な有効床
面積を大きく取ることができる。
【０００７】この場合において、搬送物搭載チャンバ内
に搬送物移載装置を設置することができる。
に搬送物移載装置を設置することができる。
【０００８】これにより、搬送物移載装置に塵埃が付着
することを防止でき、搬送物の搬送経路のクリーン度を
向上することができる。
することを防止でき、搬送物の搬送経路のクリーン度を
向上することができる。
【０００９】また、搬送物搭載チャンバを、無人搬送車
の走行装置に対して昇降させる昇降装置を配設すること
ができる。
の走行装置に対して昇降させる昇降装置を配設すること
ができる。
【００１０】これにより、無人搬送車が走行する際の発
塵を一層抑制することができるとともに、無人走行車の
走行経路の下方の空間を有効に利用することができ、さ
らに、搬送物搭載チャンバと各種製造装置との間で搬送
物を移載する際に、搬送物搭載チャンバを昇降させて搬
送物の受渡を行うことができ、搬送物移載装置の構造を
簡略化することができる。
塵を一層抑制することができるとともに、無人走行車の
走行経路の下方の空間を有効に利用することができ、さ
らに、搬送物搭載チャンバと各種製造装置との間で搬送
物を移載する際に、搬送物搭載チャンバを昇降させて搬
送物の受渡を行うことができ、搬送物移載装置の構造を
簡略化することができる。
【００１１】また、無人搬送車に対し、レールに沿って
配設した給電線から非接触で給電を行うようにすること
ができる。
配設した給電線から非接触で給電を行うようにすること
ができる。
【００１２】これにより、給電装置からの発塵をなくす
ことができ、搬送物の搬送経路のクリーン度を向上する
ことができる。
ことができ、搬送物の搬送経路のクリーン度を向上する
ことができる。
【００１３】また、無人搬送車は、その平面形状を略台
形に形成するとともに、略台形の平行面のうち長辺側
に、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設
した開口部を形成することができる。
形に形成するとともに、略台形の平行面のうち長辺側
に、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設
した開口部を形成することができる。
【００１４】これにより、無人搬送車が走行する際の発
塵を一層抑制することができるとともに、無人搬送車の
走行による各種製造装置に対する影響を軽減することが
できる。
塵を一層抑制することができるとともに、無人搬送車の
走行による各種製造装置に対する影響を軽減することが
できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の無人搬送車の実施
の形態を図面に基づいて説明する。
の形態を図面に基づいて説明する。
【００１６】図１〜図５に、本発明の無人搬送車の第１
実施例を示す。この無人搬送車１は、図５に示すよう
に、その平面形状を略台形に形成するとともに、室内に
形成した搬送ゾーンＲ１の天井３０に、搬送物１１の搬
送経路に沿って配設したＩ形レール３２に懸吊されて走
行するように、車輪３及び車輪３の駆動モータ４からな
る走行装置２を設けるようにする。このように、レール
３２を天井３０に設置することにより、無人搬送車１が
走行する際に、搬送車１が、後述の床面３５に形成した
排気口３４を塞ぐことがないため、室内のダウンフロー
の流れに乱れが生じず、発塵を抑制することができると
ともに、床面３５にはレール等の障害物がないため、製
造装置の搬入、搬出等の作業を円滑に行うことができる
とともに、使用可能な有効床面積を大きく取ることがで
きる。
実施例を示す。この無人搬送車１は、図５に示すよう
に、その平面形状を略台形に形成するとともに、室内に
形成した搬送ゾーンＲ１の天井３０に、搬送物１１の搬
送経路に沿って配設したＩ形レール３２に懸吊されて走
行するように、車輪３及び車輪３の駆動モータ４からな
る走行装置２を設けるようにする。このように、レール
３２を天井３０に設置することにより、無人搬送車１が
走行する際に、搬送車１が、後述の床面３５に形成した
排気口３４を塞ぐことがないため、室内のダウンフロー
の流れに乱れが生じず、発塵を抑制することができると
ともに、床面３５にはレール等の障害物がないため、製
造装置の搬入、搬出等の作業を円滑に行うことができる
とともに、使用可能な有効床面積を大きく取ることがで
きる。
【００１７】無人搬送車１には、給電装置としての集電
コイル１６を設け、レール３２に沿って配設した給電線
３３に高周波の電流を流すことにより、誘導電流によっ
て、非接触で給電を受けるようにする。これにより、給
電装置からの発塵をなくすことができ、搬送物１１の搬
送経路のクリーン度を向上することができる。
コイル１６を設け、レール３２に沿って配設した給電線
３３に高周波の電流を流すことにより、誘導電流によっ
