JPH11263670A - 高純度窒化ホウ素成形体の製造方法 - Google Patents
高純度窒化ホウ素成形体の製造方法Info
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- JPH11263670A JPH11263670A JP10085024A JP8502498A JPH11263670A JP H11263670 A JPH11263670 A JP H11263670A JP 10085024 A JP10085024 A JP 10085024A JP 8502498 A JP8502498 A JP 8502498A JP H11263670 A JPH11263670 A JP H11263670A
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- Japan
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- boron nitride
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 Ｂ2Ｏ3含有量が０．２重量％以下、酸素
含有量が１重量％以下、ＢＥＴ比表面積が５〜４０ｍ2
／ｇである六方晶窒化ホウ素粉末を、含水量が３０〜６
０重量％となるように水を添加して造粒し、乾燥後、ホ
ットプレス成形することを特徴とする高純度窒化ホウ素
成形体の製造方法。 【効果】 本発明の高純度ＢＮ成形体の製造方法によれ
ば、低Ｂ2Ｏ3含有量で高強度の高純度ＢＮ成形体を効率
よく簡便に、工業的に有利に製造することができ、得ら
れる高純度ＢＮ成形体は、半導体シリコン用放熱基板製
造時のセラミックス、特に高熱伝導性窒化アルミニウム
焼結用セッターなどとして好適に使用することができ
る。
含有量が１重量％以下、ＢＥＴ比表面積が５〜４０ｍ2
／ｇである六方晶窒化ホウ素粉末を、含水量が３０〜６
０重量％となるように水を添加して造粒し、乾燥後、ホ
ットプレス成形することを特徴とする高純度窒化ホウ素
成形体の製造方法。 【効果】 本発明の高純度ＢＮ成形体の製造方法によれ
ば、低Ｂ2Ｏ3含有量で高強度の高純度ＢＮ成形体を効率
よく簡便に、工業的に有利に製造することができ、得ら
れる高純度ＢＮ成形体は、半導体シリコン用放熱基板製
造時のセラミックス、特に高熱伝導性窒化アルミニウム
焼結用セッターなどとして好適に使用することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体シリコン用
放熱基板製造時のセラミックス、特に高熱伝導性窒化ア
ルミニウム焼結用セッターなどとして好適に使用できる
高純度窒化ホウ素成形体を工業的に有利に製造すること
ができる高純度窒化ホウ素成形体の製造方法に関する。
放熱基板製造時のセラミックス、特に高熱伝導性窒化ア
ルミニウム焼結用セッターなどとして好適に使用できる
高純度窒化ホウ素成形体を工業的に有利に製造すること
ができる高純度窒化ホウ素成形体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】窒化ホ
ウ素（以下、ＢＮと記す）成形体は、熱膨張率が小さ
く、耐熱衝撃性に優れ、不活性雰囲気下では２，２００
℃まで安定である上、電気絶縁性、耐電圧特性に優れて
いること、更には潤滑性、放熱性、離型性が良いなど、
他のセラミックスにはみられない特色を有しているた
め、種々の用途に用いられている。このＢＮは、難焼結
性であるため、一般的には熱間加圧成形（ホットプレ
ス）法でインゴットを製造し、そこから各種製品に切り
出し加工することが行われている。
ウ素（以下、ＢＮと記す）成形体は、熱膨張率が小さ
く、耐熱衝撃性に優れ、不活性雰囲気下では２，２００
℃まで安定である上、電気絶縁性、耐電圧特性に優れて
いること、更には潤滑性、放熱性、離型性が良いなど、
他のセラミックスにはみられない特色を有しているた
め、種々の用途に用いられている。このＢＮは、難焼結
性であるため、一般的には熱間加圧成形（ホットプレ
ス）法でインゴットを製造し、そこから各種製品に切り
出し加工することが行われている。
【０００３】一方、近年、半導体シリコン用放熱基板と
して高熱伝導性窒化アルミニウム（ＡｌＮ）が注目され
ている。従来、このＡｌＮ基板を得る際、その焼成には
