JPH06326015A

JPH06326015A - フォトレジストコーター

Info

Publication number: JPH06326015A
Application number: JP11184593A
Authority: JP
Inventors: Takuya Takizawa; ▲琢▼也滝澤
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1993-05-13
Filing date: 1993-05-13
Publication date: 1994-11-25

Abstract

(57)【要約】【構成】半導体プロセスにおけるフォト工程において、
レジストを塗布する時に、レジストの吐出量を一定に保
つために、レジスト吐出ノズル部分に計量用シリンダー
１３を設け、計量用シリンダーで計量してからレジスト
を吐出するフォトレジストコーター。また、レジストと
溶剤の切り換えが可能なように３方弁を設け、普段は配
管内を溶剤で充満させる手段を取る。レジスト加圧用の
Ｎ2ライン１、加圧タンク３、レジストの入った瓶４、
３方弁１１、空圧制御弁９、シリンダー付きノズル１
３、ステッピングモーター１６、ギヤ１５、ボールネジ
１４、溶剤加圧用Ｎ2ライン、等から構成される。【効果】レジストの粘度変化、加圧用Ｎ2の圧力低下、
加圧用Ｎ2の配管内でのリーク、硬化したレジストによ
る空圧制御弁・３方弁の詰まりなどにより、レジスト吐
出量が変化し塗布ムラや膜圧異常が発生する事を防止で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はフォトレジストコーター
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のフォトレジストコーターはレジス
ト吐出時に、薬液をＡｉｒで加圧して一定時間吐出させ
る方式が主流だった。図２は従来の方式の構成を示した
ものである。レジストを吐出させるためのＮ2は配管２
１を通り加圧タンク２３を加圧する。２２はＮ2加圧用
の空圧制御弁でＮ2の供給／停止の切り換えを行う。加
圧タンク２３が加圧されると薬液瓶２４の中のレジスト
が配管２５を通って供給される。２６はレジスト供給／
停止の切り換えを行う空圧制御弁である。２７はレジス
ト吐出停止時の液ダレを防止するサックバックバルブ
で、２６、２７を通ったレジストはノズル２８からシリ
コンウェハー３０に塗布される。２９はスピードコント
ローラーで空圧制御弁・サックバックバルブの駆動スピ
ードを制御している。３１はウェハー吸着部で、３２は
ウェハー回転用スピンモーターである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の方法では図２の
空圧制御弁２６の開いている時間により、レジスト吐出
量を調整していた。そのため、レジストの粘度が変化し
たり、加圧に使っているＮ2の圧力が低下したり、配管
のどこかＮ2のリークがあったり、特にレジストが高粘
度の時は空圧制御弁やレジスト液だれ防止装置に硬化し
たレジストが詰まったりして、レジスト吐出量が変化し
てしまい、塗布ムラや膜圧異常の原因になる事が課題と
なっていた。

【０００４】

【課題を解決するための手段】加圧用のＮ2圧力低下に
よるレジスト吐出量低下の対策として、ノズル部分にレ
ジスト計量機構を設ける手段を取る。これにより常に安
定したレジスト吐出量が得られる。

【０００５】また硬化したレジストによる配管の詰まり
を防止するために、レジストと溶剤の切り換えが可能な
ように３方弁を設け、普段は配管内を溶剤で充満させる
手段を取る。

【０００６】

【実施例】本発明の実施例を図１を用いて説明する。加
圧タンク方式である事は従来の方式と同様であるが、レ
ジスト系にかかるＮ2圧力はシリンダーにレジストを供
給しようとした時にわずかかかれば良いため、従来の方
式よりも低くて良い。レジストを加圧するためのＮ2は
配管１を通って加圧タンク３を加圧する。２はＮ2加圧
用の空圧制御弁でＮ2の供給／停止の切り替えを行う。
加圧タンク３が加圧されると薬液瓶４の中のレジストが
配管５を通って供給される。６は３方弁でそれ以降の配
管へ流すレジスト／溶剤の切り換えを行う。普段は溶剤
が流れるようになっている。７は空圧制御弁で、レジス
ト及び溶剤の供給／停止の切り換えを行う。８はスピー
ドコントローラーで３方弁・空圧制御弁の駆動スピード
を制御している。１３はレジスト計量用のシリンダー付
きノズルで、１４はシリンダー駆動用のボールネジ、１
５はボールネジを上下させるためのギヤで、１６は１５
のギヤを回転させるためのステッピングモーターであ
る。このステッピングモーターに必要な体積に相当する
分のパルスが与えられると、ステッピングモーター１６
は必要な回数だけ回転し、１５のギヤを回転させて１４
のボールネジを上昇させる。その動作によりシリンダー
１３の容積が増加する。またこの時、６の３方弁はレジ
スト系に、７の空圧制御弁は供給側になっているため、
シリンダー１３の容積増加分だけレジストが供給され
る。またステッピングモーターの回転が停止した時点で
空圧制御弁７はレジストの供給を停止させる。このよう
にしてレジストは計量される。

