JPH1126377A - レジスト吐出システムとレジスト吐出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レジスト吐出システムの吐出量と吐出状態の
両方を適性化にする。 【解決手段】 ３か所に設けられたモータ駆動部３３，
６２，７２は、速度制御やタイミング制御が容易なパル
スモータまたはサーボモータで構成されている。モータ
駆動部３３の駆動によってレジストポンプ３０を動作さ
せ、レジスト２０をガロンビン２１から吸収してから、
レジスト２０の圧送を開始させる。次に、モータ駆動部
７２を駆動してオペレートバルブ６０を開いてノズル８
０からのレジスト２０の吐出を開始させる。吐出したレ
ジスト２０がウエハ９１に供給される。レジスト２０の
供給を終了する場合には、オペレートバルブ６０を開じ
てからレジストポンプ３０を停止させる。レジスト２０
の供給を終了した段階で、モータ駆動部７２を駆動して
サックバックバルブ７０を閉状態から開状態にする。こ
れにより、ノズル８０の先端のレジスト２０が適当量引
戻される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程の一つであるホトリソ工程で用いられ、ウエハにレ
ジストを供給してコーティングするレジスト吐出システ
ムと、そのレジスト吐出方法とに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この分野の技術としては、例え
ば、次の文献１〜４に記載されるものがある。 文献１；特開平５−１９０４３７号公報 文献２；特開平７−１３０６２７号公報 文献３；特開平７−１６１６２１号公報 文献４；特開平７−２７３０１１号公報 最近では、レジストの使用量を削減するために、ウエハ
を回転させながらその表面にレジストを供給するダイナ
ミック塗布が、主に用いられている。そのため、一般的
なレジスト吐出システムでは、エアシリンダ等を用い、
液状のレジストをノズルの先端から吐出するようになっ
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
レジスト吐出システムでは、次のような課題があった。
図２は、従来の一般的なレジスト吐出システムの構成図
である。このレジスト吐出システムは、ガロンビン１か
らレジストを必要量だけ吸収し、その吸収したレジスト
をノズル２側へ圧送するレジストポンプ１０を備えてい
る。レジストポンプ１０は、実際にレジストの吸引と圧
送とを行うべローズ部（またはダイアフラム部）１１
と、このベローズ部１１を伸縮させるための駆動源であ
るエアシリンダ１２とで構成されている。エアシリンダ
１２の動作は、電磁弁１２ａと、流量制御弁１２ｂ，１
２ｃとで制御されるようになっている。レジストポンプ
１０の出力側にはフィルタ１３が配置されている。フィ
ルタ１３には、絞り弁１３ａが設けられてドレンが抜か
れるようになっている。フィルタ１３とノズル２のまで
の間に、エアオペレートバルブ１４とサックバックバル
ブ１５とが配置されている。

【０００４】図３は、図２中のエアオペレートバルブ１
４の要部の断面図であり、図４は、図２中のサックバッ
クバルブ１５の要部の断面図である。エアオペレートバ
ルブ１４は、フィルタ１３からノズル２までの間の流路
の開閉を行うものであり、バルブ部１４Ａとエアシリン
ダ部１４Ｂとで構成されいてる。エアシリンダ部１４Ｂ
が、図３のバルブ部１４Ａ内のダイアダイアフラム１４
を上下するようになっている。つまり、ダイアフラム１
４ はピストン１４に連結され、エアシリンダ部１４Ｂ
によって駆動されてピストン１４ が上下することで、
レジスト入口１４ とレジスト出口１４ の間が開閉さ
れる構成になっている。このエアオペレートバルブ１４
の動作速度は、図２の電磁弁１４ａと２段の流量制御弁
１４ｂ，１４ｃとによって制御される構成である。サッ
クバックバルブ１５は、ノズル２の先端に停止している
レジストを、乾燥やぼた落ち防止のために、ノズル２の
奥に吸い上げるものであり、バルブ部１５Ａとエアシリ
ンダ１５Ｂとで構成されている。バルブ部１５Ａ内のダ
イアダイアフラム１５ がピストン１５ に連結され、
エアシリンダ部１５Ａによってピストン１５ が上がる
ことで、開き状態になってバルブ室１５ の体積が増加
し、レジストを吸い上げるようになっている。このサッ
クバックバルブ１５の動作速度は、図１の電磁弁１４ａ
と２段の流量制御弁１５ｂ，１５ｃとによって制御され
る構成である。ノズル２の吐出するレジストが、スピン
チャック１７に吸着されたウエハ１８に供給されるよう
になっている。

【０００５】図５は、レジストの吐出状態を説明する図
であり、図２のノズル２の先端が示されている。レジス
トのダイナミック塗布を確実に実行するためには、レジ
ストの吐出状態を安定化させることが、必要条件にな
る。即ち、図５で「正常」の欄に示すように、吐出開始
から吐出終了に至るまでの吐出時間が一定であることは
もちろんのこと、常にその吐出量が一定であることが必
要である。図５の「不良モード」の欄には、吐出状態の
不良例が、吐出終了後のサックバック動作の不良例と共
に示されてる。主な不良例は、次の（１）から（６）の
ようなものがある。

【０００６】（１）吐出開始直前において、瞬間的に一
度レジストが引き上がり、その速度か速いと、ノズル２
の内壁とレジストの接触抵抗により、レジストに気泡が
混入する（一度引き）。 （２）吐出開始直後にレジストの吐出量が少なく、レジ
ストの筋が細く、次第に太くなる現象（先細り）があ
る。また、一旦一滴程度を吐出した後に吐出が停止し、
再度吐出される（二度落ち）こともある。 （３）吐出中に、レジストの筋が細くなったり、太くな
ったりする（脈動）。 （４）吐出終了直前には、次第にレジストの筋が細くな
る（細り）。 （５）吐出終了直後には、ノズル２の先端よりもレジス
トが飛び出して停止する（キレが遅い）、ノズル２の先
端よりもレジストが奥で止まる（キレが早い）、あるい
は一旦吐出終了後に再度一滴程度が吐出される（ボタ落
ち）等がある。 （６）サックバック直後には、サックバック量が少なす
ぎたり多すぎたりする（サックバック不十分及びサック
バック過大）ことがあると共に、サックバック速度が速
すぎると、気泡がレジストに混入する（気泡混入）。 以上の（１）から（６）のような不良が発生すると、ウ
エハ１８に対する塗布状態が不均一となり、レジスト膜
厚不良（コート不良）が生じる。このレジスト膜厚不良
は、レジストの吐出量を少なくすればすれほど顕著にな
り、省レジスト化の大きな障害になる。