て、非接触で給電を受けるようにする。これにより、給
電装置からの発塵をなくすことができ、搬送物１１の搬
送経路のクリーン度を向上することができる。
【００１８】また、無人搬送車１には、走行装置２に、
昇降装置１７を介して、搬送物搭載チャンバ１２を形成
する。搬送物搭載チャンバ１２を、無人搬送車１の走行
装置２に対して昇降させることにより、搬送物搭載チャ
ンバ１２と製造装置２０との間で搬送物１１を移載する
際に、搬送物搭載チャンバ１２を昇降させて搬送物１１
の受渡を行うようにする昇降装置１７には、本実施例に
示すようなテレスコープ式のほか、任意の形式の昇降装
置を用いることができる。
昇降装置１７を介して、搬送物搭載チャンバ１２を形成
する。搬送物搭載チャンバ１２を、無人搬送車１の走行
装置２に対して昇降させることにより、搬送物搭載チャ
ンバ１２と製造装置２０との間で搬送物１１を移載する
際に、搬送物搭載チャンバ１２を昇降させて搬送物１１
の受渡を行うようにする昇降装置１７には、本実施例に
示すようなテレスコープ式のほか、任意の形式の昇降装
置を用いることができる。
【００１９】この昇降装置１７の下部に設けられる搬送
物搭載チャンバ１２は、無人搬送車１の略台形の平行面
のうち長辺側に、搬送物１１を搬入、搬出するための開
閉シャッタ１４を配設した開口部を形成するようにす
る。これにより、無人搬送車１が走行する際の発塵を抑
制することができるとともに、無人搬送車１の走行によ
る製造装置２０の開口部２１に対する影響を軽減するこ
とができる。また、この搬送物搭載チャンバ１２は、搬
送物１１の移載を行う移載装置１０及びヘパフィルタを
備えたクリーンエア供給装置１３を設置し、クリーンエ
ア供給装置１３からチャンバ内１８に供給されたエアを
搬送物搭載チャンバ１２の下部に形成した排気口１５か
ら搬送ゾーンＲ１に放出するように構成している。この
場合、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８の圧力
を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持し、搬送ゾ
ーンＲ１の空気が、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ
内１８に直接流入しないようにする。これにより、搬送
物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８を所定のクリーン
度に維待することができ、搬送物１１を、各種製造装置
２０間で塵埃が付着することなく搬送することができ
る。
物搭載チャンバ１２は、無人搬送車１の略台形の平行面
のうち長辺側に、搬送物１１を搬入、搬出するための開
閉シャッタ１４を配設した開口部を形成するようにす
る。これにより、無人搬送車１が走行する際の発塵を抑
制することができるとともに、無人搬送車１の走行によ
る製造装置２０の開口部２１に対する影響を軽減するこ
とができる。また、この搬送物搭載チャンバ１２は、搬
送物１１の移載を行う移載装置１０及びヘパフィルタを
備えたクリーンエア供給装置１３を設置し、クリーンエ
ア供給装置１３からチャンバ内１８に供給されたエアを
搬送物搭載チャンバ１２の下部に形成した排気口１５か
ら搬送ゾーンＲ１に放出するように構成している。この
場合、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８の圧力
を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持し、搬送ゾ
ーンＲ１の空気が、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ
内１８に直接流入しないようにする。これにより、搬送
物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８を所定のクリーン
度に維待することができ、搬送物１１を、各種製造装置
２０間で塵埃が付着することなく搬送することができ
る。
【００２０】無人搬送車１の搬送物搭載チャンバ１２と
製造装置２０との間で搬送物１１を移載する移載装置１
０は、本実施例においては、基台１０ａ上に、任意の駆
動機構により、略水平方向に伸縮されるテレスコープ式
の複数のフォーク１０ｂ，１０ｃを配設するとともに、
先端のフォーク１０ｃに搬送物１１を載置するように構
成したものを用いたが、後述のように、移載装置１０に
は、各種の方式のものを使用することができる。そし
て、この移載装置１０は、移載装置１０の高さと製造装
置の移載部２３の高さとが一致するように移載装置１０
を昇降させる昇降機構５を備えている。昇降機構５は、
昇降用モータ６、昇降ユニット７、ボールスクリュ８か
らなり、ボールスクリュ８に螺合した移載装置１０の基
台１０ａを、昇降用モータ６を駆動することにより、昇
降ユニット７及びボールスクリュ８を介して昇降させる