【０００７】レジスト吐出時は、１６のステッピングモ
ーターにレジストの体積に相当するパルスを与えレジス
ト供給時とは逆に回転させる。すると１５のギヤは回転
して１４のボールネジを下降させる。その動作によりシ
リンダー１３の容積が減少する。この時空圧制御弁７は
閉じているため、容積減少分だけレジストがノズル１７
から１８のシリコンウェハーに吐出される。

【０００８】１９はウェハー吸着部で、２０は回転用ス
ピンモーターである。

【０００９】またシリンダー固着防止及び３方弁・空圧
制御弁におけるレジストの詰まり防止のため、溶剤系の
ラインを設けた。１０の加圧缶にはレジストを溶解でき
る溶剤を入れ、９は加圧用の空圧制御弁で加圧缶１０へ
のＮ2の供給／停止の切り替えを行う。レジスト塗布の
処理が終わった後に溶剤による配管洗浄Ｎ2で加圧され
た加圧缶の中の溶剤は配管を通って１１の３方弁に向か
う。１１は溶剤とＮ2の切り換えをするための３方弁で
あり普段は溶剤側になっている。１１の３方弁を通った
溶剤は６の３方弁に向かう。そして６の３方弁によって
レジストとの切り換えが行われ、１３のシリンダーノズ
ルへ供給される。シリンダーの中に充填された溶剤は、
１１の３方弁をＮ2側に切り換えることにより配管のＮ2
ブローが行われるのと、レジスト吐出時と同じようなシ
リンダーノズル１３の駆動により、シリンダーノズル待
機場所下に設けられたドレイン口に廃棄される。この機
構によって、レジストの通る配管及び空圧制御弁は全
て、レジストを使用していない時には溶剤で満たされて
いる事になり硬化したレジストによる配管の詰まりは防
止できる。実際の使用に関しては、レジスト塗布をバッ
チで行った時に、全ウェハーの塗布が終了した時に３方
弁がレジストから溶剤系に切り換わる方式と、ウェハー
１枚の塗布が終了する毎にレジストから溶剤に切り換わ
る方式の選択をソフト上で変更できるようにし、使用レ
ジストの粘度が特に高い場合１枚毎に配管を溶剤で洗浄
する事も可能である。

【００１０】

【発明の効果】この方式により、高粘度のレジストを使
用する場合でも常に安定した量のレジストを供給する事
が出来るため、塗布後の塗布ムラ、膜厚異常を防止出来
る効果がある。また塗布時以外は常に溶剤が配管内に行
き渡っているため、３方弁・空圧制御弁等の詰まりによ
るトラブルも防止出来る効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の、レジスト計量用シリンダーを用い
たレジスト供給配管図。

【図２】従来技術の、Ｎ2加圧によるレジスト供給配
管図。

【符号の説明】

１・・・・Ｎ2配管２・・・・空圧制御弁３・・・・加圧タンク４・・・・薬液瓶５・・・・薬液配管６・・・・３方弁７・・・・空圧制御弁８・・・・スピードコントローラー９・・・・空圧制御弁１０・・・加圧缶１１・・・３方弁１２・・・Ｎ2配管１３・・・計量用シリンダー１４・・・ボールネジ１５・・・ボールネジを上下させるためのギヤ１６・・・ステッピングモーター１７・・・ノズル１８・・・シリコンウェハー１９・・・ウェハーチャック２０・・・スピンモーター２１・・・Ｎ2配管２２・・・空圧制御弁２３・・・加圧タンク２４・・・薬液瓶２５・・・レジスト配管２６・・・空圧制御弁２７・・・サックバックバルブ２８・・・ノズル２９・・・スピードコントローラー３０・・・シリコンウェハー３１・・・ウェハーチャック３２・・・スピンモーター

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体プロセスにおけるフォト工程におい
て、レジストを塗布する時に、レジストの吐出量を一定
に保つために、レジスト吐出ノズル部分に計量用シリン
ダーを設けたことを特徴とするフォトレジストコータ
ー。