KR20220031346A - 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 - Google Patents
물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20220031346A KR20220031346A KR1020200113164A KR20200113164A KR20220031346A KR 20220031346 A KR20220031346 A KR 20220031346A KR 1020200113164 A KR1020200113164 A KR 1020200113164A KR 20200113164 A KR20200113164 A KR 20200113164A KR 20220031346 A KR20220031346 A KR 20220031346A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- real
- temperature
- transport equipment
- automated logistics
- contact
- Prior art date
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000013021 overheating Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 241001499740 Plantago alpina Species 0.000 claims description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000001931 thermography Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 27
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 20
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000008571 general function Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009474 immediate action Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/48—Thermography; Techniques using wholly visual means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2207/00—Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
- B65G2207/40—Safety features of loads, equipment or persons
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 관하여 개시한다. 본 발명은, 반송물을 이송하는 비접촉전원장치에 전원을 급전하는 리츠 케이블; 상기 리츠 케이블의 발열 상태를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈; 및 상기 비접촉 화상 감시 모듈을 통해 촬영되는 화상정보를 상기 리츠 케이블의 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하고, 상기 리츠 케이블의 온도가 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키는 제어부;를 포함하여 구성될 수 있다.
Description
본 발명은 물류자동화이송장비의 온도 변화를 비접촉 적외선 화상으로 실시간으로 감시하여 과열을 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 관한 것이다.
물류자동화이송장비들은 예를 들면, 반도체 제조 공정에 적용되고 있다. 반도체 소자의 미세화 및 다층화로 인하여 작업장 내의 불순물 처리와 관리는 제품 품질과 수율에 직접 영향을 미치는 중요한 요소로 되어 있다. 반도체 제조 뿐만 아니라 바이오 제품 제조 등 첨단산업 분야 제품 생산에서는 공기 중 미세 입자 및 각종 미생물의 활성에 대비하기 위해 클린룸(clean room) 설비 등의 청정 작업 환경을 필요로 하고 있다. 예를 들면, 반도체, 디스플레이, 모듈 및 부품 등 초정밀 제품 제조 및 생산 작업은 클린룸에서 수행되고 있지만 산발적으로 발생되는 파티클로 인해 다양한 생산 장애와 수율 저하를 겪고 있다. 제조 공정이 미세해지고 고부가가치 디스플레이 제품 비중이 커지면서 공장 내 파티클로 인한 불량 가능성도 증가되고 있다. 반도체 제조 공정에서 전공정은 미세입자의 허용 범위를 대략 20㎚에서 제어하고 이중 클린룸으로 관리하고 있으나 후공정에서는 장비의 대부분이 노출되어 있어 미세 입자 관리에 취약한 상태이다.
예를 들면, 물류자동화이송장비(OHT, Stocker 등)의 전원 공급방식은 유선을 이용한 방식과 비접촉 무선을 이용하는 방법이 있으나 유선 방식의 경우 케이블의 보호를 위해 케이블을 감싸고 있는 케이블 베어에서 다수의 파티클이 발생되어 클린룸 환경에서 사용하기에 어려움이 있어 비접촉 방식의 리츠 케이블(Litz Cable)을 이용하여 무선으로 전원을 공급하여 파티클 발생원을 줄이는 설계가 적용되고 있다. 그런데 Ltiz Cable에는 통상적으로 5kW 이상의 전기가 흐르고 있어 발열이 문제로 되고 있다.
특허문헌 1. 국내 등록특허공보 제10-1854045호(공고일 2018.04.25)
특허문헌 2. 국내 등록특허공보 제10-0679938호(공고일 2007.02.01)
특허문헌 3. 국내 등록특허공보 제10-0636601호(공고일 2006.10.13)
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 물류자동화이송장비의 온도 상태를 비접촉 적외선 화상으로 실시간으로 감시하고, 과열 검출 시 알람 발생으로 반도체 제조 공정상의 안전 조건을 신뢰성 있게 확보하는데 있다.