もので、この昇降機構５は、好ましくは、チャンバ内１
８と隔壁１８ａを隔てて配設するようにする。なお、移
載装置１０の高さの調節は、この昇降機構５のほか、上
記の走行装置２と搬送物搭載チャンバ１２の間に配設し
た昇降装置１７によっても行うことができ、この場合、
大きな調整を昇降装置１７により、微調整を昇降機構５
により行う等、両者を必要に応じて使い分けることがで
き、また、いずれか一方を省略することもできる。
製造装置２０との間で搬送物１１を移載する移載装置１
０は、本実施例においては、基台１０ａ上に、任意の駆
動機構により、略水平方向に伸縮されるテレスコープ式
の複数のフォーク１０ｂ，１０ｃを配設するとともに、
先端のフォーク１０ｃに搬送物１１を載置するように構
成したものを用いたが、後述のように、移載装置１０に
は、各種の方式のものを使用することができる。そし
て、この移載装置１０は、移載装置１０の高さと製造装
置の移載部２３の高さとが一致するように移載装置１０
を昇降させる昇降機構５を備えている。昇降機構５は、
昇降用モータ６、昇降ユニット７、ボールスクリュ８か
らなり、ボールスクリュ８に螺合した移載装置１０の基
台１０ａを、昇降用モータ６を駆動することにより、昇
降ユニット７及びボールスクリュ８を介して昇降させる
もので、この昇降機構５は、好ましくは、チャンバ内１
８と隔壁１８ａを隔てて配設するようにする。なお、移
載装置１０の高さの調節は、この昇降機構５のほか、上
記の走行装置２と搬送物搭載チャンバ１２の間に配設し
た昇降装置１７によっても行うことができ、この場合、
大きな調整を昇降装置１７により、微調整を昇降機構５
により行う等、両者を必要に応じて使い分けることがで
き、また、いずれか一方を省略することもできる。
【００２１】レール３２を配設した搬送ゾーンＲ１の側
方には、製造装置２０を設置する製造ゾーンＲ２を形成
するとともに、この製造装置２０には、無人搬送車１の
搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０との間で搬送物
１１を、所要のクリーン度を維持しながら移載するため
の開口部２１を形成した移載部２３が設けられる。この
移載部２３の上部には、製造装置２０のクリーン度を高
レベルに維持するためのヘパフィルタを備えたクリーン
エア供給装置２２を配設するとともに、移載部２３に
は、排気口２４を形成し、クリーンエア供給装置２２よ
り排気口２４に向けてダウンフローが生じるように構成
する。この場合、製造装置２０を配置する製造ゾーンＲ
２の圧力を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持
し、搬送ゾーンＲ１の空気が、製造ゾーンＲ２に流入し
ないようにする。
方には、製造装置２０を設置する製造ゾーンＲ２を形成
するとともに、この製造装置２０には、無人搬送車１の
搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０との間で搬送物
１１を、所要のクリーン度を維持しながら移載するため
の開口部２１を形成した移載部２３が設けられる。この
移載部２３の上部には、製造装置２０のクリーン度を高
レベルに維持するためのヘパフィルタを備えたクリーン
エア供給装置２２を配設するとともに、移載部２３に
は、排気口２４を形成し、クリーンエア供給装置２２よ
り排気口２４に向けてダウンフローが生じるように構成
する。この場合、製造装置２０を配置する製造ゾーンＲ
２の圧力を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持
し、搬送ゾーンＲ１の空気が、製造ゾーンＲ２に流入し
ないようにする。
【００２２】このように、室内は、無人搬送車１が走行
する搬送ゾーンＲ１と、製造装置２０を設置する製造ゾ
ーンＲ２とに分けるようにするが、搬送ゾーンＲ１側に
も、所定のクリーン度を維持するためのヘパフィルタを
備えたクリーンエア供給装置３１を配設するとともに、
床面２５には、排気口３４を形成し、クリーンエア供給
装置３１より排気口２４に向けてダウンフローが生じる
ように構成する。この場合、搬送ゾーンＲ１のクリーン
度は、製造ゾーンＲ２や搬送物搭載チャンバ１２のチャ
ンバ内１８のクリーン度よりも低レベルに設定すること
が可能で、これにより、クリーンエア供給装置３１、す
なわち、天井設備の構築コスト及び稼働コストを低廉に
することができるものとなる。なお、クリーンエア供給
装置１３，２２，３１には、設置箇所に応じた所定のク
リーン度を維持することができる、ファン及びヘパフィ
ルタを備えた任意の構造のものを使用することができ
る。
する搬送ゾーンＲ１と、製造装置２０を設置する製造ゾ
ーンＲ２とに分けるようにするが、搬送ゾーンＲ１側に
も、所定のクリーン度を維持するためのヘパフィルタを
備えたクリーンエア供給装置３１を配設するとともに、