【０００７】ここで、従来のレジスト吐出システムの吐
出状態変動の発生原因等を、考察する。レジストを良好
な状態で吐出させるためには、レジストポンプ１０だけ
ではなく、エアオペレートバルブ１４が必要である。も
し、エアオペレートバルブ１４がないと、吐出開始時に
吐出圧不足となり、レジストが先細って吐出される。ま
た、吐出終了時には、除々にレジストが細って停止す
る。さらに、レジスト吐出終了直後の状態がまったく制
御できず、安定しない。よって、最悪の場合にはボタ落
ちが発生する。吐出状態は、レジストポンプ１０とエア
オペレートバルブ１４が動作するタイミングとそれらの
動作速度に大きく依存する。動作タイミングに関して
は、通常、レジストポンプ１０が動作を開始した直後
に、エアオペレートバルブ１４が開き始め、このエアオ
ペレートバルブ１４が閉じた直後にレジストポンプ１０
の動作を終了するように設定されている。このようにす
ると、レジストポンプ１０とノズル２の間に、吐出開始
時及び終了時に適度な与圧を掛けることが可能になるの
で、レジストの筋の細り等を防ぐことができる。

【０００８】動作する速度について言及すると、エアオ
ペレートバルブ１５が開閉する最適な速度は、レジスト
ポンプ１０が動作する速度と、レジストの種類によって
異なる粘度と、配管径やフィルタの種類によって異なる
配管の抵抗とに、応じて設定される。エアオペレートバ
ルブ１４の開く速度が速すぎると、吐出開始直後に一度
引きが発生し、遅すぎると先細りや二度落ちが発生す
る。逆に、閉まる速度が速すぎると、吐出終了直後にキ
レが速すぎる現象が発生し、遅すぎるとキレが遅くな
り、最悪の場合にはボタ落ちが発生する。このような現
象は、エアオペレートバルブ１４のバルブが構造上スポ
イトに似た機能を持つこと起因している。同様の理由で
サックバックバルブ１５も、開閉するタイミングとその
速度が吐出状態に影響を与える。吐出中の状態に関して
は、主にレジストポンプ１０の動作状態によって影響を
受ける。レジストポンプ１０の動作速度が一定でなく変
動すると、脈動が発生する。

【０００９】以上のように、従来のレジスト吐出システ
ムで理想の吐出状態を確保するためには、レジストポン
プ１０、エアオペレートバルブ１４、及びサックバック
バルブ１５が微妙な動作タイミングを保ちながら、一定
の決められた速度で動作する必要がある。ところが、現
状のレジスト吐出システムにおけるレジストポンプ１
０、エアオペレートバルブ１４及びサックバックバルブ
１５は、エアシリンダによって駆動され、それらの動作
速度は流量制御弁１２ｂ，１２ｃ，１４ｂ，１４ｃ，１
５ｂ，１５ｃで調整されている。これらのエアシリンダ
では、０．１秒単位での正確な動作速度安定性と長期的
動作速度安定性とが得られない。とくに、動作速度を遅
くするときと動作ストロークを短く調整するときには、
ピストンを動かすシリンダにおける動作速度が不規則に
なり、停止したり動いたりする。つまり、スティックス
リック現象を起し易くなる。また、フィルタ１３の目詰
り等の外部負荷要因によっても、多少の影響を受ける。
さらに、各シリンダは、別々に調整する必要があるの
で、全体の調整が非常に困難であり、一度調整しても動
作タイミングが狂いやすい。

【００１０】そこで、前記文献１〜４では、それぞれの
方法で対策を講じているが、いずれも根本的な解決に至
っていない。以下に、その理由を示す。文献１によれ
ば、計量器でノズルからの吐出量を測定してその吐出量
を調整しておき、ノズルを移動させて実際にウエハにレ
ジストを供給するようにしている。このようにすること
で、ウエハ１枚あたりのレジストの総吐出量は解決でき
るが、吐出状態の変動は解決されていない。文献２によ
れば、レジストポンプの駆動源をステップモータにして
いるので、吐出中の吐出量が制御できるが、吐出状態変
動は解決していない。文献３には、流量測定装置を設
け、流量の測定結果に基づき吐出量を変化させる例が示
されている。これも、ウエハ１枚あたりのレジストの総
吐出量は解決できるが、吐出状態の変動は解決していな
い。文献４によれば、レジストを貯蔵するメインタンク
の下側に、一回に吐出するレジストの量の容積を有する
吐出用タンクを設け、吐出用タンクからウエハに対し
て、レジストの自重を利用してレジストの供給を行って
いる。この方法でも、ウエハ１枚あたりのレジストの総
吐出量が制御できるが、吐出状態の解決はされていな
い。また、レジストの自重のみでレジスト供給を行うの
で、レジストの粘度が高くなると、吐出時間の制御が困
難になる。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するためのものでありその代表的なものは、ノズルを有
し、該ノズルから半導体ウエハの表面にレジストを吐出
するレジスト吐出システムにおいて、前記レジストを貯
蔵する容器と、第１の制御信号で設定されたタイミング
で駆動される第１のモータを有し、該第１のモータの駆
動によって前記容器中のレジストを所定量吸収し、該吸
収したレジストを圧送するレジストポンプと、前記レジ
ストポンプから前記ノズルへ至るレジストの流路に設け
られたオペレートバルブであって、第２の制御信号で設
定されたタイミングで駆動される第２のモータを有し、
該第２のモータの駆動によって、前記レジストの流路に
おける前記レジストの遮断と開放とを行う前記オペレー
トバルブと、前記レジストの流路に設けられたサックバ
ックバルブであって、第３の制御信号で設定されたタイ
ミングで駆動される第３のモータを有し、前記レジスト
の吐出が終了した後に該第３のモータの駆動により、該
ノズルの先端のレジストを適当量引き戻す前記サックバ
ックバルブと、前記第１の制御信号、第２の制御信号及
び第３の制御信号を発生して前記レジストポンプと前記
オペレートバルブと前記サックバックバルブとに対する
同期制御を行い、前記レジストの吐出状態を制御する制
御部とを備えたレジスト吐出システムである。

