JPH11276971A - スピン処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は回転テーブルを回転させて基板を
処理する際に、その基板にミストなどが付着するのを防
止したいスピン処理装置を提供することにある。 【解決手段】 カップ２と、このカップの底部中心部か
ら内部へ挿通された回転駆動される取付体６と、この取
付体に連結されて回転させられるとともに上面に基板１
が保持される回転テーブル７と、上記カップの内底部に
設けられこのカップ内部を上記回転テーブルの下面側
で、かつ上記カップの内底部付近の第１の空間部２１お
よびそれ以外の第２の空間部２２とに隔別するとともに
上面が上記カップの径方向中心部に向かって低く傾斜し
た傾斜面に形成された仕切り体１５と、上記カップの底
部に上記第１の空間部と第２の空間部との両方に連通し
て設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空
気流を排出する排気管２４とを具備したことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は回転テーブルによ
って基板を回転させて処理するスピン処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】たとえば液晶表示装置の製造過程におい
ては、ワークとしてのガラス製の基板に回路パターンを
形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。
これらのプロセスでは、上記基板の処理と洗浄とが繰り
返し行われる。洗浄された基板を乾燥させたり、基板に
レジストを均一に塗布するためには、上記基板を回転テ
ーブルに保持し、この回転テーブルとともに回転させ、
それによって生じる遠心力を利用する、スピン処理装置
が用いられている。

【０００３】一般に、スピン処理装置はカップを有す
る。このカップは上面が開放したお椀状に形成され、そ
の底部中心部分には通孔が形成されている。上記カップ
の底部に形成された通孔からそのカップの内部へはモー
タの駆動軸が挿通されている。この駆動軸の上端には十
字状の回転テーブルが取付けられている。この回転テー
ブルの上面には支持ピンおよびガイドピンが設けられ、
上記支持ピンには回転テーブルの上面に供給される、矩
形状のガラス基板の下面四隅部が支持され、上記ガイド
ピンは上記ガラス基板の四隅部の外周面に係合してその
ガラス基板が回転テーブル上で動くのを阻止している。

【０００４】上記カップの底部には周方向に所定間隔で
複数の排気口が形成され、各排気口には図示しない吸引
ポンプに連通した排気管が接続されている。このような
構成のスピン処理装置によれば、上記ガラス基板をたと
えば乾燥処理する場合、上記モータに通電し、その駆動
軸に取付けられた回転テーブルを回転させる。

【０００５】回転テーブルを回転させて遠心力を発生さ
せれば、その遠心力によってガラス基板の上面に付着し
た洗浄液が飛散するから、そのガラス基板を乾燥処理す
ることができる。

【０００６】ところで、回転テーブルを回転させると、
その回転によって遠心力が発生するだけでなく、カップ
内には回転テーブルの回転にともない空気の流れが生じ
ることが避けられない。その空気流はカップ内の径方向
周辺部からその底部に設けられた排気口へ向かう円滑な
流れだけでなく、カップの径方向内方で、上記回転テー
ブルの下面側において渦を巻く乱気流も発生する。

【０００７】このような乱気流が発生すると、その気流
によってガラス基板からカップの内底部に滴下する洗浄
液が巻き込まれ、ミストとなって上記ガラス基板の下面
に付着することがある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のス
ピン処理装置においては、回転テーブルの下面側におい
て乱気流が発生すると、その乱気流によって上記回転テ
ーブルに保持された基板の下面にミストが付着し、基板
が汚染されるということがあった。

【０００９】この発明は、回転テーブルを回転させるこ
とで、この回転テーブルの下面側に乱気流が発生して
も、その乱気流で基板の下面をミストなどによって汚染
するのを防止できるようにしたスピン処理装置を提供す
ることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１の発明は、基板を回転させることで、この基
板に所定の処理を行うスピン処理装置において、カップ
と、このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転
駆動される駆動軸と、この駆動軸に連結されて回転され
るとともに上面に上記基板が保持される回転テーブル
と、上記カップの内底部に設けられこのカップ内部を上
記回転テーブルの下面側で、かつ上記カップの内底部付
近の第１の空間部およびそれ以外の第２の空間部とに隔
別するとともに上面が上記カップの径方向中心部に向か
って低く傾斜した傾斜面に形成された仕切り体と、上記
カップの底部に上記第１の空間部と第２の空間部との両
方に連通して設けられ上記回転テーブルの回転によって
発生する空気流を排出する排出手段とを具備したことを
特徴とする。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記排出手段は、上記第１の空間部と第２の空間部
とに連通する排気管を有し、この排気管内には上記第１
の空間部あるいは第２の空間部に連通する制御管が収納
され、この制御管には上記各空間部からの排気量を調整
する制御弁が設けられていることを特徴とする。