상기 목적들은, 본 발명에 따르면, 반송물을 이송하는 비접촉전원장치에 전원을 급전하는 리츠 케이블; 상기 리츠 케이블의 발열 상태를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈; 및 상기 비접촉 화상 감시 모듈을 통해 촬영되는 화상정보를 상기 리츠 케이블의 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하고, 상기 리츠 케이블의 온도가 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키는 제어부;를 포함하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템으로부터 달성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 비접촉전원장치는 레일을 따라 이동 가능하게 설치되어 휠 구동으로 반송물을 이송하는 OHT, 반송물을 이송하는 스토커를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈은 물류자동화이송장비의 전원공급용 리츠 케이블의 실시간 온도 검출을 위한 비접촉 적외선 열화상 카메라를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 물류자동화이송장비의 고속 주행시 실시간 온도 검출 및 판단을 위한 분석 프로그램을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 리츠 케이블의 온도를 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하여 실시간으로 판단하고, 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키며, 리츠 케이블의 설치 방향에 따라 상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈을 통한 검출 범위를 설정하여 실시간 국부 모니터링을 수행하도록 제어될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 비접촉 화상 감시 모듈을 통해 검출되는 검출 데이터를 물류자동화이송장비에는 온도 데이터를 전송하고, 모니터링 단말기에는 영상정보와 온도 데이터를 동시에 전송하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 리츠 케이블의 온도가 비정상 온도로 상승 시 1차로 경고음을 발생시키도록 제어하고, 상기 온도 데이터가 과열로 판단되는 경우 2차 알람을 발생시키도록 각각 경고과 알람으로 구분되는 알람 기능을 선택하도록 설정될 수 있다.
본 발명은, 물류자동화이송장비에 비접촉 적외선 화상 감시 장치를 탑재하여 이동중에도 실시간으로 온도를 분석하고 영상정보를 판단하여 모니터링 가능하도록 함으로써, 비접촉식으로 전원을 공급을 받아야 하는 물류자동화이송장비에 대한 급전방식으로 적용되는 Litz Cable의 과열 위험요소를 사전에 효과적으로 관리하고, 위험 발생시 빠르게 제조 라인을 정비하여 연속 제조 공정의 중단 등과 같은 문제에 신속하게 대응할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 물류자동화이송장비 운용 및 설치를 설명하는 예시이다.
도 2는 물류자동화이송장비 중 OHT를 설명하는 예시이다.
도 3은 물류자동화이송장비 중 OHT의 설치 및 운용을 참고적으로 설명하는 예시이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 설명하는 예시이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템의 구성을 블록도로 나타낸 예시이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 검출되는 실시간 적외선 화상 감시 출력 화면의 예시이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 구성되는 실시간 적외선 화상 감시 프로그램 화면 출력의 예시이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 출력되는 알람 신호 출력의 예시이다.
도 2는 물류자동화이송장비 중 OHT를 설명하는 예시이다.
도 3은 물류자동화이송장비 중 OHT의 설치 및 운용을 참고적으로 설명하는 예시이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 설명하는 예시이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템의 구성을 블록도로 나타낸 예시이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 검출되는 실시간 적외선 화상 감시 출력 화면의 예시이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 구성되는 실시간 적외선 화상 감시 프로그램 화면 출력의 예시이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 출력되는 알람 신호 출력의 예시이다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 '물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템'을 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 설명에서 사용되는 용어 중 '반송물'은 '반도체 웨이퍼를 수납한 매거진', '반도체 웨이퍼를 수납한 카세트', '반도체 웨이퍼를 수납한 캐리어' 및 반도체 제조 공정 중 이적재 또는 로딩/언로딩을 필요로 하는 '작업 대상물'을 포함하는 의미일 수 있다.
또한, '반송물'은 도면으로 구체적으로 나타내지는 않았으나 병원 내 천정을 따라 파일을 목적지로 이송하는 '케이스', 바이오 및 정밀 제품 생산 공장 등에서 물류를 처리하거나 이송하는데 사용되는 '캐리어' 및 기타 정밀 제품 생산 공장에서 물류를 이송하는 '바스켓' 등을 포함하는 의미일 수 있다.
도 1은 물류자동화이송장비 운용 및 설치를 설명하는 예시이다. 도 2는 물류자동화이송장비 중 OHT를 설명하는 예시이다. 도 3은 물류자동화이송장비 중 OHT의 설치 및 운용을 참고적으로 설명하는 예시이다.