カーボンのセッターが使用されていたが、カーボンは異
物や着色に関する問題を生じることから、最近ではカー
ボンに代わる耐高温材料として窒化ホウ素（ＢＮ）成形
体が注目されている。
して高熱伝導性窒化アルミニウム（ＡｌＮ）が注目され
ている。従来、このＡｌＮ基板を得る際、その焼成には
カーボンのセッターが使用されていたが、カーボンは異
物や着色に関する問題を生じることから、最近ではカー
ボンに代わる耐高温材料として窒化ホウ素（ＢＮ）成形
体が注目されている。
【０００４】このＢＮ成形体は、通常１〜１０数重量％
の酸化ホウ素（Ｂ2Ｏ3）を不純物として含有している。
この不純物であるＢ2Ｏ3は、ＢＮ成形体の原料であるＢ
Ｎ粉末中に製造工程より混入するものであるが、ＢＮ成
形体を製造する上で焼結助剤として有効に働くため、高
強度のＢＮ成形体を得るためには必要不可欠なものであ
る。
の酸化ホウ素（Ｂ2Ｏ3）を不純物として含有している。
この不純物であるＢ2Ｏ3は、ＢＮ成形体の原料であるＢ
Ｎ粉末中に製造工程より混入するものであるが、ＢＮ成
形体を製造する上で焼結助剤として有効に働くため、高
強度のＢＮ成形体を得るためには必要不可欠なものであ
る。
【０００５】しかしながら、Ｂ2Ｏ3を０．２重量％を超
えて含有するＢＮ成形体をＡｌＮ焼成用セッターとして
用いた場合、ＡｌＮ基板に白濁や反りが発生するという
問題が生じた。
えて含有するＢＮ成形体をＡｌＮ焼成用セッターとして
用いた場合、ＡｌＮ基板に白濁や反りが発生するという
問題が生じた。
【０００６】そこで、上記問題の解決策として、Ｂ2Ｏ3
を１重量％を超えて含有するＢＮの原料粉末からＢＮ成
形体を製造した後、ＢＮ成形体中に残存するＢ2Ｏ3を
０．２重量％以下にするため、（１）水、酸又はアルカ
リの水溶液、アルコール等の有機溶媒中で煮沸、撹拌、
超音波振動を与えながらＢＮ成形体を洗浄する方法、
（２）１６００℃以上の高温下でＢＮ成形体を加熱する
方法、（３）上記（１）及び（２）を併用する方法等が
特公昭６３−１６３６０号公報などに提案されている。
を１重量％を超えて含有するＢＮの原料粉末からＢＮ成
形体を製造した後、ＢＮ成形体中に残存するＢ2Ｏ3を
０．２重量％以下にするため、（１）水、酸又はアルカ
リの水溶液、アルコール等の有機溶媒中で煮沸、撹拌、
超音波振動を与えながらＢＮ成形体を洗浄する方法、
（２）１６００℃以上の高温下でＢＮ成形体を加熱する
方法、（３）上記（１）及び（２）を併用する方法等が
特公昭６３−１６３６０号公報などに提案されている。
【０００７】しかし、上記（１）〜（３）のいずれの方
法を採用しても、ＢＮ成形体を低Ｂ2Ｏ3化する工程に多
大な時間と労力を費やすことになり、その結果、製造コ
ストが高くなるという問題があった。
法を採用しても、ＢＮ成形体を低Ｂ2Ｏ3化する工程に多
大な時間と労力を費やすことになり、その結果、製造コ
ストが高くなるという問題があった。
【０００８】従って、Ｂ2Ｏ3含有量が少ない高品質のＢ
Ｎ成形体を簡単な工程により短時間で製造し得る技術の
開発が望まれた。
Ｎ成形体を簡単な工程により短時間で製造し得る技術の
開発が望まれた。
【０００９】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
低Ｂ2Ｏ3含有量で高強度の高純度ＢＮ成形体を効率よく
簡便に製造することができる高純度ＢＮ成形体の製造方
法を提供することを目的とする。
低Ｂ2Ｏ3含有量で高強度の高純度ＢＮ成形体を効率よく
簡便に製造することができる高純度ＢＮ成形体の製造方
法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は、高純度ＢＮ成形体の製造方法について鋭意検
討を重ねた結果、Ｂ2Ｏ3含有量が０．２重量％以下、酸
素含有量が１重量％以下、ＢＥＴ比表面積が５〜４０ｍ
2 ／ｇである六方晶窒化ホウ素粉末に、含水量が３０〜
６０重量％の範囲となるように水を添加して造粒し、乾
燥後、ホットプレス成形することにより、上記目的を達
成し得ることを見出した。
発明者は、高純度ＢＮ成形体の製造方法について鋭意検
討を重ねた結果、Ｂ2Ｏ3含有量が０．２重量％以下、酸
素含有量が１重量％以下、ＢＥＴ比表面積が５〜４０ｍ
2 ／ｇである六方晶窒化ホウ素粉末に、含水量が３０〜
６０重量％の範囲となるように水を添加して造粒し、乾