【００１２】請求項１の発明によれば、カップ内を第１
の空間部と第２の空間部とに隔別する仕切り体の上面を
カップの径方向中心部に向かって低く傾斜した傾斜面に
形成したことで、カップ内の回転テーブルの下面側に滴
下する洗浄液を上記仕切り体の傾斜面に沿って円滑に流
すことができるから、その洗浄液が回転テーブルの下面
側で発生する乱気流に巻き込まれてミストとなり、基板
の下面に付着するのを防止することができ、また第１の
空間部と第２の空間部とは、これらの両方に排気手段が
連通して設けられているから、各空間部で発生するミス
トが確実に排出されるばかりか、２つの空間部を同時に
排気できるため、別々に排気する場合に比べて構成を簡
略化することができる。

【００１３】請求項２の発明によれば、第１の空間部と
第２の空間部とに連通する排気管に、どちらか一方の空
間部に連通する制御管を設け、その制御管に排気量を調
整する制御弁を設けることで排気手段を構成したから、
第１の空間部と第２の空間部とからの排気量を最適な割
合になるよう調整することができる。

【００１４】

【実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を図１と
図２を参照して説明する。図１に示すスピン処理装置
は、たとえば液晶表示装置のガラス製の基板１を乾燥処
理するためのもので、その装置はベースＢ上に配置され
たカップ２を備えている。このカップ２は下カップ２ａ
およびこの下カップ２ａの上端に連結された上カップ２
ｂによって上面が開放したお椀状に形成されている。

【００１５】上記下カップ２ａの底壁中心部には通孔３
が形成されている。この通孔３には、モータ４の回転軸
５に連結された取付体６が挿通され、カップ２内に突出
した上記取付体６の上端は平面形状がＴ字状をなした回
転テーブル７の下面中心部分に連結されている。この回
転テーブル７には、上記基板１の下面を支持する支持ピ
ン７ａと、上記基板１の周辺部に係合する係合ピン７ｂ
とが突設されている。

【００１６】なお、上記回転軸５と上記取付体６とでこ
の発明の駆動体を構成している。上記通孔３は周壁がカ
ップ２の中心部から径方向外方に向かって低く傾斜した
第１の傾斜面９に形成された断面形状が円錐台状のカバ
ー１１によって覆われている。このカバー１１は上記回
転テーブル７の中心部の下面側をシールするシール部材
１２に取付けられている。

【００１７】上記カップ２の内底部には仕切り体１５が
支持柱１６によって保持されている。この仕切り体１５
は環状の周壁１７およびこの周壁１７の上端に折曲形成
された上部壁１８とから形成されている。この上部壁１
８の上面はカップ２の径方向中心に向かって低く傾斜し
た第２の傾斜面１９となっており、その先端は上記第１
の傾斜面９とわずかな隙間を介して対向している。

【００１８】上記仕切り体１５によってカップ２内の空
間部は、上記仕切り体１５の内面側、つまり上記回転テ
ーブル７の下面側で、カップ２の内底部の部分となる第
１の空間部２１と、それ以外の部分である第２の空間部
２２とに隔別している。第２の空間部２２は上記カップ
２の上面開口に連通している。

【００１９】上記カップ２の底部には周方向に所定間
隔、この実施の形態では９０度間隔で４つの排気口２３
（２つのみ図示）が形成されている。各排気口２３は上
記第１の空間部２１と第２の空間部２２との両方にまた
がって開口形成されている。つまり、仕切り体１５の側
壁１７の下端が上記排気口２３を分割する状態で位置し
ている。

【００２０】上記排気口２３には排気管２４の一端が取
付板３１を介して接続されている。この排気管２４は上
記取付板３１を介して上記第1 の空間部２１に連通して
いる。この取付板３１には図２に示すように上記排気口
２３と対応する通孔３１ａが形成されている。