【００１２】本発明の代表的な発明によれば、以上のよ
うにレジスト吐出システムを構成したので、容器に貯蔵
されたレジストが、所望量レジストポンプに吸収され、
このレジストポンプからノズル側に、レジストが圧送さ
れる。レジストはフィルタによって濾過される。フィル
タとノズルの間のオペレートバルブの開放によって、ノ
ズルからのレジストの吐出が開始され、遮断によって吐
出が終了する。吐出終了時にサックバックバルブを閉状
態から開状態に移行させることにより、ノズルの先端の
レジスタが所望量引き戻される。ここで、レジストポン
プばかりでなく、オペレートレジスタ及びサックバック
バルブは、第１〜第３のパルスモータまたはターボモー
タでそれそれ駆動される。これらのパルスモータまたは
ターボモータにおける動作速度及びタイミングは、高精
度に制御できる。従って、前記課題は、解決できるので
ある。

【００１３】

【発明の実施の形態】

（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施形態
を示すレジスト吐出システムの構成図である。 このレ
ジスト吐出システムにおいては、レジスト２０が、容器
であるガロンビン２１に貯蔵されている。ガロンビン２
１からのレジスト用配管２２が、レジストポンプ３０の
逆止弁３１に接続されている。レジスト用配管２２は、
例えばＰＴＦＥ製である。レジストポンプ３０には、さ
らに、べローズ３２とそれを伸縮させるモータ駆動部３
３とを有している。

【００１４】図６は、図１中のモータ駆動部３３の概要
を示す構成図であり、モータを使用したシリンダ機構が
示されている。モーターの駆動部３３は、パルスモータ
またはサーボモータで構成されたモータ３４を有してい
る。モータ３４は支持台３５上の支持部３５ａに固定さ
れている。モータ３４の軸は、連結器３６でシャフト３
７に連結されている。シャフト３７は、支持台３５上の
支持部３５ｂに回転自在に保持されている。すなわち、
支持部３５ｂとシャフト３７の間には、ベアリング３８
等が設けられている。シャフト３７の先端には、ボール
ネジ３９が形成されている。ボールネジ３９にはナット
４０を介して筒体４１が取り付けられている。筒体４１
の先端にピストンロッド４２が配置されている。筒体４
１と支持台３５との間には、リニアガイド４３が設けら
れ、筒体４１をシャフト３７の軸方向に摺動させるよう
になっている。ピストンロッド４２が、図１のベローズ
３２に接続されている。このようにモータ駆動部３３を
構成することで、べローズ３２の伸縮長とその速度とを
高精度に制御することができる。

【００１５】レジストポンプ３０の逆止弁３１から出た
配管４３は、フィルタ部５０に接続されている。フィル
タ部５０は、径が０．１〜０．２μｍの微細孔が無数に
形成された濾過用ＰＴＦＥを有している。このフィルタ
部５０には、絞り弁５１を有するドレン用配管５２が接
続されている。レジストポンプ３０とフィルタ部５０の
間の配管４３には、圧力計５３が分岐して接続されてい
る。圧力計５３は、常に配管４３内の圧力をモニタする
ものであり、モニタした結果であるアナログ信号Ｓ５３
を出力する機能を有している。

【００１６】フィルタ部５０から出た配管５４は、オペ
レートバルブ６０に接続されている。オペレートバルブ
６０はバルブ部６１とこのバルブ部６１内のダイアフラ
ム７０８を上下させるモータ駆動部６２とで構成されて
いる。オペレートバルブ６０をこのように構成すること
で、オペレートバルブ６０のダイアフラム７０８の上下
ストロークとその速度を高精度に制御できるようになっ
ている。オペレートバルブ６０の出力側にはサックバッ
クバルブ７０が隣接して接続されている。サックバック
バルブ７０は、バルブ部７１とこのバルブ部７１内のダ
イアフラム７３１を上下させるモータ駆動部７２とで構
成されている。サックバックバルブ７０をこのように構
成することで、サックバックバルブ７０のダイアフラム
７３１の上下ストロークとその速度を高精度に制御でき
るようになっている。

【００１７】サックバックバルブ７０から出た配管７３
は、ノズル８０に接続されている。ノズル８０の先端
は、スピンチャック９０に吸着されたウエハ９１の中心
の上に位置するように配置されている。このレジスト吐
出システムには、さらに、制御部１００が設けられてい
る。制御部１００は、各モータ駆動部３３，６２，７２
に第１〜第３の制御信号Ｓ３３，Ｓ６２，Ｓ７２をそれ
ぞれ送って制御するものであり、マイコン制御コントロ
ーラ、パルスモータドライバ、及びＡ／Ｄコンバータ等
を備えている。また、圧力計５３が出力する信号Ｓ５３
が、この制御部１００に入力される構成になっている。

【００１８】図７には、オペレートバルブ６０及びサッ
クバックバルブ７０の正面側から見た断面図が示されて
おり、図８には側面から見た断面図が示されている。図
７において、紙面の右側（A側）がオペレートバルブ６
０であり、左側（B側）がサックバックバルブ７０であ
る。オペレートバルブ６０とサックバックバルブ７０
は、ＰＴＦＥ製のバルブボディー７０１（斜線部）及び
ユニット固定板７３０によって接続されている。レジス
ト２０は、供給口７０２より供給され、穴７０４、バル
ブ室７０６と、穴７０５、バルブ室７０７を通過して、
出口７０３より排出され、ノズル８０に至る。

【００１９】次にオペレートバルブ６０の構成について
詳細に説明する。バルブ室７０６には、円形のダイアフ
ラム７０８（ＰＴＦＥ製）が設けられている。このダイ
アフラム７０８は、周辺部がバルブボディー７０１と部
品７１１との間に挟まれるように固定されている。これ
によりダイアフラム７０８の周辺部はシール効果を発揮
するので、レジスト２１はバルブボディー７０１とダイ
アフラム７０８以外の部分には触れないようになる。

【００２０】ダイヤフラム７０８の中心部は、ピストン
ロッド７０９と接続されている。ピストンロッド７０９
には、ピン７１０が打ち込んであり、部品７１１の溝に
はまり込んでいる。従ってピストンロッド７０９はこの
ピン７１０の作用により回転しないようになっている。
一方、ピストンロッド７０９の両端（紙面の上側の端部
と下側の端部）は、部品７１１と部品７１３によって支
持されており、上下方向には自由に動作するようになっ
ている。