燥後、ホットプレス成形することにより、上記目的を達
成し得ることを見出した。
【００１１】即ち、上述したように従来の方法ではＢＮ
成形体をホットプレス製造する際、原料ＢＮ粉末中の焼
結バインダーとしてのＢ2Ｏ3含有量が少ないと満足な強
度を有するＢＮ成形体を得ることは困難であった。これ
に対して、本発明では、上記したようにＢＮ粉末を特定
の含水率を保持した条件で造粒することにより、ホット
プレス前の充填性が向上すると共に、ホットプレスする
過程でのＢＮ粒子の流動性が良好になり、粒子間の隙間
が少なくなるため、微量のＢ2Ｏ3が含有されていれば原
料ＢＮ粉末を良好に焼結できるものである。従って、本
発明方法によれば、Ｂ2Ｏ3量の少ない高純度ＢＮ粉末を
用いても満足に焼結し得て高品質のＢＮ成形体が製造可
能となり、このため簡単かつ短時間でＢ2Ｏ3量が少ない
高強度の高純度ＢＮ成形体を得ることができ、低Ｂ2Ｏ3
化工程の削減が可能となるものである。
成形体をホットプレス製造する際、原料ＢＮ粉末中の焼
結バインダーとしてのＢ2Ｏ3含有量が少ないと満足な強
度を有するＢＮ成形体を得ることは困難であった。これ
に対して、本発明では、上記したようにＢＮ粉末を特定
の含水率を保持した条件で造粒することにより、ホット
プレス前の充填性が向上すると共に、ホットプレスする
過程でのＢＮ粒子の流動性が良好になり、粒子間の隙間
が少なくなるため、微量のＢ2Ｏ3が含有されていれば原
料ＢＮ粉末を良好に焼結できるものである。従って、本
発明方法によれば、Ｂ2Ｏ3量の少ない高純度ＢＮ粉末を
用いても満足に焼結し得て高品質のＢＮ成形体が製造可
能となり、このため簡単かつ短時間でＢ2Ｏ3量が少ない
高強度の高純度ＢＮ成形体を得ることができ、低Ｂ2Ｏ3
化工程の削減が可能となるものである。
【００１２】従って、本発明は、Ｂ2Ｏ3含有量が０．２
重量％以下、酸素含有量が１重量％以下、ＢＥＴ比表面
積が５〜４０ｍ2 ／ｇである六方晶窒化ホウ素粉末に、
含水量が３０〜６０重量％となるように水を添加して造
粒し、乾燥後、ホットプレス成形することを特徴とする
高純度窒化ホウ素成形体の製造方法を提供する。
重量％以下、酸素含有量が１重量％以下、ＢＥＴ比表面
積が５〜４０ｍ2 ／ｇである六方晶窒化ホウ素粉末に、
含水量が３０〜６０重量％となるように水を添加して造
粒し、乾燥後、ホットプレス成形することを特徴とする
高純度窒化ホウ素成形体の製造方法を提供する。
【００１３】以下、本発明につき更に詳しく説明する
と、本発明の高純度ＢＮ成形体の製造方法においては、
原料としてＢ2Ｏ3量が０．２重量％以下、酸素含有量が
１重量％以下、かつＢＥＴ比表面積が５〜４０ｍ2 ／ｇ
である六方晶窒化ホウ素粉末を用いる。
と、本発明の高純度ＢＮ成形体の製造方法においては、
原料としてＢ2Ｏ3量が０．２重量％以下、酸素含有量が
１重量％以下、かつＢＥＴ比表面積が５〜４０ｍ2 ／ｇ
である六方晶窒化ホウ素粉末を用いる。
【００１４】ここで、原料粉末のＢ2Ｏ3量は０．２重量
％以下、好ましくは０．１〜０．２重量％、酸素量は１
重量％以下、好ましくは０．５〜１．０重量％である。
Ｂ2Ｏ3量が０．２重量％を超えたり、酸素量が１重量％
を超えると、前述したようにＡｌＮ焼成に影響が生じ
る。
％以下、好ましくは０．１〜０．２重量％、酸素量は１
重量％以下、好ましくは０．５〜１．０重量％である。
Ｂ2Ｏ3量が０．２重量％を超えたり、酸素量が１重量％
を超えると、前述したようにＡｌＮ焼成に影響が生じ
る。
【００１５】また、原料粉末のＢＥＴ比表面積は５〜４
０ｍ2 ／ｇ、好ましくは１０〜３０ｍ2 ／ｇであり、上述
のＢ2Ｏ3量及び酸素量と因果関係があるが、４０ｍ2 ／
ｇを超えるとＢ2Ｏ3量及び酸素量それぞれが０．２重量
％、１重量％を超えてしまって、ＡｌＮ焼成に影響が生
じ、５ｍ2 ／ｇ未満であると成形体の強度が劣化してし
まう。
０ｍ2 ／ｇ、好ましくは１０〜３０ｍ2 ／ｇであり、上述
のＢ2Ｏ3量及び酸素量と因果関係があるが、４０ｍ2 ／
ｇを超えるとＢ2Ｏ3量及び酸素量それぞれが０．２重量
％、１重量％を超えてしまって、ＡｌＮ焼成に影響が生
じ、５ｍ2 ／ｇ未満であると成形体の強度が劣化してし
まう。
【００１６】本発明では、上記原料ＢＮ粉末に含水率が
３０〜６０重量％になるように水を添加して造粒し、乾
燥した造粒物をホットプレス成形し、高純度ＢＮ成形体
を得ることができる。