【００２１】上記排気管２４内には、上記第１の空間部
２１に連通する短管状の制御管２５が図示しない支持部
材によって支持されている。この制御管２５には上記排
気管２４の外部から角度調整可能な制御弁２６が設けら
れている。

【００２２】上記排気管２４の他端には排気ホース２７
の一端が接続され、この排気ホース２７の他端は図示し
ない排気ポンプに連通している。したがって、上記排気
ポンプが作動すれば、上記排気管２４を介して上記第１
の空間部２１と第２の空間部２２とに吸引力を作用さ
せ、これら空間部内の雰囲気を排出できるようになって
いる。その際、上記制御弁２６の開き角度を変えること
で、第１の空間部２１と第２の空間部２２からの排気量
を制御できるようになっている。

【００２３】つぎに、上記構成のスピン処理装置によっ
て洗浄後の基板１を乾燥処理する場合について説明す
る。回転テーブル７に洗浄液によって洗浄処理されて濡
れた状態にある基板１が供給されると、モータ４に通電
されて上記回転テーブル７が回転駆動される。それによ
って、基板２０に付着した洗浄液に遠心力が作用し、そ
の遠心力で洗浄液が飛散し、基板１が乾燥処理される。

【００２４】上記回転テーブル７を回転させる場合に
は、排気ホース２７に接続された排気ポンプを作動させ
てカップ２内の雰囲気を排気する。つまり、回転テーブ
ル７を回転させることでカップ１内に気流が生じるとと
もに、基板１に付着した洗浄液が回転にともなう遠心力
でカップ２の内面に衝突することでミストが発生するか
ら、ミストを含む第２の空間部２２内の雰囲気が排気管
２４を通じて上記排気ホース２７から排出されることに
なる。

【００２５】上記カップ２内は仕切り体１５によって第
１の空間部２１と第２の空間部２２とに隔別されてい
る。上記仕切り体１５の上記第１の空間部２１を覆う上
部壁１８はカップ２の径方向内方に向かって低く傾斜し
た第２の傾斜面１９に形成されている。

【００２６】そのため、回転テーブル７に保持された基
板１からその下面側に滴下する洗浄液は上記仕切り体１
５の第２の傾斜面１９に沿って円滑に流れ、この第２の
傾斜面１９からカバー１１の第１の傾斜面９を伝わって
第１の空間部２１へ滴下し、この第１の空間部２１から
排気管２４へ排出されることになる。

【００２７】そのため、回転テーブル７が回転駆動され
ることで、この回転テーブル７の下面側に乱気流が発生
しても、回転テーブル７の下面側に滴下する洗浄液は、
仕切り体１５によって覆われた第１の空間部２１に円滑
に流入するから、第1 の空間部２１へ流入した洗浄液が
上記乱気流によってミスト化されて基板１の下面に付着
するのを防止することができる。

【００２８】つまり、第１の空間部２１は仕切り体１５
によって覆われているため、その第１の空間部２１に滴
下した洗浄液が仕切りたい１５の上面側で発生する乱気
流によってミスト化されるということがほとんどない。

【００２９】さらに、回転テーブル７の回転によって周
囲に飛散する洗浄液はカップ２の内周面に衝突してミス
ト化するものの、上記カップ２内の周辺部、つまり第２
の空間部２２には排気ポンプの吸引力が確実に作用す
る。

【００３０】そのため、カップ２の内周部で発生するミ
ストが回転テーブル７の下面側に回り込むのが阻止され
るばかりか、仕切り体１５の周壁１７によっても回転テ
ーブル７の下面側に回り込むのが阻止されるから、基板
１から飛散する洗浄液がカップ２の内周面に衝突するこ
とでミストが発生しても、そのミストが回転テーブル７
に保持された基板１の下面側に回り込んで付着するとい
うことも防止される。

【００３１】カップ２の底部に接続された排気管２４
は、第１の空間部２１と第２の空間部２２との両方に連
通している。そのため、カップ２内を仕切り体１５によ
って２つの空間部２１，２２に分けても、各空間部２
１，２２を排気するために別々に排気管を接続するとい
うことをせずにすむから、その分、排気管２４や排気ホ
ース２７の数を少なくし、構成の簡略化を計ることがで
きる。