床面２５には、排気口３４を形成し、クリーンエア供給
装置３１より排気口２４に向けてダウンフローが生じる
ように構成する。この場合、搬送ゾーンＲ１のクリーン
度は、製造ゾーンＲ２や搬送物搭載チャンバ１２のチャ
ンバ内１８のクリーン度よりも低レベルに設定すること
が可能で、これにより、クリーンエア供給装置３１、す
なわち、天井設備の構築コスト及び稼働コストを低廉に
することができるものとなる。なお、クリーンエア供給
装置１３，２２，３１には、設置箇所に応じた所定のク
リーン度を維持することができる、ファン及びヘパフィ
ルタを備えた任意の構造のものを使用することができ
る。
【００２３】次に、この無人搬送車１の動作について説
明する。図１に示すように、無人搬送車１の搬送物搭載
チャンバ１２のチャンバ内１８に搭載した搬送物１１
を、製造装置２０の移載部２３へ移載する場合、昇降装
置１７を操作することにより、搬送物搭載チャンバ１２
の移載装置１０の高さと製造装置２０の移載部２３の高
さを略一致させて無人搬送車１を所定位置に停止させ
る。
明する。図１に示すように、無人搬送車１の搬送物搭載
チャンバ１２のチャンバ内１８に搭載した搬送物１１
を、製造装置２０の移載部２３へ移載する場合、昇降装
置１７を操作することにより、搬送物搭載チャンバ１２
の移載装置１０の高さと製造装置２０の移載部２３の高
さを略一致させて無人搬送車１を所定位置に停止させ
る。
【００２４】そして、図２に示すように、制御装置の指
令に基づき、開閉シャッタ１４を操作して、搬送物搭載
チャンバ１２の開口部を開放し、移載装置１０により搬
送物１１をチャンバ内１８から製造装置２０の移載部２
３へ移載する。この場合、必要に応じて、移載装置１０
の高さの微調節を昇降機構５により行うようにする。
令に基づき、開閉シャッタ１４を操作して、搬送物搭載
チャンバ１２の開口部を開放し、移載装置１０により搬
送物１１をチャンバ内１８から製造装置２０の移載部２
３へ移載する。この場合、必要に応じて、移載装置１０
の高さの微調節を昇降機構５により行うようにする。
【００２５】また、無人搬送車１を走行させる場合、図
３に示すように、制御装置の指令に基づき、昇降装置１
７を縮小するように操作することにより、搬送物搭載チ
ャンバ１２を上昇させることができ、これにより、無人
搬送車１が走行する際の発塵を抑制することができると
ともに、無人走行車１の走行経路の下方の空間を有効に
利用することができる。
３に示すように、制御装置の指令に基づき、昇降装置１
７を縮小するように操作することにより、搬送物搭載チ
ャンバ１２を上昇させることができ、これにより、無人
搬送車１が走行する際の発塵を抑制することができると
ともに、無人走行車１の走行経路の下方の空間を有効に
利用することができる。
【００２６】そして、無人搬送車１を走行させる場合、
搬送物搭載チャンバ１２の開口部は、開閉シャッタ１４
により閉鎖するとともに、クリーンエア供給装置１３か
らチャンバ内１８にクリーンエアを供給することによ
り、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８の圧力
を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持し、搬送ゾ
ーンＲ１の空気が、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ
内１８に直接流入しないようにするとともに、クリーン
エア供給装置１３からチャンバ内１８に供給されたエア
を搬送物搭載チャンバ１２の下部に形成した排気口１５
から搬送ゾーンＲ１に放出して、搬送物搭載チャンバ１
２のチャンバ内１８を所定のクリーン度に維待するよう
にする。
搬送物搭載チャンバ１２の開口部は、開閉シャッタ１４
により閉鎖するとともに、クリーンエア供給装置１３か
らチャンバ内１８にクリーンエアを供給することによ
り、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８の圧力
を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持し、搬送ゾ
ーンＲ１の空気が、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ
内１８に直接流入しないようにするとともに、クリーン
エア供給装置１３からチャンバ内１８に供給されたエア
を搬送物搭載チャンバ１２の下部に形成した排気口１５
から搬送ゾーンＲ１に放出して、搬送物搭載チャンバ１
２のチャンバ内１８を所定のクリーン度に維待するよう
にする。
【００２７】図６に、本発明の無人搬送車の第２実施例
を示す。この無人搬送車１は、移載装置１０の高さと製
造装置の移載部２３の高さとが略一致するように移載装
置１０を昇降させる昇降機構４０を、昇降用モータ４１