３０〜６０重量％になるように水を添加して造粒し、乾
燥した造粒物をホットプレス成形し、高純度ＢＮ成形体
を得ることができる。
【００１７】この場合、原料ＢＮ粉末の造粒は、押出造
粒等の通常の方法で行うことができるが、造粒時は含水
量が３０〜６０重量％、好ましくは４０〜５０重量％の
範囲になるように水を添加することが必要である。含水
率が３０重量％未満であると造粒不可能であり、６０重
量％を超えると造粒物同士のくっつきが生じ、粉体特性
に悪影響を及ぼす。
粒等の通常の方法で行うことができるが、造粒時は含水
量が３０〜６０重量％、好ましくは４０〜５０重量％の
範囲になるように水を添加することが必要である。含水
率が３０重量％未満であると造粒不可能であり、６０重
量％を超えると造粒物同士のくっつきが生じ、粉体特性
に悪影響を及ぼす。
【００１８】上記造粒物の形状、大きさは特に制限され
ないが、形状としては円柱状等の柱状、球状等とするこ
とができ、その大きさは、例えば柱状のものの場合、直
径が１〜８ｍｍ、特に２〜４ｍｍ、長さが１〜１５ｍ
ｍ、特に２〜１０ｍｍとすることができる。
ないが、形状としては円柱状等の柱状、球状等とするこ
とができ、その大きさは、例えば柱状のものの場合、直
径が１〜８ｍｍ、特に２〜４ｍｍ、長さが１〜１５ｍ
ｍ、特に２〜１０ｍｍとすることができる。
【００１９】次に、造粒物を通常の方法で乾燥した後、
ホットプレス法にて成形体を製造する。このホットプレ
ス成形は、造粒物を黒鉛ダイスに充填し、１，８００〜
２，１００℃、特に１，９００〜２，０５０℃の温度下
で３０〜２００ｋｇ／ｃｍ2 、特に５０〜１５０ｋｇ／
ｃｍ2 の加圧条件で成形することが好ましい。
ホットプレス法にて成形体を製造する。このホットプレ
ス成形は、造粒物を黒鉛ダイスに充填し、１，８００〜
２，１００℃、特に１，９００〜２，０５０℃の温度下
で３０〜２００ｋｇ／ｃｍ2 、特に５０〜１５０ｋｇ／
ｃｍ2 の加圧条件で成形することが好ましい。
【００２０】このようにして得られたＢＮ成形体は、密
度が１．８５〜１．９５ｇ／ｃｍ3程度で割れることが
なく、焼結された高純度ＢＮ成形体である。
度が１．８５〜１．９５ｇ／ｃｍ3程度で割れることが
なく、焼結された高純度ＢＮ成形体である。
【００２１】本発明方法で得られたＢＮ成形体は、その
ままセラミックス焼結用セッターとして使用してもよい
が、更に短時間の加熱処理を行うことにより、より一層
の高純度化が可能である。なお、この際の加熱処理は、
１，８００〜２，０００℃で１〜３時間程度とすること
が望ましい。
ままセラミックス焼結用セッターとして使用してもよい
が、更に短時間の加熱処理を行うことにより、より一層
の高純度化が可能である。なお、この際の加熱処理は、
１，８００〜２，０００℃で１〜３時間程度とすること
が望ましい。
【００２２】
【発明の効果】本発明の高純度ＢＮ成形体の製造方法に
よれば、低Ｂ2Ｏ3含有量で高強度の高純度ＢＮ成形体を
効率よく簡便に、工業的に有利に製造することができ、
得られる高純度ＢＮ成形体は、半導体シリコン用放熱基
板製造時のセラミックス、特に高熱伝導性窒化アルミニ
ウム焼結用セッターなどとして好適に使用することがで
きる。
よれば、低Ｂ2Ｏ3含有量で高強度の高純度ＢＮ成形体を
効率よく簡便に、工業的に有利に製造することができ、
得られる高純度ＢＮ成形体は、半導体シリコン用放熱基
板製造時のセラミックス、特に高熱伝導性窒化アルミニ
ウム焼結用セッターなどとして好適に使用することがで
きる。
【００２３】
【実施例】以下、実施例及び比較例を示して本発明を具
体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限される
ものではない。
体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限される
ものではない。
【００２４】［実施例１］Ｂ2Ｏ3含有率が０．１重量
％、酸素含有量が０．７６重量％、ＢＥＴ比表面積が３
２ｍ2 ／ｇのＢＮ粉末１ｋｇに、含水率が５０重量％と
なるように水分を添加し、押出造粒機を用いて造粒を行
った。この造粒物は、０．５ｍｍ径でおよそ１〜５ｍｍ
の長さをもつものであり、２００℃で２０時間乾燥する
ことにより、乾燥物８５０ｇが得られた。
％、酸素含有量が０．７６重量％、ＢＥＴ比表面積が３
２ｍ2 ／ｇのＢＮ粉末１ｋｇに、含水率が５０重量％と