【００２１】ピストンロッド７０９のつば部分と部品７
１３の間には圧縮バネ７１２が設置されており、ピスト
ンロッド７０９は通常紙面の下方向に押さえ付けられて
いる。よってダイアフラム７０８の中心部の下部が穴７
０５を塞ぐので、通常オペレートバルブ６０はバネの力
により閉じられている。

【００２２】ピストンロッド７０９の上部には溝が切ら
れており、この溝にフリージョイント７１４が取り付け
られている。フリージョイント７１４とピストンロッド
７０９の上部の溝接続部には、0.2mmの隙間が設けられ
ている。これは、オペレートバルブ６０を閉じる力は最
終的にバネの力だけにして、パルスモーター７２９に余
計な負荷をかけないためである。

【００２３】フリージョイント７１４は、ボールネジ７
２０の下部端面にネジで固定されている。ホールネジ７
２０の上部は、部品７２３に埋め込み固定されたブッシ
ュ７２１により支持されている。ブッシュ７２１にはD
型穴加工がなされていて、ボールネジ７２０が回転しな
いようになっている。

【００２４】ボールネジ７２０の最上部には、センサフ
ラグ７２８が取り付けられている。センサー７２７は部
品７２３に固定されている。ボールネジナット７１９は
部品７１６に挿入され、タイミングプーリ７２６と共に
固定されている。タイミングプーリ７２６の中心には逃
げ穴が設けられており、ボールネジ７２０と干渉しない
ようになっている。

【００２５】部品７１６は部品７２２に挿入されてい
る。また部品７１６は、部品７１８によって外輪を保持
されたアンギュラベアリング７１７の内輪に挿入されて
いる。さらに部品７１６は、ゆるみ止め付きナット７１
５により、アンギュラベアリング７１７の内輪を挟むよ
うに固定されている。部品７１６の内部は空洞になって
いるので、フリージョイント７１４等と干渉しない。

【００２６】タイミングプーリ７２６には、タイミング
ベルト７２５がかけられており、パルスモータ７２９の
駆動シャフトに挿入固定されたタイミングプーリ７２４
と連結している。

【００２７】次にサックバックバルブ７０の構成につい
て説明する。バルブ室７０７には、円形のダイアフラム
７３１（ＰＴＦＥ製）が設けられている。このダイアフ
ラム７３１は、周辺部がバルブボディー７０１と部品７
３３との間に挟まれるように固定されている。これによ
りオペレートバルブ６０と同様の理由でレジスト２１は
バルブボディー７０１とダイアフラム７３１以外の部分
には触れないようになる。

【００２８】ダイアフラム７３１は、オペレートバルブ
６０のダイアフラム７０８と同様に、ピストンロッド７
３２と接続されており、ピストンロッド７３２が上下す
るとその中心部も上下する。これにより、バルブ室７０
７の容積が変化するので、サックバック（レジスト２０
の引き戻し）が可能となる。

【００２９】ピストンロッド７３２には、オペレートバ
ルブ６０のピストンロッド７０９とは逆に、通常上方向
にバネの力が働くように、部品７３３とピストンロッド
７３２のツバ部分に圧縮バネが設けられている。部品７
３４より上方の構成についてはオペレートバルブ６０と
同様であるので説明を省略する。

【００３０】次にオペレートバルブ６０の動作について
説明する。直接オペレートバルブ６０の開閉を行なうの
は、ダイアフラム７０８であり、このダイアフラム７０
８の中心部が上下に移動（1mm程度）することでオペレ
ートバルブ６０の開閉が行なわれる。通常、ダイアフラ
ム７０８は圧縮バネ７１２の力により下方向に押さえ付
けられているため、オペレートバルブ６０は閉じてい
る。

【００３１】一方、ダイアフラム７０８の中心部は、ピ
ストンロッド７０９とフリージョイント７１４を介して
ボールネジ７２０と連結している。ボールネジ７２０は
ブッシュ７２１により回り止めが施されているので、ボ
ールナット７１９が回転すると、ボールネジ７２０は上
下の直線運動を行なう。よってボールネジナット７１９
が回転運動することで、オペレートバルブ６０の開閉が
行なわれる。

【００３２】ボールナット７１９は部品７１６とアンギ
ュラベアリング７１７により支持されているので、回転
方向に自由に運動することができる。回転運動の駆動源
はパルスモータ７２９であり、駆動力伝達要素はタイミ
ングプーリ７２６、７２４と、タイミングベルト７２５
である。またセンサーフラグ７２８がセンサー７２７で
検出されることによりパルスモータ７２９の原点位置が
認識される。この原点位置は、ボールネジ７２０の通常
待機位置（バルブ閉位置）でもあり、もしオペレートバ
ルブ６０の開閉動作中に通常待機位置にボールネジ７２
０が戻ってきたとき、センサーフラグ７２８が検出され
ないときは、エラー（パルスモータの脱調）信号が制御
部１００から出力される。これによりシステムの誤動作
発生を防いでいる。

【００３３】次にサックバックバルブ７０の動作につい
て説明する。直接サックバックバルブ７０の開閉を行な
うのは、ダイアフラム７３１であり、このダイアフラム
７３１の中心部が上下に移動（1mm程度）することでバ
ルブ室７０７の容積が変化しサックバックが行なわれ
る。すなわち、ダイアフラム７３１の中心部を下から上
に移動させることによって、ノズル８０の端面で停止し
たレジスト２０を引き上げる。この上下運動を行なわせ
るための動作原理は、オペレートバルブ６０の動作原理
と同様であるので説明を省略する。

【００３４】図９は、図１のシステムにおける制御部１
００から出力される制御信号のシーケンスを示すタイム
チャートであり、図１０はこの制御信号を受けて動作す
る各バルブ、ポンプの実動作を示すタイムチャートであ
る。以下にこの図９及び図１０を参照しつつ、このレジ
スト吐出システムの動作を説明する。