기존의 물류자동화이송장비에 포함되는 OHT 시스템은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 레일 주행부 및 슬라이딩 유닛과 승하강 유닛을 포함하는 구동 모듈의 접촉부와 빈번한 슬라이딩 접촉이 이루어지는 방식이기 때문에 반송물의 이적재 시 집중적으로 파티클이 상시 발생하여 공장내 오염원이 되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공장에 설치되는 기존 OHT 시스템에서 파티클 발생부를 보면 구동부측의 경우 주행 휠 구동에 따른 레일 마찰과 접촉부측의 경우 기존 구동방식은 슬라이딩 유닛 및 승하강 유닛 구동에 따른 마찰에 의해 파티클이 지속적으로 발생되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 라인에서 현재 후공정에 적용되는 기존 OHT의 파티클(particle) 측정결과 0.5um기준 Clean Class 100 기준에 부적합하게 운영되고 있고, 관련 수요기업으로부터 요구사항은 현재 수준으로부터 Particle 50% 감소(Class 50)가 가능한 OHT 시스템을 필요로 하고있다.
한편, 기존의 물류자동화이송장비(OHT, Stocker 등)의 전원 공급방식은 유선을 이용한 방식과 비접촉 무선을 이용하는 방법이 있으나 유선 방식의 경우 케이블의 보호를 위해 케이블을 감싸고 있는 케이블 베어에서 다수의 파티클이 발생되어 클린룸 환경에서 사용하기에 어려움이 있는데 비해 비접촉 방식의 리츠 케이블(Litz Cable)을 이용하여 무선으로 전원을 공급하는 방식은 파티클 발생원을 줄일 수 있으므로 이를 적용하는 방식의 설계가 적용되고 있다. 그런데 Ltiz Cable에는 통상적으로 5kW 이상의 전기가 흐르고 있어 발열이 문제로 되고 있다.
이에 따라, 본 발명은, 이동체인 물류자동화이송장비에 비접촉 적외선 화상 감시 장치를 탑재하여 이동중에도 실시간으로 온도를 분석하고 영상정보를 판단하여 모니터링 가능하도록 함으로써, 비접촉식으로 전원을 공급을 받아야 하는 물류자동화이송장비에 대한 급전방식으로 적용되는 Litz Cable의 과열 위험요소를 효과적으로 관리할 수 있도록 제시된다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 설명하는 예시이다. 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템의 구성을 블록도로 나타낸 예시이다.
본 발명에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템은 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 물류자동화이송장비(100)는 설비 라인(A)의 레일(101)을 따라 이동 가능하게 설치되어 휠(102) 구동으로 반송물을 이송하는 OHT(110) 및 반송물을 이송하는 스토커(120)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, OHT(110)는 반도체 제조 설비 라인, 병원의 천정, 바이오 등의 첨단 제품 제조 라인 등의 공중에 설치된 레일(101)을 따라 이동하면서 반송물을 옮기는 일반적인 기능을 포함할 수 있다. 스토커는 공장 내에서 반송물을 이송하거나 픽업하는 일반적인 기능을 포함할 수 있으며, 공통적으로 리츠 케이블(200)을 통해 전원을 비접촉으로 급전되도록 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템은 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 반송물을 이송하는 물류자동화이송장비(100)에 전원을 급전하는 리츠 케이블(200), 리츠 케이블(200)의 발열 상태를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈(300), 비접촉 화상 감시 모듈(300)을 통해 촬영되는 화상정보를 상기 리츠 케이블(200)의 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하고, 리츠 케이블(200)의 온도가 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키는 제어부(400)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 물류자동화이송장비(100)는 반도체 제조설비 라인의 상부 공중에 설치되는 레일(101)을 따라 이동 가능하게 설치되어 휠(102) 구동으로 반도체 웨이퍼를 포함하는 반송물을 이송하는 OHT(110), 반도체 웨이퍼를 포함하는 반송물을 이송하는 스토커(120)를 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조 공정용 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 검출되는 실시간 적외선 화상 감시 출력 화면의 예시이다.
또한, 온도 감시를 위한 비접촉 적외선 화상감시 모듈(300)을 통한 감시 방법은 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 적외선 화상감시 모듈(300)이 진행 방향으로 검출하는 거리 범위는 약 1.5m 범위로 설정하는 것이 바람직하다.
그리고, 바람직하게는, 적외선 화상감시 모듈(300)을 통한 적외선 화상감시는 감시 범위 내에서 2회 이상 측정하여 측정 오차를 최소화하는 것이 바람직하다.