なるように水分を添加し、押出造粒機を用いて造粒を行
った。この造粒物は、０．５ｍｍ径でおよそ１〜５ｍｍ
の長さをもつものであり、２００℃で２０時間乾燥する
ことにより、乾燥物８５０ｇが得られた。
【００２５】上記造粒物５００ｇを最高温度２，０００
℃で１時間、圧力を１５０ｋｇ／ｃｍ2 の条件下ホット
プレスした。得られたインゴットから三点曲げ強度測定
用テストピース（３×４×４０ｍｍ）を切り出し、ＪＩ
ＳＲ−１６０１に基づき測定後、テストピースを粉末化
して成分分析を行った。結果を表２に示す。
℃で１時間、圧力を１５０ｋｇ／ｃｍ2 の条件下ホット
プレスした。得られたインゴットから三点曲げ強度測定
用テストピース（３×４×４０ｍｍ）を切り出し、ＪＩ
ＳＲ−１６０１に基づき測定後、テストピースを粉末化
して成分分析を行った。結果を表２に示す。
【００２６】［実施例２，３、比較例１〜３］表１に示
すようなＢ2Ｏ3含有率、酸素含有量、ＢＥＴ比表面積の
ＢＮ粉末を用いる以外は実施例１と同様にしてインゴッ
トを得、評価を行った。結果を表２に示す。
すようなＢ2Ｏ3含有率、酸素含有量、ＢＥＴ比表面積の
ＢＮ粉末を用いる以外は実施例１と同様にしてインゴッ
トを得、評価を行った。結果を表２に示す。
【００２７】表２の結果より、ＢＮ成形体は、３７ＭＰ
ａとＢＮ素材としての強度を満足し、かつＢ2Ｏ3量は
０．０７重量％、酸素含有量は０．７重量％であり、高
純度のＢＮ成形体であることが判った。
ａとＢＮ素材としての強度を満足し、かつＢ2Ｏ3量は
０．０７重量％、酸素含有量は０．７重量％であり、高
純度のＢＮ成形体であることが判った。
【００２８】
【表１】
【００２９】
【表２】
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｂ2Ｏ3含有量が０．２重量％以下、酸素
含有量が１重量％以下、ＢＥＴ比表面積が５〜４０ｍ2
／ｇである六方晶窒化ホウ素粉末を、含水量が３０〜６
０重量％となるように水を添加して造粒し、乾燥後、ホ
ットプレス成形することを特徴とする高純度窒化ホウ素
成形体の製造方法。 - 【請求項２】 ホットプレス成形した後に加熱処理を行
う請求項１記載の高純度窒化ホウ素成形体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10085024A JPH11263670A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 高純度窒化ホウ素成形体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10085024A JPH11263670A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 高純度窒化ホウ素成形体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11263670A true JPH11263670A (ja) | 1999-09-28 |
Family
ID=13847167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10085024A Pending JPH11263670A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 高純度窒化ホウ素成形体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11263670A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012056818A (ja) * | 2010-09-10 | 2012-03-22 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 六方晶窒化ホウ素粉末及びそれを用いた高熱伝導性、高耐湿性放熱シート |
| WO2013081061A1 (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-06 | 三菱化学株式会社 | 窒化ホウ素凝集粒子、該粒子を含有する組成物、及び該組成物からなる層を有する三次元集積回路 |