【００３５】図１０には、レジストポンプ３０の駆動状
態と、オペレートバルブ６０及びサックバックバルブ７
０における開閉動作が、横軸に示された時間経過と共に
示されている。この時間経過は、一例であり、各動作の
時間の長さは、フィルタ部５０の種類、配管２２，４
３，５４，７３の径と長さ、及びバルブ類のオリフィス
径等の配管系の相違によって異なる。また、ウエハ９１
の径、目標厚さ、スピンチャック９０の回転数、及びレ
ジストの種類等のプロセスの相違によっても、時間の設
定が変わる。また、図１０では、吐出動作と吸引動作が
それぞれ一回づつ示されているが、連続的にウエハにレ
ジストを吐出する場合には、吸引動作→吐出動作を繰り
返し、最後に図１０のように吸引動作を行って処理を終
了または中断する。

【００３６】まず吐出動作を説明する。初期状態として
時刻0秒において制御部１００がモータ駆動部６２に対
して、オペレートバルブ６０を閉じさせるような制御信
号Ｓ６２を出力しており、モータ駆動部７２に対してサ
ックバックバルブ７０を開かせる（レジストを引く）よ
うな制御信号Ｓ７２を与えているとする。この状態にお
いて、制御部１００は、モータ駆動部３３に対して、レ
ジストを吐出させるような制御信号Ｓ３３を出力する。
すると、モータ駆動部３３のモータ３４が駆動されべロ
ーズ３２が縮む。これにより、レジストポンプ３０内に
溜まったレジスト２０がノズル８０側へ圧送される。逆
止弁３１があるので、そのレジスト２０はガロンビン２
１へ戻らない。このときの動作加速時間は０．１秒（図
１０の横軸0秒〜0.1秒）である。時刻0.1秒において、
レジストポンプ３０の動作が最高速度になると、（図１
０の横軸0.1秒）制御部１００はモータ駆動部６２に対
して、オペレートバルブ６０を開かせるような制御信号
Ｓ６２を出力し、モータ駆動部７２に対してはサックバ
ックバルブ７０を閉じさせる（ダイヤフラムの状態を元
に戻させる）ような制御信号Ｓ７２を与える。モータ駆
動部６２はこのような制御信号Ｓ６２を受信して、オペ
レートバルブ６０を開かせ始める。０．２秒後（図１０
の横軸0.3秒）に、オペレートバルブ６０が全開にな
る。モータ駆動部７２はこのような制御信号Ｓ７２を受
信して、オペレートバルブ６０の動作と同時（図１０の
横軸0.1秒）にサックバックバルブ７０を閉じさせ始
め、０．２秒後（図の横軸0.3秒）に所定の位置で停止
する（完全には閉まらない）サックバックバルブ７０が
閉じる動作は、サックバック動作の準備である。時刻0.
3秒において、制御部１００はモータ駆動部６２に対し
て、オペレートバルブ６０の状態を維持させるような制
御信号Ｓ６２を出力し、モータ駆動部７２に対してもサ
ックバックバルブ７０の状態を維持させるような制御信
号Ｓ７２を与える。モータ駆動部６２はこのような制御
信号Ｓ６２を受信して、開状態のオペレートバルブ６０
の状態及び閉状態のサックバックバルブ７０の状態を維
持させる。このように、オペレートバルブ６０が開状態
となることにより、レジストポンプ３０から圧送された
レジスト２０がノズル４０側へ送られる。時刻0.9秒に
おいて、制御部１００はモータ駆動部６２に対して、オ
ペレートバルブ６０を閉じさせるような制御信号Ｓ６２
を0.2秒間出力する。モータ駆動部６２はこのような制
御信号Ｓ６２を受信して、オペレートバルブ６０の状態
を閉じさせる。これにより、オペレートバルブ６０は、
全開してから０．６秒後（図１０の横軸0.9秒）に閉じ
始め、それから０．２秒後（図１０の横軸1.1秒）に完
全に閉じる。時刻1.1秒において、制御部１００はモー
タ駆動部６２に対して、閉状態のオペレートバルブ６０
の状態を維持させるような制御信号Ｓ６２を出力し、モ
ータ駆動部３３に対して、レジストの吐出を停止させる
ような制御信号Ｓ３３を出力する。モータ駆動部６２は
このような制御信号Ｓ６２を受信して、閉状態のオペレ
ートバルブ６０の状態を維持させる。モータ駆動部３３
はこのような制御信号Ｓ３３を受信して、レジストポン
プ３０を停止させる。レジストポンプ３０は、オペレー
トバルブ６０が完全に閉じた時点（図１０の横軸1.1
秒）で、この制御信号Ｓ３３により減速し始める。その
減速時間は０．１秒（図１０の横軸1.1秒〜1.2秒）であ
る。その結果、レジストポンプ３０の吐出動作は約１．
２秒（図の横軸0秒〜1.2秒）になる。しかしオペレート
バルブ６０が開いている期間は約１秒（図１０の横軸0.
1秒〜1.1秒）なので、実際にノズル８０からレジスト２
０が吐出される時間は、このオペレートバルブ６０が開
いている期間である。

【００３７】時刻1.2秒において、制御部１００はモー
タ駆動部７２に対して、サックバックバルブ７０を開か
せるような制御信号Ｓ７２を出力する。モータ駆動部７
２はこのような制御信号Ｓ７２を受信して、サックバッ
クバルブ７０を開かせる。サックバックバルブ７０は、
この制御信号Ｓ７２によって開き始め、０．５秒（図１
０の横軸1.2秒〜1.7秒）で完全に開く。即ち、０．５秒
かけてノズル８０の先端に停止しているレジスト２０を
設定量だけノズル８０内部に引き上げる。