그리고, 바람직하게는, 적외선 화상감시 모듈(300)을 통한 적외선 화상감시의 측정 속도는 9frame/sec로 하여 0.4m 간격으로 측정하는 것이 바람직하다.
또한, 비접촉 적외선 화상 감시모듈(300)은 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 물류자동화이송장비(100)의 전원공급용 리츠 케이블(200)의 실시간 온도 검출을 위한 비접촉 적외선 열화상 카메라(310)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 적외선 열화상 카메라(310)는 레일(101)을 따라 이송되는 OHT(110)의 적소에 장착될 수 있으며, 물류자동화이송장비(100)의 제어기측과의 데이터 전달을 위한 프로토콜을 포함할 수 있다. 바람직하게는 적외선 화상 감시모듈(300)과 OHT 제어기간의 통신은 RS-485 적용될 수 있고, 적외선 열화상 감시모듈(300)의 회로에 RS-485 통신 기능 및 통신 프로그램을 포함할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템에 구성되는 실시간 적외선 화상 감시 프로그램 화면 출력의 예시이다.
또한, 제어부(400)는 도 7에 도시된 바와 같이, 물류자동화이송장비(100)의 고속 주행시 실시간 온도 검출 및 판단을 위한 분석 프로그램(410)을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 제어부(400)는 리츠 케이블(200)의 온도를 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하여 실시간으로 판단하고, 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키며, 리츠 케이블(200)의 설치 방향에 따라 상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈(300)을 통한 검출 범위를 설정하여 실시간 국부 모니터링을 수행하도록 제어될 수 있다.
또한, 제어부(400)는 상기 비접촉 화상 감시 모듈(300)을 통해 검출되는 검출 데이터를 물류자동화이송장비(100)에는 온도 데이터를 전송하고, 모니터링 단말기(420)에는 영상정보와 온도 데이터를 동시에 전송하도록 제어할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템을 통해 출력되는 알람 출력의 예시이다.
또한, 제어부(400)는 도 8에 도시된 바와 같이, 리츠 케이블(200)의 온도가 비정상 온도로 상승 시 1차로 경고음을 발생시키도록 제어하고, 온도 데이터가 과열로 판단되는 경우 2차 알람을 발생시키도록 각각 경고와 알람으로 구분되는 경보 신호 발생 기능을 선택하도록 설정될 수 있다.
이를 통해 관리자는 모니터링 단말기(420)를 통해 출력되는 영상정보와 음성 정보를 경고와 과열 위험 등을 구분하여 즉각 조치에 반영할 수 있고, 제조 설비 라인의 유지 및 보수 점검에 효과적으로 대응할 수 있고, 제조 공정 설비의 급전을 최적 컨디션 상태로 유지할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 적외선 화상 카메라를 이용하여 리츠 케이블의 온도를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로, 기존의 고정된 물체 혹은 움직이는 물체의 온도를 측정하는 시스템과 달리, 적외선 화상 카메라가 물류자동화이송장비를 따라 이동하며서 레일을 따라 고정된 상태의 리츠 케이블의 온도를 실시간으로 측정할 수 있게 된다.
이에 따라, 본 발명은, 각종 첨단 제품 제조 설비 라인에 설치되는 이동체인 물류자동화이송장비에 비접촉 적외선 화상 감시 장치를 탑재하여 이동중에도 실시간으로 온도를 분석하고 영상정보를 판단하여 반도체 제조 설비 라인의 급전부 발열 상태에 대한 실시간 모니터링이 가능한 이점이 있다.
또한, 본 발명은, 이동체로서 비접촉식으로 전원을 공급을 받아야 하는 물류자동화이송장비에 대한 급전방식으로 적용되는 Litz Cable의 과열 위험요소를 사전에 효과적으로 관리할 수 있는 유리한 이점이 있다.
또한, 본 발명은, 급전 케이블의 과열에 따른 위험 발생시 빠르게 제조 라인을 정비하여 반도체 연속 제조 공정의 중단 등과 같은 문제에 효과적으로 대응할 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 실시 예로 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있으며 수정과 변형이 이루어진 것은 본 발명의 기술 사상에 포함된다.