【００３２】上記第１の空間部２１に連通した制御管２
５には制御弁２６が設けられ、この制御弁２６の開度を
調整することで、上記制御管２５からの排気量、つまり
第１の空間部２１の排気量を制御することができる。

【００３３】上記第１の空間部２１は仕切り体１５によ
って覆われた閉塞空間であり、第２の空間部２２はカッ
プ２の上面開口に連通した開放空間であるから、第１の
空間部２１からの排気量が第２の空間部２２からの排気
量よりも少なくなるよう上記制御管２５の制御弁２６の
開度を制御することで、各空間部２１，２２からの排気
度合（各空間部の雰囲気の置換度合）が同じようになる
よう制御できる。また、第１の空間部２１と第２の空間
部２２におけるミストの発生度合に応じて制御弁２６の
開度を設定し、それによって各空間部からの排気度合を
設定することもできる。

【００３４】この発明は上記一実施の形態に限定され
ず、種々変形可能である。たとえば、上記一実施の形態
では制御管を第１の空間部に連通させて設けたが、第２
の空間部に連通させて設けてもよく、要は第１の空間部
と第２の空間部からの排気量を制御できる構成であれば
よい。

【００３５】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、カップ内を第
１の空間部と第２の空間部とに隔別する仕切り体の上面
をカップの径方向中心部に向かって低く傾斜した傾斜面
に形成した。

【００３６】そのため、カップ内の回転テーブルの下面
側に滴下する洗浄液を上記仕切り体の傾斜面に沿って上
記仕切りたいで覆われた第１の空間部へ円滑に流すこと
ができるから、回転テーブルの下面側で乱気流が発生し
ても、その乱気流によって回転テーブルの下方の第１の
空間部に流入した洗浄液がミスト化されて基板の下面に
付着するのを防止することができる。

【００３７】また、第１の空間部と第２の空間部とに
は、これらの両方にわたる排気手段が連通して設けられ
ているから、各空間部で発生するミストが確実に排出さ
れるばかりか、２つの空間部を同時に排気できるため、
別々に排気する場合に比べて構成を簡略化することがで
きる。

【００３８】請求項２の発明によれば、第１の空間部と
第２の空間部とに連通する排気管およびどちらか一方の
空間部に連通する制御管、さらにその制御管に排気量を
調整する制御弁を設けることで排気手段を構成した。

【００３９】そのため、上記制御弁の開度を制御するこ
とで、第１の空間部と第２の空間部とからの排気量が最
適な割合になるよう制御できるから、それぞれの空間部
にミストを含む雰囲気が滞留するのを防止することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態を示す装置の縦断面
図。

【図２】同じく排気管の拡大断面図。

【符号の説明】

１…基板 ２…カップ ５…回転軸（駆動体） ６…取付体（駆動体） ７…回転テーブ １５…仕切り体 １９…第２の傾斜面 ２１…第１の空間部 ２２…第２の空間部 ２３…排気口（排出手段） ２４…排気管（排出手段） ２５…制御管（排出手段） ２６…制御弁（排出手段）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を回転させることで、この基板に所
   定の処理を行うスピン処理装置において、 カップと、 このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動
   される駆動体と、 この駆動体に連結されて回転されるとともに上面に上記
   基板が保持される回転テーブルと、 上記カップの内底部に設けられこのカップ内部を上記回
   転テーブルの下面側で、かつ上記カップの内底部付近の
   第１の空間部およびそれ以外の第２の空間部とに隔別す
   るとともに上面が上記カップの径方向中心部に向かって
   低く傾斜した傾斜面に形成された仕切り体と、 上記カップの底部に上記第１の空間部と第２の空間部と
   の両方に連通して設けられ上記回転テーブルの回転によ
   って発生する空気流を排出する排出手段とを具備したこ
   とを特徴とするスピン処理装置。
2. 【請求項２】 上記排出手段は、上記第１の空間部と第
   ２の空間部とに連通する排気管を有し、この排気管内に
   は上記第１の空間部あるいは第２の空間部に連通する制
   御管が収納され、この制御管には上記各空間部からの排
   気量を調整する制御弁が設けられていることを特徴とす
   る請求項１記載のスピン処理装置。