| CN104999074A (zh) * | 2015-08-04 | 2015-10-28 | 北京科技大学 | 一种提高铝合金粉末冶金零件烧结致密度的方法 |
| WO2021171251A1 (en) * | 2020-02-27 | 2021-09-02 | 3M Innovative Properties Company | Mold for glass forming and methods for forming glass using a mold |
| KR20230014140A (ko) * | 2021-07-20 | 2023-01-30 | 동국제강주식회사 | 압연 후 박판재용 이형제, 슬라브의 이형제 도포장치 및 이를 이용하는 슬라브의 이형제 도포 방법 |
-
1998
- 1998-03-16 JP JP10085024A patent/JPH11263670A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012056818A (ja) * | 2010-09-10 | 2012-03-22 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 六方晶窒化ホウ素粉末及びそれを用いた高熱伝導性、高耐湿性放熱シート |
| WO2013081061A1 (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-06 | 三菱化学株式会社 | 窒化ホウ素凝集粒子、該粒子を含有する組成物、及び該組成物からなる層を有する三次元集積回路 |
| JP2013241321A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-12-05 | Mitsubishi Chemicals Corp | 窒化ホウ素凝集粒子、窒化ホウ素凝集粒子を含有する組成物、及び該組成物からなる層を有する三次元集積回路 |
| JP2015006985A (ja) * | 2011-11-29 | 2015-01-15 | 三菱化学株式会社 | 窒化ホウ素凝集粒子、窒化ホウ素凝集粒子を含有する組成物、及び該組成物からなる層を有する三次元集積回路 |
| US9822294B2 (en) | 2011-11-29 | 2017-11-21 | Mitsubishi Chemical Corporation | Agglomerated boron nitride particles, composition containing said particles, and three-dimensional integrated circuit having layer comprising said composition |
| US10400151B2 (en) | 2011-11-29 | 2019-09-03 | Mitsubishi Chemical Corporation | Agglomerated boron nitride particles, composition containing said particles, and three- dimensional integrated circuit having layer comprising said composition |
| CN104999074A (zh) * | 2015-08-04 | 2015-10-28 | 北京科技大学 | 一种提高铝合金粉末冶金零件烧结致密度的方法 |
| WO2021171251A1 (en) * | 2020-02-27 | 2021-09-02 | 3M Innovative Properties Company | Mold for glass forming and methods for forming glass using a mold |
| US11697609B2 (en) | 2020-02-27 | 2023-07-11 | 3M Innovative Properties Company | Mold for glass forming and methods for forming glass using a mold |
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