100: 물류자동화이송장비
101: 레일
102: 휠
110: OHT(Over-head hoist transporter)
120: 스토커(Stocker)
200: 리츠 케이블(Ltiz Cable)
300: 비접촉 적외선 화상감시 모듈
310: 비접촉 적외선 열화상 카메라
400: 제어부
410: 분석 프로그램
420: 모니터링 단말기(관리자)
101: 레일
102: 휠
110: OHT(Over-head hoist transporter)
120: 스토커(Stocker)
200: 리츠 케이블(Ltiz Cable)
300: 비접촉 적외선 화상감시 모듈
310: 비접촉 적외선 열화상 카메라
400: 제어부
410: 분석 프로그램
420: 모니터링 단말기(관리자)
Claims (7)
- 반송물을 이송하는 비접촉전원장치에 전원을 급전하는 리츠 케이블;
상기 리츠 케이블의 발열 상태를 검출하는 비접촉 적외선 화상 감시모듈; 및
상기 비접촉 화상 감시 모듈을 통해 촬영되는 화상정보를 상기 리츠 케이블의 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하고, 상기 리츠 케이블의 온도가 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키는 제어부;를 포함하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템. - 제 1 항에 있어서,
상기 비접촉전원장치는 레일을 따라 이동 가능하게 설치되어 휠 구동으로 반송물을 이송하는 OHT; 반송물을 이송하는 스토커;를 포함하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템. - 제 1 항에 있어서,
상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈은 물류자동화이송장비의 전원공급용 리츠 케이블의 실시간 온도 검출을 위한 비접촉 적외선 열화상 카메라를 포함하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템. - 제 1 항에 있어서,
상기 제어부는 물류자동화이송장비의 고속 주행시 실시간 온도 검출 및 판단을 위한 분석 프로그램을 포함하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템. - 제 1 항에 있어서,
상기 제어부는 리츠 케이블의 온도를 정상 가동 온도 및 비정상 온도로 구분하여 실시간으로 판단하고, 비정상 온도로 상승 시 알람을 발생시키며, 리츠 케이블의 설치 방향에 따라 상기 비접촉 적외선 화상 감시모듈을 통한 검출 범위를 설정하여 실시간 국부 모니터링을 수행하도록 제어하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템. - 제 1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 비접촉 화상 감시 모듈을 통해 검출되는 검출 데이터를 물류자동화이송장비에는 온도 데이터를 전송하고, 모니터링 단말기에는 영상정보와 온도 데이터를 동시에 전송하는, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템. - 제 1 항에 있어서,
상기 제어부는 리츠 케이블의 온도가 비정상 온도로 상승 시 1차로 경고음을 발생시키도록 제어하고, 상기 온도 데이터가 과열로 판단되는 경우 2차 알람을 발생시키도록 각각 경고와 알람으로 구분되는 알람 기능을 선택하도록 설정된, 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200113164A KR102419959B1 (ko) | 2020-09-04 | 2020-09-04 | 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200113164A KR102419959B1 (ko) | 2020-09-04 | 2020-09-04 | 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20220031346A true KR20220031346A (ko) | 2022-03-11 |
| KR102419959B1 KR102419959B1 (ko) | 2022-07-13 |
| KR102419959B9 KR102419959B9 (ko) | 2022-12-05 |
Family
ID=80814900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200113164A KR102419959B1 (ko) | 2020-09-04 | 2020-09-04 | 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102419959B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102023200274A1 (de) | 2022-03-14 | 2023-09-14 | Hl Mando Corporation | Stossdämpfer |
| KR20230144300A (ko) * | 2022-04-07 | 2023-10-16 | 세메스 주식회사 | 컨테이너 운반 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4389646A1 (de) * | 2022-12-22 | 2024-06-26 | BEUMER Group GmbH & Co. KG | Überwachungscarrier und verfahren zum überwachen eines hängeförderers |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10315963A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-02 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 無人搬送車 |
| KR100636601B1 (ko) | 1998-12-02 | 2006-10-20 | 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 | 천정주행 반송장치 |
| KR100679938B1 (ko) | 2003-02-03 | 2007-02-08 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 천정 주행차 시스템 |