にて駆動されるカム４２と、このカム４２に当接してカ
ム４２の回転に対応して上下動するカムフォロア４３
と、リニアガイド４４と、カムフォロア４３に固定した
昇降体４５とにより構成し、昇降体４５に移載装置１０
の基台１０ａを固定したものである。そして、昇降体４
５に固定した移載装置１０の基台１０ａを、昇降用モー
タ４１を駆動することにより、カム４２、カムフォロア
４３及び昇降体４５を介して昇降させるもので、この昇
降機構４０は、好ましくは、チャンバ内１８と隔壁を隔
てて配設するようにする。なお、本実施例の無人搬送車
のその他の構成及び作用は、上記第１実施例の無人搬送
車と同様である。
を示す。この無人搬送車１は、移載装置１０の高さと製
造装置の移載部２３の高さとが略一致するように移載装
置１０を昇降させる昇降機構４０を、昇降用モータ４１
にて駆動されるカム４２と、このカム４２に当接してカ
ム４２の回転に対応して上下動するカムフォロア４３
と、リニアガイド４４と、カムフォロア４３に固定した
昇降体４５とにより構成し、昇降体４５に移載装置１０
の基台１０ａを固定したものである。そして、昇降体４
５に固定した移載装置１０の基台１０ａを、昇降用モー
タ４１を駆動することにより、カム４２、カムフォロア
４３及び昇降体４５を介して昇降させるもので、この昇
降機構４０は、好ましくは、チャンバ内１８と隔壁を隔
てて配設するようにする。なお、本実施例の無人搬送車
のその他の構成及び作用は、上記第１実施例の無人搬送
車と同様である。
【００２８】図７に、本発明の無人搬送車の第３実施例
を示す。この無人搬送車１は、移載装置５０を、移載用
モータ５１と、この移載用モータ５１に取り付けられて
揺動するた偏芯リンクアーム５２と、この偏芯リンクア
ーム５２に取り付けた複数本のリンクアーム５３，５
４，５５，５６とから構成し、移載用モータ５１を駆動
することにより、偏芯リンクアーム５２を介して複数本
のリンクアーム５３，５４，５５，５６を屈伸、揺動さ
せて、移載装置５０の先端に載置した搬送物１１を、無
人搬送車１の搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０の
移載部２３との間で移載するようにしたものである（特
願平９ー９８４２５号参照）。なお、本実施例の無人搬
送車のその他の構成及び作用は、上記第１実施例の無人
搬送車と同様である。
を示す。この無人搬送車１は、移載装置５０を、移載用
モータ５１と、この移載用モータ５１に取り付けられて
揺動するた偏芯リンクアーム５２と、この偏芯リンクア
ーム５２に取り付けた複数本のリンクアーム５３，５
４，５５，５６とから構成し、移載用モータ５１を駆動
することにより、偏芯リンクアーム５２を介して複数本
のリンクアーム５３，５４，５５，５６を屈伸、揺動さ
せて、移載装置５０の先端に載置した搬送物１１を、無
人搬送車１の搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０の
移載部２３との間で移載するようにしたものである（特
願平９ー９８４２５号参照）。なお、本実施例の無人搬
送車のその他の構成及び作用は、上記第１実施例の無人
搬送車と同様である。
【００２９】
【発明の効果】本発明の無人搬送車によれば、搬送物を
搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口部を
備えた搬送物搭載チャンバを形成するとともに、該搬送
物搭載チャンバにクリーンエアを供給するクリーンエア
供給装置を設置し、クリーンエア供給装置から供給され
たエアを搬送物搭載チャンバに形成した排気口から外部
に放出するようにしているため、無人搬送車が走行する
際に、搬送車が床面に形成した排気口を塞ぐことがない
ため、室内のダウンフローの流れに乱れが生じず、発塵
を抑制することができるとともに、搬送物搭載チャンバ
内を所定のクリーン度に維待することができ、搬送物
を、各種製造装置間で塵埃が付着することなく搬送する
ことができる。また、無人搬送車を天井部に配設したレ
ールに懸吊されて走行するようにしているため、床面の
レール等の障害物をなくすことができ、製造装置の搬
入、搬出等の作業を円滑に行うことができるとともに、
使用可能な有効床面積を大きく取ることができ、建屋の
建設コストを低廉にすることができる。
搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口部を
備えた搬送物搭載チャンバを形成するとともに、該搬送
物搭載チャンバにクリーンエアを供給するクリーンエア
供給装置を設置し、クリーンエア供給装置から供給され
たエアを搬送物搭載チャンバに形成した排気口から外部
に放出するようにしているため、無人搬送車が走行する
際に、搬送車が床面に形成した排気口を塞ぐことがない
ため、室内のダウンフローの流れに乱れが生じず、発塵
を抑制することができるとともに、搬送物搭載チャンバ