【００３８】次に吸引動作を説明する。時刻1.7秒にお
いて、制御部１００はモータ駆動部７２に対して、サッ
クバックバルブ７０の状態を維持させるような制御信号
Ｓ７２を出力し、モータ駆動部３３に対しては、レジス
トを吸引させような制御信号Ｓ３３を出力する。モータ
駆動部３３がこのような制御信号Ｓ３３を受信すると、
モータ３４が駆動されてべローズ３２が伸びる。これに
よってガロンビン２１中のレジスト２０が設定された量
だけレジストポンプ３０に吸引される。このときの動作
の最高速度に達するまでの加速時間は約０．１秒（図１
０の横軸1.7秒〜1.8秒）である。時刻3.4秒において、
制御部１００はモータ駆動部３３に対して、レジストの
吸引を停止させるような制御信号Ｓ３３を出力する。モ
ータ駆動部３３がこのような制御信号Ｓ３３を受信する
と、モータ３４が停止する。このときレジストポンプ３
０が停止するまでの減速時間は０．１秒（図１０の横軸
3.4秒〜3.5秒）である。その結果、レジスト吸引動作全
体の処理時間は１．８秒（図の横軸1.7秒〜3.5秒）とな
る。これらの動作は、すべて制御部１００によって同期
制御されている。動作速度や動作位置に関しては、自由
かつ簡単にその設定を変化させることができる。さら
に、制御部１００にデータを記憶する手段を設けて一度
設定したタイムチャートを記憶しておくことで、設定を
再び行う場合の手間も省ける。一方、フィルタ部５０に
は、絞り弁５１を通してドレンに接続されている。この
機構は、吐出時にレジスト２０を若干リーク（スローリ
ーク）させることで、フィルタ部５０での配管抵抗を低
減させているためのものである。例えば、配管抵抗が大
きくなりすぎると、フィルタ５０の前後で与圧差が発生
する。この与圧差は時間の経過と共に平均化されるが、
吐出時間が変更になると与圧差の平均値も変り、吐出状
態の安定性に悪影響を及ぼす。そのため、フィルタ部５
０を絞り弁５１を通してドレンに接続し、０．１ｃｃ程
度のスローリークを行う。

【００３９】しかし、フィルタ部５０が目詰まり等を起
こして配管抵抗が増加すると、スローリークだけでは与
圧差を吸収しきれなくなる。そこで制御部１００は、圧
力計５３からフィードバックされたアナログ信号Ｓ５３
に基づき、圧力が所定の値よりも大きくなったことを検
知し、システムを停止（インタロック）させる。また、
このアナログ信号Ｓ５３を用いることで、さらに、安定
した吐出状態を確保することが可能になる。つまり、制
御部１００がアナログ信号Ｓ５３を内蔵するＡ／Ｄコン
バータで段階的に処理し、予め各段階毎に設定された動
作タイムチャートを選択するようなプログラムを用意す
ることにより、常に、最適な吐出がでできることにな
る。

【００４０】以上のように、第１の実施形態では、次の
ような利点を有している。 （ｉ） レジストポンプ３０、オペレートバルブ６０及
びサックバックバルブ７０に、従来のエアシリンダの代
わりに、パルスモータやサーボモータで構成されたモー
タ駆動部３３，６２，７２をそれぞれ設け、それらを制
御部１００で同期制御するようにしている。そのため、
レジストの吐出量、吐出速度、吐出状態のすべてを長期
に渡って安定させることが可能になり、少量のレジスト
２０をウエハ９１に供給する場合でも、膜厚不良を発生
させること無く安定したコーティングができ、レジスト
の使用量を削減できると共に、歩留まりが向上する。 （ii） 圧力計５３によるフィードバック機構を設けた
ので、（ｉ）の利点がさらに増長されて、吐出安定性を
さらに高めることができる。 （iii) レジストポンプ３０、オペレートバルブ６０及
びサックバックバルブ７０のモータ駆動部３３，６２，
７２をパルスモータやサーボモータで構成し、制御部１
００でそれらを制御するので、動作タイミング及び速度
の調整がすべてタイムチャートに沿った数値入力とな
り、簡単である。また、数値で定量的に制御できるの
で、それを記憶しておけば、フィルタ部５０やレジスト
２０の種類を変更する場合でも、吐出状態の再調整を行
う必要が無くなり、操作性が良くなると共に、保守が容
易化できる。

【００４１】なお、本発明は、上記第１の実施形態に限
定されず種々の変形が可能である。例えば、図１のレジ
スト吐出システムでは吐出安定性を高めるために、圧力
計５３を設けてアナログ信号Ｓ５３をフィードバックし
ているが、圧力計５３を設けなくとも、従来のレジスト
吐出システムよりも遥かに吐出安定性が高まる。また、
図１中のレジストポンプ３０ではべローズ３２を採用し
ているが、ダイアフラムを用いる場合でも、本実施形態
と同様の効果が得られる。

【００４２】（第２の実施の形態）フィルタ５０の内部
にレジスト吐出時の残圧が蓄積されると、気泡の発生を
招く可能性がある。従って第１の実施の形態において
は、レジスト吐出時にフィルタ５０のドレンからスロー
リーク（レジストをわずかに捨てる）を行なった。しか
し、フィルタ５０が目づまりしてくると、レジスト吐出
口の抵抗が大きくなるのに対して、ドレン口の抵抗は変
化しない。（フィルタ入り口からドレン口の間にはフィ
ルタ本体を通過せず、フィルタハウジングにより繋がっ
ている）従って、単純にスローリークを行なったので
は、レジストの吐出量が少なくなりスローリーク量が増
えてしまうため改善が望まれる。本第２の実施の形態で
は、フィルタ５０の残圧を開放する手法を提案する。合
わせて第２の実施の形態では、新たなレジスト吐出のシ
ーケンスについても提案する。

【００４３】図１１は、本発明の第２の実施形態を示す
レジスト吐出システムの構成図であり、図１と同一の構
成には同一の符号を付与している。第２の実施の形態が
第１の実施の形態と異なる点は、圧力計５３をなくした
こと、絞り弁５１とドレンとの間に、制御部１００から
出力される制御信号Ｓ１１３５により動作が制御される
フィルタバルブ１１３５を設けたことである。フィルタ
バルブ１１３５は、フィルター５０の目ずまりによる影
響を抑えるためのものであり、図７のエアオペレートバ
ルブと同様の構成をしている。具体的には、レジスト吐
出を行なっているときには、フィルタバルブ１１３５は
閉じていて、スローリークがレジスト吐出量や吐出状態
へ余計な影響を及ぼさないようにする。レジスト吐出後
においては、フィルタバルブ１１３５は開き、フィルタ
５０の内の残圧をドレンから逃がすことによって、フィ
ルタ５０内に残圧が蓄積されないように作用する。

【００４４】図１２は、制御部１００から出力される各
制御信号Ｓ３３、Ｓ１１３５、Ｓ６２、Ｓ７２の状態を
示すタイムチャートである。なお制御信号を受信して動
作するモータ駆動部６２等の被制御部は、実際にはこれ
らの制御信号に若干遅延して動作するため、実動作上は
図１０で示したようなグラフ上での傾きが生じる。ま
た、各駆動部の動作時間は、レジストの吐出量、吐出時
間、配管の径、ノズルの径、レジストの粘度、フィルタ
のろ過度等で異なる。しかし、各駆動部同士が動作する
タイミング（例えばレジストポンプ３０が動作を開始す
る時刻に対してのオペレートバルブ６０が動作を開始す
る時刻等）は、オペレートバルブ６０開閉時のバルブ室
７０６の容積変化量とサックバックバルブ７０開閉時の
バルブ室７０７の容積変化量がほぼ同等であれば、レジ
スト吐出システムの配菅の径等の違いに関わらずほぼ一
定である。