| KR20080034783A (ko) * | 2006-10-17 | 2008-04-22 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 비접촉 급전설비 |
| KR101708222B1 (ko) * | 2015-11-18 | 2017-02-20 | 주식회사 한국이알이시 | IoT 기반의 열화감지 진단 기능을 갖는 수배전반 |
| KR101854045B1 (ko) | 2016-10-31 | 2018-05-02 | 세메스 주식회사 | 스토커 |
| JP2020046192A (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-26 | 東日本旅客鉄道株式会社 | 線条の劣化診断システムおよび劣化診断方法 |
-
2020
- 2020-09-04 KR KR1020200113164A patent/KR102419959B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10315963A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-02 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 無人搬送車 |
| KR100636601B1 (ko) | 1998-12-02 | 2006-10-20 | 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 | 천정주행 반송장치 |
| KR100679938B1 (ko) | 2003-02-03 | 2007-02-08 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 천정 주행차 시스템 |
| KR20080034783A (ko) * | 2006-10-17 | 2008-04-22 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 비접촉 급전설비 |
| KR101708222B1 (ko) * | 2015-11-18 | 2017-02-20 | 주식회사 한국이알이시 | IoT 기반의 열화감지 진단 기능을 갖는 수배전반 |
| KR101854045B1 (ko) | 2016-10-31 | 2018-05-02 | 세메스 주식회사 | 스토커 |
| JP2020046192A (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-26 | 東日本旅客鉄道株式会社 | 線条の劣化診断システムおよび劣化診断方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102023200274A1 (de) | 2022-03-14 | 2023-09-14 | Hl Mando Corporation | Stossdämpfer |
| KR20230144300A (ko) * | 2022-04-07 | 2023-10-16 | 세메스 주식회사 | 컨테이너 운반 장치 및 이를 포함하는 물류 반송 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102419959B9 (ko) | 2022-12-05 |
| KR102419959B1 (ko) | 2022-07-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102419959B1 (ko) | 물류자동화이송장비의 실시간 감시 시스템 | |
| CN110577082B (zh) | 晶片传送单元和晶片传送系统 | |
| TWI279657B (en) | Management apparatus | |
| JP7177120B2 (ja) | キャリア内部の汚染管理機能を有する自動搬送システム | |
| CN100520651C (zh) | 使用预先制程控制机架的制程工具的缺陷检测及其控制的方法及装置 | |
| US9955549B2 (en) | Redundant power supply and control for light fixtures | |
| US11387123B2 (en) | Metrology method in wafer transportation | |
| KR20190031385A (ko) | 인터페이스 장치와, 이를 이용한 반도체 제조 시스템 및 관리 방법 | |
| KR20200072140A (ko) | 교차로에서의 주행을 제어하는 교차로 컨트롤러 및 이를 구비하는 이송 시스템 | |
| CN110542451B (zh) | 错误检测方法及制造设施 | |
| KR20220165579A (ko) | 이송 장치 및 그 제어 방법 | |
| CN111132463A (zh) | 用于电路板的集成式操作平台以及操作方法 | |
| CN116700167A (zh) | 一种工业自动化反馈监控系统 | |
| TWI645162B (zh) | 環境監測系統 | |
| KR102272323B1 (ko) | 제조설비 모니터링 및 정지 시스템 및 방법 | |
| CN210072392U (zh) | 输送单元的电机的温度监控装置及循环式输送系统 | |
| CN116613094B (zh) | 一种晶圆搬运的控制系统及其控制方法 | |
| CN112114551A (zh) | 输送单元的电机的温度监控装置、方法及循环式输送系统 | |
| US20240190018A1 (en) | Transfer robot system and the transfer robot system driving method | |
| WO2022139038A1 (ko) | 반도체 후공정 산업을 위한 arc 스마트 팩토리를 관리하기 위한 방법 및 엣지 장치 | |
| KR102588842B1 (ko) | 반도체 공정의 웨이퍼 결함 검출 시스템 | |
| KR20110033882A (ko) | 반도체 웨이퍼 캐리어 자동 운반체의 웨이퍼 캐리어 음성 경고 발생 장치 | |
| CN112326047A (zh) | 励磁线温度监控系统及监控方法、自动物流传送系统 | |
| KR100702013B1 (ko) | 반도체 확산설비의 로봇제어시스템 | |
| KR20230056196A (ko) | 진동 모니터링 시스템 및 모니터링 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| G170 | Re-publication after modification of scope of protection [patent] |