内を所定のクリーン度に維待することができ、搬送物
を、各種製造装置間で塵埃が付着することなく搬送する
ことができる。また、無人搬送車を天井部に配設したレ
ールに懸吊されて走行するようにしているため、床面の
レール等の障害物をなくすことができ、製造装置の搬
入、搬出等の作業を円滑に行うことができるとともに、
使用可能な有効床面積を大きく取ることができ、建屋の
建設コストを低廉にすることができる。
【００３０】この場合において、搬送物搭載チャンバ内
に搬送物移載装置を設置することにより、搬送物移載装
置に塵埃が付着することを防止でき、搬送物の搬送経路
のクリーン度を向上することができる。
に搬送物移載装置を設置することにより、搬送物移載装
置に塵埃が付着することを防止でき、搬送物の搬送経路
のクリーン度を向上することができる。
【００３１】また、搬送物搭載チャンバを、無人搬送車
の走行装置に対して昇降させる昇降装置を配設すること
により、無人搬送車が走行する際の発塵を一層抑制する
ことができるとともに、無人走行車の走行経路の下方の
空間を有効に利用することができ、さらに、搬送物搭載
チャンバと各種製造装置との間で搬送物を移載する際
に、搬送物搭載チャンバを昇降させて搬送物の受渡を行
うことができ、搬送物移載装置の構造を簡略化すること
ができる。
の走行装置に対して昇降させる昇降装置を配設すること
により、無人搬送車が走行する際の発塵を一層抑制する
ことができるとともに、無人走行車の走行経路の下方の
空間を有効に利用することができ、さらに、搬送物搭載
チャンバと各種製造装置との間で搬送物を移載する際
に、搬送物搭載チャンバを昇降させて搬送物の受渡を行
うことができ、搬送物移載装置の構造を簡略化すること
ができる。
【００３２】また、無人搬送車に対し、レールに沿って
配設した給電線から非接触で給電を行うようにすること
により、給電装置からの発塵をなくすことができ、搬送
物の搬送経路のクリーン度を向上することができる。
配設した給電線から非接触で給電を行うようにすること
により、給電装置からの発塵をなくすことができ、搬送
物の搬送経路のクリーン度を向上することができる。
【００３３】また、無人搬送車の平面形状を略台形に形
成するとともに、略台形の平行面のうち長辺側に、搬送
物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口
部を形成することにより、無人搬送車が走行する際の発
塵を一層抑制することができるとともに、無人搬送車の
走行による各種製造装置に対する影響を軽減することが
でき、搬送物の搬送経路のクリーン度を向上することが
できる。
成するとともに、略台形の平行面のうち長辺側に、搬送
物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口
部を形成することにより、無人搬送車が走行する際の発
塵を一層抑制することができるとともに、無人搬送車の
走行による各種製造装置に対する影響を軽減することが
でき、搬送物の搬送経路のクリーン度を向上することが
できる。
【図１】本発明の無人搬送車の第１実施例を示し、搬送
物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示
す断面図である。
物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示
す断面図である。
【図２】同搬送物を製造装置へ移載した状態を示す断面
図である。
図である。
【図３】同搬送物を搭載した搬送物搭載チャンバを上昇
させた状態を示す断面図である。
させた状態を示す断面図である。
【図４】同図１の状態の正面図である。
【図５】同平面図である。
【図６】本発明の無人搬送車の第２実施例を示し、搬送
物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示
す断面図である。
物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示
す断面図である。
【図７】本発明の無人搬送車の第３実施例を示し、搬送
物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示
す断面図である。
物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示
す断面図である。
１ 無人搬送車 ２ 走行装置 ３ 車輪 ４ 駆動モータ ５ 昇降機構 １０ 移載装置 １１ 搬送物 １２ 搬送物搭載チャンバ １３ クリーンエア供給装置 １４ 開閉シャッタ １５ 排気口 １６ 集電コイル １７ 昇降装置 １８ チャンバ内 ２０ 製造装置 ２１ 開口部 ２２ クリーンエア供給装置 ２３ 移載部 ２４ 排気口 ３０ 天井 ３１ クリーンエア供給装置 ３２ レール ３３ 給電線 ３４ 排気口 ３５ 床面 ４０ 昇降装置 ５０ 移載装置