【００４５】まず吐出動作を説明する。初期状態として
時刻0秒において制御部１００がモータ駆動部６２に対
して、オペレートバルブ６０を開かせるような制御信号
Ｓ６２を与えており、モータ駆動部７２に対してはサッ
クバックバルブ７０を閉じさせるような（戻り動作）制
御信号Ｓ７２を与えており、モータ駆動部３３に対して
はレジストを吐出させるような制御信号Ｓ３３を与えて
いるものとする。さらに、制御部１００はフィルタバル
ブ１１３５に対して、フィルタバルブ１１３５を閉じさ
せるような制御信号Ｓ１１３５を与えている。この状態
においては、モータ駆動部３３のモータ３４が駆動され
べローズ３２が縮む。これにより、レジストポンプ３０
内に溜まったレジスト２０がノズル８０側へ圧送され
る。逆止弁３１があるので、そのレジスト２０はガロン
ビン２１へ戻らない。モータ駆動部６２は制御信号Ｓ６
２を受信して、オペレートバルブ７０を開かせ始める。
０．３５秒後に、オペレートバルブ６０が全開になる。
一方、モータ駆動部７２は制御信号Ｓ７２を受信して、
サックバックバルブ６０を閉じさせ始め、０．３秒後に
所定の位置で停止する。時刻0.3秒において、制御部１
００はモータ駆動部７２に対して、サックバックバルブ
７０の状態を維持させるような制御信号Ｓ７２を出力
し、時刻0.35秒においては、モータ駆動部６２に対し
て、オペレートバルブ６０の状態を維持させるような制
御信号Ｓ６２を与える。モータ駆動部６２はこのような
制御信号Ｓ６２を受信して、開状態のオペレートバルブ
６０の状態及び戻り状態（閉状態）のサックバックバル
ブ７０の状態を維持させる。時刻0.85秒において、制御
部１００はモータ駆動部６２に対して、オペレートバル
ブ６０を閉じさせるような制御信号Ｓ６２を0.15秒間出
力する。モータ駆動部６２はこのような制御信号Ｓ６２
を受信して、オペレートバルブ６０の状態を閉じさせ
る。これにより、オペレートバルブ６０は、全開してか
ら０．５秒後（図１２の横軸0.85秒）に閉じ始め、それ
から０．１５秒後（図１２の横軸1.0秒）に完全に閉じ
る。この時刻0.85秒においては、制御部１００はモータ
駆動部７２に対して、サックバックバルブ７０を引き状
態（開状態）とするような制御信号Ｓ７２を出力する。
モータ駆動部７２はこのような制御信号Ｓ７２を受信し
て、サックバックバルブ７０を開かせ始める。サックバ
ックバルブ７０は、この制御信号Ｓ７２によって開き始
め、０．６５秒で完全に開く。即ち、時刻0.85秒に閉じ
始めたエアオペレートバルブ６０によってノズル８０の
先端に停止したレジスト２０を０．６５秒かけて設定量
だけ引き上げる。時刻1.0秒において、制御部１００は
モータ駆動部６２に対して、閉状態のオペレートバルブ
６０の状態を維持させるような制御信号Ｓ６２を出力
し、モータ駆動部３３に対して、レジストの吐出を停止
させるような制御信号Ｓ３３を出力する。モータ駆動部
６２はこのような制御信号Ｓ６２を受信して、閉状態の
オペレートバルブ６０の状態を維持させる。モータ駆動
部３３はこのような制御信号Ｓ３３を受信して、レジス
トポンプ３０を0.5秒間停止させる。

【００４６】時刻1.2秒において、制御部１００はフィ
ルタバルブ１１３５に対して、フィルタバルブ１１３５
を開かせるような制御信号Ｓ１１３５を出力する。フィ
ルタバルブ１１３５はこのような制御信号Ｓ１１３５を
受信して、フィルタバルブ１１３５を開く。そして、図
示しないがフィルタバルブ１１３５は６秒間この状態を
維持し、フィルタ５０内の残圧を除去する。すなわち、
この６秒というのは、フィルタ５０内の残圧が完全にな
くなるまでに要する時間である。

【００４７】次に吸引動作を説明する。時刻1.5秒にお
いて、制御部１００はモータ駆動部７２に対して、サッ
クバックバルブ７０の状態を維持させるような制御信号
Ｓ７２を出力し、モータ駆動部３３に対しては、レジス
トを吸引させるような制御信号Ｓ３３を出力する。モー
タ駆動部３３がこのような制御信号Ｓ３３を受信する
と、モータ３４が駆動されてべローズ３２が伸びる。こ
れによってガロンビン２１中のレジスト２０が設定され
た量だけレジストポンプ３０に吸引される。時刻2.5秒
において、制御部１００はモータ駆動部３３に対して、
レジストの吸引を停止させるような制御信号Ｓ３３を出
力する。モータ駆動部３３がこのような制御信号Ｓ３３
を受信すると、モータ３４が停止する。これらの動作
は、すべて制御部１００によって同期制御されている。

【００４８】以上のように第２の実施の形態によれば、
フィルタとドレン間のスローリークをもフィルタバルブ
により制御するようにしたので、第１の実施の形態で得
られる効果に加えて、フィルタの目ずまりによってレジ
ストの吐出量が減減少することを確実に防止することが
できる。