Claims (5)
- 【請求項１】 天井部に配設したレールに懸吊されて走
行するようにした無人搬送車において、無人搬送車に、
搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した
開口部を備えた搬送物搭載チャンバを形成するととも
に、該搬送物搭載チャンバにクリーンエアを供給するク
リーンエア供給装置を設置し、クリーンエア供給装置か
ら供給されたエアを搬送物搭載チャンバに形成した排気
口から外部に放出するようにしたことを特徴とする無人
搬送車。 - 【請求項２】 搬送物搭載チャンバ内に搬送物移載装置
を設置したことを特徴とする請求項１記載の無人搬送
車。 - 【請求項３】 搬送物搭載チャンバを、無人搬送車の走
行装置に対して昇降させる昇降装置を配設したことを特
徴とする請求項１又は２記載の無人搬送車。 - 【請求項４】 無人搬送車は、レールに沿って配設した
給電線から非接触で給電を受けるようにしたことを特徴
とする請求項１、２又は３記載の無人搬送車。 - 【請求項５】 無人搬送車は、その平面形状を略台形に
形成するとともに、略台形の平行面のうち長辺側に、搬
送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開
口部を形成したことを特徴とする請求項１、２、３又は
４記載の無人搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14466097A JP4341786B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 無人搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14466097A JP4341786B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 無人搬送車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10315963A true JPH10315963A (ja) | 1998-12-02 |
| JP4341786B2 JP4341786B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=15367266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14466097A Expired - Fee Related JP4341786B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 無人搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4341786B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220031346A (ko) * | 2020-09-04 | 2022-03-11 | 주식회사 알티자동화 | 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 |
-
1997
- 1997-05-19 JP JP14466097A patent/JP4341786B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220031346A (ko) * | 2020-09-04 | 2022-03-11 | 주식회사 알티자동화 | 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4341786B2 (ja) | 2009-10-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060512 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060808 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20061010 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070807 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090511 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090702 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
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