【００４９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１及び第
２の発明によれば、第１のパルスモータまたはサーボモ
ータで駆動されるレジストポンプと、第２のパルスモー
タまたはサーボモータで駆動されるオペレートバルブ
と、第３のパルスモータまたはサーボモータで駆動され
るサックバックバルブとを備え、それら第１から第３の
パルスモータまたはサーボモータに対して第１〜第３の
制御信号を送って同期制御を行う制御部を設けたので、
レジストをノズルからウエハに吐出する場合の吐出量と
吐出状態とが、両方とも制御可能になる。第３の発明に
よれば、第１のパルスモータまたはサーボモータを駆動
してレジストを吸収しておき、その第１のパルスモータ
またはサーボモータを駆動して、レジストポンプにレジ
ストの圧送を開始させおき、第２のパルスモータまたは
サーボモータを駆動してオペレートバルブを開く。ここ
で、各パルスモータまたはサーボモータは速度制御が容
易であり、レジストの一度引きやレジストの細りのない
吐出を開始できる。また、レジストポンプを駆動したま
ま、オペレートバルブを遮断するので、吐出終了直前の
レジストの細りや吐出終了直後のボタ落ちを防止しつ
つ、レジストの吐出を終了できる。さらに、吐出が終了
した後、第３のパルスモータまたはサーボモータでサッ
クバックバルブを閉状態から開状態にする。この第３の
パルスモータまたはサーボモータも速度制御が容易なの
で、サックバック動作の速度も適正化され、所望量のレ
ジストをノズルから引き戻すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示すレジスト吐出シ
ステムの構成図である。

【図２】従来の一般的なレジスト吐出システムの構成図
である。

【図３】図２中のエアオペレートバルブ１４の要部の断
面図である。

【図４】図２中のサックバックバルブ１５の要部の断面
図である。

【図５】レジストの吐出状態を説明する図である。

【図６】図１中のモータ駆動部３３の概要を示す構成図
である。

【図７】オペレートバルブ及びサックバックバルブの正
面図である。

【図８】オペレートバルブ及びサックバックバルブの側
面図である。

【図９】図１の吐出シーケンスを示すタイムチャートで
ある。

【図１０】図１の吐出シーケンスを示すタイムチャート
である。

【図１１】本発明の第２の実施形態を示すレジスト吐出
システムの構成図である。

【図１２】図１１の吐出シーケンスを示すタイムチャー
トである。

【符号の説明】

２０ レジスト ２１ ガロンビン ２２，４３，５４，７３ 配管 ３０ レジストポンプ ３３，６２，７２ モータ駆動部 ３４ パルスモータまたはサー
ボモータ ５０ フィルタ部 ５３ 圧力計 ６０ オペレートバルブ ７０ サックバックバルブ ８０ ノズル ９１ ウエハ Ｓ３３，Ｓ６２，Ｓ７２ 制御信号

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉高 直人 宮崎県宮崎郡佐土原町大字下田島19370 有限会社宮崎マシンデザイン内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズルを有し、該ノズルから半導体ウエ
   ハの表面にレジストを吐出するレジスト吐出システムに
   おいて、 前記レジストを貯蔵する容器と、 第１の制御信号で設定されたタイミングで駆動される第
   １のモータを有し、該第１のモータの駆動によって前記
   容器中のレジストを所定量吸収し、該吸収したレジスト
   を圧送するレジストポンプと、 前記レジストポンプから前記ノズルへ至るレジストの流
   路に設けられたオペレートバルブであって、第２の制御
   信号で設定されたタイミングで駆動される第２のモータ
   を有し、該第２のモータの駆動によって、前記レジスト
   の流路における前記レジストの遮断と開放とを行う前記
   オペレートバルブと、 前記レジストの流路に設けられたサックバックバルブで
   あって、第３の制御信号で設定されたタイミングで駆動
   される第３のモータを有し、前記レジストの吐出が終了
   した後に該第３のモータの駆動により、該ノズルの先端
   のレジストを適当量引き戻す前記サックバックバルブ
   と、 前記第１の制御信号、第２の制御信号及び第３の制御信
   号を発生して前記レジストポンプと前記オペレートバル
   ブと前記サックバックバルブとに対する同期制御を行
   い、前記レジストの吐出状態を制御する制御部とを、 備えたことを特徴とするレジスト吐出システム。
2. 【請求項２】 請求項１記載のレジスト吐出システムは
   さらに、 前記レジストポンプと前記オペレートバルブとの間に設
   けられたフィルタと、 前記レジストポンプと前記フィルタとの間のレジストの
   圧力を計測し該計測結果を前記制御部に伝達する圧力計
   とを有し、 前記制御部は、前記計測結果を参照して前記第１の制御
   信号、第２の制御信号及び第３の制御信号を送出する構
   成にしたことを特徴とする請求項１記載のレジスト吐出
   システム。
3. 【請求項３】 請求項１記載のレジスト吐出システムは
   さらに、 前記レジストポンプと前記オペレートバルブとの間に設
   けられたフィルタと、 前記フィルタに接続され、第４の制御信号によって動作
   するフィルタバルブであって、前記レジストポンプによ
   る前記レジストの圧送が終了した後に前記フィルタ内の
   残圧を開放する前記フィルタバルブとを有することを特
   徴とする請求項１記載のレジスト吐出システム。
4. 【請求項４】 ノズルから半導体ウエハの表面にレジス
   トを吐出するレジスト吐出方法において、 前記レジストの吸収と圧送を行う機能を有するレジスト
   ポンプを第１のモータで駆動し、前記レジストを貯蔵し
   た容器から該レジストを所定量吸収させる吸引処理を行
   う工程と、 前記第１のモータを駆動して前記レジストポンプに吸収
   したレジストの前記圧送を開始する工程と、 前記レジストポンプから前記ノズルへ至るレジストの流
   路の遮断及び開放を行う機能を有するオペレートバルブ
   を、前記圧送の開始から所定の時間経過したのちに第２
   のモータで駆動し、該流路を開放して前記レジストの吐
   出を開始する工程と、 前記流路が開放されるのとほぼ同時に、前記流路に設け
   られ閉状態から開状態になることで該ノズル内部のレジ
   ストを適当量引き戻す機能を有するサックバックバルブ
   を、第３のモータで駆動して閉状態とし、該引き戻しに
   対する準備を行う工程と、 前記流路が開放と前記引き戻しの準備が行われてから所
   定の時間が経過したのちに、前記オペレートバルブを前
   記第２のモータで駆動し、該流路を遮断して前記レジス
   トの吐出を終了する工程と、 前記第１のモータの駆動を停止し、前記レジストポンプ
   の前記レジストの圧送を停止する工程と、 前記オペレートバルブによる前記流路の遮断と同時ある
   いはその後に、前記サックバックバルブを前記第３のモ
   ータで駆動して開状態に設定し、前記ノズルの内部のレ
   ジストを適当量引き戻させる工程とからなる吐出工程を
   実施することを特徴とするレジスト吐出方法。